CN111902784B - 搬送系统 - Google Patents

搬送系统 Download PDF

Info

Publication number
CN111902784B
CN111902784B CN201980019364.5A CN201980019364A CN111902784B CN 111902784 B CN111902784 B CN 111902784B CN 201980019364 A CN201980019364 A CN 201980019364A CN 111902784 B CN111902784 B CN 111902784B
Authority
CN
China
Prior art keywords
transport
jurisdiction
command
controller
article
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201980019364.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111902784A (zh
Inventor
原崎一见
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN111902784A publication Critical patent/CN111902784A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111902784B publication Critical patent/CN111902784B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0485—Check-in, check-out devices
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0266—Control or detection relating to the load carrier(s)
    • B65G2203/0283—Position of the load carrier
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Centrifugal Separators (AREA)

Abstract

搬送系统具备轨道、搬送车、区域控制器、缓冲区、和上位控制器。区域控制器在存在于管辖区域内的搬送车的台数是预先确定的规定台数、且从上位控制器接收到第1搬送指令时，存储第1搬送指令，并且向上位控制器发送意为无法将第1搬送指令分配给搬送车的报告，其中第1搬送指令是从相对于管辖区域内的处理装置交接物品的交接口向管辖区域外的搬送目的地搬送物品的指令。上位控制器在从区域控制器接收到报告时，在存在能够载置物品的缓冲区的情况下，向区域控制器发送将所存储的第1搬送指令删除的指令，并且生成从交接口向该缓冲区搬送物品的第2搬送指令，且向区域控制器发送第2搬送指令。

Description

搬送系统
技术领域
本发明的一个方面涉及搬送系统。
背景技术
作为以往的搬送系统，已知一种系统，该系统具备：跨越多个区域而设置的轨道；沿着轨道行驶的多个搬送车；将多个区域中的某一个区域作为管辖区域并对该管辖区域内的搬送车进行控制的区域控制器；和向区域控制器发送搬送指令的上位控制器(例如参照专利文献1)。在这种搬送系统中，在搬送车能够交接物品的位置设有临时载置物品的缓冲区。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4366663号公报
发明内容
在上述搬送系统中，在管辖区域内的搬送车的台数是规定台数时，区域控制器即使接收到从相对于管辖区域内的处理装置交接物品的交接口(以下也简称为“交接口”)向管辖区域外的搬送目的地搬送物品的第1搬送指令，也不会将第1搬送指令存储为自己进行管理的指令，而是向上位控制器进行拒绝(NG:No Good)的回复。上位控制器若收到拒绝回复，则生成从交接口向管辖区域内的缓冲区搬送物品的第2搬送指令，并向区域控制器发送该第2搬送指令。由此，避免了存在于管辖区域内的搬送车的台数变得比规定台数少的情况。但在该情况下，若不存在能够载置物品的缓冲区(以下也称为“空闲缓冲区”)，则不生成第2搬送指令，且第1搬送指令也不受上位控制器及区域控制器中的任一个的管理。因此，物品有可能被留在交接口。
就这点而言，也考虑上位控制器始终监视缓冲区并在产生了空闲缓冲区时生成第2搬送指令的情况。但在该情况下，上位控制器的处理负荷变大。
本发明的一个方面是鉴于上述实际情况而做出的，其课题在于，提供一种能够在抑制上位控制器的处理负荷的同时防止物品被留在交接口的搬送系统。
本发明的一个方面的搬送系统具备：跨越多个区域而设置的轨道；沿着轨道行驶的多个搬送车；区域控制器，该区域控制器将多个区域中的某一个区域作为管辖区域，并控制该管辖区域内的搬送车；缓冲区，该缓冲区设于管辖区域内的搬送车能够交接物品的位置，并临时载置物品；和上位控制器，该上位控制器向区域控制器发送使搬送车搬送物品的搬送指令，区域控制器在存在于管辖区域内的搬送车的台数是预先确定的规定台数、且从上位控制器接收到第1搬送指令时，存储第1搬送指令，并且向上位控制器发送意为无法将第1搬送指令分配给搬送车的报告，其中，第1搬送指令是从相对于管辖区域内的处理装置交接物品的交接口向管辖区域外的搬送目的地搬送物品的指令，上位控制器在从区域控制器接收到报告时，在存在能够载置物品的缓冲区的情况下，向区域控制器发送将所存储的第1搬送指令删除的指令，并且生成从交接口向该缓冲区搬送物品的第2搬送指令，且向区域控制器发送第2搬送指令。
在该搬送系统中，在存在于区域控制器的管辖区域内的搬送车的台数是规定台数的情况下，若存在空闲缓冲区，则在区域控制器中删除第1搬送指令，并通过上位控制器向区域控制器发送第2搬送指令。另一方面，若不存在空闲缓冲区，则保持在区域控制器中存储有第1搬送指令的状态。由此，能够防止存在于管辖区域内的搬送车的台数低于规定台数，并且无论管辖区域内有无空闲缓冲区，都能由上位控制器及区域控制器中的某一个来管理从管辖区域内的交接口搬送物品的指令。上位控制器无需始终监视空闲缓冲区。因此，能够在抑制上位控制器的处理负荷的同时防止物品被留在交接口。
在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，区域控制器在存储有第1搬送指令的情况下，当存在于管辖区域内的搬送车的台数比规定台数多、且管辖区域内存在能够分配搬送指令的搬送车时，将第1搬送指令分配给搬送车。由此，在不存在能够载置物品的缓冲区的情况下，区域控制器能够继续管理第1搬送指令，并等待管辖区域内的搬送车的台数增加，从而从交接口向管辖区域外的搬送目的地搬送物品。
在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，区域控制器将从上位控制器接收到的第2搬送指令分配给搬送车，上位控制器在通过被分配了第2搬送指令的搬送车完成了物品向缓冲区的搬送的情况下，生成从该缓冲区向第1搬送指令中的搬送目的地或管辖区域外的其它搬送目的地搬送物品的第3搬送指令，并向区域控制器发送第3搬送指令。由此，在向管辖区域内的缓冲区进行了物品的搬送之后，能够从该缓冲区向第1搬送指令中的搬送目的地或管辖区域外的其它搬送目的地搬送物品。即，能够根据第2搬送指令及第3搬送指令，使搬送车执行本应根据第1搬送指令使搬送车执行的物品的搬送、或者向与第1搬送指令中的搬送目的地不同的搬送目的地进行的物品的搬送。
在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，区域控制器在存在于管辖区域内的搬送车的台数比规定台数多、且管辖区域内存在能够分配搬送指令的搬送车时，将第3搬送指令分配给搬送车。由此，能够通过被分配了第3搬送指令的搬送车，将本应根据第1搬送指令向管辖区域外的搬送目的地搬送的物品向第1搬送指令中的搬送目的地或管辖区域外的其它搬送目的地搬送。
发明效果
根据本发明的一个方面，能够提供一种能够在抑制上位控制器的处理负荷的同时避免物品被留在交接口的搬送系统。
附图说明
图1是表示一个实施方式的搬送系统的概略俯视图。
图2是将一个实施方式的搬送系统的区域内的一部分放大表示的概略俯视图。
图3是表示一个实施方式的搬送系统的搬送车、交接口及缓冲区的概略侧视图。
图4是一个实施方式的搬送系统的时序图。
图5是一个实施方式的搬送系统的时序图。
图6是一个实施方式的搬送系统的时序图。
图7是一个实施方式的搬送系统的时序图。
图8是一个实施方式的搬送系统的时序图。
具体实施方式
以下，参照附图对一个实施方式进行说明。在附图的说明中，对相同要素标注相同的附图标记，并省略重复说明。附图的尺寸比率并不一定与所说明的一致。
如图1～图3所示，搬送系统1是搬送物品10的系统。物品10例如是储存多个半导体晶片的容器，但也可以是玻璃基板及一般零件等。搬送系统1具备轨道4、搬送车6、缓冲区8、区域控制器50a、50b、50c及上位控制器60。搬送系统1在多个交接口14相互之间或在交接口14与缓冲区8等之间搬送物品10。
轨道4跨越多个区域Aa、Ab、Ac而设置。轨道4例如铺设在作业人员的头上空间的天花板附近。轨道4例如悬挂在天花板上。轨道4是用于使搬送车6行驶的预先确定的行驶路径。轨道4由支柱41支承。
搬送车6沿着轨道4行驶并搬送物品10。搬送车6构成为能够移载物品10。搬送车6是空中行驶式无人搬送车。搬送车6例如也被称为台车(搬送台车)、空中行驶车(空中行驶台车)或行驶车(行驶台车)。搬送系统1所具备的搬送车6的台数为多个，并不特别限定。
如图3所示，搬送车6具有使搬送车6沿着轨道4行驶的行驶部18、和例如通过非接触供电从轨道4侧接受电力的受电通信部20。搬送车6利用轨道4的供电线等与区域控制器50a、50b、50c中的某一个进行通信。或者，搬送车6也可以经由供电线之外的沿着轨道4设置的通信线(馈线)与区域控制器50a、50b、50c中的某一个进行通信。另外，搬送车6具有主体框架22、横输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30、和落下防止罩33。
横输送部24将θ驱动器26、升降驱动部28及升降台30一并向与轨道4的行驶方向成直角的方向横向输送。θ驱动器26使升降驱动部28及升降台30中的至少任一个在水平面内且在规定的角度范围内转动。升降驱动部28通过线材、绳索及带等吊持材料的卷绕或绕出而使升降台30升降。在升降台30上设有卡盘，能够自由地进行物品10的把持或释放。落下防止罩33例如在搬送车6的行驶方向的前后设有一对。落下防止罩33使未图示的爪等进行收放，从而防止物品10在搬送过程中落下。
搬送车6利用横输送部24将升降驱动部28等进行横向输送、并使升降台30稍微升降，由此在与缓冲区8之间交接物品10。搬送车6通过利用升降驱动部28使升降台30升降而在与交接口14之间交接物品10。
如图2及图3所示，缓冲区8是临时载置物品10的场所。缓冲区8是临时放置物品10的台子。当搬送车6进行以交接口14为目的地(搬送目的地)的物品10的搬送时，在因例如在该交接口14载置有其它物品10等理由而无法将搬送车6正在搬送的物品10移载到该交接口14的情况下，搬送车6将物品10移载到交接口14附近的缓冲区8。由此，直到交接口14空出来为止物品10都被临时保管在缓冲区8。缓冲区8通过支柱9而被吊在例如天花板等上。缓冲区8设于搬送车6能够交接物品10的位置。缓冲区8配置于轨道4的侧方。或者，缓冲区8也可以配置于轨道4的正下方。在缓冲区8设有存储与缓冲区8相关的各种信息(与是否载置有物品10相关的信息及与所载置的物品10的ID相关的信息等)的缓冲区存储部、和将缓冲区存储部内存储的各种信息进行通信的通信部。
交接口14是相对于例如以清洗装置、成膜装置、光刻装置、蚀刻装置、热处理装置、平坦化装置为代表的半导体的处理装置12进行物品10的交接的端口。交接口14是载置物品10的台子。在物品10是储存多个半导体晶片的容器的方式中，从载置于交接口14的物品10中取出半导体晶片并将其放入处理装置12内，当在该处理装置12中进行了处理之后将半导体晶片再次储存到物品10内。然后，通过搬送车6将储存有半导体晶片的物品10搬送到相对于其它处理装置12进行交接的交接口14等。处理装置12通过利用沿着轨道4设置的通信线等的有线通信或者通过无线通信与上位控制器60进行各种信息的通信。处理装置12并不特别限定，可以是各种各样的装置。交接口14设于搬送车6能够交接物品10的位置。交接口14配置于轨道4的正下方。或者，也可以在轨道4的侧方且是下方配置有交接口14，在该情况下，搬送车6利用横输送部24将升降驱动部28等横向输送、并使升降台30升降，由此在与交接口14之间交接物品10。
区域控制器50a、50b、50c是由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。区域控制器50a、50b、50c例如能够构成为将ROM内储存的程序加载到RAM上并由CPU执行的软件。区域控制器50a、50b、50c也可以构成为基于电子回路等的硬件。
各区域控制器50a、50b、50c设于各区域Aa、Ab、Ac。各区域控制器50a、50b、50c设为与各区域Aa、Ab、Ac对应。具体而言，各区域控制器50a、50b、50c将各区域Aa、Ab、Ac作为自己负责控制的区域即管辖区域。换言之，一个区域控制器将一个区域作为管辖区域，这种区域控制器仅设有与区域相同的数量。也就是说，一个区域控制器将多个区域中的某一个区域作为管辖区域。区域控制器50a在与该区域控制器50a的管辖区域(以下也称为“自己的管辖区域”)内的多个搬送车6之间进行通信，并控制自己的管辖区域内的多个搬送车6。区域控制器50b在与自己的管辖区域内的多个搬送车6之间进行通信，并控制自己的管辖区域内的多个搬送车6。区域控制器50c在与自己的管辖区域内的多个搬送车6之间进行通信，并控制自己的管辖区域内的多个搬送车6。另外，区域控制器50a、50b、50c在与上位控制器60之间通过有线或无线进行通信。各区域控制器50a、50b、50c分别具有存储部51a、51b、51c。
上位控制器60是由CPU、ROM及RAM等构成的电子控制单元。上位控制器60例如能够构成为将ROM内储存的程序加载到RAM上并由CPU执行的软件。上位控制器60也可以构成为基于电子回路等的硬件。上位控制器60在与区域控制器50a、50b、50c中的任一个之间通过有线或无线进行通信，并向区域控制器50a、50b、50c中的任一个发送使搬送车6搬送物品10的搬送指令。上位控制器60例如除了与多个区域控制器50a、50b、50c连接之外，还与对设置在堆料机内的堆垛起重机进行控制的控制器、控制传送带的控制器等连接，对各个控制器发送各种指令。
在本实施方式的搬送系统1中，各区域控制器50a、50b、50c在存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数、且从上位控制器60接收到第1搬送指令时，将第1搬送指令作为自己进行管理的指令存储到各存储部51a、51b、51c内，并且向上位控制器60发送意为无法将第1搬送指令分配给搬送车6的报告(以下称为“无法分配报告”)。
规定台数被预先确定。规定台数并不特别限定，既可以是固定值也可以是变动值，可以是各种各样的台数。规定台数例如是在一个区域内应该保有的搬送车6的台数即最低保有搬送车台数(最低限度台数)。在发生了例如物品10的搬送等搬送车6应该在区域内执行的作业的情况下，若该区域内预先并不存在足够台数的搬送车6，则无法快速执行作业。于是，在搬送系统1中，例如确定有在一个区域内应该保有的搬送车6的台数的下限值即最低保有搬送车台数，区域控制器50a、50b、50c以管辖区域内的搬送车6的台数不会低于最低保有搬送车台数(即，始终为最低保有搬送车台数以上)的方式控制管辖区域内的搬送车6。具体而言，在管辖区域内的搬送车6的台数是最低保有搬送车台数的情况下，以使管辖区域内的搬送车6不会去到管辖区域外的方式控制管辖区域内的搬送车6的行驶。
第1搬送指令是从区域控制器的管辖区域内的交接口14向该区域控制器外的搬送目的地搬送物品10的指令。第1搬送指令例如是从区域Aa内的交接口14向区域Ab内(或区域Ac内)的交接口14搬送物品10的搬送指令。搬送目的地并不特别限定，包括与作为搬送起始地的交接口14所属的区域(自己的管辖区域)不同的其它区域(其它管辖区域)内的交接口14及缓冲区8。
例如，当存在于区域控制器50a的管辖区域内的搬送车6的台数是最低保有搬送车台数、且该区域控制器50a从上位控制器60接收到第1搬送指令时，假如向管辖区域内的搬送车6分配该第1搬送指令，则由于被分配了第1搬送指令的搬送车6会去到管辖区域外，所以其结果是存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数会低于最低保有搬送车台数。因此，区域控制器50a无法将第1搬送指令分配给管辖区域内的任何搬送车6。在该情况下，区域控制器50a将第1搬送指令作为自己进行管理的指令存储到存储部51a内，并且向上位控制器60发送无法分配报告。
上位控制器60在从区域控制器50a、50b、50c中的某一个区域控制器接收到无法分配报告时，在存在设于区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器的管辖区域内的搬送车6能够交接物品10的位置且能够载置物品10的缓冲区8(以下称为“空闲缓冲区8”)的情况下，生成第2搬送指令。第2搬送指令是从区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器的管辖区域内的交接口14向空闲缓冲区8搬送物品10的指令。第2搬送指令的搬送起始地是与第1搬送指令的搬送起始地相同的交接口14。在物品10是储存多个半导体晶片的容器的方式中，在储存已处理的半导体晶片的物品10(即应该被搬出的物品10)载置于交接口14的情况下，无法在该交接口14载置其它物品10，处理装置12尽管是能够运转的状态但也无法对其它物品10内储存的半导体晶片实施处理。因此，应该将载置于交接口14的物品10快速从该交接口14上除去。于是，在搬送系统1中，在无法将第1搬送指令分配给管辖区域内的任何搬送车6的情况下，生成将与该第1搬送指令的搬送起始地相同的交接口14作为搬送起始地的第2搬送指令，并将该第2搬送指令分配给搬送车6，由此，无需等待管辖区域内的搬送车6的台数变为比规定台数多，就能将载置于该交接口14上的物品10搬出。第2搬送指令能够基于第1搬送指令生成。第2搬送指令是将第1搬送指令分割而形成(包括第1搬送指令的一部分)的指令，是包括第1搬送指令中的从搬送起始地搬出的搬出工序的指令。
上位控制器60在生成第2搬送指令之后向区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器发送第2搬送指令。另外，上位控制器60在从区域控制器50a、50b、50c中的某一个区域控制器接收到无法分配报告时，在区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器的管辖区域内存在空闲缓冲区8的情况下，向区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器发送将其存储部(区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器所具有的存储部)内存储的第1搬送指令删除的指令(以下称为“删除指令”)。另一方面，上位控制器60在从区域控制器50a、50b、50c中的某一个区域控制器接收到无法分配报告时，在区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器的管辖区域内不存在空闲缓冲区8的情况下，不向区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器发送删除指令。即，关于发送至区域控制器50a、50b、50c中的某一个区域控制器的第1搬送指令不会进行任何追加处理，而是等待从区域控制器50a、50b、50c中的该某一个区域控制器接收第1搬送指令的分配报告。
各区域控制器50a、50b、50c在各存储部51a、51b、51c内存储有第1搬送指令的情况下，当存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多、且自己的管辖区域内存在空闲搬送车6(能够分配搬送指令的搬送车6)时，将第1搬送指令分配给空闲的搬送车6。即，在存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数的期间，不将所存储的第1搬送指令分配给任何搬送车6并保持该第1搬送指令，在例如新的搬送车6从其它区域进入管辖区域等从而管辖区域内的搬送车6的台数变得比规定台数多的时间点，将所存储的第1搬送指令分配给管辖区域内的某一个空闲的搬送车6。由此，被分配了第1搬送指令的搬送车6从自己的管辖区域内的交接口14向自己的管辖区域外的搬送目的地搬送物品10。
此外，各区域控制器50a、50b、50c在自己的管辖区域内不存在空闲搬送车6(即能够分配搬送指令的搬送车6)的情况下，不会将从上位控制器60接收到的搬送指令分配给任何搬送车6，而是将其存储到各存储部51a、51b、51c内。这相当于例如存在于自己的管辖区域内的搬送车6均已是搬送指令的执行过程中的情况。也可以将不分配给任何搬送车6的多个搬送指令蓄积到存储部51a、51b、51c内。区域控制器50a、50b、50c在自己的管辖区域内产生空闲搬送车6的时间点，将存储部51a、51b、51c内存储的搬送指令从例如先存储的搬送指令起依次分配给空闲搬送车6。
区域控制器50a、50b、50c在从上位控制器60接收到第2搬送指令时，将第2搬送指令分配给空闲搬送车6。由此，被分配了第2搬送指令的搬送车6从自己的管辖区域内的交接口14向缓冲区8搬送物品10。在该情况下，由于被分配了第2搬送指令的搬送车6不会到管辖区域的外面去，所以管辖区域内的搬送车6的台数至少保持为规定台数。
上位控制器60在通过被分配了第2搬送指令的搬送车6完成了管辖区域内的物品10向缓冲区8的搬送的情况下，生成第3搬送指令。第3搬送指令是从该管辖区域内的缓冲区8向该管辖区域外的搬送目的地搬送物品10的指令。第3搬送指令的搬送目的地既可以与第1搬送指令的搬送目的地相同也可以不同。第3搬送指令能够基于第1搬送指令生成。第3搬送指令既可以是将第1搬送指令分割而形成(包括第1搬送指令的其它部分)的指令，也可以是包括向第1搬送指令中的搬送目的地搬入的搬入工序的指令。上位控制器60在生成第3搬送指令之后，向管辖该管辖区域的区域控制器50a、50b、50c中的某一个发送第3搬送指令。
各区域控制器50a、50b、50c在从上位控制器60接收到第3搬送指令时，将第3搬送指令存储到各存储部51a、51b、51c内。区域控制器50a、50b、50c在存储有第3搬送指令的情况下，当存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多、且自己的管辖区域内存在空闲搬送车6(能够分配搬送指令的搬送车6)时，将所存储的第3搬送指令分配给空闲搬送车6。由此，被分配了第3搬送指令的搬送车6从自己的管辖区域内的缓冲区8向自己的管辖区域外的搬送目的地搬送物品10。各区域控制器50a、50b、50c例如在从上位控制器60接收到第3搬送指令时，无论存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数还是比规定台数多，都将第3搬送指令存储到各存储部51a、51b、51c内。即，即使存在于管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数，也不向上位控制器60发送无法分配报告。换言之，可以并不一定生成以该缓冲区8为搬送起始地、以管辖区域内的其它缓冲区8为搬送目的地的新的搬送指令。例如，在存在于管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数的情况下，不将存储部51a、51b、51c内存储的第3搬送指令分配给任何搬送车6并保持该第3搬送指令，在管辖区域内的搬送车6的台数变为比规定台数多的时间点，将存储部51a、51b、51c内存储的第3搬送指令分配给管辖区域内的某一个搬送车6。
接着，利用图4～图8的时序图具体地对由搬送系统1执行的处理的一例进行例示说明。
此外，以下对多个区域控制器50a、50b、50c中的某一个区域控制器50a进行说明。将存在于区域控制器50a的管辖区域内的交接口14及处理装置12仅作为“交接口14及处理装置12”来说明。
如图4所示，处理装置12在完成了处理时，向上位控制器60发送拾取(pick up)要求，要求从交接口14拾取(搬出)物品10(步骤S1)。上位控制器60根据拾取要求的接收，生成从区域控制器50a的管辖区域内的交接口14向该区域控制器50a的管辖区域外的搬送目的地搬送物品10的第1搬送指令(步骤S2)。上位控制器60向区域控制器50a发送第1搬送指令。
区域控制器50a与第1搬送指令的接收相应地向上位控制器60回复OK报告，报告该接收。区域控制器50a例如基于与搬送车6的通信结果来判定存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数是否为规定台数。区域控制器50a在判定为存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数时，将搬送车6的台数条件设为不合适(步骤S3)。区域控制器50a将所接收的第1搬送指令存储到存储部51a内(步骤S4)。区域控制器50a向上位控制器60发送无法分配报告。
上位控制器60在接收到无法分配报告时，在区域控制器50a的管辖区域内检索空闲缓冲区8(步骤S5)。空闲缓冲区8的检索例如能够基于与该管辖区域内的各缓冲区8进行通信而得到的各种信息来执行。在该管辖区域内不存在空闲缓冲区8的情况下，上位控制器60将空闲缓冲区8设为无法检测(步骤S6)。
之后，例如在搬送车6进入自己的管辖区域内、存在于自己的管辖区域内的搬送车6增加了的情况下，如图5所示，区域控制器50a判定为存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多，并将搬送车6的台数条件设为OK(步骤S11)。区域控制器50a在自己的管辖区域内存在空闲搬送车6的情况下，将存储部51a内存储的第1搬送指令分配给空闲搬送车6(步骤S12)。区域控制器50a向上位控制器60发送指令分配报告，报告已将第1搬送指令分配给搬送车6。被分配了第1搬送指令的搬送车6为了向管辖区域外的搬送目的地进行搬送而从交接口14搬出(拾取)物品10。从交接口14搬出了物品10的搬送车6向区域控制器50a报告该情况，区域控制器50a识别从交接口14进行的物品10的拾取已完成(步骤S13)。处理装置12识别交接口14是空闲(未载置物品10)的状态。处理装置12向上位控制器60发送卸下(drop off)要求，要求向交接口14载置物品10(步骤S14)。
另一方面，如图6所示，上位控制器60在步骤S5中检索空闲缓冲区8的结果是在区域控制器50a的管辖区域内存在空闲缓冲区8的情况下，将空闲缓冲区8设为能够检测(步骤S21)。如图7所示，上位控制器60向区域控制器50a发送将存储部51a内存储的第1搬送指令删除的删除指令。区域控制器50a与删除指令的接收相应地向上位控制器60回复OK报告，报告该接收。区域控制器50a将存储部51a内存储的第1搬送指令删除(步骤S22)。区域控制器50a向上位控制器60发送删除完成报告，报告第1搬送指令的删除完成。
上位控制器60生成从交接口14向空闲缓冲区8搬送物品10的第2搬送指令(步骤S23)。上位控制器60向区域控制器50a发送第2搬送指令。区域控制器50a将所接收的第2搬送指令分配给空闲搬送车6(步骤S24)。区域控制器50a向上位控制器60发送指令分配报告，报告已将第2搬送指令分配给搬送车6。被分配了第2搬送指令的搬送车6为了向管辖区域内的空闲缓冲区8进行搬送而从交接口14搬出物品10。从交接口14搬出了物品10的搬送车6向区域控制器50a报告该情况，区域控制器50a识别从交接口14进行的物品10的拾取已完成(步骤S25)。处理装置12识别交接口14是空闲(未载置物品10)的状态。处理装置12向上位控制器60发送卸下要求，要求向交接口14载置物品10(步骤S26)。
如图8所示，区域控制器50a识别向空闲缓冲区8进行的物品10的搬送已完成(步骤S31)。区域控制器50a向上位控制器60发送搬送完成报告，报告第2搬送指令的搬送已完成。上位控制器60生成从缓冲区8向区域控制器50a的管辖区域外的搬送目的地搬送物品10的第3搬送指令(步骤S32)。上位控制器60向区域控制器50a发送第3搬送指令。区域控制器50a将所接收的第3搬送指令存储到存储部51a内(步骤S33)。
之后，例如在搬送车6进入自己的管辖区域内、存在于自己的管辖区域内的搬送车6增加了的情况下，区域控制器50a判定为存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多，并将搬送车6的台数条件设为OK(步骤S34)。区域控制器50a在自己的管辖区域内存在空闲搬送车6的情况下，将存储部51a内存储的第3搬送指令分配给空闲搬送车6(步骤S35)。区域控制器50a向上位控制器60发送指令分配报告，报告已将第3搬送指令分配给搬送车6。被分配了第3搬送指令的搬送车6为了向管辖区域外的搬送目的地进行搬送而从缓冲区8搬出物品10。从缓冲区8搬出了物品10的搬送车6向区域控制器50a报告该情况，区域控制器50a识别从缓冲区8进行的物品10的拾取已完成(步骤S36)。
以上，在搬送系统1中，在区域控制器50a、50b、50c中，在存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数是规定台数的情况下，若自己的管辖区域内存在空闲缓冲区8，则删除第1搬送指令。之后，从上位控制器60向区域控制器50a、50b、50c发送第2搬送指令。另一方面，若自己的管辖区域内不存在空闲缓冲区8，则保持在区域控制器50a、50b、50c中存储有第1搬送指令的状态。由此，能够防止存在于管辖区域内的搬送车6的台数低于规定台数，并且无论管辖区域内有无空闲缓冲区8，都能由上位控制器60及区域控制器50a、50b、50c中的某一个来管理从管辖区域内的交接口14搬送物品10的指令。上位控制器60无需始终监视空闲缓冲区8的有无。
如上所述，上位控制器60例如除了区域控制器50a、50b、50c之外还向各种各样的控制器发送各种指令。因此，需要极力抑制上位控制器60的处理负荷。在本实施例的搬送系统1中，上位控制器60在从区域控制器50a、50b、50c接收到无法分配报告时，仅检索一次该区域控制器50a、50b、50c的管辖区域内是否存在空闲缓冲区8即可，与不间断地进行监视直到管辖区域内产生空闲缓冲区8为止的情况相比处理负荷较小。因此，能够在抑制上位控制器60的处理负荷的同时，防止物品10被留在交接口14。由于从交接口14快速搬出物品10，所以能够提高处理装置12的运转率。能够缩短物品交换时间(swap time)(自从处理装置12输出拾取要求时起到从交接口14拾取物品10并将新的物品10放置于交接口14为止的时间)。
在搬送系统1中，区域控制器50a、50b、50c在存储有第1搬送指令的情况下，当存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多、且自己的管辖区域内存在空闲搬送车6时，将该第1搬送指令分配给搬送车6。由此，当不存在空闲缓冲区8时，区域控制器50a、50b、50c能够继续管理第1搬送指令，并等待管辖区域内的搬送车6的台数增加，从而从交接口14向管辖区域外的搬送目的地搬送物品10。
在搬送系统1中，区域控制器50a、50b、50c将从上位控制器60接收到的第2搬送指令分配给搬送车6。上位控制器60在接收到第2搬送指令的搬送完成报告的情况下生成第3搬送指令，并向区域控制器发送第3搬送指令。由此，在向管辖区域内的空闲缓冲区8进行了物品10的搬送之后，能够从该缓冲区8向第1搬送指令中的搬送目的地或管辖区域外的其它搬送目的地搬送物品10。即，能够根据第2搬送指令及第3搬送指令，使搬送车6执行本应根据第1搬送指令使搬送车6执行的物品10的搬送、或者向与第1搬送指令中的搬送目的地不同的搬送目的地进行的物品10的搬送。
在搬送系统1中，区域控制器50a、50b、50c在存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多、且自己的管辖区域内存在空闲搬送车6时，将第3搬送指令分配给搬送车。由此，能够通过被分配了第3搬送指令的搬送车6，将本应根据第1搬送指令向管辖区域外的搬送目的地搬送的物品10向第1搬送指令中的搬送目的地或管辖区域外的其它搬送目的地搬送。另外，能够相对于从缓冲区8进行的物品10的搬送(第3搬送指令)而优先实施从交接口14进行的物品10的搬送(第1搬送指令)。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方式并不限定于上述实施方式，在不脱离发明要旨的范围内能够进行各种变更。
在上述实施方式中，轨道4及区域Aa、Ab、Ac的布局并不特别限定，能够将各种布局用于轨道4及区域Aa、Ab、Ac。在上述实施方式中，例示说明了涉及某一个区域控制器50a的处理，但在其它区域控制器50b、50c中也能执行同样的处理。上述实施方式的搬送系统1也可以具备对区域控制器50a、50b、50c与上位控制器60进行中转的一个或多个其它控制器。区域的数量以及区域控制器的数量并不特别限定。
在上述实施方式中，上位控制器60在发送删除指令之后生成并发送第2搬送指令，但也可以在生成并发送第2搬送指令之后发送删除指令，还可以在发送删除指令的同时(并列)生成并发送第2搬送指令。在上述实施方式中，区域控制器50a、50b、50c在从上位控制器60接收到第3搬送指令时将第3搬送指令存储到存储部51a、51b、51c内，但在此时存在于自己的管辖区域内的搬送车6的台数比规定台数多、且自己的管辖区域内存在空闲搬送车6的情况下，也可以将所接收的第3搬送指令分配给空闲搬送车6(能够分配搬送指令的搬送车6)。在上述实施方式中，有时也会因某种理由而将分配给或预定分配给搬送车6的搬送指令解除。
附图标记说明
1：搬送系统，4：轨道，6：搬送车，8：缓冲区，10：物品，12：处理装置，14：交接口，50a、50b、50c：区域控制器，60：上位控制器，Aa、Ab、Ac：区域。

Claims (4)

1.一种搬送系统，具备：
跨越多个区域而设置的轨道；
沿着所述轨道行驶的多个搬送车；
区域控制器，该区域控制器将多个所述区域中的某一个区域作为管辖区域，并控制该管辖区域内的所述搬送车；
缓冲区，该缓冲区设于所述管辖区域内的所述搬送车能够交接物品的位置，并临时载置物品；和
上位控制器，该上位控制器向所述区域控制器发送使所述搬送车搬送物品的搬送指令，
所述区域控制器在存在于所述管辖区域内的所述搬送车的台数是预先确定的规定台数、且从所述上位控制器接收到第1搬送指令时，存储所述第1搬送指令，并且向所述上位控制器发送意为无法将所述第1搬送指令分配给所述搬送车的报告，其中，所述第1搬送指令是从相对于所述管辖区域内的处理装置交接物品的交接口向所述管辖区域外的搬送目的地搬送物品的指令，
所述上位控制器在从所述区域控制器接收到所述报告时，在存在能够载置物品的所述缓冲区的情况下，向所述区域控制器发送将所存储的所述第1搬送指令删除的指令，并且生成从所述交接口向该缓冲区搬送物品的第2搬送指令，且向所述区域控制器发送所述第2搬送指令。
2.根据权利要求1所述的搬送系统，其中，
所述区域控制器在存储有所述第1搬送指令的情况下，当存在于所述管辖区域内的所述搬送车的台数比所述规定台数多、且所述管辖区域内存在能够分配所述搬送指令的所述搬送车时，将所述第1搬送指令分配给所述搬送车。
3.根据权利要求1或2所述的搬送系统，其中，
所述区域控制器将从所述上位控制器接收到的所述第2搬送指令分配给所述搬送车，
所述上位控制器在通过被分配了所述第2搬送指令的所述搬送车完成了物品向所述缓冲区的搬送的情况下，生成从该缓冲区向所述第1搬送指令中的搬送目的地或所述管辖区域外的其它搬送目的地搬送物品的第3搬送指令，并向所述区域控制器发送所述第3搬送指令。
4.根据权利要求3所述的搬送系统，其中，
所述区域控制器在存在于所述管辖区域内的所述搬送车的台数比所述规定台数多、且所述管辖区域内存在能够分配所述搬送指令的所述搬送车时，将所述第3搬送指令分配给所述搬送车。
CN201980019364.5A 2018-05-31 2019-01-30 搬送系统 Active CN111902784B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-105012 2018-05-31
JP2018105012 2018-05-31
PCT/JP2019/003248 WO2019230046A1 (ja) 2018-05-31 2019-01-30 搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111902784A CN111902784A (zh) 2020-11-06
CN111902784B true CN111902784B (zh) 2023-04-07

Family

ID=68698012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980019364.5A Active CN111902784B (zh) 2018-05-31 2019-01-30 搬送系统

Country Status (8)

Country Link
US (1) US11791186B2 (zh)
EP (1) EP3805890B1 (zh)
JP (1) JP6939993B2 (zh)
KR (1) KR102376371B1 (zh)
CN (1) CN111902784B (zh)
SG (1) SG11202010023WA (zh)
TW (1) TWI784170B (zh)
WO (1) WO2019230046A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102265604B1 (ko) * 2020-10-30 2021-06-17 주식회사 세미티에스 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼 보관 용기의 반송 시스템에서 최적 반송 경로를 탐색하는 방법 및 이를 사용한 중앙 제어 장치
JP7464319B2 (ja) 2021-01-08 2024-04-09 株式会社LexxPluss 搬送システム、及び搬送制御方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006260248A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Murata Mach Ltd 搬送車システム
JP2006290491A (ja) * 2005-04-07 2006-10-26 Murata Mach Ltd 搬送車システム
WO2010073475A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 村田機械株式会社 搬送車システムおよび搬送車制御方法
JP2010152766A (ja) * 2008-12-26 2010-07-08 Murata Machinery Ltd 搬送車システム
JP2011022974A (ja) * 2009-07-21 2011-02-03 Murata Machinery Ltd 搬送車システムと搬送車システムの管理方法
JP2013153193A (ja) * 2010-11-04 2013-08-08 Murata Mach Ltd 搬送システム

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1039929A (ja) * 1996-07-26 1998-02-13 Oki Electric Ind Co Ltd 移動体割当システムおよびその配車制御方法
US6876107B2 (en) * 2002-06-05 2005-04-05 Jacobs Automation Controlled motion system
JP2007200205A (ja) * 2006-01-30 2007-08-09 Murata Mach Ltd 搬送車システム
JP4366663B2 (ja) 2007-06-28 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送台車システム
JP2011140366A (ja) * 2010-01-06 2011-07-21 Muratec Automation Co Ltd 搬送車システム
JP2011173478A (ja) * 2010-02-24 2011-09-08 Muratec Automation Co Ltd 搬送車システム
US8996161B2 (en) * 2011-05-19 2015-03-31 Rockwell Automation, Inc. Controlled architecture for transport systems
CN104350442B (zh) * 2012-05-28 2017-03-08 村田机械株式会社 行驶车系统与弯道区间处的行驶车的行驶控制方法
KR101707929B1 (ko) * 2012-10-04 2017-02-17 히라따기꼬오 가부시키가이샤 반송 시스템 및 제어 방법
JP6313642B2 (ja) * 2014-04-18 2018-04-18 キヤノン株式会社 リニアモータ制御装置及びリニアモータ制御システム
US9845192B2 (en) * 2014-06-04 2017-12-19 Murata Machinery, Ltd. Transport vehicle system and transport method
WO2017090334A1 (ja) * 2015-11-27 2017-06-01 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
EP3388368B1 (en) * 2015-12-08 2020-07-01 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system
JP6613941B2 (ja) * 2016-02-10 2019-12-04 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6690497B2 (ja) * 2016-10-28 2020-04-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備
HUE051238T2 (hu) * 2016-12-19 2021-03-01 Zeiss Carl Vision Int Gmbh Továbbító berendezés egy szállítótartály számára
DE102017000527A1 (de) * 2017-01-20 2018-07-26 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh Vorrichtung zum automatisierten Entnehmen von in einem Behälter angeordneten Werkstücken
SG11202008642UA (en) * 2018-03-15 2020-10-29 Murata Machinery Ltd Traveling vehicle controller and traveling vehicle system
CN111902347B (zh) * 2018-03-27 2022-06-28 村田机械株式会社 搬运系统、搬运控制器、以及搬运车的控制方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006260248A (ja) * 2005-03-17 2006-09-28 Murata Mach Ltd 搬送車システム
JP2006290491A (ja) * 2005-04-07 2006-10-26 Murata Mach Ltd 搬送車システム
WO2010073475A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 村田機械株式会社 搬送車システムおよび搬送車制御方法
JP2010152766A (ja) * 2008-12-26 2010-07-08 Murata Machinery Ltd 搬送車システム
JP2011022974A (ja) * 2009-07-21 2011-02-03 Murata Machinery Ltd 搬送車システムと搬送車システムの管理方法
JP2013153193A (ja) * 2010-11-04 2013-08-08 Murata Mach Ltd 搬送システム

Also Published As

Publication number Publication date
SG11202010023WA (en) 2020-12-30
KR102376371B1 (ko) 2022-03-17
JP6939993B2 (ja) 2021-09-22
US20210057250A1 (en) 2021-02-25
TWI784170B (zh) 2022-11-21
US11791186B2 (en) 2023-10-17
WO2019230046A1 (ja) 2019-12-05
JPWO2019230046A1 (ja) 2020-12-17
EP3805890B1 (en) 2022-08-31
KR20200118152A (ko) 2020-10-14
CN111902784A (zh) 2020-11-06
TW202003357A (zh) 2020-01-16
EP3805890A4 (en) 2022-02-23
EP3805890A1 (en) 2021-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1627834B1 (en) Carrying system
EP3848769B1 (en) Conveyance vehicle system
TWI676582B (zh) 搬送系統及搬送方法
JP5083382B2 (ja) 自動倉庫
CN111902784B (zh) 搬送系统
TWI777049B (zh) 搬送系統、搬送控制器及搬送車之控制方法
JPWO2017029873A1 (ja) 搬送車システム
TW201933519A (zh) 搬送系統之控制方法、搬送系統及管理裝置
JP3067682B2 (ja) 天井走行車システム
JP2019151474A (ja) 搬送システム及び搬送方法
TW202344453A (zh) 搬送系統及搬送控制方法
JP2023139860A (ja) 搬送システム
TW202407480A (zh) 搬送系統、搬送系統之控制方法、程式產品及存儲媒體

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant