WO2017090334A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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一見 原崎
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村田機械株式会社
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Definitions

  • One embodiment of the present invention relates to a transport system and a transport method.
  • a transfer system applied to a semiconductor manufacturing factory, it communicates with each of a track, a plurality of transport vehicles that travel along the track and transport an object to be transported to at least a station, and a plurality of transport vehicles. And a controller that controls each operation of the transport vehicle (see, for example, Patent Document 1).
  • the controller when there is a cargo handling request for acquiring a transported object from the station, the controller assigns a transportation command corresponding to the cargo handling request to the transport vehicle.
  • the controller is a transfer vehicle that arrives at the station earlier than the transfer vehicle to which the transfer command is assigned, so that the transfer command can be assigned.
  • a delete command for deleting the transport command is transmitted to the transport vehicle to which the transport command has been assigned first, and then a transport command is issued to the newly detected transport vehicle.
  • a command swap process to be newly assigned is performed.
  • the transport vehicle to which the transport command has been assigned cannot receive the delete command. Or even if the conveyance vehicle transmits a response to the effect that the delete command has been received to the controller, the controller may not be able to receive the response. In such a case, the controller cannot determine whether or not the transport command is assigned to the transport vehicle to which the transport command is assigned first, and the transport command to the transport vehicle that arrives first at the station. Cannot be assigned.
  • an object of one embodiment of the present invention is to provide a transport system and a transport method that can assign a transport command to an appropriate transport vehicle that arrives at a station first.
  • a transport system includes a track, a plurality of transport vehicles that travel along the track, transport at least a transported object to the station, and communicate with each of the plurality of transport vehicles.
  • a controller for controlling each operation of the vehicle, and the controller is in a state in which it is possible to assign a conveyance command corresponding to the grasping request when there is a grasping request for acquiring the object to be conveyed from the station.
  • a transport vehicle existing in a range less than the first distance from the station is detected, it is a position on the upstream side of the station with respect to the transport vehicle, and transport is performed between the position and the station.
  • a traveling command for traveling to a destination point is assigned to a plurality of transporting vehicles.
  • the destination point is a position on the upstream side of the station, and a transport vehicle that is in a state in which a transport command can be assigned does not appear between the position and the station.
  • a conveyance command is allocated with respect to the conveyance vehicle which has been assigned the travel command and which passes the destination point first.
  • the destination point may be a junction point closest to the station among the junction points of the track on the upstream side of the station.
  • a transport command can be assigned to the most appropriate transport vehicle.
  • the controller when the controller is in a state in which a transport command can be assigned and a transport vehicle closest to the station is detected, the controller assigns a travel command to the transport vehicle, and When a travel command is assigned to one of the transport vehicles, a delete command for deleting the travel command is transmitted to other transport vehicles except for the transport vehicle closest to the station among the plurality of transport vehicles. May be. In this case, it is possible to suppress useless travel of the transport vehicle to which the transport command cannot be assigned.
  • the controller when the controller assigns a travel command to a plurality of transport vehicles, the controller monitors each state of the plurality of transport vehicles, and the transport satisfies the deletion condition.
  • a delete command for deleting the travel command may be transmitted to the transport vehicle. In this case, it is possible to suppress useless travel of the transport vehicle to which the transport command cannot be assigned.
  • the transport vehicle assigned with the travel command transmits a just-arrival report to the controller when the transport vehicle reaches the point just before the arrival at the second distance from the destination point.
  • a transport command may be assigned to the transport vehicle.
  • a conveyance command can be appropriately assigned to the conveyance vehicle.
  • the destination point is the junction point closest to the station among the junction points of the track on the upstream side of the station, and the transport vehicle assigned with the travel command is located upstream of the destination point.
  • the controller transmits a request for permission to pass through the destination to the controller and receives the request for permission of passage from the transport vehicle.
  • the vehicle may transmit a pass permission at the destination point, and the transport vehicle may transmit a report immediately before arrival to the controller when it reaches the point immediately before arrival and receives the pass permission.
  • a transport command having a high priority may be assigned to the transport vehicle that first passes through the junction. it can.
  • the controller when the controller assigns a travel command to only one transport vehicle, the controller moves from the transport vehicle even though the transport vehicle has reached the point just before arrival.
  • a travel command may be newly assigned to at least one other transport vehicle. In this case, the conveyance process can be continued even when communication cannot be correctly performed between the conveyance vehicle and the controller.
  • a transport method includes a track, a plurality of transport vehicles that travel along the track, transport at least a transported object to the station, and communicate with each of the plurality of transport vehicles.
  • a transport method implemented in a transport system including a controller that controls each operation of the vehicle, and the controller responds to the load gripping request when there is a load gripping request for acquiring a transported object from the station.
  • a transport command to be assigned and when a transport vehicle existing in a range less than the first distance from the station is detected, the position is upstream of the station with respect to the transport vehicle, and Between the station and the station, run to a destination point that is set to a point where a transport vehicle that can be assigned a transport command does not appear.
  • a first step of assigning a travel command to be performed, and a controller in which the controller is in a state in which a transport command can be assigned and another transport vehicle existing within a range less than the first distance from the station is assigned to the travel command.
  • a transport command can be assigned to an appropriate transport vehicle that arrives at the station in the same manner as the transport system described above.
  • FIG. 1 is a plan view of a part of the transport system according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view for explaining a first transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 3 is a plan view for explaining a first transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 4 is a plan view for explaining a first transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 5 is a plan view of a part of the transport system according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a plan view for explaining a second transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 7 is a plan view for explaining a second transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 8 is a plan view for explaining a second transport process in the transport system of FIG. FIG.
  • FIG. 9 is a plan view for explaining a third transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 10 is a sequence diagram for explaining a third transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 11 is a plan view for explaining a third transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 12 is a plan view for explaining a third transport process in the transport system of FIG.
  • FIG. 13 is a plan view for explaining a third transport process in the transport system of FIG.
  • the transport system 1 includes a track 10, an overhead transport vehicle (transport vehicle) 20, and a controller 50.
  • the track 10 is laid near the ceiling of a semiconductor manufacturing plant including the semiconductor processing apparatus 110.
  • the overhead transport vehicle 20 is an OHT (Overhead Hoist Transfer) and travels in one direction along the track 10 while being suspended on the track 10.
  • the overhead transport vehicle 20 transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) 90 containing a plurality of semiconductor wafers as a transported object.
  • the controller 50 communicates with each ceiling transport vehicle 20 and controls the operation of each ceiling transport vehicle 20.
  • a plurality of stations 100 are arranged below the track 10.
  • the station 100 is an apparatus port provided in the semiconductor processing apparatus 110, for example.
  • the FOUP 90 When the FOUP 90 is mounted on the station 100, the semiconductor wafer accommodated in the FOUP 90 is taken into the semiconductor processing apparatus 110. The semiconductor wafer is again stored in the FOUP 90 after being subjected to predetermined processing in the semiconductor processing apparatus 110.
  • stations 100A and 100B arranged in this order from the downstream side of the track 10 are shown.
  • the ceiling transport vehicle 20 has a transfer mechanism for transferring the FOUP 90 to the station 100.
  • the transfer mechanism includes, for example, a gripping part that grips the FOUP 90 and a lifting mechanism that lifts and lowers the gripping part.
  • the ceiling transport vehicle 20 stops at the position where the FOUP 90 is transferred to the station 100, and the transfer mechanism is operated in this state, whereby the FOUP 90 can be transferred to the station 100.
  • the transfer of the FOUP 90 to the station 100 includes a case where the FOUP 90 held (loaded) by the ceiling transport vehicle 20 is supplied (unloaded) to the station 100, and a case where the FOUP 90 placed on the station 100 is transported to the ceiling.
  • the case where the vehicle 20 acquires (catch) is included.
  • the controller 50 includes a transport controller 50A and a transport vehicle controller 50B.
  • the transport controller 50A is a host controller for the transport vehicle controller 50B.
  • the transport controller 50A communicates with a transport vehicle controller 50B and a manufacturing controller (not shown).
  • the transport vehicle controller 50B communicates with the transport controller 50A and each of the ceiling transport vehicles 20.
  • the manufacturing controller communicates with each semiconductor processing apparatus 110 and issues a cargo handling request for acquiring the FOUP 90 from the station 100 of each semiconductor processing apparatus 110 to the transfer controller 50A.
  • the conveyance controller 50A grasps that there is a cargo handling request
  • the conveyance vehicle controller 50B allocates a conveyance command corresponding to the cargo handling request to any of the ceiling conveyance vehicles 20.
  • the transport process described below is performed.
  • the first conveyance process performed in the following situation will be described. That is, as shown in FIG. 1, the FOUP 90 to be acquired by the ceiling transport vehicle 20 is placed on the station 100 ⁇ / b> A arranged below the track 10.
  • the transport controller 50A grasps that there is a grasping request for acquiring the FOUP 90 from the station 100A.
  • the transport vehicle controller 50B detects the ceiling transport vehicle 20A as the ceiling transport vehicle 20 that is in a state in which a transport command corresponding to the cargo holding request can be assigned and is present in a range less than the first distance from the station 100A. Then, the transport vehicle controller 50B assigns a travel command to travel to the destination point 11 to the ceiling transport vehicle 20A (first step).
  • a ceiling transport vehicle 20B that transports the FOUP 90 to be unloaded from the station 100B on the upstream side of the station 100B and the downstream side of the ceiling transport vehicle 20A.
  • the overhead transport vehicle 20 in a state in which a transport command can be assigned is, for example, a state in which a travel command, a transport command, etc. for acquiring the FOUP 90 from another station 100 is not assigned (that is, empty space). It is a ceiling transport vehicle 20 (which is a carriage).
  • the first distance is a preset distance.
  • the destination point 11 is a position on the upstream side of the station 100A, and is set to a point where a new ceiling transport vehicle 20 that can be assigned a transport command between the position and the station 100A does not appear.
  • the transport vehicle controller 50B is capable of assigning a transport command to the ceiling transport vehicle 20 even when there is an empty transport vehicle 20 between the destination point 11 and the station 100A. It is not detected as a new ceiling transport vehicle 20 in the area.
  • the destination point 11 is set on the track 10 on the upstream side of the station 100A and on the downstream side of the station 100B.
  • the ceiling transport vehicle 20B arrives at the station 100B and supplies the FOUP 90 to the station 100B. Thereby, the ceiling conveyance vehicle 20B will be in the condition which can allocate a conveyance command.
  • the transport vehicle controller 50B is in a state in which a transport command can be assigned, and the overhead transport vehicle 20B is assigned a travel command as another overhead transport vehicle 20 that exists within a range less than the first distance from the station 100A. A new detection is performed before the transfer command is assigned to the overhead transfer vehicle 20A. And the conveyance vehicle controller 50B allocates the driving
  • the transport vehicle controller 50B is a ceiling transport vehicle 20 to which a travel command is assigned, and the ceiling transport vehicle 20 that passes through the destination point 11 first (in the drawing, the ceiling transport vehicle 20).
  • a conveyance command is assigned to the conveyance vehicle 20B) (third step).
  • the overhead transportation vehicles 20A and 20B to which the traveling command is assigned reach the point immediately before arrival at the second distance from the destination point 11, the overhead transportation vehicles 20A and 20B transmit a report immediately before arrival to the carrier controller 50B.
  • the overhead conveyance vehicle 20B transmits a report immediately before arrival to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the conveyance vehicle controller 50B allocates a conveyance command with respect to the ceiling conveyance vehicle 20B, when the report just before arrival is received from the ceiling conveyance vehicle 20B.
  • the second distance is a preset distance.
  • the area included in the range of the second distance from the destination point 11 is set to be narrower than the area included in the range of the first distance from the station 100.
  • the overhead transport vehicle 20B travels to the area where the FOUP 90 can be acquired from the station 100A on the track 10 and stops, operates the transfer mechanism, and then moves from the station 100A. Get FOUP90. Thereby, the overhead conveyance vehicle 20B completes the conveyance command for acquiring the FOUP 90 from the station 100A.
  • the overhead traveling vehicle 20A travels to the destination point 11, whereby the traveling command to travel to the destination point 11 is completed, and the command is not assigned (that is, an empty cart state).
  • the load grasp request is handled.
  • a traveling command to travel to the destination point 11 is allocated to the plurality of ceiling transport vehicles 20A and 20B that are in a state where the transportation command can be allocated and are within the range of the first distance from the station 100A.
  • the destination point 11 is a position on the upstream side of the station 100A, and a ceiling transport vehicle 20 that is in a state in which a transfer command can be assigned between the position and the station 100A does not newly appear. is there.
  • a conveyance command is allocated with respect to the ceiling conveyance vehicle 20B which is 20 C of ceiling conveyance vehicles 20A and 20B to which driving
  • a transport command can be assigned to a more appropriate overhead transport vehicle 20B. Therefore, a conveyance command can be assigned to an appropriate ceiling conveyance vehicle 20B that arrives first at the station 100A.
  • the overhead transportation vehicles 20A and 20B to which the traveling command is assigned arrive at the point immediately before arrival at the second distance from the destination point 11, the overhead transportation vehicles 20A and 20B transmit a report immediately before arrival to the transportation vehicle controller 50B.
  • the controller 50B receives the report immediately before arrival from the ceiling transport vehicles 20A and 20B, the controller 50B assigns a transport command to the ceiling transport vehicles 20A and 20B. For this reason, a conveyance command can be appropriately allocated with respect to ceiling conveyance vehicles 20A and 20B.
  • the transport system 1 of the second embodiment is mainly different from the transport system 1 of the first embodiment described above in the configuration of the track 10. That is, the track 10 has a plurality of sections that merge and branch from each other.
  • FIG. 5 shows a section configured to include the confluence on the track 10.
  • the track 10 includes a plurality of sections 10a, 10b, and 10c.
  • the track 10 has a joining point 12 where the section 10a and the section 10b join, and a section 10c on the downstream side of the joining point 12.
  • the destination point 11 is the junction 12 closest to the station 100A among the junctions of the track 10 on the upstream side of the station 100A. That is, here, the destination point 11 is the junction 12 where the sections 10a and 10b described above merge.
  • the section 10a is linearly connected to the section 10c.
  • the section 10b is connected to the section 10c while curving from before the junction 12 which is the destination point 11.
  • the overhead conveyance vehicle 20 can travel from the section 10a to the section 10c through the junction 12. Further, the ceiling transport vehicle 20 can travel from the section 10b to the section 10c through the junction 12.
  • a plurality of stations 100 are arranged below the track 10.
  • the station 100A is disposed below the section 10c
  • the station 100B is disposed below the section 10b.
  • the second conveyance process performed in the following situation will be described. That is, as shown in FIG. 5, the FOUP 90 to be acquired by the ceiling transport vehicle 20 is placed at the station 100A arranged below the section 10c.
  • the transport controller 50A grasps that there is a grasping request for acquiring the FOUP 90 from the station 100A.
  • the transport vehicle controller 50B detects the ceiling transport vehicle 20A as the ceiling transport vehicle 20 that is in a state in which a transport command corresponding to the cargo holding request can be assigned and is present in a range less than the first distance from the station 100A. And the conveyance vehicle controller 50B allocates the driving
  • the ceiling transport vehicle 20A travels along the section 10a.
  • the ceiling transport vehicle 20B arrives at the station 100B and supplies the FOUP 90 to the station 100B. Thereby, the ceiling conveyance vehicle 20B will be in the condition which can allocate a conveyance command.
  • the transport vehicle controller 50B is in a state in which a transport command can be assigned, and the overhead transport vehicle 20B is assigned a travel command as another overhead transport vehicle 20 that exists within a range less than the first distance from the station 100A. A new detection is performed before the transfer command is assigned to the overhead transfer vehicle 20A. And the conveyance vehicle controller 50B allocates the driving
  • the transport vehicle controller 50B is the ceiling transport vehicle 20 to which the travel command is assigned, and the ceiling transport vehicle 20 that passes through the junction 12 first (in the drawing, the ceiling transport vehicle 20).
  • a conveyance command is assigned to the conveyance vehicle 20B) (third step).
  • the overhead transportation vehicles 20A and 20B to which the travel command is assigned arrive at the point immediately before arrival at the second distance from the junction 12, the overhead transportation vehicles 20A and 20B transmit a report immediately before arrival to the transportation vehicle controller 50B.
  • the overhead conveyance vehicle 20B transmits a report immediately before arrival to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the conveyance vehicle controller 50B allocates a conveyance command with respect to the ceiling conveyance vehicle 20B, when the report just before arrival is received from the ceiling conveyance vehicle 20B.
  • the overhead transport vehicle 20B travels to an area where the FOUP 90 can be acquired from the station 100A on the section 10c, stops, operates the transfer mechanism, and then moves from the station 100A. Get FOUP90. Thereby, the overhead conveyance vehicle 20B completes the conveyance command for acquiring the FOUP 90 from the station 100A.
  • the transport process described below is performed.
  • a description will be given of the third conveyance process performed in the following situation. That is, as shown in FIG. 9, in the third transport process, the order of passing through the junction 12 that is the destination point 11 with respect to the plurality of ceiling transport vehicles 20A and 20B that travel along the different sections 10a and 10b.
  • the first intersection control which is a control for adjusting the above, is performed.
  • “passing the merging point 12” specifically means passing through the lock area L that is set around the merging point 12 and prohibits the plurality of ceiling transport vehicles 20 from passing simultaneously. is there.
  • FOUPs 90 there are a plurality of FOUPs 90 in which there are grabbing requests, and priorities are preset for these grabbing requests. As shown in FIGS. 9 and 10, the FOUP 90 to be acquired by the ceiling transport vehicle 20 is placed on each of the stations 100A and 100B arranged below the section 10c.
  • the transport controller 50A grasps that there is a cargo handling request for acquiring the FOUP 90 from each of the stations 100A and 100B.
  • Priority is set in advance for the FOUP 90 grabbing request placed on these stations 100A and 100B.
  • the priority of the grabbing request of the FOUP 90 placed on the station 100A is higher than the priority of the grabbing request of the FOUP 90 placed on the station 100B. That is, it is necessary for the plurality of overhead transport vehicles 20 to acquire the FOUP 90 placed on the station 100A first and to obtain the FOUP 90 placed on the station 100B later.
  • the overhead traveling vehicle 20 assigned with the travel command issues a passage permission request for requesting permission to pass through the junction 12 on the upstream side of the lock area L (that is, upstream of the junction 12). It transmits to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the ceiling transport vehicles 20A and 20B transmit a passage permission request to the transport vehicle controller 50B when the time required for traveling to the junction 12 as the destination point 11 has reached a position that is less than a predetermined time.
  • the position where the time required for the overhead transportation vehicles 20A and 20B to travel to the junction 12 is less than a predetermined time is the distance from the junction 12 to a longer distance if the traveling vehicle speed of the ceiling transportation vehicles 20A and 20B is high. On the contrary, if the traveling vehicle speed of the ceiling transport vehicles 20A and 20B is low, only the position closer to the distance from the junction 12 is included.
  • the conveyance controller 50B which received the passage permission request
  • the passage permission of the junction 12 is transmitted. Specifically, when the transport vehicle controller 50B does not transmit the passage permission of the junction 12 to the other ceiling transport vehicles 20, the transport of the junction 12 to the ceiling transport vehicles 20A and 20B. Send permission.
  • the traveling vehicle speed of the overhead conveyance vehicle 20A that travels in the section 10a that is linearly connected to the section 10c is curved from before the junction 12, and the ceiling transport that travels in the section 10b that is connected to the section 10c. It is higher than the traveling vehicle speed of the vehicle 20B.
  • the ceiling transport vehicle 20A may be at a position where the distance from the junction 12 is longer than the ceiling transport vehicle 20B and the time required to travel to the junction 12 is less than a predetermined time.
  • the ceiling conveyance vehicle 20A transmits a passage permission request for the junction 12 to the conveyance vehicle controller 50B before the ceiling conveyance vehicle 20B, and receives a passage permission for the junction 12 from the conveyance vehicle controller 50B.
  • the ceiling transport vehicle 20B may reach the point just before arrival before the ceiling transport vehicle 20A.
  • the ceiling transport vehicle 20B transmits a report immediately before arrival to the transport vehicle controller 50B prior to the ceiling transport vehicle 20A, and issues a transport command for a grabbing request of the FOUP 90 placed in the station 100A having a higher priority. Assigned.
  • a transport command having a higher priority is assigned to the ceiling transport vehicle 20B that has not received permission to pass the junction 12.
  • a transport command with a lower priority is assigned to the ceiling transport vehicle 20A that has received the permission to pass the junction 12. Therefore, the ceiling transport vehicle 20B cannot pass the junction 12 before the ceiling transport vehicle 20A, and cannot execute a transport command with a higher priority first.
  • the ceiling transport vehicle 20 transmits a just-arrival report to the transport vehicle controller 50B when it reaches the point just before arrival and receives the permission to pass through the junction 12.
  • a just-arrival report to the transport vehicle controller 50B when it reaches the point just before arrival and receives the permission to pass through the junction 12.
  • the overhead transport vehicle 20A reaches a position where the travel time to the junction 12 before the overhead transport vehicle 20B is less than a predetermined time
  • the overhead transport vehicle 20A Prior to 20B a passage permission request for the junction 12 is transmitted to the transport vehicle controller 50B (step S10).
  • the conveyance vehicle controller 50B transmits the passage permission of the junction 12 to the ceiling conveyance vehicle 20A (step S11).
  • the ceiling transport vehicle 20B reaches a position where the time required to travel to the junction 12 is less than a predetermined time, and transmits a passage permission request for the junction 12 to the transport controller 50B (step S12).
  • the transport vehicle controller 50B since the passage permission of the junction 12 has already been transmitted to the ceiling transport vehicle 20A, the transport vehicle controller 50B does not transmit the passage permission of the junction 12 to the ceiling transport vehicle 20B.
  • the ceiling transport vehicle 20A arrives at the point immediately before arrival and transmits a report immediately before arrival to the transport vehicle controller 50B (step S13). That is, since the ceiling transport vehicle 20A has reached the point just before arrival and has received permission to pass through the junction 12, the overhead transport vehicle 20A transmits a report just before arrival to the transport vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B assigns a transport command to the cargo handling request for the FOUP 90 placed in the station 100A having a higher priority to the ceiling transport vehicle 20A (step S14).
  • the ceiling transport vehicle 20 ⁇ / b> A that has received the permission to pass the junction 12 passes through the junction 12 and travels toward the station 100 ⁇ / b> A.
  • the ceiling transport vehicle 20B that has not received the permission to pass through the junction 12 does not pass through the junction 12, and waits on the upstream side of the junction 12 until the ceiling transport vehicle 20A passes through the junction 12.
  • the ceiling transport vehicle 20B transmits a request for permission to pass through the junction point 12 to the transport vehicle controller 50B (step S15).
  • the ceiling transport vehicle 20B may transmit a request for permission to pass the junction 12 to the transport vehicle controller 50B after being notified from the transport vehicle controller 50B that the ceiling transport vehicle 20A has passed the junction 12.
  • the ceiling conveyance vehicle 20B may transmit the passage permission request
  • the conveyance vehicle controller 50B transmits the passage permission of the junction 12 to the ceiling conveyance vehicle 20B (step S16).
  • the ceiling transport vehicle 20B arrives at the point just before arrival and transmits a report just before arrival to the transport vehicle controller 50B (step S17). That is, since the ceiling transport vehicle 20B has reached the point just before arrival and has received permission to pass through the junction 12, the overhead transport vehicle 20B transmits a report just before arrival to the transport vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B allocates a transport command for a load holding request of the FOUP 90 placed in the station 100B having a lower priority to the ceiling transport vehicle 20B (step S18).
  • the overhead transport vehicle 20A travels to an area where the FOUP 90 can be acquired from the station 100A on the section 10c, stops, operates the transfer mechanism, and then moves from the station 100A. Get FOUP90.
  • the overhead transport vehicle 20B travels to an area where the FOUP 90 can be acquired from the station 100B on the section 10c, stops, operates the transfer mechanism, and acquires the FOUP 90 from the station 100B.
  • the plurality of ceiling transport vehicles 20 that travel along the track in the priority direction are first passed, and the ceiling transport vehicle 20 that travels along the track in the direction that is not the priority direction.
  • Second intersection control to be passed later is performed.
  • the FOUP 90 to be acquired by the ceiling transport vehicle 20 is placed on each of the stations 100A, 100B, and 100C arranged below the section 10c. A case where priority is set in advance for the request will be described.
  • the ceiling transport vehicles 20A and 20B travel along the section 10a toward the junction 12, and the ceiling transport vehicles 20C, 20D, and 20E travel along the section 10b.
  • traveling commands are assigned to the ceiling transport vehicles 20A, 20B, and 20D.
  • the overhead conveyance vehicle 20D when the overhead transport vehicle 20D is at a position where the time required to travel to the junction 12 is less than a predetermined time, on the upstream side of the lock area L, The overhead conveyance vehicle 20D first transmits a passage permission request for the junction 12 to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B passes the ceiling transport vehicles 20A and 20B before the ceiling transport vehicle 20D. Accordingly, since the ceiling transport vehicle 20D is not in a state where it can pass through the junction 12, the transport vehicle controller 50B joins the ceiling transport vehicle 20D even when a passage permission request is received from the ceiling transport vehicle 20D. The permission to pass point 12 is not transmitted. As a result, it is possible to assign a transport command for a cargo holding request of the FOUP 90 placed in the station 100 having a higher priority to the ceiling transport vehicles 20A and 20B that pass through the junction 12 first.
  • the transport system 1 according to the second embodiment and the transport method performed in the transport system 1 there is a grasping request for acquiring the FOUP 90 from the station 100A.
  • the destination point 11 is a position on the upstream side of the station 100A, and a ceiling transport vehicle 20 that is in a state in which a transfer command can be assigned between the position and the station 100A does not newly appear. is there.
  • a conveyance command is allocated to ceiling conveyance vehicle 20B which passes the junction 12 first.
  • a transport command can be assigned to a more appropriate overhead transport vehicle 20B.
  • the order of the plurality of ceiling transport vehicles 20A and 20B passing through the junction point 12 can be adjusted. Therefore, a conveyance command can be assigned to an appropriate ceiling conveyance vehicle 20B that arrives first at the station 100A.
  • the destination point 11 is the junction 12 closest to the station 100A among the junctions of the track 10 on the upstream side of the station 100A.
  • a transport command can be assigned to the most appropriate ceiling transport vehicle 20B. it can.
  • the overhead transportation vehicles 20A and 20B to which the traveling command is assigned reach the point immediately before arrival at the second distance from the junction 12, the overhead transportation vehicles 20A and 20B transmit a report immediately before arrival to the transportation vehicle controller 50B.
  • the controller 50B receives the report immediately before arrival from the ceiling transport vehicles 20A and 20B, the controller 50B assigns a transport command to the ceiling transport vehicles 20A and 20B. For this reason, a conveyance command can be appropriately allocated with respect to ceiling conveyance vehicles 20A and 20B.
  • the destination point 11 is the confluence 12 that is closest to the station 100A among the confluence of the track 10 on the upstream side of the station 100A, and the overhead transportation vehicles 20A and 20B to which the travel commands are assigned are the confluence
  • a passage permission request for requesting permission to pass the junction 12 is transmitted to the transport vehicle controller 50 ⁇ / b> B.
  • the transport vehicle controller 50B that has received the passage permission request from the ceiling transport vehicles 20A and 20B, with respect to the ceiling transport vehicles 20A and 20B, when the ceiling transport vehicles 20A and 20B are in a state that can pass through the junction 12.
  • the passage permission of the junction 12 is transmitted.
  • the overhead transportation vehicles 20A and 20B When the overhead transportation vehicles 20A and 20B arrive at the point immediately before arrival and receive a passage permission, the overhead transportation vehicles 20A and 20B transmit a report immediately before arrival to the transportation vehicle controller 50B. For this reason, when the 1st intersection control or the 2nd intersection control which adjusts the order in which a plurality of ceiling conveyance vehicles 20A and 20B pass merge point 12 is implemented, ceiling conveyance vehicle 20 which passes merge point 12 previously. On the other hand, a transport command having a high priority can be assigned.
  • the controller 50 may perform a deletion process described below on the ceiling transport vehicle 20.
  • the deletion process performed in the following situation will be described. That is, when the transport controller 50A grasps that there is a cargo handling request for acquiring the FOUP 90 from the station 100A, the transport vehicle controller 50B is in a situation where a transport command can be assigned and is closest to the station 100A. When the ceiling transport vehicle 20 is detected, a travel command is assigned to the ceiling transport vehicle 20. As a result, the transport vehicle controller 50B assigns a travel command to the plurality of ceiling transport vehicles 20A and 20B.
  • the transport vehicle controller 50B keeps allocating a travel command to the ceiling transport vehicle 20B closest to the station 100A among the plurality of ceiling transport vehicles 20A and 20B, and more than the ceiling transport vehicle 20B.
  • a delete command for deleting the travel command is transmitted to the overhead conveyance vehicle 20A far from the station 100A.
  • the transport vehicle controller 50B is in a state in which a transport command can be assigned and is closest to the station 100A.
  • a traveling command is assigned to the ceiling transport vehicle 20.
  • the traveling vehicle controller 50B assigns a traveling command to the plurality of ceiling transportation vehicles 20A and 20B
  • the ceiling transportation vehicle 20B closest to the station 100A among the plurality of ceiling transportation vehicles 20A and 20B is excluded.
  • a delete command for deleting the travel command is transmitted to the other overhead transport vehicle 20A. For this reason, the useless driving
  • the destination point 11 is a position on the upstream side of the station 100, and a ceiling transport vehicle 20 that is in a state in which a transfer command can be assigned between the position and the station 100 does not appear. What is necessary is just and it is not limited to the point illustrated in the said embodiment.
  • the transport vehicle controller 50B assigns a traveling command to the plurality of ceiling transport vehicles 20A and 20B that are larger than the number of cargo handling requests, and each of the ceiling transport vehicles 20
  • the number of ceiling transport vehicles 20 is the same as the number of cargo handling requests, except for the ceiling transport vehicles 20 that are expected to pass the destination point 11 first, and the other ceiling transport vehicles 20 are instructed to run.
  • a delete command may be transmitted to delete. In this case, useless traveling of the ceiling transport vehicle 20 to which a transport command cannot be assigned can be suppressed.
  • the overhead transportation vehicle 20 assigned with the travel command arrives at the point immediately before arrival at the second distance from the destination point 11, the overhead transportation vehicle 20 transmits a report immediately before arrival to the transportation vehicle controller 50B.
  • the controller 50B receives the report immediately before arrival from the ceiling transport vehicle 20, the controller 50B assigns a transport command to the ceiling transport vehicle 20.
  • the overhead conveyance vehicle 20 does not need to transmit the report immediately before arrival to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B may assign a transport command to the ceiling transport vehicle 20 without receiving the report immediately before arrival from the ceiling transport vehicle 20.
  • the transport vehicle controller 50B monitors the state of each ceiling transport vehicle 20 and detects that the ceiling transport vehicle 20 to which the travel command has been assigned has arrived at the point just before arrival.
  • a conveyance command may be assigned.
  • the transport system 1 may not perform all of the first transport process, the second transport process, and the third transport process. That is, the transport system 1 may perform at least one of the first transport process, the second transport process, and the third transport process.
  • the conveyance vehicle controller 50B monitors the state of each ceiling conveyance vehicle 20, when a driving
  • the deletion condition is a condition for determining that the traveling of the ceiling transport vehicle 20 is useless. For example, the distance from the ceiling transport vehicle 20 to the destination point 11 or the traveling of the ceiling transport vehicle 20 is continued. This is a condition determined based on time or the like. In this case, useless traveling of the ceiling transport vehicle 20 to which a transport command cannot be assigned can be suppressed.
  • the traveling vehicle controller 50B when the traveling vehicle controller 50B allocates a travel command to only one overhead transportation vehicle 20, the transportation vehicle controller 50B does not When a report immediately before arrival is not received from the ceiling transport vehicle 20, a travel command may be newly assigned to at least one other ceiling transport vehicle 20. In this case, even when communication cannot be correctly performed between the ceiling transport vehicle 20 and the transport vehicle controller 50B, the transport process can be continued.
  • the to-be-conveyed object which the conveyance system 1 of this invention conveys is not limited to FOUP90 in which the several semiconductor wafer was accommodated, It is another container in which the glass wafer, the reticle, etc. were accommodated. Also good.
  • the conveyance system 1 of this invention is not limited to a semiconductor manufacturing factory, It is applicable also to other facilities.
  • the conveyance controller 50B may have a part or all of the function which the conveyance controller 50A has, and the conveyance controller 50A has a part or all of the function which the conveyance vehicle controller 50B has. It may be. Alternatively, one controller 50 may have the functions of the transport controller 50A and the transport vehicle controller 50B.

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Abstract

搬送システム１は、軌道１０と、天井搬送車２０と、コントローラ５０と、を備える。コントローラ５０は、ステーション１００からＦＯＵＰ９０を取得する搬送指令を割り付け可能、且つ、ステーション１００から第１距離未満の範囲に存在する天井搬送車２０に対し、目的地点１１への走行指令を割り付ける。また、コントローラ５０は、搬送指令を割り付け可能、且つ、ステーション１００から第１距離未満の範囲に存在する別の天井搬送車２０を、当該天井搬送車２０に対し搬送指令を割り付ける前に検出したときに、その新たに検出された天井搬送車２０に対し、走行指令を割り付ける。そして、コントローラ５０は、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０であって目的地点１１を最先に通過する天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付ける。

Description

搬送システム及び搬送方法
　本発明の一形態は、搬送システム及び搬送方法に関する。
　例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、軌道と、軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許第５３０９８１４号公報
　上述したような搬送システムでは、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、コントローラが、搬送車に対して、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付ける。ここで、ステーションに対する被搬送物の搬送効率を向上させる観点から、コントローラは、搬送指令を割り付けられた搬送車よりも先にステーションに到着する搬送車であって、搬送指令を割り付け可能な状況にある別の搬送車を新たに検出した場合、先に搬送指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令を削除する削除指令を送信した後に、新たに検出された搬送車に対して搬送指令を新たに割り付ける指令スワップ処理を行う場合がある。
　しかしながら、指令スワップ処理では、先に搬送指令を割り付けられた搬送車が削除指令を受信することができない場合がある。或いは、削除指令を受信した旨の応答を搬送車がコントローラに対して送信しても、当該応答をコントローラが受信することができない場合がある。そのような場合、先に搬送指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令が割り付いた状態となっているか否かをコントローラが把握することができず、ステーションに先着する搬送車に搬送指令を割り付けることができない。
　そこで、本発明の一形態は、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
　本発明の一形態の搬送システムは、軌道と、軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、コントローラは、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合には、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーションとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる搬送車が新たに出現しない地点に設定された目的地点に走行する走行指令を割り付け、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する別の搬送車を、走行指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された搬送車に対して、走行指令を割り付け、走行指令を割り付けられた搬送車であって目的地点を最先に通過する搬送車に対して、搬送指令を割り付ける。
　この搬送システムでは、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する複数の搬送車に対して、重複して、目的地点に走行する走行指令を割り付ける。ここで、目的地点は、ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーションとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる搬送車が新たに出現しない地点である。そして、走行指令を割り付けられた搬送車であって目的地点を最先に通過する搬送車に対して、搬送指令を割り付ける。これにより、ステーションまでの距離に応じて、より適切な搬送車に搬送指令を割り付けることができる。よって、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、目的地点は、ステーションの上流側における軌道の合流点のうち、ステーションに最も近い合流点であってもよい。この場合、このような合流点を通過してからステーションまで、搬送車の順序が入れ替わることがないため、最も適切な搬送車に対して、搬送指令を割り付けることができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションに最も近い搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、走行指令を割り付け、複数の搬送車に対して走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のうち、ステーションに最も近い搬送車を除き、他の搬送車に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。この場合、搬送指令を割り付けられない搬送車の無駄な走行を抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、複数の搬送車に対して走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のそれぞれの状態を監視し、状態が削除条件を満たした搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。この場合、搬送指令を割り付けられない搬送車の無駄な走行を抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、走行指令を割り付けられた搬送車は、目的地点から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告をコントローラに送信し、コントローラは、到着直前報告を搬送車から受信したときに、当該搬送車に対して、搬送指令を割り付けてもよい。この場合、搬送車に対して搬送指令を適切に割り付けることができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、目的地点は、ステーションの上流側における軌道の合流点のうち、ステーションに最も近い合流点であり、走行指令を割り付けられた搬送車は、目的地点の上流側において、目的地点を通過する許可を要求する通過許可要求をコントローラに送信し、通過許可要求を搬送車から受信したコントローラは、当該搬送車が目的地点を通過可能な状況にあるときに、当該搬送車に対して、目的地点の通過許可を送信し、搬送車は、到着直前地点に到達し、且つ、通過許可を受信したときに、到着直前報告をコントローラに送信してもよい。この場合、例えば、複数の搬送車が合流点を通過する順序を調整する制御が実施されるときに、先に合流点を通過する搬送車に対して、優先度の高い搬送指令を割り付けることができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、１台のみの搬送車に対して走行指令を割り付けた場合において、当該搬送車が、到着直前地点に到達したにもかかわらず、当該搬送車から到着直前報告を受信しないときには、別の少なくとも１台の搬送車に対して、走行指令を新たに割り付けてもよい。この場合、搬送車とコントローラとの間で正しく通信することができないときであっても、搬送処理を続行することができる。
　本発明の一形態の搬送方法は、軌道と、軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備える搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合において、コントローラが、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーションとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる搬送車が新たに出現しない地点に設定された目的地点に走行する走行指令を割り付ける第１ステップと、コントローラが、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する別の搬送車を、走行指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された搬送車に対して、走行指令を割り付ける第２ステップと、コントローラが、走行指令を割り付けられた搬送車であって目的地点を最先に通過する搬送車に対して、搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む。
　この搬送方法によれば、上述した搬送システムと同様に、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることができる。
　本発明の一形態によれば、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることが可能となる。
図１は、本発明の第１実施形態の搬送システムの一部の平面図である。 図２は、図１の搬送システムにおける第１搬送処理を説明するための平面図である。 図３は、図１の搬送システムにおける第１搬送処理を説明するための平面図である。 図４は、図１の搬送システムにおける第１搬送処理を説明するための平面図である。 図５は、本発明の第２実施形態の搬送システムの一部の平面図である。 図６は、図５の搬送システムにおける第２搬送処理を説明するための平面図である。 図７は、図５の搬送システムにおける第２搬送処理を説明するための平面図である。 図８は、図５の搬送システムにおける第２搬送処理を説明するための平面図である。 図９は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。 図１０は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するためのシーケンス図である。 図１１は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。 図１２は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。 図１３は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。
　以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
　図１に示されるように、搬送システム１は、軌道１０と、天井搬送車（搬送車）２０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、半導体処理装置１１０を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。天井搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。天井搬送車２０は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）９０を被搬送物として搬送する。コントローラ５０は、各天井搬送車２０と通信し、各天井搬送車２０の動作を制御する。
　軌道１０の下方には、複数のステーション１００が配置されている。ステーション１００は、例えば半導体処理装置１１０に設けられた装置ポートである。ステーション１００にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ９０に収容された半導体ウェハが半導体処理装置１１０に取り込まれる。そして、当該半導体ウェハは、半導体処理装置１１０において所定の処理が施された後に、再びＦＯＵＰ９０に収容される。図中には、ステーション１００として、軌道１０の下流側からこの順に配置されたステーション１００Ａ，１００Ｂが示されている。
　天井搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０をステーション１００に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、ＦＯＵＰ９０を把持する把持部、及び把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、天井搬送車２０は、ステーション１００に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置に停止し、その状態で移載機構を動作させることで、当該ステーション１００に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、ステーション１００に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、天井搬送車２０が保持（積載）しているＦＯＵＰ９０をステーション１００に供給（荷おろし）する場合と、ステーション１００に載置されているＦＯＵＰ９０を天井搬送車２０が取得（荷つかみ）する場合と、を含む。
　コントローラ５０は、搬送コントローラ５０Ａと、搬送車コントローラ５０Ｂと、を有している。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対する上位コントローラである。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂ及び製造コントローラ（不図示）と通信する。搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送コントローラ５０Ａ及び各天井搬送車２０のそれぞれと通信する。製造コントローラは、各半導体処理装置１１０と通信し、搬送コントローラ５０Ａに対して各半導体処理装置１１０のステーション１００からＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求を出す。荷つかみ要求が存在することを搬送コントローラ５０Ａが把握すると、搬送車コントローラ５０Ｂは、いずれかの天井搬送車２０に対して、当該荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付ける。
　第１実施形態の搬送システム１では、以下に説明する搬送処理が実施される。一例として、次のような状況において実施される第１搬送処理について説明する。すなわち、図１に示されるように、軌道１０の下方に配置されたステーション１００Ａに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されている。
　このような状況において、搬送コントローラ５０Ａは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握する。
　搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ａを検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、目的地点１１に走行する走行指令を割り付ける（第１ステップ）。なお、ここでは、ステーション１００Ｂの上流側且つ天井搬送車２０Ａの下流側に、ステーション１００Ｂに対して荷おろしされるべきＦＯＵＰ９０を搬送している天井搬送車２０Ｂが存在している。
　ここで、搬送指令を割り付け可能な状況にある天井搬送車２０とは、例えば、別のステーション１００からＦＯＵＰ９０を取得するための走行指令、搬送指令等を割り付けられていない状況にある（すなわち、空き台車である）天井搬送車２０である。また、第１距離とは、予め設定された距離である。
　また、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００Ａとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点に設定されている。言い換えれば、搬送車コントローラ５０Ｂは、目的地点１１とステーション１００Ａとの間に空き台車である天井搬送車２０が存在する場合であっても、その天井搬送車２０を、搬送指令を割り付け可能な状況にある新たな天井搬送車２０として検出しない。図中では、目的地点１１は、軌道１０におけるステーション１００Ａの上流側且つステーション１００Ｂの下流側に設定されている。
　続いて、図２に示されるように、天井搬送車２０Ｂがステーション１００Ｂに到着して、ステーション１００ＢにＦＯＵＰ９０を供給する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況となる。搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する別の天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ｂを、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａに対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、天井搬送車２０Ａと重複して、目的地点１１に走行する走行指令を割り付ける（第２ステップ）。
　続いて、図３に示されるように、搬送車コントローラ５０Ｂは、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０であって、目的地点１１を最先に通過する天井搬送車２０（図中では、天井搬送車２０Ｂ）に対して搬送指令を割り付ける（第３ステップ）。
　具体的に、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、目的地点１１から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。図中では、天井搬送車２０Ｂが、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ｂから受信したときに、天井搬送車２０Ｂに対して搬送指令を割り付ける。
　なお、第２距離とは、予め設定された距離である。目的地点１１から第２距離の範囲に含まれる領域は、ステーション１００から第１距離の範囲に含まれる領域よりも狭くなるように設定される。
　続いて、図４に示されるように、天井搬送車２０Ｂは、軌道１０上においてステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する搬送指令を完了する。
　これに対し、天井搬送車２０Ａは、目的地点１１まで走行することにより、目的地点１１に走行する走行指令が完了して、指令が割り付けられていない状態（すなわち、空き台車の状態）となる。
　以上説明したように、第１実施形態に係る搬送システム１及び当該搬送システム１において実施される搬送方法では、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、重複して、目的地点１１に走行する走行指令を割り付ける。ここで、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００Ａとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点である。そして、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂであって目的地点１１を最先に通過する天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。これにより、ステーション１００Ａまでの距離に応じて、より適切な天井搬送車２０Ｂに搬送指令を割り付けることができる。よって、ステーション１００Ａに先着する適切な天井搬送車２０Ｂに対して搬送指令を割り付けることができる。
　搬送システム１では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、目的地点１１から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信したときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。このため、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して搬送指令を適切に割り付けることができる。
［第２実施形態］
　第２実施形態の搬送システム１は、軌道１０の構成において、上述した第１実施形態の搬送システム１と主に相違している。すなわち、軌道１０は、互いに合流、分岐する複数の区間を有している。図５には、軌道１０において合流点を含んで構成される区間が示されている。軌道１０は、複数の区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃを含んで構成されている。軌道１０は、区間１０ａ及び区間１０ｂが合流する合流点１２を有し、合流点１２の下流側には、区間１０ｃを有している。
　第２実施形態の搬送システム１において、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側における軌道１０の合流点のうち、ステーション１００Ａに最も近い合流点１２である。すなわち、ここでは、目的地点１１は、上述した区間１０ａ及び区間１０ｂが合流する合流点１２である。
　区間１０ａは、区間１０ｃに直線状に接続されている。区間１０ｂは、目的地点１１である合流点１２の手前からカーブしつつ、区間１０ｃに接続されている。天井搬送車２０は、区間１０ａから、合流点１２を通過して、区間１０ｃに走行することができる。また、天井搬送車２０は、区間１０ｂから、合流点１２を通過して、区間１０ｃに走行することができる。
　軌道１０の下方には、複数のステーション１００が配置されている。図中では、ステーション１００Ａが区間１０ｃの下方に配置され、ステーション１００Ｂが区間１０ｂの下方に配置されている。
　第２実施形態に係る搬送システム１では、以下に説明する搬送処理が実施される。一例として、次のような状況において実施される第２搬送処理について説明する。すなわち、図５に示されるように、区間１０ｃの下方に配置されたステーション１００Ａに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されている。
　このような状況において、搬送コントローラ５０Ａは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握する。
　搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ａを検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、目的地点１１である合流点１２に走行する走行指令を割り付ける（第１ステップ）。なお、ここでは、天井搬送車２０Ａは、区間１０ａに沿って走行している。また、区間１０ｂにおけるステーション１００Ｂの上流側に、ステーション１００Ｂに対して荷おろしされるべきＦＯＵＰ９０を搬送している天井搬送車２０Ｂが存在している。
　続いて、図６に示されるように、天井搬送車２０Ｂがステーション１００Ｂに到着して、ステーション１００ＢにＦＯＵＰ９０を供給する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況となる。搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する別の天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ｂを、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａに対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、天井搬送車２０Ａと重複して、合流点１２に走行する走行指令を割り付ける（第２ステップ）。
　続いて、図７に示されるように、搬送車コントローラ５０Ｂは、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０であって、合流点１２を最先に通過する天井搬送車２０（図中では、天井搬送車２０Ｂ）に対して搬送指令を割り付ける（第３ステップ）。
　具体的には、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、合流点１２から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。図中では、天井搬送車２０Ｂが、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ｂから受信したときに、天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。
　続いて、図８に示されるように、天井搬送車２０Ｂは、区間１０ｃ上においてステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する搬送指令を完了する。
　これに対し、天井搬送車２０Ａは、合流点１２まで走行することにより、合流点１２に走行する走行指令が完了して、指令が割り付けられていない状態（すなわち、空き台車の状態）となる。
　また、第２実施形態に係る搬送システム１では、以下に説明する搬送処理が実施される。一例として、次のような状況において実施される第３搬送処理について説明する。すなわち、図９に示されるように、第３搬送処理では、異なる区間１０ａ，１０ｂに沿って走行する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、目的地点１１である合流点１２を通過する順序を調整する制御である第１交差点制御が実施される。ここで、「合流点１２を通過する」とは、具体的には、合流点１２の周りに設定され、複数の天井搬送車２０が同時に通過することを禁止するロックエリアＬを通過することである。なお、ここでは、荷つかみ要求が存在するＦＯＵＰ９０が複数あり、これらの荷つかみ要求には優先度が予め設定されている。そして、図９及び図１０に示されるように、区間１０ｃの下方に配置されたステーション１００Ａ，１００Ｂのそれぞれに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されている。
　このような状況において、搬送コントローラ５０Ａは、ステーション１００Ａ，１００ＢのそれぞれからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握する。
　これらのステーション１００Ａ，１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求には優先度が予め設定されている。ここでは、ステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求の優先度の方が、ステーション１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求の優先度より高い。すなわち、複数の天井搬送車２０は、ステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０を先に取得し、ステーション１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０を後に取得する必要がある。
　第１交差点制御では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０は、ロックエリアＬの上流側（すなわち、合流点１２の上流側）において、合流点１２を通過する許可を要求する通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。ここでは、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、目的地点１１である合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置に到達したときに、通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。
　ここで、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの走行車速が高ければ合流点１２からより長い距離の位置までを含み、逆に、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの走行車速が低ければ合流点１２からより近い距離の位置までのみを含む。
　そして、通過許可要求を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２を通過可能な状況にあるときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信する。具体的には、搬送車コントローラ５０Ｂは、他の天井搬送車２０に対して合流点１２の通過許可を送信していない場合には、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して合流点１２の通過許可を送信する。
　ところで、区間１０ｃに直線状に接続されている区間１０ａを走行する天井搬送車２０Ａの走行車速は、合流点１２の手前からカーブしつつ、区間１０ｃに接続されている区間１０ｂを走行する天井搬送車２０Ｂの走行車速よりも高い。このため、天井搬送車２０Ａは、天井搬送車２０Ｂよりも合流点１２からの距離が長い位置で、合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置となる場合がある。この場合、天井搬送車２０Ａは、天井搬送車２０Ｂよりも先に、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、合流点１２の通過許可を搬送車コントローラ５０Ｂから受信する。
　しかし、天井搬送車２０Ｂの方が天井搬送車２０Ａよりも合流点１２からの距離が短いため、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａよりも先に、到着直前地点に到達する場合がある。この場合、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａよりも先に到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、より優先度の高いステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付けられる。その結果、合流点１２の通過許可を受信していない天井搬送車２０Ｂに対して、より優先度の高い搬送指令が割り付けられた状態となる。また、この場合、合流点１２の通過許可を受信した天井搬送車２０Ａに対して、より優先度の低い搬送指令が割り付けられる。よって、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａよりも先に合流点１２を通過できず、より優先度の高い搬送指令を先に実施することができない。
　これに対し、第３搬送処理では、天井搬送車２０は、到着直前地点に到達し、且つ、合流点１２の通過許可を受信したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。図９及び図１０に示されるように、天井搬送車２０Ａは、天井搬送車２０Ｂより先に合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置に到達した場合には、天井搬送車２０Ｂより先に、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１０）。これに対して、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、合流点１２の通過許可を送信する（ステップＳ１１）。
　続いて、天井搬送車２０Ｂは、合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置に到達し、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１２）。しかし、既に天井搬送車２０Ａに対して合流点１２の通過許可が送信された状態であるため、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信しない。
　続いて、天井搬送車２０Ａは、到着直前地点に到達し、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する（ステップＳ１３）。すなわち、天井搬送車２０Ａは、到着直前地点に到達し、且つ、合流点１２の通過許可を受信したため、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する。これに対し、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、より優先度の高いステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付ける（ステップＳ１４）。
　続いて、図１０及び図１１に示されるように、合流点１２の通過許可を受信した天井搬送車２０Ａは、合流点１２を通過して、ステーション１００Ａに向けて走行する。一方、合流点１２の通過許可を受信していない天井搬送車２０Ｂは、合流点１２を通過せず、天井搬送車２０Ａが合流点１２を通過するまで合流点１２の上流側で待機する。
　続いて、天井搬送車２０Ａが合流点１２を通過した後、天井搬送車２０Ｂは、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１５）。例えば、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａが合流点１２を通過したことを搬送車コントローラ５０Ｂから通知された後に、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信してもよく、或いは、天井搬送車２０Ｂは、定期的に繰り返して合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信してもよい。これに対して、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信する（ステップＳ１６）。
　続いて、天井搬送車２０Ｂは、到着直前地点に到達し、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する（ステップＳ１７）。すなわち、天井搬送車２０Ｂは、到着直前地点に到達し、且つ、合流点１２の通過許可を受信したため、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する。これに対し、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、より優先度の低いステーション１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付ける（ステップＳ１８）。
　続いて、図１２に示されるように、天井搬送車２０Ａは、区間１０ｃ上においてステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する。その後、天井搬送車２０Ｂは、区間１０ｃ上においてステーション１００ＢからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＢからＦＯＵＰ９０を取得する。
　なお、搬送システム１では、合流点１２において、優先方向の軌道に沿って走行する複数の天井搬送車２０を先に通過させ、優先方向ではない方向の軌道に沿って走行する天井搬送車２０を後に通過させる第２交差点制御が実施される。この場合、第３搬送処理を実施することは、特に好適な効果を奏する。例えば、図１３に示されるように、区間１０ｃの下方に配置されたステーション１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのそれぞれに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されており、各ＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求には優先度が予め設定されている場合について説明する。
　ここでは、合流点１２に向かって、区間１０ａに沿って天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが走行し、区間１０ｂに沿って天井搬送車２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅが走行している。このとき、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｄに対して走行指令が割り付けられている。ここで、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｄのうち、天井搬送車２０Ｄが、合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置にある場合には、ロックエリアＬの上流側において、天井搬送車２０Ｄが最初に合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。
　しかし、第２交差点制御が実施されることによって、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｄよりも先に天井搬送車２０Ａ，２０Ｂを通過させる。したがって、天井搬送車２０Ｄが合流点１２を通過可能な状況にないため、搬送車コントローラ５０Ｂは、通過許可要求を天井搬送車２０Ｄから受信した場合であっても、天井搬送車２０Ｄに対して合流点１２の通過許可を送信しない。その結果、先に合流点１２を通過する天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、より優先度の高いステーション１００に載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付けることができる。
　以上説明したように、第２実施形態に係る搬送システム１及び当該搬送システム１において実施される搬送方法では、例えば図５に示されるように、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、重複して、目的地点１１である合流点１２に走行する走行指令を割り付ける。ここで、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００Ａとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点である。そして、走行指令を割り付けられた複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂであって、合流点１２を最先に通過する天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。これにより、ステーション１００Ａまでの距離に応じて、より適切な天井搬送車２０Ｂに搬送指令を割り付けることができる。また、合流点１２を目的地点１１とすることにより、合流点１２を通過する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの順序を調整することができる。よって、ステーション１００Ａに先着する適切な天井搬送車２０Ｂに対して搬送指令を割り付けることができる。
　搬送システム１では、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側における軌道１０の合流点のうち、ステーション１００Ａに最も近い合流点１２である。この場合、このような合流点１２を通過してからステーション１００Ａまで、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの順序が入れ替わることがないため、最も適切な天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付けることができる。
　搬送システム１では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、合流点１２から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信したときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。このため、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して搬送指令を適切に割り付けることができる。
　搬送システム１では、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側における軌道１０の合流点のうち、ステーション１００Ａに最も近い合流点１２であり、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、合流点１２の上流側において、合流点１２を通過する許可を要求する通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。通過許可要求を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２を通過可能な状況にあるときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信する。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、到着直前地点に到達し、且つ、通過許可を受信したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。このため、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２を通過する順序を調整する第１交差点制御又は第２交差点制御が実施されるときに、先に合流点１２を通過する天井搬送車２０に対して、優先度の高い搬送指令を割り付けることができる。
［搬送システム１における削除処理］
　第１実施形態及び第２実施形態の搬送システム１では、コントローラ５０は、天井搬送車２０に対して以下に説明する削除処理を実施してもよい。
　削除処理の一例として、次のような状況において実施される削除処理について説明する。すなわち、搬送コントローラ５０Ａが、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握した場合において、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０を検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、走行指令を割り付ける。その結果、搬送車コントローラ５０Ｂは、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して走行指令を割り付けている。
　このような状況において、搬送車コントローラ５０Ｂは、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂのうち、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０Ｂに対して、走行指令を割り付けたままとし、天井搬送車２０Ｂよりもステーション１００Ａまで遠い天井搬送車２０Ａに対して、走行指令を削除する削除指令を送信する。
　以上説明したように、第１実施形態及び第２実施形態に係る搬送システム１における削除処理では、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０を検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、走行指令を割り付ける。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して走行指令を割り付けた場合には、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂのうち、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０Ｂを除き、他の天井搬送車２０Ａに対して、走行指令を削除する削除指令を送信する。このため、搬送指令を割り付けられない天井搬送車２０Ａの無駄な走行を抑制することができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
　例えば、目的地点１１は、ステーション１００の上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００との間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点であればよく、上記実施形態において例示した地点に限定されない。
　また、複数の荷つかみ要求が存在する場合において、搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求の数よりも多い複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して走行指令を割り付けたときには、各天井搬送車２０のうち、荷つかみ要求の数と同じ台数の天井搬送車２０であって、先に目的地点１１を通過すると予想される天井搬送車２０を除き、他の天井搬送車２０に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。この場合、搬送指令を割り付けられない天井搬送車２０の無駄な走行を抑制することができる。
　また、上記実施形態では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０は、目的地点１１から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０から受信したときに、当該天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付けるとした。しかし、天井搬送車２０は、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信しなくてもよい。その場合、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０から受信しなくても、当該天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付けてよい。例えば、搬送車コントローラ５０Ｂは、各天井搬送車２０の状態を監視し、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０が到着直前地点に到達したことを検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付けてもよい。
　また、搬送システム１は、第１搬送処理、第２搬送処理及び第３搬送処理の全てを実施しなくてもよい。すなわち、搬送システム１は、第１搬送処理、第２搬送処理及び第３搬送処理のうちの少なくとも１つの搬送処理を実施すればよい。
　また、上記実施形態において、搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求の数よりも多い複数の天井搬送車２０に対して走行指令を割り付けた場合には、各天井搬送車２０の状態を監視し、当該状態が削除条件を満たした天井搬送車２０を検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。削除条件とは、天井搬送車２０の走行が無駄であることを判断するための条件であり、例えば、当該天井搬送車２０から目的地点１１までの距離、又は、当該天井搬送車２０の走行継続時間等に基づいて定められる条件である。この場合、搬送指令を割り付けられない天井搬送車２０の無駄な走行を抑制することができる。
　また、上記実施形態において、搬送車コントローラ５０Ｂは、１台のみの天井搬送車２０に対して走行指令を割り付けた場合において、当該天井搬送車２０が到着直前地点に到着したにもかかわらず、当該天井搬送車２０から到着直前報告を受信しないときには、別の少なくとも１台の天井搬送車２０に対して、走行指令を新たに割り付けてもよい。この場合、天井搬送車２０と搬送車コントローラ５０Ｂとの間で正しく通信することができないときであっても、搬送処理を続行することができる。
　また、上記実施形態では、本発明の搬送システム１が搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の搬送システム１は、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
　また、上記実施形態において、搬送コントローラ５０Ａが有する機能の一部又は全部を搬送車コントローラ５０Ｂが有していてもよく、搬送車コントローラ５０Ｂが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ５０Ａが有していてもよい。或いは、１つのコントローラ５０が、搬送コントローラ５０Ａ及び搬送車コントローラ５０Ｂの有する機能を有していてもよい。
　１…搬送システム、１０…軌道、１１…目的地点、１２…合流点、２０，２０Ａ～２０Ｅ…天井搬送車（搬送車）、５０…コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１００，１００Ａ～１００Ｃ…ステーション。

Claims (8)

  1. 　軌道と、
    　前記軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、
    　複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
    　前記コントローラは、
    　前記ステーションから前記被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合には、
    　前記荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションから第１距離未満の範囲に存在する前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置と前記ステーションとの間においては前記搬送指令を割り付け可能な状況になる前記搬送車が新たに出現しない地点に設定された目的地点に走行する走行指令を割り付け、
    　前記搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションから前記第１距離未満の範囲に存在する別の前記搬送車を、前記走行指令を割り付けられた前記搬送車に対して前記搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された前記搬送車に対して、前記走行指令を割り付け、
    　前記走行指令を割り付けられた前記搬送車であって前記目的地点を最先に通過する前記搬送車に対して、前記搬送指令を割り付ける、搬送システム。
  2. 　前記目的地点は、前記ステーションの上流側における前記軌道の合流点のうち、前記ステーションに最も近い前記合流点である、請求項１記載の搬送システム。
  3. 　前記コントローラは、
    　前記搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションに最も近い前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記走行指令を割り付け、
    　複数の前記搬送車に対して前記走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のうち、前記ステーションに最も近い前記搬送車を除き、他の前記搬送車に対して、前記走行指令を削除する削除指令を送信する、請求項１又は２記載の搬送システム。
  4. 　前記コントローラは、複数の前記搬送車に対して前記走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のそれぞれの状態を監視し、前記状態が削除条件を満たした前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記走行指令を削除する削除指令を送信する、請求項１～３のいずれか一項記載の搬送システム。
  5. 　前記走行指令を割り付けられた前記搬送車は、前記目的地点から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を前記コントローラに送信し、
    　前記コントローラは、前記到着直前報告を前記搬送車から受信したときに、当該搬送車に対して、前記搬送指令を割り付ける、請求項１～４のいずれか一項記載の搬送システム。
  6. 　前記目的地点は、前記ステーションの上流側における前記軌道の合流点のうち、前記ステーションに最も近い前記合流点であり、
    　前記走行指令を割り付けられた前記搬送車は、前記目的地点の上流側において、前記目的地点を通過する許可を要求する通過許可要求を前記コントローラに送信し、
    　前記通過許可要求を前記搬送車から受信した前記コントローラは、当該搬送車が前記目的地点を通過可能な状況にあるときに、当該搬送車に対して、前記目的地点の通過許可を送信し、
    　前記搬送車は、前記到着直前地点に到達し、且つ、前記通過許可を受信したときに、前記到着直前報告を前記コントローラに送信する、請求項５記載の搬送システム。
  7. 　前記コントローラは、１台のみの前記搬送車に対して前記走行指令を割り付けた場合において、当該搬送車が、前記到着直前地点に到達したにもかかわらず、当該搬送車から前記到着直前報告を受信しないときには、別の少なくとも１台の前記搬送車に対して、前記走行指令を新たに割り付ける、請求項５又は６記載の搬送システム。
  8. 　軌道と、前記軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備える搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
    　前記ステーションから前記被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合において、
    　前記コントローラが、前記荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションから第１距離未満の範囲に存在する前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置と前記ステーションとの間においては前記搬送指令を割り付け可能な状況になる前記搬送車が新たに出現しない地点に設定された目的地点に走行する走行指令を割り付ける第１ステップと、
    　前記コントローラが、前記搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションから前記第１距離未満の範囲に存在する別の前記搬送車を、前記走行指令を割り付けられた前記搬送車に対して前記搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された前記搬送車に対して、前記走行指令を割り付ける第２ステップと、
    　前記コントローラが、前記走行指令を割り付けられた前記搬送車であって前記目的地点を最先に通過する前記搬送車に対して、前記搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む、搬送方法。
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