JP2996491B2 - アーム式搬送装置 - Google Patents
アーム式搬送装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、アーム式搬送装置に関する。
（従来の技術） 例えば半導体製造プロセスでは、被処理体である半導
体ウエハを搬送するに際して、例えば多間接アーム等を
用い、駆動部側に連結された一端を水平駆動あるいは回
転駆動し、自由端側に支持した半導体ウエハを水平方向
に搬送している。
体ウエハを搬送するに際して、例えば多間接アーム等を
用い、駆動部側に連結された一端を水平駆動あるいは回
転駆動し、自由端側に支持した半導体ウエハを水平方向
に搬送している。
この種の搬送アームとしては、特開昭54−10976 62
−161607,61−278149,62−150735,62−21644,60−12052
0,60−183736,62−21649,62−161608,61−99345,1−993
44,61−90903,61−90887,61−87351,61−713836 ２−4
1129等に開示され公知である。
−161607,61−278149,62−150735,62−21644,60−12052
0,60−183736,62−21649,62−161608,61−99345,1−993
44,61−90903,61−90887,61−87351,61−713836 ２−4
1129等に開示され公知である。
（発明が解決しようとする課題） この種の搬送アームは、その自由端側に被搬送体を支
持する片持ち梁状であるので、例えばメンテナンス時に
この搬送アームに接触することで、容易に搬送アームが
変形してしまう恐れがあった。
持する片持ち梁状であるので、例えばメンテナンス時に
この搬送アームに接触することで、容易に搬送アームが
変形してしまう恐れがあった。
このように変形した搬送アームを用いて被搬送体の搬
送を実施すると、被搬送体のハンドリング状態が悪化し
たり、被搬送体の受け渡し時に受け渡し面にズレが生
じ、搬送トラブルの原因となっていた。特に、ウエハカ
セットに対してウエハを搬入出する際には、カセット内
に収容された状態のウエハ配列ピッチが狭いので、ウエ
ハがカセットに衝突するなどの問題が生じていた。
送を実施すると、被搬送体のハンドリング状態が悪化し
たり、被搬送体の受け渡し時に受け渡し面にズレが生
じ、搬送トラブルの原因となっていた。特に、ウエハカ
セットに対してウエハを搬入出する際には、カセット内
に収容された状態のウエハ配列ピッチが狭いので、ウエ
ハがカセットに衝突するなどの問題が生じていた。
そこで、本発明の目的とするところは、搬送アームの
変形を容易に監視できるようにしたアーム式搬送装置を
提供することにある。
変形を容易に監視できるようにしたアーム式搬送装置を
提供することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、片持ち状の搬送アームの自由端側に被搬送
体を支持して搬送するアーム式搬送装置において、 所定間隔毎に被搬送体が収容されるカセットに前記搬
送アームが搬入される前に、搬送面と平行な基準面より
上記搬送アームまでの距離を光学的に検出し、その距離
が許容上限を越えた時にオンする第１のセンサーと、 上記カセットに前記搬送アームが搬入される前に、搬
送面と平行な基準面より上記搬送アームまでの距離を光
学的に検出し、その距離が許容下限に満たない時にオン
する第２のセンサーと、 前記第１及び第２のセンサーの出力が入力され、前記
第１及び第２のセンサーの少なくとも一方がオンした時
に、装置の稼働を停止させる制御手段と、 を有することを特徴とする。
体を支持して搬送するアーム式搬送装置において、 所定間隔毎に被搬送体が収容されるカセットに前記搬
送アームが搬入される前に、搬送面と平行な基準面より
上記搬送アームまでの距離を光学的に検出し、その距離
が許容上限を越えた時にオンする第１のセンサーと、 上記カセットに前記搬送アームが搬入される前に、搬
送面と平行な基準面より上記搬送アームまでの距離を光
学的に検出し、その距離が許容下限に満たない時にオン
する第２のセンサーと、 前記第１及び第２のセンサーの出力が入力され、前記
第１及び第２のセンサーの少なくとも一方がオンした時
に、装置の稼働を停止させる制御手段と、 を有することを特徴とする。
（作 用） 本発明では、搬送面と平行な基準面より搬送アームま
での距離を光学的に検出しているが、検出された距離が
許容値以内であれば、正規の搬送面上にて平行に被搬送
体を搬送できることが確認される。一方、許容値を越え
る場合には搬送トラブルの原因となることが容易に把握
でき、搬送トラブルを未然に防止することができる。し
かも、光学的に上記距離を検出しているので非接触にて
検出できる。特に本発明では、その距離が許容上限を越
えた時にオンする第１のセンサーと、その距離が許容下
限に満たない時にオンする第２のセンサーとを設けてい
るので、搬送アームがカセットに搬入される前の測定時
にそれらの出力が入力される制御手段は、前記第１及び
第２のセンサーの少なくとも一方がオンした時に、装置
の稼働を停止させることができる。この結果、搬送アー
ムとカセットとの干渉という重大な搬送トラブルを未然
に防止できる。
での距離を光学的に検出しているが、検出された距離が
許容値以内であれば、正規の搬送面上にて平行に被搬送
体を搬送できることが確認される。一方、許容値を越え
る場合には搬送トラブルの原因となることが容易に把握
でき、搬送トラブルを未然に防止することができる。し
かも、光学的に上記距離を検出しているので非接触にて
検出できる。特に本発明では、その距離が許容上限を越
えた時にオンする第１のセンサーと、その距離が許容下
限に満たない時にオンする第２のセンサーとを設けてい
るので、搬送アームがカセットに搬入される前の測定時
にそれらの出力が入力される制御手段は、前記第１及び
第２のセンサーの少なくとも一方がオンした時に、装置
の稼働を停止させることができる。この結果、搬送アー
ムとカセットとの干渉という重大な搬送トラブルを未然
に防止できる。
（実施例） 以下、本発明をプラズマエッチング装置のセンダー部
に適用した一実施例について、図面を参照して具体的に
説明する。なおプラズマエッチング装置は公知であるの
でその詳細な説明を省略するが、本実施例ではエッチン
グ処理を行なうプロセスチャンバーとゲートを介して連
通する真空引き可能なロードロックチャンバーを有し、
センダー部よりロードロックチャンバーを介してプロセ
スチャンバーに処理前のウエハを搬入し、処理後のウエ
ハはロードロックチャンバーを介してレシーバ部に搬出
されるようになっている。
に適用した一実施例について、図面を参照して具体的に
説明する。なおプラズマエッチング装置は公知であるの
でその詳細な説明を省略するが、本実施例ではエッチン
グ処理を行なうプロセスチャンバーとゲートを介して連
通する真空引き可能なロードロックチャンバーを有し、
センダー部よりロードロックチャンバーを介してプロセ
スチャンバーに処理前のウエハを搬入し、処理後のウエ
ハはロードロックチャンバーを介してレシーバ部に搬出
されるようになっている。
前記センダー部は、大気中に設置され、大別して搬送
アーム10,カセットステージ30,プリアライメントステー
ジ40およびアーム変形検出センサー50とから構成されて
いる。このセンダー部では、前記カセットステージ30に
載置固定される図示しないカセットより、１枚の半導体
ウエハ１を前記搬送アーム10によって取り出し、このウ
エハ１を前記プリアライメントステージ40上に設置して
プリアライメントした後に、図示しないロードロックチ
ャンバー側の搬送アームによってウエハ１をチャンバー
側に搬入するものである。
アーム10,カセットステージ30,プリアライメントステー
ジ40およびアーム変形検出センサー50とから構成されて
いる。このセンダー部では、前記カセットステージ30に
載置固定される図示しないカセットより、１枚の半導体
ウエハ１を前記搬送アーム10によって取り出し、このウ
エハ１を前記プリアライメントステージ40上に設置して
プリアライメントした後に、図示しないロードロックチ
ャンバー側の搬送アームによってウエハ１をチャンバー
側に搬入するものである。
前記搬送アーム10は、その平面図である第２図に示す
ようにＬ字状に屈曲形成され、その一端である固定部14
を駆動側に固定し、その自由端側に真空吸着部12を有し
ている。この搬送アーム10の水平駆動系として、基台16
には２本のガイド軸20,20が水平に設置され、この２本
のガイド軸20,20によって水平方向に移動案内される可
動ブロック18が設けられている。そして、前記搬送アー
ム10の固定部14は、この可動ブロック18に固定されてい
る。前記可動ブロック18の下方であって、基台16上の距
離を隔てた２箇所に、プーリ22,22が回転自在に支持さ
れている。そして、このプーリ22,22にはそれぞれベル
ト24が張架され、このベルト24の一箇所が前記可動ブロ
ック18に固定されている。したがって、いずれか一方の
プーリ22を回転駆動することにより、ベルト24がその水
平方向に移動し、この結果可動ブロック18を介して搬送
アーム10を第１図の矢印Ｘ方向に水平移動可能としてい
る。
ようにＬ字状に屈曲形成され、その一端である固定部14
を駆動側に固定し、その自由端側に真空吸着部12を有し
ている。この搬送アーム10の水平駆動系として、基台16
には２本のガイド軸20,20が水平に設置され、この２本
のガイド軸20,20によって水平方向に移動案内される可
動ブロック18が設けられている。そして、前記搬送アー
ム10の固定部14は、この可動ブロック18に固定されてい
る。前記可動ブロック18の下方であって、基台16上の距
離を隔てた２箇所に、プーリ22,22が回転自在に支持さ
れている。そして、このプーリ22,22にはそれぞれベル
ト24が張架され、このベルト24の一箇所が前記可動ブロ
ック18に固定されている。したがって、いずれか一方の
プーリ22を回転駆動することにより、ベルト24がその水
平方向に移動し、この結果可動ブロック18を介して搬送
アーム10を第１図の矢印Ｘ方向に水平移動可能としてい
る。
前記カセットステージ30は、半導体ウエハ１を複数枚
収納した図示しないカセットを載置固定し、その下方に
設けた上下動駆動部32の駆動によって上下方向に移動可
能である。図示しないカセットは、ウエハ１を水平状態
にてその高さ方向で所定間隔をおいて配列支持するもの
であり、そのカセット内の任意のウエハ１を取り出す際
には、前記上下動駆動部32によってそのカセットを上下
方向に移動し、取り出すべきウエハ１の下方に前記搬送
アーム10の真空吸着部12を挿入可能な位置に設定すれば
よい。
収納した図示しないカセットを載置固定し、その下方に
設けた上下動駆動部32の駆動によって上下方向に移動可
能である。図示しないカセットは、ウエハ１を水平状態
にてその高さ方向で所定間隔をおいて配列支持するもの
であり、そのカセット内の任意のウエハ１を取り出す際
には、前記上下動駆動部32によってそのカセットを上下
方向に移動し、取り出すべきウエハ１の下方に前記搬送
アーム10の真空吸着部12を挿入可能な位置に設定すれば
よい。
前記プリアライメントステージ40は、その中心部に前
記ウエハ１を真空吸着し、かつこれを回転駆動できる吸
着回転部42を有している。この吸着回転部42は、ウエハ
１を支持するために上下方向に移動可能である。この吸
着回転部42の周囲には、例えば３本のリフターピン44が
設けられている。このリフターピン44は、前記吸着回転
部42とは独立してその上下方向に移動可能である。そし
て、そのリフターピン44がウエハ１の裏面と当接する先
端部には、第５図に示すように例えばテフロン（登録商
標）等の非金属の異音防止ピン46が固定されている。前
記吸着回転部42に隣接してセンサーアーム48が設けら
れ、このセンサーアーム48は第２図の矢印Ｘ軸方向に移
動可能である。そして、前記吸着回転部42にウエハ１を
載置固定し、かつこのウエハ１を回転駆動しながら、セ
ンサーアーム48に設けられた図示しないセンサによって
ウエハ１のプリアライメントが可能となっている。
記ウエハ１を真空吸着し、かつこれを回転駆動できる吸
着回転部42を有している。この吸着回転部42は、ウエハ
１を支持するために上下方向に移動可能である。この吸
着回転部42の周囲には、例えば３本のリフターピン44が
設けられている。このリフターピン44は、前記吸着回転
部42とは独立してその上下方向に移動可能である。そし
て、そのリフターピン44がウエハ１の裏面と当接する先
端部には、第５図に示すように例えばテフロン（登録商
標）等の非金属の異音防止ピン46が固定されている。前
記吸着回転部42に隣接してセンサーアーム48が設けら
れ、このセンサーアーム48は第２図の矢印Ｘ軸方向に移
動可能である。そして、前記吸着回転部42にウエハ１を
載置固定し、かつこのウエハ１を回転駆動しながら、セ
ンサーアーム48に設けられた図示しないセンサによって
ウエハ１のプリアライメントが可能となっている。
本実施例装置の特徴的構成として、前記プリアライメ
ントステージ40の近傍であって、搬送アーム10の真空吸
着部12の下方の位置に設定されるアーム変形検出センサ
ー50を備えている。このアーム変形検出センサー50は、
第４図（Ａ）に示すように、前記真空吸着部12の幅方向
にて離間した２か所に第1,第２のセンサー52,54を有し
ている。この第1,第２のセンサー52,54は、共に小スポ
ット限定反射型の光電スイッチで形成される。この光電
スイッチは、赤外線発光ダイオードより口径0.8mmの赤
外線を出射し、その出射面より10mm前後の距離にある検
出範囲内にて反射された際にのみ感応してスイッチをOF
Fし、検出範囲外でONするものである。本装置のアーム
検出センサーは、この光電スイッチ２個で構成され、搬
送アーム10からの距離はそれぞれ異なり、検出範囲は一
部重なっている。第４図（Ｃ）に示すように、搬送アー
ムから遠い第１のセンサーの検出範囲は、S1min〜S1ma
x、搬送アームに近い第２のセンサーの検出範囲はS2min
〜S2maxである。第４図（Ｂ）に示すように搬送アーム1
0の真空吸着部12の高さ方向の許容範囲をそれぞれ上限
位置L1,下限位置L2とした場合に、第１のセンサーのS1m
axをL1に、第２のセンサーのS2minをL2に合せる。第１
のセンサーはL1〜S1min間の範囲外で反射したときにON
し、第２のセンサーはL2〜S2max間の範囲外で反射した
ときにONするので、この第1,第２のセンサーのいずれか
一方がONした場合には、L1〜L2の範囲外で反射したと
き、すなわちアームが変形したときである。第1,第２の
センサーの出力はセンダーのCPU（図示せず）に入力さ
れ、いずれか一方がONした場合は装置の稼働を停止する
ように構成されている。上記第１および第２のセンサ5
2,54の動作についてはスイッチの論理を逆にして、いず
れか一方がOFFした場合に装置の稼働を停止させてもよ
い。
ントステージ40の近傍であって、搬送アーム10の真空吸
着部12の下方の位置に設定されるアーム変形検出センサ
ー50を備えている。このアーム変形検出センサー50は、
第４図（Ａ）に示すように、前記真空吸着部12の幅方向
にて離間した２か所に第1,第２のセンサー52,54を有し
ている。この第1,第２のセンサー52,54は、共に小スポ
ット限定反射型の光電スイッチで形成される。この光電
スイッチは、赤外線発光ダイオードより口径0.8mmの赤
外線を出射し、その出射面より10mm前後の距離にある検
出範囲内にて反射された際にのみ感応してスイッチをOF
Fし、検出範囲外でONするものである。本装置のアーム
検出センサーは、この光電スイッチ２個で構成され、搬
送アーム10からの距離はそれぞれ異なり、検出範囲は一
部重なっている。第４図（Ｃ）に示すように、搬送アー
ムから遠い第１のセンサーの検出範囲は、S1min〜S1ma
x、搬送アームに近い第２のセンサーの検出範囲はS2min
〜S2maxである。第４図（Ｂ）に示すように搬送アーム1
0の真空吸着部12の高さ方向の許容範囲をそれぞれ上限
位置L1,下限位置L2とした場合に、第１のセンサーのS1m
axをL1に、第２のセンサーのS2minをL2に合せる。第１
のセンサーはL1〜S1min間の範囲外で反射したときにON
し、第２のセンサーはL2〜S2max間の範囲外で反射した
ときにONするので、この第1,第２のセンサーのいずれか
一方がONした場合には、L1〜L2の範囲外で反射したと
き、すなわちアームが変形したときである。第1,第２の
センサーの出力はセンダーのCPU（図示せず）に入力さ
れ、いずれか一方がONした場合は装置の稼働を停止する
ように構成されている。上記第１および第２のセンサ5
2,54の動作についてはスイッチの論理を逆にして、いず
れか一方がOFFした場合に装置の稼働を停止させてもよ
い。
本実施例では、センダー部分のほぼ前面を覆うような
カバー60を有している。このカバー60は前記カセットス
テージ32に載置固定されるカセット（図示せず）の上下
動経路は切り欠かれ、かつ、前記搬送アーム10が前記カ
バー60と交差する部分の移動軌跡にわたって切欠されて
いる。このカバー60は、クリーンルーム内のダウンフロ
ーに対応すべくその全面がメッシュ状に構成され、ダウ
ンフローをセンダー内部に取り入れ可能となっている。
このカバー60は、センダー部分の側面を覆う側面パネル
62の上端部にてほぼ水平に屈曲形成したカバー取付部64
にて着脱自在に固定される。このカバー取付部64の取付
面は、例えばゴム磁石にて形成され、このカバー取付部
64と対応する面に形成されている前記カバー60の金属部
分を吸着保持可能としている。
カバー60を有している。このカバー60は前記カセットス
テージ32に載置固定されるカセット（図示せず）の上下
動経路は切り欠かれ、かつ、前記搬送アーム10が前記カ
バー60と交差する部分の移動軌跡にわたって切欠されて
いる。このカバー60は、クリーンルーム内のダウンフロ
ーに対応すべくその全面がメッシュ状に構成され、ダウ
ンフローをセンダー内部に取り入れ可能となっている。
このカバー60は、センダー部分の側面を覆う側面パネル
62の上端部にてほぼ水平に屈曲形成したカバー取付部64
にて着脱自在に固定される。このカバー取付部64の取付
面は、例えばゴム磁石にて形成され、このカバー取付部
64と対応する面に形成されている前記カバー60の金属部
分を吸着保持可能としている。
次に、作用について説明する。
このセンダー部にてカセットより１枚のウエハ１を取
り出すためには、まずカセットステージ30をその上下動
駆動部32によって上下方向に移動し、取り出すべきウエ
ハ１の高さ位置が、搬送アーム10の水平移動平面よりも
上方に設定する。その後、一方のプーリ22を図示しない
駆動源によって回転駆動し、可動ブロック18をガイド軸
20,20に沿って水平移動させることで、これと一体的に
固定されている搬送アーム10を第１図の右方向に移動さ
せる。そして、カセット内にて搬送アーム10の真空吸着
部12が、取り出すべきウエハ１の上下に設定された位置
にて、その水平移動を停止する。この状態にてカセット
ステージ30を下方に移動させると、１枚のウエハ１が真
空吸着部12上に載置され、その後バキュームオンするこ
とで、この真空吸着部12にウエハ１を吸着保持すること
ができる。ウエハ１のカセットからの搬出は、搬送アー
ム10を第１図の左方向に水平移動することで実現でき
る。そして、この搬送アーム10は、ウエハ１がプリアラ
イメントステージ40における吸着回転部42の上方に到達
した時停止される。このプリアライメントステージ40で
は、まずリフターピン44が上昇駆動され、バキュームオ
フされた状態にて前記真空吸着部12上に載置されている
ウエハ１の支持位置よりも上方向に移動することで、こ
のウエハ１を３本のリフターピン44上に支持することが
できる。その後、回転吸着部42を上昇移動させるか、あ
るいはリフターピン44を下降移動させるかして、ウエハ
１を吸着回転部42に載置し、バキュームオンしてこれを
吸着保持する。この状態にてウエハ１のプリアライメン
トが可能となり、センサーアーム48が第２図のＸ軸方向
に移動し、前記吸着回転部42を回転駆動しながらウエハ
１のプリアライメントを実行することになる。その後、
センサーアーム48が退避し、リフターピン44の上昇によ
り前記吸着回転部42に載置されていたウエハ１をリフタ
ーピン44上に支持する。このウエハ１の支持位置は、第
１図に示すウエハ搬送ラインＬよりも上方に設定されて
いる。その後、図示しないロードロックチャンバー側の
搬送アームがセンダー側に移動し、前記ウエハ搬送ライ
ンＬに沿ってウエハ１の下方に移動して停止する。そし
て、前記リフターピン44を下方に移動させることで、こ
のウエハ１をロードロックチャンバー側の搬送アームに
受渡すことができる。その後、このロードロックチャン
バー側の搬送アームによってウエハ１をプロセスチャン
バー側に向けて搬入することになる。
り出すためには、まずカセットステージ30をその上下動
駆動部32によって上下方向に移動し、取り出すべきウエ
ハ１の高さ位置が、搬送アーム10の水平移動平面よりも
上方に設定する。その後、一方のプーリ22を図示しない
駆動源によって回転駆動し、可動ブロック18をガイド軸
20,20に沿って水平移動させることで、これと一体的に
固定されている搬送アーム10を第１図の右方向に移動さ
せる。そして、カセット内にて搬送アーム10の真空吸着
部12が、取り出すべきウエハ１の上下に設定された位置
にて、その水平移動を停止する。この状態にてカセット
ステージ30を下方に移動させると、１枚のウエハ１が真
空吸着部12上に載置され、その後バキュームオンするこ
とで、この真空吸着部12にウエハ１を吸着保持すること
ができる。ウエハ１のカセットからの搬出は、搬送アー
ム10を第１図の左方向に水平移動することで実現でき
る。そして、この搬送アーム10は、ウエハ１がプリアラ
イメントステージ40における吸着回転部42の上方に到達
した時停止される。このプリアライメントステージ40で
は、まずリフターピン44が上昇駆動され、バキュームオ
フされた状態にて前記真空吸着部12上に載置されている
ウエハ１の支持位置よりも上方向に移動することで、こ
のウエハ１を３本のリフターピン44上に支持することが
できる。その後、回転吸着部42を上昇移動させるか、あ
るいはリフターピン44を下降移動させるかして、ウエハ
１を吸着回転部42に載置し、バキュームオンしてこれを
吸着保持する。この状態にてウエハ１のプリアライメン
トが可能となり、センサーアーム48が第２図のＸ軸方向
に移動し、前記吸着回転部42を回転駆動しながらウエハ
１のプリアライメントを実行することになる。その後、
センサーアーム48が退避し、リフターピン44の上昇によ
り前記吸着回転部42に載置されていたウエハ１をリフタ
ーピン44上に支持する。このウエハ１の支持位置は、第
１図に示すウエハ搬送ラインＬよりも上方に設定されて
いる。その後、図示しないロードロックチャンバー側の
搬送アームがセンダー側に移動し、前記ウエハ搬送ライ
ンＬに沿ってウエハ１の下方に移動して停止する。そし
て、前記リフターピン44を下方に移動させることで、こ
のウエハ１をロードロックチャンバー側の搬送アームに
受渡すことができる。その後、このロードロックチャン
バー側の搬送アームによってウエハ１をプロセスチャン
バー側に向けて搬入することになる。
ここで、ウエハ１を搬送する搬送アーム10は、その一
端側の固定部14のみが駆動側に連結固定され、真空吸着
部12側は自由端部に設定されている。従って、例えばメ
インテナンス時などにこの搬送アーム10に接触すること
で、この搬送アーム10が容易に変形してしまう恐れがあ
る。本実施例では、このような搬送アーム10の変形をア
ーム変形検出センサー50によって検出し、この変形が許
容値を越える場合には装置の稼働を停止するように構成
している。すなわち、搬送アーム10の真空吸着部12がア
ーム変形検出センサー50の上方にて停止した際には、第
1,第２のセンサー52,54が動作する。すなわち、この第
１のセンサー52の赤外線発光ダイオードより小スポット
の光が出射され、搬送アーム10が第４図（Ｂ）に示す許
容上限位置L1の範囲内にあるか否かを検出する。この第
１のセンサー52は、搬送アーム10が上記許容上限位置L1
を越えた位置に存在する場合にONするようになってい
る。同時に、第２のセンサー54が動作し、この第２のセ
ンサー54は同様にして搬送アーム10が許容下限位置L2の
範囲内にあるか否かを検出する。この第２のセンサー54
は、搬送アーム10が前記許容下限位置L2を下回った位置
に存在する場合にONする。従って、この第1,第２のセン
サー52,54の出力を入力するCPUは、少なくともいずれか
一方のセンサーがONした場合には、搬送アーム10の変形
がその許容値を越えているものと判断できる。そして、
このような場合にはCPUはセンダー部全体の装置の稼働
を停止することになる。このような搬送アーム10の変形
検出は、例えばメインテナンス終了後の動作開始時のみ
実施してもよいし、あるいはこのセンダー部にて搬送ア
ーム10がアーム変形検出センサー50の上方に停止される
度に検出してもよい。
端側の固定部14のみが駆動側に連結固定され、真空吸着
部12側は自由端部に設定されている。従って、例えばメ
インテナンス時などにこの搬送アーム10に接触すること
で、この搬送アーム10が容易に変形してしまう恐れがあ
る。本実施例では、このような搬送アーム10の変形をア
ーム変形検出センサー50によって検出し、この変形が許
容値を越える場合には装置の稼働を停止するように構成
している。すなわち、搬送アーム10の真空吸着部12がア
ーム変形検出センサー50の上方にて停止した際には、第
1,第２のセンサー52,54が動作する。すなわち、この第
１のセンサー52の赤外線発光ダイオードより小スポット
の光が出射され、搬送アーム10が第４図（Ｂ）に示す許
容上限位置L1の範囲内にあるか否かを検出する。この第
１のセンサー52は、搬送アーム10が上記許容上限位置L1
を越えた位置に存在する場合にONするようになってい
る。同時に、第２のセンサー54が動作し、この第２のセ
ンサー54は同様にして搬送アーム10が許容下限位置L2の
範囲内にあるか否かを検出する。この第２のセンサー54
は、搬送アーム10が前記許容下限位置L2を下回った位置
に存在する場合にONする。従って、この第1,第２のセン
サー52,54の出力を入力するCPUは、少なくともいずれか
一方のセンサーがONした場合には、搬送アーム10の変形
がその許容値を越えているものと判断できる。そして、
このような場合にはCPUはセンダー部全体の装置の稼働
を停止することになる。このような搬送アーム10の変形
検出は、例えばメインテナンス終了後の動作開始時のみ
実施してもよいし、あるいはこのセンダー部にて搬送ア
ーム10がアーム変形検出センサー50の上方に停止される
度に検出してもよい。
このように、本実施例では搬送アーム10がカセットに
搬入される前に、その変形の度合いをアーム変形検出セ
ンサ50によって監視することができる。従って、その変
形の度合が許容値を越えた場合に装置の稼働を停止する
ことで、搬送アーム10の変形に基づく種々のトラブル、
例えばウエハ１への衝突等の搬送トラブルを未然に防止
することができる。この場合、カセット内に収容されて
いる２枚のウエハ間に搬送アーム10が搬入される際に
は、許容上限位置L1とは搬送アーム10が上方のウエハと
干渉しない位置であり、許容下限位置L2とは搬送アーム
10が下方のウエハと干渉しない位置である。
搬入される前に、その変形の度合いをアーム変形検出セ
ンサ50によって監視することができる。従って、その変
形の度合が許容値を越えた場合に装置の稼働を停止する
ことで、搬送アーム10の変形に基づく種々のトラブル、
例えばウエハ１への衝突等の搬送トラブルを未然に防止
することができる。この場合、カセット内に収容されて
いる２枚のウエハ間に搬送アーム10が搬入される際に
は、許容上限位置L1とは搬送アーム10が上方のウエハと
干渉しない位置であり、許容下限位置L2とは搬送アーム
10が下方のウエハと干渉しない位置である。
また、本実施例ではリフターピン44の先端に非金属の
テフロン等による異音防止ピン46を備えている。このセ
ンダー部は大気中に設定され、前記リフターピン44を金
属ピンのみで構成した場合には、ウエハ１の裏面にこの
ピン44が当接する度に異音が発生していた。本実施例の
ように、その先端側を異音防止ピン46にて構成すること
で耳障りな異音の発生を確実に低減することができる。
テフロン等による異音防止ピン46を備えている。このセ
ンダー部は大気中に設定され、前記リフターピン44を金
属ピンのみで構成した場合には、ウエハ１の裏面にこの
ピン44が当接する度に異音が発生していた。本実施例の
ように、その先端側を異音防止ピン46にて構成すること
で耳障りな異音の発生を確実に低減することができる。
さらに、本実施例ではこのセンダー部上限側のほぼ全
面を覆うカバー60の着脱を、側面パネル62の上端側にゴ
ム磁石にて形成したカバー取付部64との接触，非接触に
より容易に実現できる。従来、この種のカバーはセンダ
ー装置にねじ固定されていたが、そのメインテナンスの
度にねじの着脱を行わなければならず、その着脱作業が
煩わしいばかりか、ねじの着脱によるゴムの発生などに
より、処理の歩留まりの低下の要因ともなっていた。本
実施例では、カバー60の着脱をマグネットにより実現で
きるので、その着脱作業が極めて簡易であり、かつ、ゴ
ミの発生もより低減できる。
面を覆うカバー60の着脱を、側面パネル62の上端側にゴ
ム磁石にて形成したカバー取付部64との接触，非接触に
より容易に実現できる。従来、この種のカバーはセンダ
ー装置にねじ固定されていたが、そのメインテナンスの
度にねじの着脱を行わなければならず、その着脱作業が
煩わしいばかりか、ねじの着脱によるゴムの発生などに
より、処理の歩留まりの低下の要因ともなっていた。本
実施例では、カバー60の着脱をマグネットにより実現で
きるので、その着脱作業が極めて簡易であり、かつ、ゴ
ミの発生もより低減できる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではな
く、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であ
る。
く、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であ
る。
搬送アーム10の変形を検出するアーム変形検出センサ
50としては、上記実施例の手段に限らず、少なくとも搬
送アーム10の搬送面と平行な基準面よりこの搬送アーム
10までの距離を光学的に検出できるセンサーであればよ
く、その平面度を見るためには、この種のセンサーを３
か所に配設するもの等であってもよい。また、本発明は
必ずしも常圧下に設定されるセンダー部，レシーバー部
等に適用されるものに限らず、負圧下にて被搬送体の搬
送を行う装置にも同様に適用可能である。
50としては、上記実施例の手段に限らず、少なくとも搬
送アーム10の搬送面と平行な基準面よりこの搬送アーム
10までの距離を光学的に検出できるセンサーであればよ
く、その平面度を見るためには、この種のセンサーを３
か所に配設するもの等であってもよい。また、本発明は
必ずしも常圧下に設定されるセンダー部，レシーバー部
等に適用されるものに限らず、負圧下にて被搬送体の搬
送を行う装置にも同様に適用可能である。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によればわずかな接触に
より変形のしやすい片持ち状の搬送アームの変形を、そ
の搬送面と平行な基準面からの距離を光学的に検出する
ことで容易に認識することができ、この搬送アームの変
形に伴う搬送トラブルを未然に防止できるという効果が
ある。
より変形のしやすい片持ち状の搬送アームの変形を、そ
の搬送面と平行な基準面からの距離を光学的に検出する
ことで容易に認識することができ、この搬送アームの変
形に伴う搬送トラブルを未然に防止できるという効果が
ある。
第１図は、本発明をプラズマ処理装置のセンダー部に適
用した一実施例を示す概略正面断面図、 第２図は、第１図の装置の平面図、 第３図は、第１図の装置の右側面図、 第４図（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれアーム変形検出セン
サー50の配置説明図，動作説明図、 第５図は、リフターピンの上端部分の拡大図である。 10……搬送アーム、12……真空吸着部、 44……リフターピン、46……異音防止ピン、 50……アーム検出センサー、 52……第１のセンサー、 54……第２のセンサー、60……カバー、 L1……許容上限位置、L2……許容下限位置。
用した一実施例を示す概略正面断面図、 第２図は、第１図の装置の平面図、 第３図は、第１図の装置の右側面図、 第４図（Ａ）〜（Ｃ）は、それぞれアーム変形検出セン
サー50の配置説明図，動作説明図、 第５図は、リフターピンの上端部分の拡大図である。 10……搬送アーム、12……真空吸着部、 44……リフターピン、46……異音防止ピン、 50……アーム検出センサー、 52……第１のセンサー、 54……第２のセンサー、60……カバー、 L1……許容上限位置、L2……許容下限位置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 白石 照昌 東京都新宿区西新宿１丁目26番２号 東 京エレクトロン株式会社内 (72)発明者 堀岡 啓治 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝総合研究所内 (72)発明者 奥村 勝弥 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝多摩川工場内 (56)参考文献 特開 昭61−125786（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 9/06,13/00,19/00 H01L 21/68
Claims (2)
- 【請求項１】片持ち状の搬送アームの自由端側に被搬送
体を支持して搬送するアーム式搬送装置において、 所定間隔毎に被搬送体が収容されるカセットに前記搬送
アームが搬入される前に、搬送面と平行な基準面より上
記搬送アームまでの距離を光学的に検出し、その距離が
許容上限を越えた時にオンする第１のセンサーと、 上記カセットに前記搬送アームが搬入される前に、搬送
面と平行な基準面より上記搬送アームまでの距離を光学
的に検出し、その距離が許容下限に満たない時にオンす
る第２のセンサーと、 前記第１及び第２のセンサーの出力が入力され、前記第
１及び第２のセンサーの少なくとも一方がオンした時
に、装置の稼働を停止させる制御手段と、 を設けたことを特徴とするアーム式搬送装置。 - 【請求項２】請求項（１）において、 前記第１のセンサーは前記基準面からS1min〜S1maxの範
囲以外の距離に前記搬送アームが存在しているときにオ
ンし、 前記第２のセンサーは前記基準面からS2min〜S2maxの範
囲以外の距離に前記搬送アームが存在しているときにオ
ンし、 前記第１のセンサーの前記基準面を、前記第２のセンサ
ーの前記基準面よりも前記搬送アームの位置から離れた
位置に設定すると共に、前記S1maxの位置を前記許容上
限と一致させ、前記S2minの位置を前記許容下限に一致
させたことを特徴とするアーム式搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19246490A JP2996491B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | アーム式搬送装置 |
| KR1019910012431A KR0155566B1 (ko) | 1990-07-20 | 1991-07-20 | 플라즈마 처리장치 |
| US08/169,551 US5474643A (en) | 1990-07-20 | 1993-12-20 | Plasma processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19246490A JP2996491B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | アーム式搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482691A JPH0482691A (ja) | 1992-03-16 |
| JP2996491B2 true JP2996491B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=16291733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19246490A Expired - Lifetime JP2996491B2 (ja) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | アーム式搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2996491B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10115615B2 (en) | 2016-03-11 | 2018-10-30 | Toshiba Memory Corporation | Substrate processing apparatus and control method of substrate processing apparatus |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19535871C2 (de) | 1995-09-27 | 2000-02-10 | Jenoptik Jena Gmbh | Indexer für Magazinfächer eines Magazins und darin enthaltene scheibenförmige Objekte |
| JPH11354610A (ja) * | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
| JP5009522B2 (ja) * | 2005-11-28 | 2012-08-22 | リンテック株式会社 | 搬送装置 |
| JP2012094554A (ja) * | 2009-01-14 | 2012-05-17 | Canon Anelva Corp | 真空処理装置、電子部品の製造方法及び真空処理プログラム |
| JP5916472B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-05-11 | 三菱重工食品包装機械株式会社 | グローブボックス |
| WO2016103292A1 (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 川崎重工業株式会社 | ロボットシステム及びエンドエフェクタの変形検出方法 |
-
1990
- 1990-07-20 JP JP19246490A patent/JP2996491B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10115615B2 (en) | 2016-03-11 | 2018-10-30 | Toshiba Memory Corporation | Substrate processing apparatus and control method of substrate processing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0482691A (ja) | 1992-03-16 |
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