KR101523537B1 - 천정 반송차 - Google Patents

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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

천정 반송차(1)는 피반송물(30)을 수용해서 주행 레일(3)을 따라 주행하는 본체부(4)와, 피반송물(30)을 유지하는 유지부(8) 및 피반송물(30)을 수용하는 소정의 위치(P)에 대하여 유지부(8)를 승강시키는 승강부(7)를 갖는 승강 기구(6)와, 유지부(8)가 위치(P)에 배치되어 있을 때에 피반송물(30)의 덮개(31)에 대향하는 덮개 낙하 방지 부재(20)와 이동 기구(10)를 구비한다. 이동 기구(10)는 유지부(8)가 위치(P)에 배치되어 있을 때에 낙하 방지 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치되고, 유지부(8)가 위치(P)에 대하여 승강될 때에 퇴피 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치되도록 유지부(8)의 승강 동작에 종동해서 덮개 낙하 방지 부재(20)를 이동시킨다.

Description

천정 반송차{OVERHEAD TRANSPORT CARRIAGE}
본 발명은 예를 들면, 클린룸에 있어서 착탈 가능한 덮개가 부착된 피반송물(복수매의 반도체 웨이퍼를 수용한 카세트 등)을 반송 경로를 따라 반송하는 천정 반송차에 관한 것이다.
종래의 천정 반송차로서, 예를 들면, 특허문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재된 천정 반송차에 있어서는 피반송물을 수용해서 반송할 때에 피반송물로부터의 덮개의 낙하가 덮개 낙하 방지 부재에 의해 방지된다. 이 덮개 낙하 방지 부재는 피반송물이 수용되어 있을 때에 피반송물의 덮개의 앞에 위치하고, 피반송물이 승강되어 있을 때에 피반송물의 덮개의 앞으로부터 퇴피하도록 액추에이터에 의해 회동된다.
국제 공개 제 2009/141976호
상술한 천정 반송차에 의하면 피반송물의 반송 시에는 덮개가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 피반송물의 승강 시에는 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있지만, 덮개 낙하 방지 부재를 회동시키기 위해서 전용의 액추에이터가 필요로 되어 있다. 그 때문에 특히 비교적 소형의 천정 반송차에 있어서는 구성의 간이화가 요구되어 있다.
그래서, 본 발명은 간이한 구성으로 피반송물의 반송 시에 피반송물의 일부를 이루는 덮개가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 피반송물의 승강 시에는 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있는 천정 반송차를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 천정 반송차는 착탈 가능한 덮개가 부착된 피반송물을 반송 경로를 따라 반송하는 천정 반송차로서, 피반송물을 수용해서 반송 경로를 따라 주행하는 본체부와, 피반송물을 유지하는 유지부, 및 피반송물을 수용하는 소정의 위치에 대하여 유지부를 승강시키는 승강부를 갖는 승강 기구와, 유지부가 소정의 위치에 배치되어 있을 때에 덮개에 대향하는 덮개 낙하 방지 부재와, 유지부가 소정의 위치에 배치되어 있을 때에 덮개의 낙하를 방지하는 제 1 위치에 덮개 낙하 방지 부재가 배치되어 유지부가 소정의 위치에 대하여 승강될 때에 제 1 위치보다 덮개로부터 먼 제 2 위치에 덮개 낙하 방지 부재가 배치되도록 유지부의 승강 동작에 종동해서 덮개 낙하 방지 부재를 이동시키는 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 천정 반송차에서는 피반송물을 유지한 유지부가 소정의 위치에 배치되어 있을 때에는 덮개의 낙하를 방지하는 제 1 위치에 덮개 낙하 방지 부재가 배치된다. 이것에 의해 피반송물의 반송 시에 덮개가 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 한편, 피반송물을 유지한 유지부가 소정의 위치에 대하여 승강될 때에는 제 1 위치보다 덮개로부터 먼 제 2 위치에 덮개 낙하 방지 부재가 배치된다. 이것에 의해 피반송물의 승강 시에 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 이동 기구는 유지부의 승강 동작에 종동해서 제 1 위치와 제 2 위치 사이에서 덮개 낙하 방지 부재를 이동시킨다. 따라서, 이 천정 반송차에 의하면 간이한 구성으로 피반송물의 반송 시에는 덮개가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 피반송물의 승강 시에는 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 천정 반송차에 있어서는 이동 기구는 덮개 낙하 방지 부재가 부착되어서 전진 위치와 후퇴 위치 사이에서 요동하는 제 1 요동부 및 제 1 요동부가 연결되어서 상승 위치와 하강 위치 사이에서 요동하는 제 2 요동부를 갖고, 소정의 위치를 기점으로 하는 소정의 거리만큼 유지부가 상승할 때에는 제 2 요동부가 하강 위치로부터 상승 위치로 요동함과 아울러 제 1 요동부가 후퇴 위치로부터 전진 위치로 요동함으로써 덮개 낙하 방지 부재가 제 2 위치로부터 제 1 위치로 이동하여 소정의 거리만큼 유지부가 하강할 때에는 제 2 요동부가 상승 위치로부터 하강 위치로 요동함과 아울러 제 1 요동부가 전진 위치로부터 후퇴 위치로 요동함으로써 덮개 낙하 방지 부재가 제 1 위치로부터 제 2 위치로 이동하도록 해도 좋다. 이 구성에 의하면 이동 기구의 구성의 간이화를 도모하여 이동 기구의 기계적 동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 천정 반송차에 있어서는 이동 기구는 제 1 위치에 배치된 덮개 낙하 방지 부재에 제 2 위치를 향해서 외력이 작용했을 경우에 덮개 낙하 방지 부재가 제 2 위치측으로 소정의 양만큼 변위하도록 덮개 낙하 방지 부재를 지지하고 있고, 이동 기구는 덮개 낙하 방지 부재의 제 2 위치측으로의 변위를 검출하는 변위 검출부를 갖고 있어도 좋다. 이 구성에 의하면, 예를 들면, 반송 시에 피반송물로부터 덮개가 분리되면 제 1 위치에 배치되어 있었던 덮개 낙하 방지 부재가 제 2 위치측으로 변위하게 된다. 이때 변위 검출부에 의해 덮개 낙하 방지 부재의 제 2 위치측으로의 변위가 검출되므로 피반송물로부터 덮개가 분리되어 있는 것을 인지할 수 있다. 이것에 의해 덮개가 분리된 상태에서의 천정 반송차의 주행을 중지하는, 피반송물의 반송을 정지해서 피반송물에 덮개를 다시 부착한다는 조치를 신속히 강구하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명의 천정 반송차에 있어서는 덮개 낙하 방지 부재에 있어서 적어도 덮개에 대향하는 부분은 가요성을 갖는 시트상 부재에 의해 구성되어 있어도 좋다. 이 구성에 의하면 덮개 낙하 방지 부재를 설치하는 것에 있어서, 본체부로부터 덮개 낙하 방지 부재가 돌출하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 피반송물로부터 덮개가 분리되었다고 해도 덮개를 확실하게 받아낼 수 있다. 또한, 덮개 낙하 방지 부재가 만일 외부 기기 등에 접촉해도 덮개 낙하 방지 부재가 용이하게 변형되기 때문에 외부 기기 등에 손상을 주는 것을 방지할 수 있다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면 간이한 구성으로 피반송물의 반송 시에 덮개가 분리되어 있는 것을 신속하게 검지하는 것 및 덮개가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 피반송물의 승강 시에는 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태의 천정 반송차의 측면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 천정 반송차의 단면도이다.
도 3은 도 2의 천정 반송차에 있어서 피반송물이 승강되어 있는 상태를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 2의 천정 반송차의 요부 확대도이다.
이하, 본 발명의 적합한 실시형태에 대해서 도면을 참조해서 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 붙여 중복하는 설명을 생략한다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이 천정 반송차(1)는 피반송물(30)을 주행 레일(반송 경로)(3)을 따라 반송한다. 주행 레일(3)은 반도체 디바이스를 제조하기 위한 클린룸의 천장에 지주(2)를 개재해서 설치된 것이다. 또한, 피반송물(30)은 복수매의 반도체 웨이퍼를 수용한 카세트[소위, FOUP(Front Opening Unified Pod)]이다. 피반송물(30)의 측면에는 반도체 웨이퍼를 출납하기 위한 착탈 가능한 덮개(31)가 부착되어 있다. 또한, 피반송물(30)의 상면에는 천정 반송차(1)에 의해 유지되는 플랜지부(32)가 설치되어 있다.
천정 반송차(1)는 피반송물(30)을 수용해서 주행 레일(3)을 따라 주행하는 본체부(4)를 구비하고 있다. 본체부(4)는 주행부(5)를 통해 주행 레일(3)에 매달려 있다. 주행부(5)는 주행 레일(3)의 내면에 접촉하는 구동륜 및 가이드륜을 갖고 있고, 이들에 의해 주행 레일(3)을 따라 본체부(4)를 주행시킨다. 또한, 주행부(5)는 주행 레일(3) 내에 위치하는 전자 코일 유닛을 갖고 있고, 이것에 의해 주행 레일(3) 내에 부설된 고주파 전류선으로부터 무접촉으로 전력의 공급을 받는다.
본체부(4)는 주행부(5)가 부착된 베이스 프레임(4a)을 갖고 있다. 반송 방향(A)에 있어서의 베이스 프레임(4a) 전방측 및 후방측의 각각에는 하방으로 연장되도록 프론트 프레임(4b) 및 리어 프레임(4c)이 설치되어 있다. 피반송물(30)은 반송 방향(A)에 대하여 측방에 덮개(31)를 향한 상태로 프론트 프레임(4b)과 리어 프레임(4c) 사이에 수용된다. 또한, 이하의 설명에서는 반송 방향(A)에 대하여 덮개(31)가 향하고 있는 측을 「일방측」이라고 하고, 그 반대측을 「타방측」이라고 한다.
베이스 프레임(4a)에는 승강 기구(6)가 부착되어 있다. 승강 기구(6)는 승강부(7) 및 유지부(8)를 갖고 있다. 유지부(8)는 플랜지부(32)를 파지함으로써 피반송물(30)을 유지한다. 또한, 승강부(7)는 피반송물(30)을 수용하는 소정의 위치(P)에 대하여 유지부(8)를 승강시킨다. 보다 구체적으로는 승강부(7)는 복수개의 벨트(9)를 동기해서 조출함으로써 벨트(9)의 단부에 부착된 유지부(8)를 위치(P)로부터 하강시킨다. 한편, 승강부(7)는 복수개의 벨트(9)를 동기해서 권취함으로써 벨트(9)의 단부에 부착된 유지부(8)를 위치(P)까지 상승시킨다. 또한, 베이스 프레임(4a)에는 반송 방향(A)에 대하여 일방측 및 타방측으로 승강부(7)를 이동시키는 횡이송부나, 수평면 내에 있어서 승강부(7)를 회동시키는 θ드라이브 등이 설치되는 경우가 있다.
이상에 의해 천정 반송차(1)는 다음과 같이 동작한다. 즉, 천정 반송차(1)는 반송원(예를 들면, 반도체 처리 장치)의 포트의 상방에 정지하고, 상기 포트 위에 배치되어 있었던 피반송물(30)을 승강 기구(6)를 사용해서 상승시켜 본체부(4)에 수용한다. 이어서, 천정 반송차(1)는 피반송물(30)을 주행 레일(3)을 따라 반송한다. 이어서, 천정 반송차(1)는 반송처(예를 들면, 반도체 처리 장치)의 포트의 상방에 정지하고, 본체부(4)에 수용되어 있었던 피반송물(30)을 승강 기구(6)를 사용해서 하강시켜 상기 포트 상에 배치한다.
도 1 및 도 2에 나타내어지는 바와 같이 천정 반송차(1)는 유지부(8)가 소정의 위치(P)에 배치되어 있을 때에 피반송물(30)의 덮개(31)에 대향하는 덮개 낙하 방지 부재(20)와, 유지부(8)의 승강 동작에 종동해서 덮개 낙하 방지 부재(20)를 이동시키는 이동 기구(10)를 구비하고 있다. 덮개 낙하 방지 부재(20)는 가요성을 갖는 시트상 부재[예를 들면, 테플론(등록상표) 시트 등이라는 불소 수지의 얇은 수지 등]이며, 반송 방향(A)을 따라 덮개(31)의 정면을 가로지르도록 이동 기구(10)에 의해 지지되어 있다.
이동 기구(10)는 반송 방향(A)에 대하여 일방측으로부터 타방측으로 연장되는 요동 암(제 2 요동부)(11)을 갖고 있다. 요동 암(11)은 소정의 위치(P)에 배치된 유지부(8)를 끼우도록 각 프레임(4b, 4c)의 내측에 1쌍 설치되어 있다. 각 요동 암(11)의 일단부(11a)는 각 프레임(4b, 4c)에 세워서 설치된 축(12)에 의해 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 각 요동 암(11)의 타단부(11b)에는 내측으로 연장되도록 수용부(13)가 형성되어 있다. 각 요동 암(11)의 수용부(13)에는 유지부(8)가 위치(P)에 배치되어 있을 때에 유지부(8)의 상면(8a)이 접촉한다. 각 요동 암(11)은 수용부(13)의 위치가 위치(P)가 되는 상승 위치와, 수용부(13)의 위치가 위치(P)보다 하방이 되는 하강 위치 사이에 있어서 축(12)을 중심으로 해서 요동한다. 또한, 유지부(8)가 위치(P)에 배치되었을 때에는 수용부(13)의 하면 및 유지부(8)의 상면(8a)의 위치가 위치(P)에 대략 일치한다.
각 요동 암(11)의 일단부(11a)에는 하측으로 연장되도록 요동 암(제 1 요동부)(14)이 연결되어 있다. 각 요동 암(14)은 요동 암(11)의 위치가 상승 위치가 되는 전진 위치와, 요동 암(11)의 위치가 하강 위치가 되는 후퇴 위치 사이에 있어서 축(12)을 중심으로 해서 요동한다.
각 요동 암(14)에는 덮개 낙하 방지 부재(20)가 부착되어 있다. 보다 구체적으로는 반송 방향(A)에 있어서의 덮개 낙하 방지 부재(20)의 양단부에 굽힘 가공이 실시되어 있고, 그 양단부가 각 요동 암(14)에 고정되어 있다. 덮개 낙하 방지 부재(20)는 요동 암(11, 14)의 위치가 상승 위치 및 전진 위치가 되는 낙하 방지 위치(제 1 위치)와, 요동 암(11, 14)의 위치가 하강 위치 및 후퇴 위치가 되는 퇴피 위치(제 2 위치)의 사이에 있어서 축(12)을 중심으로 해서 요동한다. 또한, 낙하 방지 위치는 덮개 낙하 방지 부재(20)에 있어서 덮개(31)에 대향하는 부분과 덮개(31)의 표면의 거리가, 예를 들면 수㎜ 정도라는 바와 같이 덮개(31)의 낙하를 방지하는 위치이다. 또한, 퇴피 위치는 낙하 방지 위치보다 덮개(31)로부터 먼 위치이다.
이상과 같이 구성된 이동 기구(10) 및 덮개 낙하 방지 부재(20)의 동작은 다음과 같다. 즉, 도 2는 및 도 3에 나타내어지는 바와 같이 유지부(8)가 소정의 위치(P)로부터 하강할 경우에는 위치(P)를 기점으로 하는 소정의 거리(D)만큼 유지부(8)가 하강할 때에 요동 암(11)이 자중으로 상승 위치로부터 하강 위치로 하강하고, 그것에 따라 요동 암(14)이 전진 위치로부터 후퇴 위치로 후퇴한다. 이것에 의해 덮개 낙하 방지 부재(20)가 낙하 방지 위치로부터 퇴피 위치로 이동한다. 즉, 위치(P)를 기점으로 하는 소정의 거리(D)만큼 유지부(8)가 하강할 때에는 요동 암(11)이 상승 위치로부터 하강 위치로 요동함과 아울러 요동 암(14)이 전진 위치로부터 후퇴 위치로 요동함으로써 덮개 낙하 방지 부재(20)가 낙하 방지 위치로부터 퇴피 위치로 이동한다.
한편, 유지부(8)가 소정의 위치(P)까지 상승할 경우에는 위치(P)를 기점으로 하는 소정의 거리(D)만큼 유지부(8)가 상승할 때에 수용부(13)가 유지부(8)에 의해 밀어 올려져서 요동 암(11)이 하강 위치로부터 상승 위치로 상승하고, 그것에 따라 요동 암(14)이 후퇴 위치로부터 전진 위치로 전진한다. 이것에 의해 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치로부터 낙하 방지 위치로 이동한다. 즉, 위치(P)를 기점으로 하는 소정의 거리(D)만큼 유지부(8)가 상승할 때에는 요동 암(11)이 하강 위치로부터 상승 위치로 요동함과 아울러 요동 암(14)이 후퇴 위치로부터 전진 위치로 요동함으로써 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치로부터 낙하 방지 위치로 이동한다.
이상과 같이 이동 기구(10)는 유지부(8)가 위치(P)에 배치되어 있을 때에는 낙하 방지 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치되고, 유지부(8)가 위치(P)에 대하여 승강될 때에는 퇴피 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치되도록 유지부(8)의 승강 동작에 종동해서 덮개 낙하 방지 부재(20)를 이동시킨다.
이어서, 이동 기구(10)의 요동 암(14)에 대해서 보다 상세하게 설명한다. 도 4에 나타내어지는 바와 같이 요동 암(14)은 요동 암(11)의 일단부(11a)에 연결된 기단측 부분(15) 및 덮개 낙하 방지 부재(20)가 고정된 선단측 부분(16)을 갖고 있다. 기단측 부분(15)과 선단측 부분(16)은 축(17)에 의해 회동 가능하게 접속되어 있다. 단, 기단측 부분(15)에 대한 선단측 부분(16)의 회동 범위는 회동 규제 부재(25, 26)에 의해 규제되어 있다.
즉, 기단측 부분(15)에 설치된 회동 규제 부재(25)에는 선단측 부분(16)을 향해서 볼록해지도록 소정의 각도로 단면(25a, 25b)이 형성되어 있다. 한편, 선단측 부분(16)에 설치된 회동 규제 부재(26)에는 축(17)을 중심으로 한 회동에 의해 회동 규제 부재(25)의 각 단면(25a, 25b)에 접촉하도록 단면(26a)이 형성되어 있다. 이것에 의해 선단측 부분(16)은 단면(26a)이 단면(25a)에 접촉한 상태[덮개 낙하 방지 부재(20)가 낙하 방지 위치에 배치된 상태]와, 단면(26a)이 단면(25b)에 접촉한 상태[덮개 낙하 방지 부재(20)가 낙하 방지 위치보다 외측에 배치된 상태]의 사이에 있어서 기단측 부분(15)에 대하여 회동한다.
기단측 부분(15) 및 선단측 부분(16)의 각각에는 브래킷(18, 19)이 고정되어 있고, 브래킷(18, 19) 사이에는 인장 스프링(21)이 걸쳐져 있다. 이것에 의해 선단측 부분(16)은 단면(26a)이 단면(25a)에 접촉한 상태가 되도록 기단측 부분(15)에 대하여 바이어싱된다. 또한, 기단측 부분(15)에는 포토 인터럽터 등 투광부 및 수광부를 갖는 변위 검출부(22)가 고정되어 있고, 선단측 부분(16)에는 차광판(23)이 고정되어 있다. 이것에 의해 단면(26a)이 단면(25b)에 접촉한 상태가 되도록 선단측 부분(16)이 기단측 부분(15)에 대하여 회동하면 차광판(23)이 변위 검출부(22)의 광로(투광부로부터 수광부에 이르는 광로)를 차단한다.
이상과 같이 이동 기구(10)는 낙하 방지 위치에 배치된 덮개 낙하 방지 부재(20)에 퇴피 위치를 향해서 외력이 작용했을 경우에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치측으로 소정의 양만큼 변위하도록 덮개 낙하 방지 부재(20)를 지지하고 있다. 그리고, 변위 검출부(22)는 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치측으로 소정의 양만큼 변위했을 경우에 차광판(23)에 의해 변위 검출부(22)의 광로가 차단되기 때문에 덮개 낙하 방지 부재(20)의 퇴피 위치측으로의 변위를 검출한다.
이상 설명한 바와 같이 천정 반송차(1)에 있어서는 피반송물(30)을 유지한 유지부(8)가 소정의 위치(P)에 배치되어 있을 때에는 덮개(31)의 낙하를 방지하는 낙하 방지 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치된다. 이것에 의해 피반송물(30)의 반송 시에 덮개(31)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 한편, 피반송물(30)을 유지한 유지부(8)가 소정의 위치(P)에 대하여 승강될 때에는 낙하 방지 위치보다 덮개로부터 먼 퇴피 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치된다. 이것에 의해 피반송물(30)의 승강 시에 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 이동 기구(10)는 유지부(8)의 승강 동작에 종동해서 낙하 방지 위치와 퇴피 위치 사이에서 덮개 낙하 방지 부재(20)를 이동시킨다. 따라서, 천정 반송차(1)에 의하면 간이한 구성으로 피반송물(30)의 반송 시에는 덮개(31)가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 피반송물(30)의 승강 시에는 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 덮개 낙하 방지 부재(20)를 동작시키기 위한 전용의 액추에이터 등이 불필요하기 때문에 천정 반송차(1)에 있어서 생력화를 도모할 수 있다.
또한, 천정 반송차(1)에 있어서는 피반송물(30)이 유지부(8)에 의해 유지되어 있지 않을 때에도 유지부(8)가 소정의 위치(P)에 배치되어 있으면 낙하 방지 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치된다. 이것에 의해 천정 반송차(1)가 피반송물(30)을 수용하지 않고 빈 상태로 주행 레일(3)을 따라 주행하고 있을 경우에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 외부 기기 등에 접촉하는 사태를 방지할 수 있다. 또한, 피반송물(30)이 유지부(8)에 의해 유지되어 있지 않을 때에도 유지부(8)가 소정의 위치(P)에 대하여 승강되고 있으면 퇴피 위치에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치된다. 이것에 의해 피반송물(30)을 유지하지 않고 있는 유지부(8)가 승강될 경우에 유지부(8)의 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이동 기구(10)는 요동 암(11, 14)을 채용해서 유지부(8)의 승강 동작에 종동하는 덮개 낙하 방지 부재(20)의 이동을 실현하고 있다. 이것에 의해 천정 반송차(1)에 있어서는 이동 기구(10)의 구성의 간이화가 도모되고, 이동 기구(10)의 기계적 동작의 신뢰성이 향상되어 있다.
또한, 이동 기구(10)는 낙하 방지 위치에 배치된 덮개 낙하 방지 부재(20)에 퇴피 위치를 향해서 외력이 작용했을 경우에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치측으로 소정의 양만큼 변위하도록 덮개 낙하 방지 부재(20)를 지지하고 있다. 그리고, 이동 기구(10)는 덮개 낙하 방지 부재(20)의 퇴피 위치측으로의 변위를 검출하는 변위 검출부(22)를 갖고 있다. 이것에 의해 도 4에 나타내어지는 바와 같이 예를 들면, 반송 시에 피반송물(30)로부터 덮개(31)가 분리되면 낙하 방지 위치에 배치되어 있었던 덮개 낙하 방지 부재(20)가 퇴피 위치측으로 변위하게 된다. 이때 변위 검출부(22)에 의해 덮개 낙하 방지 부재(20)의 퇴피 위치측으로의 변위가 검출되므로 피반송물(30)로부터 덮개(31)가 분리되어 있는 것을 인지할 수 있다. 이것에 의해 덮개(31)가 분리된 상태에서의 피반송물(30)의 주행을 중지하는, 피반송물(30)의 반송을 정지해서 피반송물(30)에 덮개(31)를 다시 부착한다는 조치를 신속히 강구하는 것이 가능해진다.
또한, 덮개 낙하 방지 부재(20)에 있어서 적어도 피반송물(30)의 덮개(31)에 대향하는 부분은 가요성을 갖는 시트상 부재에 의해 구성되어 있다. 이것에 의해 덮개 낙하 방지 부재(20)를 설치하는 것에 있어서 본체부(4)로부터 덮개 낙하 방지 부재(20)가 돌출하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 피반송물(30)로부터 덮개(31)가 분리되었다고 해도 덮개(31)를 확실하게 받아낼 수 있다. 또한, 덮개 낙하 방지 부재(20)가 만일 외부 기기 등에 접촉해도 덮개 낙하 방지 부재(20)가 용이하게 변형되기 때문에 외부 기기 등에 손상을 주는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 일실시형태에 대해서 설명했지만 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 이동 기구(10)는 유지부(8)가 위치(P)에 배치되어 있을 때에는 낙하 방지 위치(제 1 위치)에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치되고, 유지부(8)가 위치(P)에 대하여 승강될 때에는 퇴피 위치(제 2 위치)에 덮개 낙하 방지 부재(20)가 배치되도록 유지부(8)의 승강 동작에 종동해서 덮개 낙하 방지 부재(20)를 이동시키는 것이면 요동 암(11, 14)을 채용한 것에 한정되지 않고, 다른 링크 기구 등을 채용한 것이어도 좋다. 일례로서 이동 기구(10)는 시트상 부재에 의해 구성된 덮개 낙하 방지 부재(20)를 체결함으로써 낙하 방지 위치에 배치하고, 그러한 덮개 낙하 방지 부재(20)를 느슨히 함으로써 퇴피 위치에 배치하는 것이어도 좋다.
또한, 천정 반송차(1)는 반도체 디바이스를 제조하기 위한 클린룸에 설치된 주행 레일(3)을 따라 피반송물(30)을 반송하는 것에 한정되지 않고, 피반송물(30)은 복수매의 반도체 웨이퍼를 수용한 카세트에 한정되지 않는다. 그리고, 천정 반송차(1) 및 피반송물(30)의 구성 부재의 재료 및 형상에는 상술한 재료 및 형상에 한정되지 않고, 여러 가지 재료 및 형상을 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면 간이한 구성으로 피반송물의 반송 시에 덮개가 분리되어 있는 것을 신속하게 검지하는 것 및 덮개가 낙하하는 것을 방지할 수 있고, 피반송물의 승강 시에는 승강 동작이 저해되는 것을 방지할 수 있다.
1 : 천정 반송차 3 : 주행 레일(반송 경로)
4 : 본체부 6 : 승강 기구
7 : 승강부 8 : 유지부
10 : 이동 기구 11 : 요동 암(제 2 요동부)
14 : 요동 암(제 1 요동부) 20 : 덮개 낙하 방지 부재
22 : 변위 검출부 30 : 피반송물
31 : 덮개

Claims (4)

  1. 착탈 가능한 덮개가 부착된 피반송물을 반송 경로를 따라 반송하는 천정 반송차로서,
    상기 피반송물을 수용해서 상기 반송 경로를 따라 주행하는 본체부와,
    상기 피반송물을 유지하는 유지부 및 상기 피반송물을 수용하는 소정의 위치에 대하여 상기 유지부를 승강시키는 승강부를 갖는 승강 기구와,
    상기 유지부가 상기 소정의 위치에 배치되어 있을 때에 상기 덮개에 대향하는 덮개 낙하 방지 부재와,
    상기 유지부가 상기 소정의 위치에 배치되어 있을 때에 상기 덮개의 낙하를 방지하는 제 1 위치에 상기 덮개 낙하 방지 부재가 배치되고, 상기 유지부가 상기 소정의 위치를 향해 상승하거나 상기 소정의 위치로부터 하강할 때에, 상기 제 1 위치보다 상기 덮개로부터 먼 제 2 위치에 상기 덮개 낙하 방지 부재가 배치되도록 상기 유지부의 승강 동작에 종동해서 상기 덮개 낙하 방지 부재를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
    상기 이동 기구는 상기 유지부가 상기 소정의 위치에 배치되어 있을 때에 상기 유지부가 접촉하는 수용부를 갖고,
    상기 이동 기구는 상기 유지부가 상기 소정의 위치까지 상승해서 상기 수용부를 밀어 올림으로써 상기 덮개 낙하 방지 부재를 상기 제 1 위치로 이동시키고, 상기 유지부가 상기 소정의 위치로부터 하강해서 상기 수용부로부터 멀어짐으로써 상기 덮개 낙하 방지 부재를 상기 제 2 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 천정 반송차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동 기구는 상기 덮개 낙하 방지 부재가 부착되어서 전진 위치와 후퇴 위치 사이에서 요동하는 제 1 요동부 및 상기 제 1 요동부가 연결되어서 상승 위치와 하강 위치 사이에서 요동하는 제 2 요동부를 갖고,
    상기 소정의 위치를 기점으로 하는 소정의 거리만큼 상기 유지부가 상승할 때에는 상기 제 2 요동부가 상기 하강 위치로부터 상기 상승 위치로 요동함과 아울러 상기 제 1 요동부가 상기 후퇴 위치로부터 상기 전진 위치로 요동함으로써 상기 덮개 낙하 방지 부재가 상기 제 2 위치로부터 상기 제 1 위치로 이동하고,
    상기 소정의 거리만큼 상기 유지부가 하강할 때에는 상기 제 2 요동부가 상기 상승 위치로부터 상기 하강 위치로 요동함과 아울러 상기 제 1 요동부가 상기 전진 위치로부터 상기 후퇴 위치로 요동함으로써 상기 덮개 낙하 방지 부재가 상기 제 1 위치로부터 상기 제 2 위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 천정 반송차.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동 기구는 상기 제 1 위치에 배치된 상기 덮개 낙하 방지 부재에 상기 제 2 위치를 향해서 외력이 작용했을 경우에 상기 덮개 낙하 방지 부재가 상기 제 2 위치측으로 소정의 양만큼 변위하도록 상기 덮개 낙하 방지 부재를 지지하고 있고,
    상기 이동 기구는 상기 덮개 낙하 방지 부재의 상기 제 2 위치측으로의 변위를 검출하는 변위 검출부를 갖는 것을 특징으로 하는 천정 반송차.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 덮개 낙하 방지 부재에 있어서 적어도 상기 덮개에 대향하는 부분은 가요성을 갖는 시트상 부재에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 천정 반송차.
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