WO2019230046A1 - 搬送システム - Google Patents

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WO2019230046A1
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一見 原崎
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村田機械株式会社
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a transport system.
  • a track provided across a plurality of areas, a plurality of transport vehicles that run along the track, and a transport vehicle in the jurisdiction area are controlled using any of the plurality of areas as a jurisdiction area.
  • a system including an area controller and a host controller that transmits a conveyance command to the area controller is known (see, for example, Patent Document 1).
  • a buffer on which the article is temporarily placed is provided at a position where the transport vehicle can deliver the article.
  • the area controller controls the area from the article delivery port (hereinafter also simply referred to as “delivery port”) to the processing device in the jurisdiction area. Even if a first conveyance command for conveying an article to an outside conveyance destination is received, a rejection (NG: No Good) is returned to the host controller without storing the first conveyance command as a command to be managed by itself. When there is a rejection reply, the host controller generates a second transport command for transporting the article from the delivery port to the buffer in the jurisdiction area, and transmits the second transport command to the area controller. Thereby, it is avoided that the number of the conveyance vehicles which exist in a jurisdiction area becomes less than a regulation number.
  • empty buffer there is no buffer on which an article can be placed.
  • the second transport command is not generated, and the first transport command is determined by either the host controller or the area controller. Will not be managed. Therefore, there is a possibility that the article is left behind at the delivery port.
  • the host controller constantly monitors the buffer and generates the second transport command when an empty buffer is generated.
  • the processing load on the host controller increases.
  • One aspect of the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a transport system that can prevent an article from being left in a delivery port while suppressing the processing load of a host controller. .
  • a transportation system includes a track provided across a plurality of areas, a plurality of transport vehicles that travel along the track, and any of the plurality of areas as a jurisdiction area.
  • the area controller that controls the transport vehicle, the transport vehicle in the jurisdiction area is provided at a position where the goods can be delivered, the buffer on which the goods are temporarily placed, and the transport command for transporting the goods to the transport car in the area
  • an upper controller that transmits data to the controller.
  • the area controller has a predetermined number of transport vehicles existing in the jurisdiction area, and has jurisdiction from an article delivery port to a processing device in the jurisdiction area.
  • the host controller receives the report from the area controller, if there is a buffer on which the article can be placed, the first controller stores the first report.
  • a command for deleting the transport command is transmitted to the area controller, a second transport command for transporting the article from the delivery port to the buffer is generated, and the second transport command is transmitted to the area controller.
  • the area controller stores the first conveyance command. This prevents the number of transport vehicles existing in the jurisdiction area from becoming less than the specified number, while giving instructions to transport articles from the delivery port in the jurisdiction area, regardless of whether there is an empty buffer in the jurisdiction area. It can be managed by either the host controller or the area controller. It is not necessary for the host controller to constantly monitor the empty buffer. Therefore, it is possible to prevent the article from being left in the delivery port while suppressing the processing load on the host controller.
  • the area controller when the area controller stores the first transport command, the number of transport vehicles existing in the jurisdiction area is larger than the specified number and the transport command is included in the jurisdiction area.
  • the first transport command may be assigned to the transport vehicle.
  • the area controller continuously manages the first transfer command, waits for the number of transport vehicles in the jurisdiction area to increase, and then controls from the delivery port. Articles can be transported to a transport destination outside the area.
  • the area controller allocates the second transport command received from the host controller to the transport vehicle, and the host controller uses the transport vehicle to which the second transport command is allocated to the article buffer. If the conveyance is completed, a third conveyance command for conveying the article from the buffer to the conveyance destination in the first conveyance command or another conveyance destination outside the jurisdiction area may be generated, and the third conveyance command may be transmitted to the area controller. Good. Thus, after the article is conveyed to the buffer in the jurisdiction area, the article can be conveyed from the buffer to the conveyance destination in the first conveyance command or another conveyance destination outside the jurisdiction area.
  • the transport of the article that should have been executed by the transport vehicle by the first transport command, or the transport of the article to a transport destination different from the transport destination in the first transport command is performed. It can be executed by a transport vehicle.
  • the area controller has a first function when the number of transport vehicles existing in the jurisdiction area is larger than the specified number and there is a transport vehicle capable of assigning a transport command in the jurisdiction area.
  • an article that was supposed to be transported to a transport destination outside the jurisdiction area by the first transport command can be transferred to the transport destination in the first transport command or from outside the jurisdiction area by the transport vehicle to which the third transport command is assigned. Can be transported to other transport destinations.
  • FIG. 1 is a schematic plan view showing a transport system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view showing an enlarged part of the area of the transport system according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic side view illustrating a transport vehicle, a delivery port, and a buffer of the transport system according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a sequence diagram of the transport system according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a sequence diagram of the transport system according to the embodiment.
  • FIG. 6 is a sequence diagram of the transport system according to the embodiment.
  • FIG. 7 is a sequence diagram of the transport system according to the embodiment.
  • FIG. 8 is a sequence diagram of the transport system according to the embodiment.
  • the transport system 1 is a system for transporting an article 10.
  • the article 10 is, for example, a container that stores a plurality of semiconductor wafers, but may be a glass substrate, a general component, or the like.
  • the transport system 1 includes a track 4, a transport vehicle 6, a buffer 8, area controllers 50a, 50b, and 50c, and a host controller 60.
  • the conveyance system 1 conveys the article 10 between the plurality of delivery ports 14 or between the delivery port 14 and the buffer 8 or the like.
  • the track 4 is provided across a plurality of areas Aa, Ab, and Ac.
  • the track 4 is laid, for example, near the ceiling, which is an overhead space for the worker.
  • the track 4 is suspended from the ceiling, for example.
  • the track 4 is a predetermined traveling path for causing the transport vehicle 6 to travel.
  • the track 4 is supported by the support column 41.
  • the transport vehicle 6 travels along the track 4 and transports the article 10.
  • the transport vehicle 6 is configured to be able to transfer the article 10.
  • the transport vehicle 6 is an overhead traveling unmanned transport vehicle.
  • the transport vehicle 6 is also referred to as, for example, a cart (transport cart), an overhead traveling vehicle (overhead traveling cart), or a traveling vehicle (traveling cart).
  • the number of transport vehicles 6 included in the transport system 1 is not particularly limited, and is plural.
  • the transport vehicle 6 includes a traveling unit 18 that travels the transport vehicle 6 along the track 4 and a power receiving communication unit 20 that receives power from the track 4 side by, for example, non-contact power feeding.
  • the transport vehicle 6 communicates with any of the area controllers 50a, 50b, and 50c using the power supply line of the track 4 or the like.
  • the transport vehicle 6 may communicate with any of the area controllers 50a, 50b, and 50c via a communication line (feeder line) provided along the track 4 separately from the power supply line.
  • the transport vehicle 6 includes a main body frame 22, a lateral feed unit 24, a ⁇ drive 26, a lift drive unit 28, a lift platform 30, and a fall prevention cover 33.
  • the lateral feed unit 24 collectively feeds the ⁇ drive 26, the lift drive unit 28, and the lift base 30 in a direction perpendicular to the traveling direction of the track 4.
  • the ⁇ drive 26 rotates at least one of the elevating drive unit 28 and the elevating platform 30 within a predetermined angle range within a horizontal plane.
  • the raising / lowering drive part 28 raises / lowers the raising / lowering stand 30 by winding or drawing
  • the lift 30 is provided with a chuck so that the article 10 can be gripped or released.
  • a pair of fall prevention covers 33 are provided, for example, before and after the traveling direction of the transport vehicle 6.
  • the fall prevention cover 33 causes a nail or the like (not shown) to appear and disappear to prevent the article 10 from falling during conveyance.
  • the transport vehicle 6 delivers the article 10 to and from the buffer 8 by laterally feeding the elevation drive unit 28 and the like by the lateral feeding unit 24 and slightly raising and lowering the lifting platform 30.
  • the transport vehicle 6 delivers the article 10 to and from the delivery port 14 by raising and lowering the lifting platform 30 by the lifting drive unit 28.
  • the buffer 8 is a place where the article 10 is temporarily placed.
  • the buffer 8 is a table on which the article 10 is temporarily placed.
  • the transport vehicle 6 transports the article 10 having the delivery port 14 as the destination (conveyance destination), for example, because the other article 10 is placed on the delivery port 14, the transport vehicle 6. If the article 10 being conveyed cannot be transferred to the delivery port 14, the transport vehicle 6 transfers the article 10 to the buffer 8 near the delivery port 14. Thereby, the article 10 is temporarily stored in the buffer 8 until the delivery port 14 becomes empty.
  • the buffer 8 is suspended from, for example, a ceiling by a support column 9.
  • the buffer 8 is provided at a position where the transport vehicle 6 can deliver the article 10.
  • the buffer 8 is disposed on the side of the track 4.
  • the buffer 8 may be disposed immediately below the track 4.
  • the buffer 8 includes a buffer storage unit that stores various types of information related to the buffer 8 (information about whether or not the article 10 is placed, information about the ID of the article 10 being placed, and the like), and a buffer storage unit. And a communication unit for communicating the various stored information.
  • the delivery port 14 is a port for delivering the article 10 to the semiconductor processing apparatus 12 including, for example, a cleaning apparatus, a film forming apparatus, a lithography apparatus, an etching apparatus, a heat treatment apparatus, and a planarization apparatus.
  • the delivery port 14 is a table on which the article 10 is placed.
  • the article 10 is a container for storing a plurality of semiconductor wafers
  • the semiconductor wafer is taken out from the article 10 placed on the delivery port 14 and taken into the processing apparatus 12, and processing is performed in the processing apparatus 12. After that, it is stored in the article 10 again. Then, the article 10 in which the semiconductor wafer is stored is transferred by the transfer vehicle 6 to the transfer port 14 for transferring to the other processing apparatus 12.
  • the processing device 12 communicates various information with the host controller 60 by wired communication using a communication line or the like provided along the track 4 or wireless communication.
  • the processing device 12 is not particularly limited, and may be various devices.
  • the delivery port 14 is provided at a position where the transport vehicle 6 can deliver the article 10.
  • the delivery port 14 is disposed immediately below the track 4.
  • the delivery port 14 may be disposed on the side and below the track 4.
  • the transport vehicle 6 laterally feeds the elevation drive unit 28 and the like by the lateral feeding unit 24, and the elevation platform 30.
  • the article 10 is delivered to and from the delivery port 14 by moving up and down.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c are electronic control units including a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c can be configured as software that is executed by the CPU after a program stored in the ROM is loaded onto the RAM, for example.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • Each of the area controllers 50a, 50b, and 50c is provided in each of the areas Aa, Ab, and Ac.
  • Each of the area controllers 50a, 50b, and 50c is provided so as to correspond to each of the areas Aa, Ab, and Ac.
  • each of the area controllers 50a, 50b, and 50c sets each of the areas Aa, Ab, and Ac as a jurisdiction area that is an area in which they are in charge of control.
  • one area controller has one area as a jurisdiction area, and as many such area controllers are provided as the number of areas. That is, one area controller has any of a plurality of areas as a jurisdiction area.
  • the area controller 50a communicates with a plurality of transport vehicles 6 in a jurisdiction area of the area controller 50a (hereinafter, also referred to as “own jurisdiction area”), and a plurality of transport vehicles 6 in the self control area.
  • the area controller 50b communicates with the plurality of transport vehicles 6 in its own jurisdiction area, and controls the plurality of transport vehicles 6 in its own jurisdiction area.
  • the area controller 50c communicates with the plurality of transport vehicles 6 in its own jurisdiction area, and controls the plurality of transport vehicles 6 in its own jurisdiction area.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c communicate with the host controller 60 by wire or wireless.
  • Each of the area controllers 50a, 50b, 50c has storage units 51a, 51b, 51c, respectively.
  • the host controller 60 is an electronic control unit including a CPU, a ROM, a RAM, and the like.
  • the host controller 60 can be configured as software that is loaded on the RAM and executed by the CPU after the program stored in the ROM, for example.
  • the host controller 60 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the host controller 60 communicates with any of the area controllers 50a, 50b, and 50c in a wired or wireless manner, and transmits a conveyance command for conveying the article 10 to the conveyance vehicle 6 to any of the area controllers 50a, 50b, and 50c. To do.
  • the host controller 60 is connected to, for example, a controller that controls the stacker crane installed in the stocker, a controller that controls the conveyor, and the like in addition to the plurality of area controllers 50a, 50b, and 50c. Various commands are sent to.
  • each of the area controllers 50a, 50b, and 50c has a prescribed number of transport vehicles 6 existing in its own jurisdiction area, and sends a first transport command from the host controller 60.
  • the first transport command is stored in each of the storage units 51a, 51b, 51c as a command that it manages, and a report that the first transport command cannot be allocated to the transport vehicle 6 (hereinafter referred to as “not allocated”). Report ”) is transmitted to the host controller 60.
  • Specified number is predetermined.
  • the prescribed number is not particularly limited, and may be a fixed value or a variable value. Various numbers may be used.
  • the prescribed number is, for example, the minimum number of transported vehicles (minimum number) that is the number of transported vehicles 6 to be held in one area. For example, when an operation to be performed by the transport vehicle 6 occurs in the area, such as transport of the article 10, the work cannot be performed promptly unless there is a sufficient number of transport vehicles 6 in the area.
  • the minimum number of transported vehicles that is the lower limit value of the number of transported vehicles 6 to be held in one area is determined, and the area controllers 50a, 50b, 50c
  • the conveyance vehicles 6 in the jurisdiction area are controlled so that the number of conveyance vehicles 6 in the vehicle does not become less than the minimum number of conveyance vehicles (that is, always equal to or more than the minimum number of conveyance vehicles).
  • the number of transport vehicles 6 in the jurisdiction area is the minimum number of transport vehicles 6
  • transport in the jurisdiction area is prevented so that the transport vehicles 6 in the jurisdiction area do not go out of the jurisdiction area.
  • the traveling of the vehicle 6 is controlled.
  • the first transport command is a command for transporting the article 10 from the delivery port 14 in the area controlled by the area controller to a transport destination outside the area controller.
  • the first transport command is, for example, a transport command for transporting the article 10 from the delivery port 14 in the area Aa to the delivery port 14 in the area Ab (or in the area Ac).
  • the transfer destination is not particularly limited, and includes the transfer port 14 and the buffer 8 in another area (other jurisdiction area) different from the area (own jurisdiction area) to which the transfer port 14 that is the transfer source belongs.
  • the area controller 50a when the number of transport vehicles 6 existing in the jurisdiction area of the area controller 50a is the minimum number of transport vehicles and the area controller 50a receives the first transport command from the host controller 60, When the first transport command is assigned to the transport vehicle 6, the transport vehicle 6 to which the first transport command is assigned goes out of the jurisdiction area, and as a result, the transport vehicle 6 that exists in its own jurisdiction area. Is less than the minimum number of transported vehicles. For this reason, the area controller 50a cannot assign the first transport command to any transport vehicle 6 in the jurisdiction area. In this case, the area controller 50 a stores the first conveyance command in the storage unit 51 a as a command managed by itself, and transmits an unassignable report to the host controller 60.
  • the transport vehicle 6 in any jurisdiction area of the area controllers 50a, 50b, and 50c can deliver the article 10.
  • a second transport command is generated.
  • the second transport command is a command for transporting the article 10 from the delivery port 14 in the jurisdiction area of any of the area controllers 50a, 50b, 50c to the empty buffer 8.
  • the transfer source of the second transfer command is the same delivery port 14 as the transfer source of the first transfer command.
  • the article 10 is a container for storing a plurality of semiconductor wafers
  • the delivery port No other article 10 can be placed on 14, and the processing apparatus 12 cannot process a semiconductor wafer stored in the other article 10 even though it can be operated.
  • the article 10 placed on the delivery port 14 should be promptly removed from the delivery port 14. Therefore, in the transport system 1, when the first transport command cannot be assigned to any transport vehicle 6 in the jurisdiction area, the second transport using the same delivery port 14 as the transport source of the first transport command as the transport source.
  • the second transport command can be generated based on the first transport command.
  • the second transport command is a command (including a part of the first transport command) configured to divide the first transport command, and includes a carry-out process from the transport source in the first transport command.
  • the host controller 60 After generating the second transport command, the host controller 60 transmits the second transport command to any of the area controllers 50a, 50b, and 50c. Further, when the host controller 60 receives the non-allocation report from any of the area controllers 50a, 50b, and 50c, when there is an empty buffer 8 in any jurisdiction area of the area controller 50a, 50b, or 50c. Indicates a command (hereinafter referred to as “deletion command”) for deleting the first conveyance command stored in the storage unit (a storage unit included in any of the area controllers 50a, 50b, and 50c) as the area controller 50a. , 50b, 50c.
  • the empty controller 8 does not exist in any jurisdiction area of the area controllers 50a, 50b, and 50c. Does not send a delete command to any of the area controllers 50a, 50b, 50c. That is, the allocation report of the first conveyance command is received from any one of the area controllers 50a, 50b, 50c without performing any additional processing regarding the first conveyance command transmitted to any one of the area controllers 50a, 50b, 50c. Wait for it.
  • each of the area controllers 50a, 50b, and 50c stores the first conveyance command in each of the storage units 51a, 51b, and 51c
  • the number of conveyance vehicles 6 existing in its own jurisdiction area is larger than the prescribed number.
  • the first transport command is assigned to the empty transport vehicle 6.
  • the stored first transporting command is held without being assigned to any transporting vehicle 6, for example, from other areas.
  • the stored first transport command is sent to any of the jurisdiction areas. Assign to an empty transport vehicle 6.
  • the transport vehicle 6 to which the first transport command is assigned transports the article 10 from the delivery port 14 in its own jurisdiction area to a transport destination outside its own jurisdiction area.
  • Each of the area controllers 50a, 50b, and 50c receives the transfer command received from the host controller 60 when there is no empty transfer vehicle 6 (that is, the transfer vehicle 6 to which the transfer command can be assigned) in its own jurisdiction area.
  • the data is stored in each of the storage units 51a, 51b, 51c without being assigned to any transport vehicle 6. For example, this applies to the case where all of the transport vehicles 6 existing in the self-responsible area are already executing the transport command.
  • a plurality of transport commands that cannot be assigned to any transport vehicle 6 may be stored in the storage units 51a, 51b, 51c.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c when the empty transport vehicle 6 is generated in their own jurisdiction area, the transport commands stored in the storage units 51a, 51b, and 51c, for example, in order from the first stored. Assign to the empty transport vehicle 6.
  • the area controllers 50a, 50b, 50c assign the second transport command to the empty transport vehicle 6 when receiving the second transport command from the host controller 60.
  • the transport vehicle 6 to which the second transport command is assigned transports the article 10 from the delivery port 14 to the buffer 8 in its own jurisdiction area.
  • the number of transport vehicles 6 in the jurisdiction area is kept at least the specified number.
  • the host controller 60 generates a third transport command when the transport vehicle 6 to which the second transport command is assigned completes transport of the article 10 to the buffer 8 in the jurisdiction area.
  • the third transport command is a command for transporting the article 10 from the buffer 8 in the jurisdiction area to a transport destination outside the jurisdiction area.
  • the transport destination of the third transport command may be the same as or different from the transport destination of the first transport command.
  • the third transport command can be generated based on the first transport command.
  • the third transport command may be a command (including other parts of the first transport command) configured to divide the first transport command, and includes a carry-in process to the transport destination in the first transport command. There may be.
  • the host controller 60 transmits the third transport command to any of the area controllers 50a, 50b, and 50c that have jurisdiction over the jurisdiction area.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c When each of the area controllers 50a, 50b, and 50c receives the third transport command from the host controller 60, the area controllers 50a, 50b, and 50c store the third transport command in the storage units 51a, 51b, and 51c, respectively.
  • the area controller 50a, 50b, 50c stores the third transport command
  • the number of transport vehicles 6 existing in its own jurisdiction area is larger than the specified number and is free in its own jurisdiction area.
  • the stored third transport command is assigned to the empty transport vehicle 6.
  • the transport vehicle 6 to which the third transport command is assigned transports the article 10 from the buffer 8 in its own jurisdiction area to a transport destination outside its own jurisdiction area.
  • Each of the area controllers 50a, 50b, 50c for example, when the third transport command is received from the host controller 60, the number of transport vehicles 6 existing in the self-responsible area is the specified number or more than the specified number. Regardless, the third transport command is stored in each of the storage units 51a, 51b, 51c. In other words, even if the number of transport vehicles 6 existing in the jurisdiction area is the specified number, the assignment impossible report is not transmitted to the host controller 60. In other words, it is not always necessary to generate a new transport command with the buffer 8 as the transport source and the other buffer 8 in the jurisdiction area as the transport destination.
  • the third transport command stored in the storage units 51a, 51b, 51c is held without being assigned to any transport vehicle 6,
  • the third transport command stored in the storage units 51a, 51b, 51c is assigned to any transport vehicle 6 in the jurisdiction area.
  • one area controller 50a among the plurality of area controllers 50a, 50b, 50c will be described.
  • the transfer port 14 and the processing device 12 existing in the area under the control of the area controller 50a will be described simply as “the transfer port 14 and the processing device 12”.
  • the processing device 12 transmits a pickup request for picking up (unloading) the article 10 from the delivery port 14 to the host controller 60 (step S1).
  • the host controller 60 In response to receiving the pickup request, the host controller 60 generates a first transport command for transporting the article 10 from the delivery port 14 in the area controlled by the area controller 50a to a transport destination outside the area controlled by the area controller 50a ( Step S2).
  • the host controller 60 transmits a first transport command to the area controller 50a.
  • the area controller 50a In response to the reception of the first transport command, the area controller 50a returns an OK report for reporting the reception to the host controller 60. For example, the area controller 50a determines whether or not the number of the transport vehicles 6 existing in its own jurisdiction area is a prescribed number based on the communication result with the transport vehicle 6. When the area controller 50a determines that the number of transport vehicles 6 existing in its own jurisdiction area is the prescribed number, the area controller 50a renders the number condition of the transport vehicles 6 inappropriate (step S3). The area controller 50a stores the received first transport command in the storage unit 51a (step S4). The area controller 50 a transmits an allocation impossible report to the upper controller 60.
  • the host controller 60 searches for an empty buffer 8 in the jurisdiction area of the area controller 50a (step S5).
  • the search for the empty buffer 8 can be executed based on various information obtained by communicating with each buffer 8 in the jurisdiction area, for example. If there is no empty buffer 8 in the jurisdiction area, the host controller 60 disables detection of the empty buffer 8 (step S6).
  • the area controller 50 a It is determined that the number of transport vehicles 6 existing in the vehicle is larger than the specified number, and the number of transport vehicles 6 is determined to be OK (step S11).
  • the area controller 50a assigns the first transport command stored in the storage unit 51a to the empty transport vehicle 6 (step S12).
  • the area controller 50 a transmits a command allocation report that reports that the first transport command is allocated to the transport vehicle 6 to the host controller 60.
  • the transport vehicle 6 to which the first transport command is assigned unloads (picks up) the article 10 from the delivery port 14 to be transported to a transport destination outside the jurisdiction area.
  • the transport vehicle 6 that has unloaded the article 10 from the delivery port 14 reports the fact to the area controller 50a, and the area controller 50a recognizes that the pickup of the article 10 from the delivery port 14 has been completed (step S13).
  • the processing device 12 recognizes that the delivery port 14 is empty (the article 10 is not placed).
  • the processing device 12 transmits a drop-off request for placing the article 10 on the delivery port 14 to the host controller 60 (step S14).
  • Step S21 the host controller 60 transmits to the area controller 50a a deletion command for deleting the first transport command stored in the storage unit 51a.
  • the area controller 50a returns an OK report for reporting the reception to the upper controller 60.
  • the area controller 50a deletes the first conveyance command stored in the storage unit 51a (step S22).
  • the area controller 50a transmits a deletion completion report that reports the completion of deletion of the first transport command to the host controller 60.
  • the host controller 60 generates a second transport command for transporting the article 10 from the delivery port 14 to the empty buffer 8 (step S23).
  • the host controller 60 transmits a second transport command to the area controller 50a.
  • the area controller 50a assigns the received second transport command to the empty transport vehicle 6 (step S24).
  • the area controller 50 a transmits a command allocation report that reports that the second transport command is allocated to the transport vehicle 6 to the host controller 60.
  • the transport vehicle 6 to which the second transport command is assigned unloads the article 10 from the delivery port 14 to be transported to the empty buffer 8 in the jurisdiction area.
  • the transport vehicle 6 that has unloaded the article 10 from the delivery port 14 reports the fact to the area controller 50a, and the area controller 50a recognizes that the pickup of the article 10 from the delivery port 14 has been completed (step S25).
  • the processing device 12 recognizes that the delivery port 14 is empty (the article 10 is not placed).
  • the processing device 12 transmits a drop-off request for placing the article 10 on the delivery port 14 to the host controller 60 (step S26).
  • the area controller 50a recognizes that the conveyance of the article 10 to the empty buffer 8 has been completed (step S31).
  • the area controller 50a transmits a conveyance completion report that reports that the conveyance of the second conveyance command is completed to the host controller 60.
  • the host controller 60 generates a third transport command for transporting the article 10 from the buffer 8 to a transport destination outside the area under the control of the area controller 50a (step S32).
  • the host controller 60 transmits a third transport command to the area controller 50a.
  • the area controller 50a stores the received third transport command in the storage unit 51a (step S33).
  • the area controller 50a determines the number of transport vehicles 6 present in the own jurisdiction area. Is greater than the prescribed number, and the condition for the number of transporting vehicles 6 is determined to be OK (step S34).
  • the area controller 50a assigns the third transport command stored in the storage unit 51a to the empty transport vehicle 6 (step S35).
  • the area controller 50 a transmits a command allocation report that reports that the third transport command is allocated to the transport vehicle 6 to the host controller 60.
  • the transport vehicle 6 assigned with the third transport command unloads the article 10 from the buffer 8 to be transported to a transport destination outside the jurisdiction area.
  • the transport vehicle 6 that has unloaded the article 10 from the buffer 8 reports the fact to the area controller 50a, and the area controller 50a recognizes that the pickup of the article 10 from the buffer 8 has been completed (step S36).
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c when the number of transport vehicles 6 existing in the own jurisdiction area is the specified number, if there is an empty buffer 8 in the own jurisdiction area.
  • the first transport command is deleted.
  • the second transport command is transmitted from the host controller 60 to the area controllers 50a, 50b, and 50c.
  • the area controller 50a, 50b, 50c keeps storing the first conveyance command. This prevents the number of transport vehicles 6 existing in the jurisdiction area from being less than the prescribed number, and removes the article 10 from the delivery port 14 in the jurisdiction area regardless of the presence or absence of the empty buffer 8 in the jurisdiction area.
  • a command to be conveyed can be managed by any one of the host controller 60 and the area controllers 50a, 50b, and 50c. It becomes unnecessary for the host controller 60 to constantly monitor the presence or absence of the empty buffer 8.
  • the host controller 60 transmits various commands to various controllers as well as the area controllers 50a, 50b, and 50c, for example. For this reason, it is necessary to suppress the processing load of the host controller 60 as much as possible.
  • the free buffer 8 exists in the jurisdiction area of the area controllers 50a, 50b, and 50c. It is only necessary to search once or not, and the processing load is small compared to the case of continuously monitoring until a free buffer 8 is generated in the jurisdiction area. Therefore, it is possible to prevent the article 10 from being left in the delivery port 14 while suppressing the processing load on the host controller 60.
  • the operating rate of the processing apparatus 12 can be improved. It is possible to shorten the article swap time (the time from when the pickup request is output from the processing device 12 to when the article 10 is picked up from the delivery port 14 and when a new article 10 is placed at the delivery port 14). Become.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c store the first transport command
  • the number of transport vehicles 6 existing in their own jurisdiction area is larger than the prescribed number and their own jurisdiction area.
  • the first transport command is assigned to the transport vehicle 6.
  • the area controllers 50a, 50b, 50c continue to manage the first transport command, and wait for the number of transport vehicles 6 in the jurisdiction area to increase before passing the delivery port.
  • the article 10 can be transported from 14 to a transport destination outside the jurisdiction area.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c assign the second transport command received from the host controller 60 to the transport vehicle 6.
  • the host controller 60 receives the transport completion report of the second transport command
  • the host controller 60 generates a third transport command and transmits the third transport command to the area controller.
  • the article 10 can be transported from the buffer 8 to the transport destination in the first transport command or another transport destination outside the jurisdiction area. That is, the conveyance of the article 10 that should have been performed by the conveyance vehicle 6 by the first conveyance instruction, or the conveyance of the article 10 to a conveyance destination different from the conveyance destination in the first conveyance instruction, is performed.
  • the conveyance vehicle 6 can be executed by a three conveyance command.
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c are configured so that when the number of transport vehicles 6 existing in their own jurisdiction area is larger than the prescribed number and there are empty transport vehicles 6 in their own jurisdiction area, 3 Assign the transport command to the transport vehicle.
  • the article 10 that should have been transported to the transport destination outside the jurisdiction area by the first transport command is transferred from the transport destination or the jurisdiction area in the first transport command by the transport vehicle 6 to which the third transport command is assigned. It can be transported to other transport destinations.
  • the conveyance of the article 10 from the delivery port 14 (first conveyance command) can be preferentially performed with respect to the conveyance of the article 10 from the buffer 8 (third conveyance instruction).
  • the layout of the track 4 and the areas Aa, Ab, Ac is not particularly limited, and various layouts can be adopted for the track 4 and the areas Aa, Ab, Ac.
  • the processing related to a certain area controller 50a is described as an example, but similar processing can also be executed in the other area controllers 50b and 50c.
  • the transport system 1 of the above embodiment may include one or more other controllers that relay the area controllers 50a, 50b, and 50c and the host controller 60.
  • the number of areas and thus the number of area controllers are not particularly limited.
  • the host controller 60 generates and transmits the second transport command after transmitting the delete command.
  • the host controller 60 may transmit the delete command after generating and transmitting the second transport command.
  • the second conveyance command may be generated and transmitted simultaneously with the transmission of the deletion command (in parallel).
  • the area controllers 50a, 50b, and 50c store the third transport command in the storage units 51a, 51b, and 51c when receiving the third transport command from the host controller 60.
  • the received third transport command is transferred to the empty transport vehicle 6 (transfer command It may be assigned to an assignable transport vehicle 6).
  • the conveyance command assigned to the conveyance vehicle 6 or scheduled to be assigned may be canceled for some reason.

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Abstract

搬送システムは、軌道と搬送車とエリアコントローラとバッファと上位コントローラと、を備える。エリアコントローラは、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が予め定められた規定台数であり、且つ、管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポートから管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を上位コントローラから受信したとき、第１搬送指令を記憶すると共に、第１搬送指令を搬送車に割り付けられない旨の報告を上位コントローラに送信する。上位コントローラは、エリアコントローラから報告を受信したとき、物品を載置可能なバッファが存在する場合には、記憶している第１搬送指令を削除する指令をエリアコントローラに送信すると共に、受け渡しポートから当該バッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、第２搬送指令をエリアコントローラに送信する。

Description

搬送システム
　本発明の一側面は、搬送システムに関する。
　従来の搬送システムとして、複数のエリアに跨って設けられた軌道と、軌道に沿って走行する複数の搬送車と、複数のエリアの何れかを管轄エリアとして当該管轄エリア内の搬送車を制御するエリアコントローラと、搬送指令をエリアコントローラに送信する上位コントローラと、を備えたシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような搬送システムでは、搬送車が物品を受け渡し可能な位置に、物品が一時的に載置されるバッファが設けられている。
特許第４３６６６６３号公報
　上述した搬送システムにおいて、エリアコントローラは、管轄エリア内の搬送車の台数が規定台数であるとき、管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポート（以下、単に「受け渡しポート」ともいう）から管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を受信したとしても、第１搬送指令を自己の管理する指令として記憶することなく、上位コントローラへ拒否（ＮＧ:No Good）の返信する。上位コントローラは、拒否の返信があると、受け渡しポートから管轄エリア内のバッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、この第２搬送指令をエリアコントローラへ送信する。これにより、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数よりも少なくなることを回避している。しかしこの場合、物品を載置可能なバッファ（以下、「空きバッファ」ともいう）が存在しなければ、第２搬送指令が生成されず、且つ、第１搬送指令は上位コントローラ及びエリアコントローラの何れにも管理されないことになる。よって、受け渡しポートに物品が取り残されてしまう可能性がある。
　この点、上位コントローラがバッファを常時監視し、空きバッファが生じたときに第２搬送指令を生成することも考えられる。しかしこの場合、上位コントローラの処理負荷が大きくなる。
　本発明の一側面は、上記実情に鑑みてなされたものであり、上位コントローラの処理負荷を抑えながら、受け渡しポートに物品が取り残されてしまうことを防止できる搬送システムを提供することを課題とする。
　本発明の一側面に係る搬送システムは、複数のエリアに跨って設けられた軌道と、軌道に沿って走行する複数の搬送車と、複数のエリアの何れかを管轄エリアとして、当該管轄エリア内の搬送車を制御するエリアコントローラと、管轄エリア内の搬送車が物品を受け渡し可能な位置に設けられ、物品が一時的に載置されるバッファと、搬送車に物品を搬送させる搬送指令をエリアコントローラに送信する上位コントローラと、を備え、エリアコントローラは、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が予め定められた規定台数であり、且つ、管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポートから管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を上位コントローラから受信したとき、第１搬送指令を記憶すると共に、第１搬送指令を搬送車に割り付けられない旨の報告を上位コントローラに送信し、上位コントローラは、エリアコントローラから報告を受信したとき、物品を載置可能なバッファが存在する場合には、記憶している第１搬送指令を削除する指令をエリアコントローラに送信すると共に、受け渡しポートから当該バッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、第２搬送指令をエリアコントローラに送信する。
　この搬送システムでは、エリアコントローラの管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数である場合に、空きバッファが存在すれば、エリアコントローラでは第１搬送指令が削除され、上位コントローラによりエリアコントローラへ第２搬送指令が送信される。一方、空きバッファが存在しなければ、エリアコントローラでは第１搬送指令が記憶されたままとなる。これにより、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数未満となることを防止しつつ、管轄エリア内の空きバッファの有無によらず、管轄エリア内の受け渡しポートから物品を搬送させる指令を上位コントローラ及びエリアコントローラの何れかで管理することができる。空きバッファを上位コントローラが常時監視することが不要となる。したがって、上位コントローラの処理負荷を抑えながら、受け渡しポートに物品が取り残されてしまうことを防止することが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、エリアコントローラは、第１搬送指令を記憶している場合において、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数よりも多く且つ管轄エリア内に搬送指令を割り付け可能な搬送車が存在するときには、第１搬送指令を搬送車に割り付けてもよい。これにより、物品を載置可能なバッファが存在しない場合には、エリアコントローラが第１搬送指令を継続して管理し、管轄エリア内の搬送車の台数が増えるのを待って、受け渡しポートから管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させることが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、エリアコントローラは、上位コントローラから受信した第２搬送指令を搬送車に割り付け、上位コントローラは、第２搬送指令が割り付けられた搬送車により物品のバッファへの搬送が完了した場合、当該バッファから第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ物品を搬送させる第３搬送指令を生成し、第３搬送指令をエリアコントローラへ送信してもよい。これにより、管轄エリア内のバッファへの物品搬送後、当該バッファから第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ物品を搬送させることが可能となる。すなわち、第１搬送指令により搬送車に実行させるはずであった物品の搬送、或いは第１搬送指令における搬送先とは異なる搬送先への物品の搬送を、第２搬送指令及び第３搬送指令により搬送車に実行させることができる。
　本発明の一側面に係る搬送システムでは、エリアコントローラは、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数よりも多く且つ管轄エリア内に搬送指令を割り付け可能な搬送車が存在するときには、第３搬送指令を搬送車に割り付けてもよい。これにより、第１搬送指令により管轄エリア外の搬送先へ搬送されるはずであった物品を、第３搬送指令が割り付けられた搬送車により、第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ搬送させることができる。
　本発明の一側面によれば、上位コントローラの処理不可を抑えながら、受け渡しポートに物品が取り残されてしまうことを回避できる搬送システムを提供することが可能となる。
図１は、一実施形態に係る搬送システムを示す概略平面図である。 図２は、一実施形態に係る搬送システムのエリア内の一部を拡大して示す概略平面図である。 図３は、一実施形態に係る搬送システムの搬送車、受け渡しポート及びバッファを示す概略側面図である。 図４は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図５は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図６は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図７は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図８は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。
　以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
　図１～図３に示されるように、搬送システム１は、物品１０を搬送するシステムである。物品１０は、例えば複数の半導体ウェハを格納する容器であるが、ガラス基板及び一般部品等であってもよい。搬送システム１は、軌道４、搬送車６、バッファ８、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ及び上位コントローラ６０を備える。搬送システム１は、複数の受け渡しポート１４相互間、あるいは、受け渡しポート１４とバッファ８等との間で物品１０を搬送する。
　軌道４は、複数のエリアＡａ，Ａｂ，Ａｃに跨って設けられている。軌道４は、例えば作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。軌道４は、例えば天井から吊り下げられている。軌道４は、搬送車６を走行させるための予め定められた走行路である。軌道４は、支柱４１により支持される。
　搬送車６は、軌道４に沿って走行し、物品１０を搬送する。搬送車６は、物品１０を移載可能に構成されている。搬送車６は、天井走行式無人搬送車である。搬送車６は、例えば台車（搬送台車）、天井走行車（天井走行台車）、又は、走行車（走行台車）とも称される。搬送システム１が備える搬送車６の台数は、特に限定されず、複数である。
　図３に示されるように、搬送車６は、搬送車６を軌道４に沿って走行させる走行部１８と、例えば非接触給電で軌道４側から受電する受電通信部２０と、を有する。搬送車６は、軌道４の給電線等を利用して、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかと通信を行う。あるいは、搬送車６は、給電線とは別に、軌道４に沿って設けられた通信線（フィーダー線）を介してエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかと通信を行ってもよい。また、搬送車６は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、落下防止カバー３３と、を有する。
　横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、軌道４の走行方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、昇降台３０をワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材の巻取りないし繰出しによって昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。落下防止カバー３３は、例えば搬送車６の走行方向の前後に一対設けられている。落下防止カバー３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
　搬送車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を僅かに昇降させることにより、バッファ８との間で物品１０を受け渡しする。搬送車６は、昇降駆動部２８で昇降台３０を昇降させることにより、受け渡しポート１４との間で物品１０を受け渡しする。
　図２及び図３に示されるように、バッファ８は、物品１０が一時的に載置される箇所である。バッファ８は、物品１０が仮置きされる台である。搬送車６が受け渡しポート１４を目的地（搬送先）とする物品１０の搬送を行っている際、例えばその受け渡しポート１４に他の物品１０が載置されている等の理由により、搬送車６が搬送している物品１０をその受け渡しポート１４に移載できない場合、搬送車６は、受け渡しポート１４付近のバッファ８に物品１０を移載する。これにより、受け渡しポート１４が空くまで、物品１０がバッファ８に一時的に保管される。バッファ８は、支柱９によって例えば天井等に吊下されている。バッファ８は、搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。バッファ８は、軌道４の側方に配置されている。あるいは、バッファ８は、軌道４の直下に配置されていてもよい。バッファ８には、バッファ８に関する各種情報（物品１０を載置しているか否かに関する情報、及び載置している物品１０のＩＤに関する情報等）を記憶するバッファ記憶部と、バッファ記憶部に記憶した各種情報を通信する通信部と、が設けられている。
　受け渡しポート１４は、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置１２に対して物品１０の受け渡しを行うポートである。受け渡しポート１４は、物品１０が載置される台である。物品１０が複数の半導体ウェハを格納する容器である態様において、受け渡しポート１４に載置された物品１０から半導体ウェハが取り出されて処理装置１２内に取り込まれ、当該処理装置１２において処理が行われた後、再び物品１０内に格納される。そして、半導体ウェハが格納された物品１０が、搬送車６により他の処理装置１２に対して受け渡しを行う受け渡しポート１４等に搬送される。処理装置１２は、軌道４に沿って設けられた通信線等を利用した有線通信、あるいは無線通信により、上位コントローラ６０と各種情報の通信を行う。処理装置１２は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。受け渡しポート１４は、搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。受け渡しポート１４は、軌道４の直下に配置されている。あるいは、軌道４の側方且つ下方に受け渡しポート１４が配置されたものであってもよく、この場合、搬送車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を昇降させることにより、受け渡しポート１４との間で物品１０を受け渡しする。
　エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。
　エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、エリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのそれぞれに設けられている。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、エリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのそれぞれに対応するように設けられている。具体的には、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、エリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのそれぞれを、自己が制御を受け持つエリアである管轄エリアとする。換言すると、１つのエリアコントローラが１つのエリアを管轄エリアとし、このようなエリアコントローラが、エリアの数だけ設けられている。つまり、１つのエリアコントローラは、複数のエリアの何れかを管轄エリアとしている。エリアコントローラ５０ａは、当該エリアコントローラ５０ａの管轄エリア（以下、「自己の管轄エリア」ともいう）内の複数の搬送車６との間で通信を行い、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６を制御する。エリアコントローラ５０ｂは、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６との間で通信を行い、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６を制御する。エリアコントローラ５０ｃは、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６との間で通信を行い、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６を制御する。また、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、上位コントローラ６０との間で有線又は無線により通信を行う。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃをそれぞれ有する。
　上位コントローラ６０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。上位コントローラ６０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。上位コントローラ６０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかとの間で有線又は無線により通信を行い、搬送車６に物品１０を搬送させる搬送指令をエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信する。上位コントローラ６０は、例えば、複数のエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの他に、ストッカ内に設置されたスタッカクレーンを制御するコントローラや、コンベヤを制御するコントローラ等にも接続されており、それぞれのコントローラに対して各種の指令を送信する。
　本実施形態の搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であり、且つ、第１搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、第１搬送指令を自己が管理する指令として記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶すると共に、第１搬送指令を搬送車６に割り付けられない旨の報告（以下、「割り付け不可報告」という）を上位コントローラ６０に送信する。
　規定台数は、予め定められている。規定台数は、特に限定されず、固定値であってもよいし、変動値であってもよい。種々の台数であってもよい。規定台数は、例えば、１つのエリア内で保有されるべき搬送車６の台数である最低保有搬送車台数（最小限台数）である。例えば物品１０の搬送等、エリア内で搬送車６が実行すべき作業が発生した場合、そのエリア内に予め十分な台数の搬送車６が存在しないと、速やかに作業を実行することができない。そこで、搬送システム１では、例えば、１つのエリア内で保有されるべき搬送車６の台数の下限値である最低保有搬送車台数が定められており、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、管轄エリア内の搬送車６の台数が最低保有搬送車台数未満とはならないように（すなわち、常に最低保有搬送車台数以上となるように）、管轄エリア内の搬送車６を制御する。具体的には、管轄エリア内の搬送車６の台数が最低保有搬送車台数である場合には、管轄エリア内の搬送車６が管轄エリア外へ出て行かないように、管轄エリア内の搬送車６の走行を制御する。
　第１搬送指令は、エリアコントローラの管轄エリア内の受け渡しポート１４から、当該エリアコントローラ外の搬送先へ物品１０を搬送させる指令である。第１搬送指令は、例えばエリアＡａ内の受け渡しポート１４から、エリアＡｂ内（あるいはエリアＡｃ内）の受け渡しポート１４へ物品１０を搬送する搬送指令である。搬送先は、特に限定されず、搬送元である受け渡しポート１４が属するエリア（自己の管轄エリア）とは異なる他のエリア（他の管轄エリア）における受け渡しポート１４及びバッファ８を含む。
　例えば、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が最低保有搬送車台数であり、且つ、当該エリアコントローラ５０ａが第１搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、仮に管轄エリア内の搬送車６にその第１搬送指令を割り付けると、第１搬送指令を割り付けられた搬送車６は管轄エリア外に出て行ってしまうため、結果として自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が最低保有搬送車台数未満となる。このため、エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令を管轄エリア内の何れの搬送車６にも割り付けることができない。この場合、エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令を自己が管理する指令として記憶部５１ａに記憶すると共に、割り付け不可報告を上位コントローラ６０に送信する。
　上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから割り付け不可報告を受信したとき、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内の搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられ且つ物品１０を載置可能なバッファ８（以下、「空きバッファ８」という）が存在する場合には、第２搬送指令を生成する。第２搬送指令は、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内における受け渡しポート１４から空きバッファ８へ物品１０を搬送させる指令である。第２搬送指令の搬送元は、第１搬送指令の搬送元と同じ受け渡しポート１４である。物品１０が複数の半導体ウェハを格納する容器である態様において、処理済みの半導体ウェハを格納する物品１０（すなわち搬出されるべき物品１０）が受け渡しポート１４に載置されている場合、その受け渡しポート１４には他の物品１０を載置することができず、処理装置１２は、稼働できる状態であるにも関わらず他の物品１０内に格納された半導体ウェハに処理を施すことができない。このため、受け渡しポート１４に載置された物品１０を速やかにその受け渡しポート１４上から除去すべきである。そこで、搬送システム１においては、第１搬送指令を管轄エリア内の何れの搬送車６にも割り付けられない場合、その第１搬送指令の搬送元と同じ受け渡しポート１４を搬送元とする第２搬送指令を生成し、その第２搬送指令を搬送車６に割り付けることで、管轄エリア内の搬送車６の台数が規定台数よりも多くなることを待たずに、当該受け渡しポート１４上に載置された物品１０を搬出する。第２搬送指令は、第１搬送指令を元に生成できる。第２搬送指令は、第１搬送指令を分割するようにして成る（第１搬送指令の一部を含む）指令であり、第１搬送指令における搬送元からの搬出工程を含む指令である。
　上位コントローラ６０は、第２搬送指令を生成した後、第２搬送指令を当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信する。また、上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから割り付け不可報告を受信したとき、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内の空きバッファ８が存在する場合には、その記憶部（当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかが有する記憶部）に記憶している第１搬送指令を削除する指令（以下、「削除指令」という）を、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信する。一方、上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから割り付け不可報告を受信したとき、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内に空きバッファ８が存在しない場合には、削除指令を当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信しない。すなわち、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信した第１搬送指令に関し何ら追加の処理を行うことなく、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから第１搬送指令の割り付け報告が受信されるのを待つ。
　エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに第１搬送指令を記憶している場合において、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く、且つ、自己の管轄エリア内に空き搬送車６（搬送指令を割り付け可能な搬送車６）が存在するときには、第１搬送指令を空きの搬送車６に割り付ける。すなわち、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であるうちは、記憶された第１搬送指令を何れの搬送車６にも割り付けないまま保持し、例えば他のエリアから管轄エリアに新たな搬送車６が進入して来る等して管轄エリア内の搬送車６の台数が規定台数よりも多くなった時点で、記憶された第１搬送指令を管轄エリア内の何れかの空きの搬送車６に割り付ける。これにより、第１搬送指令が割り付けられた搬送車６は、自己の管轄エリア内の受け渡しポート１４から自己の管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送する。
　なお、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６（つまり、搬送指令を割り付け可能な搬送車６）が存在しない場合、上位コントローラ６０から受信した搬送指令を何れの搬送車６にも割り付けることなく、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶する。例えば、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６全てが既に搬送指令を実行中である場合がこれに該当する。何れの搬送車６にも割り付けられない複数の搬送指令が記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに蓄積されることもあり得る。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６が発生した時点で、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶された搬送指令を、例えば先に記憶されたものから順番に空き搬送車６に割り付ける。
　エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第２搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、第２搬送指令を空き搬送車６に割り付ける。これにより、第２搬送指令が割り付けられた搬送車６は、自己の管轄エリア内における受け渡しポート１４からバッファ８へ物品１０を搬送する。この場合、第２搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリアの外に出ないため、管轄エリア内の搬送車６の台数は少なくとも規定台数に保たれる。
　上位コントローラ６０は、第２搬送指令が割り付けられた搬送車６により管轄エリア内における物品１０のバッファ８への搬送が完了した場合、第３搬送指令を生成する。第３搬送指令は、当該管轄エリア内におけるバッファ８から当該管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送させる指令である。第３搬送指令の搬送先は、第１搬送指令の搬送先と同じであってもよいし、異なっていてもよい。第３搬送指令は、第１搬送指令を元に生成できる。第３搬送指令は、第１搬送指令を分割するようにして成る（第１搬送指令の他部を含む）指令であってもよく、第１搬送指令における搬送先への搬入工程を含む指令であってもよい。上位コントローラ６０は、第３搬送指令を生成した後、当該管轄エリアを管轄するエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかへ第３搬送指令を送信する。
　エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、第３搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、第３搬送指令を記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶する。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第３搬送指令を記憶している場合において、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く、且つ、自己の管轄エリア内に空き搬送車６（搬送指令を割り付け可能な搬送車６）が存在するときには、記憶している第３搬送指令を空き搬送車６に割り付ける。これにより、第３搬送指令が割り付けられた搬送車６は、自己の管轄エリア内のバッファ８から自己の管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送する。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、例えば、第３搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であるか規定台数よりも多いかによらず、第３搬送指令を記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶する。すなわち、管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であっても、上位コントローラ６０に割り付け不可報告を送信しない。換言すれば、当該バッファ８を搬送元とし、管轄エリア内の他のバッファ８を搬送先とする新たな搬送指令は、必ずしも生成しなくともよい。例えば、管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数である場合、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶された第３搬送指令を何れの搬送車６にも割り付けないまま保持し、管轄エリア内の搬送車６の台数が規定台数よりも多くなった時点で、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶された第３搬送指令を管轄エリア内の何れかの搬送車６に割り付ける。
　次に、搬送システム１で実行される処理の一例について、図４～図８のシーケンス図を用いて具体的に例示説明する。
　なお、以下においては、複数のエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのうちのある一つのエリアコントローラ５０ａに関して説明する。エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内に存在する受け渡しポート１４及び処理装置１２を、単に「受け渡しポート１４及び処理装置１２」として説明する。
　図４に示されるように、処理装置１２は、処理を完了したとき、受け渡しポート１４から物品１０をピックアップ（搬出）することを求めるピックアップ要求を、上位コントローラ６０へ送信する（ステップＳ１）。上位コントローラ６０は、ピックアップ要求の受信に応じて、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内の受け渡しポート１４から当該エリアコントローラ５０ａの管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送させる第１搬送指令を生成する（ステップＳ２）。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａへ第１搬送指令を送信する。
　エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令の受信に応じて、その受信を報告するＯＫ報告を上位コントローラ６０へ返信する。エリアコントローラ５０ａは、例えば搬送車６との通信結果に基づき、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であるか否かを判定する。エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であると判定したとき、搬送車６の台数条件を不適とする（ステップＳ３）。エリアコントローラ５０ａは、受信した第１搬送指令を記憶部５１ａに記憶する（ステップＳ４）。エリアコントローラ５０ａは、割り付け不可報告を上位コントローラ６０へ送信する。
　上位コントローラ６０は、割り付け不可報告を受信したとき、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内において空きバッファ８を検索する（ステップＳ５）。空きバッファ８の検索は、例えば、当該管轄エリア内の各バッファ８と通信して得た各種情報に基づき実行できる。当該管轄エリア内に空きバッファ８が存在しない場合、上位コントローラ６０は、空きバッファ８を検出不可とする（ステップＳ６）。
　その後、例えば自己の管轄エリア内へ搬送車６が進入し、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６が増えた場合、図５に示されるように、エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多いと判定し、搬送車６の台数条件をＯＫとする（ステップＳ１１）。エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在する場合、記憶部５１ａに記憶している第１搬送指令を空き搬送車６に割り付ける（ステップＳ１２）。エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令を搬送車６に割り付けたことを報告する指令割り付け報告を上位コントローラ６０へ送信する。第１搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリア外の搬送先へ搬送すべく、受け渡しポート１４から物品１０を搬出（ピックアップ）する。受け渡しポート１４から物品１０を搬出した搬送車６は、エリアコントローラ５０ａにその旨を報告し、エリアコントローラ５０ａは、受け渡しポート１４からの物品１０のピックアップが完了したことを認識する（ステップＳ１３）。処理装置１２は、受け渡しポート１４が空き（物品１０が載置されていない）の状態であることを認識する。処理装置１２は、受け渡しポート１４へ物品１０を載置することを求めるドロップオフ要求を、上位コントローラ６０へ送信する（ステップＳ１４）。
　一方、図６に示されるように、上位コントローラ６０は、ステップＳ５において空きバッファ８を検索した結果、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内に空きバッファ８が存在した場合、空きバッファ８を検出可とする（ステップＳ２１）。図７に示されるように、上位コントローラ６０は、記憶部５１ａに記憶している第１搬送指令を削除する削除指令をエリアコントローラ５０ａに送信する。エリアコントローラ５０ａは、削除指令の受信に応じて、その受信を報告するＯＫ報告を上位コントローラ６０へ返信する。エリアコントローラ５０ａは、記憶部５１ａに記憶している第１搬送指令を削除する（ステップＳ２２）。エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令の削除完了を報告する削除完了報告を上位コントローラ６０へ送信する。
　上位コントローラ６０は、受け渡しポート１４から空きバッファ８へ物品１０を搬送させる第２搬送指令を生成する（ステップＳ２３）。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａへ第２搬送指令を送信する。エリアコントローラ５０ａは、受信した第２搬送指令を空き搬送車６に割り付ける（ステップＳ２４）。エリアコントローラ５０ａは、第２搬送指令を搬送車６に割り付けたことを報告する指令割り付け報告を上位コントローラ６０へ送信する。第２搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリア内の空きバッファ８へ搬送すべく、受け渡しポート１４から物品１０を搬出する。受け渡しポート１４から物品１０を搬出した搬送車６は、エリアコントローラ５０ａにその旨を報告し、エリアコントローラ５０ａは、受け渡しポート１４からの物品１０のピックアップが完了したことを認識する（ステップＳ２５）。処理装置１２は、受け渡しポート１４が空き（物品１０が載置されていない）の状態であることを認識する。処理装置１２は、受け渡しポート１４へ物品１０を載置することを求めるドロップオフ要求を、上位コントローラ６０へ送信する（ステップＳ２６）。
　図８に示されるように、エリアコントローラ５０ａは、空きバッファ８への物品１０の搬送が完了したことを認識する（ステップＳ３１）。エリアコントローラ５０ａは、第２搬送指令の搬送が完了したことを報告する搬送完了報告を上位コントローラ６０へ送信する。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア外の搬送先へバッファ８から物品１０を搬送させる第３搬送指令を生成する（ステップＳ３２）。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａへ第３搬送指令を送信する。エリアコントローラ５０ａは、受信した第３搬送指令を記憶部５１ａに記憶する（ステップＳ３３）。
　その後、例えば自己の管轄エリア内へ搬送車６が進入し、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６が増えた場合、エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多いと判定し、搬送車６の台数条件をＯＫとする（ステップＳ３４）。エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在する場合、記憶部５１ａに記憶している第３搬送指令を空き搬送車６に割り付ける（ステップＳ３５）。エリアコントローラ５０ａは、第３搬送指令を搬送車６に割り付けたことを報告する指令割り付け報告を上位コントローラ６０へ送信する。第３搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリア外の搬送先へ搬送すべく、バッファ８から物品１０を搬出する。バッファ８から物品１０を搬出した搬送車６は、エリアコントローラ５０ａにその旨を報告し、エリアコントローラ５０ａは、バッファ８からの物品１０のピックアップが完了したことを認識する（ステップＳ３６）。
　以上、搬送システム１において、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃでは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数である場合に、自己の管轄エリア内に空きバッファ８が存在すれば、第１搬送指令が削除される。その後、上位コントローラ６０からエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃへ第２搬送指令が送信される。一方、自己の管轄エリア内に空きバッファ８が存在しなければ、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃでは第１搬送指令が記憶されたままとなる。これにより、管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数未満となることを防止しつつ、管轄エリア内の空きバッファ８の有無によらず、管轄エリア内の受け渡しポート１４から物品１０を搬送させる指令を上位コントローラ６０及びエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかで管理することができる。空きバッファ８の有無を上位コントローラ６０が常時監視することが不要となる。
　前述のように、上位コントローラ６０は、例えば、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのみならず、様々なコントローラに各種の指令を送信する。このため、上位コントローラ６０の処理負荷は極力抑える必要がある。本実施例の搬送システム１において、上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃから割り付け不可報告を受信した際に、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの管轄エリア内に空きバッファ８が存在するか否かを一度検索するだけでよく、管轄エリア内に空きバッファ８が生じるまで継続的に監視するものに比べて処理負荷は小さい。したがって、上位コントローラ６０の処理負荷を抑えながら、受け渡しポート１４に物品１０が取り残されてしまうことを防止することが可能となる。受け渡しポート１４から物品１０が速やかに搬出されるため、処理装置１２の稼働率を向上することができる。物品スワップタイム（処理装置１２からピックアップ要求が出力されたときから、物品１０が受け渡しポート１４からピックアップされて新たな物品１０が受け渡しポート１４に置かれるまでの時間）を短縮化することが可能となる。
　搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第１搬送指令を記憶している場合において、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く且つ自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在するときには、当該第１搬送指令を搬送車６に割り付ける。これにより、空きバッファ８が存在しない場合には、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃが第１搬送指令を継続して管理し、管轄エリア内の搬送車６の台数が増えるのを待って、受け渡しポート１４から管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送させることが可能となる。
　搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、上位コントローラ６０から受信した第２搬送指令を搬送車６に割り付ける。上位コントローラ６０は、第２搬送指令の搬送完了報告を受信した場合、第３搬送指令を生成し、第３搬送指令をエリアコントローラへ送信する。これにより、管轄エリア内の空きバッファ８への物品１０の搬送後、当該バッファ８から第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ物品１０を搬送させることが可能となる。すなわち、第１搬送指令により搬送車６に実行させるはずであった物品１０の搬送、あるいは、第１搬送指令における搬送先とは異なる搬送先への物品１０の搬送を、第２搬送指令及び第３搬送指令により搬送車６に実行させることができる。
　搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く且つ自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在するときには、第３搬送指令を搬送車に割り付ける。これにより、第１搬送指令により管轄エリア外の搬送先へ搬送されるはずであった物品１０を、第３搬送指令が割り付けられた搬送車６により、第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ搬送させることができる。また、受け渡しポート１４からの物品１０の搬送（第１搬送指令）を、バッファ８からの物品１０の搬送（第３搬送指令）に対して優先的に実施することができる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一態様は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態では、軌道４及びエリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのレイアウトは特に限定されず、種々のレイアウトを軌道４及びエリアＡａ，Ａｂ，Ａｃに採用することができる。上記実施形態では、ある一つのエリアコントローラ５０ａに係る処理を例示説明しているが、その他のエリアコントローラ５０ｂ，５０ｃにおいても同様な処理を実行することができる。上記実施形態の搬送システム１は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃと上位コントローラ６０とを中継する１又は複数の別のコントローラを備えていてもよい。エリアの数ひいてはエリアコントローラの数は特に限定されない。
　上記実施形態では、上位コントローラ６０は、削除指令を送信した後に、第２搬送指令を生成して送信したが、第２搬送指令を生成して送信した後に削除指令を送信してもよいし、削除指令を送信すると同時に（並列的に）第２搬送指令を生成して送信してもよい。上記実施形態では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第３搬送指令を上位コントローラ６０から受信したときに、第３搬送指令を記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶したが、このときに自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く且つ自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在する場合には、受信した第３搬送指令を空き搬送車６（搬送指令を割り付け可能な搬送車６）に割り付けてもよい。上記実施形態では、搬送車６に割り付けた又は割り付け予定の搬送指令が何らかの理由で解除される場合もある。
　１…搬送システム、４…軌道、６…搬送車、８…バッファ、１０…物品、１２…処理装置、１４…受け渡しポート、５０ａ，５０ｂ，５０ｃ…エリアコントローラ、６０…上位コントローラ、Ａａ，Ａｂ，Ａｃ…エリア。

Claims (4)

  1. 　複数のエリアに跨って設けられた軌道と、
    　前記軌道に沿って走行する複数の搬送車と、
    　複数の前記エリアの何れかを管轄エリアとして、当該管轄エリア内の前記搬送車を制御するエリアコントローラと、
    　前記管轄エリア内の前記搬送車が物品を受け渡し可能な位置に設けられ、物品が一時的に載置されるバッファと、
    　前記搬送車に物品を搬送させる搬送指令を前記エリアコントローラに送信する上位コントローラと、を備え、
    　前記エリアコントローラは、
    　　前記管轄エリア内に存在する前記搬送車の台数が予め定められた規定台数であり、且つ、前記管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポートから前記管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を前記上位コントローラから受信したとき、前記第１搬送指令を記憶すると共に、前記第１搬送指令を前記搬送車に割り付けられない旨の報告を前記上位コントローラに送信し、
    　前記上位コントローラは、
    　　前記エリアコントローラから前記報告を受信したとき、物品を載置可能な前記バッファが存在する場合には、記憶している前記第１搬送指令を削除する指令を前記エリアコントローラに送信すると共に、前記受け渡しポートから当該バッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、前記第２搬送指令を前記エリアコントローラに送信する、搬送システム。
  2. 　前記エリアコントローラは、
    　　前記第１搬送指令を記憶している場合において、前記管轄エリア内に存在する前記搬送車の台数が前記規定台数よりも多く且つ前記管轄エリア内に前記送指令を割り付け可能な前記搬送車が存在するときには、前記第１搬送指令を前記搬送車に割り付ける、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 　前記エリアコントローラは、前記上位コントローラから受信した前記第２搬送指令を前記搬送車に割り付け、
    　前記上位コントローラは、前記第２搬送指令が割り付けられた前記搬送車により物品の前記バッファへの搬送が完了した場合、当該バッファから前記第１搬送指令における搬送先又は前記管轄エリア外の他の搬送先へ物品を搬送させる第３搬送指令を生成し、前記第３搬送指令を前記エリアコントローラへ送信する、請求項１又は２に記載の搬送システム。
  4. 　前記エリアコントローラは、
    　　前記管轄エリア内に存在する前記搬送車の台数が前記規定台数よりも多く且つ前記管轄エリア内に前記搬送指令を割り付け可能な前記搬送車が存在するときには、前記第３搬送指令を前記搬送車に割り付ける、請求項３に記載の搬送システム。
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