JP2006290542A - 搬送システムおよび搬送制御方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】搬送能力の向上及び搬送時間を短縮すると共に、自動保管庫内の製品在庫の削減と自動保管庫の設置台数を削減することを可能にする。
【解決手段】 複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器10を自動搬送させるための天井軌道走行レール1と、天井軌道走行レール1を走行して収納容器10を移載するホイストを備えた複数の搬送台車2と、搬送台車2から受け渡された収納容器10を移動させるコンベア3と、コンベア3と製品の処理を行う生産装置7前に設置されたロードポート9との間で収納容器10の移載を行う移載機4と、天井軌道走行レール1と連結し、搬送台車2により搬送された収納容器10を格納する自動保管庫5と、天井軌道レール1と生産装置7の間に設置され搬送台車2で搬送された収納容器10を仮置きするための仮置き棚6とからなる。この構成により搬送時間を短縮することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体製造ラインにおける製品の搬送に関し、特に製品を効率良く搬送させると共に在庫を削減させるための搬送システムおよび搬送制御方法に関するものである。
近年、半導体集積回路装置の高集積化、高機能化及び高速化に伴って製品の工程回数が増加してきている。それに伴い製品が工程間を行き来する搬送回数も増加してきており、製品のリードタイムの短縮や生産装置の生産性を向上させるための手段として、工場全体をホイストを備えた搬送台車で行う技術が提案されている。
しかしながら、ホイストを備えた搬送台車は、掬い上げ式の移載装置に比べて移載時間が掛かるため、全てホイストを備えた搬送台車による工程間搬送を行なう場合、自動保管庫への移載に時間が掛かるという短所がある。そこで、工程間搬送と工程内搬送とを備え、移載時間をできるだけ短くするため、掬い上げ式の移載装置を備えた自動保管庫と、ホイストを備えた搬送台車と、搬送台車で搬送される物品がホイストを備えた搬送台車により移載される処理装置と、搬送台車が走行するレールとを備え、搬送台車には、搬送される物品の下方に配置され、物品の両側から水平方向内側へ突出して、該物品を支持可能な一対の落下防止片が設けられ、落下防止片に支持された物品と搬送台車における物品収納スペースの上端との間には前記移載装置により物品を掬い上げることができるだけの間隔を設ける事により、工程間搬送の自動保管庫での移載時間を短縮するという技術が提案されている。
このような従来技術として特許文献1がある。
特開2003-171081号公報
しかしながら、ホイストを備えた搬送台車から自動保管庫の移載機で収納容器を掬い上げる方法では、一旦自動保管庫を経由する為、自動保管庫の稼動負荷が高まり、自動保管庫の能力がネックとなり、搬送能力に限界が生じると共に、自動保管庫内の製品在庫を削減できないという問題があった。
したがって、本発明の目的は、前記に鑑み、上記の様な課題を解決するためになされたものであり、収納容器の搬送において、自動保管庫を経由せずに効率的に生産装置に搬送させると事により、搬送能力の向上と搬送時間の短縮を実現すると共に、自動保管庫内の製品在庫を削減する事を可能とする搬送システムおよび搬送制御方法を提供することである。
前記の目的を達成するため、本発明の請求項1記載の搬送システムは、複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器を自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記天井軌道走行レールを走行して前記収納容器を移載するホイストを備えた複数の搬送台車と、前記搬送台車から受け渡された前記収納容器を移動させるコンベアと、前記コンベアと前記製品の処理を行う生産装置前に設置されたロードポートとの間で前記収納容器の移載を行う移載機と、前記天井軌道走行レールと連結し、前記搬送台車により搬送された前記収納容器を格納する自動保管庫と、前記天井軌道レールと前記生産装置の間に設置され前記搬送台車で搬送された収納容器を仮置きするための仮置き棚とからなる。
この様に、前記天井軌道走行レール下を走行するホイストを備えた複数の搬送台車と、収納容器を移動させるコンベア、および収納容器を仮置きするための仮置き棚を組み合わせた搬送システムを構成する事により、自動保管庫を経由せずに効率的に工程内への搬送が行なえると共にコンベアや仮置き棚に収納容器を在庫させる事ができる様になるので、搬送能力の向上と搬送時間の短縮を実現する事が可能となる。また、自動保管庫内の在庫の削減及び自動保管庫の台数の削減を実現する事が可能となる。
請求項2記載の搬送システムは、請求項1記載の搬送システムにおいて、前記仮置き棚は、投入回収用の投入回収用置き棚と、次に処理する製品を仮置きする予備置き棚とを備え、前記投入回収用置き棚は、搬送台車が生産装置のロードポートへ収納容器を移載するときに開く開閉機構を備え、前記予備置き棚は、収納容器を前記投入回収用置き棚に移動させる昇降移載機を備える。
この場合、生産装置のロードポート上に仮置き棚を設置できるため、仮置き棚が多数設置できるようになり、その分自動保管庫に格納する収納容器の数量を削減でき、自動保管庫の台数も削減する事がきる。また、ホイストを備えた搬送台車が生産装置前のロードポート上で仮置き棚により収納容器を移載できるので、搬送時間を短縮する事ができる様になる。
請求項3記載の搬送システムは、請求項1記載の搬送システムにおいて、前記天井軌道レールは、工程間搬送を行うための工程間搬送レールと、工程内を搬送するための工程内搬送レールと、他の搬送機器や仮置き棚に受け渡しを行うための移載用レールとからなり、前記工程内搬送レールの一部は、前記複数の搬送台車が前後に走行可能とした。
同一工程内に検査装置等が複数ある場合、連続で隣に設置された検査装置で検査処理を行なう事が多く、しかも処理時間が短い事から、検査装置のある工程内における要求搬送量は多く、しかも効率化を要求される。そこで、検査装置から同工程内の次工程の検査装置に搬送する際に、複数の搬送台車を前後に走行させる事により、天井軌道レールを周回する事無く移動できるので、搬送能力の向上と搬送時間を短縮する事ができる様になる。
請求項4記載の搬送システムは、請求項1記載の搬送システムにおいて、前記天井軌道走行レールを走行する複数の搬送台車の搬送を制御する搬送台車制御装置と、前記コンベアと前記移載機の制御を行うコンベア制御装置と、前記自動保管庫を制御する自動保管庫制御装置と、前記仮置き棚を制御する仮置き棚制御装置と、前記収納容器の搬送経路を決定すると共に、前記搬送台車の搬送完了時間を予測し、各制御装置に搬送指示を出す搬送制御装置と、生産装置を制御し製品の処理終了時間を予測する生産装置制御装置と、次に処理する製品を決定し最適な生産装置に引き当てを行う製品引き当て装置と、前記生産装置制御装置と前記製品引き当て装置からの情報に基づいて前記搬送制御装置に搬送先を指示する生産進捗管理装置とを備えた。
この場合、生産装置制御装置と搬送制御装置により、製品の処理終了時間と搬送到着時間が予測でき、各制御装置間で搬送指示の伝達が行なえる様になるため、生産装置での製品の処理終了時間に合わせて、次に処理する製品を生産装置へ搬送する事ができる様になり、製品のリードタイムを短縮する事が可能となる。
請求項5記載の搬送制御方法は、複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器を自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記天井軌道走行レールを走行して前記製品の処理を行う生産装置に前記収納容器を搬送する複数の搬送台車と、前記天井軌道走行レールと連結し、前記搬送台車により搬送された前記収納容器を格納する自動保管庫とを備えた搬送システムを用いた搬送制御方法であって、前記生産装置における製品の処理終了時間を予測し、次に処理する製品を決定し最適な生産装置に引き当てを行い、前記生産装置への前記収納容器の搬送経路を決定すると共に、前記搬送台車の搬送完了時間を予測して前記自動保管庫を経由せずに前記搬送台車を搬送する。
この場合、製品の処理終了時間と搬送到着時間が予測でき、生産装置での製品の処理終了時間に合わせて、次に処理する製品を生産装置へ搬送する事ができる様になり、製品のリードタイムを短縮する事が可能となる。
本発明に係る半導体製造ラインにおける製品の搬送に関して、自動保管庫を経由せずに生産装置に製品を効率良く搬送できる様になるため、搬送能力の向上と搬送時間を短縮ができると共に、自動保管庫内での製品の在庫数及び自動保管庫の設置台数を削減する事ができる。
以下、本発明の実施形態における搬送システムついて、図1〜図5に基づいて説明する。
図1及び図5を参照にして、簡単に基本的な搬送作業について説明する。
図1は、本発明の実施形態における複合搬送システムを示す平面図である。1は複数の半導体ウェハからなる製品を格納するウェハキャリアを収納する収納容器10を自動搬送させるための天井軌道走行レールである。2はホイストを備えた複数の搬送台車で天井軌道レール1の下部を走行する。天井軌道レール1はその用途により分類され、1aは工程間搬送を行なうための天井軌道レール(工程間搬送レール)Aで、1bは検査装置8の工程内の搬送を行なう天井軌道レール(工程内搬送レール)Bで、1cは搬送台車2と他の搬送機器であるコンベア3間で収納容器10の受け渡しを行なうための天井軌道レール(移載用レール)Cで、1dは仮置き棚6へ搬送移載する為の天井軌道レール(移載用レール)Dである。
コンベア3は収納容器10を在庫させると共に工程内の生産装置7上を周回させる。
4はコンベア3と生産装置7の前面に設置されたロードポート9との間で収納容器10の移載を行なう移載機で、移載機用レール4aの下面を走行する。移載機4は前後に走行可能で昇降、回転及びチャック機構を備えている。また、移載機用レール1本に対し、複数台投入可能である。
5は複数の収納容器10を格納すると共に、天井軌道レール1間を連結する自動保管庫である。
6は生産装置7上に設置され、搬送台車2で搬送された収納容器10を仮置きするための仮置き棚である。仮置き棚6は、生産装置7のロードポート9に収納容器10を投入または回収する為の投入回収用置き棚6aと、生産装置7で次に処理する製品の入った収納容器10を仮置きするための予備置き棚6bとから構成されている。投入回収用置き棚6aには開閉機構6cを備え、搬送台車2が生産装置7のロードポート9へ収納容器を移載する時に開く仕組みになっている。また、予備置き棚6bには収納容器10を投入回収用置き棚6aに移動させるための昇降移載機6dを備えている。
図5は搬送の制御を行なう各制御装置のブロック構成図である。12は生産進捗管理装置で、製品の生産進捗全般を管理し、搬送制御装置14に搬送先を指示する。搬送制御装置14は、自動保管庫を制御する自動保管庫制御装置15、搬送台車2の制御を行なう搬送台車制御装置16、コンベアの制御を行なうコンベア制御装置17及び仮置き棚の制御を行なう仮置き棚制御装置18に搬送指示を出すと共に、各装置でのトラブル情報や搬送履歴情報の管理を行なう。また、過去の搬送実績と現在の天井軌道レール1上の搬送台車2の渋滞状況等を考慮し、収納容器10の搬送経路を決定すると共に、搬送到着時間を予測する。19は生産装置制御装置で、生産装置7への製品処理の指示や生産装置での処理終了時間の予測を行なう。処理終了時間予測の方法としては、現在処理中の最後のウェハの処理が始まった時間と現在の処理レシピを生産装置7から通知される事により、処理終了時間を予測する。13は製品引き当て装置で、生産装置で処理すべき製品を決定し、結果を生産進捗管理装置に報告する。
生産装置7で処理終了した製品(複数のウェハ)はロードポート9上で収納容器10に格納される。そのタイミングで生産進捗管理装置12は処理の終了した当該収納容器10の搬送先を搬送制御装置14に指示し、搬送制御装置14は搬送台車制御装置16に搬送先を指示する。搬送台車制御装置16は当該生産装置7へ最短時間で到着する事のできる搬送台車2を割り当て、搬送台車2に当該収納容器10の回収指示及び次の搬送先の指示を出す。
前記次の搬送先の状態は以下の場合がる。
(次工程の生産装置のロードポートに空きがある場合)
搬送先は次工程の生産装置7又は検査装置8のロードポート9への直接搬送指示となる。実際には、ホイストを備えた搬送台車2にて天井軌道レール1を走行し、生産装置7から次の生産装置7へ直接搬送される場合と、生産装置7からホイストを備えた搬送台車2で回収され、天井軌道レールC1cを経由しコンベア3に収納容器10が移載され、コンベア3上を搬送され、引き当てられた生産装置7前に到着すると、移載機4により生産装置7の投入側ロードポート9に移載される場合がある。
これらの場合はいずれも、自動保管庫5を経由せず搬送が行なわれ、自動保管庫5の稼動負荷が軽減されるため、搬送能力が向上し、搬送時間が短縮すると共に、自動保管庫5内の製品在庫を削減する事ができる。また、コンベア3上に収納容器10を在庫させる事により、自動保管庫5の設置台数も削減する事ができる。
また、搬送元と搬送先が共に同一ベイ内の検査装置8の場合は連続で左右の検査装置8間での処理が発生する為、天井軌道レールB内を走行する専用の搬送台車2は前後に走行可能となっている。この場合、天上軌道レール1を周回する事なく検査装置8間を移動できるため、搬送時間を短縮する事ができる。
(次工程の生産装置又は検査装置のロードポートに空きがない場合)
搬送先は生産装置7前の仮置き棚6、または自動保管庫5内の棚、またはコンベア3となる。この内、製品引き当て装置13で引き当てられた次に処理すべき製品を収納した収納容器10は優先的に仮置き棚6に搬送される。仮置き棚6に空きが無くなれば、自動保管庫5の棚に搬送される。また、次工程で処理すべき生産装置7がコンベア3の下に設置されている場合は無条件にコンベア3が搬送先となる。
この場合、次に処理すべき製品は、優先的に仮置き棚6またはコンベア3に搬送されるため、自動保管庫5からの搬送に比べ、生産装置7への搬送時間を短縮する事ができる。また、優先的に自動保管庫5を経由せずに仮置き棚6及びコンベア3上に収納容器10を在庫させる事が出来るため、自動保管庫5内の製品在庫を削減する事ができる。
(次工程装置の製品の処理終了時刻が予測可能な場合)
次に処理すべき生産装置7の製品の処理終了時刻が生産装置制御装置19で予測可能な場合、生産進捗管理装置12は処理終了する製品の回収指示と次に処理すべき製品の搬送指示を到着時刻を指定し、搬送制御装置14に搬送指示を出す。この場合、搬送制御装置14は搬送到着時刻を予測し、指定時刻に間に合う様に搬送台車制御装置16に搬送指示を出す。搬送指示を受けた搬送台車制御装置16は2台の搬送台車に対し、当該生産装置7への製品の回収指示と投入指示を搬送台車2に出す。搬送指示を受けた2台の搬送台車2の内1台は先に処理終了した製品の入った収納容器10を回収し、続いてもう1台の搬送台車2は次に処理する製品の入った収納容器10を投入する。この場合、自動保管庫5や仮置き棚6を経由せず生産装置7から次の工程の生産装置7へ直接搬送できるため、搬送時間の短縮ができる。また、生産装置7の稼動を低下させることなく、製品の処理待ち時間が削減されるため、製品のリードタイムの短縮と在庫の削減を実現する事が出来る様になる。
次に図2〜図4を参照しながら、詳細な搬送作業について説明する。
図2は仮置き棚6の動作示す斜視模式図である。仮置き棚6は生産装置7前に設置されたロードポート9上に設置される。仮置き棚6の設置方法は工場の天井に固定もしくは搬送レールに固定する等の方法がある。
仮置き棚6は、上記のように生産装置7のロードポート9に収納容器10を投入または回収する為の投入回収用置き棚6aと、生産装置7で次に処理する製品の入った収納容器10を仮置きするための予備置き棚6bとから構成され、投入回収用置き棚6aには開閉機構6cを備えている。また、予備置き棚6bには収納容器10を投入回収用置き棚6aに移動させるための昇降移載機6dを備えている。
搬送台車2とロードポート9間での収納容器10の移載が発生する場合は、搬送台車2内に搭載されている赤外線通信装置(図示せず)と仮置き棚6上に設置されている赤外線通信装置11間で通信を行い、搬送台車2のホイストと仮置き棚6が接触しない様にインターロックを取りながら、開閉機構6cの開動作を行い、移載が終了すれば閉動作を行う。予備置き棚6bへの収納容器10の搬送は天井軌道レールD1dを使用し、搬送台車2が行なう。予備置き棚6bに仮置きされた収納容器10は生産装置7のロードポート9上及び投入回収用置き棚6a上に収納容器10が無い状態になれば、予備置き棚6bに備えられている昇降移載機6dにより投入回収用置き棚6aに移動される。この様に、生産装置7のロードポート9上に仮置き棚6を搬送台車2の移載昇降動作を妨げる事無く、多数設置できる様になるため、搬送及び移載時間が短縮できると共に自動保管庫内での製品の在庫数及び自動保管庫の設置台数を削減する事ができる。
図3はコンベア3と移載機4の一部を示す斜視模式図である。移載機4はコンベア3と生産装置7前のロードポート9間での移載を行なう。複数台投入可能な移載機4は移載機用レール4a下部を前後方向に走行する。移載機4は昇降及び回転機構を備えており、収納容器の側面をチャックし移載を行なう。この場合、複数台の移載機4により収納容器10を効率的に投入、回収する事ができるため、搬送能力の向上及び搬送時間を短縮する事ができる。
図4は天井軌道レールCとコンベアの受け渡しを示す斜視模式図である。天井軌道レールC1cはホイストを備えた搬送台車2とコンベア3の収納容器10の受け渡しを行なう為の専用レールで、工程間搬送用の天井軌道レール1aを走行する搬送台車2の走行を妨げる事無く、収納容器10の受け渡しを行なえるため、工程間搬送の搬送能力を向上させることができる。搬送台車2とコンベア3間の収納容器10の受け渡し方法については、搬送台車2内に搭載された前記赤外線通信装置(図示せず)とコンベア3上に設置された赤外線通信装置11間で通信を行い、受け渡し時にはコンベア3の走行を一時停止する。この場合、自動保管庫5を経由せず、ホイストを備えた搬送台車2とコンベア3間での収納容器10の受け渡しを直接行なう事により、自動保管庫5を経由せずに効率的にコンベア3への搬送が行なえるので、搬送時間を短縮する事ができる。
本発明に係る半導体の製造ラインにおける搬送システムおよび搬送制御方法は、自動保管庫を経由しない搬送方法を有し、搬送能力の向上及び搬送時間の短縮、また、自動保管庫内の製品在庫及び自動保管庫の台数の削減を実現するものとして有用である。
本発明の実施形態の複合搬送システムを示す平面図である。 本発明の実施形態において仮置き棚の動作示す斜視模式図である。 本発明の実施形態においてコンベアと移載機の一部を示す斜視模式図である。 本発明の実施形態において天井軌道レールCとコンベアの受け渡しを示す斜視模式図である。 本発明の実施形態において搬送の制御を行なう各制御装置のブロック構成図である。
符号の説明
1 天井軌道レール
2 搬送台車
3 コンベア
4 移載機
4a 移載機用レール
5 自動保管庫
6 仮置き棚
6a 投入回収用置き棚
6b 予備置き棚
6c 開閉機構
6d 昇降移載機
7 生産装置
8 検査装置
9 ロードポート
10 収納容器
11 赤外線通信装置
12 生産進捗管理装置
13 製品引き当て装置
14 搬送制御装置
15 自動保管庫制御装置
16 搬送台車制御装置
17 コンベア制御装置
18 仮置き棚制御装置
19 生産装置制御装置

Claims (5)

  1. 複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器を自動搬送させるための天井軌道走行レールと、
    前記天井軌道走行レールを走行して前記収納容器を移載するホイストを備えた複数の搬送台車と、
    前記搬送台車から受け渡された前記収納容器を移動させるコンベアと、
    前記コンベアと前記製品の処理を行う生産装置前に設置されたロードポートとの間で前記収納容器の移載を行う移載機と、
    前記天井軌道走行レールと連結し、前記搬送台車により搬送された前記収納容器を格納する自動保管庫と、
    前記天井軌道レールと前記生産装置の間に設置され前記搬送台車で搬送された前記収納容器を仮置きするための仮置き棚とからなる搬送システム。
  2. 前記仮置き棚は、投入回収用の投入回収用置き棚と、次に処理する製品を仮置きする予備置き棚とを備え、前記投入回収用置き棚は、搬送台車が生産装置のロードポートへ収納容器を移載するときに開く開閉機構を備え、前記予備置き棚は、収納容器を前記投入回収用置き棚に移動させる昇降移載機を備えることを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
  3. 前記天井軌道レールは、工程間搬送を行うための工程間搬送レールと、工程内を搬送するための工程内搬送レールと、他の搬送機器や仮置き棚に受け渡しを行うための移載用レールとからなり、前記工程内搬送レールの一部は、前記複数の搬送台車が前後に走行可能としたことを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
  4. 前記天井軌道走行レールを走行する複数の搬送台車の搬送を制御する搬送台車制御装置と、前記コンベアと前記移載機の制御を行うコンベア制御装置と、前記自動保管庫を制御する自動保管庫制御装置と、前記仮置き棚を制御する仮置き棚制御装置と、前記収納容器の搬送経路を決定すると共に、前記搬送台車の搬送完了時間を予測し、各制御装置に搬送指示を出す搬送制御装置と、生産装置を制御し製品の処理終了時間を予測する生産装置制御装置と、次に処理する製品を決定し最適な生産装置に引き当てを行う製品引き当て装置と、前記生産装置制御装置と前記製品引き当て装置からの情報に基づいて前記搬送制御装置に搬送先を指示する生産進捗管理装置とを備えたことを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
  5. 複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器を自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記天井軌道走行レールを走行して前記製品の処理を行う生産装置に前記収納容器を搬送する複数の搬送台車と、前記天井軌道走行レールと連結し、前記搬送台車により搬送された前記収納容器を格納する自動保管庫とを備えた搬送システムを用いた搬送制御方法であって、
    前記生産装置における製品の処理終了時間を予測し、次に処理する製品を決定し最適な生産装置に引き当てを行い、前記生産装置への前記収納容器の搬送経路を決定すると共に、前記搬送台車の搬送完了時間を予測して前記自動保管庫を経由せずに前記搬送台車を搬送することを特徴とする搬送制御方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010215359A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Murata Machinery Ltd 天井搬送システムと物品の一時保管方法
JP2012153469A (ja) * 2011-01-25 2012-08-16 Murata Machinery Ltd 搬送車システム
JP2015178859A (ja) * 2014-03-19 2015-10-08 Jfeエンジニアリング株式会社 パイプライン敷設方法及び機材搬送装置
JP2015230961A (ja) * 2014-06-05 2015-12-21 株式会社ダイフク 搬送装置
CN108726125A (zh) * 2018-07-03 2018-11-02 广州正浩智能科技有限公司 一种气力输送和轨道输送优势结合的物料输送系统及方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0744614A (ja) * 1993-07-28 1995-02-14 Seiko Epson Corp 生産管理装置および生産管理方法
JP2002118162A (ja) * 2000-10-11 2002-04-19 Tokyo Electron Ltd 被処理体の処理システムの搬送位置合わせ方法及び被処理体の処理システム
JP2003152047A (ja) * 2001-11-09 2003-05-23 Sharp Corp 半導体装置の生産システム
JP2004189361A (ja) * 2002-12-09 2004-07-08 Murata Mach Ltd 天井搬送車及びそのシステム
JP2004227060A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2005029319A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Asyst Shinko Inc 搬送システム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0744614A (ja) * 1993-07-28 1995-02-14 Seiko Epson Corp 生産管理装置および生産管理方法
JP2002118162A (ja) * 2000-10-11 2002-04-19 Tokyo Electron Ltd 被処理体の処理システムの搬送位置合わせ方法及び被処理体の処理システム
JP2003152047A (ja) * 2001-11-09 2003-05-23 Sharp Corp 半導体装置の生産システム
JP2004189361A (ja) * 2002-12-09 2004-07-08 Murata Mach Ltd 天井搬送車及びそのシステム
JP2004227060A (ja) * 2003-01-20 2004-08-12 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
JP2005029319A (ja) * 2003-07-10 2005-02-03 Asyst Shinko Inc 搬送システム

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010215359A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Murata Machinery Ltd 天井搬送システムと物品の一時保管方法
JP2012153469A (ja) * 2011-01-25 2012-08-16 Murata Machinery Ltd 搬送車システム
JP2015178859A (ja) * 2014-03-19 2015-10-08 Jfeエンジニアリング株式会社 パイプライン敷設方法及び機材搬送装置
JP2015230961A (ja) * 2014-06-05 2015-12-21 株式会社ダイフク 搬送装置
US9558977B2 (en) 2014-06-05 2017-01-31 Daifuku Co., Ltd. Transport device with rotating receiving part
CN108726125A (zh) * 2018-07-03 2018-11-02 广州正浩智能科技有限公司 一种气力输送和轨道输送优势结合的物料输送系统及方法

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