JP2006290542A - 搬送システムおよび搬送制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器10を自動搬送させるための天井軌道走行レール1と、天井軌道走行レール1を走行して収納容器10を移載するホイストを備えた複数の搬送台車2と、搬送台車2から受け渡された収納容器10を移動させるコンベア3と、コンベア3と製品の処理を行う生産装置7前に設置されたロードポート9との間で収納容器10の移載を行う移載機4と、天井軌道走行レール1と連結し、搬送台車2により搬送された収納容器10を格納する自動保管庫5と、天井軌道レール1と生産装置7の間に設置され搬送台車2で搬送された収納容器10を仮置きするための仮置き棚6とからなる。この構成により搬送時間を短縮することができる。
【選択図】図1
Description
(次工程の生産装置のロードポートに空きがある場合)
搬送先は次工程の生産装置7又は検査装置8のロードポート9への直接搬送指示となる。実際には、ホイストを備えた搬送台車2にて天井軌道レール1を走行し、生産装置7から次の生産装置7へ直接搬送される場合と、生産装置7からホイストを備えた搬送台車2で回収され、天井軌道レールC1cを経由しコンベア3に収納容器10が移載され、コンベア3上を搬送され、引き当てられた生産装置7前に到着すると、移載機4により生産装置7の投入側ロードポート9に移載される場合がある。
(次工程の生産装置又は検査装置のロードポートに空きがない場合)
搬送先は生産装置7前の仮置き棚6、または自動保管庫5内の棚、またはコンベア3となる。この内、製品引き当て装置13で引き当てられた次に処理すべき製品を収納した収納容器10は優先的に仮置き棚6に搬送される。仮置き棚6に空きが無くなれば、自動保管庫5の棚に搬送される。また、次工程で処理すべき生産装置7がコンベア3の下に設置されている場合は無条件にコンベア3が搬送先となる。
(次工程装置の製品の処理終了時刻が予測可能な場合)
次に処理すべき生産装置7の製品の処理終了時刻が生産装置制御装置19で予測可能な場合、生産進捗管理装置12は処理終了する製品の回収指示と次に処理すべき製品の搬送指示を到着時刻を指定し、搬送制御装置14に搬送指示を出す。この場合、搬送制御装置14は搬送到着時刻を予測し、指定時刻に間に合う様に搬送台車制御装置16に搬送指示を出す。搬送指示を受けた搬送台車制御装置16は2台の搬送台車に対し、当該生産装置7への製品の回収指示と投入指示を搬送台車2に出す。搬送指示を受けた2台の搬送台車2の内1台は先に処理終了した製品の入った収納容器10を回収し、続いてもう1台の搬送台車2は次に処理する製品の入った収納容器10を投入する。この場合、自動保管庫5や仮置き棚6を経由せず生産装置7から次の工程の生産装置7へ直接搬送できるため、搬送時間の短縮ができる。また、生産装置7の稼動を低下させることなく、製品の処理待ち時間が削減されるため、製品のリードタイムの短縮と在庫の削減を実現する事が出来る様になる。
2 搬送台車
3 コンベア
4 移載機
4a 移載機用レール
5 自動保管庫
6 仮置き棚
6a 投入回収用置き棚
6b 予備置き棚
6c 開閉機構
6d 昇降移載機
7 生産装置
8 検査装置
9 ロードポート
10 収納容器
11 赤外線通信装置
12 生産進捗管理装置
13 製品引き当て装置
14 搬送制御装置
15 自動保管庫制御装置
16 搬送台車制御装置
17 コンベア制御装置
18 仮置き棚制御装置
19 生産装置制御装置
Claims (5)
- 複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器を自動搬送させるための天井軌道走行レールと、
前記天井軌道走行レールを走行して前記収納容器を移載するホイストを備えた複数の搬送台車と、
前記搬送台車から受け渡された前記収納容器を移動させるコンベアと、
前記コンベアと前記製品の処理を行う生産装置前に設置されたロードポートとの間で前記収納容器の移載を行う移載機と、
前記天井軌道走行レールと連結し、前記搬送台車により搬送された前記収納容器を格納する自動保管庫と、
前記天井軌道レールと前記生産装置の間に設置され前記搬送台車で搬送された前記収納容器を仮置きするための仮置き棚とからなる搬送システム。 - 前記仮置き棚は、投入回収用の投入回収用置き棚と、次に処理する製品を仮置きする予備置き棚とを備え、前記投入回収用置き棚は、搬送台車が生産装置のロードポートへ収納容器を移載するときに開く開閉機構を備え、前記予備置き棚は、収納容器を前記投入回収用置き棚に移動させる昇降移載機を備えることを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
- 前記天井軌道レールは、工程間搬送を行うための工程間搬送レールと、工程内を搬送するための工程内搬送レールと、他の搬送機器や仮置き棚に受け渡しを行うための移載用レールとからなり、前記工程内搬送レールの一部は、前記複数の搬送台車が前後に走行可能としたことを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
- 前記天井軌道走行レールを走行する複数の搬送台車の搬送を制御する搬送台車制御装置と、前記コンベアと前記移載機の制御を行うコンベア制御装置と、前記自動保管庫を制御する自動保管庫制御装置と、前記仮置き棚を制御する仮置き棚制御装置と、前記収納容器の搬送経路を決定すると共に、前記搬送台車の搬送完了時間を予測し、各制御装置に搬送指示を出す搬送制御装置と、生産装置を制御し製品の処理終了時間を予測する生産装置制御装置と、次に処理する製品を決定し最適な生産装置に引き当てを行う製品引き当て装置と、前記生産装置制御装置と前記製品引き当て装置からの情報に基づいて前記搬送制御装置に搬送先を指示する生産進捗管理装置とを備えたことを特徴とする請求項1記載の搬送システム。
- 複数の半導体ウェハからなる製品を収納する収納容器を自動搬送させるための天井軌道走行レールと、前記天井軌道走行レールを走行して前記製品の処理を行う生産装置に前記収納容器を搬送する複数の搬送台車と、前記天井軌道走行レールと連結し、前記搬送台車により搬送された前記収納容器を格納する自動保管庫とを備えた搬送システムを用いた搬送制御方法であって、
前記生産装置における製品の処理終了時間を予測し、次に処理する製品を決定し最適な生産装置に引き当てを行い、前記生産装置への前記収納容器の搬送経路を決定すると共に、前記搬送台車の搬送完了時間を予測して前記自動保管庫を経由せずに前記搬送台車を搬送することを特徴とする搬送制御方法。
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JP2005113350A JP2006290542A (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 搬送システムおよび搬送制御方法 |
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JP2005113350A Ceased JP2006290542A (ja) | 2005-04-11 | 2005-04-11 | 搬送システムおよび搬送制御方法 |
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- 2005-04-11 JP JP2005113350A patent/JP2006290542A/ja not_active Ceased
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