JP6939993B2 - 搬送システム - Google Patents

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Description

本発明の一側面は、搬送システムに関する。
従来の搬送システムとして、複数のエリアに跨って設けられた軌道と、軌道に沿って走行する複数の搬送車と、複数のエリアの何れかを管轄エリアとして当該管轄エリア内の搬送車を制御するエリアコントローラと、搬送指令をエリアコントローラに送信する上位コントローラと、を備えたシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような搬送システムでは、搬送車が物品を受け渡し可能な位置に、物品が一時的に載置されるバッファが設けられている。
特許第４３６６６６３号公報
上述した搬送システムにおいて、エリアコントローラは、管轄エリア内の搬送車の台数が規定台数であるとき、管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポート（以下、単に「受け渡しポート」ともいう）から管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を受信したとしても、第１搬送指令を自己の管理する指令として記憶することなく、上位コントローラへ拒否（ＮＧ:No Good）の返信する。上位コントローラは、拒否の返信があると、受け渡しポートから管轄エリア内のバッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、この第２搬送指令をエリアコントローラへ送信する。これにより、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数よりも少なくなることを回避している。しかしこの場合、物品を載置可能なバッファ（以下、「空きバッファ」ともいう）が存在しなければ、第２搬送指令が生成されず、且つ、第１搬送指令は上位コントローラ及びエリアコントローラの何れにも管理されないことになる。よって、受け渡しポートに物品が取り残されてしまう可能性がある。
この点、上位コントローラがバッファを常時監視し、空きバッファが生じたときに第２搬送指令を生成することも考えられる。しかしこの場合、上位コントローラの処理負荷が大きくなる。
本発明の一側面は、上記実情に鑑みてなされたものであり、上位コントローラの処理負荷を抑えながら、受け渡しポートに物品が取り残されてしまうことを防止できる搬送システムを提供することを課題とする。
本発明の一側面に係る搬送システムは、複数のエリアに跨って設けられた軌道と、軌道に沿って走行する複数の搬送車と、複数のエリアの何れかを管轄エリアとして、当該管轄エリア内の搬送車を制御するエリアコントローラと、管轄エリア内の搬送車が物品を受け渡し可能な位置に設けられ、物品が一時的に載置されるバッファと、搬送車に物品を搬送させる搬送指令をエリアコントローラに送信する上位コントローラと、を備え、エリアコントローラは、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が予め定められた規定台数であり、且つ、管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポートから管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を上位コントローラから受信したとき、第１搬送指令を記憶すると共に、第１搬送指令を搬送車に割り付けられない旨の報告を上位コントローラに送信し、上位コントローラは、エリアコントローラから報告を受信したとき、物品を載置可能なバッファが存在する場合には、記憶している第１搬送指令を削除する指令をエリアコントローラに送信すると共に、受け渡しポートから当該バッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、第２搬送指令をエリアコントローラに送信する。
この搬送システムでは、エリアコントローラの管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数である場合に、空きバッファが存在すれば、エリアコントローラでは第１搬送指令が削除され、上位コントローラによりエリアコントローラへ第２搬送指令が送信される。一方、空きバッファが存在しなければ、エリアコントローラでは第１搬送指令が記憶されたままとなる。これにより、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数未満となることを防止しつつ、管轄エリア内の空きバッファの有無によらず、管轄エリア内の受け渡しポートから物品を搬送させる指令を上位コントローラ及びエリアコントローラの何れかで管理することができる。空きバッファを上位コントローラが常時監視することが不要となる。したがって、上位コントローラの処理負荷を抑えながら、受け渡しポートに物品が取り残されてしまうことを防止することが可能となる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、エリアコントローラは、第１搬送指令を記憶している場合において、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数よりも多く且つ管轄エリア内に搬送指令を割り付け可能な搬送車が存在するときには、第１搬送指令を搬送車に割り付けてもよい。これにより、物品を載置可能なバッファが存在しない場合には、エリアコントローラが第１搬送指令を継続して管理し、管轄エリア内の搬送車の台数が増えるのを待って、受け渡しポートから管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させることが可能となる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、エリアコントローラは、上位コントローラから受信した第２搬送指令を搬送車に割り付け、上位コントローラは、第２搬送指令が割り付けられた搬送車により物品のバッファへの搬送が完了した場合、当該バッファから第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ物品を搬送させる第３搬送指令を生成し、第３搬送指令をエリアコントローラへ送信してもよい。これにより、管轄エリア内のバッファへの物品搬送後、当該バッファから第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ物品を搬送させることが可能となる。すなわち、第１搬送指令により搬送車に実行させるはずであった物品の搬送、或いは第１搬送指令における搬送先とは異なる搬送先への物品の搬送を、第２搬送指令及び第３搬送指令により搬送車に実行させることができる。
本発明の一側面に係る搬送システムでは、エリアコントローラは、管轄エリア内に存在する搬送車の台数が規定台数よりも多く且つ管轄エリア内に搬送指令を割り付け可能な搬送車が存在するときには、第３搬送指令を搬送車に割り付けてもよい。これにより、第１搬送指令により管轄エリア外の搬送先へ搬送されるはずであった物品を、第３搬送指令が割り付けられた搬送車により、第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ搬送させることができる。
本発明の一側面によれば、上位コントローラの処理負荷を抑えながら、受け渡しポートに物品が取り残されてしまうことを回避できる搬送システムを提供することが可能となる。
図１は、一実施形態に係る搬送システムを示す概略平面図である。 図２は、一実施形態に係る搬送システムのエリア内の一部を拡大して示す概略平面図である。 図３は、一実施形態に係る搬送システムの搬送車、受け渡しポート及びバッファを示す概略側面図である。 図４は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図５は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図６は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図７は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。 図８は、一実施形態に係る搬送システムのシーケンス図である。
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
図１〜図３に示されるように、搬送システム１は、物品１０を搬送するシステムである。物品１０は、例えば複数の半導体ウェハを格納する容器であるが、ガラス基板及び一般部品等であってもよい。搬送システム１は、軌道４、搬送車６、バッファ８、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃ及び上位コントローラ６０を備える。搬送システム１は、複数の受け渡しポート１４相互間、あるいは、受け渡しポート１４とバッファ８等との間で物品１０を搬送する。
軌道４は、複数のエリアＡａ，Ａｂ，Ａｃに跨って設けられている。軌道４は、例えば作業者の頭上スペースである天井付近に敷設されている。軌道４は、例えば天井から吊り下げられている。軌道４は、搬送車６を走行させるための予め定められた走行路である。軌道４は、支柱４１により支持される。
搬送車６は、軌道４に沿って走行し、物品１０を搬送する。搬送車６は、物品１０を移載可能に構成されている。搬送車６は、天井走行式無人搬送車である。搬送車６は、例えば台車（搬送台車）、天井走行車（天井走行台車）、又は、走行車（走行台車）とも称される。搬送システム１が備える搬送車６の台数は、特に限定されず、複数である。
図３に示されるように、搬送車６は、搬送車６を軌道４に沿って走行させる走行部１８と、例えば非接触給電で軌道４側から受電する受電通信部２０と、を有する。搬送車６は、軌道４の給電線等を利用して、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかと通信を行う。あるいは、搬送車６は、給電線とは別に、軌道４に沿って設けられた通信線（フィーダー線）を介してエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかと通信を行ってもよい。また、搬送車６は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、落下防止カバー３３と、を有する。
横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、軌道４の走行方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、昇降台３０をワイヤ、ロープ及びベルト等の吊持材の巻取りないし繰出しによって昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。落下防止カバー３３は、例えば搬送車６の走行方向の前後に一対設けられている。落下防止カバー３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
搬送車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を僅かに昇降させることにより、バッファ８との間で物品１０を受け渡しする。搬送車６は、昇降駆動部２８で昇降台３０を昇降させることにより、受け渡しポート１４との間で物品１０を受け渡しする。
図２及び図３に示されるように、バッファ８は、物品１０が一時的に載置される箇所である。バッファ８は、物品１０が仮置きされる台である。搬送車６が受け渡しポート１４を目的地（搬送先）とする物品１０の搬送を行っている際、例えばその受け渡しポート１４に他の物品１０が載置されている等の理由により、搬送車６が搬送している物品１０をその受け渡しポート１４に移載できない場合、搬送車６は、受け渡しポート１４付近のバッファ８に物品１０を移載する。これにより、受け渡しポート１４が空くまで、物品１０がバッファ８に一時的に保管される。バッファ８は、支柱９によって例えば天井等に吊下されている。バッファ８は、搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。バッファ８は、軌道４の側方に配置されている。あるいは、バッファ８は、軌道４の直下に配置されていてもよい。バッファ８には、バッファ８に関する各種情報（物品１０を載置しているか否かに関する情報、及び載置している物品１０のＩＤに関する情報等）を記憶するバッファ記憶部と、バッファ記憶部に記憶した各種情報を通信する通信部と、が設けられている。
受け渡しポート１４は、例えば洗浄装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置、熱処理装置、平坦化装置をはじめとする半導体の処理装置１２に対して物品１０の受け渡しを行うポートである。受け渡しポート１４は、物品１０が載置される台である。物品１０が複数の半導体ウェハを格納する容器である態様において、受け渡しポート１４に載置された物品１０から半導体ウェハが取り出されて処理装置１２内に取り込まれ、当該処理装置１２において処理が行われた後、再び物品１０内に格納される。そして、半導体ウェハが格納された物品１０が、搬送車６により他の処理装置１２に対して受け渡しを行う受け渡しポート１４等に搬送される。処理装置１２は、軌道４に沿って設けられた通信線等を利用した有線通信、あるいは無線通信により、上位コントローラ６０と各種情報の通信を行う。処理装置１２は、特に限定されず、種々の装置であってもよい。受け渡しポート１４は、搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられている。受け渡しポート１４は、軌道４の直下に配置されている。あるいは、軌道４の側方且つ下方に受け渡しポート１４が配置されたものであってもよく、この場合、搬送車６は、横送り部２４で昇降駆動部２８等を横送りし、昇降台３０を昇降させることにより、受け渡しポート１４との間で物品１０を受け渡しする。
エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）及びＲＡＭ（Random Access Memory）等からなる電子制御ユニットである。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。
エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、エリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのそれぞれに設けられている。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、エリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのそれぞれに対応するように設けられている。具体的には、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、エリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのそれぞれを、自己が制御を受け持つエリアである管轄エリアとする。換言すると、１つのエリアコントローラが１つのエリアを管轄エリアとし、このようなエリアコントローラが、エリアの数だけ設けられている。つまり、１つのエリアコントローラは、複数のエリアの何れかを管轄エリアとしている。エリアコントローラ５０ａは、当該エリアコントローラ５０ａの管轄エリア（以下、「自己の管轄エリア」ともいう）内の複数の搬送車６との間で通信を行い、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６を制御する。エリアコントローラ５０ｂは、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６との間で通信を行い、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６を制御する。エリアコントローラ５０ｃは、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６との間で通信を行い、自己の管轄エリア内の複数の搬送車６を制御する。また、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、上位コントローラ６０との間で有線又は無線により通信を行う。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃをそれぞれ有する。
上位コントローラ６０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。上位コントローラ６０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。上位コントローラ６０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかとの間で有線又は無線により通信を行い、搬送車６に物品１０を搬送させる搬送指令をエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信する。上位コントローラ６０は、例えば、複数のエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの他に、ストッカ内に設置されたスタッカクレーンを制御するコントローラや、コンベヤを制御するコントローラ等にも接続されており、それぞれのコントローラに対して各種の指令を送信する。
本実施形態の搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であり、且つ、第１搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、第１搬送指令を自己が管理する指令として記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶すると共に、第１搬送指令を搬送車６に割り付けられない旨の報告（以下、「割り付け不可報告」という）を上位コントローラ６０に送信する。
規定台数は、予め定められている。規定台数は、特に限定されず、固定値であってもよいし、変動値であってもよい。種々の台数であってもよい。規定台数は、例えば、１つのエリア内で保有されるべき搬送車６の台数である最低保有搬送車台数（最小限台数）である。例えば物品１０の搬送等、エリア内で搬送車６が実行すべき作業が発生した場合、そのエリア内に予め十分な台数の搬送車６が存在しないと、速やかに作業を実行することができない。そこで、搬送システム１では、例えば、１つのエリア内で保有されるべき搬送車６の台数の下限値である最低保有搬送車台数が定められており、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、管轄エリア内の搬送車６の台数が最低保有搬送車台数未満とはならないように（すなわち、常に最低保有搬送車台数以上となるように）、管轄エリア内の搬送車６を制御する。具体的には、管轄エリア内の搬送車６の台数が最低保有搬送車台数である場合には、管轄エリア内の搬送車６が管轄エリア外へ出て行かないように、管轄エリア内の搬送車６の走行を制御する。
第１搬送指令は、エリアコントローラの管轄エリア内の受け渡しポート１４から、当該エリアコントローラ外の搬送先へ物品１０を搬送させる指令である。第１搬送指令は、例えばエリアＡａ内の受け渡しポート１４から、エリアＡｂ内（あるいはエリアＡｃ内）の受け渡しポート１４へ物品１０を搬送する搬送指令である。搬送先は、特に限定されず、搬送元である受け渡しポート１４が属するエリア（自己の管轄エリア）とは異なる他のエリア（他の管轄エリア）における受け渡しポート１４及びバッファ８を含む。
例えば、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が最低保有搬送車台数であり、且つ、当該エリアコントローラ５０ａが第１搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、仮に管轄エリア内の搬送車６にその第１搬送指令を割り付けると、第１搬送指令を割り付けられた搬送車６は管轄エリア外に出て行ってしまうため、結果として自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が最低保有搬送車台数未満となる。このため、エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令を管轄エリア内の何れの搬送車６にも割り付けることができない。この場合、エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令を自己が管理する指令として記憶部５１ａに記憶すると共に、割り付け不可報告を上位コントローラ６０に送信する。
上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから割り付け不可報告を受信したとき、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内の搬送車６が物品１０を受け渡し可能な位置に設けられ且つ物品１０を載置可能なバッファ８（以下、「空きバッファ８」という）が存在する場合には、第２搬送指令を生成する。第２搬送指令は、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内における受け渡しポート１４から空きバッファ８へ物品１０を搬送させる指令である。第２搬送指令の搬送元は、第１搬送指令の搬送元と同じ受け渡しポート１４である。物品１０が複数の半導体ウェハを格納する容器である態様において、処理済みの半導体ウェハを格納する物品１０（すなわち搬出されるべき物品１０）が受け渡しポート１４に載置されている場合、その受け渡しポート１４には他の物品１０を載置することができず、処理装置１２は、稼働できる状態であるにも関わらず他の物品１０内に格納された半導体ウェハに処理を施すことができない。このため、受け渡しポート１４に載置された物品１０を速やかにその受け渡しポート１４上から除去すべきである。そこで、搬送システム１においては、第１搬送指令を管轄エリア内の何れの搬送車６にも割り付けられない場合、その第１搬送指令の搬送元と同じ受け渡しポート１４を搬送元とする第２搬送指令を生成し、その第２搬送指令を搬送車６に割り付けることで、管轄エリア内の搬送車６の台数が規定台数よりも多くなることを待たずに、当該受け渡しポート１４上に載置された物品１０を搬出する。第２搬送指令は、第１搬送指令を元に生成できる。第２搬送指令は、第１搬送指令を分割するようにして成る（第１搬送指令の一部を含む）指令であり、第１搬送指令における搬送元からの搬出工程を含む指令である。
上位コントローラ６０は、第２搬送指令を生成した後、第２搬送指令を当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信する。また、上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから割り付け不可報告を受信したとき、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内の空きバッファ８が存在する場合には、その記憶部（当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかが有する記憶部）に記憶している第１搬送指令を削除する指令（以下、「削除指令」という）を、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信する。一方、上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから割り付け不可報告を受信したとき、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかの管轄エリア内に空きバッファ８が存在しない場合には、削除指令を当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信しない。すなわち、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかに送信した第１搬送指令に関し何ら追加の処理を行うことなく、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかから第１搬送指令の割り付け報告が受信されるのを待つ。
エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに第１搬送指令を記憶している場合において、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く、且つ、自己の管轄エリア内に空き搬送車６（搬送指令を割り付け可能な搬送車６）が存在するときには、第１搬送指令を空きの搬送車６に割り付ける。すなわち、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であるうちは、記憶された第１搬送指令を何れの搬送車６にも割り付けないまま保持し、例えば他のエリアから管轄エリアに新たな搬送車６が進入して来る等して管轄エリア内の搬送車６の台数が規定台数よりも多くなった時点で、記憶された第１搬送指令を管轄エリア内の何れかの空きの搬送車６に割り付ける。これにより、第１搬送指令が割り付けられた搬送車６は、自己の管轄エリア内の受け渡しポート１４から自己の管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送する。
なお、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６（つまり、搬送指令を割り付け可能な搬送車６）が存在しない場合、上位コントローラ６０から受信した搬送指令を何れの搬送車６にも割り付けることなく、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶する。例えば、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６全てが既に搬送指令を実行中である場合がこれに該当する。何れの搬送車６にも割り付けられない複数の搬送指令が記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに蓄積されることもあり得る。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６が発生した時点で、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶された搬送指令を、例えば先に記憶されたものから順番に空き搬送車６に割り付ける。
エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第２搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、第２搬送指令を空き搬送車６に割り付ける。これにより、第２搬送指令が割り付けられた搬送車６は、自己の管轄エリア内における受け渡しポート１４からバッファ８へ物品１０を搬送する。この場合、第２搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリアの外に出ないため、管轄エリア内の搬送車６の台数は少なくとも規定台数に保たれる。
上位コントローラ６０は、第２搬送指令が割り付けられた搬送車６により管轄エリア内における物品１０のバッファ８への搬送が完了した場合、第３搬送指令を生成する。第３搬送指令は、当該管轄エリア内におけるバッファ８から当該管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送させる指令である。第３搬送指令の搬送先は、第１搬送指令の搬送先と同じであってもよいし、異なっていてもよい。第３搬送指令は、第１搬送指令を元に生成できる。第３搬送指令は、第１搬送指令を分割するようにして成る（第１搬送指令の他部を含む）指令であってもよく、第１搬送指令における搬送先への搬入工程を含む指令であってもよい。上位コントローラ６０は、第３搬送指令を生成した後、当該管轄エリアを管轄するエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかへ第３搬送指令を送信する。
エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、第３搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、第３搬送指令を記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶する。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第３搬送指令を記憶している場合において、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く、且つ、自己の管轄エリア内に空き搬送車６（搬送指令を割り付け可能な搬送車６）が存在するときには、記憶している第３搬送指令を空き搬送車６に割り付ける。これにより、第３搬送指令が割り付けられた搬送車６は、自己の管轄エリア内のバッファ８から自己の管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送する。エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのそれぞれは、例えば、第３搬送指令を上位コントローラ６０から受信したとき、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であるか規定台数よりも多いかによらず、第３搬送指令を記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃのそれぞれに記憶する。すなわち、管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であっても、上位コントローラ６０に割り付け不可報告を送信しない。換言すれば、当該バッファ８を搬送元とし、管轄エリア内の他のバッファ８を搬送先とする新たな搬送指令は、必ずしも生成しなくともよい。例えば、管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数である場合、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶された第３搬送指令を何れの搬送車６にも割り付けないまま保持し、管轄エリア内の搬送車６の台数が規定台数よりも多くなった時点で、記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶された第３搬送指令を管轄エリア内の何れかの搬送車６に割り付ける。
次に、搬送システム１で実行される処理の一例について、図４〜図８のシーケンス図を用いて具体的に例示説明する。
なお、以下においては、複数のエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのうちのある一つのエリアコントローラ５０ａに関して説明する。エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内に存在する受け渡しポート１４及び処理装置１２を、単に「受け渡しポート１４及び処理装置１２」として説明する。
図４に示されるように、処理装置１２は、処理を完了したとき、受け渡しポート１４から物品１０をピックアップ（搬出）することを求めるピックアップ要求を、上位コントローラ６０へ送信する（ステップＳ１）。上位コントローラ６０は、ピックアップ要求の受信に応じて、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内の受け渡しポート１４から当該エリアコントローラ５０ａの管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送させる第１搬送指令を生成する（ステップＳ２）。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａへ第１搬送指令を送信する。
エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令の受信に応じて、その受信を報告するＯＫ報告を上位コントローラ６０へ返信する。エリアコントローラ５０ａは、例えば搬送車６との通信結果に基づき、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であるか否かを判定する。エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数であると判定したとき、搬送車６の台数条件を不適とする（ステップＳ３）。エリアコントローラ５０ａは、受信した第１搬送指令を記憶部５１ａに記憶する（ステップＳ４）。エリアコントローラ５０ａは、割り付け不可報告を上位コントローラ６０へ送信する。
上位コントローラ６０は、割り付け不可報告を受信したとき、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内において空きバッファ８を検索する（ステップＳ５）。空きバッファ８の検索は、例えば、当該管轄エリア内の各バッファ８と通信して得た各種情報に基づき実行できる。当該管轄エリア内に空きバッファ８が存在しない場合、上位コントローラ６０は、空きバッファ８を検出不可とする（ステップＳ６）。
その後、例えば自己の管轄エリア内へ搬送車６が進入し、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６が増えた場合、図５に示されるように、エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多いと判定し、搬送車６の台数条件をＯＫとする（ステップＳ１１）。エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在する場合、記憶部５１ａに記憶している第１搬送指令を空き搬送車６に割り付ける（ステップＳ１２）。エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令を搬送車６に割り付けたことを報告する指令割り付け報告を上位コントローラ６０へ送信する。第１搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリア外の搬送先へ搬送すべく、受け渡しポート１４から物品１０を搬出（ピックアップ）する。受け渡しポート１４から物品１０を搬出した搬送車６は、エリアコントローラ５０ａにその旨を報告し、エリアコントローラ５０ａは、受け渡しポート１４からの物品１０のピックアップが完了したことを認識する（ステップＳ１３）。処理装置１２は、受け渡しポート１４が空き（物品１０が載置されていない）の状態であることを認識する。処理装置１２は、受け渡しポート１４へ物品１０を載置することを求めるドロップオフ要求を、上位コントローラ６０へ送信する（ステップＳ１４）。
一方、図６に示されるように、上位コントローラ６０は、ステップＳ５において空きバッファ８を検索した結果、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア内に空きバッファ８が存在した場合、空きバッファ８を検出可とする（ステップＳ２１）。図７に示されるように、上位コントローラ６０は、記憶部５１ａに記憶している第１搬送指令を削除する削除指令をエリアコントローラ５０ａに送信する。エリアコントローラ５０ａは、削除指令の受信に応じて、その受信を報告するＯＫ報告を上位コントローラ６０へ返信する。エリアコントローラ５０ａは、記憶部５１ａに記憶している第１搬送指令を削除する（ステップＳ２２）。エリアコントローラ５０ａは、第１搬送指令の削除完了を報告する削除完了報告を上位コントローラ６０へ送信する。
上位コントローラ６０は、受け渡しポート１４から空きバッファ８へ物品１０を搬送させる第２搬送指令を生成する（ステップＳ２３）。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａへ第２搬送指令を送信する。エリアコントローラ５０ａは、受信した第２搬送指令を空き搬送車６に割り付ける（ステップＳ２４）。エリアコントローラ５０ａは、第２搬送指令を搬送車６に割り付けたことを報告する指令割り付け報告を上位コントローラ６０へ送信する。第２搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリア内の空きバッファ８へ搬送すべく、受け渡しポート１４から物品１０を搬出する。受け渡しポート１４から物品１０を搬出した搬送車６は、エリアコントローラ５０ａにその旨を報告し、エリアコントローラ５０ａは、受け渡しポート１４からの物品１０のピックアップが完了したことを認識する（ステップＳ２５）。処理装置１２は、受け渡しポート１４が空き（物品１０が載置されていない）の状態であることを認識する。処理装置１２は、受け渡しポート１４へ物品１０を載置することを求めるドロップオフ要求を、上位コントローラ６０へ送信する（ステップＳ２６）。
図８に示されるように、エリアコントローラ５０ａは、空きバッファ８への物品１０の搬送が完了したことを認識する（ステップＳ３１）。エリアコントローラ５０ａは、第２搬送指令の搬送が完了したことを報告する搬送完了報告を上位コントローラ６０へ送信する。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａの管轄エリア外の搬送先へバッファ８から物品１０を搬送させる第３搬送指令を生成する（ステップＳ３２）。上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａへ第３搬送指令を送信する。エリアコントローラ５０ａは、受信した第３搬送指令を記憶部５１ａに記憶する（ステップＳ３３）。
その後、例えば自己の管轄エリア内へ搬送車６が進入し、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６が増えた場合、エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多いと判定し、搬送車６の台数条件をＯＫとする（ステップＳ３４）。エリアコントローラ５０ａは、自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在する場合、記憶部５１ａに記憶している第３搬送指令を空き搬送車６に割り付ける（ステップＳ３５）。エリアコントローラ５０ａは、第３搬送指令を搬送車６に割り付けたことを報告する指令割り付け報告を上位コントローラ６０へ送信する。第３搬送指令が割り付けられた搬送車６は、管轄エリア外の搬送先へ搬送すべく、バッファ８から物品１０を搬出する。バッファ８から物品１０を搬出した搬送車６は、エリアコントローラ５０ａにその旨を報告し、エリアコントローラ５０ａは、バッファ８からの物品１０のピックアップが完了したことを認識する（ステップＳ３６）。
以上、搬送システム１において、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃでは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数である場合に、自己の管轄エリア内に空きバッファ８が存在すれば、第１搬送指令が削除される。その後、上位コントローラ６０からエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃへ第２搬送指令が送信される。一方、自己の管轄エリア内に空きバッファ８が存在しなければ、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃでは第１搬送指令が記憶されたままとなる。これにより、管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数未満となることを防止しつつ、管轄エリア内の空きバッファ８の有無によらず、管轄エリア内の受け渡しポート１４から物品１０を搬送させる指令を上位コントローラ６０及びエリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの何れかで管理することができる。空きバッファ８の有無を上位コントローラ６０が常時監視することが不要となる。
前述のように、上位コントローラ６０は、例えば、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃのみならず、様々なコントローラに各種の指令を送信する。このため、上位コントローラ６０の処理負荷は極力抑える必要がある。本実施例の搬送システム１において、上位コントローラ６０は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃから割り付け不可報告を受信した際に、当該エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃの管轄エリア内に空きバッファ８が存在するか否かを一度検索するだけでよく、管轄エリア内に空きバッファ８が生じるまで継続的に監視するものに比べて処理負荷は小さい。したがって、上位コントローラ６０の処理負荷を抑えながら、受け渡しポート１４に物品１０が取り残されてしまうことを防止することが可能となる。受け渡しポート１４から物品１０が速やかに搬出されるため、処理装置１２の稼働率を向上することができる。物品スワップタイム（処理装置１２からピックアップ要求が出力されたときから、物品１０が受け渡しポート１４からピックアップされて新たな物品１０が受け渡しポート１４に置かれるまでの時間）を短縮化することが可能となる。
搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第１搬送指令を記憶している場合において、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く且つ自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在するときには、当該第１搬送指令を搬送車６に割り付ける。これにより、空きバッファ８が存在しない場合には、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃが第１搬送指令を継続して管理し、管轄エリア内の搬送車６の台数が増えるのを待って、受け渡しポート１４から管轄エリア外の搬送先へ物品１０を搬送させることが可能となる。
搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、上位コントローラ６０から受信した第２搬送指令を搬送車６に割り付ける。上位コントローラ６０は、第２搬送指令の搬送完了報告を受信した場合、第３搬送指令を生成し、第３搬送指令をエリアコントローラへ送信する。これにより、管轄エリア内の空きバッファ８への物品１０の搬送後、当該バッファ８から第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ物品１０を搬送させることが可能となる。すなわち、第１搬送指令により搬送車６に実行させるはずであった物品１０の搬送、あるいは、第１搬送指令における搬送先とは異なる搬送先への物品１０の搬送を、第２搬送指令及び第３搬送指令により搬送車６に実行させることができる。
搬送システム１では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く且つ自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在するときには、第３搬送指令を搬送車に割り付ける。これにより、第１搬送指令により管轄エリア外の搬送先へ搬送されるはずであった物品１０を、第３搬送指令が割り付けられた搬送車６により、第１搬送指令における搬送先又は管轄エリア外の他の搬送先へ搬送させることができる。また、受け渡しポート１４からの物品１０の搬送（第１搬送指令）を、バッファ８からの物品１０の搬送（第３搬送指令）に対して優先的に実施することができる。
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一態様は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
上記実施形態では、軌道４及びエリアＡａ，Ａｂ，Ａｃのレイアウトは特に限定されず、種々のレイアウトを軌道４及びエリアＡａ，Ａｂ，Ａｃに採用することができる。上記実施形態では、ある一つのエリアコントローラ５０ａに係る処理を例示説明しているが、その他のエリアコントローラ５０ｂ，５０ｃにおいても同様な処理を実行することができる。上記実施形態の搬送システム１は、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃと上位コントローラ６０とを中継する１又は複数の別のコントローラを備えていてもよい。エリアの数ひいてはエリアコントローラの数は特に限定されない。
上記実施形態では、上位コントローラ６０は、削除指令を送信した後に、第２搬送指令を生成して送信したが、第２搬送指令を生成して送信した後に削除指令を送信してもよいし、削除指令を送信すると同時に（並列的に）第２搬送指令を生成して送信してもよい。上記実施形態では、エリアコントローラ５０ａ，５０ｂ，５０ｃは、第３搬送指令を上位コントローラ６０から受信したときに、第３搬送指令を記憶部５１ａ，５１ｂ，５１ｃに記憶したが、このときに自己の管轄エリア内に存在する搬送車６の台数が規定台数よりも多く且つ自己の管轄エリア内に空き搬送車６が存在する場合には、受信した第３搬送指令を空き搬送車６（搬送指令を割り付け可能な搬送車６）に割り付けてもよい。上記実施形態では、搬送車６に割り付けた又は割り付け予定の搬送指令が何らかの理由で解除される場合もある。
１…搬送システム、４…軌道、６…搬送車、８…バッファ、１０…物品、１２…処理装置、１４…受け渡しポート、５０ａ，５０ｂ，５０ｃ…エリアコントローラ、６０…上位コントローラ、Ａａ，Ａｂ，Ａｃ…エリア。

Claims (4)

  1. 複数のエリアに跨って設けられた軌道と、
    前記軌道に沿って走行する複数の搬送車と、
    複数の前記エリアの何れかを管轄エリアとして、当該管轄エリア内の前記搬送車を制御するエリアコントローラと、
    前記管轄エリア内の前記搬送車が物品を受け渡し可能な位置に設けられ、物品が一時的に載置されるバッファと、
    前記搬送車に物品を搬送させる搬送指令を前記エリアコントローラに送信する上位コントローラと、を備え、
    前記エリアコントローラは、
    前記管轄エリア内に存在する前記搬送車の台数が予め定められた規定台数であり、且つ、前記管轄エリア内の処理装置に対する物品の受け渡しポートから前記管轄エリア外の搬送先へ物品を搬送させる第１搬送指令を前記上位コントローラから受信したとき、前記第１搬送指令を記憶すると共に、前記第１搬送指令を前記搬送車に割り付けられない旨の報告を前記上位コントローラに送信し、
    前記上位コントローラは、
    前記エリアコントローラから前記報告を受信したとき、物品を載置可能な前記バッファが存在する場合には、記憶している前記第１搬送指令を削除する指令を前記エリアコントローラに送信すると共に、前記受け渡しポートから当該バッファへ物品を搬送させる第２搬送指令を生成し、前記第２搬送指令を前記エリアコントローラに送信する、搬送システム。
  2. 前記エリアコントローラは、
    前記第１搬送指令を記憶している場合において、前記管轄エリア内に存在する前記搬送車の台数が前記規定台数よりも多く且つ前記管轄エリア内に前記搬送指令を割り付け可能な前記搬送車が存在するときには、前記第１搬送指令を前記搬送車に割り付ける、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 前記エリアコントローラは、前記上位コントローラから受信した前記第２搬送指令を前記搬送車に割り付け、
    前記上位コントローラは、前記第２搬送指令が割り付けられた前記搬送車により物品の前記バッファへの搬送が完了した場合、当該バッファから前記第１搬送指令における搬送先又は前記管轄エリア外の他の搬送先へ物品を搬送させる第３搬送指令を生成し、前記第３搬送指令を前記エリアコントローラへ送信する、請求項１又は２に記載の搬送システム。
  4. 前記エリアコントローラは、
    前記管轄エリア内に存在する前記搬送車の台数が前記規定台数よりも多く且つ前記管轄エリア内に前記搬送指令を割り付け可能な前記搬送車が存在するときには、前記第３搬送指令を前記搬送車に割り付ける、請求項３に記載の搬送システム。
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