JP2004025427A - ワーク搬送装置 - Google Patents
ワーク搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004025427A JP2004025427A JP2003029940A JP2003029940A JP2004025427A JP 2004025427 A JP2004025427 A JP 2004025427A JP 2003029940 A JP2003029940 A JP 2003029940A JP 2003029940 A JP2003029940 A JP 2003029940A JP 2004025427 A JP2004025427 A JP 2004025427A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- work holding
- transfer device
- holding means
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】水平移動手段に設けられ、ワークを保持するワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段13とを備え、クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、ワーク保持手段は、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部26を有し、ワークの底面を保持するハンド32を前記ワーク保持部26の両側部の下端に対向して設けられている。また、ワーク保持手段が水平面内で移動可能な旋回手段40、ワークの向きを変えられる回転手段50が設けられ、載置条件に対し柔軟に対応できる。
【選択図】 図4
Description
【産業上の利用分野】
本願の発明は、クリーンルーム用のワーク搬送装置に関し、特に半導体部品、液晶表示パネル、医薬品、薬品、加工食品等のクリーンルーム内生産ラインにおいて、複数の処理装置間を巡って各処理装置にワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路、液晶表示パネル等では、塵埃の付着により製品の歩留りが低下する。また、医薬品、薬品、加工食品等では、無菌の衛生的な環境において生産されることが望ましい。このため、それらの生産部門を含む広い分野において、クリーンルーム内生産ラインが稼働しており、クリーンルーム内に設置される各種処理室、ワーク搬送装置等に関して種々の技術開発が図られている。
【0003】
それらのうち、ワーク搬送装置に関し、本出願人は、図1に示すようなクリーンルーム内上方の天井空間で、ワークを保持するワーク保持手段を任意の3次元方向に移動させることができる移動手段を備えたワーク搬送システムを創案し、特許出願をした(特願2001−283407号公報参照)。このものにおいては、天井空間に一対の水平な固定ガイドレールが平行に配設されており、これら一対の固定ガイドレール間に、水平な走行ガイドレールが1本ないし複数本架設されていて、この走行ガイドレールが固定ガイドレールに沿って走行できるようになっている。また、走行ガイドレールには、該走行ガイドレールに沿って走行する走行体が設けられており、これら固定ガイドレール、走行ガイドレール、走行体によって水平移動手段が構成されている。さらに、この走行体には、ワーク保持手段を昇降させることができる昇降手段が設けられていて、該昇降手段を前記水平移動手段に加えて、3次元移動手段が構成されている。
【0004】
このワーク搬送システムは、前記のように構成されているので、クリーンルームの床面にワーク搬送のためのエリアが必要とされることがなく、クリーンルーム内を有効活用することができる。このため、同一設備に対しては、必要なクリーンルーム容積を小さくすることができ、クリーンルームの設備コストおよび運用コストを安価にすることができる。また、クリーンルーム内に設置される処理室等の装置の設置位置や設置方向が制約を受けにくく、最適な配置を選択することができる。さらに、新たに処理室等の装置を追加する場合や処理室等の装置の配置を変更する場合も、その配置や設置方向を自由に選択することができる。したがって、処理室等の装置の配置の変更、増設などに対するコストも安価にすることができる。さらに、また、ワーク保持手段をある位置から他の位置に直線的に移動させることができ、クリーンルーム内におけるワークの処理効率も向上する、等々の優れた効果を奏するものである。
【0005】
しかしながら、この従来のワーク搬送システムにあっては、図10に示すように昇降手段113に設けられたワーク保持手段211によって、ワーク(ウエハまたはレチクル)複数枚を納めた密閉コンテナ(ワーク収納容器)206の上面に設けられたフランジ202をチャック201で保持して搬送する構造となっているが、このときフランジ202が破損して密閉コンテナが落下することが懸念されていた。また、ウエハ又はレチクル等のワークは一般に高価で、クリーンルーム内の天井空間で搬送されるため、安全のためにはワーク保持手段211とは別にワーク落下防止手段を付加することが要求されるが、クリーンルーム内の搬送においてこのようなワーク落下防止手段をワーク3次元移動手段に設けられたワーク保持手段211とは別に備えることは、装置の複雑化を招きコスト負担を強いると共に、塵埃等の原因となる可能性を否定できなかった。
【0006】
また、ワーク三次元移動手段においては、ワークを載置する位置に対し大まかな位置合わせは容易であるが、ワークを載置する位置に対し正確な位置合わせは、大変困難であった。さらに、ワークを載置する位置より受取ったワークの向きを変えて、他のワークを載置する位置へワークを受け渡す必要がある場合に対応できないことが難点であった。
【0007】
【特許文献1】
特願2001−283407号公報
【特許文献2】
特開平10−279287号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本願の発明は、従来のワーク搬送装置が有する前記のような問題点を解決し、ワーク落下防止の機能を果たすシンプルで有効なワーク保持部を備え、移送先の条件に対しフレキシブルに対応できるワーク搬送装置を提供することを課題とする。
【0009】
【課題を解決するための手段および効果】
本願の発明は、前記のような課題を解決したワーク搬送装置に係り、その請求項1に記載された発明は、ワークを保持するワーク保持手段と、クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水平移動手段と、前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段とを備え、前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、前記ワーク保持手段は昇降手段の下部に設けられ、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けたことを特徴とするとするワーク搬送装置である。
【0010】
請求項1に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。クリーンルーム内上方の天井空間で、ワークを保持するワーク保持手段を任意の方向に移動させ、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するときに、前記ワーク保持手段はワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けているため、ハンドがワークの底面の両側を上向きに支えるとともにワークを保持し、ワークの垂直方向に対する落下防止機能として働き、落下によるワークの破損の虞がない。また、ワーク保持手段が同時に落下防止機能として働くため、別途、ワーク保持手段の他に特別の落下防止手段を設ける必要がなく、装置の簡単化と低コストを実現する。
【0011】
また、請求項2に記載のように請求項1に記載の発明を構成することにより、前記ワーク保持部の中央付近に設けられたワーク支持部材がワーク上面に対して突出してワークを支持し、ワーク下面を保持しているハンドと協動してワークの水平方向への位置ズレ等を阻止することができる。この結果、前記水平移動手段によって発生するワークのワーク保持手段に対する位置ズレ等が阻止され、ワークの落下が防止される。
【0012】
また、請求項3に記載のように請求項1乃至2に記載の発明を構成することにより、前記ワーク保持手段に設けられたハンド回転駆動部において、ハンドを水平面内で回転させてワークの下面へハンドを突出させ、ワークを下面から確実に保持すると共に垂直方向へのワークの落下を防止することができる。また、ワークを保持しない場合はハンドをワーク保持部の両側部の下端に蔵っておくことができ、他障害物との衝突等を回避することができる。
【0013】
また、請求項4に記載のように請求項3に記載の発明を構成することにより、ハンドはバネを介してモータの出力軸に連結しているので、ハンドの停止位置に設けているストッパへ該ハンドが衝突する際に、モータから伝えられる回転駆動力を吸収してハンドのスムーズな停止を可能にし、モータの破損を防止することができる。
【0014】
また、請求項5に記載のように請求項1乃至4に記載の発明を構成することにより、多関節アームの各関節軸及びワーク保持部は中空構造にされ、各アーム及びワーク保持部の内部空間は連通されて、負圧が付与される。この結果、多関節アームを構成する各アーム及びワーク保持部における、例えば可動部分による発塵をクリーンルーム内に流出しないようにし、クリーンルーム内のクリーン度の維持が容易になる。
【0015】
また、請求項6に記載のように請求項1乃至5に記載の発明を構成することにより、昇降手段とワーク保持手段の中継に旋回手段を備えているので、ワーク保持手段を水平面内で移動させることができる。この結果、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対してワークを移載する時、XY方向において微調整が必要な場合でも、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対し正確な位置合わせを行い、ワークを載置することが可能となる。
【0016】
また、請求項7に記載のように請求項1乃至6に記載の発明を構成することにより、ワーク保持手段は回転手段を備えているので、保持したワークを回転させることができる。この結果、ワーク保持部は保持したワークを任意の向きに回転させることができるため、多様な向きに配置されている装置の載置台に対して柔軟にワークの向きを合わせて載置することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、図1乃至10に図示される本願の請求項1乃至7に記載された発明の実施形態について説明する。
【0018】
図1は、本実施形態におけるワーク搬送装置が適用されるクリーンルーム内生産ラインの斜視図、図2は、同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す正面図、図3は、同側面図、図4は同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す斜視図、図5は同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している状況を示す底面図、図6は同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している他の実施状況を示す正面図である。図7は旋回手段と回転手段の構造を示す断面図、図8は旋回手段による動作を示す図、図9は回転手段による動作を示す図である。
【0019】
本実施形態におけるワーク搬送装置が適用されるクリーンルーム内生産ラインは、図1に図示されるように、クリーンルーム内の床面2に、複数の処理室(処理装置)3が2列に分かれて並設されており、各処理室3には、インターフェイス装置4が付設されている。
【0020】
各処理室3は、順次ワークの処理をする設備であって、それぞれ異なる処理を実施するものであるが、ワーク処理のタクトタイムのバランス等を考慮して、同一処理室が複数含まれていてもよい。このような処理室3としては、例えば、半導体ウエハのレジスト塗布、露光、現像、イオン打込み、アニール、スパッタリング等の処理を行なうための半導体ウエハ処理装置がある。以下の説明においても、半導体ウエハに対する処理を念頭において説明するが、同様のワーク搬送装置は、レチクル処理装置に対しても、同様に適用され得るものである。
【0021】
インターフェイス装置4は、処理室3とクリーンルームとを遮断するためのバッファ空間を構成するものであって、処理室3におけるワークの受け渡しは、インターフェイス装置4を介して実行される。インターフェイス装置4のワーク搬入出口5は、ワークの搬入出を行なう場合以外は密閉されている。
【0022】
処理室3およびインターフェイス装置4は、メンテナンス要員やオペレータ要員が作業をするための最低限のメンテナンスエリアを隔てて整列配置されており、クリーンルームの床面積を出来るだけ小さくして、クリーンルームの最大活用を図り、また、後述するワーク搬送装置10によるワーク搬送の効率化を図っている。但し、各処理室3は、特に複数列に並んでいる必要はないし、また、前面(インターフェイス装置4が設けられる面)の向きも規定されておらず、ある程度のランダム配置が許される。
【0023】
このクリーンルームの上部空間には、ワーク(ウエハまたはレチクル)を複数枚納めたFOUP等の密閉コンテナ(ワーク収納容器)6を各処理室3に処理順序に従って搬送するためのワーク搬送装置10が設けられている。ワークは、要求される高度なクリーン度を保つために、密閉コンテナ6内に密閉した状態で搬送される。床面2には、ワーク搬送車7の走行用スペースが設けられており、クリーンルーム外から搬送されてきた密閉コンテナ6をワーク搬送車7が受けると、ワーク搬送車7は、そこに敷設された軌条に沿って所定の位置まで走行して、その密閉コンテナ6をワーク搬送装置10に受け渡す。
【0024】
ワーク搬送装置10は、密閉コンテナ6を保持するワーク保持手段11と、クリーンルーム内上方の天井空間でワーク保持手段11を水平方向に移動させる水平移動手段12と、該水平移動手段12に設けられ、多関節アームからなる昇降手段13とを備えている。昇降手段13は、その多関節アームが伸縮することによりワーク保持手段11を昇降させて、ワーク保持手段11と各処理室3との間でワークの受け渡しが行なわれるようにする。水平移動手段12と昇降手段13とにより3次元移動機構が構成されている。
【0025】
水平移動手段12は、図1に図示されるように、クリーンルーム内上方の天井空間に平行に配設された一対の水平な固定ガイドレール14と、これらの固定ガイドレール14間に1本ないし複数本の走行ガイドレール28が架設されており、該走行ガイドレール28に沿って走行する走行体15が配設されている。昇降手段13は、例えば図6においてその基端部(始端第1アーム16の基端部)がこの走行体15に回動可能に連結されていて、走行体15に随伴して走行する。
【0026】
この実施形態においては、水平移動手段12は、クリーンルーム内上方の天井空間で、一対の固定ガイドレール14間に挟まれた任意の水平面内での移動が可能であり、昇降手段13およびワーク保持手段11をある位置から中央の通路を挟んで反対側の他の位置に直線的に移動させて、ワーク保持手段11と各処理室3との間でのワークの受け渡しを行なわせることができる。なお、一対の水平な固定ガイドレール14間の間隔は、処理室3の配置形態(設置位置、設置方向)に応じて適宜設定され、クリーンルーム一杯に取ることも可能である。
【0027】
次に、昇降手段13の構造について、詳細に説明する。昇降手段13は、図2乃至図4に図示されるように、5つのアーム16〜20を有する多関節アームからなり、始端第1アーム16の基端部は、前記のとおり、走行体15に回動可能に連結されていて、昇降手段13が走行体15に随伴して水平面内で走行することができるようになっている。
【0028】
また、5つのアーム16〜20は、図3により良く図示されているように、1つの仮想鉛直面Aを中心にして、始端第1アーム16はその左方に、第2アーム17はその右方に、第3アーム18はその左方に、というように、順次交互に互い違いに配置され、それらの各端部で順次交互に互い違いに重ねて連結されている。このようにすることにより、多関節アームの重心がずれることがなくなり、アーム全体の重量バランスが安定して、多関節アームが伸長(昇降手段13が下降)したときにも、重力による撓みが少なくなる。また、昇降手段13の折り畳みがコンパクトになり、走行に伴う気流の乱れを最小限に抑えることができる。
【0029】
昇降手段13は、また、単一の駆動源モータ21とアーム相互間の一定の回動比(1:2:1:2:1)を有する構造とを有しており、このモータ21が作動して、各アーム16〜20が回動することにより、多関節アーム全体(昇降手段13)が伸縮する。そして、これにより、終端第5アーム20に固着されたワーク保持手段11が一直線上を昇降するようになっている。この昇降は、モータ21の制御により自動的に行なわれる。なお、回動比1:2:1を基本とするアーム相互間の一定回動比を有する構造のもとでは、多関節アームを構成するアームの数は、5つに限定されず、3つでもよく、あるいは7つとされてもよい。
【0030】
このモータ21は、図3に図示されるように、第1アーム16側に設けられており、該第1アーム16の内部空間の上方の空いたスペースを活用して、そこに納められている。このようにすることにより、単一の駆動源モータ21とアーム相互間の一定の回動比を有する構造とから発生する塵埃のシールは、全てアーム側で行なえばよいことになり、シールがし易い構造が得られる。水平移動手段12に対する始端第1アーム16の回動、およびアーム相互間の一定の回動比を有する構造を介した後続の第2〜第5アーム17〜20の回動は、全てこのモータ21の作動によって行なわれる。アーム相互間の一定の回動比を有する構造としては、例えば、一定の径比を有する複数のプーリと複数のベルトとを用いたもの、複数の歯車のみの連携によるもの、複数のワイヤーのみの連携によるもの等周知の伝動機構を使用することができる。
【0031】
多関節アームを構成する5つのアーム16〜20のうち、隣接するアーム同士を回動可能に連結する関節軸22〜25(図4参照)の各々は、詳細には図示されないが、中空構造にされており、各アーム16〜20の内部空間は連通されて、負圧が付与されている。また、ワーク保持手段11が備えるワーク保持部26も中空構造にされていて、各アーム16〜20の内部空間に連通されており(図3中、鎖線で連通された連通路参照)、その駆動部より発生する塵埃が負圧により吸引されてアーム側に導かれるようになっている。
【0032】
そして、これら各アーム16〜20、ワーク保持部26の内部空間において発生した塵埃は、走行体15の内部空間を介して固定ガイドレール14の内部空間に吸引されて、その一方端側の排出口からクリーンルームの外に排出される。あるいは、また、固定ガイドレール14の途中に設けられる単数もしくは複数のフィルターを通してクリーンルーム内に排出されるようにされてもよい。この結果、多関節アームを構成する各アーム16〜20及びワーク保持部26における、例えば可動部分による発塵をクリーンルーム内に流出しないようにし、クリーンルーム内のクリーン度の維持が容易になる。
【0033】
次にワーク保持手段11を水平面内で移動させる旋回手段40について図7を参照して説明する。旋回手段40はアーム20の下端に設けられた、平面視楕円形の中空の筐体43をアーム20とワーク保持手段11の中継位置に備えている。アーム20内には仕切部材45が内部を上下に区画し、前記仕切部材45に載置しているモータ400の出力軸42が仕切部材45を貫通し、仕切部材45の下へ突出した出力軸42の外周にはギア41aが装着され、ギア41bと噛合している。ギア41bには中空軸44が装着され、中空軸44の上端は仕切部材45に設けられた開口48から突出し、下端は筐体43の内部へ挿通し、前記筐体43内部を仕切部材47により区画された空間Sへ突出している。そして、仕切部材47に設けられた開口46を通じてアーム20内部と筐体43の内部を連通し、前記筐体43及び仕切部材47を前記中空軸44が貫通する部分は各々固定されている。上記のような構成において、モータ400で発生した回動動力が出力軸42に装着したギア41aからギア41bへと伝わると、ギア41bに装着している中空軸44が回転し始める。すると、前記中空軸44に固定された筐体43は中空軸44を軸心として回動する。前記旋回手段40による、旋回動作の外観を図8に示す。旋回動作前図8(a)の状態から前記筐体43が中空軸44を中心として90度右へ旋回すると図8(b)に示されるように破線位置から実線位置へワークが旋回する。
【0034】
本実施例では筐体43の形状を平面視楕円形としたが、これに限られることなく、平面視円形、その他の形状であってもよい。また、出力軸42が筐体43を貫通する位置を筐体43の中心位置では無く、偏心位置にし、フットプリントを最小限にして、旋回ストロークを出来るだけ大きくしているが、上記のような実施形態に囚われず、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、ワーク保持手段11を水平面内で旋回させる種々の変形が可能である。
【0035】
次に、前記ワーク保持手段11に設けられた回転手段50について図7を参照して説明する。筐体43の内部にはモータ500が収容されている。前記モータ500の出力軸51には上記旋回手段40の構造と同じく、外周にギア52aが装着され、ギア52bと噛合されている。ギア52bには中空軸53が装着され、前記中空軸53の下端はワーク保持手段11に固定されている。従って、前記出力軸51の回転に伴い前記ワーク保持手段11は任意の方向へ回転可能となる。図9に前記回転手段50によるワーク保持手段11の回転動作の外観を示す。図9(a)の回転動作前の状態から中空軸53を中心としてワーク保持手段11が右回りに90度回転した(b)の状態へと変位する。
【0036】
図9に示すようにアーム20と筐体43、筐体43とワーク保持手段11の連結部分を包囲する凹凸部Tが形成されているが、これは連結部分の回転動作により発生する虞のある塵を連結部分から外部へ放出しないようにラビリンス構造としたものである。また、前記中空軸53により、筐体43の内部とワーク保持部26の内部が連通し、また、前記中空軸44によりアーム20の内部と筐体43の内部が連通されていることになり、アーム16からワーク保持部26にわたり吸引が可能となる。そのため、昇降手段13内部及び旋回手段40内部、ワーク保持手段11内部で塵が発生しても、外部へ放出することがない。
【0037】
本実施例ではモータ400及び500を用いて旋回手段40、回転手段50を駆動させたが、減速機等を用いて前記旋回手段40及び回転手段50の駆動を1つのモーターで行うことも可能である。
【0038】
次に、ワーク保持手段11の構造について、詳細に説明する。ワーク保持手段11は、図3乃至4のようにワークを保持する際にワークを密閉した密閉コンテナ6の上側から密閉コンテナの両側面へコの字状に延びるワーク保持部26を有しており、更に、そのワーク保持部26の両端部の下端には水平面内に回転可能に軸支されたハンド32とハンド回転駆動部としてのモータ101が各々備えられている。
【0039】
更に、モータ101の出力軸には図3に示すようにバネ102の一方端が連結され、他方端がハンド32に固定された回転軸103に垂直同軸に連結されている。このため、モータ101の回転駆動によりハンド32を水平面内で一方向へ回転させ(図5において破線の位置へ回転)、密閉コンテナ6の下面へハンド32を突出させ、密閉コンテナ6を下面から垂直方向に保持する。ハンド32の形状は平板状で、密閉コンテナ6の底面を表した図5にある通り、密閉コンテナ6を保持しない場合はハンド32を逆方向へ回転させ、ワーク保持部26の破線の位置に納める。
【0040】
又、図4において、ハンド32を回転するとハンド32の回転方向の停止位置に設けた図示しないストッパへ該ハンド32が衝突した際には、モータ101から伝えられる回転駆動力をバネ102が吸収してハンド32のスムーズな停止を可能にし、モータ101等の破損を防止することができる。
【0041】
又、図2において、ワーク保持部26には、密閉コンテナ6を保持している際に密閉コンテナ6の上面に対して突出可能なワーク支持部材200が設けられている。ハンド32が回転して密閉コンテナ6を垂直方向に保持した後、ワーク支持部材200が下方向に突出して水平方向に対するワークの位置ズレを防ぐ。前記の水平移動手段12および昇降手段13の3次元移動機構によるワーク搬送の間はこれらの機構によるワークの落下を防止する。
【0042】
なお、ワーク保持手段11におけるワーク保持の方法としては、コの字状に延びるワーク保持部26の下端部に設けたハンド32を水平面内に回転(旋回)させる他、他の実施状況として、図6の(a)に示すようにハンド32を水平面内でスライドさせるフォークタイプの採用も可能である。また、同様に、ワーク保持部の両肩部分を可動にし、ハンドを下端に固定して両肩部分をワーク保持部に対してスライドする(b)や、回転する(c)タイプの構造の採用も可能である。
【0043】
ここで本発明のワーク搬送装置によって行われる一連のワークの搬送動作について簡単に説明するする。ワーク搬送装置10は水平移動手段12により搬送対象となる密閉コンテナ6の所定位置付近に到着すると、昇降手段13によりワーク保持手段11が密閉コンテナ6の上方まで下降させられる。そして、旋回手段40及び回転手段50により、密閉コンテナ6の正確な保持位置に対して、ワーク保持手段11のXY位置や向きを調整し位置決めを行い、下降する。そして、ワーク保持部26が密閉コンテナ6を保持すると、昇降手段13により上昇させられて、水平移動手段12により異なる所定の処理室3まで搬送される。ワーク保持手段11が所定の処理室3の位置に到着すると、昇降手段13により下降させられ、密閉コンテナ6は大まかな載置位置で一旦、停止する。そして、旋回手段40及び回転手段50によりインターフェース装置4の載置台の正確なワークの載置位置に対し、密閉コンテナ6のXY位置や向きの調整が行われる。その後、ワーク保持部26が密閉コンテナ6の把持を解き、密閉コンテナ6がインターフェイス装置4の載置台上に載置され、本発明のワーク搬送装置による搬送動作が完了する。
【0044】
本発明のワーク搬送装置10は、前述のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
【0045】
クリーンルーム内上方の天井空間で、ワークを保持するワーク保持手段11を任意の3次元方向に移動させ、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するときに、前記ワーク保持手段11はワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部26を有し、ワークの底面を保持するハンド32を前記ワーク保持部26の両側部の下端に対向して設けているため、ハンド32がワークの底面の両側を上向きに支えるとともにワークを保持し、ワークの垂直方向に対する落下防止機能として働き、落下によるワークの破損の虞がない。また、ワーク保持手段11が同時に落下防止機能として働くため、別途、ワーク保持手段の他に特別の落下防止手段を設ける必要がなく、装置の簡単化と低コストを実現する。
【0046】
また、ワーク保持部26の中央付近に設けられたワーク支持部材200がワーク上面に対して突出してワークを支持し、ワーク下面を保持しているハンド32と協動してワークの水平方向への位置ズレ等を阻止することができる。この結果、前記水平移動手段によって発生するワークのワーク保持手段11に対する位置ズレ等が阻止され、落下防止が阻止される。
【0047】
また、ハンド32を水平面内で回転させてワークの下面へハンド32を突出させ、ワークを下面から確実に保持すると共に垂直方向へのワークの落下を防止することができる。
【0048】
また、ワークを保持しない場合はハンド32をワーク保持部26の両側部の下端に蔵っておくことができ、他障害物との衝突等を回避することができる。
【0049】
また、ハンド32はバネ102を介してモータ101の出力軸に連結してい
るので、ハンド32の停止位置に設けているストッパへ該ハンド32が衝突する際に、モータ101から伝えられる回転駆動力を吸収してハンド32のスムーズな停止を可能にしモータ101の破損を防止することができる。
【0050】
また、多関節アームの各関節軸22〜25及びワーク保持部26は中空構造にされ、各アーム16〜20及びワーク保持部26の内部空間は連通されて、負圧が付与される。この結果、多関節アーム16〜20を構成する各アーム及びワーク保持部26における、例えば可動部分による発塵をクリーンルーム内に流出しないようにし、クリーンルーム内のクリーン度の維持が容易になる。
【0051】
また、昇降手段とワーク保持手段の中継に旋回手段を備えているので、ワーク保持手段を水平面内で移動させることができる。その結果、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対してワークを移載する時、XY方向において微調整が必要な場合でも、ワーク保持手段がワークを載置する位置に対し正確な位置合わせを行い、ワークを載置することが可能となる。
【0052】
また、ワーク保持手段は回転手段を備えているので、保持したワークを回転させることができる。その結果、ワークの受取り、受渡し時に任意の向きにワーク保持部を回転させることができるため、多様な向きに配置されている装置の載置台に対して柔軟にワークの向きを合わせて受渡しすることができる。
【0053】
なお、本願の発明は、以上に述べた実施形態に限定されず、その発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形実施が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願の請求項1ないし請求項5に記載された発明におけるワーク搬送装置が適用されるクリーンルーム内生産ラインの斜視図である。
【図2】同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す正面図である。
【図3】同側面図である。
【図4】同ワーク搬送装置が備える昇降手段が上昇又は下降する途中の状態を示す斜視図である。
【図5】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している状況を示す底面図である。
【図6】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している他の実施状況を示す正面図である。
【図7】同ワーク搬送装置が備えるワーク保持手段の断面図である。
【図8】旋回手段によるワーク保持手段の旋回動作を示す図である。
【図9】回転手段によるワーク保持手段の回転動作を示す図である。
【図10】従来のワーク搬送装置が備えるワーク保持手段によりワークを保持している状況を示す底面図である。
【符号の説明】
1…クリーンルーム内生産ライン、2…床面、3…処理室、4…インターフ
ェイス装置、5…ワーク搬入出口、6…密閉コンテナ、7…ワーク搬送車、1
0…ワーク搬送装置、11…ワーク保持手段、12…水平移動手段、13…昇
降手段、14…固定ガイドレール、15…走行体、16〜20…第1〜第5ア
ーム、21…駆動原モータ、22〜25…関節軸、26…ワーク保持部、28
…走行ガイドレール、32…ハンド、40…旋回手段、50…回転手段、40
0、101、500…モータ、102…バネ、103…回転軸、200…ワー
ク支持部材
Claims (7)
- ワークを保持するワーク保持手段と、
クリーンルーム内上方の天井空間で、前記ワーク保持手段を水平方向に移動させる水平移動手段と、
前記水平移動手段に設けられ、前記ワーク保持手段を昇降させて、前記ワーク保持手段と各処理装置との間で前記ワークの受け渡しが行なわれるようにする昇降手段とを備え、
前記クリーンルーム内で、複数の処理装置間を巡って各処理装置に前記ワークを搬送するようにされてなるワーク搬送装置において、
前記ワーク保持手段は昇降手段の下部に設けられ、ワークの両側面へコの字状に延びるワーク保持部を有し、ワークの底面を保持するハンドを前記ワーク保持部の両側部の下端に対向して設けたことを特徴とするワーク搬送装置。 - 前記ワークの上面を支持するワーク支持部材を突出可能に前記ワーク保持部の中央付近に設けたことを特徴とする請求項1に記載のワーク搬送装置。
- 前記ワーク保持部は、前記ハンドを前記ワーク保持部の両端部の下端に水平面内に回転可能に軸支させて回動するハンド回転駆動部を備えたことを特徴とする請求項1乃至請求項2に記載のワーク搬送装置。
- 前記ハンド回転駆動部は、前記ワーク保持部に軸支された前記ハンドの回動軸をバネを介してモータの出力軸に連結されたこと特徴とする請求項3に記載のワーク搬送装置。
- 前記昇降手段は、多関節アームからなり、該多関節アームが伸縮することにより前記ワーク保持手段を昇降させる機能を有し、
前記多関節アームの各関節軸及び前記ワーク保持部は、中空構造にされており、各アーム及び前記ワーク保持部の内部空間は連通されて、負圧が付与されていることを特徴とする請求項1乃至4に記載のワーク搬送装置。 - 前記昇降手段と前記ワーク保持手段の中継位置に前記ワー
ク保持手段を水平面内で移動させることが可能な旋回手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至5に記載のワーク搬送装置。 - 前記ワーク手段は保持したワークの向きを変えることができる回転手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至6に記載のワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003029940A JP2004025427A (ja) | 2002-02-27 | 2003-02-06 | ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002050796 | 2002-02-27 | ||
JP2003029940A JP2004025427A (ja) | 2002-02-27 | 2003-02-06 | ワーク搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004025427A true JP2004025427A (ja) | 2004-01-29 |
JP2004025427A5 JP2004025427A5 (ja) | 2006-03-23 |
Family
ID=31189889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003029940A Pending JP2004025427A (ja) | 2002-02-27 | 2003-02-06 | ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004025427A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007039238A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Koide Engineering:Kk | バランサ装置とバランサ装置による配管系部品の交換方法 |
JP2011035022A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送車 |
KR20150135066A (ko) | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송장치 |
KR20150135067A (ko) | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송장치 |
CN111300001A (zh) * | 2020-03-17 | 2020-06-19 | 杨发会 | 一种自动化汽配车间装配机械臂多自由度驱动调整支撑架构 |
US20220262656A1 (en) * | 2018-07-31 | 2022-08-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for die container warehousing |
WO2022193347A1 (zh) * | 2021-03-19 | 2022-09-22 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶圆载具的夹取装置 |
-
2003
- 2003-02-06 JP JP2003029940A patent/JP2004025427A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007039238A (ja) * | 2005-08-03 | 2007-02-15 | Koide Engineering:Kk | バランサ装置とバランサ装置による配管系部品の交換方法 |
JP2011035022A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送車 |
KR20150135066A (ko) | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송장치 |
KR20150135067A (ko) | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 반송장치 |
US9457480B2 (en) | 2014-05-22 | 2016-10-04 | Daifuku Co., Ltd. | Transport device |
US9457479B2 (en) | 2014-05-22 | 2016-10-04 | Daifuku Co., Ltd. | Transport device |
US20220262656A1 (en) * | 2018-07-31 | 2022-08-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems and methods for die container warehousing |
CN111300001A (zh) * | 2020-03-17 | 2020-06-19 | 杨发会 | 一种自动化汽配车间装配机械臂多自由度驱动调整支撑架构 |
WO2022193347A1 (zh) * | 2021-03-19 | 2022-09-22 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶圆载具的夹取装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6702099B2 (en) | Work conveying system | |
JP6636700B2 (ja) | 薬液調製システム及び薬液調製方法 | |
JP4615015B2 (ja) | コンテナ搬送システム | |
CN101459101B (zh) | 翻转式晶圆自动传输装置 | |
CN109414821A (zh) | 包括间隔上臂与交错腕部的双机器人以及包括该双机器人的系统和方法 | |
CN101118375A (zh) | 洁净储料机和物品的保管方法 | |
KR101453189B1 (ko) | 반송 장치 | |
JP2000124124A (ja) | 基板処理装置 | |
WO2003105216A1 (ja) | 容器搬送システム | |
TWI788422B (zh) | Efem及efem之氣體置換方法 | |
JP2004025427A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP2002137181A (ja) | 関節型ロボット装置 | |
JP4709436B2 (ja) | ワーク搬送用ロボット | |
JP7359610B2 (ja) | 基板処理装置 | |
CN101459100B (zh) | 紧凑式晶圆自动传输装置 | |
KR102626528B1 (ko) | 국소 퍼지 기능을 갖는 반송 장치 | |
WO2006035473A1 (ja) | 容器搬送装置 | |
KR102398519B1 (ko) | 가공물 반송장치 | |
US20090188103A1 (en) | Methods and apparatus for moving a substrate carrier | |
JP2005294280A (ja) | 密閉容器搬送システム | |
JP3394847B2 (ja) | 部品搬送装置 | |
JP4047477B2 (ja) | ワーク搬送システム | |
JP7376285B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH08340043A (ja) | ウエハ保管装置 | |
JPS6031410A (ja) | 回転式棚設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060124 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20060124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071016 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080325 |