JP5928926B2 - 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法 - Google Patents

搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5928926B2
JP5928926B2 JP2014519883A JP2014519883A JP5928926B2 JP 5928926 B2 JP5928926 B2 JP 5928926B2 JP 2014519883 A JP2014519883 A JP 2014519883A JP 2014519883 A JP2014519883 A JP 2014519883A JP 5928926 B2 JP5928926 B2 JP 5928926B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
local
traveling vehicle
overhead traveling
transfer
communication terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014519883A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2013183384A1 (ja
Inventor
達司 太田
達司 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to JP2014519883A priority Critical patent/JP5928926B2/ja
Publication of JPWO2013183384A1 publication Critical patent/JPWO2013183384A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5928926B2 publication Critical patent/JP5928926B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying

Description

この発明は搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法に関し、特に天井走行車とローカル台車とバッファ及びロードポートを備えた搬送システムでの、排他制御に関する。
発明者は、天井走行車の走行レールの直下でかつロードポートの直上にローカル台車の軌道を配置すると共に、ロードポートの直上部を除いてローカル台車の軌道の直下にバッファを配置する搬送システムを提案した(特許文献1:EP2450297A)。このシステムでは、ローカル台車がロードポートへ物品を搬出入するので、天井走行車が到着するのを待たずにロードポートから物品を搬出入できる。そして例えば天井走行車はバッファとの間で物品を搬出入し、ローカル台車はバッファとロードポートとの間で物品を搬出入する。特許文献2(JP2011-207621A)も類似のシステムを提案している。
バッファに関して他の先行技術を説明する。特許文献3(US2011/31091A)は、棚の間口を上下に配列し、エレベータに搭載したドーリー台車を間口に出入りさせるようにしたバッファを開示している。天井走行車が物品を搬出入できるように、このバッファをロードポートの付近に配置し、数個の物品を保管する。このようにすると、処理装置が必要とする物品を予めバッファまで搬入しておくことができる。特許文献4(JP2009-62153A)は、バッファ内に昇降自在なレールを設け、レールに沿ってフォークを備えた台車を走行させることを開示している。このバッファでは、上下に棚の間口を配列し、レールの昇降と台車の走行とにより、棚へ物品を搬出入できる。特許文献4も、このバッファを天井走行車システムに接続して、ロードポートの付近に配置することを開示している。
EP2450297A JP2011-207621A US2011/31091A JP2009-62153A
特許文献1,2のシステムでは、天井走行車とローカル台車が共に同じバッファ、あるいは共に同じロードポートにアクセスする。この場合、バッファ等に物品を荷下ろししても良いか、あるいはバッファ等から物品を荷積みしても良いかの確認と、天井走行車から下降する昇降台及び物品がローカル台車と干渉しないかの確認が必要である。後者を確認するには、天井走行車とローカル台車が同じ位置で移載を行わず、かつ天井走行車が移載中の位置の直下へローカル台車が進入しないことを、保証する必要がある。また移載時の通信は、Semi Standard E84等の規格に準拠していることが必要である。なおSemi Standard E84は、処理装置と天井走行車等の間で物品を移載する際の通信手順を定める規格である。
この発明の課題は、天井走行車とローカル台車がバッファ等との間で移載する際に、天井走行車とローカル台車が手順に従って移載時の通信ができ、かつ天井走行車とローカル台車間の干渉を確実に回避できるようにすることにある。
この発明の搬送システムは、天井走行車の軌道の直下にローカル台車の軌道が設けられ、天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する搬送システムであって、
ロードポートの直上方を通過する天井走行車の軌道と、
ロードポートの直上方を通過し、かつ前記天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
天井走行車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備える天井走行車と、
ローカル台車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備えるローカル台車と、
天井走行車とローカル台車とが共に物品を移載自在で、物品を載置するバッファと、
前記ローカル台車を制御するローカルコントローラと、
ロードポート及びバッファに対する、天井走行車及びローカル台車の物品の移載を排他的に制御する排他制御機構とを備え、
天井走行車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎に天井走行車用通信端末が設けられ、
ローカル台車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎にローカル台車用通信端末が設けられ、
天井走行車及びローカル台車は、前記バッファ及び前記ロードポートを移載先として物品を移載する際に、移載前に、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末と、前記排他制御機構とを介して、前記ローカルコントローラへ移載要求信号を送出し、かつ前記ローカルコントローラから前記排他制御機構と、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末とを介して、移載確認信号を受信した後に、移載先との間で移載を実行するように構成され、
前記排他制御機構は、同じ移載先への停止位置に設けられている、天井走行車用通信端末及びローカル台車用通信端末の内の、一方の通信端末と前記ローカルコントローラとの通信を可能にし、他方の通信端末とローカルコントローラとの通信を不可とするように構成されている、ことを特徴とする搬送システム。
この発明の搬送車システムでの排他制御方法は、
ロードポートの直上方を通過する天井走行車の軌道と、
ロードポートの直上方を通過し、かつ前記天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
天井走行車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備える天井走行車と、
ローカル台車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備えるローカル台車と、
天井走行車とローカル台車とが共に物品を移載自在で、物品を載置するバッファとを備え、かつ
天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する搬送システムのために、
前記ローカル台車を制御するローカルコントローラと、
ロードポート及びバッファに対する、天井走行車及びローカル台車による、物品の移載を排他制御する排他制御機構が設けられ、
天井走行車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎に天井走行車用通信端末が設けられ、
ローカル台車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎にローカル台車用通信端末が設けられ、
天井走行車及びローカル台車は、前記バッファ及び前記ロードポートを移載先として物品を移載する際に、移載前に、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末と、前記排他制御機構とを介して、前記ローカルコントローラへ移載要求信号を送出し、かつ前記ローカルコントローラから前記排他制御機構と、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末とを介して、移載確認信号を受信した後に、移載先との間で移載を実行し、
前記排他制御機構は、同じ移載先への停止位置に設けられている、天井走行車用通信端末及びローカル台車用通信端末の内の、一方の通信端末と前記ローカルコントローラとの通信を可能にし、他方の通信端末とローカルコントローラとの通信を不可とするように排他制御する。
天井走行車のための移載要求信号と、ローカル台車のための移載要求信号との一方のみに対して移載確認信号が送出されるように排他制御するので、天井走行車とローカル台車が同じ移載先に同時に移載することがない。従って移載に関する干渉を排除できる。またローカル台車が停止している位置と走行する範囲とに対して、天井走行車のための移載要求信号に対して移載確認信号が送出されないように排他制御するので、ローカル台車が停止している位置及び走行する範囲に対して、天井走行車が移載のために昇降台等を下降させることがない。従って天井走行車の移載がローカル台車の停止及び走行と干渉することがない。なおこの明細書において、搬送車システムに関する記載は、そのまま搬送車システムでの排他制御方法にも当てはまる。
また移載前に移載要求信号の送出と移載確認信号の受信とを行うので、バッファあるいはロードポートに移載の準備ができているかを確認して、移載を実行できる。
好ましくは、天井走行車のための移載要求信号の通信と、ローカル台車のための移載要求信号の通信の一方にのみ優先権を認めることにより、前記排他制御機構が前記排他制御を行うことを特徴とする。優先権は、例えば天井走行車のための移載要求信号の通信と、ローカル台車のための移載要求信号の通信の一方にのみ通信を認めることにより実現される。このようにすると通信の優先権、例えば通信の可否により、簡単かつ確実に排他制御を実現できる。
好ましくは、天井走行車の軌道に沿って停止位置毎に通信端末が設けられ、ローカル台車の軌道に沿って停止位置毎に通信端末が設けられ、優先権が認められている側の通信端末のみを天井走行車あるいはローカル台車との間で通信可能にするように、前記排他制御機構が構成されている。天井走行車を代位するコントローラ、あるいはローカル台車を代位するコントローラにより通信を行っても良いが、天井走行車及びローカル台車が直接移載要求信号を送出する方が、より確実に移載前の通信を実行できる。なおローカル台車をローカル台車コントローラにより制御する場合、優先権の取得はローカル台車からの通信によっても、ローカル台車コントローラからの通信によっても良い。
また好ましくは、前記優先権をデフォールトで天井走行車のための通信に与えられ、天井走行車のための移載のための通信が行われていないことを条件に、要求に応じてローカル台車のために優先権を移すように、前記排他制御機構が構成されている。このようにすると不定期に到着する天井走行車を優先するので、天井走行車の移載作業を待機させることが少なく、かつ天井走行車が移載する場合を除き、ローカル台車の走行と移載等を待機させることがない。
好ましくは、ローカル台車のための優先権が、ローカル台車が停止する位置及び走行する範囲に対して要求されるように構成されている。このようにするとローカル台車は優先権が有る位置に対してしか停止も走行もできず、天井走行車とローカル台車の干渉を確実に回避できる。
実施例の搬送システムの要部側面図 図1からバッファの高さレベルを変えた変形例の搬送システムの要部側面図 実施例の搬送システムの要部平面図 変形例の搬送システムの要部平面図 ローカル台車の側面図 ローカル台車及び天井走行車と地上側との通信に関する構成を示すブロック図 ローカル台車及び天井走行車の通信に関する状態の推移を示す図で、1)はローカル台車が位置bに停止している状態を、2)はローカル台車が位置bから位置eまで走行するための状態を、3)はローカル台車が位置eで移載前の通信を行うための状態を、4)はローカル台車が位置eで移載中で、天井走行車が位置bで移載前の通信を行うための状態を、5)はローカル台車が位置eで停止し、天井走行車が位置bで移載中の状態を、6)は天井走行車が移動し、ローカル台車が位置eで停止中の状態を示す。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
搬送システムの構造
図1〜図7に実施例の搬送システムを示し、図1〜図5は搬送システムの物理的構造を示し、図6,図7は天井走行車2及びローカル台車4が物品を移載する際の通信を示す。各図において、天井走行車2は例えば半導体工場内でFOUP等の物品24を搬送し、ローカル台車4は、1個あるいは複数個の処理装置12に対して、物品24の供給と搬出とを行う。6は天井走行車の軌道で、走行レールと給電レールとから成り、8はローカル台車4の軌道で、図3などに示す一対のレール9,9から成る。また処理装置12は1個〜複数個のロードポート14を備えている。16はクリーンルームなどの天井で、支柱17〜19により、軌道6,8とバッファ10とが支持されている。
バッファ10は仮置きされた物品24を支持し、軌道8の直下に軌道8と平行に配置されている。図1の配置では、ローカル台車4は、物品24が仮置きされているバッファ10の上部を、物品24を搬送していない場合は通過でき、物品24を搬送している場合は通過できない。これに対して図2の配置では、バッファ10の高さレベルを下げてバッファ11とし、物品24が仮置きされているバッファ11の上部を、物品24を搬送しているローカル台車4が通過できるようにしてある。高さレベルが低い点を除いて、バッファ11はバッファ10と同一である。
天井走行車の軌道6が最も高い位置にあり、その直下にローカル台車の軌道8があり、軌道6,8の直下にバッファ10,11があり、ロードポート14は軌道6,8の直下にある。バッファ10,11とロードポート14とが高さ方向に沿って重なるように配置するため、レール9,9の間隔は物品24の奥行きよりも広く、また物品が24が鉛直方向に通過するための隙間30をバッファ10,11に設ける。なおロードポート14と高さ方向に沿って重なる位置を避けるように、バッファ10,11を設けても良い。
例えばローカル台車の軌道8にローカルコントローラ20を設置し、ローカル台車4を制御すると共に、バッファ10,11上の在庫物品を管理し、かつ処理装置12と通信する。22はゲートウェイで、上下に重なる位置では天井走行車2とローカル台車4の一方のみが物品の移載のための通信を行えるようにする。また軌道8に沿ったローカル台車4の停止位置毎に図示しない充電装置があり、ローカル台車4の蓄電器を充電する。蓄電器とは、例えばリチウムイオンバッテリ等の2次電池、あるいは電気二重層キャパシタのことである。充電装置とローカルコントローラ20,ゲートウェイ22へは、支柱18等に沿って図示しない配線が接続されている。そしてローカルコントローラ20は、上位の物流コントローラ及び処理装置12と通信する。
天井走行車2は例えば前後に落下防止カバー25,25を備え、昇降台26を図示しないホイスト本体により昇降させて、鉛直方向に沿って物品24を移載する。天井走行車2にはこれ以外に、物品24を横送りするための横送り機構等を設けてもよい。
処理装置12はここでは加工装置の他に検査装置も含むものとし、処理装置12の前面にはロードポート14が設けられ、ロードポート14との間で、天井走行車2、ローカル台車4、及び地上を移動する人が物品24を受け渡しする。処理装置12の前面にはロードポート14の他に、ディスプレイ28と操作パネル29などが設けられ、処理装置12の稼働状況を監視し、かつ人手で処理装置12を制御できるようにする。
ローカル台車の軌道8は一対のレール9,9から成り、レール9,9間の幅D(図3)は物品24の奥行きよりも大きく、物品24は昇降台26と共にレール9,9間の隙間を鉛直方向に通過できる。さらにバッファ10,11では、ロードポート14,14の上部に隙間を設け、同様に物品24がバッファ10,11を鉛直方向に通過できるようにする。あるいはまた、ロードポート14の直上部を外すようにバッファ10,11を配置する。これらのため、軌道6,8とロードポート14とが鉛直方向に重るように配置しても、天井走行車2はロードポート14及びバッファ10,11に対して物品の受け渡しができる。同様にローカル台車4はバッファ10,11及びロードポート14に対し、物品の受け渡しができる。従って平面視で搬送システムが占める床面積を最小にできる。
ローカル台車の軌道8の直下のバッファ10等のみではバッファの容量が不足する場合、図4のように、追加のバッファ32を設けて、支柱34で天井などから支持してもよい。この場合、追加のバッファ32は例えばバッファ10等と高さ位置を揃えて配置し、天井走行車2及びローカル台車4にホイスト本体を横送りする機構などを設ける。追加のバッファ32も、実施例の排他制御の対象とする。
図5はローカル台車4の構造を示し、40は走行モータで、走行車輪41などによりレール9,9上を走行する。42はホイスト本体で、吊持材43を巻き取りあるいは繰り出すことにより、昇降台27により支持された物品24を昇降させる。45はバッテリ、46はコネクタで、充電装置によるバッテリ45の充電を行う。
通信と排他制御
天井走行車2及びローカル台車4は、バッファ10,11及びロードポート14との移載に際して、Semi Standard E84に準拠した通信を行う。この通信をE84通信と呼び、この手順では、移載前に天井走行車2あるいはローカル台車4から地上側へ移載要求信号を送信し、地上側から移載確認信号を受け取った後に移載を開始し、移載中は通信を維持し、移載完了後に移載完了信号とその確認信号を交換して、通信を終了する。なお移載時の通信に関する規格の種類は任意である。同じバッファあるいは同じロードポートへ、天井走行車2とローカル台車4とが同時に移載しようとすると干渉するので、ゲートウェイ22で排他制御を行う。また天井走行車2が移載中の位置の下部をローカル台車4が走行すると、天井走行車2から下降している昇降台及び物品とローカル台車4が干渉する可能性がある。そこで天井走行車2の移載とローカル台車4の走行との間でも、排他制御を行う。これらの排他制御を確実に行うための構成を図6に、通信手順を図7に示す。
例えば軌道6に沿って天井走行車2の停止位置毎に光通信端末50a〜50fが設けられ、天井走行車2の光通信端末54と通信する。同様に軌道8に沿ってローカル台車4の停止位置毎に、光通信端末52a〜52fが設けられ、ローカル台車4の光通信端末56と通信する。光通信端末50a〜50fは例えばカスケード接続されてゲートウェイ22に接続され、同様に光通信端末52a〜52fも例えばカスケード接続されてゲートウェイ22に接続されている。なおa〜fはバッファあるいはロードポートの位置を表し、同じ記号は上下に重なる位置を示し、例えば位置a,b,e,fはバッファとの移載のための位置で、位置c,dはロードポートとの移載のための位置である。光通信端末50a〜50f,52a〜52fは無線通信端末でも良い。
ゲートウェイ22は上下同じ位置の光通信端末、例えば端末50a,52aの間での、通信の優先権を管理する。その結果、優先権の無い端末とは天井走行車2,ローカル台車4は通信ができず、優先権の有る端末とのみ天井走行車2,ローカル台車4が通信できる。ゲートウェイ22は、上下同じ位置の光通信端末に対して、上下一方の端末を通信可とし、他方を通信不可とする排他制御機構で、Exclusive OR論理で動作する。なおここでは通信の可否により優先権を表すが、上下一方の端末のみがE84通信を開始できるようにする排他制御であれば良い。またゲートウェイ22は物理的にはローカルコントローラ20の一部でも良い。
バッファ10との移載に関するE84通信はローカルコントローラ20へ転送され、ロードポート14との移載に関するE84通信はローカルコントローラ20を介して処理装置12へ転送される。また天井走行車2及びローカルコントローラ20のいずれからの通信要求も無い場合、天井走行車2側の光通信端末50a〜50fが通信可で、ローカル台車4側の光通信端末52a〜52fは通信不可である。ローカル台車4が停止する位置及び走行を要求する範囲について、ローカル台車4を代位してローカルコントローラ20が通信の優先権を要求し、天井走行車2がE84通信を要求していない場合は、ゲートウェイ22はローカルコントローラ20からの要求を認めて、ローカル台車4に通信の優先権を与える。
図7に通信の例を示し、信号の上の位置は天井走行車に通信の優先権がある状態を、下の位置はローカル台車に通信の優先権がある状態を示し、a〜fは位置を示す。最初の1)ではローカル台車が位置bに停止中で、位置bではローカル台車に通信の優先権があり、他の位置では天井走行車に優先権がある。ローカルコントローラが、ローカル台車を位置eまで走行させて移載を行わせるとする。すると天井走行車の移載と干渉しないように、位置b〜eに対する優先権をローカルコントローラが要求する。天井走行車がこれらの位置で通信を行っていない場合、2)に示すように、ゲートウェイは位置b〜eへの優先権をローカル台車に与える。
ローカル台車が走行済みの位置の優先権を、ローカルコントローラからゲートウェイへの通信により放棄し、ローカル台車は位置eで停止して、3)のようにE84通信を開始する。この間に位置eの上部を天井走行車が通行することは差し支えが無く、天井走行車が例えば位置bに停止して、E84通信を開始したとする。またこの時、ローカル台車は移載開始前の通信を完了して移載を実行中であり、4)に示すようにE84通信を継続しているものとする。5)でローカル台車は移載とE84通信を完了しているが、優先権の放棄をローカルコントローラから通知していないので、位置eでの優先権を維持している。従って他の天井走行車が位置eでE84通信を開始することはできない。なおこの時、天井走行車は移載を実行中でE84通信も継続しているものとする。6)で天井走行車は移載を完了して位置bから移動し、通信の優先権はローカル台車が停止している位置eを除き、天井走行車側にある。
以上の手順によると、ローカル台車が優先権を取得済みの位置を除き、天井走行車は任意の位置でE84通信の開始を要求できる。天井走行車は不定期に到着するが、到着した位置に対する優先権をローカル台車が取得済みの場合を除き、E84通信を開始できる。同じ位置で天井走行車とローカル台車が同時にE84通信を要求することができず、かつ天井走行車がE84通信を要求している位置の直下へローカル台車が進入することができない。これらのため、天井走行車とローカル台車が同時に同じ位置で移載を開始しようとすることがない。また天井走行車が移載を行う位置の直下へ、ローカル台車が進入することがない。さらに天井走行車がE84通信を要求していない限り、ローカル台車は通信の優先権を取得することにより、走行と停止及び移載が可能である。
図1〜図5のバッファとローカル台車の配置は、例に過ぎない。例えば特許文献3,4に記載のバッファを処理装置の付近に配置し、実施例のローカル台車と天井走行車が上下に重なった軌道を走行し、共にバッファとロードポートとの間で移載できるようにしても良い。この場合も、バッファへのアクセスとロードポートへのアクセス(移載)について、天井走行車とローカル台車の競合が生じるので、図6,図7と同様の排他制御が必要である。なお天井走行車はバッファとのみ移載でき、ロードポートとバッファ間の搬送をローカル台車のみが行う場合、ロードポートに対しては、図6,図7の排他制御を行っても行わなくても良い。
天井走行車2とローカルコントローラ20が、これまでに説明した光通信端末50a〜50f以外に、図示しない搬送システムのコントローラとLANを介しても、通信できるようにしても良い。このようにすると、以下のことができる。天井走行車2がバッファ10,11,ロードポート14との間で物品を移載しようとする場合、天井走行車2がバッファ10等に接近すると、自己の位置を搬送システムのコントローラへ通信する。搬送システムのコントローラは、天井走行車2が物品を移載する位置をローカルコントローラ20へ通知し、ローカルコントローラ20はローカル台車4を事前にその位置から退避させておく。また仮に、天井走行車2が到着した際にローカル台車4がその位置で停止していると、天井走行車2は、搬送システムのコントローラを介して、ローカルコントローラ20へローカル台車4を退避させることを要求する。そして退避後に、天井走行車2は光通信端末50a〜50fを介してゲートウェイ22へ移載要求信号を送出する。
2 天井走行車 4 ローカル台車 6 天井走行車の軌道
8 ローカル台車の軌道 9 レール 10,11 バッファ
12 処理装置 14 ロードポート 16 天井
17〜19 支柱 20 ローカルコントローラ
22 ゲートウェイ 24 物品 25 落下防止カバー
26,27 昇降台 28 ディスプレイ 29 操作パネル
30 隙間 32 バッファ 34 支柱 40 走行モータ
41 走行車輪 42 ホイスト本体 43 吊持材
45 バッテリ 46 コネクタ 50〜56 光通信端末
e〜f 位置

Claims (4)

  1. 天井走行車の軌道の直下にローカル台車の軌道が設けられ、天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する搬送システムであって、
    ロードポートの直上方を通過する天井走行車の軌道と、
    ロードポートの直上方を通過し、かつ前記天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
    天井走行車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備える天井走行車と、
    ローカル台車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備えるローカル台車と、
    天井走行車とローカル台車とが共に物品を移載自在で、物品を載置するバッファと、
    前記ローカル台車を制御するローカルコントローラと、
    ロードポート及びバッファに対する、天井走行車及びローカル台車の物品の移載を排他的に制御する排他制御機構とを備え、
    天井走行車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎に天井走行車用通信端末が設けられ、
    ローカル台車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎にローカル台車用通信端末が設けられ、
    天井走行車及びローカル台車は、前記バッファ及び前記ロードポートを移載先として物品を移載する際に、移載前に、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末と、前記排他制御機構とを介して、前記ローカルコントローラへ移載要求信号を送出し、かつ前記ローカルコントローラから前記排他制御機構と、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末とを介して、移載確認信号を受信した後に、移載先との間で移載を実行するように構成され、
    前記排他制御機構は、同じ移載先への停止位置に設けられている、天井走行車用通信端末及びローカル台車用通信端末の内の、一方の通信端末と前記ローカルコントローラとの通信を可能にし、他方の通信端末とローカルコントローラとの通信を不可とするように構成されている、ことを特徴とする搬送システム。
  2. 同じ移載先へ物品を移載するための通信が前記天井走行車により行われていないことを条件に、前記ローカル台車の軌道に沿って設けられた通信端末とローカルコントローラとの通信を可能にするように、前記排他制御機構が構成されていることを特徴とする、請求項1の搬送システム。
  3. ローカル台車が物品を移載するために停止する位置及び前記物品を移載するために停止するまでに走行する範囲に対して、前記ローカル台車の軌道に沿って設けられた通信端末とローカルコントローラとの通信を可能にするように、前記排他制御機構が構成されていることを特徴とする、請求項2の搬送システム。
  4. ロードポートの直上方を通過する天井走行車の軌道と、
    ロードポートの直上方を通過し、かつ前記天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
    天井走行車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備える天井走行車と、
    ローカル台車の軌道を走行し、かつ物品の移載装置を備えるローカル台車と、
    天井走行車とローカル台車とが共に物品を移載自在で、物品を載置するバッファとを備え、かつ
    天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する搬送システムのために、
    前記ローカル台車を制御するローカルコントローラと、
    ロードポート及びバッファに対する、天井走行車及びローカル台車による、物品の移載を排他制御する排他制御機構が設けられ、
    天井走行車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎に天井走行車用通信端末が設けられ、
    ローカル台車の軌道に沿って、前記ロードポートまたは前記バッファへ物品を移載するための、停止位置毎にローカル台車用通信端末が設けられ、
    天井走行車及びローカル台車は、前記バッファ及び前記ロードポートを移載先として物品を移載する際に、移載前に、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末と、前記排他制御機構とを介して、前記ローカルコントローラへ移載要求信号を送出し、かつ前記ローカルコントローラから前記排他制御機構と、前記天井走行車用通信端末または前記ローカル台車用通信端末とを介して、移載確認信号を受信した後に、移載先との間で移載を実行し、
    前記排他制御機構は、同じ移載先への停止位置に設けられている、天井走行車用通信端末及びローカル台車用通信端末の内の、一方の通信端末と前記ローカルコントローラとの通信を可能にし、他方の通信端末とローカルコントローラとの通信を不可とするように排他制御する、搬送車システムでの排他制御方法。
JP2014519883A 2012-06-08 2013-04-26 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法 Active JP5928926B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014519883A JP5928926B2 (ja) 2012-06-08 2013-04-26 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012130512 2012-06-08
JP2012130512 2012-06-08
JP2014519883A JP5928926B2 (ja) 2012-06-08 2013-04-26 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
PCT/JP2013/062379 WO2013183384A1 (ja) 2012-06-08 2013-04-26 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2013183384A1 JPWO2013183384A1 (ja) 2016-01-28
JP5928926B2 true JP5928926B2 (ja) 2016-06-01

Family

ID=49711785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014519883A Active JP5928926B2 (ja) 2012-06-08 2013-04-26 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5928926B2 (ja)
TW (1) TW201410567A (ja)
WO (1) WO2013183384A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015194266A1 (ja) * 2014-06-19 2015-12-23 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置と保管方法
US10734267B2 (en) * 2015-08-14 2020-08-04 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
CN108349650B (zh) * 2015-12-08 2019-12-20 村田机械株式会社 输送系统
JP6428953B2 (ja) * 2015-12-08 2018-11-28 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
KR102227453B1 (ko) * 2016-11-14 2021-03-12 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 반송 시스템과 이에 이용하는 중계 반송 장치 및 반송 방법
CN115427329A (zh) * 2020-04-30 2022-12-02 村田机械株式会社 输送车系统
CN113998403B (zh) * 2020-07-28 2022-09-23 长鑫存储技术有限公司 转运系统及转运方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3433662B2 (ja) * 1997-12-24 2003-08-04 東海ゴム工業株式会社 無人走行車の運行制御方法及び無人走行車
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2013183384A1 (ja) 2016-01-28
WO2013183384A1 (ja) 2013-12-12
TW201410567A (zh) 2014-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5928926B2 (ja) 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
JP5229363B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP5382470B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
TWI671250B (zh) 搬運系統
JP6690497B2 (ja) 物品搬送設備
JP5445015B2 (ja) キャリア移載促進装置
JP4337683B2 (ja) 搬送システム
JP5648983B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
WO2013183376A1 (ja) 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法
JP6206748B2 (ja) キャリアの搬送システムと搬送方法
WO2014017222A1 (ja) 天井走行車システム及び天井走行車システムの制御方法
JP6493538B2 (ja) 搬送車システム
WO2015194264A1 (ja) キャリアの一時保管装置及び一時保管方法
JPWO2015194267A6 (ja) キャリアの搬送システムと搬送方法
JP5549757B2 (ja) 搬送システム
JP5729415B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP5713096B2 (ja) キャリア移載促進装置
JP2016189497A (ja) キャリア移載促進装置
JP5700107B2 (ja) キャリア搬送システム
JP6132165B2 (ja) 一時保管装置及び一時保管方法
JP2015046646A (ja) キャリア移載促進装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151029

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151211

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160401

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160414

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5928926

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250