TW201410567A - 搬送系統及搬送系統中之排他控制方法 - Google Patents

搬送系統及搬送系統中之排他控制方法 Download PDF

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Abstract

本發明之搬送車系統中之排他控制方法係於高架移行車及區域台車在與緩衝區等之間進行移載時，可使高架移行車與區域台車按照步驟進行移載時之通信，且可確實地回避高架移行車與區域台車間之干涉。於高架移行車之軌道之正下方設置區域台車之軌道，使高架移行車及區域台車在與相同之移載目的地之間移載物品。於交換移載要求信號與移載確認信號後，以在與移載目的地之間執行移載之方式，構成高架移行車及區域台車。以如下方式進行排他控制：僅對為了高架移行車之移載要求信號、與為了區域台車之移載要求信號中之一者發送移載確認信號，且針對區域台車停止之位置與移行之範圍，不對為了高架移行車之移載要求信號發送移載確認信號。

Description

搬送系統及搬送車系統中之排他控制方法
本發明係關於一種搬送系統及搬送車系統中之排他控制方法，特別是關於一種具備高架移行車、區域台車、緩衝區、及負載埠之搬送系統中之排他控制。
發明者係提出如下之搬送系統：於高架移行車之移行軌條之正下方且負載埠之正上方配置區域台車之軌道，並且在除了負載埠之正上方部以外之區域台車之軌道之正下方配置緩衝區(專利文獻1：EP2450297A)。由於在該系統中，區域台車對負載埠搬出搬入物品，因此可不等待高架移行車到達而自負載埠搬出搬入物品。而且，例如高架移行車係於與緩衝區之間搬出搬入物品，區域台車係於緩衝區與負載埠之間搬出搬入物品。專利文獻2(JP2011-207621A)亦提出有類似之系統。
關於緩衝區針對其他習知技術進行說明。專利文獻3(US2011/31091A)揭示有如下之緩衝區：上下地排列料架之橫寬，使搭載於升降機之滑板車自橫寬進出。以使高架移行車可搬出搬入物品之方式，將該緩衝區配置於負載埠之附近，用以保管多數個物品。如此一來，則可預先將處理裝置所需之物品搬入至緩衝區。專利文獻4(JP2009-62153A)揭示有如下之內容：於緩衝區內設置升降自如之軌條，使具備有叉桿之台車沿軌條移行。該緩衝區上下地排列料架之橫 寬，可藉由軌道之升降與台車之移行，對料架搬出搬入物品。專利文獻4亦揭示有如下之內容：將該緩衝區連接於高架移行車系統，並配置於負載埠之附近。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]EP2450297A
[專利文獻2]JP2011-207621A
[專利文獻3]US2011/31091A
[專利文獻4]JP2009-62153A
於專利文獻1、2之系統中，高架移行車及區域台車均對相同之緩衝區存取，或者均對相同之負載埠存取。於該情形時，必須進行如下之確認：是否可將物品卸載至緩衝區等、或是否可自緩衝區等裝載物品；自高架移行車下降之升降台及物品是否會與區域台車發生干涉。為了確認後者，必須保證如下之情形：高架移行車與區域台車不在相同之位置進行移載，且區域台車不會進入至高架移行車進行移載中之位置之正下方。又，移載時之通信必須符合半導體設備暨材料協會標準(Semi(Semiconductor equipment and materials international)Standard)E84等之規格。再者，Semi Standard E84係規定於處理裝置與高架移行車等之間移載物品時之通信步驟之規格。
本發明之課題在於，於高架移行車及區域台車在與緩衝區等之間進行移載時，可使高架移行車與區域台車依照步驟進行移載 時之通信，且可確實地回避高架移行車與區域台車間之干涉。
本發明之搬送系統係於高架移行車之軌道之正下方設置區域台車之軌道，而高架移行車及區域台車均於與相同之移載目的地之間移載物品者，其具備有：高架移行車之軌道，其通過負載埠之正上方；區域台車之軌道，其通過負載埠之正上方，且位於上述高架移行車之軌道之正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；區域台車，其於區域台車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；緩衝區，其可使高架移行車及區域台車均自如地移載物品，並載置物品；及排他控制機構，其排他地控制高架移行車及區域台車對負載埠及緩衝區之物品之移載；高架移行車及區域台車係構成為：於將上述緩衝區及上述負載埠作為移載目的地而移載物品時，將移載要求信號發送至排他控制機構，且自排他控制機構接收移載確認信號後，於與移載目的地之間執行移載；上述排他控制機構係構成為：以僅對針對相同之移載目的地之為了高架移行車之移載要求信號、與為了區域台車的移載要求信號中之一者發送移載確認信號，且針對區域台車停止之位置與移行之範圍，不對為了高架移行車之移載要求信號發送移載確認信號之方式，進行排他控制。
本發明之搬送車系統中之排他控制方法，其具備有：高架移行車之軌道，其通過負載埠之正上方；區域台車之軌道，其通過負載埠之正上方，且位於上述高架移行車之軌道之正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；區域台車，其於區域台車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；及緩衝區，其可使高架移行車與區域台車均自如地移載物品，並載置物品；且為了使高架移行車及區域台車均在與相同之移載目的地之間移載物品，設置針對利用高架移行車及區域台車之對負載埠及緩衝區之物品之移載進行排他控制的排他控制機構，高架移行車及區域台車係於將上述緩衝區及上述負載埠作為移載目的地而移載物品時，將移載要求信號發送至排他控制機構，且於自排他控制機構接收移載確認信號後，於與移載目的地之間執行移載，上述排他控制機構係以如下方式進行排他控制：僅對針對相同之移載目的地之為了高架移行車之移載要求信號、與為了區域台車的移載要求信號中之一者發送移載確認信號，且針對區域台車停止之位置與移行之範圍，不對為了高架移行車之移載要求信號發送移載確認信號。
由於以僅對為了高架移行車之移載要求信號、與為了區域台車之移載要求信號中之一者發送移載確認信號的方式進行排他控 制，因此高架移行車及區域台車不會同時對相同之移載目的地進行移載。因此，可排除關於移載之干涉。又，由於以針對區域台車停止之位置與移行之範圍，不對為了高架移行車之移載要求信號發送移載確認信號之方式進行排他控制，因此不存在如下之情形：針對區域台車停止之位置及移行之範圍，高架移行車為了移載而使升降台等下降。因此，不存在高架移行車之移載與區域台車之停止及移行發生干涉之情形。再者，於本說明書中，關於搬送車系統之記載亦可直接適用於搬送車系統中之排他控制方法。
又，由於在移載前進行移載要求信號之發送與移載確認信號之接收，因此可確認是否已完成對緩衝區或負載埠進行移載之準備，再執行移載。
較佳為具有以下特徵：上述排他控制機構係藉由僅對為了高架移行車之移載要求信號之通信、與為了區域台車之移載要求信號的通信中之一者允許其優先權，而進行上述排他控制。優先權係藉由如下方式而實現：例如，僅對為了高架移行車之移載要求信號之通信、與為了區域台車之移載要求信號的通信中之一者允許通信。如此一來，可藉由通信之優先權，例如藉由通信之可否，而簡單地且確實地實現排他控制。
較佳為，上述排他控制機構係構成為：沿高架移行車之軌道在每個停止位置設置通信終端，沿區域台車之軌道在每個停止位置設置通信終端，僅使被允許優先權之側之通信終端可在與高架移行車或者區域台車之間進行通信。雖然亦可藉由代替高架移行車之控制器、或者代替區域台車之控制器進行通信，但由高架移行車及區域台車直接發送移載要求信號之情形，可更確實地執行移載前之通信。再 者，於利用區域台車控制器控制區域台車之情形時，優先權之取得可藉由來自區域台車之通信，亦可藉由來自區域台車控制器之通信。
又，較佳為，上述排他控制機構係構成為：將上述優先權以預設值賦予至為了高架移行車之通信，以未進行為了實現高架移行車之移載之通信為條件，根據要求為了區域台車而移轉優先權。如此一來，由於可使不定期地到達之高架移行車優先，因此使高架移行車之移載作業進行待機之情形較少，且除了高架移行車進行移載之情形外，不存在使區域台車之移行與移載等進行待機之情形。
較佳為，為了區域台車之優先權係構成為針對區域台車停止之位置及移行之範圍而要求。如此一來，區域台車僅針對具有優先權之位置才能停止及移行，從而可確實地回避高架移行車與區域台車之干涉。
2‧‧‧高架移行車
4‧‧‧區域台車
6‧‧‧高架移行車之軌道
8‧‧‧區域台車之軌道
9‧‧‧軌條
10、11‧‧‧緩衝區
12‧‧‧處理裝置
14‧‧‧負載埠
16‧‧‧天花板
17~19‧‧‧支柱
20‧‧‧區域控制器
22‧‧‧閘道器
24‧‧‧物品
25‧‧‧防掉落罩
26、27‧‧‧升降台
28‧‧‧顯示器
29‧‧‧操作面板
30‧‧‧間隙
32‧‧‧緩衝區
34‧‧‧支柱
40‧‧‧移行馬達
41‧‧‧移行車輪
42‧‧‧懸吊本體
43‧‧‧懸掛材
45‧‧‧電池
46‧‧‧連接器
50~56、50a~50f、52a~52f‧‧‧光通信終端
a~d、e~f‧‧‧位置
D‧‧‧寬度
圖1係實施例之搬送系統之主要部分側視圖。
圖2係自圖1改變緩衝區之高度位準之變形例之搬送系統的主要部分側視圖。
圖3係實施例之搬送系統之主要部分俯視圖。
圖4係變形例之搬送系統之主要部分俯視圖。
圖5係區域台車之側視圖。
圖6係表示關於區域台車及高架移行車與地面側之通信之構成之方塊圖。
圖7係表示關於區域台車及高架移行車之通信之狀態之推移的圖，1)係表示區域台車停止於位置b之狀態，2)係表示區域台車為了自 位置b移行至位置e之狀態，3)係表示區域台車為了於位置e進行移載前之通信之狀態，4)係表示區域台車於位置e進行移載中，而高架移行車為了於位置b進行移載前之通信之狀態，5)係表示區域台車於位置e停止，而高架移行車於位置b進行移載中之狀態，6)係表示高架移行車進行移動，而區域台車於位置e停止中之狀態。
以下表示為了實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍應根據申請專利範圍之記載，並參酌說明書之記載與該領域內之周知技術，而依據業者之理解所決定。
[實施例] (搬送系統之構造)
於圖1~圖7中表示實施例之搬送系統，圖1~圖5係表示搬送系統之物理構造，圖6、圖7係表示高架移行車2及區域台車4移載物品時之通信。於各圖中，高架移行車2例如於半導體工廠內，搬送前開式晶圓盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)等之物品24，區域台車4係針對1個或複數個處理裝置12，進行物品24之供給與搬出。元件符號6為高架移行車之軌道，由移行軌條與供電軌條所構成，元件符號8為區域台車4之軌道，由圖3等所示之一對軌條9、9所構成。又，處理裝置12具備1個~複數個負載埠14。元件符號16為無塵室等之天花板，且藉由支柱17~19，支撐軌道6、8及緩衝區10。
緩衝區10係支撐暫時放置之物品24，且與軌道8平行地配置於軌道8之正下方。於圖1之配置中，區域台車4係於不搬送物品24之情形時，可通過暫時放置有物品24之緩衝區10之上部，而 於搬送有物品24之情形時，無法通過暫時放置有物品24之緩衝區10之上部。相對於此，於圖2之配置中，降低緩衝區10之高度位準而作為緩衝區11，使搬送物品24之區域台車4可通過暫時放置有物品24之緩衝區11之上部。除了高度位準較低之方面外，緩衝區11係與緩衝區10相同。
高架移行車之軌道6位於最高之位置，於其正下方，存在有區域台車之軌道8，於軌道6、8之正下方存在有緩衝區10、11，而負載埠14位於軌道6、8之正下方。由於緩衝區10、11與負載埠14係以沿高度方向重疊之方式配置，因此軌條9、9之間隔較物品24之深度寬，而且將為了使物品24於鉛垂方向上通過之間隙30設置於緩衝區10、11。再者，亦可以避開沿高度方向與負載埠14重疊之位置之方式，設置緩衝區10、11。
例如，於區域台車之軌道8，設置區域控制器20，對區域台車4進行控制，並且對緩衝區10、11上之庫存物品進行管理，且與處理裝置12進行通信。元件符號22為閘道器，於上下重疊之位置，僅使高架移行車2與區域台車4中之一者可進行為了物品之移載之通信。又，在每個沿軌道8之區域台車4之停止位置存在有未圖示之充電裝置，對區域台車4之蓄電器進行充電。所謂蓄電器係指，例如鋰離子電池等二次電池、或者電雙層電容器。對充電裝置與區域控制器20、閘道器22，連接有沿支柱18等而未圖示之配線。而且，區域控制器20係與上位之物流控制器及處理裝置12進行通信。
高架移行車2例如於前後具備有防掉落罩25、25，藉由未圖示之懸吊本體使升降台26升降，從而沿鉛垂方向移載物品24。於高架移行車2，除上述構件外，亦可設置用以橫向地搬送物品24之橫 向搬送機構等。
此處，處理裝置12係設為除加工裝置外亦包含檢查裝置者，於處理裝置12之前面設置有負載埠14，且高架移行車2、區域台車4、及於地面上移動之人係於與負載埠14之間交接物品24。於處理裝置12之前面，除負載埠14外，設置有顯示器28與操作面板29等，從而可監視處理裝置12之運轉狀況，且可藉由人手控制處理裝置12。
區域台車之軌道8係由一對軌條9、9所構成，軌條9、9間之寬度D(圖3)大於物品24之深度，物品24可與升降台26一併於鉛垂方向上通過軌條9、9間之間隙。而且，緩衝區10、11係於負載埠14、14之上部設置間隙，而可相同地使物品24於鉛垂方向上通過緩衝區10、11。或者，又可以避開負載埠14之正上方部之方式配置緩衝區10、11。如此一來，即便以於鉛垂方向上重疊之方式配置軌道6、8與負載埠14，高架移行車2亦可對負載埠14及緩衝區10、11進行物品之交接。相同地，區域台車4可對緩衝區10、11及負載埠14進行物品之交接。因此，可使俯視時搬送系統所占之地板面積變得最小。
於僅使用區域台車之軌道8正下方之緩衝區10等而造成緩衝區的容量不足之情形時，如圖4所示，亦可設置追加之緩衝區32，而藉由支柱34自天花板等支撐。於該情形時，追加之緩衝區32例如與緩衝區10等對齊高度位置而配置，且於高架移行車2及區域台車4設置將懸吊本體進行橫向搬送之機構等。追加之緩衝區32亦設為實施例之排他控制之對象。
圖5係表示區域台車4之構造，元件符號40為移行馬達，藉由移行車輪41等而於軌條9、9上移行。元件符號42為懸吊本 體，藉由捲取或者捲出懸掛材43，使藉由升降台27所支撐之物品24進行升降。元件符號45為電池，46為連接器，進行利用充電裝置之電池45之充電。
(通信與排他控制)
高架移行車2及區域台車4係於與緩衝區10、11及負載埠14之移載時，進行符合Semi Standard E84之通信。將該通信稱為E84通信，該步驟係於移載前自高架移行車2或區域台車4向地面側發送移載要求信號，於自地面側接收移載確認信號後開始移載，移載中維持通信，並於移載完成後交換移載完成信號與其確認信號，從而通信結束。再者，關於移載時之通信規格之種類為任意。由於若高架移行車2與區域台車4欲同時向相同之緩衝區或相同之負載埠進行移載就會發生干涉，因此藉由閘道器22進行排他控制。又，若區域台車4於高架移行車2進行移載中之位置之下部移行，則存在自高架移行車2下降之升降台及物品與區域台車4發生干涉之可能性。因此，於高架移行車2之移載與區域台車4之移行之間，亦進行排他控制。將為了確實地進行該等排他控制之構成表示於圖6，將通信步驟表示於圖7。
例如，沿軌道6在每個高架移行車2之停止位置設置有光通信終端50a~50f，從而與高架移行車2之光通信終端54進行通信。相同地，沿軌道8在每個區域台車4之停止位置，設置有光通信終端52a~52f，從而與區域台車4之光通信終端56進行通信。光通信終端50a~50f例如以串列連接之方式連接於閘道器22，相同地，光通信終端52a~52f例如亦以串列連接之方式連接於閘道器22。再者，元件符號a~f係表示緩衝區或負載埠之位置，相同記號係表示上下重疊 之位置，例如位置a、b、e、f係為了與緩衝區進行移載之位置，位置c、d係為了與負載埠進行移載之位置。光通信終端50a~50f、52a~52f亦可為無線通信終端。
閘道器22係管理上下相同位置之光通信終端，例如終端50a、52a之間之通信的優先權。其結果，高架移行車2、區域台車4無法與無優先權之終端進行通信，高架移行車2、區域台車4僅可與具有優先權之終端進行通信。閘道器22係對上下相同位置之光通信終端，將上下之一終端設為可通信，將另一終端設為無法通信之排他控制機構，且以互斥或(Exclusive OR)邏輯進行動作。再者，此處雖然藉由通信之可否而表示優先權，但只要為僅使上下之一終端認為可開始E84通信之排他控制即可。又，閘道器22在物理上亦可為區域控制器20之一部分。
關於與緩衝區10之移載之E84通信係傳送至區域控制器20，關於與負載埠14之移載之E84通信係經由區域控制器20而傳送至處理裝置12。又，於無來自高架移行車2及區域控制器20中之任一者之通信要求之情形時，高架移行車2側之光通信終端50a~50f係可通信，區域台車4側之光通信終端52a~52f係無法通信。針對區域台車4停止之位置及要求移行之範圍，區域控制器20代替區域台車4要求通信之優先權，於高架移行車2未要求E84通信之情形時，閘道器22允許來自區域控制器20之要求，而對區域台車4賦予通信之優先權。
於圖7中表示通信之例，信號上方之位置係表示高架移行車具有通信之優先權之狀態，下方之位置係表示區域台車具有通信之優先權之狀態，元件符號a~f係表示位置。最初之1)係區域台車於 位置b處於停止中，位置b係區域台車具有通信之優先權，其他位置係高架移行車具有優先權。區域控制器係使區域台車移行至位置e而使其進行移載。於是，區域控制器為了不與高架移行車之移載發生干涉而要求對位置b~e之優先權。於高架移行車未於該等位置進行通信之情形時，如2)所示，閘道器係對區域台車賦予向位置b~e之優先權。
區域台車係藉由自區域控制器向閘道器之通信，而放棄已移行之位置之優先權，區域台車係於位置e停止，從而如3)所示開始進行E84通信。於該期間內，高架移行車於位置e之上部通行之情形並不受影響，高架移行車例如於位置b停止，而開始進行E84通信。又，此時區域台車係完成移載開始前之通信而處於移載執行中，且如4)所示，繼續進行E84通信。於5)時，雖然區域台車已完成移載與E84通信，但由於未自區域控制器通知優先權之放棄，因此維持位置e上之優先權。因此，其他高架移行車無法於位置e開始進行E84通信。再者，此時高架移行車為移載執行中，且仍繼續進行E84通信。於6)時，高架移行車係完成移載而自位置b移動，通信之優先權除了區域台車停止之位置e以外，在於高架移行車側。
根據以上之步驟，除了區域台車已取得優先權之位置外，高架移行車可於任意之位置要求E84通信之開始。雖然高架移行車係不定期地到達，但除了區域台車已取得對所到達之位置之優先權之情形外，可開始進行E84通信。高架移行車與區域台車無法於相同之位置同時要求E84通信，且區域台車無法進入至高架移行車正在要求E84通信之位置之正下方。如此一來，不存在高架移行車與區域台車欲同時於相同之位置開始移載之情形。又，不存在區域台車進入至高架移行車進行移載之位置之正下方之情形。而且，只要高架移行車 未要求E84通信，則區域台車可藉由取得通信之優先權而進行移行、停止、及移載。
圖1~圖5之緩衝區與區域台車之配置，僅為一例。例如，亦可設為如下：將專利文獻3、4所記載之緩衝區配置於處理裝置之附近，使實施例之區域台車與高架移行車可於上下地重疊之軌道上移行，一起於緩衝區與負載埠之間進行移載。於該情形時，對於向緩衝區之存取與向負載埠之存取(移載)，由於會產生高架移行車與區域台車之競爭，因此亦需要與圖6、圖7相同之排他控制。再者，於高架移行車僅可與緩衝區進行移載，且僅區域台車進行負載埠與緩衝區間之搬送之情形時，可對負載埠進行圖6、圖7之排他控制，或亦可不進行。
高架移行車2與區域控制器20除了上述所說明之光通信終端50a~50f外，亦可經由未圖示之搬送系統之控制器及區域網絡(LAN，Local Area Network)而進行通信。如此一來，則可實現以下之情形。於高架移行車2欲與緩衝區10、11、負載埠14之間移載物品之情形時，若高架移行車2接近緩衝區10等，則將自己之位置通信至搬送系統之控制器。搬送系統之控制器係將高架移行車2移載物品之位置通知至區域控制器20，區域控制器20係事先使區域台車4自該位置退避。又，假設若於高架移行車2到達時，區域台車4停止於該位置，則高架移行車2係經由搬送系統之控制器而向區域控制器20要求使區域台車4退避。然後，於退避後，高架移行車2係經由光通信終端50a~50f而向閘道器22發送移載要求信號。
a~f‧‧‧位置

Claims (7)

  1. 一種搬送系統，其係於高架移行車之軌道之正下方設置區域台車之軌道，而高架移行車及區域台車均於與相同之移載目的地之間移載物品者，其特徵在於，其具備有：高架移行車之軌道，其通過負載埠之正上方；區域台車之軌道，其通過負載埠之正上方，且位於上述高架移行車之軌道之正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；區域台車，其於區域台車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；緩衝區，其可使高架移行車與區域台車均自如地移載物品，並載置物品；及排他控制機構，其排他地控制高架移行車及區域台車對負載埠及緩衝區之物品之移載；高架移行車及區域台車係構成為：於將上述緩衝區及上述負載埠作為移載目的地而移載物品時，將移載要求信號發送至排他控制機構，且自排他控制機構接收移載確認信號後，於與移載目的地之間執行移載；上述排他控制機構係構成為：以僅對針對相同之移載目的地之為了高架移行車之移載要求信號、與為了區域台車的移載要求信號中之一者發送移載確認信號，且針對區域台車停止之位置與移行之範圍，不對為了高架移行車之移載要求信號發送移載確認信號之方式，進行排他控制。
  2. 如申請專利範圍第1項之搬送系統，其中，上述排他控制機構係藉 由僅對為了高架移行車之移載要求信號之通信、與為了區域台車之移載要求信號的通信中之一者允許其優先權，而進行上述排他控制。
  3. 如申請專利範圍第2項之搬送系統，其中，上述排他控制機構係藉由僅對為了高架移行車之移載要求信號之通信、與為了區域台車之移載要求信號的通信中之一者允許其通信，而進行上述排他控制。
  4. 如申請專利範圍第3項之搬送系統，其中，上述排他控制機構係構成為：沿高架移行車之軌道在每個停止位置設置通信終端，沿區域台車之軌道在每個停止位置設置通信終端，僅使被允許優先權之側之通信終端可在與高架移行車或者區域台車之間進行通信。
  5. 如申請專利範圍第2項之搬送系統，其中，上述排他控制機構係構成為：將上述優先權以預設值賦予至為了高架移行車之通信，以未進行為了高架移行車之為了移載之通信為條件，根據要求為了區域台車而移轉優先權。
  6. 如申請專利範圍第2項之搬送系統，其中，為了區域台車之優先權係構成為針對區域台車停止之位置及移行之範圍而要求。
  7. 一種搬送車系統中之排他控制方法，該搬送車系統具備有：高架移行車之軌道，其通過負載埠之正上方；區域台車之軌道，其通過負載埠之正上方，且位於上述高架移行車之軌道之正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；區域台車，其於區域台車之軌道上移行，且具備物品之移載裝置；及 緩衝區，其可使高架移行車與區域台車均自如地移載物品，並載置物品；且，為了使高架移行車及區域台車均在與相同之移載目的地之間移載物品，設置針對利用高架移行車及區域台車之對負載埠及緩衝區之物品之移載進行排他控制的排他控制機構，高架移行車及區域台車係於將上述緩衝區及上述負載埠作為移載目的地而移載物品時，將移載要求信號發送至排他控制機構，且於自排他控制機構接收移載確認信號後，於與移載目的地之間執行移載，上述排他控制機構係以如下方式進行排他控制：僅對針對相同之移載目的地之為了高架移行車之移載要求信號、與為了區域台車的移載要求信號中之一者發送移載確認信號，且針對區域台車停止之位置與移行之範圍，不對為了高架移行車之移載要求信號發送移載確認信號。
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