JP2003142547A - ワーク搬送装置 - Google Patents

ワーク搬送装置

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JP2003142547A
JP2003142547A JP2001283407A JP2001283407A JP2003142547A JP 2003142547 A JP2003142547 A JP 2003142547A JP 2001283407 A JP2001283407 A JP 2001283407A JP 2001283407 A JP2001283407 A JP 2001283407A JP 2003142547 A JP2003142547 A JP 2003142547A
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Tetsunori Otaguro
徹典 大田黒
Kazuyuki Matsumura
和幸 松村
Takashi Iseri
隆史 井芹
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Hirata Corp
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 昇降手段である多関節アームの伸長時の重力
による撓みを解消して、ワーク保持手段が各処理装置に
位置ずれなくワークを受け渡すことができるようにする
とともに、ワークの水平搬送時には、昇降手段をコンパ
クトに畳んで、気流の乱れを最小限に抑えることができ
るワーク搬送装置を提供する。 【解決手段】 ワーク保持手段11と、クリーンルーム内
上方の天井空間で、ワーク保持手段11を水平方向に移動
させる水平移動手段と、水平移動手段に設けられた多関
節アームからなる。多関節アームは単一の駆動源21とア
ーム相互間を一定の回動比で伝動する伝動機構とを有
し、複数のアーム１６〜２０がそれらの各端部で順次交
互に互い違いに重ねて連結され、各アーム１６〜２０が
回動することにより伸縮するようにされている。さらに
各アームは中空構造にであって内部空間は連通されて、
負圧が付与されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本願の発明は、クリーンルーム用
のワーク搬送装置に関し、特に半導体部品、液晶表示パ
ネル、医薬品、薬品、加工食品等のクリーンルーム内生
産ラインにおいて、複数の処理装置間を巡って各処理装
置にワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路、液晶表示パネル等で
は、塵埃の付着により製品の歩留りが低下する。また、
医薬品、薬品、加工食品等では、無菌の衛生的な環境に
おいて生産されることが望ましい。このため、それらの
生産部門を含む広い分野において、クリーンルーム内生
産ラインが稼働しており、クリーンルーム内に設置され
る各種処理室、ワーク搬送装置等に関して種々の技術開
発が図られている。
【０００３】それらのうち、ワーク搬送装置に関し、本
出願人は、先に、クリーンルーム内上方の天井空間で、
ワークを保持するワーク保持手段を任意の３次元方向に
移動させることができる移動手段を備えたワーク搬送シ
ステムを創案し、特許出願をした（特開２０００−２４
３８０８号公報参照）。このものにおいては、天井空間
に一対の水平な固定ガイドレールが平行に配設されてお
り、これら一対の固定ガイドレール間に、水平な走行ガ
イドレールが１本ないし複数本架設されていて、この走
行ガイドレールが固定ガイドレールに沿って走行できる
ようになっている。また、走行ガイドレールには、該走
行ガイドレールに沿って走行する走行体が設けられてお
り、これら固定ガイドレール、走行ガイドレール、走行
体によって水平移動手段が構成されている。さらに、こ
の走行体には、ワーク保持手段を昇降させることができ
る昇降手段が設けられていて、該昇降手段を前記水平移
動手段に加えて、３次元移動手段が構成されている。
【０００４】図１０および図１１は、このような昇降手
段013 を図示したものであり、図１０（１）は、その上
昇状態の正面図、図１０（２）は、同縦側断面図、図１
１（１）は、その下降状態の正面図、図１１（２）は、
同縦側断面図である。これらの図に示されるように、昇
降手段013 は、３本のアーム016 〜018 を有する多関節
アームによって構成されており、始端第１、第２、終端
第３の各アーム016 〜018 の回動により、終端第３アー
ム018 に固定されたワーク保持手段011 が鉛直線上を昇
降するようになっている。そして、このワーク保持手段
011 が、各種処理装置との間でワーク（密閉コンテナ）
の受け渡しを行なう。この場合に、その多関節アーム
は、図１０（２）および図１１（２）に図示されるよう
に、各アーム016 〜018 が多重に積み重ねられた構造と
されている。
【０００５】なお、各アーム016 〜018 の回動は、走行
体015 内に納められたモータ021a、始端第１アーム016
内に納められたモータ021b、第２アーム017 内に納めら
れたモータ021cによってそれぞれ行なわれるようになっ
ている。また、詳細には図示されないが、各アーム016
〜018 の内部および走行体015 の内部は連通されてい
て、負圧が付与されており、これらの内部で発生する塵
埃が一方向に吸引排出されるようになっている。
【０００６】このワーク搬送システムは、前記のように
構成されているので、クリーンルームの床面にワーク搬
送のためのエリアが必要とされることがなく、クリーン
ルーム内を有効活用することができる。このため、同一
設備に対しては、必要なクリーンルーム容積を小さくす
ることができ、クリーンルームの設備コストおよび運用
コストを安価にすることができる。また、クリーンルー
ム内に設置される処理室等の装置の設置位置や設置方向
が制約を受けにくく、最適な配置を選択することができ
る。さらに、新たに処理室等の装置を追加する場合や処
理室等の装置の配置を変更する場合も、その配置や設置
方向を自由に選択することができる。したがって、処理
室等の装置の配置の変更、増設などに対するコストも安
価にすることができる。さらに、また、ワーク保持手段
011 をある位置から他の位置に直線的に移動させること
ができ、クリーンルーム内におけるワークの処理効率も
向上する、等々の優れた効果を奏するものである。
【０００７】しかしながら、このワーク搬送システムに
あっては、水平移動手段への取付け部に対してアーム重
量によるトルク荷重が加わり、多関節アームを伸長させ
た際の撓みを無視することができない。また、この構造
の多関節アームにあっては、水平移動手段に対する始端
第１アーム016 の回動は、水平移動手段（走行体015）
側に設けられたモータ021aの駆動によって行なわれてい
るので、シールがしにくい構造になっており、加えて、
第１〜第３アーム016 〜018 の回動用にそれぞれ専用の
駆動源モータ021a〜021cが使用されており、駆動源が多
いこともあって、塵埃が発生し易い構造になっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本願の発明は、従来の
ワーク搬送装置が有する前記のような問題点を解決し
て、昇降手段の多関節アームを伸長させた際の重力によ
る撓みを解消し、ワーク保持手段が各処理装置に位置ず
れなくワークを受け渡すことができるようにするととも
に、多関節アームの伸縮もスムースで、ワークを水平搬
送するときには、昇降手段をコンパクトに畳んで、気流
の乱れを最小限に抑えることができ、シールもし易い、
ワーク搬送装置を提供することを課題とする。また、本
願の発明は、ワークが特にウエハやレクチルである場合
に、これらウエハやレクチルの単体を個別に所定の処理
装置に迅速に搬送して、作業能率を向上させることがで
きる、ワーク搬送装置を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段および効果】本願の発明
は、前記のような課題を解決したワーク搬送装置に係
り、その請求項１に記載された発明は、ワークを保持す
るワーク保持手段と、クリーンルーム内上方の天井空間
で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水平移
動手段と、前記水平移動手段に設けられ、多関節アーム
からなり、該多関節アームが伸縮することにより前記ワ
ーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処
理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるよう
にする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム内で、複
数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送
するようにされてなるワーク搬送装置において、前記多
関節アームが有する複数のアームは、それらの各端部で
順次交互に互い違いに重ねて連結されており、各アーム
が回動することにより前記多関節アームが伸縮するよう
にされていることを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１０】請求項１に記載された発明は、前記のよう
に構成されているので、次のような効果を奏することが
できる。クリーンルーム内ワーク搬送装置が備える水平
移動手段に設けられる昇降手段が、多関節アームからな
り、該多関節アームが有する複数のアームは、それらの
各端部で順次交互に互い違いに重ねて連結されており、
各アームが回動することにより多関節アームが伸縮する
ようにされているので、多関節アームの重心がずれるこ
とがなく、アーム全体の重量バランスが安定して、多関
節アームが伸長（昇降手段が下降）したときにも、重力
による撓みが少ない。これにより、ワーク保持手段が各
処理装置に位置ずれなくワークを受け渡すことができる
ようになり、多関節アームの伸縮もスムースに行なわれ
て、ワークを水平搬送するときには、昇降手段をコンパ
クトに畳んで、気流の乱れを最小限に抑えることができ
る。また、アーム全体の重量およびワーク重量によるト
ルクが発生せず、ワークの安定した水平搬送が可能にな
る。
【００１１】また、その請求項２に記載された発明は、
ワークを保持するワーク保持手段と、クリーンルーム内
上方の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移
動させる水平移動手段と、前記水平移動手段に設けら
れ、多関節アームからなり、該多関節アームが伸縮する
ことにより前記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワー
ク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡し
が行なわれるようにする昇降手段とを備え、前記クリー
ンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に
前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置
において、前記昇降手段は、３つ以上のアームを有する
多関節アームからなり、単一の駆動源とアーム相互間の
一定の回動比を有する構造とを有し、該駆動源が作動し
て各アームが回動することにより前記多関節アームが伸
縮するようにされていることを特徴とするワーク搬送装
置である。
【００１２】請求項２に記載された発明は、前記のよう
に構成されているので、次のような効果を奏することが
できる。クリーンルーム内ワーク搬送装置が備える水平
移動手段に設けられる昇降手段が、３つ以上のアームか
らなる多関節アームからなり、単一の駆動源とアーム相
互間の一定の回動比を有する構造とを有し、該駆動源が
作動して各アームが回動することにより前記多関節アー
ムが直線的に伸縮するようにされているので、その昇降
手段は、単一の駆動源と３つ以上のアームの組合せ使用
とによって、各アームが連動し、衝撃のない滑らかな動
きが得られる。
【００１３】また、請求項３に記載のように請求項１に
記載の発明を構成することにより、昇降手段は、３つ以
上のアームを有する多関節アームからなり、単一の駆動
源とアーム相互間の一定の回動比を有する構造とを有
し、該駆動源が作動して各アームが回動することによ
り、多関節アームが伸縮するようにされる。
【００１４】この結果、その昇降手段は、単一の駆動源
と３つ以上のアームの組合せ使用とによって、各アーム
が連動し、衝撃のない滑らかな動きが得られる。
【００１５】さらに、請求項４に記載のように請求項１
または請求項２に記載の発明を構成することにより、水
平移動手段は、クリーンルーム内上方の天井空間で、任
意の水平面内での移動が可能にされる。
【００１６】この結果、ワーク保持手段も、水平移動手
段に随伴して、クリーンルーム内上方の天井空間で、任
意の水平面内での移動が可能にされるので、クリーンル
ーム内に設置される処理室等の装置の設置位置や設置方
向が制約を受けることがなく、最適な配置を選択するこ
とができる。また、新たに処理室等の装置を追加する場
合や処理室等の装置の配置を変更する場合も、その配置
や設置方向を自由に選択することができ、処理室等の装
置の配置の変更、増設などに対するコストを安価にする
ことができる。さらに、ワーク保持手段をある位置から
他の位置に直線的に移動させることも可能になり、クリ
ーンルーム内におけるワークの処理効率が向上する。
【００１７】また、請求項５に記載のように請求項２に
記載の発明を構成することにより、昇降手段は、水平移
動手段に対する始端第１アームの回動が、該第１アーム
側に設けられたモータの作動によって行なわれるように
される。
【００１８】この結果、単一の駆動源モータとアーム相
互間の一定の回動比を有する構造とから発生する塵埃の
シールは、全てアーム側で行なえばよいことになり、シ
ールがし易くなる。また、第１アームの内部空間の空い
たスペースを活用して、そこに単一の駆動源モータを収
容することができるので、コンパクトな構造のワーク搬
送装置が得られる。
【００１９】また、請求項６に記載のように請求項１ま
たは請求項２に記載の発明を構成することにより、多関
節アームの各関節軸は、中空構造にされ、各アームの内
部空間は連通されて、負圧が付与される。
【００２０】この結果、多関節アームを構成する各アー
ムの内部空間において発生する塵埃の排出構造が簡単化
され、その塵埃の排出が容易になり、クリーンルーム内
に漏れる塵埃の量が著しく低減されて、クリーンルーム
のクリーン度の維持が容易になる。
【００２１】さらに、請求項７に記載のように請求項１
または請求項２に記載の発明を構成することにより、ワ
ーク保持手段は、そのワーク保持部を回転させるワーク
回転駆動部を備え、ワークを水平面内で回転させること
ができるようにされる。
【００２２】この結果、ワークの３次元空間内における
搬送に加えて、その水平面内での回転方向姿勢制御をも
行なうことができ、ワーク載置時における回転方向の正
確な位置出しが可能になり、ワーク搬送装置に求められ
る高度な要求にも十分に対応することができる。
【００２３】また、請求項８に記載のように請求項６に
記載の発明を構成することにより、ワーク保持手段は、
そのワーク保持部を回転させるワーク回転駆動部を備
え、ワークを水平面内で回転させることができるように
されており、ワーク回転駆動部は、中空構造にされ、各
アームの内部空間に連通されて、その駆動部より発生す
る塵埃が負圧によりそこに吸引されるようにされてい
る。
【００２４】この結果、ワークの３次元空間内における
搬送に加えて、その水平面内での回転方向姿勢制御をも
行なうことができ、ワーク載置時における回転方向の正
確な位置出しが可能になり、ワーク搬送装置に求められ
る高度な要求にも十分に対応することができる。また、
ワーク回転駆動部の内部空間において発生する塵埃の排
出構造が簡単化され、その塵埃の排出が容易になり、ク
リーンルーム内に漏れる塵埃の量が著しく低減されて、
クリーンルームのクリーン度の維持がさらに容易にな
る。
【００２５】また、請求項９に記載のように請求項１な
いし請求項８のいずれかに記載の発明を構成することに
より、ワークは、ウエハまたはレクチルであり、これら
ウエハまたはレクチルの複数枚がワーク収納容器に収納
されて、ワーク保持手段により保持されるようにされ
る。
【００２６】この結果、ワークをなすウエハまたはレク
チルの複数枚は、ワーク収納容器に収納されて、密閉さ
れた状態でクリーンルーム内を搬送されることができる
ので、これらのワークに要求される高度なクリーン度の
保持をも容易に達成することができる。
【００２７】さらに、その請求項１０に記載された発明
は、ウエハまたはレクチルからなるワーク単体を直接保
持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方の天井
空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水
平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前記ワー
ク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理
装置との間で前記ワーク単体の受け渡しが行なわれるよ
うにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム内で、
複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワーク単体
を搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、
前記ワーク単体には、該ワーク単体がたどる処理工程を
判別させるための識別マークが付され、前記ワーク保持
手段には、前記識別マークを検出する検出手段が設けら
れたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【００２８】請求項１０に記載された発明は、前記のよ
うに構成されているので、次のような効果を奏すること
ができる。ウエハまたはレクチルからなるワーク単体に
は、該ワーク単体がたどる処理工程を判別させるための
識別マークが付され、該ワーク単体を直接保持するワー
ク保持手段には、該識別マークを検出する検出手段が設
けられるので、ワーク保持手段は、ワーク単体を保持す
るに際して、該ワーク単体に付された識別マークを検出
して、その検出信号をワーク搬送装置の制御装置に伝達
することにより、ワーク搬送装置は、クリーンルーム内
の３次元空間において、ワーク単体を予め定められた順
序に従って各処理装置に迅速に搬送し、所定の処理を受
けさせるようにすることができる。これにより、ワーク
搬送装置の作業能率が格段に向上する。
【００２９】さらに、また、その請求項１１に記載され
た発明は、ウエハまたはレクチルからなるワーク単体を
直接保持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方
の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動さ
せる水平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前
記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と
各処理装置との間で前記ワーク単体の受け渡しが行なわ
れるようにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム
内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワー
ク単体を搬送するようにされてなるワーク搬送装置にお
いて、前記ワーク単体には、該ワーク単体がたどる処理
工程を判別させるための識別マークが付され、前記クリ
ーンルーム内には、前記識別マークを検出する検出手段
を備えた識別マーク検出装置が設けられたことを特徴と
するワーク搬送装置である。
【００３０】請求項１１に記載された発明は、前記のよ
うに構成されているので、次のような効果を奏すること
ができる。ウエハまたはレクチルからなるワーク単体に
は、該ワーク単体がたどる処理工程を判別させるための
識別マークが付され、クリーンルーム内には、該識別マ
ークを検出する検出手段を備えた識別マーク検出装置が
設けられるので、識別マーク検出装置は、その設置位置
にまで搬送されたワーク単体に付された識別マークを検
出して、その検出信号をワーク搬送装置の制御装置に伝
達することにより、ワーク搬送装置は、クリーンルーム
内の３次元空間において、ワーク単体を予め定められた
順序に従って各処理装置に迅速に搬送し、所定の処理を
受けさせるようにすることができる。これにより、ワー
ク搬送装置の作業能率が格段に向上する。
【００３１】
【発明の実施の形態】次に、図１ないし図６に図示され
る本願の請求項１ないし請求項９に記載された発明の一
実施形態（実施形態１）について説明する。図１は、本
実施形態１におけるワーク搬送装置が適用されるクリー
ンルーム内生産ラインの斜視図、図２は、同様のクリー
ンルーム内生産ラインの変形例の斜視図、図３は、同ワ
ーク搬送装置が備える昇降手段が上昇した状態を示す正
面図、図４は、同側面図、図５は、同昇降手段が下降し
た状態を示す正面図、図６は、同側面図である。
【００３２】本実施形態１におけるワーク搬送装置が適
用されるクリーンルーム内生産ライン１は、図１に図示
されるように、クリーンルーム内の床面２に、複数の処
理室（処理装置）３が２列に分かれて並設されており、
各処理室３には、インターフェイス装置４が付設されて
いる。
【００３３】各処理室３は、順次ワークの処理をする設
備であって、それぞれ異なる処理を実施するものである
が、ワーク処理のタクトタイムのバランス等を考慮し
て、同一処理室が複数含まれていてもよい。このような
処理室３としては、例えば、半導体ウエハのレジスト塗
布、露光、現像、イオン打込み、アニール、スパッタリ
ング等の処理を行なうための半導体ウエハ処理装置があ
る。以下の説明においても、半導体ウエハに対する処理
を念頭において説明するが、同様のワーク搬送装置は、
レクチル処理装置に対しても、同様に適用され得るもの
である。
【００３４】インターフェイス装置４は、処理室３とク
リーンルームとを遮断するためのバッファ空間を構成す
るものであって、処理室３におけるワークの受け渡し
は、インターフェイス装置４を介して実行される。イン
ターフェイス装置４のワーク搬入出口５は、ワークの搬
入出を行なう場合以外は密閉されている。
【００３５】処理室３およびインターフェイス装置４
は、メンテナンス要員やオペレータ要員が作業をするた
めの最低限のメンテナンスエリアを隔てて整列配置され
ており、クリーンルームの床面積を出来るだけ小さくし
て、クリーンルームの最大活用を図り、また、後述する
ワーク搬送装置10によるワーク搬送の効率化を図ってい
る。但し、各処理室３は、特に複数列に並んでいる必要
はないし、また、前面（インターフェイス装置４が設け
られる面）の向きも規定されておらず、ある程度のラン
ダム配置が許される。
【００３６】このクリーンルームの上部空間には、ワー
ク（ウエハまたはレクチル）の複数枚を納めた密閉コン
テナ（ワーク収納容器）６を各処理室３に処理順序に従
って搬送するためのワーク搬送装置10が設けられてい
る。ワークは、要求される高度なクリーン度を保つため
に、密閉コンテナ６内に密閉した状態で搬送される。床
面２には、ワーク搬送車７の走行用スペースが設けられ
ており、クリーンルーム外から搬送されてきた密閉コン
テナ６をワーク搬送車７が受けると、ワーク搬送車７
は、そこに敷設された軌条に沿って所定の位置まで走行
して、その密閉コンテナ６をワーク搬送装置10に受け渡
す。
【００３７】ワーク搬送装置10は、密閉コンテナ６を保
持するワーク保持手段11と、クリーンルーム内上方の天
井空間でワーク保持手段11を水平方向に移動させる水平
移動手段12と、該水平移動手段12に設けられ、多関節ア
ームからなる昇降手段13とを備えている。昇降手段13
は、その多関節アームが伸縮することによりワーク保持
手段11を昇降させて、ワーク保持手段11と各処理室３と
の間でワークの受け渡しが行なわれるようにする。水平
移動手段12と昇降手段13とにより３次元移動機構が構成
されている。
【００３８】水平移動手段12は、図１に図示されるよう
に、クリーンルーム内上方の天井空間に平行に配設され
た一対の水平な固定ガイドレール14と、これらの固定ガ
イドレール14にそれぞれ配設され、これらの固定ガイド
レール14に沿って走行する走行体15とからなっている。
走行体15の走行駆動機構は、詳細には図示されないが、
走行体15と一体のモータが固定ガイドレール14内に収容
されていて、その回転軸に固定されたローラが固定ガイ
ドレール14の内壁面を転動することにより、走行体15が
固定ガイドレール14に沿って走行するようになってい
る。昇降手段13は、その基端部（始端第１アーム16の基
端部）がこの走行体15に回動可能に連結されていて、走
行体15に随伴して走行する。
【００３９】水平移動手段12は、また、図２に図示され
るように変形されてもよい。この水平移動手段12におい
ては、クリーンルーム内上方の天井空間に平行に配設さ
れた一対の水平な固定ガイドレール14間に１本ないし複
数本の走行ガイドレール28が架設されており、該走行ガ
イドレール28に、該走行ガイドレール28に沿って走行す
る走行体15が配設されている。したがって、この変形例
においては、水平移動手段12は、クリーンルーム内上方
の天井空間で、一対の固定ガイドレール14間に挟まれた
任意の水平面内での移動が可能であり、昇降手段13およ
びワーク保持手段11をある位置から中央の通路を挟んで
反対側の他の位置に直線的に移動させて、ワーク保持手
段11と各処理室３との間でのワークの受け渡しを行なわ
せることができる。なお、一対の水平な固定ガイドレー
ル14間の間隔は、処理室３の配置形態（設置位置、設置
方向）に応じて適宜設定され、クリーンルーム一杯に取
ることも可能である。
【００４０】次に、昇降手段13の構造について、詳細に
説明する。昇降手段13は、図３ないし図６に図示される
ように、５つのアーム16〜20を有する多関節アームから
なり、始端第１アーム16の基端部は、前記のとおり、走
行体15に回動可能に連結されていて、昇降手段13が走行
体15に随伴して水平面内で走行することができるように
なっている。
【００４１】また、５つのアーム16〜20は、図６により
良く図示されているように、１つの仮想鉛直面Ａを中心
にして、始端第１アーム16はその左方に、第２アーム17
はその右方に、第３アーム18はその左方に、というよう
に、順次交互に互い違いに配置され、それらの各端部で
順次交互に互い違いに重ねて連結されている。このよう
にすることにより、多関節アームの重心がずれることが
なくなり、アーム全体の重量バランスが安定して、多関
節アームが伸長（昇降手段13が下降）したときにも、重
力による撓みが少なくなる。また、従来例に係る図７
（２）と図４とを比較して明らかなとおり、昇降手段13
の折り畳みがコンパクトになり、走行に伴う気流の乱れ
を最小限に抑えることができる。
【００４２】昇降手段13は、また、単一の駆動源モータ
21とアーム相互間の一定の回動比（１：２：１：２：
１）を有する構造とを有しており、このモータ21が作動
して、各アーム16〜20が回動することにより、多関節ア
ーム全体（昇降手段13）が伸縮する。そして、これによ
り、終端第５アーム20に固着されたワーク保持手段11が
一直線上を昇降するようになっている。この昇降は、モ
ータ21の制御により自動的に行なわれる。なお、回動比
１：２：１を基本とするアーム相互間の一定回動比を有
する構造のもとでは、多関節アームを構成するアームの
数は、５つに限定されず、３つでもよく、あるいは７つ
とされてもよい。
【００４３】このモータ21は、従来のように走行体15側
に設けられることなく、図４および図６に図示されるよ
うに、第１アーム16側に設けられており、該第１アーム
16の内部空間の上方の空いたスペースを活用して、そこ
に納められている。このようにすることにより、単一の
駆動源モータ21とアーム相互間の一定の回動比を有する
構造とから発生する塵埃のシールは、全てアーム側で行
なえばよいことになり、シールがし易い構造が得られ
る。水平移動手段12に対する始端第１アーム16の回動、
およびアーム相互間の一定の回動比を有する構造を介し
た後続の第２〜第５アーム17〜20の回動は、全てこのモ
ータ21の作動によって行なわれる。アーム相互間の一定
の回動比を有する構造としては、例えば、一定の径比を
有する複数のプーリと複数のベルトとを用いたもの、複
数の歯車のみの連携によるもの、複数のワイヤーのみの
連携によるもの等周知の伝動機構を使用することができ
る。
【００４４】多関節アームを構成する５つのアーム16〜
20のうち、隣接するアーム同志を回動可能に連結する関
節軸22〜25（図６参照）の各々は、詳細には図示されな
いが、中空構造にされており、各アーム16〜20の内部空
間は連通されて、負圧が付与されている。また、ワーク
保持手段11が備えるワーク回転駆動部27も中空構造にさ
れていて、各アーム16〜20の内部空間に連通されており
（図６中、鎖線で連通された連通路参照）、その駆動部
より発生する塵埃が負圧により吸引されてアーム側に導
かれるようになっている。
【００４５】そして、これら各アーム16〜20、ワーク回
転駆動部27の内部空間において発生した塵埃は、走行体
15の内部空間を介して固定ガイドレール14の内部空間に
吸引されて、その一方端側の排出口からクリーンルーム
の外に排出される。あるいは、また、固定ガイドレール
14の途中に設けられる単数もしくは複数のフィルターを
通してクリーンルーム内に排出されるようにされてもよ
い。このようにすることにより、各アーム16〜20および
ワーク回転駆動部27の内部空間において発生した塵埃の
排出構造が簡単になり、その塵埃の排出が容易になる。
【００４６】ワーク保持手段11は、前記のとおり、終端
第５アーム20に固着されており、そのワーク保持部26が
密閉コンテナ６の頂部を把持すると、昇降手段13により
上昇させられて、水平移動手段12により所定の処理室３
まで搬送される。ワーク保持手段11が所定の処理室３の
位置に到着すると、昇降手段13により下降させられて、
ワーク保持部26が密閉コンテナ６の把持を解き、密閉コ
ンテナ６がインターフェイス装置４の載置台上に載置さ
れる。このとき、密閉コンテナ６の載置方向を修正する
必要が生じた場合には、ワーク保持手段11が備えるワー
ク回転駆動部27が作動して、密閉コンテナ６を水平面内
で所要量回転させ、その載置方向を修正することができ
る。
【００４７】本実施形態１は、前記のように構成されて
いるので、次のような効果を奏することができる。クリ
ーンルーム内ワーク搬送装置10が備える水平移動手段12
に設けられる昇降手段13が、多関節アームからなり、該
多関節アームが有する複数のアーム16〜20は、それらの
各端部で順次交互に互い違いに重ねて連結されており、
各アーム16〜20が回動することにより、多関節アームが
伸縮するようにされているので、多関節アームの重心が
ずれることがなく、アーム全体の重量バランスが安定し
て、多関節アームが伸長（昇降手段13が下降）したとき
にも、重力による撓みが少ない。これにより、ワーク保
持手段11が各処理装置に位置ずれなくワークを受け渡す
ことができるようになり、多関節アームの伸縮もスムー
スに行なわれて、ワークを水平搬送するときには、昇降
手段13をコンパクトに畳み、気流の乱れを最小限に抑え
ることができる。また、アーム全体の重量およびワーク
重量によるトルクが発生せず、ワークの安定した水平搬
送が可能になる。
【００４８】また、昇降手段13が、３つ以上のアーム16
〜20を有する多関節アームからなり、単一の駆動源モー
タ21とアーム相互間の一定の回動比を有する構造とを有
し、該モータ21が作動して各アーム16〜20が回動するこ
とにより、多関節アームが伸縮するようにされているの
で、その昇降手段13は、単一の駆動源モータ21と３つ以
上のアーム16〜20の組合せ使用とによって、各アーム16
〜20が連動し、衝撃のない滑らかな動きが得られる。
【００４９】さらに、昇降手段13は、水平移動手段12に
対する始端第１アーム16の回動が、該第１アーム16側に
設けられた単一の駆動源モータ21の作動によって行なわ
れるようにされているので、モータ21とアーム相互間の
一定の回動比を有する構造とから発生する塵埃のシール
は、全てアーム側で行なえばよいことになり、シールが
し易くなる。また、第１アーム16の内部空間の空いたス
ペースを活用して、そこにモータ21を収容することがで
きるので、コンパクトな構造のワーク搬送装置10が得ら
れる。
【００５０】また、多関節アームの各関節軸22〜25は、
中空構造にされ、各アーム16〜20の内部空間は連通され
て、負圧が付与されているので、多関節アームを構成す
る各アーム16〜20の内部空間において発生する塵埃の排
出構造が簡単化され、その塵埃の排出が容易になる。こ
れにより、クリーンルーム内に漏れる塵埃の量が著しく
低減されて、クリーンルームのクリーン度の維持が容易
になる。
【００５１】また、ワーク保持手段11は、ワーク保持部
26のほかに、ワーク回転駆動部27を備えているので、ワ
ークを収容する密閉コンテナ６の３次元空間内における
自在な搬送とともに、その水平面内での回転方向姿勢制
御をも行なうことができ、ワーク載置時における回転方
向の正確な位置出しが可能で、ワーク搬送装置に求めら
れる高度な要求にも十分に対応することができる。
【００５２】さらに、ワーク回転駆動部27は、中空構造
にされ、各アーム16〜20の内部空間に連通されて、その
駆動部より発生する塵埃が負圧により吸引されるように
されているので、ワーク回転駆動部27の内部空間におい
て発生する塵埃の排出構造が簡単化され、その塵埃の排
出が容易になり、クリーンルーム内に漏れる塵埃の量が
著しく低減されて、クリーンルームのクリーン度の維持
がさらに容易になる。
【００５３】また、ウエハまたはレクチルからなるワー
クは、その複数枚が密閉コンテナ６に収納されて、ワー
ク保持手段11により保持されるようになっているので、
これらのワークは、密閉された状態でクリーンルーム内
を搬送されることになり、これらのワークに要求される
高度なクリーン度の保持をも容易に達成することができ
る。
【００５４】また、本実施形態１の変形例によれば、水
平移動手段12は、クリーンルーム内上方の天井空間で、
任意の水平面内での移動が可能にされているので、ワー
ク保持手段11も、水平移動手段12に随伴して、クリーン
ルーム内上方の天井空間で、任意の水平面内での移動が
可能にされる。この結果、クリーンルーム内に設置され
る処理室３等の装置の設置位置や設置方向が制約を受け
ることがなくなり、最適な配置を選択することができ
る。また、新たに処理室３等の装置を追加する場合や処
理室３等の装置の配置を変更する場合も、その配置や設
置方向を自由に選択することができ、処理室３等の装置
の配置の変更、増設などに対するコストを安価にするこ
とができる。また、ワーク保持手段11をある位置から他
の位置に中央の通路をまたいで直線的に移動させること
ができ、クリーンルーム内におけるワークの処理効率が
向上する。
【００５５】次に、図７および図８に図示される本願の
請求項１０に記載された発明の一実施形態（実施形態
２）について説明する。図７は、本実施形態２における
ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇した状態を示す
正面図であって、図３に対応する図、図８は、同ワーク
搬送装置が備えるワーク保持手段により保持されるワー
クの平面図である。なお、実施形態１と対応する部分に
は、同一の符号を付している。
【００５６】本実施形態２におけるワーク搬送装置10に
あっては、該ワーク搬送装置10が備えるワーク保持手段
11のワーク保持部26が、図７に図示されるように、ウエ
ハまたはレクチルからなるワーク30の単体を直接保持し
ている。具体的には、ワーク保持部26の下面から垂下す
る複数本のハンド32が、ワーク30の周縁の複数個所をそ
れぞれ把持することによって、ワーク保持部26がワーク
30単体を直接保持している。
【００５７】そして、各ワーク30には、図８に図示され
るように、該ワーク30単体がたどる処理工程を判別させ
るための識別マーク31が付されており、また、ワーク保
持手段11のワーク保持部26の下面には、該識別マーク31
を検出する検出手段34が設けられている。本実施形態２
は、以上の点において実施形態１と異なっているが、そ
の他の点において異なるところはないので、詳細な説明
を省略する。
【００５８】本実施形態２は、前記のように構成されて
いるので、ワーク保持手段11のワーク保持部26は、ワー
ク30単体を保持するに際して、その下面に設けられた識
別マーク検出手段34がワーク30単体に付された識別マー
ク31を検出して、その検出信号をワーク搬送装置10の制
御装置に伝達することにより、該ワーク搬送装置10は、
クリーンルーム内の３次元空間において、ワーク30単体
を予め定められた順序に従って各処理室（処理装置）３
に迅速に搬送して、所定の処理を受けさせるようにする
ことができる。これにより、ワーク搬送装置10の作業能
率を格段に向上させることができる。その他、実施形態
１と同様の効果を奏することができる。
【００５９】次に、図９に図示される本願の請求項１１
に記載された発明の一実施形態（実施形態３）について
説明する。図９は、本実施形態３におけるワーク搬送装
置が適用されるクリーンルーム内に設置された識別マー
ク検出装置が識別マークを検出している状態を示す正面
図である。なお、実施形態２と対応する部分には、同一
の符号を付している。
【００６０】本実施形態３におけるワーク搬送装置10に
あっては、ワーク30単体に付された識別マーク31を検出
する検出手段34を備えた識別マーク検出装置33が、クリ
ーンルーム内に特別に設置されている。この識別マーク
検出装置33は、図９に図示されるように、その上部の一
角に、ワーク保持手段11のワーク保持部26の下面とワー
ク30との間に進入し得る突出部35を備えていて、前記し
た検出手段34は、この突出部35の下面に設けられてい
る。なお、この検出手段34は、突出部35の先端部に内蔵
されてもよい。本実施形態３は、以上の点において実施
形態２と異なっているが、その他の点において異なると
ころはないので、詳細な説明を省略する。
【００６１】本実施形態３は、前記のように構成されて
いるので、識別マーク検出装置33は、その設置位置にま
で搬送されてきたワーク30単体に付された識別マーク31
を検出して、その検出信号をワーク搬送装置10の制御装
置に伝達することにより、該ワーク搬送装置10は、クリ
ーンルーム内の３次元空間において、ワーク30単体を予
め定められた順序に従って各処理室（処理装置）３に迅
速に搬送して、所定の処理を受けさせるようにすること
ができる。これにより、ワーク搬送装置10の作業能率を
格段に向上させることができる。その他、実施形態２と
同様の効果を奏することができる。
【００６２】なお、本願の発明は、以上に述べた実施形
態に限定されず、その発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて、種々の変形実施が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願の請求項１ないし請求項９に記載された発
明の一実施形態（実施形態１）におけるワーク搬送装置
が適用されるクリーンルーム内生産ラインの斜視図であ
る。
【図２】同様のクリーンルーム内生産ラインの変形例の
斜視図である。
【図３】同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇した
状態を示す正面図である。
【図４】同側面図である。
【図５】同昇降手段が下降した状態を示す正面図であ
る。
【図６】同側面図である。
【図７】本願の請求項１０に記載された発明の一実施形
態（実施形態２）におけるワーク搬送装置が備える昇降
手段が上昇した状態を示す正面図であって、図３に対応
する図である。
【図８】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によ
り保持されるワークの平面図である。
【図９】本願の請求項１１に記載された発明の一実施形
態（実施形態３）におけるワーク搬送装置が適用される
クリーンルーム内に設置された識別マーク検出装置が識
別マークを検出している状態を示す正面図である。
【図１０】従来のワーク搬送装置が備える昇降手段を示
す図であり、図１０（１）は、その上昇状態の正面図、
図１０（２）は、同縦側断面図である。
【図１１】同従来のワーク搬送装置が備える昇降手段を
示す図であり、図１１（１）は、その下降状態の正面
図、図１１（２）は、同縦側断面図である。
【符号の説明】
１…クリーンルーム内生産ライン、２…床面、３…処理
室、４…インターフェイス装置、５…ワーク搬入出口、
６…密閉コンテナ、７…ワーク搬送車、10…ワーク搬送
装置、11…ワーク保持手段、12…水平移動手段、13…昇
降手段、14…固定ガイドレール、15…走行体、16〜20…
第１〜第５アーム、21…駆動源モータ、22〜25…関節
軸、26…ワーク保持部、27…ワーク回転駆動部、28…走
行ガイドレール、30…ワーク、31…識別マーク、32…ハ
ンド、33…識別マーク検出装置、34…識別マーク検出手
段、35…突出部、Ａ…仮想鉛直面。
【手続補正書】
【提出日】平成１４年６月１７日（２００２．６．１
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本願の発明は、従来の
ワーク搬送装置が有する前記のような問題点を解決し
て、昇降手段の多関節アームを伸長させた際の重力によ
る撓みを解消し、ワーク保持手段が各処理装置に位置ず
れなくワークを受け渡すことができるようにするととも
に、多関節アームの伸縮もスムースで、ワークを水平搬
送するときには、昇降手段をコンパクトに畳んで、気流
の乱れを最小限に抑えることができ、シールもし易い、
ワーク搬送装置を提供することを課題とする。また、本
願の発明は、ワークが特にウエハやレチクルである場合
に、これらウエハやレチクルの単体を個別に所定の処理
装置に迅速に搬送して、作業能率を向上させることがで
きる、ワーク搬送装置を提供することを課題とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】また、請求項９に記載のように請求項１な
いし請求項８のいずれかに記載の発明を構成することに
より、ワークは、ウエハまたはレチクルであり、これら
ウエハまたはレチクルの複数枚がワーク収納容器に収納
されて、ワーク保持手段により保持されるようにされ
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】この結果、ワークをなすウエハまたはレチ
クルの複数枚は、ワーク収納容器に収納されて、密閉さ
れた状態でクリーンルーム内を搬送されることができる
ので、これらのワークに要求される高度なクリーン度の
保持をも容易に達成することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２７】さらに、その請求項１０に記載された発明
は、ウエハまたはレチクルからなるワーク単体を直接保
持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方の天井
空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水
平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前記ワー
ク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理
装置との間で前記ワーク単体の受け渡しが行なわれるよ
うにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム内で、
複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワーク単体
を搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、
前記ワーク単体には、該ワーク単体がたどる処理工程を
判別させるための識別マークが付され、前記ワーク保持
手段には、前記識別マークを検出する検出手段が設けら
れたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】請求項１０に記載された発明は、前記のよ
うに構成されているので、次のような効果を奏すること
ができる。ウエハまたはレチクルからなるワーク単体に
は、該ワーク単体がたどる処理工程を判別させるための
識別マークが付され、該ワーク単体を直接保持するワー
ク保持手段には、該識別マークを検出する検出手段が設
けられるので、ワーク保持手段は、ワーク単体を保持す
るに際して、該ワーク単体に付された識別マークを検出
して、その検出信号をワーク搬送装置の制御装置に伝達
することにより、ワーク搬送装置は、クリーンルーム内
の３次元空間において、ワーク単体を予め定められた順
序に従って各処理装置に迅速に搬送し、所定の処理を受
けさせるようにすることができる。これにより、ワーク
搬送装置の作業能率が格段に向上する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】さらに、また、その請求項１１に記載され
た発明は、ウエハまたはレチクルからなるワーク単体を
直接保持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方
の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動さ
せる水平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前
記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と
各処理装置との間で前記ワーク単体の受け渡しが行なわ
れるようにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム
内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワー
ク単体を搬送するようにされてなるワーク搬送装置にお
いて、前記ワーク単体には、該ワーク単体がたどる処理
工程を判別させるための識別マークが付され、前記クリ
ーンルーム内には、前記識別マークを検出する検出手段
を備えた識別マーク検出装置が設けられたことを特徴と
するワーク搬送装置である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】請求項１１に記載された発明は、前記のよ
うに構成されているので、次のような効果を奏すること
ができる。ウエハまたはレチクルからなるワーク単体に
は、該ワーク単体がたどる処理工程を判別させるための
識別マークが付され、クリーンルーム内には、該識別マ
ークを検出する検出手段を備えた識別マーク検出装置が
設けられるので、識別マーク検出装置は、その設置位置
にまで搬送されたワーク単体に付された識別マークを検
出して、その検出信号をワーク搬送装置の制御装置に伝
達することにより、ワーク搬送装置は、クリーンルーム
内の３次元空間において、ワーク単体を予め定められた
順序に従って各処理装置に迅速に搬送し、所定の処理を
受けさせるようにすることができる。これにより、ワー
ク搬送装置の作業能率が格段に向上する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３３】各処理室３は、順次ワークの処理をする設
備であって、それぞれ異なる処理を実施するものである
が、ワーク処理のタクトタイムのバランス等を考慮し
て、同一処理室が複数含まれていてもよい。このような
処理室３としては、例えば、半導体ウエハのレジスト塗
布、露光、現像、イオン打込み、アニール、スパッタリ
ング等の処理を行なうための半導体ウエハ処理装置があ
る。以下の説明においても、半導体ウエハに対する処理
を念頭において説明するが、同様のワーク搬送装置は、
レチクル処理装置に対しても、同様に適用され得るもの
である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３６】このクリーンルームの上部空間には、ワー
ク（ウエハまたはレチクル）の複数枚を納めた密閉コン
テナ（ワーク収納容器）６を各処理室３に処理順序に従
って搬送するためのワーク搬送装置10が設けられてい
る。ワークは、要求される高度なクリーン度を保つため
に、密閉コンテナ６内に密閉した状態で搬送される。床
面２には、ワーク搬送車７の走行用スペースが設けられ
ており、クリーンルーム外から搬送されてきた密閉コン
テナ６をワーク搬送車７が受けると、ワーク搬送車７
は、そこに敷設された軌条に沿って所定の位置まで走行
して、その密閉コンテナ６をワーク搬送装置10に受け渡
す。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５３】また、ウエハまたはレチクルからなるワー
クは、その複数枚が密閉コンテナ６に収納されて、ワー
ク保持手段11により保持されるようになっているので、
これらのワークは、密閉された状態でクリーンルーム内
を搬送されることになり、これらのワークに要求される
高度なクリーン度の保持をも容易に達成することができ
る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５６】本実施形態２におけるワーク搬送装置10に
あっては、該ワーク搬送装置10が備えるワーク保持手段
11のワーク保持部26が、図７に図示されるように、ウエ
ハまたはレチクルからなるワーク30の単体を直接保持し
ている。具体的には、ワーク保持部26の下面から垂下す
る複数本のハンド32が、ワーク30の周縁の複数個所をそ
れぞれ把持することによって、ワーク保持部26がワーク
30単体を直接保持している。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井芹 隆史 東京都品川区戸越３丁目９番20号 平田機 工株式会社内 Ｆターム(参考） 3C007 AS00 AS05 AS24 AS25 BS05 BS10 BT01 CT02 CT03 CU05 CV08 CW08 CY28 HT02 HT04 HT06 HT21 KS08 LV14 NS13 5F031 CA02 CA07 FA01 FA04 FA12 GA12 GA15 GA43 GA47 GA48 GA58 JA49 LA07 NA02 NA14

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワークを保持するワーク保持手段と、 クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手
    段を水平方向に移動させる水平移動手段と、 前記水平移動手段に設けられ、多関節アームからなり、
    該多関節アームが伸縮することにより前記ワーク保持手
    段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との
    間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降
    手段とを備え、 前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各
    処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワー
    ク搬送装置において、 前記多関節アームが有する複数のアームは、それらの各
    端部で順次交互に互い違いに重ねて連結されており、各
    アームが回動することにより前記多関節アームが伸縮す
    るようにされていることを特徴とするワーク搬送装置。
  2. 【請求項２】 ワークを保持するワーク保持手段と、 クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手
    段を水平方向に移動させる水平移動手段と、 前記水平移動手段に設けられ、多関節アームからなり、
    該多関節アームが伸縮することにより前記ワーク保持手
    段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との
    間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降
    手段とを備え、 前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各
    処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワー
    ク搬送装置において、 前記昇降手段は、３つ以上のアームを有する多関節アー
    ムからなり、単一の駆動源とアーム相互間の一定の回動
    比を有する構造とを有し、該駆動源が作動して各アーム
    が回動することにより前記多関節アームが伸縮するよう
    にされていることを特徴とするワーク搬送装置。
  3. 【請求項３】 前記昇降手段は、３つ以上のアームを有
    する多関節アームからなり、単一の駆動源とアーム相互
    間の一定の回動比を有する構造とを有し、該駆動源が作
    動して各アームが回動することにより前記多関節アーム
    が伸縮するようにされていることを特徴とする請求項１
    に記載のワーク搬送装置。
  4. 【請求項４】 前記水平移動手段は、前記クリーンルー
    ム内上方の天井空間で、任意の水平面内での移動が可能
    にされていることを特徴とする請求項１または請求項２
    に記載のワーク搬送装置。
  5. 【請求項５】 前記昇降手段は、前記水平移動手段に対
    する始端第１アームの回動が、該第１アーム側に設けら
    れたモータの作動によって行なわれるようにされている
    ことを特徴とする請求項２に記載のワーク搬送装置。
  6. 【請求項６】 前記多関節アームの各関節軸は、中空構
    造にされており、各アームの内部空間は連通されて、負
    圧が付与されていることを特徴とする請求項１または請
    求項２に記載のワーク搬送装置。
  7. 【請求項７】 前記ワーク保持手段は、そのワーク保持
    部を回転させるワーク回転駆動部を備え、前記ワークを
    水平面内で回転させることができるようにされているこ
    とを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク
    搬送装置。
  8. 【請求項８】 前記ワーク保持手段は、そのワーク保持
    部を回転させるワーク回転駆動部を備え、前記ワークを
    水平面内で回転させることができるようにされており、 前記ワーク回転駆動部は、中空構造にされ、前記各アー
    ムの内部空間に連通されて、その駆動部より発生する塵
    埃が負圧によりそこに吸引されるようにされていること
    を特徴とする請求項６に記載のワーク搬送装置。
  9. 【請求項９】 前記ワークは、ウエハまたはレクチルで
    あり、これらウエハまたはレクチルの複数枚がワーク収
    納容器に収納されて、前記ワーク保持手段により保持さ
    れていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のい
    ずれかに記載のワーク搬送装置。
  10. 【請求項１０】 ウエハまたはレクチルからなるワーク
    単体を直接保持するワーク保持手段と、 クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手
    段を水平方向に移動させる水平移動手段と、 前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇
    降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前
    記ワーク単体の受け渡しが行なわれるようにする昇降手
    段とを備え、 前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各
    処理装置に前記ワーク単体を搬送するようにされてなる
    ワーク搬送装置において、 前記ワーク単体には、該ワーク単体がたどる処理工程を
    判別させるための識別マークが付され、 前記ワーク保持手段には、前記識別マークを検出する検
    出手段が設けられたことを特徴とするワーク搬送装置。
  11. 【請求項１１】 ウエハまたはレクチルからなるワーク
    単体を直接保持するワーク保持手段と、 クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手
    段を水平方向に移動させる水平移動手段と、 前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇
    降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前
    記ワーク単体の受け渡しが行なわれるようにする昇降手
    段とを備え、 前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各
    処理装置に前記ワーク単体を搬送するようにされてなる
    ワーク搬送装置において、 前記ワーク単体には、該ワーク単体がたどる処理工程を
    判別させるための識別マークが付され、 前記クリーンルーム内には、前記識別マークを検出する
    検出手段を備えた識別マーク検出装置が設けられたこと
    を特徴とするワーク搬送装置。
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