KR20200118152A - 반송 시스템 - Google Patents

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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

반송(搬送) 시스템은, 궤도와 반송차와 영역 컨트롤러(area controller)와 버퍼와 상위 컨트롤러를 구비한다. 영역 컨트롤러는, 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수(臺數)가 미리 정해진 규정 대수이고, 또한, 관할 영역 내의 처리 장치에 대한 물품의 전달 포트로부터 관할 영역 밖의 반송처(搬送處: 반송을 받는 곳)로 물품을 반송시키는 제1 반송 명령을 상위 컨트롤러로부터 수신하였을 때, 제1 반송 명령을 기억하는 동시에, 제1 반송 명령을 반송차에 할당할 수 없다는 취지의 보고를 상위 컨트롤러에 송신한다. 상위 컨트롤러는, 영역 컨트롤러로부터 보고를 수신하였을 때, 물품을 올려 놓을 수 있는 버퍼가 존재하는 경우에는, 기억하고 있는 제1 반송 명령을 삭제하는 명령을 영역 컨트롤러에 송신하는 동시에, 전달 포트로부터 해당 버퍼로 물품을 반송시키는 제2 반송 명령을 생성하고, 제2 반송 명령을 영역 컨트롤러에 송신한다.

Description

반송 시스템
[0001] 본 발명의 일 측면은, 반송(搬送) 시스템에 관한 것이다.
[0002] 종래의 반송 시스템으로서, 복수의 영역에 걸쳐 설치된 궤도와, 궤도를 따라 주행하는 복수의 반송차와, 복수의 영역 중 어느 하나를 관할 영역으로 하여 해당 관할 영역 내의 반송차를 제어하는 영역 컨트롤러(area controller)와, 반송 명령을 영역 컨트롤러에 송신하는 상위 컨트롤러를 구비한 시스템이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이와 같은 반송 시스템에서는, 반송차가 물품을 주고받을 수 있는 위치에, 물품이 일시적으로 놓이는 버퍼가 설치되어 있다.
일본 특허공보 제4366663호
[0004] 상술한 반송 시스템에 있어서, 영역 컨트롤러는, 관할 영역 내의 반송차의 대수(臺數)가 규정 대수일 때, 관할 영역 내의 처리 장치에 대한 물품의 전달(주고받기) 포트(이하, 단순히 「전달 포트」라고도 함)로부터 관할 영역 밖의 반송처(搬送處: 반송을 받는 곳)로 물품을 반송시키는 제1 반송 명령을 수신하였다 하더라도, 제1 반송 명령을 자기가 관리하는 명령으로서 기억하는 일 없이, 상위 컨트롤러에 거부(NG: No Good)의 회신(返信)을 한다. 상위 컨트롤러는, 거부의 회신이 있으면, 전달 포트로부터 관할 영역 내의 버퍼로 물품을 반송시키는 제2 반송 명령을 생성하고, 이 제2 반송 명령을 영역 컨트롤러로 송신한다. 이에 의해, 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수가 규정 대수보다 적어지는 것을 피하고 있다. 그러나 이 경우, 물품을 올려 놓을 수 있는 버퍼(이하, 「빈 버퍼」라고도 함)가 존재하지 않으면, 제2 반송 명령이 생성되지 않고, 또한, 제1 반송 명령은 상위 컨트롤러 및 영역 컨트롤러 중 어느 쪽에 의해서도 관리되지 않게 된다. 이에, 전달 포트에 물품이 남겨져 버릴 가능성이 있다.
[0005] 이 점과 관련하여, 상위 컨트롤러가 버퍼를 상시(常時) 모니터링(監視)하여, 빈 버퍼가 생겼을 때 제2 반송 명령을 생성하는 것도 고려할 수 있다. 그러나 이 경우, 상위 컨트롤러의 처리 부하가 커진다.
[0006] 본 발명의 일 측면은, 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 상위 컨트롤러의 처리 부하를 억제하면서, 전달 포트에 물품이 남겨져 버리는 것을 방지할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
[0007] 본 발명의 일 측면에 따른 반송 시스템은, 복수의 영역에 걸쳐 설치된 궤도와, 궤도를 따라 주행하는 복수의 반송차와, 복수의 영역 중 어느 하나를 관할 영역으로 하여, 해당 관할 영역 내의 반송차를 제어하는 영역 컨트롤러와, 관할 영역 내의 반송차가 물품을 주고받을 수 있는 위치에 설치되고, 물품이 일시적으로 놓이는 버퍼와, 반송차로 하여금 물품을 반송시키는 반송 명령을 영역 컨트롤러에 송신하는 상위 컨트롤러를 구비하고, 영역 컨트롤러는, 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수가 미리 정해진 규정 대수이고, 또한, 관할 영역 내의 처리 장치에 대한 물품의 전달 포트로부터 관할 영역 밖의 반송처로 물품을 반송시키는 제1 반송 명령을 상위 컨트롤러로부터 수신하였을 때, 제1 반송 명령을 기억하는 동시에, 제1 반송 명령을 반송차에 할당할 수 없다는 취지의 보고를 상위 컨트롤러에 송신하고, 상위 컨트롤러는, 영역 컨트롤러로부터 보고를 수신하였을 때, 물품을 올려 놓을 수 있는 버퍼가 존재하는 경우에는, 기억하고 있는 제1 반송 명령을 삭제하는 명령을 영역 컨트롤러에 송신하는 동시에, 전달 포트로부터 해당 버퍼로 물품을 반송시키는 제2 반송 명령을 생성하고, 제2 반송 명령을 영역 컨트롤러에 송신한다.
[0008] 이 반송 시스템에서는, 영역 컨트롤러의 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수가 규정 대수인 경우에, 빈 버퍼가 존재하면, 영역 컨트롤러에서는 제1 반송 명령이 삭제되고, 상위 컨트롤러에 의해 영역 컨트롤러로 제2 반송 명령이 송신된다. 한편, 빈 버퍼가 존재하지 않으면, 영역 컨트롤러에서는 제1 반송 명령이 기억된 채인 상태가 된다. 이에 의해, 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수가 규정 대수 미만이 되는 것을 방지하면서, 관할 영역 내의 빈 버퍼의 유무에 관계없이, 관할 영역 내의 전달 포트로부터 물품을 반송시키는 명령을 상위 컨트롤러 및 영역 컨트롤러 중 어느 하나에서 관리할 수 있다. 빈 버퍼를 상위 컨트롤러가 상시 모니터링하는 것이 불필요해진다. 따라서, 상위 컨트롤러의 처리 부하를 억제하면서, 전달 포트에 물품이 남겨져 버리는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
[0009] 본 발명의 일 측면에 따른 반송 시스템에서는, 영역 컨트롤러는, 제1 반송 명령을 기억하고 있는 경우에 있어서, 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수가 규정 대수보다 많고 또한 관할 영역 내에 반송 명령을 할당할 수 있는 반송차가 존재할 때에는, 제1 반송 명령을 반송차에 할당해도 된다. 이에 의해, 물품을 올려 놓을 수 있는 버퍼가 존재하지 않는 경우에는, 영역 컨트롤러가 제1 반송 명령을 계속해서 관리하고, 관할 영역 내의 반송차의 대수가 증가하는 것을 기다려서, 전달 포트로부터 관할 영역 밖의 반송처로 물품을 반송시키는 것이 가능해진다.
[0010] 본 발명의 일 측면에 따른 반송 시스템에서는, 영역 컨트롤러는, 상위 컨트롤러로부터 수신한 제2 반송 명령을 반송차에 할당하고, 상위 컨트롤러는, 제2 반송 명령이 할당된 반송차에 의해 물품의 버퍼로의 반송이 완료된 경우, 해당 버퍼로부터 제1 반송 명령에 있어서의 반송처 또는 관할 영역 밖의 다른 반송처로 물품을 반송시키는 제3 반송 명령을 생성하고, 제3 반송 명령을 영역 컨트롤러로 송신해도 된다. 이에 의해, 관할 영역 내의 버퍼로의 물품 반송 후, 해당 버퍼로부터 제1 반송 명령에 있어서의 반송처 또는 관할 영역 밖의 다른 반송처로 물품을 반송시키는 것이 가능해진다. 즉, 제1 반송 명령에 따라 반송차에 실행시킬 예정이었던 물품의 반송, 혹은 제1 반송 명령에 있어서의 반송처와는 다른 반송처로의 물품의 반송을, 제2 반송 명령 및 제3 반송 명령에 따라 반송차에 실행시킬 수 있다.
[0011] 본 발명의 일 측면에 따른 반송 시스템에서는, 영역 컨트롤러는, 관할 영역 내에 존재하는 반송차의 대수가 규정 대수보다 많고 또한 관할 영역 내에 반송 명령을 할당할 수 있는 반송차가 존재할 때에는, 제3 반송 명령을 반송차에 할당해도 된다. 이에 의해, 제1 반송 명령에 따라 관할 영역 밖의 반송처로 반송될 예정이었던 물품을, 제3 반송 명령이 할당된 반송차에 의해, 제1 반송 명령에 있어서의 반송처 또는 관할 영역 밖의 다른 반송처로 반송시킬 수 있다.
[0012] 본 발명의 일 측면에 따르면, 상위 컨트롤러의 처리 불가를 억제하면서, 전달 포트에 물품이 남겨져 버리는 것을 피할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은, 일 실시형태에 따른 반송 시스템을 나타내는 개략 평면도이다.
도 2는, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 영역 내의 일부를 확대하여 나타내는 개략 평면도이다.
도 3은, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 반송차, 전달 포트 및 버퍼를 나타내는 개략 측면도이다.
도 4는, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 시퀀스도(sequence diagram)이다.
도 5는, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 시퀀스도이다.
도 6은, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 시퀀스도이다.
도 7은, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 시퀀스도이다.
도 8은, 일 실시형태에 따른 반송 시스템의 시퀀스도이다.
[0014] 이하, 도면을 참조하여 일 실시형태에 대해 설명한다. 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 달고, 중복되는 설명을 생략한다. 도면의 사이즈 비율은, 설명하는 것과 반드시 일치하는 것은 아니다.
[0015] 도 1∼도 3에 나타나는 바와 같이, 반송 시스템(1)은, 물품(10)을 반송하는 시스템이다. 물품(10)은, 예컨대 복수의 반도체 웨이퍼를 격납(格納)하는 용기인데, 유리 기판 및 일반 부품 등이어도 된다. 반송 시스템(1)은, 궤도(4), 반송차(6), 버퍼(8), 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 및 상위 컨트롤러(60)를 구비한다. 반송 시스템(1)은, 복수의 전달 포트(14) 상호 간, 혹은, 전달 포트(14)와 버퍼(8) 등과의 사이에서 물품(10)을 반송한다.
[0016] 궤도(4)는, 복수의 영역(Aa, Ab, Ac)에 걸쳐 설치되어 있다. 궤도(4)는, 예컨대 작업자의 머리 위(頭上)의 공간(space)인 천장 부근에 부설(敷設)되어 있다. 궤도(4)는, 예컨대 천장으로부터 매달려 있다. 궤도(4)는, 반송차(6)를 주행시키기 위한 미리 정해진 주행로이다. 궤도(4)는, 지주(支柱)(41)에 의해 지지된다.
[0017] 반송차(6)는, 궤도(4)를 따라 주행하며, 물품(10)을 반송한다. 반송차(6)는, 물품(10)을 이재(移載; 옮겨 싣기)할 수 있도록 구성되어 있다. 반송차(6)는, 천장 주행식 무인 반송차이다. 반송차(6)는, 예컨대 대차(臺車)(반송 대차), 천장 주행차(천장 주행 대차), 또는, 주행차(주행 대차)라고도 칭해진다. 반송 시스템(1)이 구비하는 반송차(6)의 대수는, 특별히 한정되지 않고, 복수이다.
[0018] 도 3에 나타나는 바와 같이, 반송차(6)는, 반송차(6)를 궤도(4)를 따라 주행시키는 주행부(18)와, 예컨대 비접촉 급전(給電)에 의해 궤도(4)측으로부터 수전(受電)하는 수전 통신부(20)를 가진다. 반송차(6)는, 궤도(4)의 급전선(給電線) 등을 이용하여, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것과 통신을 행한다. 혹은, 반송차(6)는, 급전선과는 별도로, 궤도(4)를 따라 설치된 통신선(피더선(feeder線))을 통해 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것과 통신을 행해도 된다. 또한, 반송차(6)는, 본체 프레임(22)과, 가로 이송(橫送, crossfeed)부(24)와, θ드라이브(26)와, 승강(昇降) 구동부(28)와, 승강대(30)와, 낙하 방지 커버(33)를 가진다.
[0019] 가로 이송부(24)는, θ드라이브(26), 승강 구동부(28) 및 승강대(30)를 일괄하여, 궤도(4)의 주행 방향과 직각인 방향으로 가로 이송한다. θ드라이브(26)는, 승강 구동부(28) 및 승강대(30) 중 적어도 어느 하나를 수평면 내에서 소정의 각도 범위 내에서 회동(回動)시킨다. 승강 구동부(28)는, 승강대(30)를 와이어, 로프 및 벨트 등의 서스펜딩재(suspending material)의 감기(卷取) 내지 풀기(繰出)에 의해 승강시킨다. 승강대(30)에는, 척(chuck)이 설치되어 있어, 물품(10)의 파지(把持) 또는 해방이 자유자재로 되어 있다. 낙하 방지 커버(33)는, 예컨대 반송차(6)의 주행 방향의 전후에 한 쌍이 설치되어 있다. 낙하 방지 커버(33)는, 도시되지 않은 클로(claw) 등을 출몰시켜, 반송 중에 물품(10)이 낙하하는 것을 방지한다.
[0020] 반송차(6)는, 가로 이송부(24)에 의해 승강 구동부(28) 등을 가로 이송하고, 승강대(30)를 약간 승강시킴으로써, 버퍼(8)와의 사이에서 물품(10)을 주고받는다. 반송차(6)는, 승강 구동부(28)에 의해 승강대(30)를 승강시킴으로써, 전달 포트(14)와의 사이에서 물품(10)을 주고받는다.
[0021] 도 2 및 도 3에 나타나는 바와 같이, 버퍼(8)는, 물품(10)이 일시적으로 놓이는 장소(個所)이다. 버퍼(8)는, 물품(10)이 임시로 놓이는 대(臺)이다. 반송차(6)가 전달 포트(14)를 목적지(반송처)로 하는 물품(10)의 반송을 행하고 있을 때, 예컨대 그 전달 포트(14)에 다른 물품(10)이 놓여 있는 등의 이유에 의해, 반송차(6)가 반송하고 있는 물품(10)을 그 전달 포트(14)에 이재할 수 없는 경우, 반송차(6)는, 전달 포트(14) 부근의 버퍼(8)에 물품(10)을 이재한다. 이에 의해, 전달 포트(14)가 빌 때까지, 물품(10)이 버퍼(8)에 일시적으로 보관된다. 버퍼(8)는, 지주(9)에 의해 예컨대 천장 등에 매달려 있다. 버퍼(8)는, 반송차(6)가 물품(10)을 주고받을 수 있는 위치에 설치되어 있다. 버퍼(8)는, 궤도(4)의 측방(側方)에 배치되어 있다. 혹은, 버퍼(8)는, 궤도(4)의 바로 아래에 배치되어 있어도 된다. 버퍼(8)에는, 버퍼(8)에 관한 각종 정보(물품(10)을 올려 놓고 있는지의 여부에 관한 정보, 및 올려 놓고 있는 물품(10)의 ID에 관한 정보 등)를 기억하는 버퍼 기억부와, 버퍼 기억부에 기억한 각종 정보를 통신하는 통신부가 설치되어 있다.
[0022] 전달 포트(14)는, 예컨대 세정 장치, 막 형성(成膜) 장치, 리소그래피 장치, 에칭 장치, 열처리 장치, 평탄화 장치를 비롯한 반도체의 처리 장치(12)에 대해 물품(10)의 전달을 행하는 포트이다. 전달 포트(14)는, 물품(10)이 놓이는 대이다. 물품(10)이 복수의 반도체 웨이퍼를 격납하는 용기인 양태에 있어서, 전달 포트(14)에 놓인 물품(10)으로부터 반도체 웨이퍼가 꺼내져 처리 장치(12) 내에 수용되고, 해당 처리 장치(12)에서 처리가 행해진 후, 다시 물품(10) 내에 격납된다. 그리고, 반도체 웨이퍼가 격납된 물품(10)이, 반송차(6)에 의해 다른 처리 장치(12)에 대해 전달을 행하는 전달 포트(14) 등에 반송된다. 처리 장치(12)는, 궤도(4)를 따라 설치된 통신선 등을 이용한 유선 통신, 혹은 무선 통신에 의해, 상위 컨트롤러(60)와 각종 정보의 통신을 행한다. 처리 장치(12)는, 특별히 한정되지 않고, 다양한 장치여도 된다. 전달 포트(14)는, 반송차(6)가 물품(10)을 주고받을 수 있는 위치에 설치되어 있다. 전달 포트(14)는, 궤도(4)의 바로 아래에 배치되어 있다. 혹은, 궤도(4)의 측방이면서 하방(下方)에 전달 포트(14)가 배치된 것이어도 되고, 이 경우, 반송차(6)는, 가로 이송부(24)에 의해 승강 구동부(28) 등을 가로 이송하고, 승강대(30)를 승강시킴으로써, 전달 포트(14)와의 사이에서 물품(10)을 주고받는다.
[0023] 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어진 전자 제어 유닛이다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 예컨대 ROM에 격납되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU에 의해 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다.
[0024] 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 영역(Aa, Ab, Ac)의 각각에 설치되어 있다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 영역(Aa, Ab, Ac)의 각각에 대응하도록 설치되어 있다. 구체적으로는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 영역(Aa, Ab, Ac)의 각각을, 자기가 제어를 맡는 영역인 관할 영역으로 한다. 바꿔 말하면, 1개의 영역 컨트롤러가 1개의 영역을 관할 영역으로 하며, 이와 같은 영역 컨트롤러가, 영역의 수만큼 설치되어 있다. 즉, 1개의 영역 컨트롤러는, 복수의 영역 중 어느 하나를 관할 영역으로 하고 있다. 영역 컨트롤러(50a)는, 해당 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역(이하, 「자기의 관할 영역」이라고도 함) 내의 복수의 반송차(6)와의 사이에서 통신을 행하며, 자기의 관할 영역 내의 복수의 반송차(6)를 제어한다. 영역 컨트롤러(50b)는, 자기의 관할 영역 내의 복수의 반송차(6)와의 사이에서 통신을 행하며, 자기의 관할 영역 내의 복수의 반송차(6)를 제어한다. 영역 컨트롤러(50c)는, 자기의 관할 영역 내의 복수의 반송차(6)와의 사이에서 통신을 행하며, 자기의 관할 영역 내의 복수의 반송차(6)를 제어한다. 또한, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 상위 컨트롤러(60)와의 사이에서 유선 또는 무선에 의해 통신을 행한다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 기억부(51a, 51b, 51c)를 각각 가진다.
[0025] 상위 컨트롤러(60)는, CPU, ROM 및 RAM 등으로 이루어진 전자 제어 유닛이다. 상위 컨트롤러(60)는, 예컨대 ROM에 격납되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU에 의해 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 상위 컨트롤러(60)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것과의 사이에서 유선 또는 무선에 의해 통신을 행하며, 반송차(6)로 하여금 물품(10)을 반송시키는 반송 명령을 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것에 송신한다. 상위 컨트롤러(60)는, 예컨대, 복수의 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 외에, 스토커(stocker) 내에 설치된 스태커 크레인을 제어하는 컨트롤러나, 컨베이어를 제어하는 컨트롤러 등에도 접속되어 있고, 각각의 컨트롤러에 대해 각종 명령을 송신한다.
[0026] 본 실시형태의 반송 시스템(1)에서는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수이고, 또한, 제1 반송 명령을 상위 컨트롤러(60)로부터 수신하였을 때, 제1 반송 명령을 자기가 관리하는 명령으로서 기억부(51a, 51b, 51c)의 각각에 기억하는 동시에, 제1 반송 명령을 반송차(6)에 할당할 수 없다는 취지의 보고(이하, 「할당 불가 보고」라고 함)를 상위 컨트롤러(60)에 송신한다.
[0027] 규정 대수는, 미리 정해져 있다. 규정 대수는, 특별히 한정되지 않고, 고정값이어도 되고, 변동값이어도 된다. 다양한 대수여도 된다. 규정 대수는, 예컨대, 1개의 영역 내에서 보유되어야 할 반송차(6)의 대수인 최저 보유 반송차 대수(최소한 대수)이다. 예컨대 물품(10)의 반송 등, 영역 내에서 반송차(6)가 실행해야 할 작업이 발생한 경우, 그 영역 내에 미리 충분한 대수의 반송차(6)가 존재하지 않으면, 신속히 작업을 실행할 수 없다. 따라서, 반송 시스템(1)에서는, 예컨대, 1개의 영역 내에서 보유되어야 할 반송차(6)의 대수의 하한치인 최저 보유 반송차 대수가 정해져 있고, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수가 최저 보유 반송차 대수 미만은 되지 않도록(즉, 항상 최저 보유 반송차 대수 이상이 되도록), 관할 영역 내의 반송차(6)를 제어한다. 구체적으로는, 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수가 최저 보유 반송차 대수인 경우에는, 관할 영역 내의 반송차(6)가 관할 영역 밖으로 나가지 않도록, 관할 영역 내의 반송차(6)의 주행을 제어한다.
[0028] 제1 반송 명령은, 영역 컨트롤러의 관할 영역 내의 전달 포트(14)로부터, 해당 영역 컨트롤러 밖의 반송처로 물품(10)을 반송시키는 명령이다. 제1 반송 명령은, 예컨대 영역(Aa) 내의 전달 포트(14)로부터, 영역(Ab) 내(혹은 영역(Ac) 내)의 전달 포트(14)로 물품(10)을 반송하는 반송 명령이다. 반송처는, 특별히 한정되지 않고, 반송원(搬送元: 반송을 하는 곳)인 전달 포트(14)가 속하는 영역(자기의 관할 영역)과는 다른, 다른 영역(다른 관할 영역)에 있어서의 전달 포트(14) 및 버퍼(8)를 포함한다.
[0029] 예컨대, 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 최저 보유 반송차 대수이고, 또한, 해당 영역 컨트롤러(50a)가 제1 반송 명령을 상위 컨트롤러(60)로부터 수신하였을 때, 만약 관할 영역 내의 반송차(6)에 그 제1 반송 명령을 할당하면, 제1 반송 명령이 할당된 반송차(6)는 관할 영역 밖으로 나가 버리기 때문에, 결과적으로 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 최저 보유 반송차 대수 미만이 된다. 이 때문에, 영역 컨트롤러(50a)는, 제1 반송 명령을 관할 영역 내의 어느 반송차(6)에도 할당할 수 없다. 이 경우, 영역 컨트롤러(50a)는, 제1 반송 명령을 자기가 관리하는 명령으로서 기억부(51a)에 기억하는 동시에, 할당 불가 보고를 상위 컨트롤러(60)에 송신한다.
[0030] 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것으로부터 할당 불가 보고를 수신하였을 때, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것의 관할 영역 내의 반송차(6)가 물품(10)을 주고받을 수 있는 위치에 설치되고 또한 물품(10)을 올려 놓을 수 있는 버퍼(8)(이하, 「빈 버퍼(8)」라고 함)가 존재하는 경우에는, 제2 반송 명령을 생성한다. 제2 반송 명령은, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것의 관할 영역 내에 있어서의 전달 포트(14)로부터 빈 버퍼(8)로 물품(10)을 반송시키는 명령이다. 제2 반송 명령의 반송원은, 제1 반송 명령의 반송원과 동일한 전달 포트(14)이다. 물품(10)이 복수의 반도체 웨이퍼를 격납하는 용기인 양태에 있어서, 처리가 끝난 반도체 웨이퍼를 격납하는 물품(10)(즉, 반출(搬出)되어야 할 물품(10))이 전달 포트(14)에 놓여 있는 경우, 그 전달 포트(14)에는 다른 물품(10)을 올려 놓을 수 없어서, 처리 장치(12)는, 가동할 수 있는 상태임에도 불구하고 다른 물품(10) 내에 격납된 반도체 웨이퍼에 처리를 행할 수 없다. 이 때문에, 전달 포트(14)에 놓인 물품(10)을 신속히 그 전달 포트(14) 상에서 제거해야 한다. 따라서, 반송 시스템(1)에 있어서는, 제1 반송 명령을 관할 영역 내의 어느 반송차(6)에도 할당할 수 없는 경우, 그 제1 반송 명령의 반송원과 동일한 전달 포트(14)를 반송원으로 하는 제2 반송 명령을 생성하고, 그 제2 반송 명령을 반송차(6)에 할당함으로써, 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많아지는 것을 기다리지 않고, 해당 전달 포트(14) 상에 놓인 물품(10)을 반출한다. 제2 반송 명령은, 제1 반송 명령을 바탕으로 생성할 수 있다. 제2 반송 명령은, 제1 반송 명령을 분할하도록 하여 이루어지는(제1 반송 명령의 일부를 포함하는) 명령으로서, 제1 반송 명령에 있어서의 반송원으로부터의 반출 공정을 포함하는 명령이다.
[0031] 상위 컨트롤러(60)는, 제2 반송 명령을 생성한 후, 제2 반송 명령을 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것에 송신한다. 또한, 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것으로부터 할당 불가 보고를 수신하였을 때, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것의 관할 영역 내의 빈 버퍼(8)가 존재하는 경우에는, 그 기억부(해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것이 가지는 기억부)에 기억하고 있는 제1 반송 명령을 삭제하는 명령(이하, 「삭제 명령」이라고 함)을, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것에 송신한다. 한편, 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것으로부터 할당 불가 보고를 수신하였을 때, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것의 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 존재하지 않는 경우에는, 삭제 명령을 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것에 송신하지 않는다. 즉, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것에 송신한 제1 반송 명령에 관해 아무런 추가의 처리를 행하지 않고, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것으로부터 제1 반송 명령의 할당 보고가 수신되는 것을 기다린다.
[0032] 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 기억부(51a, 51b, 51c)의 각각에 제1 반송 명령을 기억하고 있는 경우에 있어서, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많고, 또한, 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)(반송 명령을 할당할 수 있는 반송차(6))가 존재할 때에는, 제1 반송 명령을 빈 반송차(6)에 할당한다. 즉, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수인 동안은, 기억된 제1 반송 명령을 어느 반송차(6)에도 할당하지 않은 채 유지하고, 예컨대 다른 영역으로부터 관할 영역에 새로운 반송차(6)가 진입해 오거나 하여 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많아진 시점에, 기억된 제1 반송 명령을 관할 영역 내의 어느 빈 반송차(6)에 할당한다. 이에 의해, 제1 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 자기의 관할 영역 내의 전달 포트(14)로부터 자기의 관할 영역 밖의 반송처로 물품(10)을 반송한다.
[0033] 또한, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)(즉, 반송 명령을 할당할 수 있는 반송차(6))가 존재하지 않는 경우, 상위 컨트롤러(60)로부터 수신한 반송 명령을 어느 반송차(6)에도 할당하지 않고, 기억부(51a, 51b, 51c)의 각각에 기억한다. 예컨대, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6) 모두가 이미 반송 명령을 실행 중인 경우가 이에 해당한다. 어느 반송차(6)에도 할당할 수 없는 복수의 반송 명령이 기억부(51a, 51b, 51c)에 축적되는 경우도 있을 수 있다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)가 발생한 시점에, 기억부(51a, 51b, 51c)에 기억된 반송 명령을, 예컨대 먼저 기억된 것부터 차례로 빈 반송차(6)에 할당한다.
[0034] 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 제2 반송 명령을 상위 컨트롤러(60)로부터 수신하였을 때, 제2 반송 명령을 빈 반송차(6)에 할당한다. 이에 의해, 제2 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 자기의 관할 영역 내에 있어서의 전달 포트(14)로부터 버퍼(8)로 물품(10)을 반송한다. 이 경우, 제2 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 관할 영역 밖으로 나가지 않기 때문에, 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수는 적어도 규정 대수로 유지된다.
[0035] 상위 컨트롤러(60)는, 제2 반송 명령이 할당된 반송차(6)에 의해 관할 영역 내에 있어서의 물품(10)의 버퍼(8)로의 반송이 완료된 경우, 제3 반송 명령을 생성한다. 제3 반송 명령은, 해당 관할 영역 내에 있어서의 버퍼(8)로부터 해당 관할 영역 밖의 반송처로 물품(10)을 반송시키는 명령이다. 제3 반송 명령의 반송처는, 제1 반송 명령의 반송처와 같아도 되고, 달라도 된다. 제3 반송 명령은, 제1 반송 명령을 바탕으로 생성할 수 있다. 제3 반송 명령은, 제1 반송 명령을 분할하도록 하여 이루어지는(제1 반송 명령의 다른 부분(他部)을 포함하는) 명령이어도 되고, 제1 반송 명령에 있어서의 반송처로의 반입(搬入) 공정을 포함하는 명령이어도 된다. 상위 컨트롤러(60)는, 제3 반송 명령을 생성한 후, 해당 관할 영역을 관할하는 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 것으로 제3 반송 명령을 송신한다.
[0036] 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 제3 반송 명령을 상위 컨트롤러(60)로부터 수신하였을 때, 제3 반송 명령을 기억부(51a, 51b, 51c)의 각각에 기억한다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 제3 반송 명령을 기억하고 있는 경우에 있어서, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많고, 또한, 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)(반송 명령을 할당할 수 있는 반송차(6))가 존재할 때에는, 기억하고 있는 제3 반송 명령을 빈 반송차(6)에 할당한다. 이에 의해, 제3 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 자기의 관할 영역 내의 버퍼(8)로부터 자기의 관할 영역 밖의 반송처로 물품(10)을 반송한다. 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 각각은, 예컨대, 제3 반송 명령을 상위 컨트롤러(60)로부터 수신하였을 때, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수인지 규정 대수보다 많은지에 관계없이, 제3 반송 명령을 기억부(51a, 51b, 51c)의 각각에 기억한다. 즉, 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수라 하더라도, 상위 컨트롤러(60)에 할당 불가 보고를 송신하지 않는다. 바꿔 말하면, 해당 버퍼(8)를 반송원으로 하고, 관할 영역 내의 다른 버퍼(8)를 반송처로 하는 새로운 반송 명령은, 반드시 생성하지 않아도 된다. 예컨대, 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수인 경우, 기억부(51a, 51b, 51c)에 기억된 제3 반송 명령을 어느 반송차(6)에도 할당하지 않은 채 유지하고, 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많아진 시점에, 기억부(51a, 51b, 51c)에 기억된 제3 반송 명령을 관할 영역 내의 어느 반송차(6)에 할당한다.
[0037] 다음으로, 반송 시스템(1)에 의해 실행되는 처리의 일례에 대해, 도 4∼도 8의 시퀀스도를 이용하여 구체적으로 예시 설명한다.
[0038] 또한, 이하에 있어서는, 복수의 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 하나의 영역 컨트롤러(50a)에 관해 설명한다. 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 내에 존재하는 전달 포트(14) 및 처리 장치(12)를, 단순히 「전달 포트(14) 및 처리 장치(12)」로 하여 설명한다.
[0039] 도 4에 나타나는 바와 같이, 처리 장치(12)는, 처리를 완료하였을 때, 전달 포트(14)로부터 물품(10)을 픽업(반출)할 것을 요구하는 픽업 요구를, 상위 컨트롤러(60)로 송신한다(단계 S1). 상위 컨트롤러(60)는, 픽업 요구의 수신에 따라, 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 내의 전달 포트(14)로부터 해당 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 밖의 반송처로 물품(10)을 반송시키는 제1 반송 명령을 생성한다(단계 S2). 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a)로 제1 반송 명령을 송신한다.
[0040] 영역 컨트롤러(50a)는, 제1 반송 명령의 수신에 따라, 그 수신을 보고하는 OK 보고를 상위 컨트롤러(60)로 회신한다. 영역 컨트롤러(50a)는, 예컨대 반송차(6)와의 통신 결과에 근거해, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수인지의 여부를 판정한다. 영역 컨트롤러(50a)는, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수이라고 판정하였을 때, 반송차(6)의 대수 조건을 부적당으로 한다(단계 S3). 영역 컨트롤러(50a)는, 수신한 제1 반송 명령을 기억부(51a)에 기억한다(단계 S4). 영역 컨트롤러(50a)는, 할당 불가 보고를 상위 컨트롤러(60)로 송신한다.
[0041] 상위 컨트롤러(60)는, 할당 불가 보고를 수신하였을 때, 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 내에 있어서 빈 버퍼(8)를 검색한다(단계 S5). 빈 버퍼(8)의 검색은, 예컨대, 해당 관할 영역 내의 각 버퍼(8)와 통신하여 얻은 각종 정보에 근거해 실행할 수 있다. 해당 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 존재하지 않는 경우, 상위 컨트롤러(60)는, 빈 버퍼(8)를 검출 불가로 한다(단계 S6).
[0042] 그 후, 예컨대 자기의 관할 영역 내로 반송차(6)가 진입하여, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)가 증가한 경우, 도 5에 나타나는 바와 같이, 영역 컨트롤러(50a)는, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많다고 판정하고, 반송차(6)의 대수 조건을 OK로 한다(단계 S11). 영역 컨트롤러(50a)는, 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)가 존재하는 경우, 기억부(51a)에 기억하고 있는 제1 반송 명령을 빈 반송차(6)에 할당한다(단계 S12). 영역 컨트롤러(50a)는, 제1 반송 명령을 반송차(6)에 할당하였음을 보고하는 명령 할당 보고를 상위 컨트롤러(60)로 송신한다. 제1 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 관할 영역 밖의 반송처로 반송하기 위해, 전달 포트(14)로부터 물품(10)을 반출(픽업)한다. 전달 포트(14)로부터 물품(10)을 반출한 반송차(6)는, 영역 컨트롤러(50a)에 그 취지를 보고하고, 영역 컨트롤러(50a)는, 전달 포트(14)로부터의 물품(10)의 픽업이 완료되었음을 인식한다(단계 S13). 처리 장치(12)는, 전달 포트(14)가 빈(물품(10)이 놓여 있지 않은) 상태임을 인식한다. 처리 장치(12)는, 전달 포트(14)에 물품(10)을 올려 놓을 것을 요구하는 드롭 오프(drop-off) 요구를, 상위 컨트롤러(60)로 송신한다(단계 S14).
[0043] 한편, 도 6에 나타나는 바와 같이, 상위 컨트롤러(60)는, 단계 S5에 있어서 빈 버퍼(8)를 검색한 결과, 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 존재한 경우, 빈 버퍼(8)를 검출 가능으로 한다(단계 S21). 도 7에 나타나는 바와 같이, 상위 컨트롤러(60)는, 기억부(51a)에 기억하고 있는 제1 반송 명령을 삭제하는 삭제 명령을 영역 컨트롤러(50a)에 송신한다. 영역 컨트롤러(50a)는, 삭제 명령의 수신에 따라, 그 수신을 보고하는 OK 보고를 상위 컨트롤러(60)로 회신한다. 영역 컨트롤러(50a)는, 기억부(51a)에 기억하고 있는 제1 반송 명령을 삭제한다(단계 S22). 영역 컨트롤러(50a)는, 제1 반송 명령의 삭제 완료를 보고하는 삭제 완료 보고를 상위 컨트롤러(60)로 송신한다.
[0044] 상위 컨트롤러(60)는, 전달 포트(14)로부터 빈 버퍼(8)로 물품(10)을 반송시키는 제2 반송 명령을 생성한다(단계 S23). 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a)로 제2 반송 명령을 송신한다. 영역 컨트롤러(50a)는, 수신한 제2 반송 명령을 빈 반송차(6)에 할당한다(단계 S24). 영역 컨트롤러(50a)는, 제2 반송 명령을 반송차(6)에 할당하였음을 보고하는 명령 할당 보고를 상위 컨트롤러(60)로 송신한다. 제2 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 관할 영역 내의 빈 버퍼(8)로 반송하기 위해, 전달 포트(14)로부터 물품(10)을 반출한다. 전달 포트(14)로부터 물품(10)을 반출한 반송차(6)는, 영역 컨트롤러(50a)에 그 취지를 보고하고, 영역 컨트롤러(50a)는, 전달 포트(14)로부터의 물품(10)의 픽업이 완료되었음을 인식한다(단계 S25). 처리 장치(12)는, 전달 포트(14)가 빈(물품(10)이 놓여 있지 않은) 상태임을 인식한다. 처리 장치(12)는, 전달 포트(14)에 물품(10)을 올려 놓을 것을 요구하는 드롭 오프 요구를, 상위 컨트롤러(60)로 송신한다(단계 S26).
[0045] 도 8에 나타나는 바와 같이, 영역 컨트롤러(50a)는, 빈 버퍼(8)로의 물품(10)의 반송이 완료되었음을 인식한다(단계 S31). 영역 컨트롤러(50a)는, 제2 반송 명령의 반송이 완료되었음을 보고하는 반송 완료 보고를 상위 컨트롤러(60)로 송신한다. 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a)의 관할 영역 밖의 반송처로 버퍼(8)로부터 물품(10)을 반송시키는 제3 반송 명령을 생성한다(단계 S32). 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a)로 제3 반송 명령을 송신한다. 영역 컨트롤러(50a)는, 수신한 제3 반송 명령을 기억부(51a)에 기억한다(단계 S33).
[0046] 그 후, 예컨대 자기의 관할 영역 내로 반송차(6)가 진입하여, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)가 증가한 경우, 영역 컨트롤러(50a)는, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많다고 판정하고, 반송차(6)의 대수 조건을 OK로 한다(단계 S34). 영역 컨트롤러(50a)는, 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)가 존재하는 경우, 기억부(51a)에 기억하고 있는 제3 반송 명령을 빈 반송차(6)에 할당한다(단계 S35). 영역 컨트롤러(50a)는, 제3 반송 명령을 반송차(6)에 할당하였음을 보고하는 명령 할당 보고를 상위 컨트롤러(60)로 송신한다. 제3 반송 명령이 할당된 반송차(6)는, 관할 영역 밖의 반송처로 반송하기 위해, 버퍼(8)로부터 물품(10)을 반출한다. 버퍼(8)로부터 물품(10)을 반출한 반송차(6)는, 영역 컨트롤러(50a)에 그 취지를 보고하고, 영역 컨트롤러(50a)는, 버퍼(8)로부터의 물품(10)의 픽업이 완료되었음을 인식한다(단계 S36).
[0047] 이상, 반송 시스템(1)에 있어서, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)에서는, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수인 경우에, 자기의 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 존재하면, 제1 반송 명령이 삭제된다. 그 후, 상위 컨트롤러(60)로부터 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)로 제2 반송 명령이 송신된다. 한편, 자기의 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 존재하지 않으면, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)에서는 제1 반송 명령이 기억된 채인 상태가 된다. 이에 의해, 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수 미만이 되는 것을 방지하면서, 관할 영역 내의 빈 버퍼(8)의 유무에 관계없이, 관할 영역 내의 전달 포트(14)로부터 물품(10)을 반송시키는 명령을 상위 컨트롤러(60) 및 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c) 중 어느 하나에서 관리할 수 있다. 빈 버퍼(8)의 유무를 상위 컨트롤러(60)가 상시 모니터링하는 것이 불필요해진다.
[0048] 전술한 바와 같이, 상위 컨트롤러(60)는, 예컨대, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)뿐만 아니라, 다양한 컨트롤러에 각종 명령을 송신한다. 이 때문에, 상위 컨트롤러(60)의 처리 부하는 극력으로 억제할 필요가 있다. 본 실시예의 반송 시스템(1)에 있어서, 상위 컨트롤러(60)는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)로부터 할당 불가 보고를 수신하였을 때, 해당 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)의 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 존재하는지의 여부를 한번 검색하기만 하면 되어서, 관할 영역 내에 빈 버퍼(8)가 생길 때까지 계속적으로 모니터링하는 것에 비해 처리 부하는 작다. 따라서, 상위 컨트롤러(60)의 처리 부하를 억제하면서, 전달 포트(14)에 물품(10)이 남겨져 버리는 것을 방지하는 것이 가능해진다. 전달 포트(14)로부터 물품(10)이 신속히 반출되기 때문에, 처리 장치(12)의 가동률을 향상시킬 수 있다. 물품 스왑 타임(swap time)(처리 장치(12)로부터 픽업 요구가 출력되었을 때부터, 물품(10)이 전달 포트(14)로부터 픽업되어 새로운 물품(10)이 전달 포트(14)에 놓일 때까지의 시간)을 단축화하는 것이 가능해진다.
[0049] 반송 시스템(1)에서는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 제1 반송 명령을 기억하고 있는 경우에 있어서, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많고 또한 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)가 존재할 때에는, 해당 제1 반송 명령을 반송차(6)에 할당한다. 이에 의해, 빈 버퍼(8)가 존재하지 않는 경우에는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)가 제1 반송 명령을 계속해서 관리하고, 관할 영역 내의 반송차(6)의 대수가 증가하는 것을 기다려서, 전달 포트(14)로부터 관할 영역 밖의 반송처로 물품(10)을 반송시키는 것이 가능해진다.
[0050] 반송 시스템(1)에서는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 상위 컨트롤러(60)로부터 수신한 제2 반송 명령을 반송차(6)에 할당한다. 상위 컨트롤러(60)는, 제2 반송 명령의 반송 완료 보고를 수신한 경우, 제3 반송 명령을 생성하고, 제3 반송 명령을 영역 컨트롤러로 송신한다. 이에 의해, 관할 영역 내의 빈 버퍼(8)로의 물품(10)의 반송 후, 해당 버퍼(8)로부터 제1 반송 명령에 있어서의 반송처 또는 관할 영역 밖의 다른 반송처로 물품(10)을 반송시키는 것이 가능해진다. 즉, 제1 반송 명령에 따라 반송차(6)에 실행시킬 예정이었던 물품(10)의 반송, 혹은, 제1 반송 명령에 있어서의 반송처와는 다른 반송처로의 물품(10)의 반송을, 제2 반송 명령 및 제3 반송 명령에 따라 반송차(6)에 실행시킬 수 있다.
[0051] 반송 시스템(1)에서는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많고 또한 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)가 존재할 때에는, 제3 반송 명령을 반송차에 할당한다. 이에 의해, 제1 반송 명령에 따라 관할 영역 밖의 반송처로 반송될 예정이었던 물품(10)을, 제3 반송 명령이 할당된 반송차(6)에 의해, 제1 반송 명령에 있어서의 반송처 또는 관할 영역 밖의 다른 반송처로 반송시킬 수 있다. 또한, 전달 포트(14)로부터의 물품(10)의 반송(제1 반송 명령)을, 버퍼(8)로부터의 물품(10)의 반송(제3 반송 명령)에 대해 우선적으로 실시할 수 있다.
[0052] 이상, 일 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명의 일 양태는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
[0053] 상기 실시형태에서는, 궤도(4) 및 영역(Aa, Ab, Ac)의 레이아웃은 특별히 한정되지 않고, 다양한 레이아웃을 궤도(4) 및 영역(Aa, Ab, Ac)에 채용할 수 있다. 상기 실시형태에서는, 어느 하나의 영역 컨트롤러(50a)에 관련된 처리를 예시 설명하고 있지만, 그 외의 영역 컨트롤러(50b, 50c)에 있어서도 동일한 처리를 실행할 수 있다. 상기 실시형태의 반송 시스템(1)은, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)와 상위 컨트롤러(60)를 중계하는 한 개 또는 복수의 다른 컨트롤러를 구비하고 있어도 된다. 영역의 수, 나아가 영역 컨트롤러의 수는 특별히 한정되지 않는다.
[0054] 상기 실시형태에서는, 상위 컨트롤러(60)는, 삭제 명령을 송신한 후에, 제2 반송 명령을 생성하고 송신하였지만, 제2 반송 명령을 생성하고 송신한 후에 삭제 명령을 송신해도 되고, 삭제 명령을 송신함과 동시에(병렬적으로) 제2 반송 명령을 생성하고 송신해도 된다. 상기 실시형태에서는, 영역 컨트롤러(50a, 50b, 50c)는, 제3 반송 명령을 상위 컨트롤러(60)로부터 수신하였을 때, 제3 반송 명령을 기억부(51a, 51b, 51c)에 기억하였는데, 이때 자기의 관할 영역 내에 존재하는 반송차(6)의 대수가 규정 대수보다 많고 또한 자기의 관할 영역 내에 빈 반송차(6)가 존재하는 경우에는, 수신한 제3 반송 명령을 빈 반송차(6)(반송 명령을 할당할 수 있는 반송차(6))에 할당해도 된다. 상기 실시형태에서는, 반송차(6)에 할당한 또는 할당 예정인 반송 명령이 어떠한 이유로 해제되는 경우도 있다.
1: 반송 시스템
4: 궤도
6: 반송차
8: 버퍼
10: 물품
12: 처리 장치
14: 전달 포트
50a, 50b, 50c: 영역 컨트롤러
60: 상위 컨트롤러
Aa, Ab, Ac: 영역

Claims (4)

  1. 복수의 영역에 걸쳐 설치된 궤도와,
    상기 궤도를 따라 주행하는 복수의 반송(搬送)차와,
    복수의 상기 영역 중 어느 하나를 관할 영역으로 하여, 해당 관할 영역 내의 상기 반송차를 제어하는 영역 컨트롤러(area controller)와,
    상기 관할 영역 내의 상기 반송차가 물품을 주고받을 수 있는 위치에 설치되고, 물품이 일시적으로 놓이는 버퍼와,
    상기 반송차로 하여금 물품을 반송시키는 반송 명령을 상기 영역 컨트롤러에 송신하는 상위 컨트롤러를 구비하고,
    상기 영역 컨트롤러는,
    상기 관할 영역 내에 존재하는 상기 반송차의 대수(臺數)가 미리 정해진 규정 대수이고, 또한, 상기 관할 영역 내의 처리 장치에 대한 물품의 전달 포트로부터 상기 관할 영역 밖의 반송처(搬送處)로 물품을 반송시키는 제1 반송 명령을 상기 상위 컨트롤러로부터 수신하였을 때, 상기 제1 반송 명령을 기억하는 동시에, 상기 제1 반송 명령을 상기 반송차에 할당할 수 없다는 취지의 보고를 상기 상위 컨트롤러에 송신하고,
    상기 상위 컨트롤러는,
    상기 영역 컨트롤러로부터 상기 보고를 수신하였을 때, 물품을 올려 놓을 수 있는 상기 버퍼가 존재하는 경우에는, 기억하고 있는 상기 제1 반송 명령을 삭제하는 명령을 상기 영역 컨트롤러에 송신하는 동시에, 상기 전달 포트로부터 해당 버퍼로 물품을 반송시키는 제2 반송 명령을 생성하고, 상기 제2 반송 명령을 상기 영역 컨트롤러에 송신하는, 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 영역 컨트롤러는,
    상기 제1 반송 명령을 기억하고 있는 경우에 있어서, 상기 관할 영역 내에 존재하는 상기 반송차의 대수가 상기 규정 대수보다 많고 또한 상기 관할 영역 내에 상기 송 명령을 할당할 수 있는 상기 반송차가 존재할 때에는, 상기 제1 반송 명령을 상기 반송차에 할당하는, 반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 영역 컨트롤러는, 상기 상위 컨트롤러로부터 수신한 상기 제2 반송 명령을 상기 반송차에 할당하고,
    상기 상위 컨트롤러는, 상기 제2 반송 명령이 할당된 상기 반송차에 의해 물품의 상기 버퍼로의 반송이 완료된 경우, 해당 버퍼로부터 상기 제1 반송 명령에 있어서의 반송처 또는 상기 관할 영역 밖의 다른 반송처로 물품을 반송시키는 제3 반송 명령을 생성하고, 상기 제3 반송 명령을 상기 영역 컨트롤러로 송신하는, 반송 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 영역 컨트롤러는,
    상기 관할 영역 내에 존재하는 상기 반송차의 대수가 상기 규정 대수보다 많고 또한 상기 관할 영역 내에 상기 반송 명령을 할당할 수 있는 상기 반송차가 존재할 때에는, 상기 제3 반송 명령을 상기 반송차에 할당하는, 반송 시스템.
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