JP2010152766A - 搬送車システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送車システム1において、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aは並んで配置されている。複数の搬送車3は、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aを別々に走行する。第1バッファ17Aおよび第2バッファ17Bは、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aの間に並んで設けられている。搬送車コントローラ27は、搬送車3を制御可能である。搬送車コントローラ27は、走行方向に隣り合う第1バッファ17Aおよび第2バッファ17Bへの搬送指令を、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aに分かれて走行するように第1搬送車3aおよび第2搬送車3bに割り付ける。
【選択図】図5
Description
このシステムでは、隣り合う荷物保管場所が近接している場合でも、隣り合う荷物保管場所に対して同時に荷物を移載することができる。この結果、荷物保管場所の間隔を狭くすることで荷物保管場所の数を増やしつつも、待機状態になる搬送車の数を少なくできる。
このシステムでは、搬送車が一対の経路に均等に振り分けられるので、渋滞が防止される。より具体的には、搬送車が一方の経路に集中する事態が防止される。
このシステムでは、分岐・合流ポイントで搬送車の到着順序が変更されても、同じ走行ライン上の複数の荷物保管場所で同時に荷物を移載できる。
本発明の一実施形態としての搬送車システムは、定められた搬送軌道上に複数の搬送車を走行させるためのシステムである。搬送車は、搬送軌道上を一方向に走行し、上位のコントローラによって割り付けられる搬送指令に従い、目的の場所から物品を積み込み、次に搬送先の場所まで走行して物品を搬送先の場所に積み出す。
より具体的には、搬送車システム1は、例えばクリーンルーム内の天井スペースを利用して配置され、半導体ウェハを収容したFOUPなどの物品Wを、処理装置や検査装置などのロードポート間で搬送する。搬送軌道は、処理装置を並べたベイ内のU字状のイントラベイルートと、イントラベイルートを相互に接続するインターベイルートの2種類で構成されている。
図1に、搬送車システム1のイントラベイルートのレイアウトを示している。
図2に、搬送車システム1の制御系20を示す。この制御系20は、製造コントローラ21と、物流コントローラ23と、搬送車コントローラ27とを有している。
物流コントローラ23は、搬送車コントローラ27の上位のコントローラである。搬送車コントローラ27は、複数の搬送車3を管理し、これらに搬送指令を割り付ける割り付け機能を有している。なお、「搬送指令」は、走行に関する指令や、荷つかみ位置と荷おろし位置に関する指令を含んでいる。
図3は、搬送車3の正面図を示している。図3では、搬送車3は、第1バイパスライン12aを走行しており、両側には第3サイドバッファ17および第5サイドバッファ19が配置されている。
図4および図5は、搬送車システム1において、隣接するバッファに同時荷おろしを行う制御動作を説明するための模式図である。図6は上記制御動作のフローチャートである。
ステップS3では、他のバッファに関して搬送指令が割り付けられているか否かが判断される。割り付けられていない場合はステップS5に移行して、搬送要求が出されたバッファに関して空き搬送車に搬送指令を割り付ける。この場合、左右いずれのラインかにこだわらず最も近い空き搬送車に搬送指令を割り付ける。
図4の状態では、第1搬送車3aが、第1通常ライン11aを走行してグループAに接近している。第1搬送車3aには、第1バッファ17Aに関する搬送指令が割り付けられている。
図7、図8および図9は、搬送車システムにおいて、一列のバッファに対して左右両側の搬送車から荷おろしを行う制御動作を説明するための模式図である。図10は上記制御動作のフローチャートである。
ステップS12では、所定数の搬送車に所定位置までの走行指令を割り付ける。具体的には、走行中の搬送車と交信することによりその位置データが取得され、それによりグループBの走行方向上流側を走行している搬送指令を割り付け可能な搬送車があるか否かが調べられる。「搬送指令を割り付け可能」な搬送車とは、物品を積み込んでおらず、搬送指令が未だ割り付けられていない搬送車であって、かつ、所定ポイントまでの距離が所定値より大きい搬送車を意味する。これは、搬送車に走行指令が割り付けられた場合に、減速して所定ポイントで停止できるだけの距離が必要だからである。なお、「走行指令」とは、行き先のみを指定した走行に関する指令であり、荷つかみ・荷おろし動作に関する指令を含んでいない。
ステップS16では、さらに、前述の隣接判断が実行される。具体的には、左右アクセス数の少ないラインにおいて、既に荷おろし要求が出されているバッファと新たに荷おろし要求が出されたバッファとが隣接しているか否かが判断される。これは隣接するバッファに同じ走行ラインで搬送車が同時にアクセスすることができないので、そのような割り付けを避けるためである。
図8を用いて、第1実施例を説明する。
ステップS16では、隣接判断とバランス判断が実行される。これら判断の内容は後述する。
この結果、第3搬送車3cは、第1通常ライン11a側から第3バッファ17Cで荷おろしを行う。第4搬送車3dは、第1通常ライン11a側から第5バッファ17Eで荷おろしを行う。第5搬送車3eは、第1バイパスライン12a側から第1バッファ17Aで荷おろしを行う。第6搬送車3fは、第1バイパスライン12a側から第4バッファ17Dで荷おろしを行う。
図9を用いて、第2実施例を説明する。
ステップS16では、隣接判断とバランス判断が実行される。これら判断については後述する。
この結果、合計で4台の搬送車3に順番に搬送指令が割り付けられる。この結果、第7搬送車3gは、第1通常ライン11a側から第5バッファ17Eで荷おろしを行う。第8搬送車3hは、第1バイパスライン12a側から第1バッファ17Aで荷おろしを行う。第9搬送車3iは、第1バイパスライン12a側から第4バッファ17Dで荷おろしを行う。第10搬送車3jは、第1バイパスライン12a側から第6バッファ17Fで荷おろしを行う。
図11は、第3実施例のおける搬送車システムの模式図を示している。
この実施例のレイアウトは、前記実施例と同様である。
(8)特徴
搬送車システム1は、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aと、複数の搬送車3と、第1バッファ17Aおよび第2バッファ17Bと、搬送車コントローラ27とを備えている(図4〜図6)。第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aは並んで配置されている。複数の搬送車3は、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aを別々に走行する。第1バッファ17Aおよび第2バッファ17Bは、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aの間に並んで設けられている。搬送車コントローラ27は、搬送車3を制御可能である。搬送車コントローラ27は、走行方向に隣り合う第1バッファ17Aおよび第2バッファ17Bへの搬送指令を、第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aに分かれて走行するように第1搬送車3aおよび第2搬送車3bに割り付ける。
搬送車コントローラ27は、走行方向に並んだ複数の第1バッファ17A〜第8バッファ17HをグループBとして管理する(図7〜図10)。また、搬送車コントローラ27は、グループB内で搬送車3が第1通常ライン11aおよび第1バイパスライン12aを均等に走行するように搬送指令を割り付ける。
搬送車コントローラ27は、走行方向に並んだ複数の第1バッファ17A〜第8バッファ17HをグループBとして管理するとともに、グループB内で発生した搬送要求に対して、グループB内で搬送要求が出された最上流のバッファまたはそれより上流の位置までの走行指令を搬送車3に出す(図7〜図10)。搬送車コントローラ27は、さらに、搬送要求を出したバッファについての搬送指令を当該位置に到着した搬送車3から順番に割り付ける。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
前記実施形態では搬送車の横移動装置はスカラアームを用いているが、ベルト機構であっても良い。
前記実施形態では、複数種類の制御動作を個別に説明したが、これらは任意に組み合わせられても良い。
上記実施形態では、荷つかみにも荷おろしの場合と同様の割り付け制御動作を行っても良い。この場合、荷おろしと荷つかみの両方において上記制御が行われるため、搬送車システムにおける搬送効率がさらに向上する。
3 搬送車
3a 第1搬送車
3b 第2搬送車
3c 第3搬送車
3d 第4搬送車
3e 第5搬送車
3f 第6搬送車
3g 第7搬送車
3h 第8搬送車
3i 第9搬送車
3j 第10搬送車
3k 第11搬送車
5 搬送軌道(経路)
9 第1処理装置
9a 第1ロードポート
10 第2処理装置
10a 第2ロードポート
11 通常ライン(経路)
11a 第1通常ライン
11b 第2通常ライン
12 バイパスライン(経路)
12a 第1バイパスライン
12b 第2バイパスライン
13 分岐部
13A 分岐ポイント
14 合流部
14A 合流ポイント
15 第1サイドバッファ(荷物保管場所)
16 第2サイドバッファ(荷物保管場所)
17 第3サイドバッファ(荷物保管場所)
17A 第1バッファ
17B 第2バッファ
17C 第3バッファ
17D 第4バッファ
17E 第5バッファ
17F 第6バッファ
17G 第7バッファ
17H 第8バッファ
18 第4サイドバッファ(荷物保管場所)
19 第5サイドバッファ(荷物保管場所)
20 制御系
21 製造コントローラ
23 物流コントローラ
27 搬送車コントローラ
28 分岐路
30 走行レール
31 支柱
32 走行レール本体
33 給電レール
34 本体ベース
35 走行駆動部
36 受電部
38 横移動機構
38a 上側部
38b 下側部
39 旋回部
40 昇降駆動部
41 昇降台
42 落下防止カバー
43 支柱
Claims (3)
- 並んで配置された一対の経路と、
前記一対の経路を別々に走行する複数の搬送車と、
前記一対の経路の間に並んで設けられた複数の荷物保管場所と、
前記搬送車を制御可能なコントローラとを備え、
前記コントローラは、走行方向に隣り合う二つの荷物保管場所への搬送指令を、前記一対の経路に分かれて走行するように二つの搬送車に割り付ける、
搬送車システム。 - 前記コントローラは、走行方向に並んだ複数の荷物保管場所をグループとして管理するとともに、前記グループ内で前記搬送車が前記一対の経路を均等に走行するように搬送指令を割り付ける、請求項1に記載の搬送車システム。
- 前記コントローラは、走行方向に並んだ複数の荷物保管場所をグループとして管理するとともに、前記グループ内で発生した搬送要求に対して、前記グループ内で搬送要求が出された最上流の荷物保管場所またはそれより上流の位置までの走行指令を前記搬送車に割り付け、搬送要求が出されている荷物保管場所についての搬送指令を前記位置に到着した搬送車から順番に割り付ける、請求項1または2に記載の搬送車システム。
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