JP2005243729A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】 荷物を回収したのちに荷物の支給が行われるシステムにおいて、荷物の回収と支給の順序を守りつつ、且つ、荷物の回収から荷物の支給までの時間を極力短くするシステムを提供する。
【解決手段】 搬送制御手段４０は、各搬送台車５０Ａ〜５０Ｅの現在位置と搬送可否に関わる情報を取得する。そして、処理済み荷物の回収処理と未処理荷物の支給処理の要求を受けたとき、搬送中でなく、且つ載置部２３に最も早く到着する一の搬送台車５０Ａに処理済み荷物の回収処理を指令し、他の搬送台車５０Ｂに未処理荷物の支給処理を指令する。他の搬送台車５０Ｂが所定位置にあるとき、載置部２３から未処理荷物が回収されていなければ、載置部２３への未処理荷物の載置処理を一時的に行わないように指令する。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶表示パネル、プラズマディスプレー、又は半導体集積回などの製造装置で処理される未処理荷物、又はこれらの装置で処理された処理済み荷物を搭載して搬送する複数の搬送台車の動作を制御する搬送台車制御部を備えた搬送システムに関する。

液晶表示パネルや半導体集積回路などの製造装置で処理されるウェハなどの被処理物は、ストッカと製造装置間、又は一の製造装置と他の製造装置間を、ＯＨＴ(Over head Hoist Transport)搬送台車などに搭載されて搬送される。被処理物は、一般的にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハであって、カセット単位で搬送される。即ち、一の搬送台車が、製造装置から搬出された処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰの回収を行い、他の台車が、ストッカなど他の装置から搬出された未処理ウェハが収納されたＦＯＵＰを当該製造装置に連結される載置部に支給する。なお、ＦＯＵＰの回収は、製造装置に連結される載置部に載置されたＦＯＵＰを搭載することによって行われ、ＦＯＵＰの支給は、製造装置に連結される載置部に載置することで行われる。また、製造装置に連結される載置部は、クリーンな状態に保たれる必要があることから非常に高価なものである。したがって、一つの装置に対して一つの載置部が連結されているのが一般的である。かかる構成では、載置部に載置されるＦＯＵＰの回収と、他の装置から搬出されたＦＯＵＰの支給とを同時に行うことが出来ない。したがって、先ずは処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰの回収を行い、そののち、未処理ウェハが収納されたＦＯＵＰの支給を行う必要がある。即ち、処理済みＦＯＵＰの回収を先順位、未処理ＦＯＵＰの支給を後順位で行う必要がある。

このように、先順位の回収処理要求（即ち、ＦＯＵＰの回収処理要求）と、後順位の支給処理要求（即ち、ＦＯＵＰの支給処理要求）がある場合、先順位の回収処理を実行している搬送台車が、後順位の支給処理を実行している搬送台車よりも先に載置部に到着する必要がある。このように、同一の製造装置に対して複数の回収処理又は支給処理を順序付けて実行する場合、先順位の回収処理を実行する搬送台車が、後順位の支給処理を要求する製造装置と荷物搬送先の製造装置との間の領域に進入した後に、後順位の支給処理要求を行うようにした搬送システムが提案されている（特許文献１参照）。

特開２０００−１４８２４３号公報

しかしながら、特許文献１に記載の搬送システムにおいては、先順位の処理を実行する搬送台車が、後順位の処理を要求する装置と荷物搬送先の製造装置との間の領域に進入するまで、後順位の処理が実行されない。即ち、先順位の処理を実行する搬送台車が上記領域に進入してから、後順位の処理を実行する搬送台車が後順位の処理を要求する装置に向かうことを意味する。したがって、順位を守って荷物を搬送することはできるものの、処理効率の向上までは望めない。とくに、半導体製造装置のように、処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰが回収されたのち、すぐに未処理ウェハが収納されたＦＯＵＰの支給が要求される装置においては、可能な限り、製造装置の待ち時間を少なくする必要がある。さらに、特許文献１は、複数の処理要求に順序付けて同一の製造装置へ荷物を搬送するシステムであるのに対し、本案件は、荷物の回収が行われる製造装置と同一の製造装置に対して別の荷物の支給を行うシステムである。即ち、前者は、処理効率の向上よりも処理順序を守ることの要求度が高いシステムであるのに対し、後者は、処理順序を守り、且つ処理効率の向上をも望まれるシステムである点で異なるものである。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、荷物の回収が行われたのち、同一の製造装置に対して荷物の支給が行われるシステムにおいて、荷物の回収と荷物の支給との順序を守りつつ、且つ、荷物の回収が行われてから荷物の支給を行うまでの時間を極力短縮化することによって、処理効率の向上を図った搬送システムの提供を目的とする。

課題を解決するための手段及び効果

本発明において、以下の特徴は単独で、若しくは、適宜組合わされて備えられている。前記課題を解決するための本発明に係る搬送システムは、処理装置で処理された処理済み荷物の回収が行われたのち、前記処理装置で処理される未処理荷物の支給が行われる搬送システムであって、前記処理済み荷物又は未処理荷物を搭載して搬送する複数の搬送台車と、前記搬送台車が一方向に走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する主走行路と、前記主走行路に対応して設けられるとともに一つの処理装置に対して一つ連結され、前記未処理荷物又は処理済み荷物が載置される載置部と、前記搬送台車と通信を行い、前記搬送台車から現在位置及び搬送可否に関わる情報を含む搬送台車情報を取得する搬送制御手段と、前記載置部への未処理荷物の支給処理及び前記載置部からの処理済み荷物の回収処理を略同時に前記搬送台車制御手段に要求する要求手段と、を備え、前記搬送台車制御手段は、前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車のうち前記載置部に最も早く到着する一の搬送台車に前記処理済み荷物の回収処理を指令し、他の搬送台車に前記未処理荷物の支給処理を指令するとともに、前記他の搬送台車が前記未処理荷物を搭載する位置から前記載置部までの所定位置にあるとき、前記載置部から処理済み荷物が回収されていなければ、前記載置部への未処理荷物の載置処理を一時的に行わないように指令することを特徴とする。

この搬送システムによれば、処理装置で処理された処理済み荷物は載置部に載置され、載置部に載置された処理済み荷物の回収処理と、未処理荷物の載置部への支給処理とが、略同時に搬送制御手段に要求される。また、搬送制御手段は、各搬送台車の現在位置と搬送可否に関わる情報を取得し、搬送中でなく、且つ載置部に最も早く到着する一の搬送台車に載置部に載置される処理済み荷物の回収処理を指令し、他の搬送台車に未処理荷物の支給処理を指令する。したがって、載置部に載置される処理済み荷物の回収処理を迅速に行うことが可能になるとともに、処理済み荷物の回収と未処理荷物の支給とを効率良く処理することができると考えられる。また、他の搬送台車が載置部に載置するための未処理荷物を搭載してから載置部までの所定位置にあるとき、載置部から処理済み荷物が回収されていなければ、搬送制御手段から他の搬送台車に対して、載置部への未処理荷物の載置処理を行わないように指令する。したがって、載置部に載置される処理済み荷物が回収されるまで、載置部への未処理荷物の載置処理が行われないので、回収と支給の順序も守られることとなる。

また、本発明に係る搬送システムは、前記搬送台車が走行可能であって、前記主走行路から分岐して前記処理装置を回避したのち前記主走行路に合流する分岐走行路をさらに備え、前記他の搬送台車への前記載置部への未処理荷物の載置処理を一時的に行わない指令が、前記分岐走行路の走行を指令するものであることが好ましい。これによれば、他の搬送台車が未処理荷物を搭載する位置から載置部までの所定位置にあるとき、載置部から処理済み荷物が回収されていなければ、搬送制御手段は、他の搬送台車に分岐走行路を走行するように指令を行う。したがって、載置部を通過して主走行路を走行するよりも走行長さが短い分岐走行路を走行することで、より短時間で載置部に近づくことが可能となる。

また、本発明に係る搬送システムは、前記搬送台車制御手段が前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車が２台以上であれば、前記一の搬送台車に対する処理済み荷物の回収処理の指令と、前記他の搬送台車に対する未処理荷物の支給処理の指令とを、略同時に行うことが好ましい。こうすることで、載置部に載置される処理済み荷物の回収と、載置部への未処理荷物の支給とを、これらの順序を守りつつ、より迅速に行うことが可能となる。

また、本発明に係る搬送システムは、前記搬送台車制御手段が前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車が１台であれば、前記荷物の搬送が可能な搬送台車に前記処理済み荷物の回収処理を指令し、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車に前記未処理荷物の支給処理を指令することが好ましい。このような搬送システムにおいては、荷物を搬送中の搬送台車であれば、新たな処理の指令を受けることができない。したがって、荷物の搬送が可能な搬送台車が必ずしも２台以上走行しているとは限らず、１台しか走行していないことも考えられる。このような場合には、処理済み荷物の回収と未処理荷物の支給のいずれをも実行するには相当な時間を要してしまう。したがって、荷物の搬送が可能な搬送台車に、先ず、載置部に載置される処理済み荷物を回収させ、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車にすぐに未処理荷物の支給を指令することで、可能な限りの迅速な処理が実現できることとなる。

また、本発明に係る搬送システムは、前記搬送台車制御手段が前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車が０台であれば、最初に荷物の搬送が可能となった搬送台車に前記処理済み荷物の回収処理を指令し、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車に前記未処理荷物の支給処理を指令することが好ましい。このような搬送システムにおいては、荷物を搬送中の搬送台車であれば、新たな処理の指令を受けることができず、全ての搬送台車が荷物を搬送中であることも考えられる。このような場合にも、処理済み荷物の回収と未処理荷物の支給のいずれの処理も終了するには相当な時間を要してしまう。したがって、最初に荷物の搬送が可能となった搬送台車に、先ず、載置部に載置される処理済み荷物の回収処理を実行させることで、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車にすぐに未処理荷物の支給処理を実行させることができる。よって、可能な限りの迅速な処理が実現できるようになると思われる。

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明する。

図１は、本発明の好適な実施の形態に係る搬送システム１が適用された工場１００を例示したレイアウト図である。この工場１００は、例えば、半導体処理工場であって、複数の半導体製造装置６０をそれぞれ備えるベイ１６（半導体処理工程を構成する点線で囲んだ領域）が複数備えられて構成されている。ベイ１６内の各半導体製造装置（処理装置）６０は、工程内軌道１２で連結されており、各工程内軌道１２は、連結軌道１０を介して工程間軌道１１に連結されている。工程内軌道１２、工程間軌道１１、工程間分岐軌道１０は、半導体（荷物）を搬送する複数の搬送台車５０が走行可能な走行路となっており、これらの走行路（１０，１１，１２）は工場の上方（天井側）に設置され、半導体が各搬送台車５０ に吊り下げられるように搭載されて搬送される。即ち、この工場には、ＯＨＴ（Over Head Hoist Transport）搬送システムが適用されている。また、半導体は、例えば、一般的にＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハであって、カセット単位で搬送される。そして、各半導体製造装置６０内で所定の処理が施されていく。

また、ベイ１６ には、工程間（各ベイ１６間）と工程内（各ベイ１６内）とのインターフェースや、バッファーの目的で、複数のＦＯＵＰ２０を収納するストッカ１４が配置されている。ストッカ１４ は、工程内軌道１２、及び分岐軌道１０に連結されており、搬送台車５０によって搬送されるＦＯＵＰ２０が搬入又は搬出される。なお、搬送台車５０は、各軌道（１０ 、１１ 、１２）を反時計回りの一方向に走行してＦＯＵＰ２０を搬送し、ストッカ１４、半導体製造装置６０との間で、搬出入口２１・２２や載置部２３を介してＦＯＵＰ２０の受け渡しを行う。

さらに、搬送システム１は、図２に示す工場全体の生産工程を管理するホストコンピュータ３０と、各ベイ１６内の各搬送台車５０によるＦＯＵＰ２０の搬送動作を制御する搬送コントローラ４０とを備えている。

以下、本実施形態に係る搬送システム１について詳しく説明する。なお、当該搬送システム１は、ベイ１６単位で適用されているものとして捉えることもでき、また、工場１００全体として搬送システム１が適用されているものとして捉えることもできる。

図２は、ベイ１６内の各装置とホストコンピュータ３０とを示した概略図である。ベイ１６は、ストッカ１４、半導体製造装置６０、搬送台車５０、主走行路１７と副走行路１８とを有する工程内軌道１２、ストッカ搬入口２１、ストッカ搬出口２２、半導体製造装置搬出入口（以下、「載置部」という）２３、及び搬送コントローラ４０を備えている。

ストッカ１４は複数のＦＯＵＰ２０（半導体ウェハが収納された荷物）を収納可能な保管手段であって、１つの搬送システム１につき１つ又は複数配置される。各ベイ１６に適用されている各搬送システム１においては、ストッカ１４が１つずつ配置されており、この各ストッカ１４に対して、ＦＯＵＰ２０の搬出入が行われる。なお、ストッカ１４は、必ずしも、各ベイ１６に１つずつ備えられているものでなくてもよい。ストッカ１４内では、図示しないクレーンによってＦＯＵＰ２０の移動が行われ、ストッカ１４内の各棚に収納される。

半導体製造装置（処理装置）６０は、ＦＯＵＰ２０に収納された未処理の半導体ウェハを処理する装置であって、工場全体の生産工程を管理するホストコンピュータ３０との間で、例えば有線で通信が行われている。図２では、１つの半導体製造装置６０のみ図示しているが、通常は、１つの搬送システム１につき複数配置される。そして、半導体ウェハの処理が終了すると、ウェハ処理の終了情報をホストコンピュータ３０に送信する。

搬送台車５０は、半導体製造装置６０で処理される前の未処理の半導体ウェハが収納されたＦＯＵＰ２０Ａ、又は半導体製造装置６０で処理された処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰ２０Ｂを搭載して搬送している。また、ＦＯＵＰ２０を搬送中であるかどうかをセンサ（図示せず）で常時検知している。なお、搬送台車５０は複数備えられており、工程間軌道１１及び各工程内軌道１２を移動して走行可能となっている。即ち、工場１００においては、複数のベイ１６にて、複数の搬送台車５０が共有されるものとして構成されている。搬送台車５０は、搬送コントローラ４０との間で、非接触で相互通信が行われ、搬送コントローラ４０から送信される指令に基づいて、搬送動作を行っている。また、搬送台車５０は、走行可能な各軌道（１０・１１・１２）を地図として記憶しており、工場１００内、さらにはベイ１６内のどこを走行しているか把握している。そして、常時、搬送コントローラ４０に対して現在位置とＦＯＵＰ２０を搬送中であるかどうかの情報を送信している。さらに、工程内軌道の各ポイントに設けられたバーコード２５・２６（後述する）を検知可能なセンサ（図示せず）も設けている。

工程内軌道１２は、主走行路１７と、主走行路か１７から分岐して再び主走行路１７に合流する分岐走行路１８とを有しており、例えば、工場１００の天井から吊り下げられるようにして取り付けられている。主走行路１７は、搬送台車５０が反時計回りの一方向に走行可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成している（図１では、各ベイ１６に１つの閉ループ軌道が形成されている場合を例示している）。分岐走行路１８は、ストッカ１４と半導体製造装置６０との間で、一又は複数の半導体製造装置６０に連結される載置部を回避したのち、搬送台車５０の走行方向で再び主走行路に合流している。即ち、分岐走行路１８を走行した搬送台車５０は、主走行路１７に合流したのち、主走行路１７を走行する搬送台車５０と同じ方向に走行する。また、分岐走行路１８が主走行路１７から分岐する分岐点１９には、分岐点であることを示すバーコード２５が設けられている。これにより、主走行路１７を走行してきた搬送台車５０が、そのまま主走行路１７を直進して走行するか、又は分岐走行路１８を走行するかを選択して切り換えることができるようになっている。なお、分岐走行路１８は、主走行路１７の閉ループよりも内側に配置されており、分岐点１９で主走行路１７を選択した場合の走行長さよりも分岐走行路１８を選択した場合の走行長さの方が短くなっている。即ち、分岐走行路１８は、主走行路１７のワープ走行路であると考えることができる。また、ストッカ搬出口２２と分岐点１９との間の所定の位置に、載置部２３まであと僅かであることを示すバーコード２６が配置されている。なお、このバーコード２６の配置場所は、搬送台車５０がストッカ搬出口２２に載置されるＦＯＵＰ２０Ａを搭載する位置から分岐点１９までの間であれば、場所は限られない。また、分岐走行路１８は、主走行路１７と同一の水平面内を走行するように設けられているが、必ずしもこのとおりでなくともよく、主走行路１７が走行する水平面よりも上方或いは下方を走行するように設けられているものであってもよい。

ストッカ搬入口２１とストッカ搬出口２２は、主走行路１７に対応してそれぞれ１つ以上設けられるとともにストッカ１４にそれぞれ連結されている。ストッカ搬入口２１には、搬送台車５０で搬送されたＦＯＵＰ２０Ｂが載置され、載置されたＦＯＵＰ２０Ｂが、ストッカ１４内に収納される。即ち、ストッカ搬入口２１は、ＦＯＵＰ２０Ｂがストッカ１４内に収納される際の搬入ポートとしての機能を果たすものである。また、ストッカ搬出口２２には、ストッカ１４内に収納されているＦＯＵＰ２０Ａが載置され、載置されたＦＯＵＰ２０Ａが、搬送台車５０によってストッカ１４から搬出されて、半導体製造装置６０まで搬送される。即ち、ストッカ搬出口２２は、ＦＯＵＰ２０Ａがストッカ１４から搬出される際の搬出ポートとしての機能を果たすものである。

載置部２３は、主走行路１７に対応して１つ設けられるとともに半導体製造装置６０に連結されている。載置部２３には、ストッカ１４から搬送台車５０で搬送されてきた未処理ウェハが収納されたＦＯＵＰ２０Ａが載置され、載置されたＦＯＵＰ２０Ａが、半導体製造装置６０に搬入される。そして、ＦＯＵＰ２０Ａに収納されている未処理ウェハの処理を行う。また、未処理ウェハの処理が終了すると、処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰ２０Ｂが載置部２３に載置され、載置されたＦＯＵＰ２０Ｂが、搬送台車５０に搭載されてストッカ１４まで搬送される。即ち、半導体製造装置搬出入２３は、ＦＯＵＰ２０Ａ・２０Ｂが半導体製造装置６０に搬入又は搬出される際の搬出入ポートとしての機能を果たすものである。

搬送台車５０からストッカ搬入口２１又は載置部２３に対してＦＯＵＰ２０を載置する場合は、先ず、搬送台車５０が、ストッカ搬入口２１又は載置部２３の直上まで移動してきて停止する。そして、搬送台車５０の把持機構（図示せず）に保持されたＦＯＵＰ２０を降下させる。また、ＦＯＵＰ２０の底面が、ストッカ搬入口２１又は載置部２３に接触したことを把持機構に装着されたセンサ（図示せず）で検知し、把持機構に保持されたＦＯＵＰ２０を開放して、ストッカ搬入口２１又は載置部２３への載置動作を完了する。載置動作が完了すると、把持機構は最上部まで巻き上げられ、搬送台車５０が走行可能な状態となる。

ストッカ搬出口２２又は載置部２３から搬送台車５０にＦＯＵＰ２０を搭載する場合は、先ず、搬送台車５０が、ストッカ搬出口２２又は載置部２３の直上まで移動してきて停止する。そして、搬送台車５０で搭載可能な位置まで移動されたＦＯＵＰ２０を、搬送台車５０の把持機構が降下して保持して巻き上げられることで、搬送台車５０への搭載動作が行われる。搬送台車５０へのＦＯＵＰ２０の搭載動作が完了すると、搬送台車５０は、走行を開始してＦＯＵＰ２０の搬送を行う。

搬送コントローラ（搬送制御手段）４０は、各ベイ１６に対応して１台配置されており、非接触で相互通信を行っている各搬送台車５０から、自搬送台車の現在位置及びＦＯＵＰ２０を搬送中であるかどうか等の搬送台車情報が常時送信される。かかる搬送台車情報に基づいて、各搬送台車５０の現在の状態を常時把握している。例えば、ＦＯＵＰ２０を搬送中であるとの搬送台車情報は、ＦＯＵＰ２０の処理要求を受けることができない（即ち、ＦＯＵＰ２０を搬送することができない）ことを意味し、ＦＯＵＰ２０を搬送中でないとの搬送台車情報は、ＦＯＵＰ２０の搬送要求を受けることができる（即ち、ＦＯＵＰ２０を搬送することができる）ことを意味する。なお、かかる搬送台車情報は、自搬送台車の現在位置及びＦＯＵＰ２０の搬送可否を判断することができる情報を含む情報であれば、情報の内容はこれに限定されるものではない。また、搬送コントローラ４０は、ホストコンピュータ３０との間で、例えば有線で通信が行われている。そして、ホストコンピュータ３０から、一の半導体製造装置６０に連結される載置部２３からＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理、及び当該半導体装置６０に連結される載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの支給処理の要求を受けると、各搬送台車５０から送信された搬送台車情報に基づいて、各搬送台車５０の搬送動作を制御する。

工場全体の生産工程を管理するホストコンピュータ３０は、工場１００に１台配置されている。そして、非接触通信が行われている各半導体製造装置６０からウェハ処理終了情報を受信すると、当該半導体製造装置６０が配置されるベイ１６に備えられた搬送コントローラ４０に対して、当該半導体製造装置６０に連結される載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂの回収と、当該載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの支給とを略同時に要求する。

次に、ホストコンピュータ３０、搬送コントローラ４０、搬送台車５０、及び半導体製造装置６０の制御構成について、図３を用いて説明する。ここで、図３は、ホストコンピュータ３０、搬送コントローラ４０、搬送台車５０、及び半導体製造装置６０の構成を示すブロック図である。なお、点線で囲んだ領域が、複数の搬送台車５０や半導体製造装置６０を備えるベイ１６を示している。

半導体製造装置６０は、制御装置６１、処理部６２、通信Ｉ／Ｆ６３を備えている。処理部６２によるウエハ処理が終了すると、制御部６１は、ウェハ処理の終了情報を、通信Ｉ／Ｆ６３を介してホストコンピュータ３０に送信する。

ホストコンピュータ（要求手段）３０は、制御装置３１、コントローラ通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）３２、処理装置Ｉ／Ｆ３３を備えている。制御装置３１は、処理装置Ｉ／Ｆ３３を介して半導体製造装置６０から受信した情報に基づき、コントローラ通信Ｉ／Ｆ３２を介して該当するベイ１６の搬送コントローラ４０に対してＦＯＵＰ２０Ａ・２０Ｂの搬送要求を送信する。

搬送コントローラ４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４１、ＲＯＭ（Read Only Memory）４２、ＲＡＭ（Random Access Memory）４３、ホスト通信Ｉ／Ｆ４４、台車通信Ｉ／Ｆ４５を備えており、これらは、図示しないバスを介して相互に接続されている。ＲＯＭ４２は、読み出し専用の記憶装置であって、搬送コントローラ４０での処理を行うために用いられる各種プログラムが格納されている。ＣＰＵ４１は、受信した信号やＲＯＭ４２内の各種プログラム等に基づいて各種演算及び処理を行う。ＲＡＭ４３は、読み出し・書き込み可能な揮発性記憶装置であって、ＣＰＵ４１での各種演算結果等が記憶される。また、各搬送台車５０との間で、台車通信Ｉ／Ｆを介して情報の送受信を行ったり、指令を送信したりしている。

搬送台車５０は、制御装置５１、駆動装置５２、及び通信Ｉ／Ｆ５３を備えている。制御装置５１は、図示しないがＣＰＵとＲＯＭを有しており、ＲＯＭには走行可能な軌道１０・１１・１２が地図として記憶されており、ＣＰＵは現在位置やＦＯＵＰ２０を搬送中であるかどうか等の情報を通信Ｉ／Ｆ５３を介して搬送コントローラ４０に常時送信している。また、制御装置５１は、通信Ｉ／Ｆを介して搬送コントローラ４０から送信された指令に基づいて、搬送台車５０の駆動装置５２を駆動させる。即ち、各搬送台車５０は、搬送コントローラ４０から搬送動作を制御されている。

次に、搬送システム１において、半導体製造装置６０に連結される載置部２３に載置される処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理、及び未処理ウェハが収納されたＦＯＵＰ２０Ａの当該載置部２３への支給処理の手順について、第１の実施形態に係る処理を図４乃至図６に基づいて説明する。なお、以下の説明例は、あくまでかかる処理手順の一例を示したものであり、この例に限らず、種々の組み合わせによる手順に基づいて搬出入処理を行うことができる。

第１の実施形態における搬出入処理は、以下の手順に従って行われる（図４〜図１０参照）。なお、以下に説明する手順の前提として、搬送コントローラ４０と各搬送台車５０とが常時通信を行っている。そして、搬送コントローラ４０は、各搬送台車５０の現在位置や搬送中であるかどうかなど、現在位置及び搬送可否に関わる情報を含む搬送台車情報を、常時、各搬送台車５０から取得している。

（半導体製造装置とホストコンピュータとの通信処理）
図７は、半導体製造装置６０とホストコンピュータ３０との通信処理のフローを示した図であって、（ａ）が半導体製造装置６０の制御フロー、（ｂ）がホストコンピュータ３０の制御フローである。半導体製造装置６０は、ＦＯＵＰ２０Ａに収納された未処理ウェハの処理を行う（Ｓ６０１）。未処理ウェハの処理を終了すると、ホストコンピュータ３０にウェハ処理終了情報を送信する（Ｓ６０２）。ホストコンピュータ３０は、半導体製造装置６０からウェハ処理情報の受信待ちを行っている（Ｓ３０１）。かかる情報を受信したとき、該当するベイ１６の搬送コントローラ４０に指令１及び指令２の要求を略同時に送信する（Ｓ３０２）。

なお、ここで、「指令１」は、情報送信元の半導体製造装置６０に連結される載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理の指令であり、指令２は、情報送信元の半導体製造装置６０に連結される載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの支給処理の指令である。

また、「回収処理」とは、半導体製造装置６０に連結される載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂを載置部２３から運び出すための一連の処理をいう。即ち、回収処理を実行する搬送台車５０が回収処理の指令を受けてから、載置部２３から回収したＦＯＵＰ２０Ｂをストッカ１４など他の装置の載置部（搬入口）への載置処理が終了するまでの処理を意味する。具体的には、回収処理の指令を受けた搬送台車５０が、半導体製造装置５０に連結される載置部２３に向かう走行処理、当該載置部２３に到着したのちＦＯＵＰ２０Ｂを搭載するための処理、ＦＯＵＰ２０Ｂを搭載したのちストッカ１４など次の装置に連結される載置部（搬入口）まで搬送する処理、及びストッカ１４など次の装置に到着したのちＦＯＵＰ２０Ｂを次の装置に連結される載置部（搬入口）に載置する処理などの一連の処理を意味する。

また、「支給処理」とは、半導体製造装置６０に連結される載置部２３にＦＯＵＰ２０Ａを載置するための一連の処理をいう。即ち、支給処理を実行する搬送台車５０が支給処理の指令を受けてから、ストッカ１４など他の装置から搬出されたＦＯＵＰ２０Ａを搭載して、ＦＯＵＰ２０Ａを半導体製造装置６０に連結される載置部２３への載置処理が終了するまでの処理を意味する。具体的には、支給処理の指令を受けた搬送台車５０が、ストッカ１４など他の装置に連結される搬出口に向かう走行処理、当該搬出口に到着したのちＦＯＵＰ２０Ａを搭載するための処理、ＦＯＵＰ２０Ａを搭載したのち半導体製造装置６０に連結される載置部２３まで搬送する処理、及び載置部２３に到着したのちＦＯＵＰ２０Ａを載置部に載置する処理などの一連の処理を意味する。

（搬送コントローラの制御フロー）
図８は、搬送コントローラ４０の制御フローを示した図である。搬送コントローラ４０は、ホストコンピュータ３０からの指令１及び指令２の受信待ちを行っている（Ｓ４０１）。指令１及び指令２を受信すると、ベイ１６内を走行中の各搬送台車５０の状態を確認する（Ｓ４０２）。具体的には、現在ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０を特定し、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない各搬送台車５０の現在位置を確認する。このとき、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０が２台以上あるかどうかの確認も行う（Ｓ４０３）。

ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０が２台以上あるときのフローを説明する（図４と図８参照）。搬送コントローラ４０は、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０Ａ・５０Ｂ・５０Ｃのなかから最も目的地（載置部）２３に近い搬送台車５０Ａを回収台車、次に近い搬送台車５０Ｂを支給台車に決定する（Ｓ４０４）。そして、回収台車５０Ａに指令１を、支給台車５０Ｂに指令２を送信する（Ｓ４０５，Ｓ４０６）。かかる指令を送信したのち、回収台車５０ＡからＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理が終了したことを示す情報の受信待ちを行う（Ｓ４０７）とともに、支給台車５０Ｂから搬送動作指令要求の受信待ちを行う（Ｓ４０８、Ｓ４０９）。ここで、支給台車５０Ｂからの搬送動作指令要求とは、支給台車５０Ｂが目的地２３に近づいたときに、指令２のうちの一部の処理である「載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理」をそのまま実行してよいかどうかの確認、さらに具体的にいえば、主走行路１７を走行すべきか分岐走行路１８を走行すべきかの確認を求める要求である。ＦＯＵＰ２０Ｂが載置部２３に載置されていると、支給台車５０ＢがＦＯＵＰ２０Ａを載置することができないからである。そして、支給台車５０Ｂから搬送台車要求を受信したときに、既に回収台車５０ＡからＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理が終了したことを示す情報を受信していれば、支給台車５０Ｂに主走行路１７の走行指令を送信する（Ｓ４１０）。その後、指令１と指令２の処理終了確認を行い（Ｓ４１１，Ｓ４１２）、一連の処理を終了する。一方、支給台車５０Ｂから搬送動作指令要求を受信したときに、未だ回収台車５０ＡからＦＯＵＰ２０Ａの搭載処理が終了したことを示す情報を受信していなければ、支給台車５０Ｂに分岐走行路１８の走行指令を送信し（Ｓ４２３）、Ｓ４０７に戻って、前述の処理を繰り返す。

このように、搬送コントローラ４０が支給台車に指令２を送信すると、指令２を受けた支給台車は一連の支給処理に入るものの、載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を行うかどうかまでは、この時点では確定していない。即ち、指令２を受けてＦＯＵＰ２０Ａを搬送中の支給台車が載置部２３まであと僅かな位置にきたときに、ＦＯＵＰ２０Ｂが既に回収されていれば主走行路１７を走行して載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を行い、ＦＯＵＰ２０Ｂが未だ回収されていなければ分岐走行路１８を走行して載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を一時的に見送る。そして、載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を一時的に見送った支給台車が、再び、載置部２３まであと僅かな位置にきたときに、ＦＯＵＰ２０Ｂが回収されていれば載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を行い、ＦＯＵＰ２０Ｂが未だ回収されていなければ載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を再度見送る。言い換えれば、搬送コントローラ４０は、指令２を受けてＦＯＵＰ２０Ａを搬送中の支給台車が載置部２３まであと僅かな位置にきたとき、ＦＯＵＰ２０Ｂが回収されていなければ、ＦＯＵＰ２０Ｂが回収されるまで、分岐走行路１８を走行するように支給台車に指令する。

なお、第１の実施形態では、各搬送台車５０から取得した現在位置及び搬送可否に関わる情報に基づいて、搬送コントローラ４０が指令１及び指令２を送信する搬送台車（即ち、回収台車と支給台車）を決定していたが、これに限られるものではない。例えば、搬送コントローラ４０が、指令１又は指令２を搬送台車５０に送信したのち、かかる指令の終了を搬送台車５０から受信していなければ、搬送中（即ち、搬送不可）であると判断するようにしてもよい。

このように、搬送コントローラ４０は、各搬送台車５０の現在位置と搬送可否情報を取得し、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０Ａ・５０Ｂ・５０Ｃのなかから最も目的地２３に近い搬送台車５０Ａに指令１を、次に目的地２３に近い搬送台車５０Ｂに指令２を送信する。こうすることで、載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂを迅速に回収することができるとともに、ＦＯＵＰ２０Ｂが回収されたのち、すぐにＦＯＵＰ２０Ａを支給することが可能となる。また、支給台車５０Ｂが目的地である載置部２３に近づいたとき、支給台車５０Ｂから搬送コントローラ４０に、載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を実行してよいかどうかの確認を求めている。したがって、載置部２３にＦＯＵＰ２０Ｂが載置されていれば、搬送コントローラ４０は、載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を見送るように指令を送信することができる。よって、ＦＯＵＰ２０Ｂの回収後にＦＯＵＰ２０Ａの支給を行うという順序を守ることもできる。

次に、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０が１台であるときのフローを説明する（図５と図８参照）。先ず、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０が２台未満のときは、１台であるかどうかを確認する（Ｓ４１３）。ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０が、搬送台車５０Ａの１台のみのとき、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０Ａを回収台車に決定する（Ｓ４１４）。そして、搬送台車５０Ａに指令１を送信する（Ｓ４１５）。そののち、他の搬送台車５０Ｂ・５０Ｃ・５０Ｄ・５０Ｅの搬送動作の終了待ちを行う（Ｓ４１６）。ここで、搬送台車５０Ｃが他の搬送台車５０Ｂ・５０Ｄ・５０Ｅに先立って最初に搬送動作が終了したとすると、搬送台車５０Ｃを支給台車に決定する（Ｓ４１７）。そして、Ｓ４０６にジャンプして、支給台車である搬送台車５０Ｃに指令２を送信する（Ｓ４０６）。それ以降の処理は前述のとおりである。

このような搬送システム１では、複数の搬送台車５０でＦＯＵＰ２０を搬送しているものの、搬送中でない搬送台車が必ずしも２台あるとは限らず、１台しか走行していない場合もあり得る。かかる場合には、当然のことながらＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理の指令とＦＯＵＰ２０Ａの支給処理の指令とを略同時に行うことはできないため、半導体製造装置６０で待ち時間が生じてしまう可能性がある。そこで、この待ち時間を最小限に抑える必要がある。第１の実施形態によれば、先ず、搬送可能である搬送台車５０Ａに対して、載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理を指令している。そして、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車５０Ｃに対して、すぐにＦＯＵＰ２０Ａの支給処理を指令している。こうすることで、可能な限りの迅速な処理を実現している。

次に、ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０が０台のときのフローを説明する（図６と図８参照）。各搬送台車５０の搬送動作の終了待ちを行う（Ｓ４１８）。ここで、搬送台車５０Ａが他の搬送台車に先立って最初に搬送動作が終了したとすると、搬送台車５０Ａを回収台車に決定する（Ｓ４１９）。そして、回収台車である搬送台車５０Ａに指令１を送信する（Ｓ４２０）。そして、他の搬送台車５０Ｂ・５０Ｃ・５０Ｄ・５０Ｅの搬送動作の終了待ちを行う（Ｓ４２１）。ここで、搬送台車５０Ｂが他の搬送台車５０Ｃ・５０Ｄ・５０Ｅに先立って最初に搬送動作が終了したとすると、搬送台車５０Ｂを支給台車に決定する（Ｓ４２２）。そして、Ｓ４０６にジャンプして、支給台車である搬送台車５０Ｂに指令２を送信し（Ｓ４０６）、回収台車５０ＡからＦＯＵＰ２０Ｂの載置処理が終了したことを示す情報の受信確認を行う（Ｓ４０７）。それ以降の処理は前述のとおりである。

このように、搬送中でない搬送台車が０台であっても、最初に荷物の搬送が可能となった搬送台車５０Ａに、先ず、載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂの回収を実行させている。そして、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車５０ＢにすぐにＦＯＵＰ２０Ａの支給を実行させている。こうすることで、可能な限りの迅速な処理を実現している。

（回収台車の制御フロー）
次に、指令１を受信した回収台車のフローについて、図９を用いて説明する。なお、ここでは搬送台車５０Ａを回収台車とする。ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０Ａは、指令１又は指令２の受信確認を行っている（Ｓ５０１）。ここでは、回収台車の制御フローについて説明するので、指令１を受信することを前提とする。指令１を受信すると、目的地２３に向かって走行し、載置されるＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理に入る。なお、搬送中でなく、且つ何らの指令をも受信していない搬送台車は、分岐点１９を検知すると（Ｓ５０７）、主走行路１７を選択して走行する（Ｓ５０８）。そして、回収台車５０Ａが目的地である載置部２３に到着すると、載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理を行う（Ｓ５０２）。ここで「搭載処理」とは、回収処理の下位概念であって、回収台車５０Ａが載置部２３に載置されているＦＯＵＰ２０Ｂを搭載するための処理を意味する。かかる搭載処理が終了すると、搬送コントローラ４０に、ＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理終了を送信する（Ｓ５０３）。これは、載置部２３からＦＯＵＰ２０Ｂが回収されたことを意味する。なお、ここで「回収」とは、回収処理とは異なる概念であって、回収処理の指令を受けた搬送台車５０Ａが、半導体製造装置６０に連結される載置部２３に載置されるＦＯＵＰ２０Ｂを搭載することを意味する。ただし、ＦＯＵＰ２０Ｂを搭載したのちストッカ１４（又は次の装置）まで搬送する処理、及びストッカ１４に到着したのちＦＯＵＰ２０Ｂをストッカ搬入口２１に載置する処理のうち、いずれか一の処理を意味すると捉えることもできる。その後、搭載したＦＯＵＰ２０Ｂをストッカ搬入口２１まで搬送する（Ｓ５０４）。ストッカ搬入口２１に到着すると、ＦＯＵＰ２０Ｂをストッカ搬入口２１への載置処理を行う（Ｓ５０５）。かかる載置処理が終了すると、搬送コントローラ４０に指令１の実行終了を送信する（Ｓ５０６）。このように一連の処理が終了すると、次の指令待ちを行う。

なお、回収台車５０Ａから搬送コントローラ４０への送信は、ＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理が終了したときに限られない。例えば、ＦＯＵＰ２０Ｂを搭載して回収台車５０Ａが走行を開始したとき、回収台車５０Ａがストッカ１４に到着したときなど、少なくとも回収台車がＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理を終了したのちであればいつでもよい。ただし、ＦＯＵＰ２０Ｂを回収後すぐにＦＯＵＰ２０Ａを支給するためには、回収台車５０Ａが、ＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理を終了したときに搬送コントローラ４０にＦＯＵＰ２０Ｂの搭載処理終了を送信することが好ましい。

（支給台車の制御フロー）
次に、指令２を受信した支給台車のフローについて、図１０を用いて説明する。なお、ここでは搬送台車５０Ｂを支給台車とする。ＦＯＵＰ２０を搬送中でない搬送台車５０Ｂは、指令１又は指令２の受信確認を行っている（Ｓ５５１）。ここでは、支給台車の制御フローについて説明するので、指令２を受信することを前提とする。指令２を受信すると、ストッカ搬出口２２に向かって走行し、ＦＯＵＰ２０Ａの支給処理に入る。ストッカ搬出口２２に到着すると、かかる搬出口２２に載置されるＦＯＵＰ２０Ａの搭載処理を行う（Ｓ５５２）。かかる搭載処理が終了すると、目的地である載置部２３に向かって走行する。なお、搬送中でなく、且つ何らの指令をも受信していない搬送台車５０は、分岐点１９を検知すると（Ｓ５６３）、主走行路１７を選択して走行する（Ｓ５６４）。そして、指令２を受信し、ＦＯＵＰ２０Ａを搬送中の支給台車５０Ｂは、目的地２３まで僅かであることを示すバーコード２６の検知確認を行う（Ｓ５５３）。そして、バーコード２６を検知すると、搬送コントローラ４０に搬送動作指令の要求を行い（Ｓ５５４）、搬送コントローラ４０からの搬送動作指令の受信待ちを行う（Ｓ５５５）。そして、搬送コントローラ４０から、主走行路１７の走行指令を受けると（Ｓ５５６）、分岐点を示すバーコード２５の検知待ちを行い（Ｓ５５７）、バーコード２５を検知すると主走行路を選択して走行する（Ｓ５５８）。そして、載置部２３にＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を行う（Ｓ５５９）。かかる載置処理が終了すると、搬送コントローラ４０に指令２の終了を送信する（Ｓ５６０）。このように一連の処理が終了すると、次の指令待ちを行う。一方、Ｓ５５６で搬送コントローラ４０から、分岐走行路１８の走行指令を受信すると、分岐点を示すバーコード２５を検知待ちを行い（Ｓ５６１）、バーコード２５を検知すると分岐走行路１８を選択して走行する（Ｓ５６２）。そしてＳ５５３にジャンプし、再び主走行路１７に合流して、主走行路１７を走行しながら、載置部まで僅かであることを示すバーコード２６の検出待ちを行う（Ｓ５５３）。

このように、搬送コントローラ４０から指令１又は指令２を受けた搬送台車５０が、確実に指令を実行することで、載置部２３からのＦＯＵＰ２０Ｂの回収処理と、載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの支給処理とを、迅速に実行することができる。また、指令２を受けた支給台車が、載置部２３まで僅かであることを示すバーコード２６を検知したときに、搬送コントローラ４０に対して搬送動作指令の要求を行う。それに対して、搬送コントローラ４０は、載置部２３からＦＯＵＰ２０Ｂが回収されていなければ、分岐走行路１８を走行するように支給台車に送信しているので、載置部２３からＦＯＵＰ２０Ｂが回収されたのち、載置部２３にＦＯＵＰ２０Ａを支給するという順序を守ることができる。また、分岐走行路１８を走行することによって、主走行路１７を走行する場合よりも短時間で周回することができるので、載置部２３からＦＯＵＰ２０Ｂが回収されてから載置部２３にＦＯＵＰ２０Ａが支給されるまでの待ち時間を、極力小さくすることが可能となる。

なお、第１の実施形態では、搬送コントローラ４０から支給台車に、主走行路１７又は分岐走行路１８の走行指令を送信していたが、これに限られるものではない。例えば、搬送コントローラ４０から支給台車への主走行路１７又は分岐走行路１８への走行指令は、載置部２３への載置処理の実行指令又は見送り指令であって、かかる指令を受けた支給台車が、受けた指令に基づいて主走行路１７又は分岐走行路１８のいずれを走行するかを判断するようにしてもよい。

また、載置部２３からのＦＯＵＰ２０Ｂの回収と、載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの支給とを迅速に実行し、且つＦＯＵＰ２０Ｂの回収とＦＯＵＰ２０Ａの支給の順序を守るための実施形態はこれに限られない。例えば、以下に説明する第２の実施形態であってもよい。

第２の実施形態が第１の実施形態と異なる点は、支給台車による載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を一時的に行わない態様である。即ち、第１の実施形態では、指令２を受けてＦＯＵＰ２０Ａを搬送中の支給台車が載置部２３まで僅かであることを示すバーコード２６を検知したとき、ＦＯＵＰ２０Ｂがまだ回収されていなければ、分岐走行路１８を走行するようにした（Ｓ５６２）。一方、第２の実施形態では、指令２を受けてＦＯＵＰ２０Ａを搬送中の支給台車が載置部２３まで僅かであることを示すバーコード２６を検知したとき、ＦＯＵＰ２０Ｂがまだ回収されていなければ、載置部２３でＦＯＵＰ２０Ａを載置せずにそのまま通過する。具体的には、Ｓ４０８又はＳ４０９で支給台車から搬送動作指令の要求を受信した搬送コントローラ４０は、ＦＯＵＰ２０Ｂが回収されていれば、支給台車に載置部２３への載置処理実行指令を送信し、ＦＯＵＰ２０Ａが回収されていなければ、支給台車に載置部２３への載置処理見送り指令を送信する。そして、支給台車が載置実行指令を受信したときは、載置部２３に到着すると載置部２３へのＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を実行し、載置処理見送り指令を受信したときは、載置部２３でＦＯＵＰ２０Ａの載置処理を行わずにそのまま通過する。なお、かかる場合には、載置部２３まであと僅かであることを示すバーコード２６は、ストッカ搬出口２２と分岐点１９との間の所定の位置に限られず、ストッカ搬出口２２から載置部２３までの間であれば、どの位置に配置されていてもよい。

このような第２の実施形態であっても、載置部２３からのＦＯＵＰ２０Ｂの回収と、載置部２３へのＦＯＵＰ２３Ａの支給とを迅速に実行できるとともに、ＦＯＵＰ２０Ｂを回収したのちにＦＯＵＰ２０Ａを支給するという順序を守ることもでき、本発明における課題を解決することが可能であると考えられる。

尚、本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることができることは理解されよう。

本発明の好適な実施の形態に係る搬送システムが適用された工場を例示したレイアウト図である。 ベイ内の各装置とホストコンピュータとを示した概略図である。 ホストコンピュータ、搬送コントローラ、搬送台車、及び半導体製造装置の構成を示すブロック図である。 ＦＯＵＰを搬送中でない搬送台車が２台以上ある場合におけるベイ内の各装置を示した概略図である。 ＦＯＵＰを搬送中でない搬送台車が１台である場合におけるベイ内の各装置を示した概略図である。 ＦＯＵＰを搬送中でない搬送台車が０台である場合におけるベイ内の各装置を示した概略図である。 半導体製造装置とホストコンピュータとの通信処理のフローを示した図であって、（ａ）が半導体製造装置の制御フロー、（ｂ）がホストコンピュータの制御フローである。 搬送コントローラの制御フローを示した図である。 指令１を受信した回収台車のフローを示した図である。 指令２を受信した支給台車のフローを示した図である。

符号の説明

１ 搬送システム
１０ 連結軌道
１１ 工程間軌道
１２ 工程内軌道
１４ ストッカ
１６ ベイ
１７ 主走行路
１８ 分岐走行路
１９ 分岐点
２０ ＦＯＵＰ
２０Ａ 未処理ウェハが収納されたＦＯＵＰ
２０Ｂ 処理済みウェハが収納されたＦＯＵＰ
２１ ストッカ搬入口
２２ ストッカ搬出口
２３ 半導体製造装置に連結される載置部
２５ 分岐点を示すバーコード
２６ 載置部まで僅かであることを示すバーコード
３０ ホストコンピュータ
３１ 制御装置
３２ コントローラ通信Ｉ／Ｆ
３３ 処理装置Ｉ／Ｆ
４０ 搬送コントローラ
４１ ＣＰＵ
４２ ＲＯＭ
４３ ＲＡＭ
４４ ホスト通信Ｉ／Ｆ
４５ 台車通信Ｉ／Ｆ
５０ 搬送台車
５１ 制御装置
５２ 駆動装置
５３ 通信Ｉ／Ｆ
６０ 半導体製造装置
６１ 制御装置
６２ 処理部

Claims (5)

1. 処理装置で処理された処理済み荷物の回収が行われたのち、前記処理装置で処理される未処理荷物の支給が行われる搬送システムであって、
   前記処理済み荷物又は未処理荷物を搭載して搬送する複数の搬送台車と、
   前記搬送台車が一方向に走行移動可能であって、少なくとも１つの閉ループの軌道を形成する主走行路と、
   前記主走行路に対応して設けられるとともに一つの処理装置に対して一つ連結され、前記未処理荷物又は処理済み荷物が載置される載置部と、
   前記搬送台車と通信を行い、前記搬送台車から現在位置及び搬送可否に関わる情報を含む搬送台車情報を取得する搬送制御手段と、
   前記載置部への未処理荷物の支給処理及び前記載置部からの処理済み荷物の回収処理を略同時に前記搬送台車制御手段に要求する要求手段と、を備え、
   前記搬送台車制御手段は、前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車のうち前記載置部に最も早く到着する一の搬送台車に前記処理済み荷物の回収処理を指令し、他の搬送台車に前記未処理荷物の支給処理を指令するとともに、前記他の搬送台車が前記未処理荷物を搭載する位置から前記載置部までの所定位置にあるとき、前記載置部から処理済み荷物が回収されていなければ、前記載置部への未処理荷物の載置処理を一時的に行わないように指令することを特徴とする搬送システム。
2. 前記搬送台車が走行可能であって、前記主走行路から分岐して前記処理装置を回避したのち前記主走行路に合流する分岐走行路をさらに備え、
   前記他の搬送台車への前記載置部への未処理荷物の載置処理を一時的に行わない指令が、前記分岐走行路の走行を指令するものであることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記搬送台車制御手段が前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車が２台以上であれば、前記一の搬送台車に対する処理済み荷物の回収処理の指令と、前記他の搬送台車に対する未処理荷物の支給処理の指令とを、略同時に行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
4. 前記搬送台車制御手段が前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車が１台であれば、前記荷物の搬送が可能な搬送台車に前記処理済み荷物の回収処理を指令し、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車に前記未処理荷物の支給処理を指令することを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
5. 前記搬送台車制御手段が前記要求手段からの要求を受けたとき、荷物の搬送が可能な搬送台車が０台であれば、最初に荷物の搬送が可能となった搬送台車に前記処理済み荷物の回収処理を指令し、のちに荷物の搬送が可能となった他の搬送台車に前記未処理荷物の支給処理を指令することを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。

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