JP2011035022A

JP2011035022A - 天井搬送車

Info

Publication number: JP2011035022A
Application number: JP2009177390A
Authority: JP
Inventors: Makoto Yamamoto; 眞山本
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2009-07-30
Filing date: 2009-07-30
Publication date: 2011-02-17
Also published as: KR20110013237A; TW201103852A; US20110024377A1

Abstract

【課題】物品落下防止部材を設けた天井搬送車の高さを短くすることにある。
【解決手段】天井搬送車５は、上端で側方に突出するフランジ４８と下端よりも上方の位置において側方に突出するサイドフランジ４ｃとを備えたＦＯＵＰ４を、フランジ４８ｃを吊り下げた状態で収納・搬送するものである。天井搬送車５は、搬送車本体部２５と、物品落下防止部材６０と、駆動機構６１とを備えている。物品落下防止部材６０は、搬送車本体部２５に設けられ、サイドフランジ４ｃの下方の落下防止位置とそこから退避した退避位置との間で移動可能である。駆動機構６１は、物品落下防止部材６０を駆動するための機構である。
【選択図】図２

Description

本発明は、天井搬送車、特に、本体部の下端より上方の位置において本体部の側面から側方に突出する中間突出部を有する物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車に関する。

従来、半導体製造工場等、塵埃の発生が問題となるクリーンルームでは、天井搬送車システムが採用されている。天井搬送車システムは、物品を搬送するために、天井に設けられた走行レールに沿って天井搬送車を走行させるようにしたシステムである。

天井搬送車は、走行レールに沿って走行を行う走行部と、物品を収納する物品収納部と、物品を昇降可能な搬送車本体とから構成されている。搬送車本体は、物品をつかむためのチャックと、チャックを上下動可能なベルトと、ベルトを繰り出したり巻き上げたりできるベルト駆動機構とを有している。

天井搬送車がクリーンルームで搬送する物品としては、ＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）がある。ＦＯＵＰは、密閉型のウェハ格納用ポッドである。ＦＯＵＰによってウェハのクリーン度を高めることで、ウェハサイズの大型化に伴う微細化への対応が可能になっている。ＦＯＵＰは、カセットと、カセットの側方開口部を閉鎖するための蓋とから構成されている。蓋は、パーティクルが内部に侵入するのを防止するとともに、カセット内でウェハの位置決めを行っている。

天井搬送車は、搬送車本体がＦＯＵＰを上方に移動させて収納部に収めた状態で、走行する。天井搬送車は、製造装置の前にくると、搬送車によってＦＯＵＰを下方に移動させロードポートのテーブル上に載置する。載置後は、ＦＯＵＰが製造装置の開口部とドッキングして、次に、ＦＯＵＰオープナがＦＯＵＰのカセットから蓋を取り外して、蓋を装置内部に引き込む。そして、ウェハが半導体製造装置に運び込まれ、所定の処理が行われる。処理後のウェハはＦＯＵＰ内に戻され、ＦＯＵＰの蓋が閉められる。天井搬送車は、製造装置のロードポートのテーブル上に載置されたＦＯＵＰを搬送車本体によって保持して、収納位置まで上昇させ、ＦＯＵＰを収納して走行を開始する。このようにして、天井搬送車はＦＯＵＰをロードポート間で移動させる。

天井搬送車システムでは、走行レールの下方を無人搬送車が通過したり、作業者が移動や作業をしたりすることがある。このような場合に、ＦＯＵＰが落下するようなことがあると、作業者や他の装置が危害を被ることがありえる。そこで、天井搬送車に物品落下防止機構を設けた構成が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。

特開２００４−２７７０６６号公報

従来の天井搬送車における物品落下防止機構は、天井搬送車の前側カバーと後側カバーの下端部に設けられている。より具体的には、物品落下防止機構は、物品落下防止部材とそれを駆動する駆動機構を有している。物品落下防止部材は、カバーの内部の待避位置と、カバーから突出してＦＯＵＰの下方の落下防止位置との間で移動可能であり、駆動機構によって位置を切り換えられる。

つまり、物品落下防止部材を設置するために、カバーの下端部をＦＯＵＰの下面よりさらに下方に延ばす必要がある。これにより、天井搬送車の高さが大きくなるという問題がある。

本発明の課題は、物品落下防止部材を設けた天井搬送車の高さを短くすることにある。

本発明に係る天井搬送車は、上端で側方に突出する上端突出部と下端よりも上方の位置において側方に突出する中間突出部とを備えた物品を、上端突出部を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、搬送車本体と、物品落下防止部材と、駆動機構とを備えている。物品落下防止部材は、搬送車本体に設けられ、中間突出部の下方の落下防止位置とそこから退避した退避位置との間で移動可能である。駆動機構は、物品落下防止部材を駆動するための機構である。
この天井搬送車では、物品落下防止部材が物品の中間突出部の下方の位置に設けられているので、物品落下防止部材を搬送車本体の下端に設ける必要がない。そのため、物品落下防止部材を設けるためのスペースが不要になる。その結果、搬送車本体の上下方向長さを短くでき、それにより天井搬送車の高さを短くできる。

搬送車本体は、進行方向前後に配置され物品の下端位置に対応した下端を有する第１カバーおよび第２カバーを有していてもよい。その場合、第１カバーおよび第２カバーの下端は物品の本体部の下端より低いかまたは同じ位置にある。物品落下防止部材は、第１カバーおよび第２カバーの下端よりも上方に設けられている。
この天井搬送車では、第１カバーおよび第２カバーの下端は物品の本体部の下端より低いかまたは同じ位置にあるので、天井搬送車の下端が物品の下端近傍に位置する。その結果、天井搬送車の高さを短くできる。

物品の本体部の側面は平面視では左右一方が他方に比べて前後位置が異なるように傾斜していてもよい。その場合、物品の中間突出部は、本体部の側面の前後方向内側に位置する部分が本体部の側面の前後方向外側に位置する部分より前後方向長さが長くなっている。物品落下防止部材は、中間突出部に対応する形状を有している。
この天井搬送車では、物品落下防止部材の形状を物品の中間突出部の形状に合わせているので、物品落下防止部材が中間突出部を支持する面積が大きくなっている。その結果、物品落下防止部材による物品の支持が安定する。
なお、物品落下防止部材は、物品の中間突出部の形状に合うように最初からそのような形状を有していてもよいし、突出動作時にリンク機構等の動きによって変形することで物品の中間突出部の形状に合うようになってもよい。

本発明に係る天井搬送車では、物品落下防止部材を設けた天井搬送車の高さを短くできる。

クリーンルーム内の天井搬送車システムの概略模式図。天井搬送車システムおよび天井走行車の部分側面図。レール内の縦断面概略図。天井搬送車の制御構成を示すブロック図。天井搬送車システムおよび天井走行車の部分側面図。ＦＯＵＰと物品落下防止部材の関係を示す概略平面図。ＦＯＵＰと物品落下防止部材の関係を示す概略平面図。ＦＯＵＰと物品落下防止部材の関係を示す概略正面図。ＦＯＵＰと物品落下防止部材の関係を示す概略正面図。

本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。

（１）天井搬送車システム
図１を用いて、天井搬送車システム１について説明する。図１は、クリーンルーム内の天井搬送車システムの概略模式図である。天井搬送車システム１は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）４を搬送する。天井搬送車システム１は、主に、レール３と、レール３に沿って走行する天井搬送車５とを有している。

半導体工場内の構成について説明する。半導体工場は、複数のベイ（工程）を有しており、遠隔のベイ同士を接続するためにインターベイルート５１が設けられており、さらに各ベイはイントラベイルート５３を有している。各ルート５１，５３はレール３により構成されている。

イントラベイルート５３に沿って、半導体処理装置などの複数の処理装置５５，５５が配置されている。さらに、処理装置５５，５５の近傍には、ロードポート５７が設けられている。ロードポート５７は、イントラベイルート５３の直下に設けられている。以上の構成において、天井搬送車５はレール３を走行してロードポート５７間で後述するＦＯＵＰ４を搬送する。

（２）レール
図２を用いて、レール３について説明する。図２は、天井搬送車システムおよび天井走行車の部分側面図である。レール３は、複数の支柱７によって天井９から吊り下げられている。レール３は、主に、走行レール１１と、走行レール１１の下部に設けられた給電レール１３とを有している。

（２−１）走行レール
図３を用いて、走行レール１１を説明する。走行レール１１は、例えばアルミ製であり、図に示すように、断面視逆Ｕ字状に構成されており、上面部１１ａと、両側面部１１ｂとを有している。両側面部１１ｂの下には、内側に延びる一対の第１走行面１１ｃが形成されている。さらに、両側面部１１ｂの内側面の上部には第２走行面１１ｄが形成され、上面部１１ａの下側面に第３走行面１１ｅが形成されている。

（２−２）給電レール
給電レール１３は、走行レール１１の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ１５から主に構成されている。給電線ホルダ１５には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆しリッツ線からなる一対の給電線１７が配置されている。給電線１７の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線１７に高周波電流が供給されるようになっている。

（３）天井走行車
天井搬送車５は、主に、走行部２１と、受電部２３と、搬送車本体部２５とを有している。走行部２１は、走行レール１１内に配置され、レール３上を走行するための機構である。受電部２３は、給電レール１３内に配置され、一対の給電線１７から電力を供給されるための機構である。搬送車本体部２５は、給電レール１３の下方に配置され、ＦＯＵＰ４を保持すると共に上下に昇降させるための機構である。

（３−１）走行部
走行部２１は、主に、走行レール１１内に配置されており、一対の第１ガイド輪１８と、一対の第２ガイド輪１９と、走行駆動輪２０と、走行モータ２２とを有している。一対の第１ガイド輪１８は、走行部２１の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第１ガイド輪１８は、走行レール１１の第１走行面１１ｃ上に載置されている。

第２ガイド輪１９は、走行部２１の上部両側に配置され、垂直方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第２ガイド輪１９は、走行レール１１の第２走行面１１ｄをガイド面として、横方向（進行方向に対して左右方向）の位置ズレを防止している。

走行駆動輪２０は、走行部２１の略中央に配置され、走行レール１１の第３走行面１１ｅに、スプリングなどの押圧手段により押圧されている。走行駆動輪２０は、走行モータ２２によって駆動される。その結果、天井搬送車５は走行レール１１上を走行する。

（３−２）受電部
受電部２３は、一対の給電線１７から電力を得るための一対のピックアップユニット２７を有している。具体的には、一対のピックアップユニット２７は、給電レール１３内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット２７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア２９と、コア２９に巻かれたピックアップコイル３１とを有している。具体的には、コア２９は、両側の突出部２９ａと、その間の中央の突出部２９ｂとを有しており、ピックアップコイル３１は中央の突出部２９ｂに巻かれている。

給電線ホルダ１５に保持された一対の給電線１７が、両側の突出部２９ａと中央の突出部２９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線１７に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル３１に作用して、ピックアップコイル３１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線１７からピックアップユニット２７に非接触で電力を供給し、走行モータ２２を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このように給電レール１３の一対の給電線１７と天井搬送車５の受電部２３とによって、非接触給電部３３が構成されている。

（３−３）搬送車本体部
図２を用いて、搬送車本体部２５を説明する。搬送車本体部２５は、図２に示すように、主に、本体フレーム４１と、横送り部４２と、θドライブ４３と、ホイスト本体４４と、昇降台４５とを備えている。

本体フレーム４１は、受電部２３の下部に固定された部材である。本体フレーム４１の前後には、前側カバー４６と後側カバー４７が設けられている。

横送り部４２は、θドライブ４３、ホイスト本体４４および昇降台４５を例えば側方に横送りし、レール３の側方に設けたサイドバッファ（図示せず）との間で、ＦＯＵＰ４を受け渡しできる。θドライブ４３は、ホイスト本体４４を水平面内で回動させて、ＦＯＵＰ４の受け渡しを容易にする。ホイスト本体４４内には、昇降台４５を昇降させるための昇降手段（図示せず）が設けられている。昇降手段は、例えば、４組の巻き取りドラムおよびそれら駆動する巻き上げモータ３７（図４）であり、巻き取りドラムにはベルト４９が巻きかけられている。ベルト４９の端部には昇降台４５が取り付けられている。

前側カバー４６および後側カバー４７は、内部に空間を有する筐体を有している。この筐体内には、物品落下防止機構５９が収納されている（後述）。
なお、前側カバー４６および後側カバー４７の下端はＦＯＵＰ４の本体部の下端より低いかまたは同じ位置にあるので、天井搬送車５の下端がＦＯＵＰ４の下端近傍に位置する。その結果、天井搬送車５の高さを短くできる。

（４）ＦＯＵＰ
図６〜図９を用いてＦＯＵＰ４について説明する。図６および図７は、ＦＯＵＰと物品落下防止部材の関係を示す概略平面図である。図８および図９は、ＦＯＵＰと物品落下防止部材の関係を示す概略正面図である。

ＦＯＵＰ４は、本体４ａと蓋４ｂとを有しており、本体４ａ内部に複数の半導体ウェハを収容している。蓋４ｂは、本体４ａの側面に開閉自在に取り付けられている。ＦＯＵＰ４の上部にはフランジ４８が設けられており、フランジ４８は昇降台４５でチャックされている。

ＦＯＵＰ４の本体４ａの前後両側側面には、前後両側に突出するサイドフランジ４ｃが設けられている。サイドフランジ４ｃは、本体４ａの上下方向中間部に設けられており、左右両側に細長く延びている。

図６および図７に強調して示すように、本体４ａの前後方向幅は、蓋４ｂから離れるにしたがって狭くなるようになっている。したがって、本体４ａにおいて蓋４ｂ側の側面の前後方向長さは蓋４ｂと反対側の側面の前後方向長さより長くなっている。以上の勾配は、ＦＯＵＰ４を型から抜いて作るときに得られる。

サイドフランジ４ｃは、本体４ａの前後方向幅が狭くなるにつれて、自らの前後方向幅が広くなるようになっている。その結果、サイドフランジ４ｃの前後方向縁は、左右方向に平行になっている。また、サイドフランジ４ｃの前後方向縁の前後位置は、蓋４ｂの両端の前後方向位置より前後方向内側に位置している。

このように、本体４ａからの突出量を大きくすることなく、サイドフランジ４ｃの面積を大きくしている。

（５）物品落下防止機構
次に、物品落下防止機構５９について説明する。物品落下防止機構５９は、物品落下防止部材６０と、物品落下防止部材６０を落下防止位置と退避位置とで移動させる駆動機構６１とから構成されている。

図２および図５に示すように、前側カバー４６および後側カバー４７の下部には、ＦＯＵＰ４の落下を防止するための物品落下防止部材６０が配置されている。図２において、ＦＯＵＰ４は収納位置に配置され、物品落下防止部材６０はＦＯＵＰ４の下方の落下防止位置にある。図５において、ＦＯＵＰ４はホイスト本体４４によって収納位置から下方に移動しており、物品落下防止部材６０はＦＯＵＰ４の下方から退避した退避位置にある。

次に、駆動機構６１について説明する。駆動機構６１は、主に、物品落下防止部材駆動モータ３８（図４）、ギア、リンク部材等とから構成されている。なお、部材を直線方向に駆動するまたは回動させる機構は周知であるので、ここでは説明を省略する。

物品落下防止部材６０は、第１支持部６０ａと、第２支持部６０ｂとから構成されている。第１支持部６０ａは、サイドフランジ４ｃの下方に配置される部材であり、サイドフランジ４ｃに対応する形状の支持面６０ｃを有している。つまり、第１支持部６０ａの支持面６０ｃは左右方向に細長く延びており、ＦＯＵＰ４から離れた側の縁は左右方向に平行であるが、ＦＯＵＰ４に近い側の縁は左右方向に対して傾いておりしかもＦＯＵＰ４の本体４ａの側面に平行である。第２支持部６０ｂは、第１支持部６０ａの本体４ａから離れた側の上面に設けられている。第２支持部６０ｂは、左右方向に平行な側面を有している。

（６）制御構成
図４を用いて、天井搬送車５の制御構成について説明する。図４は、天井搬送車の制御構成を示すブロック図である。

天井搬送車５は、図４に示すように、コントローラ３５を有している。コントローラ３５は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータである。コントローラ３５は、上位のコントローラと交信可能である。コントローラ３５は、メモリ内にルートマップを有しており、ルートマップに記載の座標と自機の内部座標（エンコーダによって求めた座標）とを比較しながら走行を続けるようになっている。
コントローラ３５は、走行モータ２２、巻き上げモータ３７、物品落下防止部材駆動モータ３８や他の機構に駆動指令を送信可能である。

（７）動作
（７−１）物品搬送時動作
図２に示すように、天井搬送車５がＦＯＵＰ４を搬送しているときには、物品落下防止機構５９の駆動機構６１が物品落下防止部材６０を落下防止位置に移動させている。この結果、図７および図９に示すように、物品落下防止部材６０の第１支持部６０ａがサイドフランジ４ｃの下方に配置されている。これにより、ＦＯＵＰ４の落下が防止されている。なお、この状態では、物品落下防止部材６０の支持面６０ｃとサイドフランジ４ｃの下面との間には隙間が確保されている。

物品落下防止部材６０の側面とサイドフランジ４ｃの側面との間にも隙間が確保されている。この隙間を小さくするまたは無くすことで、走行時におけるＦＯＵＰ４の振動を減らすようにしてもよい。

この天井搬送車５では、物品落下防止部材６０の形状をＦＯＵＰ４のサイドフランジ４ｃの形状に合わせているので、物品落下防止部材６０がサイドフランジ４ｃを支持する面積が大きくなっている。その結果、物品落下防止部材６０によるＦＯＵＰ４の支持が安定する。

この天井搬送車５では、物品落下防止部材６０がＦＯＵＰ４のサイドフランジ４ｃの下方の位置に設けられているので、物品落下防止部材６０を天井搬送車５の本体の下端に設ける必要がない。そのため、物品落下防止部材６０を設けるためのスペースが不要になる。その結果、搬送車本体の上下方向長さを短くでき、それにより天井搬送車５の高さを短くできる。

（７−２）物品昇降時動作
図５に示すように、天井搬送車５が停止してＦＯＵＰ４を昇降させているときには、物品落下防止機構５９の駆動機構６１が物品落下防止部材６０を退避位置に移動させている。より具体定期には、図６および図８に示すように、物品落下防止部材６０の第１支持部６０ａがサイドフランジ４ｃの下方に配置されていない。この結果、ＦＯＵＰ４に対して物品落下防止部材６０が干渉しない。
（８）特徴

天井搬送車５は、上端で側方に突出するフランジ４８と下端よりも上方の位置において側方に突出するサイドフランジ４ｃとを備えたＦＯＵＰ４を、フランジ４８を吊り下げた状態で収納・搬送するものであって、搬送車本体部２５と、物品落下防止部材６０と、駆動機構６１とを備えている。物品落下防止部材６０は、搬送車本体部２５に設けられ、サイドフランジ４ｃの下方の位置とそこから退避した位置との間で移動可能である。駆動機構６１は、物品落下防止部材６０を駆動するための機構である。
この天井搬送車５では、物品落下防止部材６０がＦＯＵＰ４のサイドフランジ４ｃの下方の位置に設けられているので、物品落下防止部材６０を天井搬送車５の搬送車本体部２５の下端に設ける必要がない。そのため、物品落下防止部材６０を設けるためのスペースが不要になる。その結果、搬送車本体部２５の上下方向長さを短くでき、それにより天井搬送車５の高さを短くできる。

搬送車本体部２５は、進行方向前後に配置されＦＯＵＰ４の下端位置に対応した前側カバー４６および後側カバー４７を有している。前側カバー４６および後側カバー４７の下端はＦＯＵＰ４の本体部の下端より低いかまたは同じ位置にある。物品落下防止部材６０は、前側カバー４６および後側カバー４７の下端よりも上方に設けられている。
この天井搬送車５では、前側カバー４６および後側カバー４７の下端はＦＯＵＰ４の本体部の下端より低いかまたは同じ位置にあるので、天井搬送車５の下端がＦＯＵＰ４の下端近傍に位置する。その結果、天井搬送車５の高さを短くできる。

ＦＯＵＰ４の本体部の側面は平面視では左右一方が他方に比べて前後位置が異なるように傾斜している。ＦＯＵＰ４のサイドフランジ４ｃは、本体部の側面の前後方向内側に位置する部分が本体部の側面の前後方向外側に位置する部分より前後方向長さが長くなっている。物品落下防止部材６０はサイドフランジ４ｃに対応する形状を有している。
この天井搬送車５では、物品落下防止部材６０の形状をＦＯＵＰ４のサイドフランジ４ｃの形状に合わせているので、物品落下防止部材６０がサイドフランジ４ｃを支持する面積が大きくなっている。その結果、物品落下防止部材６０によるＦＯＵＰ４の支持が安定する。

（９）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。

（Ｂ）前記実施形態では、搬送物品はＦＯＵＰであったが、本発明はそのような実施形態に限定されない。本発明は他の物品を搬送する天井搬送車にも適用できる。

（Ｃ）前記実施形態では、物品落下防止部材の第１支持部の支持面の形状はサイドフランジの形状とほぼ完全に対応していたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、物品落下防止部材の第１支持部の支持面の形状はサイドフランジに対して有効に支持可能な形状を有していればよい。

（Ｄ）前記実施形態では物品落下防止部材の第２支持部の側面がサイドフランジの側面に対して隙間を空けて配置されていたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、物品落下防止部材の第２支持部の側面をサイドフランジの側面に対して積極的に当接させて振動防止を実現してもよい。

（Ｅ）物品落下防止部材に弾性部材を用いて、物品との当接時のショックを緩和したり振動防止効果を高めてもよい。

（Ｆ）前記実施形態ではＦＯＵＰのサイドフランジは本体部の上下方向中間部に形成されていたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。ＦＯＵＰのサイドフランジは本体部の下端より上方に形成されていればよい。

（Ｇ）前記実施形態では前側カバーおよび後側カバーの下端はＦＯＵＰの下端よりさらに低い位置にあったが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、前側カバーおよび後側カバーの下端はＦＯＵＰの下端と同じ高さにあってもよい。
（Ｈ）前記実施形態では物品落下防止部材は、ＦＯＵＰのサイドフランジの形状に合うように最初からそのような形状を有していたが、突出動作時にリンク機構等の動きによって変形することでＦＯＵＰのサイドフランジの形状に合うようになってもよい。

本発明は、本体部の下端より上方の位置において前記本体部の側面から側方に突出する突出部を有する物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車に広く適用できる。

１天井搬送車システム
３レール
４ＦＯＵＰ
４ａ本体
４ｂ蓋
４ｃサイドフランジ（中間突出部）
５天井搬送車
７支柱
９天井
１１走行レール
１１ａ上面部
１１ｂ両側面部
１１ｃ第１走行面
１１ｄ第２走行面
１１ｅ第３走行面
１３給電レール
１５給電線ホルダ
１７給電線
１８第１ガイド輪
１９第２ガイド輪
２０走行駆動輪
２１走行部
２２走行モータ
２３受電部
２５搬送車本体部
２７ピックアップユニット
２９コア
２９ａ両側の突出部
２９ｂ中央の突出部
３１ピックアップコイル
３３非接触給電部
３５コントローラ
３７巻き上げモータ
３８物品落下防止部材駆動モータ
４１本体フレーム
４２横送り部
４３ θドライブ
４４ホイスト本体
４５昇降台
４６前側カバー（第１カバー）
４７後側カバー（第２カバー）
４８フランジ（上端突出部）
４９ベルト
５１インターベイルート
５３イントラベイルート
５５処理装置
５７ロードポート
５９物品落下防止機構
６０物品落下防止部材
６０ａ第１支持部
６０ｂ第２支持部
６０ｃ支持面
６１駆動機構

Claims

上端で側方に突出する上端突出部と下端よりも上方の位置において側方に突出する中間突出部とを備えた物品を、前記上端突出部を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、
搬送車本体と、
前記搬送車本体に設けられ、前記中間突出部の下方の落下防止位置とそこから退避した退避位置との間で移動可能な物品落下防止部材と、
前記物品落下防止部材を駆動するための駆動機構と、
を備えた天井搬送車。
前記搬送車本体は、進行方向前後に配置され物品の下端位置に対応した下端を有する第１カバーおよび第２カバーを有しており、
前記第１カバーおよび前記第２カバーの下端は、前記物品の前記本体部の前記下端より低いかまたは同じ位置にあり、
前記物品落下防止部材は、前記第１カバーおよび前記第２カバーの下端よりも上方に設けられている、請求項１に記載の天井搬送車。
前記物品の前記本体部の前記側面は平面視では左右一方が他方に比べて前後位置が異なるように傾斜しており、
前記物品の前記中間突出部は、前記本体部の前記側面の前後方向内側に位置する部分が前記本体部の前記側面の前後方向外側に位置する部分より前後方向長さが長くなっており、
前記物品落下防止部材は、前記中間突出部に対応する形状を有している、請求項１または２に記載の天井搬送車。