JP5472209B2 - 物品搬送設備 - Google Patents
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Description
前記第1走行経路部位の前記第2走行経路部位側における側脇であって前記第1走行経路部位が経由する前記物品移載箇所に対する第1の前記物品処理装置の上端高さより高い位置に配置された第1物品授受箇所と前記第2走行経路部位の前記第1走行経路部位側における側脇であって前記第2走行経路部位が経由する前記物品移載箇所に対する第2の前記物品処理装置の上端高さより高い位置に配置された第2物品授受箇所との間で物品を搬送する走行経路間搬送装置と、前記第1走行経路部位側と前記第2走行経路部位側との両側に、物品を保持する保持部を昇降自在に且つその保持部を前記第1走行経路部位及び前記第2走行経路部位の経路部位の経路横幅方向にスライド移動自在に備えている昇降スライド搬送装置とが設けられ、前記第1の物品処理装置と前記第2の物品処理装置とが、前記経路横幅方向で前記第1走行経路部位と前記第2走行経路部位との間に設置され、前記走行経路間搬送装置は、前記第1の物品処理装置の上方側空間と前記第2の物品処理装置の上方側空間とを亘る状態で前記第1物品授受箇所と前記第2物品授受箇所とを繋ぐように配置され、前記昇降スライド搬送装置は、平面視にて前記第1走行経路部位及び前記第2走行経路部位の経路部位と重なる位置において、前記保持部の昇降を行って前記物品移載箇所との間で物品を移載自在で且つ前記保持部のスライド移動を行って前記第1物品授受箇所及び前記第2物品授受箇所の物品授受箇所との間で物品を移載自在に構成されている点にある。
この物品搬送設備では、図1及び図2に示すように、物品処理装置1及びその物品処理装置1におけるステーション2(物品移載箇所に相当する)が地上側に設置され、複数の物品処理装置1の間で物品4を搬送する物品搬送車3が走行する走行経路Sが天井側に設置されている。そして、この物品搬送設備では、半導体基板を収納した容器を物品4として、物品搬送車3が複数の物品処理装置1の間で物品4を搬送するように構成されている。図1は、平面視での物品搬送設備の概略を示したものであり、物品搬送設備の一部を省略して示している。図2は、物品搬送設備の要部の側面を示したものである。
物品搬送車3は、把持部7を上昇位置に位置させた状態で走行経路Sに沿って移動し、複数のステーション2のうち、移載対象のステーション2に対応する停止位置に停止した状態で上昇位置と下降位置との間で把持部7を昇降させることにより、ステーション2との間で物品4の移載を行うように構成されている。
物品搬送車3は、図3及び図4に示すように、走行レール6上を走行する走行駆動部9と、走行レール6の下方に位置するように走行駆動部9に吊り下げ支持された物品支持部10とを備えて構成されている。図3は、走行経路Sの経路横幅方向視(図4中X方向視)での物品搬送車3の側面図を示している。図4は、走行経路Sの経路長手方向視(図3中Y方向視)での物品搬送車3の正面図を示しており、把持部7を平面視で走行経路Sの側脇にスライド移動させた状態を実線にて示しており、把持部7を平面視で走行経路Sと重なる位置に位置させた状態を点線にて示している。
図1に戻り、ステーション経由部位S1における直線部位は、平面視で複数のステーション2を経由するように形成されている。そして、ステーション経由部位S1の経路横幅方向(図1中X方向)で隣接するステーション経由部位S1同士の間には、一方のステーション経由部位S1に対する複数の物品処理装置1が経路長手方向(図1中Y方向)に沿って並んで設置されているとともに、他方のステーション経由部位S1に対する複数の物品処理装置1も経路長手方向(図1中Y方向)に沿って並んで設置されている。よって、一方のステーション経由部位S1における直線部位が、第1走行経路部位D1となっており、他方のステーション経由部位S1における直線部位が、第2走行経路部位D2となっている。図1では、ステーション経由部位S1の経路横幅方向(図1中X方向)で隣接するステーション経由部位S1を合計4つ備えている例を示しているので、第1走行経路部位D1と第2走行経路部位D2との組が4組備えられている。
図1に示すように、第1走行経路部位D1と第2走行経路部位D2とは、経路横幅方向(図1中X方向)に間隔を隔てて配置されており、第1走行経路部位D1と第2走行経路部位D2の経路間には、経路長手方向(図1中Y方向)に沿って複数の物品処理装置1が並んで設置されている。そして、図2及び図5に示すように、第1走行経路部位D1の第2走行経路部位D2側における側脇には、第1物品授受箇所K1が配置されており、第2走行経路部位D2の第1走行経路部位D1側における側脇には、第2物品授受箇所K2が配置されており、第1物品授受箇所K1と第2物品授受箇所K2との間で物品4を搬送する走行経路間搬送装置31が設けられている。図2は、第1走行経路部位D1と第2走行経路部位D2とその両経路間の物品処理装置1についての経路長手方向視での図であり、図5は、第1走行経路部位D1と第2走行経路部位D2とその両経路間の物品処理装置1についての斜視図である。走行経路間搬送装置31は、天井部に固定状態で吊り下げ支持されており、物品処理装置1の上方側空間を亘る状態で第1物品授受箇所K1と第2物品授受箇所K2とを繋ぐように配置されている。この走行経路間搬送装置31は、図1に示すように、経路長手方向(図1中Y方向)に沿って並ぶ複数の物品処理装置1のうち、その中央側に位置する物品処理装置1の上方側空間を亘る状態で配置されている。そして、走行経路間搬送装置31は、2つ備えられており、1つの走行経路間搬送装置31は、第1走行経路部位D1側から第2走行経路部位D2側に向かって物品4を搬送するようにしており、もう1つの走行経路間搬送装置31は、第2走行経路部位D2側から第1走行経路部位D1側に向かって物品4を搬送するようにしている。
物品搬送車3は、上述の如く、把持部7を昇降自在に且つその把持部7を経路横幅方向(図2中X方向)にスライド移動自在に備えている。そして、物品搬送車3は、図2に示すように、平面視にて第1走行経路部位D1及び第2走行経路部位D2の経路部位と重なる位置において、把持部7の昇降を行ってステーション2との間で物品4を移載自在であり、且つ、把持部7のスライド移動を行って走行経路間搬送装置31における第1物品授受箇所K1及び第2物品授受箇所K2の物品授受箇所との間で物品4を移載自在に構成されている。このように、第1走行経路部位D1では、物品搬送車3が、ステーション2と第1物品授受箇所K1との間で物品4を搬送することができ、第2走行経路部位D2でも、物品搬送車3が、ステーション2と第2物品授受箇所K2との間で物品4を搬送することができるようになっている。これにより、物品搬送車3の把持部7を昇降スライド搬送装置の保持部として、物品搬送車3が昇降スライド搬送装置を兼用するように構成されている。
ここで、複数台の物品搬送車3の運行等、物品搬送設備の運転を管理する設備管理用制御部と、この設備管理用制御部からの指令に基づいて、物品搬送車3の運転を制御する台車側制御部と、走行経路間搬送装置31の運転を制御する搬送装置制御部とが備えられており、これら複数の制御部の制御によって、第1走行経路部位D1に対する物品処理装置1から第2走行経路部位D2に対する物品処理装置1へ物品4を搬送するようにしている。
例えば、図1において、第1走行経路部位D1において経路長手方向(図1中Y方向)で走行経路間搬送装置31の設置位置と異なる位置に配置された物品処理装置1から、第2走行経路部位D2に対する物品処理装置1へ物品4を搬送する場合にも、走行経路間搬送装置31を用いることができる。この場合には、まず、第1走行経路部位D1において経路長手方向(図1中Y方向)で走行経路間搬送装置31の設置位置と異なる位置に配置された物品処理装置1におけるステーション2に対応する停止位置に物品搬送車3を走行させて、物品搬送車3が把持部7を昇降させてそのステーション2から物品4を受け取る。次に、物品搬送車3が第1物品授受箇所K1との間で物品4を移載する停止位置まで走行して、物品搬送車3が把持部7のスライド移動を行ってステーション2から受け取った物品4を第1物品授受箇所K1に移載することができる。
(1)上記実施形態では、物品搬送車3の把持部7を昇降スライド搬送装置の保持部として、物品搬送車3が昇降スライド搬送装置を兼用するようにしている。これに代えて、物品搬送車3とは別に、昇降スライド搬送装置を設けることもできる。つまり、第1走行経路部位D1側と第2走行経路部位D2側との両側に、物品処理装置1よりも上方側となるように昇降スライド搬送装置を設ける。そして、昇降スライド搬送装置は、物品4を保持する保持部を昇降自在に且つその保持部を第1走行経路部位D1及び第2走行経路部位D2の経路部位の経路横幅方向にスライド移動自在に備えており、平面視にて第1走行経路部位D1及び第2走行経路部位D2の経路部位と重なる位置において、保持部の昇降を行ってステーション2との間で物品4を移載自在であり、且つ、保持部のスライド移動を行って第1物品授受箇所K1及び第2物品授受箇所K2の物品授受箇所との間で物品4を移載自在に構成する。
この場合には、例えば、第1走行経路部位D1及び第2走行経路部位D2の側脇に、物品4を一時保管自在な物品保管部を配置することで、昇降スライド搬送装置が、保持部のスライド移動を行ってその物品保管部に対しても物品4を移載自在に構成することができる。このように構成することで、昇降スライド搬送装置は、ステーション2と走行経路間搬送装置31との間での物品搬送を行うだけでなく、ステーション2と物品保管部との間、及び、走行経路間搬送装置31と物品保管部との間での物品搬送も行うことができることになる。
例えば、走行経路間搬送装置31を1つ備える場合には、その走行経路間搬送装置31の搬送方向を逆転自在とすることで、1つの走行経路間搬送装置31によって、第1走行経路部位D1側から第2走行経路部位D2側への物品搬送と、第2走行経路部位D2側から第1走行経路部位D1側への物品搬送との両者を行うことができる。
また、走行経路間搬送装置31として、ローラコンベヤを例示したが、このローラコンベヤに限るものではなく、例えば、物品4を載置支持する載置支持体を第1物品授受箇所K1と第2物品授受箇所K2との間で走行自在に備えた搬送装置等も適応することができ、各種の搬送装置を用いることができる。
2 物品移載箇所(ステーション)
3 物品搬送車
4 物品
7 把持部
31 走行経路間搬送装置
D1 第1走行経路部位
D2 第2走行経路部位
K1 第1物品授受箇所
K2 第2物品授受箇所
S 走行経路
Claims (5)
- 複数の物品処理装置及びその物品処理装置における物品移載箇所が地上側に設置され、複数の前記物品処理装置の間で物品を搬送する物品搬送車が走行する走行経路が天井側に設置され、前記走行経路として、その経路横幅方向に間隔を隔てて配置されて平面視で前記物品移載箇所を経由する第1走行経路部位と第2走行経路部位とが備えられ、前記第1走行経路部位と前記第2走行経路部位とが、その経路間に経路長手方向に沿って複数の前記物品処理装置が並んで設置する状態で配設されている物品搬送設備であって、
前記第1走行経路部位の前記第2走行経路部位側における側脇であって前記第1走行経路部位が経由する前記物品移載箇所に対する第1の前記物品処理装置の上端高さより高い位置に配置された第1物品授受箇所と前記第2走行経路部位の前記第1走行経路部位側における側脇であって前記第2走行経路部位が経由する前記物品移載箇所に対する第2の前記物品処理装置の上端高さより高い位置に配置された第2物品授受箇所との間で物品を搬送する走行経路間搬送装置と、
前記第1走行経路部位側と前記第2走行経路部位側との両側に、物品を保持する保持部を昇降自在に且つその保持部を前記第1走行経路部位及び前記第2走行経路部位の経路部位の経路横幅方向にスライド移動自在に備えている昇降スライド搬送装置とが設けられ、
前記第1の物品処理装置と前記第2の物品処理装置とが、前記経路横幅方向で前記第1走行経路部位と前記第2走行経路部位との間に設置され、
前記走行経路間搬送装置は、前記第1の物品処理装置の上方側空間と前記第2の物品処理装置の上方側空間とを亘る状態で前記第1物品授受箇所と前記第2物品授受箇所とを繋ぐように配置され、
前記昇降スライド搬送装置は、平面視にて前記第1走行経路部位及び前記第2走行経路部位の経路部位と重なる位置において、前記保持部の昇降を行って前記物品移載箇所との間で物品を移載自在で且つ前記保持部のスライド移動を行って前記第1物品授受箇所及び前記第2物品授受箇所の物品授受箇所との間で物品を移載自在に構成されている物品搬送設備。 - 前記物品搬送車は、前記保持部として物品を把持する把持部を有しており、その把持部を昇降自在に且つその把持部を前記第1走行経路部位及び前記第2走行経路部位の経路部位の経路横幅方向にスライド移動自在に備え、前記昇降スライド搬送装置を兼用するように構成されている請求項1に記載の物品搬送設備。
- 前記物品搬送車が前記把持部を昇降させて前記物品移載箇所との間で物品を移載する停止位置と、前記物品搬送車が前記把持部をスライド移動させて前記第1物品授受箇所及び前記第2物品授受箇所の物品授受箇所との間で物品を移載する停止位置とが、前記第1走行経路部位及び前記第2走行経路部位の経路部位の経路上において同一位置に設定されている請求項2に記載の物品搬送設備。
- 前記走行経路間搬送装置は、前記第1物品授受箇所と前記第2物品授受箇所との間で物品を上下軸心周りに旋回させて搬送自在に構成されている請求項1〜3の何れか1項に記載の物品搬送設備。
- 前記走行経路間搬送装置は、その搬送経路上に複数の物品を並べる状態で配置させて前記第1物品授受箇所と前記第2物品授受箇所との間で複数の物品を搬送自在に構成されている請求項1〜4の何れか1項に記載の物品搬送設備。
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