JP3065843B2

JP3065843B2 - 被処理体の検出装置

Info

Publication number: JP3065843B2
Application number: JP6129593A
Authority: JP
Inventors: 勤広木
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1993-02-26
Filing date: 1993-02-26
Publication date: 2000-07-17
Anticipated expiration: 2015-07-17
Also published as: JPH06249966A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板等を始めとする各
種被処理体の有無を検出する被処理体の検出装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば被処理体としてＬＣＤ（Liquid C
rystal Display；液晶表示装置）用ガラス基板を例にと
って説明すると、従来から、ＬＣＤ基板の製造工程にお
いては、減圧雰囲気下でＬＣＤ基板等にエッチングやア
ッシングなどの処理を施すため各種の真空処理装置が使
用されているが、このような真空処理室においては、Ｌ
ＣＤ用ガラス基板を真空処理室内にロード、アンロード
する毎に真空処理室内を常圧に戻す必要がないように、
開閉自在なゲートバルブを介してロードロック室と呼ば
れる予備真空室が設けられている場合が多い。

【０００３】そして被処理体であるＬＣＤ用ガラス基板
は、適宜の搬送手段で一旦このロードロック室に搬入さ
れ、その後このロードロック室を真空処理室と同一の減
圧雰囲気にしてから、上記真空処理室内にロードされる
ように構成されている。

【０００４】かかる場合、最近ではロードロック室に搬
入された時点で予めＬＣＤ用ガラス基板の位置合わせが
行われることが多く、そのため被処理体であるＬＣＤ用
ガラス基板が、正しくロードロック室に搬入されている
かどうか、また所定の位置に正しくセットされているか
どうかを真空処理室搬入前に確認する必要がある。

【０００５】この点従来は、上記ＬＣＤ用ガラス基板そ
のものをロードロック室内に設置した光センサによって
検出し、ＬＣＤ用ガラス基板の有無を検出するようにし
ていた。具体的には、例えば適宜の検出光をＬＣＤ用ガ
ラス基板の表面に照射し、そのときのガラス基板表面か
らの反射光の有無を検出するような方法が採られてい
た。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うにＬＣＤ用ガラス基板表面からの反射光などを光セン
サによって検出する方法では、ガラス基板の表面状態に
よって感度が左右され、場合によっては正確な検出がで
きないおそれがあった。かかる場合光センサの感度を調
整する必要があるが、対象となる基板が透明なガラスで
あるため、その調整も容易ではなかった。

【０００７】さらにまた従来はセンサ自体をロードロッ
ク室等、ＬＣＤ用ガラス基板が存在する同一空間内に設
置しているため、センサ自体が発する熱等によりＬＣＤ
用ガラス基板が影響を受けたり、あるいはセンサ自体に
事故等が合った場合には直ちにＬＣＤ用ガラス基板に悪
影響が及ぶおそれもあったのである。その他センサ自体
をロードロック室内に設けると、そのことによって設計
上の制限を受けたり、センサ自体が占める分、ロードロ
ック室内のスペースが狭小になることも否めなかった。

【０００８】本発明は叙上の問題点に鑑みてなされたも
のであって、検出対象である被処理体がたとえガラス基
板であっても、その検出が容易かつ確実に行える検出装
置を提供して上記問題の解決を図ることを目的とする。
さらにまた本発明の別の目的は、そのような被処理体を
検出するための検出手段等を、被処理体が存在する空間
外に配置した検出装置を提供して上記問題の解決を図る
ことにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め，請求項１では，所定位置にセットされる被処理体と
してのＬＣＤ用ガラス基板の有無を検出する装置であっ
て，発光装置，及び当該発光装置からの検出光を受光す
る受光装置，被処理体の有無により存在位置が移動しか
つ被処理体に接触して被処理体の位置あわせを行う移動
体を有し，前記移動体に前記検出光が通過可能な貫通孔
を穿設し，被処理体が所定位置に存在するときに前記検
出光が前記貫通孔を通過して前記受光装置によって受光
される如く構成し，さらに前記移動体の移動範囲を前記
検出光の遮蔽範囲（検出光を遮蔽する範囲内）に設定し
たことを特徴とする，被処理体の検出装置を提供する。
ここでいう発光装置の光源としては，例えば半導体レー
ザや，その他発光ダイオード（ＬＥＤ）＋レンズなどの
組合わせを有するものが挙げられる。

【００１０】

【００１１】また請求項２によれば、適宜の閉鎖空間内
の所定位置にセットされる被処理体の有無を検出する装
置であって、被処理体の有無により存在位置が移動する
移動体を当該閉鎖空間内に設け、さらに当該閉鎖空間を
形成する壁体の一部にガラス、アクリル、ポリカーボネ
ート樹脂などの透明体を設け、発光装置、及び該発光装
置からの検出光を前記透明体を介して受光する受光装置
を夫々当該閉鎖空間外に設け、前記移動体に前記検出光
が通過可能な貫通孔を穿設し、被処理体が所定位置に存
在するときに前記検出光が前記貫通孔を通過して前記受
光装置によって受光される如く構成し、さらに前記移動
体の移動範囲を前記検出光の遮蔽範囲（検出光を遮蔽す
る範囲）内に設定したことを特徴とする、被処理体の検
出装置を提供する。

【００１２】ここでいうところの閉鎖空間とは，既述の
ロードロック室などの開閉自在な完全な閉鎖空間（請求
項３）だけではなく，一部開放された空間をも意味し，
例えば被処理体の周囲に機器等が輻輳して被処理体を直
接視認しづらいような空間をも含むものである。また被
処理体は，ＬＣＤ用ガラス基板であってもよい（請求項
４）。前記移動体についても，被処理体に接触して被処
理体の位置合わせを行う位置合わせ機能を有していても
よい（請求項５）。被処理体は２枚であって上下２段に
位置し，かつ移動体の全高がこれら被処理体の上下間隔
よりも大きいものとしてもよい（請求項６）。さらにま
た被処理体に接触して被処理体の位置合わせを行う他の
位置合わせ機構を有していてもよい（請求項７）。そし
て被処理体に接触して被処理体の位置合わせを行う他の
位置合わせ機構を有する場合には，これら移動体及び他
の位置合わせ機構は，前記被処理体であるＬＣＤ用ガラ
ス基板の対角線方向に移動自在であることがよい（請求
項８）。以上の各被処理体の検出装置における検出光
は，被処理体に対して発光されるものではないことがよ
い（請求項９）。

【００１３】

【作用】請求項１によれば、被処理体が所定位置に存在
する場合には、移動体の貫通孔を通過した検出光が受光
装置によって受光されるので、そのことによって被処理
体の存在が確認される。逆に被処理体が所定位置に存在
しない場合には、移動体が検出光を遮蔽する位置にある
から、発光装置から発光された検出光は受光装置で受光
されず、それによって被処理体が存在しないことが確認
される。また上記いずれの場合でも、検出するための検
出光は、被処理体からの反射光や透過光ではなく、被処
理体とは直接関係のない光であるため、被処理体の材質
如何を問わず、常に正確かつ容易に被処理体の有無検出
を実施することができる。

【００１４】請求項２では検出の動作自体は上記請求項
１と同様であるが，被処理体が適宜の閉鎖空間内の所定
位置にセットされるものである場合，発光装置や受光装
置等の検出手段が当該閉鎖空間外に設置されて，検出光
自体はこの閉鎖空間を形成する壁体に設けられたガラス
などの透明体を通して発光，受光する構成であるから，
これら検出手段の存在が当該閉鎖空間内の被処理体に対
して影響を及ぼすことはない。そして被処理体は２枚で
上下に位置し，その間隔よりも移動体の全高が大きいも
のであれば，２枚同時に検出及び位置あわせが可能であ
る。被処理体がＬＣＤ用ガラス基板の場合，移動体及び
他の位置合わせ機構が該基板の対角線方向に移動自在と
すれば，大型の基板であっても効果的に位置ズレを防止
できる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の１実施例を図面に基づき説明
すると、本実施例は図２、図３に示されたプラズマ処理
装置１に設置されているロードロック室２内の基板の検
出装置として構成されている。

【００１６】まず上記プラズマ処理装置１全体の構成か
ら説明すると、このプラズマ処理装置１には、３つのプ
ロセスチャンバ１ａ、１ｂ、１ｃが、夫々開閉自在なゲ
ートバルブ３ａ、３ｂ、３ｃを介して、搬送チャンバ４
の３つの側面に隣接して設けてられている。このように
上記プラズマ処理装置１は３つのプロセスチャンバ１
ａ、１ｂ、１ｃを有しているから、例えばそのうち２つ
のプロセスチャンバをエッチング処理室として構成し、
残りの１つのプロセスチャンバをアッシング処理室とし
て構成したり、３つのプロセスチャンバ全てをエッチン
グ処理室やアッシグ処理室として構成することができ、
極めて高いスループットが可能となるように設計されて
いる。

【００１７】上記搬送チャンバ４の残りの側面には、開
閉自在なゲートバルブ５を介して上記ロードロック室２
が隣接して位置し、このロードロック室２における大気
側のゲートバルブ６前面側に、載置台を上下二段に有す
る大気系搬送アーム７を支持した支持台８が配置されて
いる。

【００１８】上記支持台８の両側には、処理対象である
ＬＣＤ用ガラス基板Ｐが多数（例えば２０枚）収納され
たカセット９、１０が対向して位置し、これら各カセッ
ト９、１０は適宜のエレベーション機構（図示せず）に
よって上下動自在となるように構成されている。このよ
うに２つのカセットを対向して配置させることにより、
１のカセットを未処理基板収納用とし、残りのカセット
を処理済み基板収納用として使用することができる。

【００１９】そしてこれら各カセット９又は１０に収納
されたＬＣＤ用ガラス基板Ｐは、上記大気系搬送アーム
７によって一度に２枚づつ取り出されて保持され、上記
ゲートバルブ６を通過して上記ロードロック室２内に搬
入されるように構成されている。

【００２０】上記ロードロック室２は図１に示された構
成を有し、その内部にはＬＣＤ用ガラス基板Ｐを上下２
段に一時的に載置してこれを保持するためのバッファ機
構が形成されている。

【００２１】このバッファ機構は、対向して配置された
バッファ１１、１２によって構成され、これら各バッフ
ァ１１、１２は左右対称形であり、その構成を例えばバ
ッファ１２についていうと、このバッファ１２は夫々バ
ッファ１１側に突出した載置部１２ａ、１２ｂを上下に
有し、これら各載置部１２ａ、１２ｂ上に、ＬＣＤ用ガ
ラス基板Ｐの裏面側端縁が載置されるように構成されて
いる。バッファ１１もこれと同様、バッファ１２側に突
出した載置部１１ａ、１１ｂを上下２段に有しており、
図１の状態では、これら各バッファ１１、１２に２枚の
ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が載置され、上側の載置部
１１ａ、１２ａにＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁が、下側の載
置部１１ｂ、１２ｂにＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂が夫々載
置されている。

【００２２】そしてそのように各バッファ１１、１２に
載置されたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の位置合わせを
行うためのポジショナー２１、２２が、夫々上記ＬＣＤ
用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の対角線の延長線上にて相互に対
向するようにして設けられている。

【００２３】これら各ポジショナー２１、２２は基本的
な構成は同一であって、ロードロック室２の大気側搬送
口２ａに近い側のポジショナー２１は、ＬＣＤ用ガラス
基板Ｐ_１、Ｐ_２の角部近傍に直接接して位置合わせを行
うローラ２１ａ、２１ｂ及びこれらローラ２１ａ、２１
ｂを支持する支持体２１ｃによって構成され、ロードロ
ック室２の下方に設けられた別設のエアシリンダ（図示
せず）の駆動によって、図１における往復矢印Ａ、Ｂで
夫々示したように、上下並びに上記対角線方向に移動自
在である。

【００２４】一方ロードロック室２の真空側搬送口２ｂ
に近い側のポジショナー２２も、直接ＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ_１、Ｐ_２の角部近傍に接して位置合わせを行うロー
ラ２２ａ、２２ｂ、及びこれらローラ２２ａ、２２ｂを
支持する支持体２２ｃによって構成され、エアシリンダ
（図示せず）の駆動によって、図１における往復矢印
Ｃ、Ｄで夫々示したように、上下並びに上記対角線方向
に移動自在である。但し、対角線方向の移動について
は、上記ポジショナー２１の移動幅よりも小さく設定さ
れ、このポジショナー２２は固定側のポジショナーとし
て機能するように構成されている。

【００２５】即ち、各バッファ１１、１２にＬＣＤ用ガ
ラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が載置されると、各ポジショナー２
１、２２が夫々上昇し、上昇終了点に達すると次にこれ
ら各ポジショナー２１、２２は、上記対角線の延長線上
を夫々中心方向に向かって移動する。このときポジショ
ナー２２の方が先に停止するが、ポジショナー２１につ
いてはそのローラ２１ａ、２１ｂによって上記ＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の角部近傍を押圧しつつ、ＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂全体を、停止したポジショナー２２
側へと押しやるのである。これによって、ＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₁、Ｐ₂は所定の位置に位置合わせされることに
なる。

【００２６】また本実施例では、上記各ローラ２１ａ、
２１ｂ、ローラ２２ａ、２２ｂの全高が、バッファ１
１、１２に上下２段に載置されるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ
₁、Ｐ₂の上下間隔よりも大きくとってあり、一度に上下
２枚のＬＣＤ用ガラス基板の位置合わせを行うことが可
能である。

【００２７】以上のようにポジショナー２２は位置合わ
せの際の固定側ポジショナーとして機能しているが、さ
らに叙上のように往復矢印Ｄで示される対角線方向の動
きも行うように構成されているので、ＬＣＤ用ガラス基
板がバッファ１１、１２に対して比較的ずれた位置に載
置されても、これをカバーして所定位置に位置合わせす
ることが可能である。

【００２８】そして本実施例では、上記ポジショナー２
１におけるローラ２１ａが本発明でいうところの移動体
として構成され、このローラ２１ａの側面に、ロードロ
ック室２の両側壁２ｃ、２ｄ方向と平行な方向で貫通孔
２３が穿たれている。さらにまたそれに対応して側壁２
ｃにガラス窓２４、側壁２ｄにガラス窓２５が夫々気密
に設けられ、さらにこのガラス窓２４の外方にレーザ発
光装置２６が、ガラス窓２５の外方にレーザ受光装置２
７が夫々設けられている。もちろんこれらガラス窓２
４、２５のガラス部分に、アクリルやポリカーボネート
樹脂などからなる透明体を用いてもよい。なお図１にお
いては説明の都合上、これらレーザ発光装置２６、レー
ザ受光装置２７はロードロック室２の両側壁２ｃ、２ｄ
から離れて図示されている。

【００２９】上記レーザ発光装置２６、レーザ受光装置
２７は、ＬＣＤ用ガラス基板が各ポジショナー２１、２
２によって所定位置に位置合わせされた際に、レーザ発
光装置２６のレーザ光が上記ローラ２１ａの貫通孔２３
を通過してレーザ受光装置２７によって受光されるよう
に配置されている。

【００３０】また本実施例では、図１における往復矢印
Ｂで示される上記ローラ２１ａの対角線方向の移動範囲
は、ローラ２１ａ自体で、上記レーザ発光装置２６から
のレーザ光を遮蔽できる範囲となるように設定されてい
る。もちろんかかる移動範囲を任意に拡大したい場合に
は、ローラ２１ａの側面外周に適宜の遮蔽部材を設けれ
ばよく、そのように構成することにより、ローラ２１
ａ、即ちポジショナー２１の対角線方向の移動範囲を自
由に設定することが可能である。

【００３１】以上のようにしてロードロック室２内で所
定位置にセットされたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂は、
図３に示されるように搬送チャンバ４内に設けられた搬
送アーム３１によって取り出され、一旦そこで待機され
た後、夫々所定のプロセスチャンバ１ａ、１ｂ、１ｃ内
に振り分けられて搬送するように構成されている。

【００３２】本実施例にかかる検出装置を使用したプラ
ズマ処理装置１は以上のように構成されており、その動
作について説明すると、まず未処理のＬＣＤガラス基板
Ｐを収納したカセット９がその出入口（オープン側）を
既述の支持台８に向けて所定位置にセットされると、既
述のエレベーション機構によって当該カセット９が上昇
し、その最上部、並びに最上部から２番目に収納されて
いるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂がまず大気系搬送アー
ム７によって取り出される。そしてゲートバルブ６の開
放後、これらＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂はロードロッ
ク室２内に搬入されて、バッファ１１、１２に載置され
る。この後大気系搬送アーム７が待避し、ゲートバルブ
６が閉じられて。ロードロック室２は所定の減圧雰囲
気、例えば１０^-1Ｔｏｒｒ程度まで真空引きされる。

【００３３】上記のように真空引きされた後、ポジショ
ナー２１、２２が上昇し、その後の対角線方向の移動に
よって、各ローラ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂの押
圧によるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の位置合わせが実
施される。このように本実施例では、真空引きされた後
に基板の位置合わせが行われるので、真空引きした際に
発生する大気の流れにより、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、
Ｐ₂があおられて位置ズレしても、これを修正すること
が可能となっている。従って近年大型化しつつあるＬＣ
Ｄ用基板に対しても、効果的にその位置ズレ防止を図る
ことができる。

【００３４】もちろんそのような位置合わせは、搬送チ
ャンバ４の搬送前に完了していればよいので、真空引き
する前に上記位置合わせを行い、そのまま各ローラ２１
ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂによってＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₁、Ｐ₂を押圧保持しつつ、真空引きを行ってもよ
い。かかる場合でも、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂はこ
れらローラ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂによって強
固に保持されているから、真空引きの際に発生する大気
の流れによって、上記ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂があ
おられて位置ズレしたり、バッファ１１、１２から落下
したりするおそれはないものである。

【００３５】そして叙上のようにポジショナー２１、２
２によってＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の位置合わせが
行われた時点、即ち各ローラ２１ａ、２１ｂ、２２ａ、
２２ｂによってＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が押圧保持
された時点で、レーザ発光装置２６からレーザ光が、対
向するレーザ受光装置２７に向けて発光される。このと
きＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が所定の位置に正しく位
置合わせされていれば、図４に示したように、当該レー
ザ光はローラ２１ａの貫通孔２３を通過してレーザ受光
装置２７によって受光される。したがってそのことによ
ってＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が所定位置に位置合わ
せされたことが確認できる。

【００３６】しかしながら何らかの事情でＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₁、Ｐ₂が所定位置からずれていた場合や存在し
ていなかった場合には、ローラ２１ａが所定位置で停止
しないためレーザ光がローラ２１ａによって遮蔽され
る。その結果、レーザ受光装置２７は当該レーザ光を受
光できず、そのことによって、ＬＣＤ用ガラス基板
Ｐ₁、Ｐ₂が所定位置に存在しないことが確認できるので
ある。

【００３７】例えばＬＣＤ用ガラス基板自体がバッファ
１１、１２上に載置されていなかった場合には、図５の
矢印に示したように、ポジショナー２１が対角線方向中
心側最大移動し、その結果レーザ発光装置２６からのレ
ーザ光がローラ２１ａによって遮蔽される（同図中、一
点鎖線で示される矩形は、ＬＣＤ用ガラス基板の所定位
置を示している）。

【００３８】また例えばＬＣＤ用ガラス基板自体が何ら
かの事情で斜めに載置され、その結果図６に示したよう
にポジショナー２１が対角線方向中心側に移動できなか
った場合にも、レーザ発光装置２６からのレーザ光がロ
ーラ２１ａによって遮蔽される（同図中、一点鎖線で示
される矩形は、ＬＣＤ用ガラス基板の所定位置を示して
いる）。

【００３９】従っていずれの場合でも、レーザ受光装置
２７によるレーザ光の受光ができず、そのことによって
ＬＣＤ用ガラス基板が所定位置に存在していないことが
確認できるのである。なお、上記のような存在、不存在
の確認結果の外部への表示は、通常この種のプラズマ処
理装置に用いられているＣＲＴ装置（図示せず）で行う
ようにすればよい。

【００４０】そしてそのようにして位置合わせされたＬ
ＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂は、搬送アーム３１によって
一旦搬送チャンバ４内に搬送されて待機し、予め定めら
れたプログラムに従って、各々所定のプロセスチャンバ
内に搬送され、夫々対応するエッチング処理やアッシン
グ処理などのプラズマ処理がなされるのである。

【００４１】以上の動作から明らかなように、被処理体
であるＬＣＤ用ガラス基板の有無の検出は、レーザ光の
受光の有無によってなされるが、このレーザ光は直接Ｌ
ＣＤ用ガラス基板に対して発光されるものではなく、受
光するレーザ光も当該ＬＣＤ用ガラス基板からの透過光
や反射光ではないので、ＬＣＤ用ガラス基板の材質やそ
の表面状態等を問わず、上記の検出動作が得られるもの
である。

【００４２】さらに図１からもわかるように、それを実
現するためのレーザ発光装置２６やレーザ受光装置２７
も、被処理体であるＬＣＤ用ガラス基板が存在するロー
ドロック室２の外部に設けられているので、これらレー
ザ発光装置２６やレーザ受光装置２７自体の存在による
ＬＣＤ用ガラス基板に対しての悪影響は全くないもので
ある。またこのようにレーザ発光装置２６やレーザ受光
装置２７は、夫々ロードロック室２の外部にロードロッ
ク室２内の各種部材に対しても邪魔になることもない。

【００４３】なお上記実施例では、プラズマ処理装置に
おけるロードロック室内のガラス基板検出に使用された
が、これに限らず、半導体ウエハなど各種の被処理体の
基板検出に適用することが可能であり、しかも叙上のよ
うに検出対象である被処理体に対しては全く影響を与え
ないので、特に清浄な雰囲気内にセットされる被処理体
の検出に対して効果的な検出手段となっている。

【００４４】

【発明の効果】請求項１によれば、被処理体の所定位置
での存在の有無の検出が極めて容易に行え、しかも対象
となる被処理体の材質や表面状態に全く左右されずに安
定した検出が可能である。また検出にあたって、被処理
体に対して与える影響もない。

【００４５】請求項２によれば，上記請求項１で得られ
る効果の他に，特に直接視認できない閉鎖空間，例えば
真空室内に被処理体が存在する場合の検出に適し，この
場合に発光装置や受光装置を大気中に配置することがで
きる効果が得られるものである。またその他本発明によ
れば，上下２枚の被処理体の検出及び位置あわせが可能
であり，さらに大型の基板であっても効果的に位置ズレ
を防止できる等の効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を適用したロードロック室内の
様子を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施例を適用したプラズマ処理装置の
斜視図である。

【図３】本発明の実施例を適用したプラズマ処理装置の
平面図である。

【図４】被処理体であるＬＣＤ用ガラス基板が所定位置
にある場合の本発明の実施例の動作を示す説明図であ
る。

【図５】被処理体であるＬＣＤ用ガラス基板が所定位置
にない場合の本発明の実施例の動作を示す説明図であ
る。

【図６】被処理体であるＬＣＤ用ガラス基板が所定位置
にない場合の本発明の実施例の動作を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１プラズマ処理装置２ロードロック室６ゲートバルブ１１バッファ１２バッファ２１ポジショナー２１ａローラ２１ｂローラ２２ポジショナー２２ａローラ２２ｂローラ２３貫通孔２４ガラス窓２５ガラス窓２６レーザ発光装置２７レーザ受光装置ＰＬＣＤ用ガラス基板

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】所定位置にセットされる被処理体として
のＬＣＤ用ガラス基板の有無を検出する装置であって，
発光装置，及び当該発光装置からの検出光を受光する受
光装置，被処理体の有無により存在位置が移動しかつ被
処理体に接触して被処理体の位置合わせを行う移動体を
有し，前記移動体に前記検出光が通過可能な貫通孔を穿
設し，被処理体が所定位置に存在するときに前記検出光
が前記貫通孔を通過して前記受光装置によって受光され
る如く構成し，さらに前記移動体の移動範囲を前記検出
光の遮蔽範囲内に設定したことを特徴とする，被処理体
の検出装置。
【請求項２】適宜の閉鎖空間内の所定位置にセットさ
れる被処理体の有無を検出する装置であって，被処理体
の有無により存在位置が移動する移動体を当該閉鎖空間
内に設け，さらに当該閉鎖空間を形成する壁体の一部に
透明体を設け，発光装置，及び該発光装置からの検出光
を前記透明体を介して受光する受光装置を夫々当該閉鎖
空間外に設け，前記移動体に前記検出光が通過可能な貫
通孔を穿設し，被処理体が所定位置に存在するときに前
記検出光が前記貫通孔を通過して前記受光装置によって
受光される如く構成し，さらに前記移動体の移動範囲を
前記検出光の遮蔽範囲内に設定したことを特徴とする，
被処理体の検出装置。
【請求項３】前記閉鎖空間は，ロードロック室である
ことを特徴とする，請求項２に記載の被処理体の検出装
置。
【請求項４】前記被処理体はＬＣＤ用ガラス基板であ
ることを特徴とする，請求項２又は３に記載の被処理体
の検出装置。
【請求項５】前記移動体は，被処理体に接触して被処
理体の位置合わせを行う位置合わせ機能を有しているこ
とを特徴とする，請求項２，３又は４に記載の被処理体
の検出装置。
【請求項６】被処理体は２枚であって上下２段に位置
し，かつ移動体の全高は，これら被処理体の上下間隔よ
りも大きいものであることを特徴とする，請求項１又は
５に記載の被処理体の検出装置。
【請求項７】被処理体に接触して被処理体の位置合わ
せを行う他の位置合わせ機構を有することを特徴とす
る，請求項１，５又は６のいずれかに記載の被処理体の
検出装置。
【請求項８】前記移動体及び前記他の位置合わせ機構
は，前記被処理体の対角線方向に移動自在であることを
特徴とする，請求項７に記載の被処理体の検出装置。
【請求項９】前記検出光は，被処理体に対して発光さ
れるものではないことを特徴とする，請求項１，２，
３，４，５，６，７又は８に記載の被処理体の検出装
置。