JP6460260B2 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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Description

本発明の一形態は、搬送システム及び搬送方法に関する。
例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、軌道と、軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許第５３０９８１４号公報
上述したような搬送システムでは、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、コントローラが、搬送車に対して、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付ける。ここで、ステーションに対する被搬送物の搬送効率を向上させる観点から、コントローラは、搬送指令を割り付けられた搬送車よりも先にステーションに到着する搬送車であって、搬送指令を割り付け可能な状況にある別の搬送車を新たに検出した場合、先に搬送指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令を削除する削除指令を送信した後に、新たに検出された搬送車に対して搬送指令を新たに割り付ける指令スワップ処理を行う場合がある。
しかしながら、指令スワップ処理では、先に搬送指令を割り付けられた搬送車が削除指令を受信することができない場合がある。或いは、削除指令を受信した旨の応答を搬送車がコントローラに対して送信しても、当該応答をコントローラが受信することができない場合がある。そのような場合、先に搬送指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令が割り付いた状態となっているか否かをコントローラが把握することができず、ステーションに先着する搬送車に搬送指令を割り付けることができない。
そこで、本発明の一形態は、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
本発明の一形態の搬送システムは、軌道と、軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、コントローラは、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合には、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーションとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる搬送車が新たに出現しない地点に設定された目的地点に走行する走行指令を割り付け、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する別の搬送車を、走行指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された搬送車に対して、走行指令を割り付け、走行指令を割り付けられた搬送車であって目的地点を最先に通過する搬送車に対して、搬送指令を割り付ける。
この搬送システムでは、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する複数の搬送車に対して、重複して、目的地点に走行する走行指令を割り付ける。ここで、目的地点は、ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーションとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる搬送車が新たに出現しない地点である。そして、走行指令を割り付けられた搬送車であって目的地点を最先に通過する搬送車に対して、搬送指令を割り付ける。これにより、ステーションまでの距離に応じて、より適切な搬送車に搬送指令を割り付けることができる。よって、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることができる。
本発明の一形態の搬送システムでは、目的地点は、ステーションの上流側における軌道の合流点のうち、ステーションに最も近い合流点であってもよい。この場合、このような合流点を通過してからステーションまで、搬送車の順序が入れ替わることがないため、最も適切な搬送車に対して、搬送指令を割り付けることができる。
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションに最も近い搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、走行指令を割り付け、複数の搬送車に対して走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のうち、ステーションに最も近い搬送車を除き、他の搬送車に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。この場合、搬送指令を割り付けられない搬送車の無駄な走行を抑制することができる。
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、複数の搬送車に対して走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のそれぞれの状態を監視し、状態が削除条件を満たした搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。この場合、搬送指令を割り付けられない搬送車の無駄な走行を抑制することができる。
本発明の一形態の搬送システムでは、走行指令を割り付けられた搬送車は、目的地点から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告をコントローラに送信し、コントローラは、到着直前報告を搬送車から受信したときに、当該搬送車に対して、搬送指令を割り付けてもよい。この場合、搬送車に対して搬送指令を適切に割り付けることができる。
本発明の一形態の搬送システムでは、目的地点は、ステーションの上流側における軌道の合流点のうち、ステーションに最も近い合流点であり、走行指令を割り付けられた搬送車は、目的地点の上流側において、目的地点を通過する許可を要求する通過許可要求をコントローラに送信し、通過許可要求を搬送車から受信したコントローラは、当該搬送車が目的地点を通過可能な状況にあるときに、当該搬送車に対して、目的地点の通過許可を送信し、搬送車は、到着直前地点に到達し、且つ、通過許可を受信したときに、到着直前報告をコントローラに送信してもよい。この場合、例えば、複数の搬送車が合流点を通過する順序を調整する制御が実施されるときに、先に合流点を通過する搬送車に対して、優先度の高い搬送指令を割り付けることができる。
本発明の一形態の搬送システムでは、コントローラは、１台のみの搬送車に対して走行指令を割り付けた場合において、当該搬送車が、到着直前地点に到達したにもかかわらず、当該搬送車から到着直前報告を受信しないときには、別の少なくとも１台の搬送車に対して、走行指令を新たに割り付けてもよい。この場合、搬送車とコントローラとの間で正しく通信することができないときであっても、搬送処理を続行することができる。
本発明の一形態の搬送方法は、軌道と、軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の搬送車のそれぞれと通信し、複数の搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備える搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、ステーションから被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合において、コントローラが、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、ステーションの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーションとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる搬送車が新たに出現しない地点に設定された目的地点に走行する走行指令を割り付ける第１ステップと、コントローラが、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーションから第１距離未満の範囲に存在する別の搬送車を、走行指令を割り付けられた搬送車に対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された搬送車に対して、走行指令を割り付ける第２ステップと、コントローラが、走行指令を割り付けられた搬送車であって目的地点を最先に通過する搬送車に対して、搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む。
この搬送方法によれば、上述した搬送システムと同様に、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることができる。
本発明の一形態によれば、ステーションに先着する適切な搬送車に対して搬送指令を割り付けることが可能となる。
図１は、本発明の第１実施形態の搬送システムの一部の平面図である。 図２は、図１の搬送システムにおける第１搬送処理を説明するための平面図である。 図３は、図１の搬送システムにおける第１搬送処理を説明するための平面図である。 図４は、図１の搬送システムにおける第１搬送処理を説明するための平面図である。 図５は、本発明の第２実施形態の搬送システムの一部の平面図である。 図６は、図５の搬送システムにおける第２搬送処理を説明するための平面図である。 図７は、図５の搬送システムにおける第２搬送処理を説明するための平面図である。 図８は、図５の搬送システムにおける第２搬送処理を説明するための平面図である。 図９は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。 図１０は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するためのシーケンス図である。 図１１は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。 図１２は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。 図１３は、図５の搬送システムにおける第３搬送処理を説明するための平面図である。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
図１に示されるように、搬送システム１は、軌道１０と、天井搬送車（搬送車）２０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、半導体処理装置１１０を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。天井搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。天井搬送車２０は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）９０を被搬送物として搬送する。コントローラ５０は、各天井搬送車２０と通信し、各天井搬送車２０の動作を制御する。
軌道１０の下方には、複数のステーション１００が配置されている。ステーション１００は、例えば半導体処理装置１１０に設けられた装置ポートである。ステーション１００にＦＯＵＰ９０が載置されると、当該ＦＯＵＰ９０に収容された半導体ウェハが半導体処理装置１１０に取り込まれる。そして、当該半導体ウェハは、半導体処理装置１１０において所定の処理が施された後に、再びＦＯＵＰ９０に収容される。図中には、ステーション１００として、軌道１０の下流側からこの順に配置されたステーション１００Ａ，１００Ｂが示されている。
天井搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０をステーション１００に対して移載する移載機構を有している。移載機構は、例えば、ＦＯＵＰ９０を把持する把持部、及び把持部を昇降させる昇降機構によって構成されている。これにより、天井搬送車２０は、ステーション１００に対してＦＯＵＰ９０を移載する位置に停止し、その状態で移載機構を動作させることで、当該ステーション１００に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、ステーション１００に対するＦＯＵＰ９０の移載とは、天井搬送車２０が保持（積載）しているＦＯＵＰ９０をステーション１００に供給（荷おろし）する場合と、ステーション１００に載置されているＦＯＵＰ９０を天井搬送車２０が取得（荷つかみ）する場合と、を含む。
コントローラ５０は、搬送コントローラ５０Ａと、搬送車コントローラ５０Ｂと、を有している。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂに対する上位コントローラである。搬送コントローラ５０Ａは、搬送車コントローラ５０Ｂ及び製造コントローラ（不図示）と通信する。搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送コントローラ５０Ａ及び各天井搬送車２０のそれぞれと通信する。製造コントローラは、各半導体処理装置１１０と通信し、搬送コントローラ５０Ａに対して各半導体処理装置１１０のステーション１００からＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求を出す。荷つかみ要求が存在することを搬送コントローラ５０Ａが把握すると、搬送車コントローラ５０Ｂは、いずれかの天井搬送車２０に対して、当該荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付ける。
第１実施形態の搬送システム１では、以下に説明する搬送処理が実施される。一例として、次のような状況において実施される第１搬送処理について説明する。すなわち、図１に示されるように、軌道１０の下方に配置されたステーション１００Ａに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されている。
このような状況において、搬送コントローラ５０Ａは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握する。
搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ａを検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、目的地点１１に走行する走行指令を割り付ける（第１ステップ）。なお、ここでは、ステーション１００Ｂの上流側且つ天井搬送車２０Ａの下流側に、ステーション１００Ｂに対して荷おろしされるべきＦＯＵＰ９０を搬送している天井搬送車２０Ｂが存在している。
ここで、搬送指令を割り付け可能な状況にある天井搬送車２０とは、例えば、別のステーション１００からＦＯＵＰ９０を取得するための走行指令、搬送指令等を割り付けられていない状況にある（すなわち、空き台車である）天井搬送車２０である。また、第１距離とは、予め設定された距離である。
また、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００Ａとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点に設定されている。言い換えれば、搬送車コントローラ５０Ｂは、目的地点１１とステーション１００Ａとの間に空き台車である天井搬送車２０が存在する場合であっても、その天井搬送車２０を、搬送指令を割り付け可能な状況にある新たな天井搬送車２０として検出しない。図中では、目的地点１１は、軌道１０におけるステーション１００Ａの上流側且つステーション１００Ｂの下流側に設定されている。
続いて、図２に示されるように、天井搬送車２０Ｂがステーション１００Ｂに到着して、ステーション１００ＢにＦＯＵＰ９０を供給する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況となる。搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する別の天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ｂを、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａに対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、天井搬送車２０Ａと重複して、目的地点１１に走行する走行指令を割り付ける（第２ステップ）。
続いて、図３に示されるように、搬送車コントローラ５０Ｂは、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０であって、目的地点１１を最先に通過する天井搬送車２０（図中では、天井搬送車２０Ｂ）に対して搬送指令を割り付ける（第３ステップ）。
具体的に、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、目的地点１１から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。図中では、天井搬送車２０Ｂが、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ｂから受信したときに、天井搬送車２０Ｂに対して搬送指令を割り付ける。
なお、第２距離とは、予め設定された距離である。目的地点１１から第２距離の範囲に含まれる領域は、ステーション１００から第１距離の範囲に含まれる領域よりも狭くなるように設定される。
続いて、図４に示されるように、天井搬送車２０Ｂは、軌道１０上においてステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する搬送指令を完了する。
これに対し、天井搬送車２０Ａは、目的地点１１まで走行することにより、目的地点１１に走行する走行指令が完了して、指令が割り付けられていない状態（すなわち、空き台車の状態）となる。
以上説明したように、第１実施形態に係る搬送システム１及び当該搬送システム１において実施される搬送方法では、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、重複して、目的地点１１に走行する走行指令を割り付ける。ここで、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００Ａとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点である。そして、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂであって目的地点１１を最先に通過する天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。これにより、ステーション１００Ａまでの距離に応じて、より適切な天井搬送車２０Ｂに搬送指令を割り付けることができる。よって、ステーション１００Ａに先着する適切な天井搬送車２０Ｂに対して搬送指令を割り付けることができる。
搬送システム１では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、目的地点１１から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信したときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。このため、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して搬送指令を適切に割り付けることができる。
［第２実施形態］
第２実施形態の搬送システム１は、軌道１０の構成において、上述した第１実施形態の搬送システム１と主に相違している。すなわち、軌道１０は、互いに合流、分岐する複数の区間を有している。図５には、軌道１０において合流点を含んで構成される区間が示されている。軌道１０は、複数の区間１０ａ，１０ｂ，１０ｃを含んで構成されている。軌道１０は、区間１０ａ及び区間１０ｂが合流する合流点１２を有し、合流点１２の下流側には、区間１０ｃを有している。
第２実施形態の搬送システム１において、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側における軌道１０の合流点のうち、ステーション１００Ａに最も近い合流点１２である。すなわち、ここでは、目的地点１１は、上述した区間１０ａ及び区間１０ｂが合流する合流点１２である。
区間１０ａは、区間１０ｃに直線状に接続されている。区間１０ｂは、目的地点１１である合流点１２の手前からカーブしつつ、区間１０ｃに接続されている。天井搬送車２０は、区間１０ａから、合流点１２を通過して、区間１０ｃに走行することができる。また、天井搬送車２０は、区間１０ｂから、合流点１２を通過して、区間１０ｃに走行することができる。
軌道１０の下方には、複数のステーション１００が配置されている。図中では、ステーション１００Ａが区間１０ｃの下方に配置され、ステーション１００Ｂが区間１０ｂの下方に配置されている。
第２実施形態に係る搬送システム１では、以下に説明する搬送処理が実施される。一例として、次のような状況において実施される第２搬送処理について説明する。すなわち、図５に示されるように、区間１０ｃの下方に配置されたステーション１００Ａに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されている。
このような状況において、搬送コントローラ５０Ａは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握する。
搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ａを検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、目的地点１１である合流点１２に走行する走行指令を割り付ける（第１ステップ）。なお、ここでは、天井搬送車２０Ａは、区間１０ａに沿って走行している。また、区間１０ｂにおけるステーション１００Ｂの上流側に、ステーション１００Ｂに対して荷おろしされるべきＦＯＵＰ９０を搬送している天井搬送車２０Ｂが存在している。
続いて、図６に示されるように、天井搬送車２０Ｂがステーション１００Ｂに到着して、ステーション１００ＢにＦＯＵＰ９０を供給する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況となる。搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する別の天井搬送車２０として、天井搬送車２０Ｂを、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａに対して搬送指令を割り付ける前に新たに検出する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、天井搬送車２０Ａと重複して、合流点１２に走行する走行指令を割り付ける（第２ステップ）。
続いて、図７に示されるように、搬送車コントローラ５０Ｂは、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０であって、合流点１２を最先に通過する天井搬送車２０（図中では、天井搬送車２０Ｂ）に対して搬送指令を割り付ける（第３ステップ）。
具体的には、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、合流点１２から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。図中では、天井搬送車２０Ｂが、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ｂから受信したときに、天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。
続いて、図８に示されるように、天井搬送車２０Ｂは、区間１０ｃ上においてステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する。これにより、天井搬送車２０Ｂは、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する搬送指令を完了する。
これに対し、天井搬送車２０Ａは、合流点１２まで走行することにより、合流点１２に走行する走行指令が完了して、指令が割り付けられていない状態（すなわち、空き台車の状態）となる。
また、第２実施形態に係る搬送システム１では、以下に説明する搬送処理が実施される。一例として、次のような状況において実施される第３搬送処理について説明する。すなわち、図９に示されるように、第３搬送処理では、異なる区間１０ａ，１０ｂに沿って走行する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、目的地点１１である合流点１２を通過する順序を調整する制御である第１交差点制御が実施される。ここで、「合流点１２を通過する」とは、具体的には、合流点１２の周りに設定され、複数の天井搬送車２０が同時に通過することを禁止するロックエリアＬを通過することである。なお、ここでは、荷つかみ要求が存在するＦＯＵＰ９０が複数あり、これらの荷つかみ要求には優先度が予め設定されている。そして、図９及び図１０に示されるように、区間１０ｃの下方に配置されたステーション１００Ａ，１００Ｂのそれぞれに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されている。
このような状況において、搬送コントローラ５０Ａは、ステーション１００Ａ，１００ＢのそれぞれからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握する。
これらのステーション１００Ａ，１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求には優先度が予め設定されている。ここでは、ステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求の優先度の方が、ステーション１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求の優先度より高い。すなわち、複数の天井搬送車２０は、ステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０を先に取得し、ステーション１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０を後に取得する必要がある。
第１交差点制御では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０は、ロックエリアＬの上流側（すなわち、合流点１２の上流側）において、合流点１２を通過する許可を要求する通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。ここでは、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、目的地点１１である合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置に到達したときに、通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。
ここで、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置は、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの走行車速が高ければ合流点１２からより長い距離の位置までを含み、逆に、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの走行車速が低ければ合流点１２からより近い距離の位置までのみを含む。
そして、通過許可要求を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２を通過可能な状況にあるときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信する。具体的には、搬送車コントローラ５０Ｂは、他の天井搬送車２０に対して合流点１２の通過許可を送信していない場合には、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して合流点１２の通過許可を送信する。
ところで、区間１０ｃに直線状に接続されている区間１０ａを走行する天井搬送車２０Ａの走行車速は、合流点１２の手前からカーブしつつ、区間１０ｃに接続されている区間１０ｂを走行する天井搬送車２０Ｂの走行車速よりも高い。このため、天井搬送車２０Ａは、天井搬送車２０Ｂよりも合流点１２からの距離が長い位置で、合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置となる場合がある。この場合、天井搬送車２０Ａは、天井搬送車２０Ｂよりも先に、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、合流点１２の通過許可を搬送車コントローラ５０Ｂから受信する。
しかし、天井搬送車２０Ｂの方が天井搬送車２０Ａよりも合流点１２からの距離が短いため、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａよりも先に、到着直前地点に到達する場合がある。この場合、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａよりも先に到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、より優先度の高いステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付けられる。その結果、合流点１２の通過許可を受信していない天井搬送車２０Ｂに対して、より優先度の高い搬送指令が割り付けられた状態となる。また、この場合、合流点１２の通過許可を受信した天井搬送車２０Ａに対して、より優先度の低い搬送指令が割り付けられる。よって、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａよりも先に合流点１２を通過できず、より優先度の高い搬送指令を先に実施することができない。
これに対し、第３搬送処理では、天井搬送車２０は、到着直前地点に到達し、且つ、合流点１２の通過許可を受信したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。図９及び図１０に示されるように、天井搬送車２０Ａは、天井搬送車２０Ｂより先に合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置に到達した場合には、天井搬送車２０Ｂより先に、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１０）。これに対して、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、合流点１２の通過許可を送信する（ステップＳ１１）。
続いて、天井搬送車２０Ｂは、合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置に到達し、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１２）。しかし、既に天井搬送車２０Ａに対して合流点１２の通過許可が送信された状態であるため、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信しない。
続いて、天井搬送車２０Ａは、到着直前地点に到達し、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する（ステップＳ１３）。すなわち、天井搬送車２０Ａは、到着直前地点に到達し、且つ、合流点１２の通過許可を受信したため、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する。これに対し、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ａに対して、より優先度の高いステーション１００Ａに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付ける（ステップＳ１４）。
続いて、図１０及び図１１に示されるように、合流点１２の通過許可を受信した天井搬送車２０Ａは、合流点１２を通過して、ステーション１００Ａに向けて走行する。一方、合流点１２の通過許可を受信していない天井搬送車２０Ｂは、合流点１２を通過せず、天井搬送車２０Ａが合流点１２を通過するまで合流点１２の上流側で待機する。
続いて、天井搬送車２０Ａが合流点１２を通過した後、天井搬送車２０Ｂは、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する（ステップＳ１５）。例えば、天井搬送車２０Ｂは、天井搬送車２０Ａが合流点１２を通過したことを搬送車コントローラ５０Ｂから通知された後に、合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信してもよく、或いは、天井搬送車２０Ｂは、定期的に繰り返して合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信してもよい。これに対して、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信する（ステップＳ１６）。
続いて、天井搬送車２０Ｂは、到着直前地点に到達し、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する（ステップＳ１７）。すなわち、天井搬送車２０Ｂは、到着直前地点に到達し、且つ、合流点１２の通過許可を受信したため、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに対して送信する。これに対し、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｂに対して、より優先度の低いステーション１００Ｂに載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付ける（ステップＳ１８）。
続いて、図１２に示されるように、天井搬送車２０Ａは、区間１０ｃ上においてステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する。その後、天井搬送車２０Ｂは、区間１０ｃ上においてステーション１００ＢからＦＯＵＰ９０を取得することができる領域まで走行して停止し、移載機構を動作させて、ステーション１００ＢからＦＯＵＰ９０を取得する。
なお、搬送システム１では、合流点１２において、優先方向の軌道に沿って走行する複数の天井搬送車２０を先に通過させ、優先方向ではない方向の軌道に沿って走行する天井搬送車２０を後に通過させる第２交差点制御が実施される。この場合、第３搬送処理を実施することは、特に好適な効果を奏する。例えば、図１３に示されるように、区間１０ｃの下方に配置されたステーション１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃのそれぞれに、天井搬送車２０によって取得されるべきＦＯＵＰ９０が載置されており、各ＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求には優先度が予め設定されている場合について説明する。
ここでは、合流点１２に向かって、区間１０ａに沿って天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが走行し、区間１０ｂに沿って天井搬送車２０Ｃ，２０Ｄ，２０Ｅが走行している。このとき、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｄに対して走行指令が割り付けられている。ここで、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｄのうち、天井搬送車２０Ｄが、合流点１２までの走行に要する時間が所定時間未満である位置にある場合には、ロックエリアＬの上流側において、天井搬送車２０Ｄが最初に合流点１２の通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。
しかし、第２交差点制御が実施されることによって、搬送車コントローラ５０Ｂは、天井搬送車２０Ｄよりも先に天井搬送車２０Ａ，２０Ｂを通過させる。したがって、天井搬送車２０Ｄが合流点１２を通過可能な状況にないため、搬送車コントローラ５０Ｂは、通過許可要求を天井搬送車２０Ｄから受信した場合であっても、天井搬送車２０Ｄに対して合流点１２の通過許可を送信しない。その結果、先に合流点１２を通過する天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、より優先度の高いステーション１００に載置されたＦＯＵＰ９０の荷つかみ要求に対する搬送指令を割り付けることができる。
以上説明したように、第２実施形態に係る搬送システム１及び当該搬送システム１において実施される搬送方法では、例えば図５に示されるように、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在する場合に、荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａから第１距離未満の範囲に存在する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、重複して、目的地点１１である合流点１２に走行する走行指令を割り付ける。ここで、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００Ａとの間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点である。そして、走行指令を割り付けられた複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂであって、合流点１２を最先に通過する天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。これにより、ステーション１００Ａまでの距離に応じて、より適切な天井搬送車２０Ｂに搬送指令を割り付けることができる。また、合流点１２を目的地点１１とすることにより、合流点１２を通過する複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの順序を調整することができる。よって、ステーション１００Ａに先着する適切な天井搬送車２０Ｂに対して搬送指令を割り付けることができる。
搬送システム１では、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側における軌道１０の合流点のうち、ステーション１００Ａに最も近い合流点１２である。この場合、このような合流点１２を通過してからステーション１００Ａまで、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂの順序が入れ替わることがないため、最も適切な天井搬送車２０Ｂに対して、搬送指令を割り付けることができる。
搬送システム１では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、合流点１２から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信したときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、搬送指令を割り付ける。このため、天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して搬送指令を適切に割り付けることができる。
搬送システム１では、目的地点１１は、ステーション１００Ａの上流側における軌道１０の合流点のうち、ステーション１００Ａに最も近い合流点１２であり、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、合流点１２の上流側において、合流点１２を通過する許可を要求する通過許可要求を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。通過許可要求を天井搬送車２０Ａ，２０Ｂから受信した搬送車コントローラ５０Ｂは、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２を通過可能な状況にあるときに、当該天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して、合流点１２の通過許可を送信する。天井搬送車２０Ａ，２０Ｂは、到着直前地点に到達し、且つ、通過許可を受信したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信する。このため、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂが合流点１２を通過する順序を調整する第１交差点制御又は第２交差点制御が実施されるときに、先に合流点１２を通過する天井搬送車２０に対して、優先度の高い搬送指令を割り付けることができる。
［搬送システム１における削除処理］
第１実施形態及び第２実施形態の搬送システム１では、コントローラ５０は、天井搬送車２０に対して以下に説明する削除処理を実施してもよい。
削除処理の一例として、次のような状況において実施される削除処理について説明する。すなわち、搬送コントローラ５０Ａが、ステーション１００ＡからＦＯＵＰ９０を取得する荷つかみ要求が存在することを把握した場合において、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０を検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、走行指令を割り付ける。その結果、搬送車コントローラ５０Ｂは、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して走行指令を割り付けている。
このような状況において、搬送車コントローラ５０Ｂは、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂのうち、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０Ｂに対して、走行指令を割り付けたままとし、天井搬送車２０Ｂよりもステーション１００Ａまで遠い天井搬送車２０Ａに対して、走行指令を削除する削除指令を送信する。
以上説明したように、第１実施形態及び第２実施形態に係る搬送システム１における削除処理では、搬送車コントローラ５０Ｂは、搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０を検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、走行指令を割り付ける。そして、搬送車コントローラ５０Ｂは、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して走行指令を割り付けた場合には、複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂのうち、ステーション１００Ａに最も近い天井搬送車２０Ｂを除き、他の天井搬送車２０Ａに対して、走行指令を削除する削除指令を送信する。このため、搬送指令を割り付けられない天井搬送車２０Ａの無駄な走行を抑制することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、目的地点１１は、ステーション１００の上流側の位置であり、且つ、当該位置とステーション１００との間においては搬送指令を割り付け可能な状況になる天井搬送車２０が新たに出現しない地点であればよく、上記実施形態において例示した地点に限定されない。
また、複数の荷つかみ要求が存在する場合において、搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求の数よりも多い複数の天井搬送車２０Ａ，２０Ｂに対して走行指令を割り付けたときには、各天井搬送車２０のうち、荷つかみ要求の数と同じ台数の天井搬送車２０であって、先に目的地点１１を通過すると予想される天井搬送車２０を除き、他の天井搬送車２０に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。この場合、搬送指令を割り付けられない天井搬送車２０の無駄な走行を抑制することができる。
また、上記実施形態では、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０は、目的地点１１から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信し、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０から受信したときに、当該天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付けるとした。しかし、天井搬送車２０は、到着直前報告を搬送車コントローラ５０Ｂに送信しなくてもよい。その場合、搬送車コントローラ５０Ｂは、到着直前報告を天井搬送車２０から受信しなくても、当該天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付けてよい。例えば、搬送車コントローラ５０Ｂは、各天井搬送車２０の状態を監視し、走行指令を割り付けられた天井搬送車２０が到着直前地点に到達したことを検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、搬送指令を割り付けてもよい。
また、搬送システム１は、第１搬送処理、第２搬送処理及び第３搬送処理の全てを実施しなくてもよい。すなわち、搬送システム１は、第１搬送処理、第２搬送処理及び第３搬送処理のうちの少なくとも１つの搬送処理を実施すればよい。
また、上記実施形態において、搬送車コントローラ５０Ｂは、荷つかみ要求の数よりも多い複数の天井搬送車２０に対して走行指令を割り付けた場合には、各天井搬送車２０の状態を監視し、当該状態が削除条件を満たした天井搬送車２０を検出したときに、当該天井搬送車２０に対して、走行指令を削除する削除指令を送信してもよい。削除条件とは、天井搬送車２０の走行が無駄であることを判断するための条件であり、例えば、当該天井搬送車２０から目的地点１１までの距離、又は、当該天井搬送車２０の走行継続時間等に基づいて定められる条件である。この場合、搬送指令を割り付けられない天井搬送車２０の無駄な走行を抑制することができる。
また、上記実施形態において、搬送車コントローラ５０Ｂは、１台のみの天井搬送車２０に対して走行指令を割り付けた場合において、当該天井搬送車２０が到着直前地点に到着したにもかかわらず、当該天井搬送車２０から到着直前報告を受信しないときには、別の少なくとも１台の天井搬送車２０に対して、走行指令を新たに割り付けてもよい。この場合、天井搬送車２０と搬送車コントローラ５０Ｂとの間で正しく通信することができないときであっても、搬送処理を続行することができる。
また、上記実施形態では、本発明の搬送システム１が搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９０に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の搬送システム１は、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
また、上記実施形態において、搬送コントローラ５０Ａが有する機能の一部又は全部を搬送車コントローラ５０Ｂが有していてもよく、搬送車コントローラ５０Ｂが有する機能の一部又は全部を搬送コントローラ５０Ａが有していてもよい。或いは、１つのコントローラ５０が、搬送コントローラ５０Ａ及び搬送車コントローラ５０Ｂの有する機能を有していてもよい。
１…搬送システム、１０…軌道、１１…目的地点、１２…合流点、２０，２０Ａ〜２０Ｅ…天井搬送車（搬送車）、５０…コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１００，１００Ａ〜１００Ｃ…ステーション。

Claims (7)

  1. 軌道と、
    前記軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、
    複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備え、
    前記コントローラは、
    前記ステーションから前記被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合には、
    前記荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションに最も近い前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記ステーションの上流側における前記軌道の合流点のうち、前記ステーションに最も近い前記合流点である目的地点に走行する走行指令を割り付け、
    前記搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションに最も近い別の前記搬送車を、前記走行指令を割り付けられた前記搬送車に対して前記搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された前記搬送車に対して、前記走行指令を割り付け、
    前記走行指令を割り付けられた前記搬送車であって前記目的地点に最先に到達する前記搬送車に対して、前記搬送指令を割り付ける、搬送システム。
  2. 前記コントローラは、
    複数の前記搬送車に対して前記走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のうち、前記ステーションに最も近い前記搬送車を除き、他の前記搬送車に対して、前記走行指令を削除する削除指令を送信する、請求項１記載の搬送システム。
  3. 前記コントローラは、複数の前記搬送車に対して前記走行指令を割り付けた場合には、複数の当該搬送車のそれぞれの状態を監視し、前記状態が削除条件を満たした前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記走行指令を削除する削除指令を送信する、請求項１又は２記載の搬送システム。
  4. 前記走行指令を割り付けられた前記搬送車は、前記目的地点から第２距離の到着直前地点に到達したときに、到着直前報告を前記コントローラに送信し、
    前記コントローラは、前記到着直前報告を前記搬送車から受信したときに、当該搬送車に対して、前記搬送指令を割り付ける、請求項１〜３のいずれか一項記載の搬送システム。
  5. 前記走行指令を割り付けられた前記搬送車は、前記目的地点の上流側において、前記目的地点を通過する許可を要求する通過許可要求を前記コントローラに送信し、
    前記通過許可要求を前記搬送車から受信した前記コントローラは、当該搬送車が前記目的地点を通過可能な状況にあるときに、当該搬送車に対して、前記目的地点の通過許可を送信し、
    前記搬送車は、前記到着直前地点に到達し、且つ、前記通過許可を受信したときに、前記到着直前報告を前記コントローラに送信する、請求項４記載の搬送システム。
  6. 前記コントローラは、１台のみの前記搬送車に対して前記走行指令を割り付けた場合において、当該搬送車が、前記到着直前地点に到達したにもかかわらず、当該搬送車から前記到着直前報告を受信しないときには、別の少なくとも１台の前記搬送車に対して、前記走行指令を新たに割り付ける、請求項４又は５記載の搬送システム。
  7. 軌道と、前記軌道に沿って走行し、少なくともステーションに対して被搬送物を搬送する複数の搬送車と、複数の前記搬送車のそれぞれと通信し、複数の前記搬送車のそれぞれの動作を制御するコントローラと、を備える搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
    前記ステーションから前記被搬送物を取得する荷つかみ要求が存在する場合において、
    前記コントローラが、前記荷つかみ要求に対応する搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションに最も近い前記搬送車を検出したときに、当該搬送車に対して、前記ステーションの上流側における前記軌道の合流点のうち、前記ステーションに最も近い前記合流点である目的地点に走行する走行指令を割り付ける第１ステップと、
    前記コントローラが、前記搬送指令を割り付け可能な状況にあり、且つ、前記ステーションに最も近い別の前記搬送車を、前記走行指令を割り付けられた前記搬送車に対して前記搬送指令を割り付ける前に新たに検出したときに、新たに検出された前記搬送車に対して、前記走行指令を割り付ける第２ステップと、
    前記コントローラが、前記走行指令を割り付けられた前記搬送車であって前記目的地点に最先に到達する前記搬送車に対して、前記搬送指令を割り付ける第３ステップと、を含む、搬送方法。
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