JP2015046646A - キャリア移載促進装置 - Google Patents
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Description
キャリア搬送システム50およびキャリア移載促進装置1の構成について、図1、2を参照しつつ説明する。図1に示すように、キャリア搬送システム50は、工場内の天井側を走行するOHT7(Overhead Hoist Transfer天井走行式無人搬送車)と、OHT7が走行するレール9(軌道)と、レール9の下方に設置されたロードポート6と、ロードポート6に対して設けられたキャリア移載促進装置1とを備えている。
OHT7は、後述するキャリア移載台車3よりも上方を走行するキャリア搬送手段であり、ベルト駆動で上下するホイスト部71を有する。OHT7は、ホイスト部71によりフープ38(8)(FOUP(Front Opening Unified Pod))を吊り上げて一方向に走行しフープ38(8)を搬送する。キャリアの一例としてフープ(FOUP)で説明する。
レール9は、工場の天井から吊り下げるなどして設置される。キャリア搬送手段がRGVの場合は、レール(軌道)は、工場の床などに設置される。
ロードポート6は、その載置台61の上に載置されたフープ8の蓋83(図2参照)を開閉するための装置である。ロードポート6の前面側に載置台61が設けられている。ロードポート6の後面側には、半導体基板などを処理するためのプロセス装置(不図示)が配置される。
キャリア移載促進装置1は、仮置台2と、キャリア移載台車3と、仮置台2およびキャリア移載台車3を支持する支持部材4と、キャリア移載台車3の動作を制御するコントローラ5(移載台車制御手段)とを具備してなる。
仮置台2は、その上にフープ8が仮置きされる台である。仮置台2は、支持部材4の脚部材42の側面に取り付けられるブラケット21と、ブラケット21の上面に固定された台座22とを具備してなる。本実施形態において、仮置台2は、載置台61(ロードポート6)よりもフープ8の搬送方向下流側に配置されている。
キャリア移載台車3は、ロードポート6の載置台61および仮置台2の上方を水平方向に走行し且つフープ8を昇降させて載置台61と仮置台2との間でフープ8の移載を行うためのものである。
支持部材4は、水平方向に配置されその上面をキャリア移載台車3が走行する走行レール41と、走行レール41の端から鉛直下向きに延在するように設けられた4本の脚部材42とを具備してなる。図2に示したように、走行レール41は、並行して配置された2本のレール部材41aと、レール部材41a同士を連結する2本の連結部材41bとで構成される。2本のレール部材41a同士の間隔は、レール部材41a同士の間を昇降するフープ8がレール部材41aに干渉しない寸法とされる。同様に、フープ8の昇降中においてフープ8と連結部材41bとが接触しないように、連結部材41bの位置は、フープ8の鉛直上方を避けた位置とされる。
コントローラ5は、載置台61または仮置台2とOHT7との間でのフープ8の受け渡し中において、キャリア移載台車3とフープ8との接触を回避するようにキャリア移載台車3の動作を制御する移載台車制御部を内部に有するものである。ここで、移載台車制御部とは、例えば、コントローラに組み込まれたマイコンのプログラム部のことをいう。コントローラ5は、仮置台2の下方空間に配置され、支持部材4の脚部材42の側面に取り付けられている。
次に、図3〜図6に基づき、キャリア移載促進装置1を利用したフープ8の搬送フローの一例について説明しつつ、コントローラ5(移載台車制御部)によるキャリア移載台車3の制御について説明する。なお、以下に説明するキャリア移載台車3の動きが、コントローラ5に組み込まれた移載台車制御部により実現される。
ロードポート6の載置台61の上にOHT7がフープ8を載置しようとする場合、コントローラ5からの信号により、キャリア移載台車3は、載置台61の上方位置を避けた位置に退避する(ステップ(1))。本実施形態では、仮置台2の上方位置にキャリア移載台車3を退避させている。
フープ8を保持した状態のOHT7が、ロードポート6の載置台61の上方位置まで走行してくる(ステップ(2))。ロードポート6の載置台61の上方位置にOHT7が到着すると、OHT7は載置台61の上にフープ8を降ろす(ステップ(3))。
次に、図4に示したように、OHT7は、そのホイスト部71を引き上げた後、仮置台2の上方位置まで走行を開始する(ステップ(4))。一方、OHT7が走行を開始したこと、または載置台61の上方のキャリア移載台車3の走行空間にホイスト部71がないことを条件に、キャリア移載台車3は、コントローラ5により制御され、仮置台2の上方位置から載置台61の上方位置へ向かって移動する(ステップ(5))。
キャリア移載台車3が載置台61の上方位置に到着すると、プロセス装置などにより半導体基板などが処理されて処理済の半導体基板などを収納した状態のフープ8(処理済のフープ8)となるまで、コントローラ5によりキャリア移載台車3は載置台61の上方位置で待機する。
図7を参照しつつ、第1実施形態に係るキャリア移載促進装置1の変形例について説明する。なお、本変形例に係るキャリア移載促進装置101の説明においては、第1実施形態に係るキャリア移載促進装置1との相違について主に説明する。また、図7において、仮置台2およびコントローラ5の図示を省略している。
次に、図8を参照しつつ、第2実施形態に係るキャリア移載促進装置201について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第1実施形態との相違について主に説明する。
次に、図9を参照しつつ、第3実施形態に係るキャリア移載促進装置301について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第1実施形態との相違について主に説明する。
2:仮置台
3:キャリア移載台車
4:支持部材
5:コントローラ
6:ロードポート
7:OHT(キャリア搬送手段)
8:フープ(キャリア)
61:載置台
Claims (5)
- 天井側に配置されたレールに沿って走行自在でかつフープを支持するホイスト部を昇降自在に備えて、床側に設けられたロードポートとの間でフープを移載自在なOHTよりも下方に配置され、前記ロードポートに対して移載されるフープを仮置きする仮置台が設けられたキャリア移載促進装置であって、
前記仮置台が前記OHTの走行方向で前記ロードポートと異なる位置に配置され、
前記OHTが、前記ロードポートと上下方向に重なる位置に設定されたロードポート用停止位置に停止した状態で前記ホイスト部を昇降させることで前記ロードポートに対してフープを移載自在に構成され、かつ、前記仮置台と上下方向に重なる位置に設定された仮置台用停止位置に停止した状態で前記ホイスト部を昇降させることで前記仮置台に対してフープを移載自在に構成され、
フープを支持するリフトを昇降自在に備えて前記仮置台との間及び前記ロードポートとの間でフープを移載自在なキャリア移載台車が、前記OHT及び前記ロードポートと上下に重なる状態で、かつ、前記ロードポートとの間でフープを移載するロードポート用移載位置、前記仮置台との間でフープを移載する仮置台用移載位置、前記OHTが前記ロードポートとの間でフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープとの干渉を回避する授受時退避位置、及び、前記OHTが前記仮置台との間でフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープとの干渉を回避する仮置き時退避位置に亘って、前記ロードポートと前記OHTとの間の高さにおいて前記走行方向に沿って移動自在に設けられ、
前記キャリア移載台車の前記走行方向に沿う移動を案内する走行レールを有し、前記キャリア移載台車を支持する支持部材が設けられ、
前記走行レールは、前記ロードポート用停止位置及び前記仮置台用停止位置に停止した状態の前記OHTがフープを移載するときに前記ホイスト部及びフープが上下方向に通過可能な空間を形成するように構成されているキャリア移載促進装置。 - 前記走行レールが、フープを支持している前記ホイスト部が上下方向に通過自在な間隙を形成する状態で前記キャリア移載台車の横幅方向に間隔を隔てて配置された一対のレール部材にて構成されている請求項1に記載のキャリア移載促進装置。
- 前記ロードポート用移載位置及び前記仮置台用移載位置が前記走行方向で隣接する状態で設定され、
前記キャリア移載台車の移動作動を制御するコントローラが、
前記OHTが前記ロードポートとの間でフープを移載するときには前記キャリア移載台車を前記授受時退避位置として前記仮置台用移載位置にて待機させ、かつ、
前記OHTが前記仮置台との間でフープを移載するときには前記キャリア移載台車を前記仮置き時退避位置として前記ロードポート用移載位置にて待機させるべく、前記キャリア移載台車の移動作動を制御するように構成されている請求項1又は2に記載のキャリア移載促進装置。 - 前記キャリア移載台車が、前記リフトにてフープを吊り下げ支持自在に構成され、
前記仮置台は、支持しているフープの上端が前記キャリア移載台車における前記リフトにて支持されているフープの下端よりも下方に位置するようにフープを載置支持自在に構成されている請求項3に記載のキャリア移載促進装置。 - 前記ロードポート用移載位置が前記走行方向に沿って並ぶ状態で複数設定され、
前記仮置台が、前記複数のロードポート用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に対応して設けられ、
前記仮置台用移載位置が、前記複数のロードポート用移載位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定され、
前記ロードポート用停止位置が、前記走行方向に沿って並ぶ状態で前記複数のロードポート用移載位置と上下に重なる状態で複数設定され、
前記仮置台用停止位置が、前記複数のロードポート用停止位置の前記走行方向で一方側及び他方側の双方に設定されている請求項1〜4のいずれかに記載のキャリア移載促進装置。
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