JP5713096B2 - キャリア移載促進装置 - Google Patents
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Description
キャリア搬送システム50およびキャリア移載促進装置1の構成について、図1、2を参照しつつ説明する。図1に示すように、キャリア搬送システム50は、工場内の天井側を走行するOHT7(Overhead Hoist Transfer天井走行式無人搬送車)と、OHT7が走行するレール9(軌道)と、レール9の下方に設置されたロードポート6と、ロードポート6に対して設けられたキャリア移載促進装置1とを備えている。
OHT7は、後述するキャリア移載台車3よりも上方を走行するキャリア搬送手段であり、ベルト駆動で上下するホイスト部71を有する。OHT7は、ホイスト部71によりフープ38(8)(FOUP(Front Opening Unified Pod))を吊り上げて一方向に走行しフープ38(8)を搬送する。キャリアの一例としてフープ(FOUP)で説明する。
レール9は、工場の天井から吊り下げるなどして設置される。キャリア搬送手段がRGVの場合は、レール(軌道)は、工場の床などに設置される。
ロードポート6は、その載置台61の上に載置されたフープ8の蓋83(図2参照)を開閉するための装置である。ロードポート6の前面側に載置台61が設けられている。ロードポート6の後面側には、半導体基板などを処理するためのプロセス装置(不図示)が配置される。
キャリア移載促進装置1は、仮置台2と、キャリア移載台車3と、仮置台2およびキャリア移載台車3を支持する支持部材4と、キャリア移載台車3の動作を制御するコントローラ5(移載台車制御手段)とを具備してなる。
仮置台2は、その上にフープ8が仮置きされる台である。仮置台2は、支持部材4の脚部材42の側面に取り付けられるブラケット21と、ブラケット21の上面に固定された台座22とを具備してなる。本実施形態において、仮置台2は、載置台61(ロードポート6)よりもフープ8の搬送方向下流側に配置されている。
キャリア移載台車3は、ロードポート6の載置台61および仮置台2の上方を水平方向に走行し且つフープ8を昇降させて載置台61と仮置台2との間でフープ8の移載を行うためのものである。
支持部材4は、水平方向に配置されその上面をキャリア移載台車3が走行する走行レール41と、走行レール41の端から鉛直下向きに延在するように設けられた4本の脚部材42とを具備してなる。図2に示したように、走行レール41は、並行して配置された2本のレール部材41aと、レール部材41a同士を連結する2本の連結部材41bとで構成される。2本のレール部材41a同士の間隔は、レール部材41a同士の間を昇降するフープ8がレール部材41aに干渉しない寸法とされる。同様に、フープ8の昇降中においてフープ8と連結部材41bとが接触しないように、連結部材41bの位置は、フープ8の鉛直上方を避けた位置とされる。
コントローラ5は、載置台61または仮置台2とOHT7との間でのフープ8の受け渡し中において、キャリア移載台車3とフープ8との接触を回避するようにキャリア移載台車3の動作を制御する移載台車制御部を内部に有するものである。ここで、移載台車制御部とは、例えば、コントローラに組み込まれたマイコンのプログラム部のことをいう。コントローラ5は、仮置台2の下方空間に配置され、支持部材4の脚部材42の側面に取り付けられている。
次に、図3〜図6に基づき、キャリア移載促進装置1を利用したフープ8の搬送フローの一例について説明しつつ、コントローラ5(移載台車制御部)によるキャリア移載台車3の制御について説明する。なお、以下に説明するキャリア移載台車3の動きが、コントローラ5に組み込まれた移載台車制御部により実現される。
ロードポート6の載置台61の上にOHT7がフープ8を載置しようとする場合、コントローラ5からの信号により、キャリア移載台車3は、載置台61の上方位置を避けた位置に退避する(ステップ(1))。本実施形態では、仮置台2の上方位置にキャリア移載台車3を退避させている。
フープ8を保持した状態のOHT7が、ロードポート6の載置台61の上方位置まで走行してくる(ステップ(2))。ロードポート6の載置台61の上方位置にOHT7が到着すると、OHT7は載置台61の上にフープ8を降ろす(ステップ(3))。
次に、図4に示したように、OHT7は、そのホイスト部71を引き上げた後、仮置台2の上方位置まで走行を開始する(ステップ(4))。一方、OHT7が走行を開始したこと、または載置台61の上方のキャリア移載台車3の走行空間にホイスト部71がないことを条件に、キャリア移載台車3は、コントローラ5により制御され、仮置台2の上方位置から載置台61の上方位置へ向かって移動する(ステップ(5))。
キャリア移載台車3が載置台61の上方位置に到着すると、プロセス装置などにより半導体基板などが処理されて処理済の半導体基板などを収納した状態のフープ8(処理済のフープ8)となるまで、コントローラ5によりキャリア移載台車3は載置台61の上方位置で待機する。
図7を参照しつつ、第1実施形態に係るキャリア移載促進装置1の変形例について説明する。なお、本変形例に係るキャリア移載促進装置101の説明においては、第1実施形態に係るキャリア移載促進装置1との相違について主に説明する。また、図7において、仮置台2およびコントローラ5の図示を省略している。
次に、図8を参照しつつ、第2実施形態に係るキャリア移載促進装置201について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第1実施形態との相違について主に説明する。
次に、図9を参照しつつ、第3実施形態に係るキャリア移載促進装置301について説明する。なお、本実施形態の説明においては、第1実施形態との相違について主に説明する。
2:仮置台
3:キャリア移載台車
4:支持部材
5:コントローラ
6:ロードポート
7:OHT(キャリア搬送手段)
8:フープ(キャリア)
61:載置台
Claims (5)
- キャリア搬送手段により搬送されるキャリアが載置されるロードポートに対して設けられるキャリア移載促進装置であって、
前記ロードポートの載置台の上方を走行し且つキャリアを昇降させて当該載置台にキャリアの移載を行うキャリア移載台車と、
前記キャリア移載台車を支持する支持部材と、
前記キャリア搬送手段は、前記キャリア移載台車よりも上方を走行する搬送手段であり、
前記キャリア搬送手段により保持されているキャリアの下端部が、前記キャリア移載台車の上端部よりも高い、
ことを特徴とするキャリア移載促進装置。 - 前記支持部材は、前記キャリア移載台車の走行軸の始点側および終点側をそれぞれ支持する脚部材を有するとともに、前記ロードポート及び前記ロードポートが取付けられるプロセス装置とは別体に設けられており、
前記走行軸の下部に前記載置台が位置するよう前記支持部材を設置可能である請求項1に記載のキャリア移載促進装置。 - 前記脚部材の下端にキャスターが取り付けられている請求項2に記載のキャリア移載促進装置。
- 前記走行軸は2本の走行レールを有して構成され、前記2本の走行レール上を前記キャリア移載台車が走行する請求項2または3に記載のキャリア移載促進装置。
- 前記2本の走行レールは、キャリアが通過可能な間隔を空けて配置されている請求項4に記載のキャリア移載促進装置。
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