WO2017098813A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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WO2017098813A1
WO2017098813A1 PCT/JP2016/080976 JP2016080976W WO2017098813A1 WO 2017098813 A1 WO2017098813 A1 WO 2017098813A1 JP 2016080976 W JP2016080976 W JP 2016080976W WO 2017098813 A1 WO2017098813 A1 WO 2017098813A1
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一見 原崎
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村田機械株式会社
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    • G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
    • G05D1/0212—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory
    • G05D1/0225—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles with means for defining a desired trajectory involving docking at a fixed facility, e.g. base station or loading bay
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • One embodiment of the present invention relates to a transport system and a transport method.
  • a transport system applied to a semiconductor manufacturing factory a plurality of transport vehicles that travel along the track, transport the object to be transferred to each load port of the plurality of processing apparatuses, and a plurality of transport vehicles. And a controller that controls the operation of each of the plurality of transport vehicles (for example, see Patent Document 1).
  • the controller when there is a transport request for transporting a transported object to the load port, the controller does not send a transport object to the transport vehicle when the transport port is not in a state where it can be transported. Assign a transport command to transport the transported object to a storage shelf or the like for temporarily storing the transported object. Thereafter, when it becomes possible to transport the transported object to the load port, the controller assigns a transport command for transporting the transported object from a storage shelf or the like to the load port for any transport vehicle.
  • the controller detects a transport vehicle capable of transporting the transported object when transporting the transported object temporarily stored in the storage shelf or the like from the storage shelf or the like to the load port.
  • a transfer command for transferring an object to be transferred from a storage shelf or the like to the load port is assigned.
  • the transport vehicle to which the transport command is assigned grabs the object to be transported temporarily stored in a storage shelf or the like and transports it to the load port for unloading.
  • the above operation takes time. For this reason, there is a limit to shortening the time from when the transported object can be transported to the load port until the transported object is unloaded to the load port.
  • the transport vehicle grabs the object to be temporarily stored on the storage shelf and transports it to the load port for unloading. It takes longer time.
  • the operation rate may be reduced.
  • an object of one embodiment of the present invention is to provide a transport system and a transport method that can suppress a reduction in the operation rate of a specific processing apparatus.
  • a transfer system includes a track, a plurality of transport vehicles that travel along the track, and transport a transported object to each load port of the plurality of processing apparatuses, and each of the plurality of transport vehicles. And a controller for controlling the operation of each of the plurality of transport vehicles, and the track is provided with a standby section for waiting for the transport vehicle corresponding to a specific processing device among the plurality of processing devices. When the controller recognizes that there is a transport request for transporting the transported object to the load port of the specific processing apparatus, the controller transfers the transported object to the waiting section with respect to the transport vehicle.
  • the transport vehicle picks up the transported object and waits for the specific processing apparatus. Start driving towards.
  • the transport vehicle that is traveling toward the standby section or the state where the transported object arrives at the standby section and holds the transported object
  • the transported vehicle does not need to perform operations such as holding the cargo again, and can immediately transport the transported object to the load port of a specific processing apparatus. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the operation rate in the specific processing apparatus.
  • the transport vehicle travels in one direction along the track, and the standby section includes a first position that includes a position for transferring the transported object with respect to the load port of the specific processing apparatus.
  • the transport vehicle can be made to wait in the standby section without hindering the travel of the transport vehicle from the second travel section to the first travel section.
  • one first traveling section may be provided for a plurality of specific processing apparatuses.
  • one standby section corresponds to a plurality of specific processing apparatuses, it is possible to reduce the size of the space necessary for providing the standby section.
  • the controller grasps that the standby section leaving condition is satisfied, the controller is transported to a predetermined transport destination with respect to the transport vehicle assigned with the first transport command.
  • the controller as the standby section leaving condition, when it is understood that a predetermined time or more has elapsed since the transport vehicle assigned the first transport command arrived at the standby section, A third transport command may be assigned to the transport vehicle. In this case, for example, it can be suppressed that the transport vehicle remains in the standby section due to some trouble occurring in a specific processing apparatus.
  • a third conveyance command may be assigned to at least one of the above. In this case, for example, it can be suppressed that the transport vehicle remains in the standby section due to some trouble occurring in a specific processing apparatus.
  • the transport vehicle travels in one direction along the track, and the controller, when the plurality of transport vehicles are waiting in the standby section, When assigning a transport command to leave the standby section to any transport vehicle except the most downstream transport vehicle, leave the standby section with respect to another transport vehicle downstream of the transport vehicle.
  • a transport command for transporting an object to be transported is again assigned to the standby section, and it is understood that the transport vehicle assigned the first transport command has departed from the standby section more than a predetermined number of times as the standby section departure condition, In contrast, the third conveyance command may be assigned.
  • eviction control in order to disengage the upstream transport vehicle from the standby section, the downstream transport vehicle is separated from the standby section and waits again. It is possible to suppress the repetition of the control for returning to the section).
  • a transport method includes a track, a plurality of transport vehicles that travel along the track, and transport an object to be loaded to each load port of the plurality of processing apparatuses, and each of the plurality of transport vehicles. And a controller for controlling the operation of each of the plurality of transport vehicles, and the track is provided with a standby section for waiting for the transport vehicle corresponding to a specific processing device among the plurality of processing devices.
  • a first step for assigning a first transport command for transporting an object to be transported to the standby section, and a transport vehicle to which the first transport command has been allocated arrives in the standby section and waits while holding the transported object.
  • the controller waits for the second step to wait and the controller assigns the first transport command to the transport vehicle and then knows that the transported object can be transported to the load port of the specific processing device, And a third step of assigning a second transport command for transporting the object to be transported to a load port of a specific processing device for the transport vehicle assigned the first transport command.
  • FIG. 1 is a plan view of a part of a transport system according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view for explaining standby control in the transport system of FIG.
  • FIG. 3 is a plan view for explaining standby control in the transport system of FIG.
  • FIG. 4 is a plan view for explaining standby control in the transport system of FIG.
  • FIG. 5 is a plan view for explaining first separation control in the transport system of FIG.
  • FIG. 6 is a plan view for explaining first separation control in the transport system of FIG.
  • FIG. 7 is a plan view for explaining second separation control in the transport system of FIG.
  • FIG. 8 is a plan view for explaining third separation control in the transport system of FIG. 1.
  • FIG. 9 is a plan view for explaining third separation control in the transport system of FIG. 1.
  • FIG. 10 is a plan view of a part of a transport system according to a modification.
  • the transport system 1 includes a track 10, a plurality of transport vehicles 20, and a controller 50.
  • the track 10 is laid near the ceiling of a semiconductor manufacturing plant including a plurality of processing apparatuses 100.
  • the transport vehicle 20 is an OHT (Overhead Hoist Transfer) and travels in one direction along the track 10 while being suspended on the track 10.
  • the transport vehicle 20 transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) 90 containing a plurality of semiconductor wafers as a transported object to the load port 101 of each processing apparatus 100.
  • the controller 50 communicates with each transport vehicle 20 and controls the operation of each transport vehicle 20.
  • the track 10 includes a portion constituted by a plurality of sections 10a, 10b, 10c, 10d, and 10e.
  • the section 10b is linearly connected to the downstream side of the section 10a.
  • the section 10c is connected to the downstream side of the section 10b while turning around.
  • the section 10d is linearly connected to the downstream side of the section 10c.
  • the section 10e branches from the connection position between the section 10c and the section 10d, and joins the connection position between the section 10a and the section 10b.
  • the transport vehicle 20 entering from the upstream side of the section 10a travels from the section 10a to the section 10b, subsequently travels to the section 10c, travels to the section 10d, and travels downstream. And exit.
  • the transport vehicle 20 entering from the upstream side of the section 10a travels from the section 10a to the section 10b, subsequently travels to the section 10c, travels from the section 10c to the section 10e, and then returns to the section 10b.
  • orbit 10 shown in a figure is an example, Comprising: It is not limited to this.
  • the section 10b is provided with a standby section 30 for waiting the transport vehicle 20 in correspondence with specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C among the plurality of processing apparatuses 100.
  • a standby section 30 for waiting the transport vehicle 20 in correspondence with specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C among the plurality of processing apparatuses 100.
  • a plurality of standby points 31 and 32 that are positions where the transport vehicle 20 is standby are set.
  • a standby point 31 set on the most upstream side of the standby section 30 and four standby points 32a, 32b, 32c, and 32d set on the downstream side of the standby point 31 are shown as standby points. Yes.
  • each specific processing apparatus 100A, 100B, 100C In the section 10c, a position for transferring the FOUP 90 to the load port 101 of each specific processing apparatus 100A, 100B, 100C is set. Three specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C are arranged in this order from the upstream side along the section 10c, and the load port 101 of each specific processing apparatus 100A, 100B, and 100C is located below the section 10c. Is located.
  • each specific processing apparatus 100A, 100B, 100C takes in the semiconductor wafer in the FOUP and performs a predetermined process on the semiconductor wafer.
  • Each of the specific processing apparatuses 100 ⁇ / b> A, 100 ⁇ / b> B, 100 ⁇ / b> C returns the semiconductor wafer subjected to the predetermined processing into the FOUP 90 so that the FOUP 90 can be transferred by the transfer vehicle 20.
  • Each of the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C performs a process having a fast processing speed among the processing apparatuses 100 (that is, the FOUP 90 is placed on the load port 101 in the processing apparatus 100 and a predetermined process is performed on the semiconductor wafer. And a process that takes a short time until the FOUP 90 can be transported by the transport vehicle 20).
  • each of the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C includes an inspection apparatus and a lithography apparatus.
  • normal processing devices 100D and 100E which are processing devices 100 other than the specific processing devices 100A, 100B, and 100C, are arranged.
  • the normal processing apparatuses 100D and 100E are arranged in this order from the upstream side along the section 10c, and the load port 101 of each normal processing apparatus 100D and 100E is located below the section 10c.
  • each of the normal processing apparatuses 100D and 100E takes in the semiconductor wafer in the FOUP and performs a predetermined process on the semiconductor wafer.
  • Each of the specific processing apparatuses 100 ⁇ / b> A, 100 ⁇ / b> B, and 100 ⁇ / b> C returns the processed semiconductor wafer into the FOUP 90 so that the FOUP 90 can be transferred by the transfer vehicle 20.
  • Each of the normal processing devices 100D and 100E performs processing whose processing speed is slower than that of the specific processing devices 100A, 100B, and 100C.
  • a storage 40 is arranged in the vicinity of the connection position between the section 10c and the section 10d.
  • the storage 40 is a facility for temporarily storing a plurality of FOUPs 90 transported by the transport vehicle 20.
  • the port 41 of the storage 40 is located below the connection position between the section 10c and the section 10d.
  • the FOUP 90 is placed on the port 41, the storage 40 takes in the FOUP 90 and temporarily stores it.
  • the FOUP 90 is placed on the port 41. It is set in a state where it can be transported by the transport vehicle 20.
  • a storage shelf or the like for temporarily storing the object to be transported may be used instead of the storage 40.
  • the transport vehicle 20 has a transfer mechanism for transferring the FOUP 90 to the load port 101.
  • the transfer mechanism includes, for example, a gripping part that grips the FOUP 90 and a lifting mechanism that lifts and lowers the gripping part. Thereby, the transport vehicle 20 stops at a position where the FOUP 90 is transferred to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A, for example, and operates the transfer mechanism in this state, so that the load port 101 is moved.
  • the FOUP 90 can be transferred.
  • the transfer of the FOUP 90 to the load port 101 includes a case where the FOUP 90 held (loaded) by the transport vehicle 20 is supplied (unloaded) to the load port 101 and a case where the FOUP 90 placed on the load port 101 is transferred. And the case where the transport vehicle 20 acquires (catch).
  • the controller 50 includes a transport controller 50A and a transport vehicle controller 50B.
  • the transport controller 50A is a host controller for the transport vehicle controller 50B.
  • the transport controller 50A communicates with a transport vehicle controller 50B and a manufacturing controller (not shown).
  • the manufacturing controller communicates with each processing apparatus 100 and issues a transport request for transporting the FOUP 90 to the load port 101 of each processing apparatus 100 to the transport controller 50A.
  • the transport controller 50A grasps that a transport request exists, the transport vehicle controller 50B allocates a transport command corresponding to the transport request to any transport vehicle 20.
  • Each of the conveyance controller 50A, the conveyance vehicle controller 50B, and the manufacturing controller is configured as a computer apparatus including, for example, a processor, a memory, a storage, and a communication device.
  • a processor executes predetermined software (program) read into a memory or the like, and controls data reading and writing in the memory and storage, and communication between controllers by a communication device, which will be described later. The function
  • the transport controller 50A communicates with the manufacturing controller to confirm that the transport request exists.
  • the transport controller 50 ⁇ / b> A creates a first transport command for transporting the FOUP 90 to the standby section 30.
  • the conveyance controller 50A transmits a first conveyance command to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B that has received the first transport command assigns the first transport command to the transport vehicle 20B (first step).
  • the first transport command is a command for transporting the FOUP 90 to the standby point 31 in the standby section 30 with respect to the transport vehicle 20B.
  • a state is shown in which the transport vehicle 20B assigned with the first transport command holds the FOUP 90 to be transported to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A and travels in the section 10a. . Even if the FOUP 90 is not placed on the load port 101 of the specific processing apparatus 100A and the specific processing apparatus 100A is in a state where the FOUP 90 can be transported to the load port 101, the transport vehicle controller 50B allocates the 1st conveyance command which conveys FOUP90 to standby section 30 to conveyance vehicle 20B.
  • the transport vehicle 20B arrives at the standby point 31, and the first transport command is completed.
  • the transport vehicle 20B that has arrived at the standby point 31 stands by at the standby point 31 while holding the FOUP 90 (second step).
  • the standby point 32 on the downstream side of the transport vehicle 20 ⁇ / b> B is vacant (that is, the other transport vehicle 20 is not waiting).
  • the carrier controller 50B assigns a movement command for moving to the standby point 32 on the downstream side of the carrier 20B.
  • a state where the transport vehicle 20B assigned with the movement command to move to the standby point 32a by the transport vehicle controller 50B has moved to the standby point 32a is shown.
  • the transport vehicle 20B that has arrived at the standby point 32a waits at the standby point 32a while holding the FOUP 90.
  • the transport vehicle 20A has arrived at a position where the FOUP 90 is transferred to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A.
  • the transport vehicle 20A acquires the FOUP 90 placed on the load port 101 of the specific processing apparatus 100A.
  • the specific processing apparatus 100 ⁇ / b> A can carry the FOUP 90 to the load port 101.
  • the transport controller 50A grasps that the FOUP 90 can be transported to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A by communicating with the manufacturing controller.
  • the transport controller 50A creates a second transport command for transporting the FOUP 90 to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A.
  • the conveyance controller 50A transmits a second conveyance command to the conveyance vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B that has received the second transport command assigns the second transport command to the transport vehicle 20B to which the first transport command is assigned (third step).
  • the transport vehicle 20B transports the FOUP 90 from the standby point 32a to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A, and the second transport command is completed.
  • the transport vehicle controller 50B moves the transport vehicle 20A that has acquired the FOUP 90 from the load port 101 of the specific processing apparatus 100A from the position where the FOUP 90 is transferred to the load port 101 to another position on the track 10. Let it run.
  • the FOUP 90 is mounted on the load port 101 of the specific processing apparatus 100A among the three specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C arranged along the section 10c. . Therefore, at this time, the specific processing apparatus 100A is not in a state where the FOUP 90 can be transported to the load port 101. Further, the transport vehicle 20A that transports the FOUP 90 to the standby section 30 by being assigned the first transport command holds the FOUP 90 to be transported to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A and waits at the standby point 32a. is doing.
  • the transport vehicle 20A waiting at the standby point 32a transports the FOUP 90 to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A. May not be able to do so and may remain at the waiting point 32a.
  • the transport controller 50A grasps that the first standby section leaving condition (standby section leaving condition) is satisfied, it generates a third transport command for transporting the FOUP 90 to a predetermined transport destination. Then, the transport controller 50A transmits a third transport command to the transport vehicle controller 50B. The transport vehicle controller 50B that has received the third transport command assigns the third transport command to the transport vehicle 20A.
  • the first standby section leaving condition is satisfied when a predetermined time or more has elapsed since the transport vehicle 20A arrived at the standby section 30.
  • the predetermined transport destination is the storage 40 here, but may be another transport destination.
  • the transport vehicle 20A transports the FOUP 90 from the standby point 32a to the storage 40, and the third transport command is completed.
  • the first separation control is completed.
  • each of the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C is not in a state in which the FOUP 90 can be transported to the load port 101.
  • each of the transport vehicles 20A, 20B, 20C, 20D, and 20E that transported the FOUP 90 to the standby section 30 by being assigned the first transport command is a load port of any one of the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • the FOUP 90 to be transported to 101 is held and is waiting at the standby points 32a, 32b, 32c, 32d, 31.
  • the conveyance controller 50A grasps that the second standby section leaving condition (standby section leaving condition) is satisfied, it creates a third transport command. Then, the transport controller 50A transmits a third transport command to the transport vehicle controller 50B. The transport vehicle controller 50B that has received the third transport command assigns the third transport command to at least one of the transport vehicles 20A, 20B, 20C, 20D, and 20E.
  • the second waiting section leaving condition is satisfied when a predetermined number or more of the plurality of transport vehicles 20 are waiting in the waiting section 30. As an example, the predetermined number is five here, but may be another number.
  • At least one of the transport vehicles 20A, 20B, 20C, 20D, and 20E transports the FOUP 90 from the standby points 32a, 32b, 32c, 32d, and 31 to a predetermined transport destination, and the third transport command is Complete.
  • the predetermined transport destination is the storage 40 here, but may be another transport destination.
  • the FOUP 90 is placed on the load port 101 of each of the three specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C arranged along the section 10c. Accordingly, at this time, each of the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C is not in a state in which the FOUP 90 can be transported to the load port 101.
  • the transport vehicles 20A and 20B that have transported the FOUP 90 to the standby section 30 by being assigned the first transport command hold the FOUP 90 to be transported to the load port 101 of the specific processing apparatus 100A or 100B, and wait. Waiting at points 32a and 32b, respectively.
  • the transport vehicle 20C that has transported the FOUP 90 to the standby section 30 by being assigned the first transport command holds the FOUP 90 to be transported to the load port 101 of the specific processing apparatus 100C, and at the standby point 32c. Waiting. Further, in order to acquire the FOUP 90 placed on the load port 101 of the specific processing apparatus 100C, the transport vehicle 20D is in a position to transfer the FOUP 90 to the load port 101 of the specific processing apparatus 100C.
  • the transport vehicle 20D acquires the FOUP 90 placed on the load port 101 of the specific processing apparatus 100C.
  • the specific processing apparatus 100 ⁇ / b> C can carry the FOUP 90 to the load port 101.
  • the transport controller 50 ⁇ / b> A creates a transport command to leave the standby section 30. Then, the transport controller 50A transmits the transport command to the transport vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50 ⁇ / b> B that has received the transport command assigns the transport command to the transport vehicle 20 ⁇ / b> C waiting in the standby section 30.
  • the transport controller 50A creates a transport command to leave the standby section 30 and transport the FOUP 90 to the standby section 30 again. Then, the transport controller 50A transmits the transport command to the transport vehicle controller 50B.
  • the transport vehicle controller 50B that has received the transport command assigns the transport command to the transport vehicles 20A and 20B on the downstream side of the transport vehicle 20C (purge control).
  • the eviction control in the case where the second transport command for transporting the FOUP 90 to the load port 101 of the specific processing apparatus 100C is assigned to the transport vehicle 20C as the transport command for leaving the standby section 30 has been described.
  • the conveyance command for leaving the standby section 30 may not be the second conveyance command, and may be, for example, a conveyance command based on the first separation control or the second separation control.
  • the transport vehicle controller 50 ⁇ / b> B has a standby section 30 with respect to the transport vehicle 20 ⁇ / b> C that is the most upstream transport vehicle 20 among the plurality of transport vehicles 20 waiting in the standby section 30.
  • An explanation has been given of the case of assigning a conveyance command to leave from.
  • the transport vehicle 20 for assigning the transport command to leave the standby section 30, among the transport vehicles 20 waiting in the standby section 30, any one of the transport vehicles 20 other than the most downstream transport vehicle 20 is used. I just need it.
  • the transport vehicle controller 50B may leave the standby section 30 again and assign a transport command to transport the FOUP 90 to the standby section 30 again.
  • the transport vehicles 20A, 20B waiting at the standby points 32a, 32b are identified.
  • the FOUP 90 cannot be transported to the load port 101 of each of the processing apparatuses 100A and 100B and remains at the standby points 32a and 32b. For this reason, when the eviction control is repeated a predetermined number of times or more for the same transport vehicle 20A, 20B, there is a possibility that a problem has occurred in the specific processing apparatus 100A, 100B or the controller 50, for example.
  • the conveyance controller 50A grasps that the third standby section leaving condition (standby section leaving condition) is satisfied, it creates a third transport command. Then, the transport controller 50A transmits a third transport command to the transport vehicle controller 50B. The transport vehicle controller 50B that has received the third transport command assigns the third transport command to the transport vehicles 20A and 20B that are waiting at the standby points 32a and 32b.
  • the third standby section leaving condition is satisfied when the transport vehicle 20 assigned with the first transport command leaves the standby section 30 a predetermined number of times or more.
  • the transport vehicles 20A and 20B transport the FOUP 90 from the standby points 32a and 32b to the storage 40, and the third transport command is completed.
  • the third separation control is completed.
  • the predetermined transport destination is the storage 40 here, but may be another transport destination.
  • the FOUP 90 is placed on the load port 101 of the specific processing apparatus 100A, 100B, 100C in the subsequent process, so that the load port 101 of the specific processing apparatus 100A, 100B, 100C is placed.
  • the transport vehicle 20 can transport the other FOUP 90 from the load port of the processing apparatus 100 in the previous process to the standby section 30, for example. For this reason, it is possible to shorten the time required for picking up the FOUP 90 from the load port 101 of the processing apparatus 100 in the previous process. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the operation rate in the processing apparatus 100 in the previous process.
  • the transport vehicle controller 50B transports the FOUP 90 to the storage 40 with respect to the transport vehicle 20 to which the first transport command is assigned when it is determined that the standby section leaving condition is satisfied. Allocate 3rd conveyance command. For this reason, for example, it can be suppressed that the transport vehicle 20 remains in the standby section 30 due to some trouble occurring in the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • the transport vehicle controller 50 ⁇ / b> B recognizes that a predetermined time or more has elapsed since the transport vehicle 20 assigned the first transport command arrives at the standby section 30 as the first standby section departure condition. Assigns a third transport command to the transport vehicle 20. For this reason, for example, it can be suppressed that the transport vehicle 20 remains in the standby section 30 due to some trouble occurring in the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • the transport vehicle controller 50 ⁇ / b> B recognizes that a plurality of transport vehicles 20 of a predetermined number or more are waiting in the standby section 30 as the second standby section departure condition.
  • a third transport command is assigned to at least one of them. For this reason, for example, it can be suppressed that the transport vehicle 20 remains in the standby section 30 due to some trouble occurring in the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • the transport vehicle 20 travels in one direction along the track 10, and the transport vehicle controller 50 ⁇ / b> B includes a plurality of transport vehicles 20 in the standby section 30.
  • a transport command for transporting the FOUP 90 to the standby section 30 after detaching from the standby section 30 is assigned again, and the transport vehicle 20 assigned with the first transport command as the third standby section detachment condition leaves the standby section 30 a predetermined number of times or more.
  • the third transport command is assigned to the transport vehicle 20. For this reason, for example, it is possible to prevent the eviction control from being repeated repeatedly due to the occurrence of some malfunction in the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • the present invention is not limited to the above embodiment.
  • the transport vehicle 20 travels in one direction along the track 10.
  • the transport vehicle 20 may travel in both directions along the track 10.
  • the transport system 1 includes three specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C in the section 10c.
  • the transport system 1 may include more than three specific processing devices in the section 10c, and may include fewer than three (1 or 2) specific processing devices. Also good.
  • the transport vehicle 20 travels in one direction along the track 10, and the standby section 30 passes the FOUP 90 to the load port 101 of each specific processing apparatus 100 ⁇ / b> A, 100 ⁇ / b> B, 100 ⁇ / b> C.
  • You may connect in parallel with respect to the 2nd driving
  • one first traveling section 33A may be provided for specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • the section 10f is connected in parallel to the section 10b. That is, the section 10 b corresponds to the second traveling section 33 ⁇ / b> B, and the section 10 f corresponds to the standby section 30. Specifically, the section 10f branches from the upstream side of the second traveling section 33B (section 10b) on the upstream side thereof, and downstream of the second traveling section 33B (section 10b), that is, the first side. Merges upstream of one travel section 33A (section 10c).
  • the transport vehicle 20 that has entered from the upstream side of the section 10a travels from the section 10a to the section 10b, and then travels to the section 10c.
  • the transport vehicle 20 entering from the upstream side of the section 10a travels from the section 10a to the section 10f and subsequently travels to the section 10c.
  • the transport vehicle 20 that has traveled to the section 10c travels to the section 10d and exits downstream.
  • the transport vehicle 20 that has traveled to the section 10c travels from the section 10c to the section 10e and travels again to the section 10b.
  • orbit 10 shown in a figure is an example, Comprising: It is not limited to this.
  • the transport vehicle 20 travels in one direction along the track 10, and the standby section 30 transfers the FOUP 90 to the load port 101 of each specific processing apparatus 100A, 100B, 100C.
  • the first traveling section 33A including the position to be connected is connected in parallel to the second traveling section 33B continuous from the upstream side. For this reason, the transport vehicle 20 can be made to wait in the standby section 30 without preventing the transport vehicle 20 from traveling from the second travel section 33B to the first travel section 33A.
  • one first traveling section 33A is provided for specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C.
  • one standby section 30 corresponds to the specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C, the size of the space necessary for providing the standby section 30 can be reduced.
  • such a transport system 1 includes three specific processing apparatuses 100A, 100B, and 100C in the first traveling section 33A including the position where the FOUP 90 is transferred to the load port 101 of each specific processing apparatus. ing.
  • the transport system 1 may include more than three specific processing devices in the first traveling section 33A, and may include less than three specific processing devices (one or two). You may have.
  • the conveyance controller 50B may have a part or all of the function which the conveyance controller 50A has, and the conveyance controller 50A has a part or all of the function which the conveyance vehicle controller 50B has. It may be. Alternatively, one controller 50 may have the functions of the transport controller 50A and the transport vehicle controller 50B.
  • the to-be-conveyed object which the conveyance system 1 of this invention conveys is not limited to FOUP90 in which the several semiconductor wafer was accommodated, It is another container in which the glass wafer, the reticle, etc. were accommodated. Also good.
  • the conveyance system 1 of this invention is not limited to a semiconductor manufacturing factory, It is applicable also to other facilities.
  • the OHT is exemplified as the transport vehicle 20.
  • the transport vehicle 20 is not limited to the OHT, and may be any device that can travel along the track 10 and transport an object to be transported to the load port 101 of the processing apparatus 100.
  • SYMBOLS 1 ... Conveyance system, 10 ... Track, 20, 20A, 20B, 20C, 20D ... Conveyor vehicle, 30 ... Standby section, 33A ... First traveling section, 33B ... Second traveling section, 50 ... Controller, 90 ... FOUP Transported object), 100... Processing device, 100A, 100B, 100C... Specific processing device, 101.

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Abstract

搬送システム１の軌道１０には、特定の処理装置１００Ａに対応して、搬送車２０を待機させる待機区間３０が設けられている。コントローラ５０は、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、搬送車２０に対して、待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する第１搬送指令を割り付ける。当該搬送車２０は、待機区間３０に到着した場合には、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機する。その後、コントローラ５０は、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、当該搬送車２０に対して、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する第２搬送指令を割り付ける。

Description

搬送システム及び搬送方法
　本発明の一形態は、搬送システム及び搬送方法に関する。
　例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、軌道と、軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００－３３９０２７号公報
　上述したような搬送システムでは、ロードポートに被搬送物を搬送する搬送要求が存在する場合において、ロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にないときには、コントローラは、搬送車に対して、被搬送物を一時保管するための保管棚等に被搬送物を搬送する搬送指令を割り付ける。その後、ロードポートに被搬送物を搬送可能な状況になったときには、コントローラは、いずれかの搬送車に対して、保管棚等からロードポートに被搬送物を搬送する搬送指令を割り付ける。
　具体的に、コントローラは、保管棚等に一時保管された被搬送物を保管棚等からロードポートに搬送する場合には、その被搬送物を搬送可能な搬送車を検出し、その搬送車に対して、保管棚等からロードポートに被搬送物を搬送する搬送指令を割り付ける。搬送指令を割り付けられた搬送車は、保管棚等に一時保管された被搬送物を荷つかみし、ロードポートに搬送して荷おろしする。以上の動作には時間を要する。このため、ロードポートに被搬送物を搬送可能な状況になってから、そのロードポートに被搬送物が荷おろしされるまでの時間の短縮には限界がある。
　特に、保管棚等とロードポートとの距離が長いような場合には、搬送車が、保管棚等に一時保管された被搬送物を荷つかみし、ロードポートに搬送して荷おろしするのに要する時間が長くなる。その結果、例えば処理スピードの速い処理装置等、特定の処理装置においては、稼働率が低下するおそれがある。
　そこで、本発明の一形態は、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
　本発明の一形態の搬送システムは、軌道と、軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、軌道には、複数の処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、搬送車を待機させる待機区間が設けられており、コントローラは、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、搬送車に対して、待機区間に被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付け、第１搬送指令を割り付けられた搬送車は、待機区間に到着した場合には、被搬送物を保持した状態で待機区間にて待機し、コントローラは、搬送車に対して第１搬送指令を割り付けた後、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車に対して、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける。
　この搬送システムでは、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車は、被搬送物を荷つかみし、特定の処理装置に対応する待機区間に向かって走行を開始する。特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況になると、待機区間に向かって走行している搬送車、或いは、待機区間に到着して被搬送物を保持した状態で待機している搬送車は、改めて荷つかみ等の動作を行うことを必要とせず、直ちに特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送することができる。よって、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、搬送車は、軌道に沿って一方向に走行し、待機区間は、特定の処理装置のロードポートに対して被搬送物を移載する位置を含む第１走行区間に上流側から連続する第２走行区間に対して並列に接続されていてもよい。この場合、第２走行区間から第１走行区間への搬送車の走行を妨げずに、待機区間に搬送車を待機させることができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、第１走行区間は、複数の特定の処理装置に対して１つ設けられていてもよい。この場合、複数の特定の処理装置に対して１つの待機区間が対応することになるため、待機区間を設けるために必要なスペースの広さを低減することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車に対して、所定の搬送先に被搬送物を搬送する第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車が待機区間に留まったままとなることを抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車が待機区間に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車に対して、第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車が待機区間に留まったままとなることを抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、待機区間離脱条件として、待機区間に所定数以上の複数の搬送車が待機していることを把握した場合には、複数の当該搬送車のうちの少なくとも１台に対して、第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車が待機区間に留まったままとなることを抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送システムでは、搬送車は、軌道に沿って一方向に走行し、コントローラは、待機区間に複数の搬送車が待機している場合において、複数の当該搬送車のうち、最も下流側の搬送車を除くいずれかの搬送車に対して、待機区間から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車よりも下流側の他の搬送車に対して、待機区間から離脱して再び待機区間に被搬送物を搬送する搬送指令を割り付け、待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車が、待機区間から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車に対して、第３搬送指令を割り付けてもよい。この場合、例えば特定の処理装置に何らかの不具合が発生したことに起因して追い出し制御（上流側の搬送車を待機区間から離脱させるために、下流側の搬送車を待機区間から離脱させて再び待機区間に戻す制御）が繰り返され続けることを抑制することができる。
　本発明の一形態の搬送方法は、軌道と、軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、軌道には、複数の処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、搬送車を待機させる待機区間が設けられた搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、コントローラが、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、搬送車に対して、待機区間に被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付ける第１ステップと、第１搬送指令を割り付けられた搬送車が、待機区間に到着した場合には、被搬送物を保持した状態で待機区間にて待機する第２ステップと、コントローラが、搬送車に対して第１搬送指令を割り付けた後、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車に対して、特定の処理装置のロードポートに被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む。
　この搬送方法によれば、上述した搬送システムと同様に、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することができる。
　本発明の一形態によれば、特定の処理装置における稼働率の低下を抑制することが可能となる。
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送システムの一部の平面図である。 図２は、図１の搬送システムにおける待機制御を説明するための平面図である。 図３は、図１の搬送システムにおける待機制御を説明するための平面図である。 図４は、図１の搬送システムにおける待機制御を説明するための平面図である。 図５は、図１の搬送システムにおける第１離脱制御を説明するための平面図である。 図６は、図１の搬送システムにおける第１離脱制御を説明するための平面図である。 図７は、図１の搬送システムにおける第２離脱制御を説明するための平面図である。 図８は、図１の搬送システムにおける第３離脱制御を説明するための平面図である。 図９は、図１の搬送システムにおける第３離脱制御を説明するための平面図である。 図１０は、変形例に係る搬送システムの一部の平面図である。
　以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［搬送システムの構成］
　図１に示されるように、搬送システム１は、軌道１０と、複数の搬送車２０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、複数の処理装置１００を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。搬送車２０は、各処理装置１００のロードポート１０１に対して、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）９０を被搬送物として搬送する。コントローラ５０は、各搬送車２０と通信し、各搬送車２０の動作を制御する。
　軌道１０は、複数の区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅによって構成された部分を含んでいる。区間１０ｂは、区間１０ａの下流側に直線的に接続されている。区間１０ｃは、折り返すようにカーブしつつ区間１０ｂの下流側に接続されている。区間１０ｄは、区間１０ｃの下流側に直線的に接続されている。区間１０ｅは、区間１０ｃと区間１０ｄとの接続位置から分岐し、区間１０ａと区間１０ｂとの接続位置に合流している。
　このような軌道１０において、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｂへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行した後、区間１０ｄへと走行して下流側へと退出する。或いは、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｂへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行した後、区間１０ｃから区間１０ｅへと走行し、再び区間１０ｂへと走行する。なお、図中に示す軌道１０の構成は一例であって、これに限定されない。
　区間１０ｂには、複数の処理装置１００のうちの特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対応して、搬送車２０を待機させる待機区間３０が設けられている。待機区間３０には、搬送車２０を待機させる位置である複数の待機ポイント３１，３２が設定されている。図中には、待機ポイントとして、待機区間３０の最も上流側に設定された待機ポイント３１と、待機ポイント３１の下流側に設定された４つの待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄが示されている。
　区間１０ｃには、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置が設定されている。３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、区間１０ｃに沿って上流側からこの順序で配置されており、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１は、区間１０ｃの下方に位置している。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、ロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ内の半導体ウェハを取り込んで、当該半導体ウェハに所定の処理を施す。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、所定の処理を施した半導体ウェハをＦＯＵＰ９０内に戻し、ＦＯＵＰ９０を搬送車２０により搬送可能な状態にする。
　各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、処理装置１００の中でも処理スピードが速い処理（すなわち、処理装置１００の中でも、ＦＯＵＰ９０がロードポート１０１に載置されてから、半導体ウェハに所定の処理を施し、ＦＯＵＰ９０を搬送車２０により搬送可能な状態にするまでの時間が短い処理）を実施するものである。例えば、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃとしては、検査装置、リソグラフィ装置等が挙げられる。
　また、区間１０ｃには、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ以外の処理装置１００である通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅが配置されている。通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅは、区間１０ｃに沿って上流側からこの順で配置されており、各通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅのロードポート１０１は、区間１０ｃの下方に位置している。各通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅは、ロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ内の半導体ウェハを取り込んで、当該半導体ウェハに所定の処理を施す。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、処理を施した半導体ウェハをＦＯＵＰ９０内に戻し、ＦＯＵＰ９０を搬送車２０により搬送可能な状態にする。各通常の処理装置１００Ｄ，１００Ｅは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃよりも処理スピードが遅い処理を実施するものである。
　区間１０ｃと区間１０ｄとの接続位置の近傍には、保管庫４０が配置されている。保管庫４０は、搬送車２０によって搬送された複数のＦＯＵＰ９０を一時保管するための設備である。保管庫４０のポート４１は、区間１０ｃと区間１０ｄとの接続位置の下方に位置している。保管庫４０は、ポート４１にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ９０を取り込んで一時保管し、一時保管しているＦＯＵＰ９０が搬送車２０によって取得される場合には、当該ＦＯＵＰ９０をポート４１に載置して搬送車２０により搬送可能な状態にする。なお、保管庫４０に代えて、被搬送物を一時保管するための保管棚等を用いてもよい。
　搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、ＦＯＵＰ９０を把持する把持部、及び把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、搬送車２０は、例えば特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置に停止し、その状態で移載機構を動作させることで、当該ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、ロードポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、搬送車２０が保持（積載）しているＦＯＵＰ９０をロードポート１０１に供給（荷おろし）する場合と、ロードポート１０１に載置されているＦＯＵＰ９０を搬送車２０が取得（荷つかみ）する場合と、を含む。
　コントローラ５０は、搬送コントローラ５０Ａと、搬送車コントローラ５０Ｂと、を有している。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対する上位コントローラである。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂ及び製造コントローラ（不図示）と通信する。製造コントローラは、各処理装置１００と通信し、搬送コントローラ５０Ａに対して各処理装置１００のロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求を出す。搬送要求が存在することを搬送コントローラ５０Ａが把握すると、搬送車コントローラ５０Ｂは、いずれかの搬送車２０に対して、当該搬送要求に対応する搬送指令を割り付ける。搬送コントローラ５０Ａ、搬送車コントローラ５０Ｂ、及び製造コントローラのそれぞれは、例えば、プロセッサ、メモリ、ストレージ、及び通信デバイス等を含むコンピュータ装置として構成される。各コントローラにおいて、プロセッサが、メモリ等に読み込まれた所定のソフトウェア（プログラム）を実行し、メモリ及びストレージにおけるデータの読み出し及び書き込み、並びに通信デバイスによるコントローラ間での通信を制御することによって、後述する各コントローラの機能が実現される。
［搬送システムにおける待機制御］
　搬送システム１では、以下に説明する待機制御が実施される。一例として、次のような状況において実施される待機制御について説明する。すなわち、図１に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのうち、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得するために、搬送車２０Ａが特定の処理装置１００Ａに向かって区間１０ｃを走行中である。
　このような状況において、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に別のＦＯＵＰ９０を搬送する搬送要求が存在するときには、搬送コントローラ５０Ａは、製造コントローラと通信することにより、当該搬送要求が存在することを把握する。ここで、搬送コントローラ５０Ａは、待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する第１搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第１搬送指令を送信する。第１搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｂに対して第１搬送指令を割り付ける（第１ステップ）。具体的に、第１搬送指令は、搬送車２０Ｂに対して、待機区間３０の待機ポイント３１にＦＯＵＰ９０を搬送させる指令である。図中には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０Ｂが、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して区間１０ａを走行している状態が示されている。なお、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されておらず、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にある場合であっても、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｂに対して、待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する第１搬送指令を割り付ける。
　続いて、図２に示されるように、搬送車２０Ｂが待機ポイント３１に到着して、第１搬送指令は完了する。待機ポイント３１に到着した搬送車２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機ポイント３１にて待機する（第２ステップ）。
　続いて、図３に示されるように、待機区間３０において、搬送車２０Ｂの下流側の待機ポイント３２が空いている状態（すなわち、他の搬送車２０が待機していない状態）である場合には、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｂに対して、下流側の待機ポイント３２に移動させる移動指令を割り付ける。図中には、搬送車コントローラ５０Ｂによって待機ポイント３２ａに移動する移動指令を割り付けられた搬送車２０Ｂが、待機ポイント３２ａに移動した状態が示されている。待機ポイント３２ａに到着した搬送車２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機ポイント３２ａにて待機する。
　また、図中では、搬送車２０Ａが、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置に到着している。搬送車２０Ａは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況となる。
　続いて、図４に示されるように、搬送コントローラ５０Ａは、製造コントローラと通信することにより、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にあることを把握する。ここで、搬送コントローラ５０Ａは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する第２搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第２搬送指令を送信する。第２搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０Ｂに対して第２搬送指令を割り付ける（第３ステップ）。続いて、搬送車２０Ｂが待機ポイント３２ａから特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送して、第２搬送指令は完了する。
　このとき、搬送車コントローラ５０Ｂは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１からＦＯＵＰ９０を取得した搬送車２０Ａを、ロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置から、軌道１０上の他の位置に走行させる。
［搬送システムにおける離脱制御］
　搬送システム１では、以下に説明する第１離脱制御、第２離脱制御及び第３離脱制御が実施される。
　まず、一例として、次のような状況において実施される第１離脱制御について説明する。すなわち、図５に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのうち、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、特定の処理装置１００Ａは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ａが、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して待機ポイント３２ａにて待機している。
　このような状況において、例えば特定の処理装置１００Ａ又はコントローラ５０等に何らかの不具合が発生すると、待機ポイント３２ａにて待機している搬送車２０Ａは、特定の処理装置１００Ａのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができず、待機ポイント３２ａに留まったままとなる場合がある。
　この場合に、搬送コントローラ５０Ａは、第１待機区間離脱条件（待機区間離脱条件）が満たされたことを把握したときには、所定の搬送先にＦＯＵＰ９０を搬送する第３搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第３搬送指令を送信する。第３搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ａに対して第３搬送指令を割り付ける。ここで、第１待機区間離脱条件は、搬送車２０Ａが待機区間３０に到着してから所定時間以上経過したことによって満たされる。なお、所定の搬送先は、ここでは保管庫４０とされるが、他の搬送先とされてもよい。
　続いて、図６に示されるように、搬送車２０Ａが、待機ポイント３２ａから保管庫４０にＦＯＵＰ９０を搬送して、第３搬送指令は完了する。以上により、第１離脱制御が完了する。
　次に、一例として、次のような状況において実施される第２離脱制御について説明する。すなわち、図７に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのそれぞれのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、それらのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した各搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅが、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのいずれかのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１にて待機している。
　このような状況において、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ又はコントローラ５０等に何らかの不具合が発生すると、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１にて待機している各搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅは、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができず、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１に留まったままとなる場合がある。このような場合には、待機区間３０にて待機している搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅのうちの少なくとも１台を待機区間３０から離脱させないと、別の新たな搬送車２０を待機させるための場所を確保することができないという問題がある。
　この場合に、搬送コントローラ５０Ａは、第２待機区間離脱条件（待機区間離脱条件）が満たされたことを把握したときには、第３搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第３搬送指令を送信する。第３搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅのうちの少なくとも１台に対して第３搬送指令を割り付ける。ここで、第２待機区間離脱条件は、待機区間３０に所定数以上の複数の搬送車２０が待機していることによって満たされる。一例として、ここでは所定数とは５台であるが、他の台数であってもよい。
　続いて、搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅのうちの少なくとも１台が、待機ポイント３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ，３１から所定の搬送先にＦＯＵＰ９０を搬送して、第３搬送指令は完了する。以上により、第２離脱制御が完了する。なお、所定の搬送先は、ここでは保管庫４０とされるが、他の搬送先とされてもよい。
　次に、一例として、次のような状況において実施される第３離脱制御について説明する。すなわち、図８に示されるように、区間１０ｃに沿って配置された３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのそれぞれのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されている。したがって、このとき、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にない。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ａ、２０Ｂが、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して、待機ポイント３２ａ，３２ｂにてそれぞれ待機している。また、第１搬送指令を割り付けられたことによって待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ｃが、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に搬送されるべきＦＯＵＰ９０を保持して、待機ポイント３２ｃにて待機している。更に、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得するために、搬送車２０Ｄが、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置にある。
　このような状況において、搬送車２０Ｄは、特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１に載置されたＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、特定の処理装置１００Ｃは、そのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況となる。
　続いて、図９に示されるように、搬送コントローラ５０Ａは、待機区間３０から離脱する搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して、当該搬送指令を送信する。当該搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、待機区間３０にて待機している搬送車２０Ｃに対して当該搬送指令を割り付ける。
　このとき、搬送コントローラ５０Ａは、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して、当該搬送指令を送信する。当該搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送車２０Ｃよりも下流側の搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して当該搬送指令を割り付ける（追い出し制御）。
　この例では、待機区間３０から離脱する搬送指令として、搬送車２０Ｃに対して特定の処理装置１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送する第２搬送指令を割り付ける場合の追い出し制御について説明した。なお、追い出し制御において、待機区間３０から離脱する搬送指令としては、第２搬送指令でなくてもよく、例えば第１離脱制御又は第２離脱制御による搬送指令であってもよい。
　また、ここでは、一例として、搬送車コントローラ５０Ｂが、待機区間３０にて待機している複数の搬送車２０のうち、最も上流側の搬送車２０である搬送車２０Ｃに対して、待機区間３０から離脱する搬送指令を割り付ける場合について説明した。しかし、待機区間３０から離脱する搬送指令を割り付ける搬送車２０としては、待機区間３０にて待機している各搬送車２０のうち、最も下流側の搬送車２０を除くいずれかの搬送車２０であればよい。
　その後、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送した搬送車２０Ａ，２０Ｂは、ＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機区間３０にて待機する。搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、搬送車コントローラ５０Ｂは、再度、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送指令を割り付ける場合があり得る。
　このような追い出し制御が実施される状況において、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ又はコントローラ５０等に何らかの不具合が発生すると、待機ポイント３２ａ，３２ｂにて待機している搬送車２０Ａ，２０Ｂは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができず、待機ポイント３２ａ，３２ｂに留まったままとなる場合がある。このことから、同一の搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して追い出し制御が所定回数以上繰り返されるときには、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ又はコントローラ５０等に不具合が発生しているおそれがある。
　そこで、搬送コントローラ５０Ａは、第３待機区間離脱条件（待機区間離脱条件）が満たされたことを把握したときには、第３搬送指令を作成する。そして、搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対して第３搬送指令を送信する。第３搬送指令を受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、待機ポイント３２ａ，３２ｂにて待機している搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して第３搬送指令を割り付ける。ここで、第３待機区間離脱条件は、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０が、待機区間３０から所定回数以上離脱することによって満たされる。
　続いて、搬送車２０Ａ，２０Ｂが、待機ポイント３２ａ，３２ｂから保管庫４０にＦＯＵＰ９０を搬送して、第３搬送指令は完了する。以上により、第３離脱制御が完了する。なお、所定の搬送先は、ここでは保管庫４０とされるが、他の搬送先とされてもよい。
［作用及び効果］
　以上説明したように、搬送システム１及び当該搬送システム１において実施される搬送方法では、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０を荷つかみし、待機区間３０に向かって走行を開始する。各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況になると、待機区間３０に向かって走行している搬送車２０Ｂ、或いは、待機区間３０に到着してＦＯＵＰ９０を保持した状態で待機している搬送車２０Ｂは、改めて荷つかみ等の動作を行うことを必要とせず、直ちに特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０を搬送することができる。よって、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃにおける稼働率の低下を抑制することができる。
　また、搬送システム１では、例えば後工程の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１にＦＯＵＰ９０が載置されていることによって、当該特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に別のＦＯＵＰ９０を搬送可能な状況にないときであっても、搬送車２０は、例えば前工程の処理装置１００のロードポートから待機区間３０に当該別のＦＯＵＰ９０を搬送することができる。このため、前工程の処理装置１００のロードポート１０１からＦＯＵＰ９０を荷つかみするのに要する時間を短くすることができる。よって、前工程の処理装置１００における稼働率の低下を抑制することができる。
　搬送システム１では、搬送車コントローラ５０Ｂは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０に対して、保管庫４０にＦＯＵＰ９０を搬送する第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車２０が待機区間３０に留まったままとなることを抑制することができる。
　搬送システム１では、搬送車コントローラ５０Ｂは、第１待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０が待機区間３０に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車２０に対して、第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車２０が待機区間３０に留まったままとなることを抑制することができる。
　搬送システム１では、搬送車コントローラ５０Ｂは、第２待機区間離脱条件として、待機区間３０に所定数以上の複数の搬送車２０が待機していることを把握した場合には、各搬送車２０のうちの少なくとも１台に対して、第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して搬送車２０が待機区間３０に留まったままとなることを抑制することができる。
　搬送システム１では、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行し、搬送車コントローラ５０Ｂは、待機区間３０に複数の搬送車２０が待機している場合において、各搬送車２０のうち、最も下流側の搬送車２０を除くいずれかの搬送車２０に対して、待機区間３０から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車２０よりも下流側の他の搬送車２０に対して、待機区間３０から離脱して再び待機区間３０にＦＯＵＰ９０を搬送する搬送指令を割り付け、第３待機区間離脱条件として、第１搬送指令を割り付けられた搬送車２０が、待機区間３０から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車２０に対して、第３搬送指令を割り付ける。このため、例えば特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに何らかの不具合が発生したことに起因して追い出し制御が繰り返され続けることを抑制することができる。
［変形例］
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行する。しかし、搬送車２０は、軌道１０に沿って双方向に走行してもよい。
　また、上記実施形態では、搬送システム１は、区間１０ｃに３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃを備えている。しかし、搬送システム１は、区間１０ｃに３台より多い台数の特定の処理装置を備えていてもよく、また、３台より少ない台数（１台又は２台）の特定の処理装置を備えていてもよい。
　また、図１０に示されるように、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行し、待機区間３０は、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置を含む第１走行区間３３Ａに上流側から連続する第２走行区間３３Ｂに対して並列に接続されていてもよい。特に、第１走行区間３３Ａは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対して１つ設けられていてもよい。
　この場合、上記実施形態に比較して、区間１０ｆが、区間１０ｂに対して並列に接続されている。すなわち、区間１０ｂが第２走行区間３３Ｂに相当し、区間１０ｆが待機区間３０に相当する。具体的には、区間１０ｆは、その上流側において、第２走行区間３３Ｂ（区間１０ｂ）の上流側から分岐し、その下流側において、第２走行区間３３Ｂ（区間１０ｂ）の下流側、すなわち第１走行区間３３Ａ（区間１０ｃ）の上流側に合流する。
　このような軌道１０において、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｂへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行する。或いは、区間１０ａの上流側から進入した搬送車２０は、区間１０ａから区間１０ｆへと走行し、続いて区間１０ｃへと走行する。区間１０ｃへと走行した搬送車２０は、区間１０ｄへと走行して下流側へと退出する。或いは、区間１０ｃへと走行した搬送車２０は、区間１０ｃから区間１０ｅへと走行し、再び区間１０ｂへと走行する。なお、図中に示す軌道１０の構成は一例であって、これに限定されない。
　このような搬送システム１では、搬送車２０は、軌道１０に沿って一方向に走行し、待機区間３０は、各特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置を含む第１走行区間３３Ａに上流側から連続する第２走行区間３３Ｂに対して並列に接続されている。このため、第２走行区間３３Ｂから第１走行区間３３Ａへの搬送車２０の走行を妨げずに、待機区間３０に搬送車２０を待機させることができる。
　また、このような搬送システム１では、第１走行区間３３Ａは、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対して１つ設けられている。このため、特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃに対して１つの待機区間３０が対応することになることから、待機区間３０を設けるために必要なスペースの広さを低減することができる。
　なお、このような搬送システム１では、各特定の処理装置のロードポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置を含む第１走行区間３３Ａに３台の特定の処理装置１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃを備えている。しかし、搬送システム１は、第１走行区間３３Ａに３台より多い台数の特定の処理装置を備えていてもよく、また、３台より少ない台数（１台又は２台）の特定の処理装置を備えていてもよい。
　また、上記実施形態では、搬送コントローラ５０Ａが有する機能の一部又は全部を搬送車コントローラ５０Ｂが有していてもよく、搬送車コントローラ５０Ｂが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ５０Ａが有していてもよい。或いは、１つのコントローラ５０が、搬送コントローラ５０Ａ及び搬送車コントローラ５０Ｂの有する機能を有していてもよい。
　また、上記実施形態では、本発明の搬送システム１が搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の搬送システム１は、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
　また、上記実施形態では、搬送車２０としてＯＨＴを例示した。しかし、搬送車２０はＯＨＴに限定されず、軌道１０に沿って走行し、処理装置１００のロードポート１０１に対して被搬送物を搬送することができる装置であればよい。
　１…搬送システム、１０…軌道、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ…搬送車、３０…待機区間、３３Ａ…第１走行区間、３３Ｂ…第２走行区間、５０…コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１００…処理装置、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ…特定の処理装置、１０１…ロードポート。

Claims (8)

  1. 　軌道と、
    　前記軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、
    　複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
    　前記軌道には、複数の前記処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、前記搬送車を待機させる待機区間が設けられており、
    　前記コントローラは、前記特定の処理装置のロードポートに前記被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、前記搬送車に対して、前記待機区間に前記被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付け、
    　前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車は、前記待機区間に到着した場合には、前記被搬送物を保持した状態で前記待機区間にて待機し、
    　前記コントローラは、前記搬送車に対して前記第１搬送指令を割り付けた後、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける、搬送システム。
  2. 　前記搬送車は、前記軌道に沿って一方向に走行し、
    　前記待機区間は、前記特定の処理装置の前記ロードポートに対して前記被搬送物を移載する位置を含む第１走行区間に上流側から連続する第２走行区間に対して並列に接続されている、請求項１記載の搬送システム。
  3. 　前記第１走行区間は、複数の前記特定の処理装置に対して１つ設けられている、請求項２記載の搬送システム。
  4. 　前記コントローラは、待機区間離脱条件が満たされたことを把握した場合には、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、所定の搬送先に前記被搬送物を搬送する第３搬送指令を割り付ける、請求項１～３のいずれか一項記載の搬送システム。
  5. 　前記コントローラは、前記待機区間離脱条件として、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車が前記待機区間に到着してから所定時間以上経過したことを把握した場合には、当該搬送車に対して、前記第３搬送指令を割り付ける、請求項４記載の搬送システム。
  6. 　前記コントローラは、前記待機区間離脱条件として、前記待機区間に所定数以上の複数の前記搬送車が待機していることを把握した場合には、複数の当該搬送車のうちの少なくとも１台に対して、前記第３搬送指令を割り付ける、請求項４記載の搬送システム。
  7. 　前記搬送車は、前記軌道に沿って一方向に走行し、
    　前記コントローラは、
    　前記待機区間に複数の前記搬送車が待機している場合において、複数の当該搬送車のうち、最も下流側の前記搬送車を除くいずれかの前記搬送車に対して、前記待機区間から離脱する搬送指令を割り付けるときには、当該搬送車よりも下流側の他の前記搬送車に対して、前記待機区間から離脱して再び前記待機区間に前記被搬送物を搬送する搬送指令を割り付け、
    　前記待機区間離脱条件として、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車が、前記待機区間から所定回数以上離脱したことを把握したときには、当該搬送車に対して、前記第３搬送指令を割り付ける、請求項４記載の搬送システム。
  8. 　軌道と、前記軌道に沿って走行し、複数の処理装置のそれぞれのロードポートに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、前記軌道には、複数の前記処理装置のうちの特定の処理装置に対応して、前記搬送車を待機させる待機区間が設けられた搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
    　前記コントローラが、前記特定の処理装置のロードポートに前記被搬送物を搬送する搬送要求が存在することを把握した場合には、前記搬送車に対して、前記待機区間に前記被搬送物を搬送する第１搬送指令を割り付ける第１ステップと、
    　前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車が、前記待機区間に到着した場合には、前記被搬送物を保持した状態で前記待機区間にて待機する第２ステップと、
    　前記コントローラが、前記搬送車に対して前記第１搬送指令を割り付けた後、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送可能な状況にあることを把握した場合には、前記第１搬送指令を割り付けられた前記搬送車に対して、前記特定の処理装置の前記ロードポートに前記被搬送物を搬送する第２搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む、搬送方法。
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