TWI476136B - Transfer device and transfer method between conveyor belt handling system - Google Patents

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TWI476136B TW099118370A TW99118370A TWI476136B TW I476136 B TWI476136 B TW I476136B TW 099118370 A TW099118370 A TW 099118370A TW 99118370 A TW99118370 A TW 99118370A TW I476136 B TWI476136 B TW I476136B
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G17/00—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface
    • B65G17/12—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface comprising a series of individual load-carriers fixed, or normally fixed, relative to traction element
    • B65G17/126—Bucket elevators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/52—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices

Description

輸送帶搬運系統間的移載裝置及移載方法
本發明，是有關於輸送帶搬運系統間的物品的移載。
專利文獻1：JP2004-266242A(US2008/0289932A)，是揭示將鞍座以一定間距安裝在從頂棚側支撐的鋼製輸送帶，由鞍座搬運半導體晶圓等的載體。且揭示在地上側的平台設有與鞍座同步行走及昇降的手臂，在與鞍座之間交接載體。此系統是一種輸送帶系統，為了系統的實用化有需要在不同的鋼製輸送帶間交接載體。藉此可以實現多樣的搬運路徑，可以朝需要的平台搬運載體。但是專利文獻1中，是對於輸送帶系統間中的載體的交接並未檢討。
[先行技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：JP2004-266242A
本發明的課題，是在輸送帶系統間可以有效率地交接物品。
本發明，是一種移載裝置，為了在以一定間距安裝了物品卡合於環形輸送帶支撐的卡合構件之至少一對輸送帶系統間移載物品，且前述至少一對輸送帶系統是設在被平行配置的區間，其特徵為，設有：複數手臂，可獨立昇降自如且在與前述卡合構件之間可將物品交接自如；及載置架，將該複數手臂總括地支撐，且朝：與前述輸送帶系統的搬運方向平行的方向、及在輸送帶系統間移動的方向的雙方移動。
且在本發明中，為了在以一定間距安裝了將物品卡合於環形輸送帶支撐用的卡合構件之至少一對輸送帶系統間移載物品，而實行：設置移載裝置的步驟，該移載裝置，是在前述至少一對輸送帶系統被平行配置的區間具備：可獨立昇降自如且在與前述卡合構件之間使物品可交接自如的複數手臂、及將該複數手臂總括地支撐且朝與前述輸送帶系統的搬運方向平行的方向及在一對輸送帶系統間移動的方向移動的載置架；及藉由一邊將前述載置架朝與一方的輸送帶系統的搬運方向平行地移動，一邊將手臂昇降，將物品從一方的輸送帶系統載貨的步驟；及將載置架由前述輸送帶系統間移動的步驟；及藉由一邊將前述載置架朝與另一方的輸送帶系統的搬運方向平行地移動，一邊將手臂昇降，將物品朝另一方的輸送帶系統卸貨的步驟。在此說明書中，有關於移載裝置的記載也直接適用於移載方法，相反地有關於移載方法的記載也直接適用於移載裝置。
在本發明中，因為可以將複數物品同時在輸送帶系統間交接，所以搬運能力的較高的輸送帶間彼此之間可以連接。且複數手臂因為可以獨立昇降，所以可以只移載輸送帶系統間的交接所需要的物品。因此，可以構築整體可分岐及合流的輸送帶系統。
將複數手臂連動在水平面內繞轉的單一的繞轉用馬達被設在載置架的話，就容易配合於輸送帶系統中的搬運方向將物品的方向對齊。
輸送帶系統是適合於從建屋的頂棚被支撐，且在輸送帶系統的下方的位置可將移載裝置從頂棚支撐自如的話，在半導體晶圓的搬運用的輸送帶系統等之間，不會佔有地上空間，就可以交接物品。
設有：將載置架與前述輸送帶系統的搬運方向平行地行走的第1軌道、及將該第1軌道的兩端部朝在輸送帶系統間移動的方向移動的一對第2軌道的話，就可以容易地將載置架朝2方向移動。且在載置架沿著第1軌道行走之間，將各手臂獨立昇降，且在第1軌道沿著第2軌道移動之間，將各手臂繞轉的話，手臂的昇降及繞轉與載置架的移動可同時進行，時間損失不會發生。
設有可對於一對第2軌道分別驅動第1軌道的兩端部的一對驅動構件的話，2個輸送帶系統的平行度較低時，藉由將第1軌道配合於輸送帶系統的搬運方向傾斜就可以對應。
以下顯示實施本發明用的最適實施例。
[實施例]
在第1圖~第6圖中，顯示實施例的移載裝置6及移載方法。在各圖中，2、4是例如一對輸送帶系統，為了在這些之間交接載體36等的物品，而設置移載裝置6。在此說明書中，輸送帶系統2、4的搬運方向或是與這反向的方向為Y方向，在水平面內與Y方向直角的方向為X方向，高度方向為Z方向。移載裝置6，是沿著Y方向具備例如一對框架構件8、8，框架構件8、8之間是由沿著X方向的至少一對軌道10、10連接，並作為移載裝置6的框架。軌道12兩端的軌道支撐體13、13是在一對軌道10、10上移動。且藉由支柱14，將移載裝置6從清淨室的建屋的頂棚等支撐。
在軌道12上，沿著Y方向使作為載置架的台車16走行。17~22是移載裝置6的驅動用的馬達，藉由一對馬達17、17及第2圖所示的附齒皮帶46或是滾珠螺桿等，將軌道12朝X方向移動。軌道支撐體13是藉由例如軸構件15可轉動自如地被安裝於附齒皮帶46，藉由改變一對馬達17、17的驅動量，就可以將軌道12對於Y方向傾斜。如此的話，即使左右的輸送帶系統2、4是完全未平行的情況，也可以進行載體36的交接。馬達18，是藉由第2圖所示的附齒皮帶44等，將台車16沿著軌道12朝Y方向行走。繞轉用的馬達20是設在台車16上，透過附齒皮帶24及齒輪28、30等，將複數昇降用的馬達22繞轉例 如180°。且在馬達22的上部設置手臂26，藉由第2圖所示的滾珠螺桿42等昇降。
如以上的話，例如3個手臂26，是朝X方向及Y方向與台車16一起移動，在水平面內的繞轉是藉由馬達20同時總括地進行。且各手臂26是對於Z方向獨立昇降。又即使不設置軸構件15，只有將軌道支撐體13固定在第2圖的齒形皮帶46，也可以對應輸送帶系統2、4間的平行度是稍低的情況。
在輸送帶系統2、4中，以一定的間距將鞍座34各別安裝在鋼帶32，藉由無圖示的支撐手段並藉由清淨室的建屋頂棚被支撐，如第2圖等所示，位於比移載裝置6更高的位置。且藉由無圖示的驅動帶輪等，使無縫的鋼帶32以例如一定速度朝一定方向移動。且如第3圖所示，鞍座34是在底部具備左右一對支撐部35、35，並由支撐部35、35將載體36的上部的凸緣37等支撐。
在移載裝置6的底部，設置穿孔金屬板40或是網狀的構件，41是由穿孔，為了不擾亂清淨空氣的下降流而設置。載體36等是即使萬一落下，也可以由托板40支撐。進一步移載裝置6，具備：鞍座34的位置的感測器、載體36的有無的感測器、被安裝於載體36的ID等的讀出器及無圖示的輸送帶系統2、4的控制器等的通訊部。移載裝置6的無圖示的控制部，是透過通訊部從控制器收取：從輸送帶系統2、4的那一鞍座34朝那一鞍座34，移載那一ID的載體36的指令。且對應此指令，藉由馬達17、 17將軌道12朝X方向移動，與其同時，藉由馬達20使馬達22旋轉。且控制部，是藉由馬達18將台車16朝Y方向行走，藉由個別的馬達22將手臂26個別地昇降。
在第4圖中，顯示移載裝置6的輸送帶系統2、4間中的載體36的交接。將台車16與載貨的側的鋼製輸送帶一起等速朝Y方向行走。且在複數手臂26內，選擇性地只有將有載貨的手臂上昇，將載體36的凸緣37比支撐部35更上昇，將載體36從鞍座34載貨。接著將台車16減速，將凸緣37朝不與支撐部35干涉的位置移動之後，使手臂26下降。如此可一邊回避輸送帶系統2、4及手臂26的干涉一邊載貨。
接著將台車用的軌道12朝X方向移動，在此間將手臂26繞轉180°，將卸貨的手臂上昇。在實施例中因為一對輸送帶系統2、4是設定搬運方向為反向，且在載體36中具有方向，所以將台車16朝X方向移動期間將手臂繞轉180°。接著比卸貨側的輸送帶系統稍快地走行於台車16，將凸緣37朝載體36的支撐部35的上部插入的方式使手臂26行走。接著將台車16與輸送帶等速，將手臂26下降，將載體36的凸緣37朝鞍座34的支撐部35交接。此後，將台車減速的話，交接完成。
在第5圖中，顯示輸送帶系統2、4間中的載體的交接的模式圖。在(A)中輸送帶系統2、4的搬運方向是反向，台車16是在步驟1中從輸送帶系統2進行載貨，在步驟2中朝輸送帶系統4側移動，在此期間將手臂繞轉180°。在步驟3中對於輸送帶系統4卸貨，在步驟4中復歸至輸送帶系統2側。
在(B)中，在步驟1中從輸送帶系統2載貨，在步驟2中朝輸送帶系統4側移動，在此期間將手臂繞轉。在步驟3中進行朝輸送帶系統4的卸載，在步驟4中逆走，在步驟5中從輸送帶系統4載貨，在步驟6中朝輸送帶系統2側移動。如此的話，可以對於輸送帶系統4將卸載及載貨在1周期之間實行，同樣地對於輸送帶系統2也可以將卸載及載貨在1周期之間實行。
(C)是顯示輸送帶系統2、4的搬運方向為同方向的例，在步驟1中從輸送帶系統2載貨，在步驟2中台車是朝輸送帶系統4側移動並且將手臂繞轉180°，在步驟3中將台車逆走，在步驟4中卸貨。接著在步驟5中將台車逆走，在步驟6中朝輸送帶系統2側復歸。
(D)，是顯示使用上流側的移載裝置6，為了下流側的移載裝置6'(第6圖)將載體36的順序變更的例。如此的話，在下流側的移載裝置6'可以同時交接例如3個載體。在步驟1中移載裝置6是從輸送帶系統2或4載貨，在步驟2中逆送，在步驟3中朝原來的輸送帶系統卸貨。藉由這些的步驟，交接的載體36是沿著搬運方向使3個連續的方式變更載體36的順序。例如在輸送帶系統2，依…、空、載體A、空、…、載體B、空、載體C、…的順序並列載體36。在此在步驟1中將載體A載貨，在步驟2中逆送之後，在步驟3中將載體A卸貨在載體B、C間的空的鞍座。如此的話在下流側的移載裝置6'中，因為可以將載體B、A、C總括地移載，所以有效率。
第6圖是顯示輸送帶系統2、4的佈局配置，50是輸送帶系統2的內部的由小的環路所構成的輸送帶系統。且藉由使用移載裝置6，可以將輸送帶系統2、4連接，且可以將輸送帶系統2、50連接。在此例如在半導體工場中的圏際路線、及圏內路線設置輸送帶系統，將這些之間由移載裝置6連接的話，就可獲得將半導體工場整體覆蓋的輸送帶系統。
在實施例中雖將軌道12及台車16由附齒皮帶驅動，但是將這些的構件自走也可以。且雖在手臂26的昇降中使用滾珠螺桿42，但是由附齒皮帶等昇降也可以。實施例的輸送帶系統2、4及移載裝置6，是除了設在頂棚附近以外，設在地面附近也可以。
在實施例中可獲得以下的效果。
(1)　可以將輸送帶系統2、4間連接，可以統合輸送帶系統2、4成為具有分岐及合流的輸送帶系統。
(2)　因為將複數手臂總括地在水平面內運動及繞轉，所以交接能力較高。且因為手臂是獨立昇降，所以可以只有驅動需要的手臂。
(3)　輸送帶系統2、4及移載裝置6因為可以設在頂棚附近，所以在其下部可以配置通路及處理裝置等。
(4)　與將手臂26搭載於各別獨立的台車的情況相比，因為是總括地搭載於台車16，所以可以減小設置面積。
(5)軌道12是藉由使馬達17、17的驅動量相異，就可以從Y方向傾斜。因此輸送帶系統2、4即使在非完全平行的區間也可進行交接。
(6)藉由設置穿孔金屬板40，可以防止載體36等的落下，且不妨害清淨空氣的流動。
2、4‧‧‧輸送帶系統
6‧‧‧移載裝置
8‧‧‧框架構件
10、12‧‧‧軌道
13‧‧‧軌道支撐體
14‧‧‧支柱
15‧‧‧軸構件
16‧‧‧台車
17、18、20、22‧‧‧馬達
24‧‧‧附齒皮帶
26‧‧‧手臂
28、30‧‧‧齒輪
32‧‧‧鋼帶
34‧‧‧鞍座
35‧‧‧支撐部
36‧‧‧載體
37‧‧‧凸緣
40‧‧‧穿孔金屬板
41‧‧‧穿孔
42‧‧‧滾珠螺桿
44、46‧‧‧附齒皮帶
50‧‧‧輸送帶系統
[第1圖]實施例的移載裝置的平面圖
[第2圖]第1圖的II-II方向鉛直剖面圖
[第3圖]顯示鞍座的底部及載體的上部的圖
[第4圖]顯示實施例中的載體的交接規則的流程圖
[第5圖]顯示實施例中的載體的交接程序，(A)是在朝相反方向行走的輸送帶系統間交接載體，(B)是從第1輸送帶系統朝第2輸送帶系統交接載體，並且從第2輸送帶系統進行載貨，(C)是在朝同方向行走的輸送帶系統間交接載體，(D)是為了下流側的移載裝置，而變更載體的順序。
[第6圖]使用實施例的移載裝置的搬運系統的佈局配置的意示平面圖
2、4．．．輸送帶系統
6．．．移載裝置
8．．．框架構件
10、12．．．軌道
13．．．軌道支撐體
14．．．支柱
15．．．軸構件
16．．．台車
17～18、20、22．．．馬達
24．．．附齒皮帶
26．．．手臂
28、30．．．齒輪
32．．．鋼帶
34．．．鞍座
36．．．載體
40．．．穿孔金屬板
41．．．穿孔

Claims (6)

  1. 一種移載裝置，是為了在以一定間距安裝了將物品卡合於環形輸送帶支撐的卡合構件之至少一對輸送帶系統間移載物品，且前述至少一對輸送帶系統是設在被平行配置的區間，其特徵為，設有：複數手臂，可獨立昇降自如且在與前述卡合構件之間可將物品交接自如；及載置架，將該複數手臂總括地支撐，且朝：與前述輸送帶系統的搬運方向平行的方向、及在輸送帶系統間移動的方向的雙方移動，藉由一邊將前述載置架朝與一方的輸送帶系統的搬運方向平行地移動，一邊將手臂獨立地昇降，將物品從一方的輸送帶系統載貨，藉由一邊將前述載置架朝與另一方的輸送帶系統的搬運方向平行地移動，一邊將手臂獨立地昇降，將物品朝另一方的輸送帶系統卸貨。
  2. 如申請專利範圍第1項的移載裝置，其中，將前述複數手臂連動且在水平面內繞轉的單一的繞轉用馬達是設在前述載置架。
  3. 如申請專利範圍第1項的移載裝置，其中，前述輸送帶系統是從建屋的頂棚被支撐，且在前述輸送帶系統的下方的位置，可從頂棚將移載裝置支撐自如。
  4. 如申請專利範圍第1項的移載裝置，其中，設有：將前述載置架與前述輸送帶系統的搬運方向平行地行走的 第1軌道、及將該第1軌道的兩端部朝在輸送帶系統間移動的方向移動的一對第2軌道，並且前述載置架是在沿著第1軌道行走之間，將各手臂獨立昇降，且前述第1軌道是在沿著第2軌道移動之間，將各手臂繞轉。
  5. 如申請專利範圍第4項的移載裝置，其中，設有一對驅動構件，可對於前述一對第2軌道分別驅動前述第1軌道的兩端部。
  6. 一種移載方法，為了在以一定間距安裝了將物品卡合於環形輸送帶支撐用的卡合構件之至少一對輸送帶系統間移載物品，而實行：設置移載裝置的步驟，該移載裝置，是在前述至少一對輸送帶系統被平行配置的區間具備：可獨立昇降自如且在與前述卡合構件之間使物品可交接自如的複數手臂、及將該複數手臂總括地支撐且朝與前述輸送帶系統的搬運方向平行的方向及在一對輸送帶系統間移動的方向移動的載置架；及藉由一邊將前述載置架朝與一方的輸送帶系統的搬運方向平行地移動，一邊將手臂獨立地昇降，將物品從一方的輸送帶系統載貨的步驟；及將載置架由前述輸送帶系統間移動的步驟；及藉由一邊將前述載置架朝與另一方的輸送帶系統的搬運方向平行地移動，一邊將手臂獨立地昇降，將物品朝另一方的輸送帶系統卸貨的步驟。
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