KR20200106957A - 반송차 - Google Patents

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Abstract

천장 반송차(1)는, 주행 방향에 있어서의 전후 방향에 마련된 한 쌍의 커버부(8, 8)에 의해 개재되어 있고, 덮개(93)가 주행 방향과 연직 방향에 교차하는 폭 방향을 향한 상태로 카세트(90)를 보지하는 용기 수용부(4)와, 커버부(8)에 마련되고, 용기 수용부(4)에 보지된 카세트로부터 벗어난 덮개(93)의 낙하를 방지하는 덮개 낙하 방지 부재(20)를 구비한다. 덮개 낙하 방지 부재(20)는 카세트의 하방에 있어서 폭 방향을 따라 연장되고, 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서 일부가 덮개(93)로부터 돌출되는 하방 지지부(23)와, 덮개(93)가 적어도 일부에 대향하도록 하방 지지부(23)로부터 연직 방향으로 세워 마련되는 정면 지지부(21)를 가지고, 하방 지지부(23)와 정면 지지부(21)가 일체적으로 형성되어 있다.

Description

반송차
본 발명의 일측면은 반송차에 관한 것이다.
클린룸 등의 천장 부근 또는 바닥면보다 높은 위치를 주행하여, 반도체 웨이퍼, 레티클 또는 액정 기판 등을 수용한 용기를 반송하는 천장 반송차가 알려져 있다. 이러한 천장 반송차로서, 예를 들면 특허 문헌 1에는, 용기의 덮개의 정면에 근접하여 배치되는 덮개 낙하 방지 부재와, 용기의 승강 시에 덮개 낙하 방지 부재를 덮개의 정면으로부터 퇴피시키는 퇴피 기구를 구비한 천장 반송차가 개시되어 있다.
일본특허공보 제5,035,415호
상기 종래의 천장 반송차를 포함하여 용기를 반송하는 반송차는, 덮개 낙하 방지 부재가 덮개의 정면에 위치할 때에 용기가 덮개 낙하 방지 부재에 접촉하지 않도록, 덮개로부터 약간 떨어진 위치에(간극을 마련하여) 배치되도록 구성되어 있다. 그러나, 간극을 크게 하거나, 용기의 덮개의 두께가 얇아지면, 용기로부터 벗어난 덮개가 간극을 통하여 낙하할 우려가 있다.
따라서, 본 발명의 일측면의 목적은 용기로부터 벗어난 덮개의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있는 반송차를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차는, 개구부를 덮는 덮개를 가지는 용기를 반송하는 반송차로서, 주행 방향에 있어서의 전후 방향에 마련된 커버부에 의해 개재되고, 또한 덮개가 주행 방향과 연직 방향에 교차하는 폭 방향을 향한 상태로 용기를 보지(保持)하는 용기 수용부와, 커버부에 마련되고, 또한 용기 수용부에 보지된 용기로부터 벗어난 덮개의 낙하를 방지하는 덮개 낙하 방지 부재를 구비하고, 덮개 낙하 방지 부재는, 용기의 하방에 있어서 폭 방향을 따라 연장되고, 또한 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서 일부가 덮개로부터 돌출되는 하방 지지부와, 덮개 중 적어도 일부에 대향하도록, 하방 지지부로부터 연직 방향으로 세워 마련되는 정면 지지부를 가지고, 하방 지지부와 정면 지지부가 일체적으로 형성되어 있다.
이 구성의 반송차에서는, 덮개의 정면에 정면 지지부가 배치되므로, 용기로부터 전방으로 넘어지는 덮개를 받을 수 있다. 또한, 용기에 흔들림이 생겼을 때의 접촉을 억제하기 위하여 덮개와 정면 지지부와의 간격(간극)을 크게 해도, 정면 지지부와 용기 사이에 마련되는 하방 지지부가 용기로부터 벗어난 덮개를 받을 수 있다. 그 결과, 덮개의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차에서는, 정면 지지부는, 연직 방향에 있어서 덮개의 상단까지 연장되어도 된다. 이 구성에서는, 덮개의 상부가 전방으로 크게 기우는 것을 방지할 수 있으므로, 용기로부터 벗어난 덮개가 하방 지지부와 용기의 하면의 간극을 통하여 낙하하는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 하방 지지부 및 정면 지지부를 가지는 덮개 낙하 방지 부재에 의해, 덮개의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차에서는, 덮개 낙하 방지 부재는, 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서, 덮개를 개재하도록 또한 정면 지지부에 대향하도록 배치되고, 또한 하방 지지부로부터 연직 방향으로 세워 마련되는 배면 지지부를 더 가지고, 하방 지지부와 정면 지지부와 배면 지지부가 일체적으로 형성되어도 된다. 이 구성에서는, 용기로부터 벗어나 하방 지지부와 용기의 하면 사이의 간극으로부터 낙하하려고 하는 덮개를 배면 지지부가 받으므로, 용기로부터 덮개가 낙하하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차에서는, 하방 지지부가 용기의 하방에 배치되고, 또한 정면 지지부가 덮개의 정면에 배치되는 위치를 진출 위치로 하고, 하방 지지부가 용기의 하방으로부터 퇴피되고, 또한 정면 지지부가 덮개의 정면으로부터 퇴피되는 위치를 퇴피 위치로 했을 때, 덮개 낙하 방지 부재를, 진출 위치와 퇴피 위치의 사이에서 이동시키는 구동 기구를 더 구비해도 된다. 이 구성에서는, 덮개 낙하 방지 부재를 퇴피 위치로 퇴피시킬 수 있으므로, 승강 동작 시에 덮개 낙하 방지 부재가 방해가 되지 않는다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차에서는, 퇴피 위치에 있어서의 덮개 낙하 방지 부재의 일부는, 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서, 커버부 및 용기 수용부가 배치된 영역의 외측에 위치해도 된다. 이 구성에서는, 커버부와 용기와의 간격이 작은 경우라도, 덮개 낙하 방지 부재를 용이하게 설치할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 반송차에서는, 구동 기구에 있어서의 진퇴 동작을 제어하는 제어부를 더 구비하고, 제어부는, 용기 수용부에 용기가 보지되어 있지 않은 경우라도, 주행 시에는 덮개 낙하 방지 부재를 진출 위치로 이동시켜도 된다. 덮개 낙하 방지 부재가 퇴피 위치에 위치할 때에 덮개 낙하 방지 부재의 일부가 반송차의 영역으로부터 돌출되는 구성에서는, 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치하는 경우에 비해, 반송차로서의 간섭 에어리어가 넓어진다. 본 발명의 일측면에서는, 이러한 구성이라도, 덮개 낙하 방지 부재를 진출 위치에 진출시킨 상태에서 주행하므로, 주행 시의 반송차의 간섭 에어리어를 작게 할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 덮개의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 천장 반송차를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치할 때의 사시도이다.
도 3은 도 1의 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치할 때의 측면도이다.
도 4는 도 1의 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치할 때의 구동 기구의 사시도이다.
도 5의 (a) 및 도 5의 (b)의 각각은 도 1의 덮개 낙하 방지 부재가 퇴피 위치로부터 진출 위치로 이동할 때의 구동 기구의 천이도이다.
도 6의 (a) 및 도 6의 (b)의 각각은 도 1의 덮개 낙하 방지 부재가 퇴피 위치로부터 진출 위치로 이동할 때의 구동 기구의 천이도이다.
도 7은 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치할 때의 평면도이다.
도 8은 변형예에 따른 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치할 때의 측면도이다.
도 9는 변형예에 따른 덮개 낙하 방지 부재가 진출 위치에 위치할 때의 사시도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일측면의 적합한 일실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에서 동일 요소에는 동일 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 생략한다.
도 1에 나타나는 천장 반송차(반송차)(1)는 클린룸의 천장 등, 바닥면보다 높은 위치에 마련되는 주행 레일(2)을 따라 주행한다. 천장 반송차(1)는 예를 들면 보관 설비와 소정의 로드 포트 사이에서, 피반송물로서의 카세트(용기)(90)를 반송한다. 카세트(90)는 개구부를 가지는 상자 형상의 하우징(91)과, 개구부를 덮는 덮개(93)를 가지고 있다. 덮개(93)는 하우징(91)에 대하여 분리 가능하게 마련되어 있다. 카세트(90)에는 예를 들면 복수 매의 레티클 등이 수용된다. 카세트(90)는 천장 반송차(1)에 보지되는 플랜지(95)를 가지고 있다.
이하의 설명에서는, 설명의 편의를 위하여, 도 1에 있어서의 좌우 방향(X축 방향)을 천장 반송차(1)의 전후 방향(주행 방향)이라 한다. 도 1에 있어서의 상하 방향을 천장 반송차(1)의 연직 방향(Z축 방향)이라 한다. 도 1에 있어서의 깊이 방향을 천장 반송차(1)의 폭 방향(Y축 방향)이라 한다. X축, Y축 및 Z축은 서로 직교한다.
도 1에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(1)는 주행 구동부(3)와, 수평 구동부(5)와, 회전 구동부(6)와, 승강 구동부(7)와, 승강 장치(10)와, 보지 장치(11)와, 덮개 낙하 방지 부재(20)와, 덮개 낙하 방지 부재(20)의 구동 기구(30)와, 컨트롤러(제어부)(80)를 구비하고 있다. 천장 반송차(1)에는 수평 구동부(5), 회전 구동부(6), 승강 구동부(7), 승강 장치(10) 및 보지 장치(11)를 전후 방향으로부터 덮도록 한 쌍의 커버부(8, 8)가 마련되어 있다. 한 쌍의 커버부(8, 8)는 승강 장치(10)가 상승단까지 상승한 상태에 있어서 보지 장치(11)의 하방에, 카세트(90)가 수용되는 공간으로서의 용기 수용부(4)를 형성하고 있다. 용기 수용부(4)에서는, 덮개(93)가 X축 방향과 Z축 방향에 교차하는 Y축 방향을 향한 상태로 카세트(90)가 보지된다. 즉, 보지 장치(11)는 덮개(93)를 Y축 방향을 향한 상태로 카세트(90)를 보지한다.
주행 구동부(3)는 천장 반송차(1)를 주행 레일(2)을 따라 이동시킨다. 주행 구동부(3)는 주행 레일(2) 내에 배치되어 있다. 주행 구동부(3)는 주행 레일(2)을 주행하는 롤러(도시하지 않음)를 구동시킨다. 주행 구동부(3)의 하부에는 축(3A)을 개재하여 수평 구동부(5)가 접속되어 있다. 수평 구동부(5)는 회전 구동부(6), 승강 구동부(7) 및 승강 장치(10)를 수평면 내에서 주행 레일(2)의 연장 방향에 직교하는 Y축 방향으로 이동시킨다. 회전 구동부(6)는 수평면 내에서 승강 구동부(7) 및 승강 장치(10)를 회전시킨다. 승강 구동부(7)는 4 개의 벨트(9)가 감기 및 풀기에 의해 승강 장치(10)를 승강시킨다. 또한, 주행 구동부(3)는 천장 반송차(1)에 추진력을 발생시키는 리니어 모터 등으로 구성해도 된다. 또한, 승강 구동부(7)에 있어서의 벨트(9)는 와이어 및 로프 등 적절한 현수 부재를 이용해도 된다.
본 실시 형태에 있어서의 승강 장치(10)는 승강 구동부(7)에 의해 승강 가능하게 마련되어 있어, 천장 반송차(1)에 있어서의 승강대로서 기능하고 있다. 보지 장치(11)는 카세트(90)를 보지한다. 보지 장치(11)는 L자 형상인 한 쌍의 암(12, 12)과, 각 암(12, 12)에 고정된 핸드(13, 13)와, 한 쌍의 암(12, 12)을 개폐시키는 개폐 기구(15)를 구비하고 있다.
한 쌍의 암(12, 12)은 개폐 기구(15)에 접속되어 있다. 개폐 기구(15)는 한 쌍의 암(12, 12)을, 서로 근접하는 방향 및 서로 이간하는 방향으로 이동시킨다. 개폐 기구(15)의 동작에 의해, 한 쌍의 암(12, 12)은 전후 방향으로 진퇴한다. 이에 의해, 암(12, 12)에 고정된 한 쌍의 핸드(13, 13)가 개폐된다. 본 실시 형태에서는, 한 쌍의 핸드(13, 13)가 개방 상태일 때에, 핸드(13)의 보지면이 플랜지(95)의 하면의 높이보다 하방이 되도록, 보지 장치(11)(승강 장치(10))의 높이 위치가 조정된다. 그리고, 이 상태에서 한 쌍의 핸드(13, 13)가 폐쇄 상태가 됨으로써, 핸드(13, 13)의 보지면이 플랜지(95)의 하면의 하방으로 진출하고, 이 상태에서 승강 장치(10)를 상승시킴으로써, 한 쌍의 핸드(13, 13)에 의해 플랜지(95)가 보지되어, 카세트(90)의 지지가 행해진다.
도 2 및 도 3에 나타나는 바와 같이, 덮개 낙하 방지 부재(20)는 한 쌍의 커버부(8, 8)의 각각에 마련되고, 용기 수용부(4)에 있어서 보지 장치(11)에 의해 보지된 카세트(90)로부터 벗어난 덮개(93)의 낙하를 방지한다. 덮개 낙하 방지 부재(20)는 하방 지지부(23)와, 정면 지지부(21)와, 배면 지지부(25)를 가지고 있다. 하방 지지부(23)는 판 형상의 부재이다. 하방 지지부(23)는 천장 반송차(1)의 주행 시에, 카세트(90)의 하방에 있어서 Y축 방향을 따라 연장되고, Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서 일부가 덮개(93)로부터 돌출되도록 배치된다. 정면 지지부(21)는 하방 지지부(23)로부터 Z축 방향으로 세워 마련되는 판 형상의 부재로서, 천장 반송차(1)의 주행 시에 카세트(90)의 덮개(93) 중 적어도 일부에 대향하도록 배치된다. 정면 지지부(21)는 하우징(91)을 덮은 상태로 배치된 덮개(93)에 대하여 10 mm ~ 20 mm 정도 떨어뜨려 위치에 배치된다. Z축 방향에 있어서의 덮개(93)와 정면 지지부(21)와의 중첩(H)은 30 mm 정도로 할 수 있다. 또한, 상기의 거리(G) 및 중첩(H)은 덮개(93)의 사이즈, 두께, 구동 기구(30)의 구성 등에 기초하여 적절히 설정된다.
정면 지지부(21)에 있어서 덮개(93)와 대향하는 이면에는, 초고분자량 폴리에틸렌 테이프 등의 슬라이드 이동 부재(21a)가 첩부되어 있다. 이에 의해, 덮개(93)를 지지할 시의 슬라이드 이동성을 높여, 덮개(93)에 흠집이 나는 것을 방지할 수 있다. 배면 지지부(25)는 판 형상의 부재로서, 정면 지지부(21)에 대향하도록 배치되고 또한 하방 지지부(23)로부터 Z축 방향으로 세워 마련된다. 배면 지지부(25)는 Y축 방향에서 본 측면 시 또는 Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서 카세트(90)의 덮개(93)를 개재하여 정면 지지부(21)에 대향하도록 배치되어 있다.
하방 지지부(23)와, 정면 지지부(21)와, 배면 지지부(25)는 스테인리스 등의 판 형상 부재를 휨 가공함으로써 일체적으로 형성되어 있다. 덮개 낙하 방지 부재(20)는, 도 4에 나타나는 구동 기구(30)에 의해, 진출 위치(P1)와 퇴피 위치(P2)와의 사이를 이동 가능하게 마련되어 있다. 이하, 부재 등의 위치를 특정하는 경우에는, 특별히 언급하지 않는 한, 용기 수용부(4)에 있어서 보지 장치(11)에 보지된 상태의 카세트(90)를 기준으로서 설명을 행한다.
하방 지지부(23)는, 진출 위치(P1)에 있어서 카세트(90)의 하방에 배치되고, 퇴피 위치(P2)에 있어서 카세트(90)의 하방으로부터 퇴피된다. 정면 지지부(21)는 진출 위치(P1)에 있어서 카세트(90)의 덮개(93) 중 적어도 일부에 대향하도록 배치되고, 퇴피 위치(P2)에 있어서 카세트(90)의 덮개(93)의 정면으로부터 퇴피된다(Y축 방향에서 봤을 때에 덮개(93)와 중첩되지 않는 위치로 이동된다). 배면 지지부(25)는, 진출 위치(P1)에 있어서 전후 방향에서 본 측면 시에 있어서 카세트(90)의 덮개(93)를 개재하여 정면 지지부(21)에 대향하도록 배치되고, 퇴피 위치(P2)에 있어서 카세트(90)의 덮개(93)의 하방 배면으로부터 퇴피된다(Y축 방향에서 봤을 때에 덮개(93)의 하방 배면과 중첩되지 않는 위치로 이동된다). 퇴피 위치(P2)에 있어서의 덮개 낙하 방지 부재(20)의 일부(정면 지지부(21)를 포함하는 일부)는 Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서, 커버부(8) 및 용기 수용부(4)가 배치된 영역(A)의 외측에 위치하고 있다(도 5의 (a) 참조).
덮개 낙하 방지 부재(20)의 구동 기구(30)는, 한 쌍의 커버부(8, 8)에 각각 수용되어 있다. 도 4, 도 5의 (a), 도 5의 (b), 도 6의 (a) 및 도 6의 (b)에 나타나는 바와 같이, 구동 기구(30)는 구동부(31)와, 구동축(32)과, 톱니바퀴부(33)와, 제 1 링크부(34)와, 카세트 낙하 방지부(35)와, 제 2 링크부(36)와, 제 3 링크부(38)를 가지고 있으며, 프레임(F)에 고정되어 있다. 구동 기구(30)는 구동부(31)에 의한 회전 운동을, 카세트 낙하 방지부(35)의 진퇴 운동(진출 위치와 퇴피 위치와의 왕복 운동)과, 덮개 낙하 방지 부재(20)의 진퇴 운동(진출 위치와 퇴피 위치와의 왕복 운동)으로 변환한다.
구동부(31)는 예를 들면 스테핑 모터이며, 컨트롤러(80)(도 1 참조)에 의해 제어된다. 구동부(31)에 의해 쌍방향으로 회전하는 구동축(32)에는 톱니바퀴가 형성되어 있다. 톱니바퀴부(33)는 구동축(32)의 톱니바퀴에 계합하도록 마련되어 있고, 구동축(32)이 화살표 방향(a1)으로 회전하면 톱니바퀴부(33)도 화살표 방향(a2)으로 회전한다. 제 1 링크부(34)는 톱니바퀴부(33)의 회전축(33a)에 일체적으로 접속되어 있고, 톱니바퀴부(33)가 화살표 방향(a2)으로 회전하면, 제 1 링크부(34)도 화살표 방향(a3)으로 회전한다. 제 1 링크부(34)의 근방에는 스토퍼(39A)가 배치되어 있다. 제 1 링크부(34)는 제 1 계지부(34a)와 제 2 계지부(34b)를 가지고 있다. 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치(P2)에 위치할 때에는, 제 1 계지부(34a)가 스토퍼(39A)에 의해 계지된다(도 5의 (a) 참조). 덮개 낙하 방지 부재(20)가 진출 위치(P1)에 위치할 때에는, 제 2 계지부(34b)가 스토퍼(39A)에 의해 계지된다(도 6의 (b) 참조).
카세트 낙하 방지부(35)는 Y축 방향을 따라 연장되는 판 형상 부재이다. 카세트 낙하 방지부(35)의 일단(35a)은, 제 1 링크부(34)의 회전축(33a)과 편심하는 타단(34c)에, 쌍방향으로 회전 가능하게 접속되어 있다. 카세트 낙하 방지부(35)의 타단(35b)은 제 2 링크부(36)의 회전축(36a)과 편심하는 타단(36b)에, 쌍방향으로 회전 가능하게 접속되어 있다. 제 2 링크부(36)는 회전축(36a)을 기점으로 쌍방향으로 회전 가능하게 마련되어 있다. 제 2 링크부(36)의 근방에는 제 2 링크부(36)의 가동 영역을 제한하는 스토퍼(39B)가 마련되어 있다. 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치(P2)에 위치할 때에는, 제 2 링크부(36)가 스토퍼(39B)에 의해 계지된다(도 5의 (a) 참조).
제 3 링크부(38)는 그 일단(38a)이 제 2 링크부(36)의 회전축(36a)과 편심한 위치에 배치된 회전축(37)에 접속되어 있다. 제 3 링크부(38)의 타단(38b)은 덮개 낙하 방지 부재(20)의 하방 지지부(23)에 마련된 장착부(27)에 접속되어 있다. 하방 지지부(23)에 있어서 정면 지지부(21) 등이 마련되는 단부와는 반대측의 기단부(23a)는, 프레임(F)에 고정되고 또한 Z축 방향으로 연장되는 축을 회전축으로서 쌍방향으로 회전 가능한 회전 부재(도시하지 않음)를 개재하여, 프레임(F)에 쌍방향으로 회전 가능하게 장착된다. 이에 의해, 하방 지지부(23)는 기단부(23a)를 회전축으로서 쌍방향으로 회전 가능하게 된다.
카세트 낙하 방지부(35)는 제 1 링크부(34)의 회전에 수반하는 제 1 링크부(34)의 타단(34c)의 화살표 방향(a4)의 회전에 의해, 퇴피 위치(P4)(도 5의 (a) 참조)로부터 진출 위치(P3)(도 6의 (b) 참조) 방향(검은색 화살표 방향)으로 이동된다. 카세트 낙하 방지부(35)가 검은색 화살표 방향으로 이동되면, 제 2 링크부(36)의 회전축(36a)과 편심한 위치에 있어서 카세트 낙하 방지부(35)의 타단(35b)에 접속된 제 2 링크부(36)의 타단(36b)은, 화살표 방향(a5)으로 회전한다. 제 2 링크부(36)에 있어서의 타단(36b)의 화살표 방향(a5)으로의 회전에 수반하여, 제 2 링크부(36)가, 회전축(36a)을 기점으로 화살표 방향(a6)으로 회전한다.
제 2 링크부(36)의 화살표 방향(a6)으로의 회전에 수반하여, 제 3 링크부(38)가, 제 3 링크부(38)의 일단(38a)을 기점으로 회전한다. 제 3 링크부(38)의 일단(38a)이 회전하면, 제 3 링크부(38)의 일단(38a)이 화살표 방향(a7)으로 회전하고, 제 3 링크부(38)의 타단(38b)에 접속된 하방 지지부(23)를 흰색 화살표 방향으로 밀어낸다. 이에 의해, 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치(P2)(도 5의 (a) 참조)로부터 진출 위치(P1)(도 6의 (b) 참조)로 진출한다.
이상에 설명한 구동 기구(30)의 일련의 동작에 의해, 제 2 링크부(36)에 접속되어 있는 카세트 낙하 방지부(35)가 퇴피 위치(P4)(도 5의 (a) 참조)로부터 진출 위치(P3)(도 6의 (b) 참조)로 진출하고, 제 3 링크부(38)에 접속되어 있는 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치(P2)(도 5의 (a) 참조)로부터 진출 위치(P1)(도 6의 (b) 참조)로 진출한다. 또한, 카세트 낙하 방지부(35)에 있어서의 진출 위치(P3)로부터 퇴피 위치(P4)로의 이동, 및 덮개 낙하 방지 부재(20)에 있어서의 진출 위치(P1)로부터 퇴피 위치(P2)로의 이동은 상술한 일련의 동작과는 반대의 방향으로의 동작에 의해 행해진다.
또한 도 7에 나타나는 바와 같이, 상술한 구동 기구(30)의 설명은, Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서 우측(주행 방향전측)의 커버부(8)에 수용된 구동 기구(30)를 예로 들어 설명했지만, Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서 좌측(주행 방향 후측)의 커버부(8)에 수용된 구동 기구(30A)의 구성 및 동작은 먼저 설명한 구동 기구(30)와 조금 상이하다. 구동 기구(30)에 의해 구동되는 카세트 낙하 방지부(35)와, 구동 기구(30A)에 의해 구동되는 카세트 낙하 방지부(35A)는 Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서, 카세트(90)의 중심부를 대칭점으로 한 대략 점대칭으로 동작한다.
컨트롤러(80)(도 1 참조)는 천장 반송차(1)에 있어서의 각 부를 제어한다. 컨트롤러(80)는 CPU(Central Processing Unit), RAM(Random Access Memory) 및 ROM(Read Only Memory) 등을 가지고 있다. 컨트롤러(80)에서는 CPU, RAM 및 ROM 등의 하드웨어와, 프로그램 등의 소프트웨어가 협동함으로써, 각종 제어를 실행한다. 예를 들면, 컨트롤러(80)는 구동 기구(30)에 있어서의 진퇴 동작을 제어하여, 용기 수용부(4)에 카세트(90)가 보지되어 있지 않은 경우라도, 주행 시에는 덮개 낙하 방지 부재(20)를 진출 위치(P1)로 이동시킨 상태에서, 천장 반송차(1)를 주행시킨다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(1)에서는, 도 3에 나타나는 바와 같이, 덮개(93)의 정면에 정면 지지부(21)가 배치되므로, 카세트(90)의 하우징(91)으로부터 전방으로 넘어지는 덮개(93)를 받을 수 있다. 또한, 카세트(90)에 흔들림이 생겼을 때의 접촉을 억제하기 위하여 덮개(93)와 정면 지지부(21) 사이의 거리(G)를 어느 정도 확보했다 하더라도, 정면 지지부(21)와 카세트(90)의 용기 사이에 마련되는 하방 지지부(23)가, 하우징(91)으로부터 벗어난 덮개(93)를 받을 수 있다. 그 결과, 덮개(93)의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(1)에서는, 도 3에 나타나는 바와 같이 덮개 낙하 방지 부재(20)는, Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서 덮개(93)를 개재하도록, 또한 정면 지지부(21)에 대향하도록 배치되고, 또한 하방 지지부(23)로부터 Z축 방향으로 세워 마련되는 배면 지지부(25)가 형성되어 있다. 이에 의해, 전후 방향에서 본 측면시에 있어서, 정면 지지부(21)와 하방 지지부(23)와 배면 지지부(25)에 의해 오목부(R)가 형성된다. 이 때문에, 배면 지지부(25)가 마련되어 있지 않으면 형성되는 하방 지지부(23)와 카세트(90)의 하면 사이의 간극(S)을 통하여 낙하하려고 하는 덮개(93)를, 배면 지지부(25)가 받는다. 그 결과, 카세트(90)로부터 덮개(93)가 낙하하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(1)에서는, 덮개 낙하 방지 부재(20)가 구동 기구(30)에 의해, 진출 위치(P1)와 퇴피 위치(P2)와의 사이에서 이동 가능하게 마련되어 있다. 이 구성에서는, 승강 동작 시에는 덮개 낙하 방지 부재(20)를 퇴피 위치(P2)로 퇴피시킬 수 있으므로, 승강 동작 시에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 방해가 되지 않는다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(1)에서는, 퇴피 위치(P2)에 있어서의 덮개 낙하 방지 부재(20)의 일부는, Z축 방향에서 본 평면 시에 있어서, 커버부(8) 및 용기 수용부(4)가 배치된 영역(A)의 외측에 위치하고 있다. 이에 의해, 커버부(8)의 사이즈를 증가시키지 않고, 간이하게 구성할 수 있다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(1)에서는, 용기 수용부(4)에 카세트(90)가 보지되어 있지 않은 경우라도, 주행 시에는 덮개 낙하 방지 부재(20)를 진출 위치(P1)로 이동하도록 컨트롤러(80)가 제어하므로, 주행하는 천장 반송차(1)의 간섭 에어리어를 작게 할 수 있다. 즉, 천장 반송차(1)가 주행할 때에 다른 물체와 접촉할 가능성을 저감할 수 있다.
이상, 일실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명의 일측면은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(1)에서는, 덮개 낙하 방지 부재(20)에 배면 지지부(25)가 마련되어 있는 예를 들어 설명했지만, 배면 지지부(25)가 마련되어 있지 않은 덮개 낙하 방지 부재(20)로 해도 된다. 또한, 이 경우 도 8에 나타나는 바와 같이, 승강 장치(10)에 마련되고, 카세트(90)의 덮개(93)에 있어서의 상방의 정면에 배치되는, 덮개 억제 부재(10A)를 구비해도 된다. 이 경우, 덮개(93)의 상단(93a)이 전방으로 넘어지는 것이 억제되므로, 덮개(93)의 하단(93b)이, 하방 지지부(23)와 카세트(90)의 하면과의 간극(S)측으로 기우는 것과 같은 상태로 덮개(93)가 하방 지지부(23)로 낙하하는 것이 적어진다. 이 때문에, 배면 지지부(25)를 마련하지 않아도, 카세트(90)로부터 벗어난 덮개(93)가 간극(S)를 통하여 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 천장 반송차(1)의 주행 시에 카세트(90)의 덮개(93) 중 적어도 일부에 대향하도록 배치되는 정면 지지부(21)를 예로 들어 설명했지만, 도 9에 나타나는 바와 같이, 정면 지지부(21)는, Z축 방향에 있어서 덮개(93)의 상단까지 연장되어도 된다. 이 구성에서는, 덮개(93)의 상부가 전방으로 기우는 것을 방지할 수 있으므로, 하우징(91)으로부터 벗어난 덮개(93)가, 하방 지지부(23)와 카세트(90)의 하면의 간극(S1)을 통하여 낙하하는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 덮개(93)의 낙하를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 용기 수용부(4)에 카세트(90)가 보지되어 있지 않은 경우라도, 주행 시에는 덮개 낙하 방지 부재(20)를 진출 위치(P1)로 이동시킨 상태에서 천장 반송차(1)를 주행시키는 컨트롤러(80)가, 커버부(8)의 내부에 마련되어 있는 예를 들어 설명했지만, 천장 반송차(1)와는 다른 개소에 마련되고, 네트워크 등을 개재하여 천장 반송차(1)를 제어하는 제어 장치(제어부)를 구비하는 반송차 시스템으로서 구성해도 된다.
1 : 천장 반송차(반송차)
8 : 커버부
11 : 보지 장치
20 : 덮개 낙하 방지 부재
21 : 정면 지지부
23 : 하방 지지부
25 : 배면 지지부
30, 30A : 구동 기구
35, 35A : 카세트 낙하 방지부
80 : 컨트롤러(제어부)
90 : 카세트(용기)
91 : 하우징
93 : 덮개

Claims (6)

  1. 개구부를 덮는 덮개를 가지는 용기를 반송하는 반송차로서,
    주행 방향에 있어서의 전후 방향에 마련된 커버부에 의해 개재되고, 또한 상기 덮개가 주행 방향과 연직 방향에서 교차하는 폭 방향을 향한 상태로 상기 용기를 보지하는 용기 수용부와,
    상기 커버부에 마련되고, 또한 상기 용기 수용부에 보지된 상기 용기로부터 벗어난 덮개의 낙하를 방지하는 덮개 낙하 방지 부재를 구비하고,
    상기 덮개 낙하 방지 부재는,
    상기 용기의 하방에 있어서 상기 폭 방향을 따라 연장되고, 또한 상기 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서 일부가 상기 덮개로부터 돌출되는 하방 지지부와,
    상기 덮개 중 적어도 일부에 대향하도록 상기 하방 지지부로부터 상기 연직 방향으로 세워 마련되는 정면 지지부를 가지고,
    상기 하방 지지부와 상기 정면 지지부가 일체적으로 형성되어 있는, 반송차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 정면 지지부는 상기 연직 방향에 있어서 상기 덮개의 상단까지 연장되는, 반송차.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 덮개 낙하 방지 부재는, 상기 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서, 상기 덮개를 개재하도록 또한 상기 정면 지지부에 대향하도록 배치되고, 또한 상기 하방 지지부로부터 상기 연직 방향으로 세워 마련되는 배면 지지부를 더 가지고,
    상기 하방 지지부와 상기 정면 지지부와 상기 배면 지지부가, 일체적으로 형성되어 있는, 반송차.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 하방 지지부가 상기 용기의 하방에 배치되고 또한 상기 정면 지지부가 상기 덮개의 정면에 배치되는 위치를 진출 위치로 하고, 상기 하방 지지부가 상기 용기의 하방으로부터 퇴피되고 또한 상기 정면 지지부가 상기 덮개의 정면으로부터 퇴피되는 위치를 퇴피 위치로 했을 때,
    상기 덮개 낙하 방지 부재를 상기 진출 위치와 상기 퇴피 위치의 사이에서 이동시키는 구동 기구를 더 구비하는, 반송차.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 퇴피 위치에 있어서의 상기 덮개 낙하 방지 부재의 일부는, 상기 연직 방향에서 본 평면 시에 있어서, 상기 커버부 및 상기 용기 수용부가 배치된 영역의 외측에 위치하는, 반송차.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 구동 기구에 있어서의 진퇴 동작을 제어하는 제어부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 용기 수용부에 상기 용기가 보지되어 있지 않은 경우라도, 주행 시에는 상기 덮개 낙하 방지 부재를 상기 진출 위치로 이동시키는, 반송차.
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