KR102021928B1

KR102021928B1 - 게이트밸브용 개폐 감지장치

Info

Publication number: KR102021928B1
Application number: KR1020190039644A
Authority: KR
Inventors: 정종범; 서한기; 윤석준
Original assignee: (주)다스
Priority date: 2019-04-04
Filing date: 2019-04-04
Publication date: 2019-09-17

Abstract

본 발명은 게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부; 상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부; 상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1밀폐감지공; 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2밀폐감지공; 및 상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함하되, 상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되는 게이트밸브용 개폐 감지장치에 관한 것이다.

Description

게이트밸브용 개폐 감지장치{Apparatus for Sensing Closing and Opening of Gate Valve}

본 발명은 게이트밸브의 개폐를 감지하기 위한 게이트밸브용 개폐 감지장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치(LCD, Liquid Crystal Display), 유기발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 전기영동표시장치(EPD, Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치, 및 태양전지 등의 제품은 여러 가지 처리공정을 거쳐 제조된다. 예컨대, 기판에 박막을 증착하는 증착공정, 기판에 증착된 박막을 식각하는 식각공정 등과 같은 처리공정을 거쳐 제조된다.

이러한 처리공정은 진공챔버를 이용하여 진공상태에서 이루어진다. 기판은 출입구를 통해 진공챔버의 내부로 반입되고, 처리가 완료되면 출입구를 통해 진공챔버로부터 반출된다. 기판의 반입과 반출이 이루어지는 동안에는 출입구를 개방시키고, 기판에 대한 처리공정이 이루어지는 동안에는 출입구를 밀폐시키기 위해 게이트밸브(Gate Valve)가 이용된다.

도 1은 종래 기술에 따른 게이트밸브에 대한 개념도이다.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 게이트밸브(100)는 출입구(200)를 밀폐시키기 위한 밀폐부(110), 및 상기 밀폐부(110)를 이동시키는 이동부(120)를 포함한다. 상기 이동부(120)는 상기 밀폐부(110)가 상기 출입구(200)를 밀폐시키는 밀폐위치 및 상기 밀폐부(110)가 상기 출입구(200)를 개방시키는 개방위치 간에 상기 밀폐부(110)를 이동시킨다.

여기서, 종래 기술에 따른 게이트밸브(100)는 상기 이동부(120)가 상기 밀폐부(110)를 상기 출입구(200) 쪽으로 기설정된 거리만큼 이동시키면, 상기 밀폐부(110)가 상기 밀폐위치에 위치하여 상기 출입구(200)를 밀폐시킨 것으로 판단하였다. 이에 따라, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 밀폐부(110)에 기울어짐 등이 발생하여 상기 출입구(200)가 부분적으로 개방된 경우에도, 종래 기술에 따른 게이트밸브(100)는 상기 밀폐부(110)가 상기 출입구(200)를 밀폐시킨 것으로 판단하였다. 따라서, 종래 기술에 따른 게이트밸브(100)는 상기 출입구(200)가 완전히 밀폐되지 않은 상태에서 처리공정이 이루어지는 상황을 초래함에 따라 처리공정이 완료된 기판의 품질을 저하시키는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 출입구가 완전히 밀폐되지 않은 상태에서 처리공정이 이루어지는 것을 방지할 수 있는 게이트밸브용 개폐 감지장치를 제공하기 위한 것이다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치는 게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부; 상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부; 상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1밀폐감지공; 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2밀폐감지공; 및 상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함할 수 있다. 상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 상기 센서부는 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하였는지를 판단할 수 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치는 게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부; 상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부; 상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1밀폐감지공; 상기 제1밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1개방감지공; 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2밀폐감지공; 상기 제2밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2개방감지공; 및 상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하고, 상기 제1개방감지공과 상기 제2개방감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 상기 제1출입구를 개방시키는 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2출입구를 개방시키는 제2개방위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치는 게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부; 상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부; 상기 제1감지부에 결합된 밀폐반사체; 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 밀폐감지공; 및 상기 밀폐반사체와 상기 밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함할 수 있다. 상기 밀폐반사체와 상기 밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치는 게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부; 상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부; 상기 제1감지부에 결합된 개방반사체; 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 개방감지공; 및 상기 개방반사체와 상기 개방감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 개방시키는 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 개방시키는 제2개방위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함할 수 있다. 상기 개방반사체와 상기 개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치될 수 있다.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.

본 발명은 개폐부들 중에서 적어도 하나에 발생한 기울어짐 등으로 인해 출입구들 중에서 적어도 하나가 개방된 상태 및 개폐부들이 출입구들 모두를 밀폐시킨 상태를 구별할 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명은 출입구들 중에서 적어도 하나가 부분적으로라도 개방된 상태에서 기판에 대한 처리공정이 이루어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명은 처리공정이 완료된 기판의 품질을 향상시키는데 기여할 수 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 게이트밸브에 대한 개념도
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치가 적용되는 게이트밸브의 개략적인 측단면도
도 4는 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치가 설치된 게이트밸브의 개략적인 일부 사시도
도 5는 본 발명의 제1실시에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치가 설치된 게이트밸브의 일측을 나타낸 일부 평면도
도 6 및 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 5의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 8은 본 발명의 제1실시에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치가 설치된 게이트밸브의 타측을 나타낸 일부 평면도
도 9 및 도 10은 본 발명의 제1실시에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 8의 Ⅱ-Ⅱ 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 11은 게이트밸브가 제1출입구를 완전하게 밀폐시키지 못한 상태를 나타낸 개략적인 평단면도
도 12 내지 14는 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 5의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 15 내지 17은 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 8의 Ⅱ-Ⅱ 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 18 및 19는 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 5의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 20 및 21은 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 8의 Ⅱ-Ⅱ 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 22는 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 7의 A 부분을 확대하여 나타낸 개략적인 측단면도
도 23은 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치를 도 12의 B 부분을 확대하여 나타낸 개략적인 측단면도

이하에서는 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 게이트밸브(10)의 개폐 여부를 감지하는 것이다. 상기 게이트밸브(10)는 기판에 대한 처리공정을 수행하는 기판처리장치(미도시)에 설치된 것으로, 상기 기판처리장치가 갖는 챔버들(미도시) 사이에 배치된 것이다. 예컨대, 상기 게이트밸브(10)는 상기 기판처리장치가 갖는 로드락챔버(Load Lack Chamber)와 트랜스퍼챔버(Transfer Chamber) 사이에 배치될 수 있다. 상기 로드락챔버는 대기압상태와 진공상태 간에 전환되면서 상기 기판처리장치 외부에 대해 기판의 반입과 반출을 수행하는데 이용되는 것이다. 상기 트랜스퍼챔버는 상기 기판에 대해 처리공정을 수행하는 프로세스챔버(Process Chamber)에 대해 기판의 반입과 반출을 수행하는데 이용되는 것이다. 상기 게이트밸브(10)는 상기 트랜스퍼챔버와 상기 프로세스챔버의 사이에 배치될 수도 있다.

본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐감지장치(1)를 설명하기에 앞서 상기 게이트밸브(10)를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

상기 게이트밸브(10)는 하우징(11), 제1개폐부(12), 제2개폐부(13), 게이트본체(14), 및 구동부(15)를 포함할 수 있다.

상기 하우징(11)은 상기 챔버들의 사이에 배치된 것이다. 상기 하우징(11)은 상기 챔버들 중에서 어느 하나의 챔버에 연통되는 제1출입구(111), 및 나머지 하나의 챔버에 연통되는 제2출입구(112)를 포함할 수 있다. 상기 제1출입구(11)와 상기 제2출입구(112)를 통해 상기 챔버들에 대한 상기 기판의 반입과 반출이 이루어질 수 있다.

상기 제1개폐부(12)는 상기 제1출입구(111)를 개폐하는 것이다. 상기 제1개폐부(12)는 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동 가능하게 상기 게이트본체(14)에 결합될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)는 상기 제1출입구(111)를 밀폐시키는 제1밀폐위치(CP1)로 이동할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)는 상기 제1출입구(111)를 개방시키는 제1개방위치(OP1)로 이동할 수 있다.

상기 제2개폐부(13)는 상기 제2출입구(112)를 개폐하는 것이다. 상기 제2개폐부(13)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동 가능하게 상기 게이트본체(14)에 결합될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)는 상기 제2출입구(112)를 밀폐시키는 제2밀폐위치(CP2)로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제2개폐부(13)와 상기 제1개폐부(12)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 이동함으로써, 상기 제2밀폐위치(CP2)와 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)는 상기 제2출입구(112)를 개방시키는 제2개방위치(OP2)로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제2개폐부(13)와 상기 제1개폐부(12)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 이동함으로써, 상기 제2개방위치(OP2)와 상기 제1개방위치(OP1)에 위치할 수 있다.

상기 게이트본체(14)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)를 지지하는 것이다. 상기 제1개폐부(12)는 제1연결부(16)를 통해 상기 게이트본체(14)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2개폐부(13)는 제2연결부(17)를 통해 상기 게이트본체(14)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 게이트본체(14)는 상기 하우징(11)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 게이트본체(14)는 상기 하우징(11)의 내부에서 승하강할 수 있다. 상기 게이트본체(14)가 상승한 상태에서, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)와 상기 제1개방위치(OP1) 간에 이동하는 작업 및 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)와 상기 제2개방위치(OP2) 간에 이동하는 작업이 이루어질 수 있다. 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 상태에서, 상기 게이트본체(14)가 하강할 수 있다. 상기 게이트본체(14)가 하강한 상태에서, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)를 통해 상기 기판이 이동하는 작업이 이루어질 수 있다.

상기 구동부(15)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 각각을 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동시키는 것이다. 상기 구동부(15)는 공압, 유압, 전력 등을 이용하여 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)를 이동시킬 수 있다. 상기 구동부(15)는 상기 게이트본체(14)를 승하강시킬 수 있다. 상기 구동부(15)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)를 이동시키는 이동기구(미도시), 및 상기 게이트본체(14)를 승하강시키는 승하강기구(미도시)를 별도로 구비할 수도 있다.

이와 같은 게이트밸브(10)의 개폐 여부를 감지하기 위해, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 제1감지부(2), 제2감지부(3), 및 센서부(4)를 포함할 수 있다.

도 2 내지 도 5를 참고하면, 상기 제1감지부(2)는 상기 제1개폐부(12)에 결합된 것이다. 상기 제1감지부(2)는 상기 제1개폐부(12)가 이동함에 따라 함께 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1감지부(2)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제1감지부(2)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1감지부(2)는 상기 제1개폐부(12)에서 상기 제2개폐부(13)를 향하는 방향으로 상기 제1개폐부(12)로부터 돌출될 수 있다. 상기 제1감지부(2)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1출입구(111)의 개폐 여부를 판단하는데 이용될 수 있는 형태이면 원반형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 제1감지부(2)는 상기 제1개폐부(12)의 일측에 결합될 수 있다. 상기 제1개폐부(12)의 일측은 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하는 상기 제1개폐부(12)의 양측 중에서 어느 한쪽을 의미한다. 상기 제2축방향(Y축 방향) 및 상기 제1축방향(X축 방향)은 하나의 수평면 상에서 서로 수직하게 배치된 축 방향이다. 상기 제1감지부(2)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)의 일단과 상기 게이트본체(14)의 사이에 배치될 수 있다.

상기 제1감지부(2)는 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)의 상단과 상기 제1개폐부(12)의 하단 사이에 배치될 수 있다. 상기 상하방향(Z축 방향)은 상기 제1축방향(X축방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향) 각각에 대해 수직하게 배치된 축 방향이다.

상기 제1감지부(2)는 제1감지광을 차단하도록 형성될 수 있다. 상기 제1감지광은 상기 센서부(4)가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)의 개폐 여부를 판단하기 위해 방출하는 광일 수 있다. 상기 제1감지부(2)는 상기 제1감지광을 흡수함으로써, 상기 제1감지광이 통과하지 못하도록 차단할 수 있다. 상기 제1감지부(2)는 상기 제1감지광을 산란시킴으로써, 상기 제1감지광이 통과하지 못하도록 차단할 수도 있다.

상기 제1감지부(2)에는 제1밀폐감지공(21)이 형성될 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)은 상기 제1감지부(2)를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)을 통해 상기 제1감지부(2)를 통과할 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)은 상기 상하방향(Z축 방향)으로 상기 제1감지부(2)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1감지부(2)의 일단과 상기 제1감지부(2)의 타단 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)은 전체적으로 원반형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 사각판형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 2 내지 도 7을 참고하면, 상기 제2감지부(3)는 상기 제2개폐부(13)에 결합된 것이다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제2개폐부(13)가 이동함에 따라 함께 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지부(3)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제2감지부(3)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제2개폐부(13)에서 상기 제1개폐부(12)를 향하는 방향으로 상기 제2개폐부(13)로부터 돌출될 수 있다. 상기 제2감지부(3)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2출입구(112)의 개폐 여부를 판단하는데 이용될 수 있는 형태이면 원반형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 제2감지부(3)는 상기 제2개폐부(13)의 일측에 결합될 수 있다. 상기 제2개폐부(13)의 일측은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하는 상기 제2개폐부(13)의 양측 중에서 어느 한쪽을 의미한다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2개폐부(13)의 일단과 상기 게이트본체(14)의 사이에 배치될 수 있다.

상기 제2감지부(3)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2개폐부(13)의 상단과 상기 제2개폐부(13)의 하단 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2감지부(3) 및 상기 제1감지부(2)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 부분적으로 중첩되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 이동방향과 이동거리에 따라, 상기 제2감지부(3) 및 상기 제1감지부(2)가 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 부분적으로 중첩된 정도가 변경될 수 있다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제1감지부(2)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제1감지부(2)로부터 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.

상기 제2감지부(3)는 상기 제1감지광을 차단하도록 형성될 수 있다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제1감지광을 흡수함으로써, 상기 제1감지광이 통과하지 못하도록 차단할 수 있다. 상기 제2감지부(3)는 상기 제1감지광을 산란시킴으로써, 상기 감지공이 통과하지 못하도록 차단할 수도 있다.

상기 제2감지부(3)에는 제2밀폐감지공(31)이 형성될 수 있다. 상기 제2밀폐감지공(31)은 상기 제2감지부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1감지광은 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 있다. 상기 제2밀폐감지공(31)은 상기 상하방향(Z축 방향)으로 상기 제2감지부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2밀폐감지공(31)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2감지부(3)의 일단과 상기 제2감지부(3)의 타단 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2밀폐감지공(31)은 전체적으로 원반형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 사각판형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제2개폐부(13)와 상기 제1개폐부(12)가 이동함에 따라 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)가 이동하면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 위치가 변경될 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 서로 중첩되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1감지광은 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)을 통해 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)를 통과할 수 있다. 이 경우, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제2밀폐감지공(21)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치하면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1감지광은 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)을 통해 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)을 통과하지 못하도록 차단될 수 있다.

한편, 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하더라도 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하지 않으면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하더라도 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하지 않으면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하지 않음과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하지 않으면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 이와 같은 경우, 상기 제1감지광은 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)을 통해 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)을 통과하지 못하도록 차단될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하여야만, 상기 제1감지광이 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)을 통해 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)를 통과할 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 중에서 적어도 하나에 도 1에 도시된 바와 같이 기울어짐 등이 발생한 경우, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 상태임을 확인할 수 있다. 즉, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 모두가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두를 밀폐시킨 경우를 구별할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 부분적으로라도 개방된 상태에서 처리공정이 이루어지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 처리공정이 완료된 기판의 품질을 향상시키는데 기여할 수 있다.

도 2 내지 도 7을 참고하면, 상기 센서부(4)는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인하는 것이다. 상기 센서부(4)는 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)가 배치된 쪽으로 방출한 제1감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되게 배치된 경우에만, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 센서부(4)에 수광될 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제1감지광이 수광된 경우에만, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 모두가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두를 완전하게 밀폐시킨 경우를 구별할 수 있으므로, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두가 완전하게 밀폐된 상태에서 상기 처리공정이 이루어지도록 하는데 기여할 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제1감지광이 수광된 경우, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두가 완전하게 밀폐되었음을 확인하는 제1확인정보를 상기 기판처리장치에 제공할 수 있다.

상기 센서부(4)는 상기 제1감지광이 수광되지 않으면, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 센서부(4)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방되었음을 확인하는 제2확인정보를 상기 기판처리장치에 제공할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 부분적으로라도 개방된 상태에서 처리공정이 이루어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제1감지광이 수광되더라도, 기설정된 기준치 미만의 광량으로 수광되면 상기 제1감지광이 수광되지 않은 것으로 판단할 수 있다. 상기 기준치는 상기 제1감지광이 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통과하여 수광된 것으로 판단할 수 있는 최소 광량값으로, 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다.

상기 센서부(4)는 상기 게이트밸브(100)에 고정되게 결합될 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 하우징(11)에 고정되게 결합될 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 게이트밸브(100)가 갖는 다른 부품에 고정되게 결합될 수도 있다.

도 8 내지 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 제3감지부(5) 및 제4감지부(6)를 포함할 수 있다.

상기 제3감지부(5)는 상기 제1개폐부(12)에 결합된 것이다. 상기 제3감지부(5)는 상기 제1개폐부(12)가 이동함에 따라 함께 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제3감지부(5)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제3감지부(5)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 제3감지부(5)는 상기 제1개폐부(12)에서 상기 제2개폐부(13)를 향하는 방향으로 상기 제1개폐부(12)로부터 돌출될 수 있다. 상기 제3감지부(5)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1출입구(111)의 개폐 여부를 판단하는데 이용될 수 있는 형태이면 원반형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 제3감지부(5)는 상기 제1개폐부(12)의 타측에 결합될 수 있다. 상기 제1개폐부(12)의 타측은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)의 일측에 대해 반대쪽으로 의미한다. 상기 제3감지부(5)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)의 타단과 상기 게이트본체(14)의 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2축방향을 기준으로 하여 상기 게이트본체(14)는 상기 제3감지부(5)와 상기 제1감지부(2, 도 5에 도시됨)의 사이에 배치될 수 있다.

상기 제3감지부(5)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)의 상단과 상기 제1개폐부(12)의 하단 사이에 배치될 수 있다. 상기 상하방향(Z축 방향)은 상기 제1축방향(X축방향)과 상기 제2축방향(Y축 방향) 각각에 대해 수직하게 배치된 축 방향이다.

상기 제3감지부(5)는 제2감지광을 차단하도록 형성될 수 있다. 상기 제2감지광은 상기 센서부(4)가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)의 개폐 여부를 판단하기 위해 방출하는 광일 수 있다. 상기 제3감지부(5)는 상기 제2감지광을 흡수함으로써, 상기 제2감지광이 통과하지 못하도록 차단할 수 있다. 상기 제3감지부(5)는 상기 제2감지광을 산란시킴으로써, 상기 감지공이 통과하지 못하도록 차단할 수도 있다.

상기 제3감지부(5)에는 제3밀폐감지공(51)이 형성될 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)은 상기 제3감지부(5)를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)을 통해 상기 제3감지부(5)를 통과할 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)은 상기 상하방향(Z축 방향)으로 상기 제3감지부(5)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제3감지부(5)의 일단과 상기 제3감지부(5)의 타단 사이에 배치될 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)은 전체적으로 원반형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 사각판형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 8 내지 도 11을 참고하면, 상기 제4감지부(6)는 상기 제2개폐부(13)에 결합된 것이다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제2개폐부(13)가 이동함에 따라 함께 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제4감지부(6)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 이동할 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제4감지부(6)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 사이에 배치될 수 있다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제2개폐부(13)에서 상기 제1개폐부(12)를 향하는 방향으로 상기 제2개폐부(13)로부터 돌출될 수 있다. 상기 제4감지부(6)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제2출입구(112)의 개폐 여부를 판단하는데 이용될 수 있는 형태이면 원반형태 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

상기 제4감지부(6)는 상기 제2개폐부(13)의 타측에 결합될 수 있다. 상기 제2개폐부(13)의 타측은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2개폐부(13)의 일측에 대해 반대쪽을 의미한다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2개폐부(13)의 일단과 상기 게이트본체(14)의 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2축방향을 기준으로 하여 상기 게이트본체(14)는 상기 제4감지부(6)와 상기 제2감지부(3, 도 5에 도시됨)의 사이에 배치될 수 있다.

상기 제4감지부(6)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 상기 제2개폐부(13)의 상단과 상기 제2개폐부(13)의 하단 사이에 배치될 수 있다. 상기 제4감지부(6) 및 상기 제3감지부(5)는 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 부분적으로 중첩되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 이동방향과 이동거리에 따라, 상기 제4감지부(6) 및 상기 제3감지부(5)가 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 부분적으로 중첩된 정도가 변경될 수 있다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제3감지부(5)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제3감지부(5)로부터 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.

상기 제4감지부(6)는 상기 제2감지광을 차단하도록 형성될 수 있다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제2감지광을 흡수함으로써, 상기 제2감지광이 통과하지 못하도록 차단할 수 있다. 상기 제4감지부(6)는 상기 제2감지광을 산란시킴으로써, 상기 감지공이 통과하지 못하도록 차단할 수도 있다.

상기 제4감지부(6)에는 제4밀폐감지공(61)이 형성될 수 있다. 상기 제4밀폐감지공(61)은 상기 제4감지부(6)를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지광은 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제4감지부(6)를 통과할 수 있다. 상기 제4밀폐감지공(61)은 상기 상하방향(Z축 방향)으로 상기 제4감지부(6)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제4밀폐감지공(61)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제4감지부(6)의 일단과 상기 제4감지부(6)의 타단 사이에 배치될 수 있다. 상기 제4밀폐감지공(61)은 전체적으로 원반형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 사각판형 등 다른 형태로 형성될 수도 있다.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제2개폐부(13)와 상기 제1개폐부(12)가 이동함에 따라 상기 제4감지부(6)와 상기 제3감지부(5)가 이동하면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 위치가 변경될 수 있다.

도 10에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 서로 중첩되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지광은 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)을 통해 상기 제4감지부(6)와 상기 제3감지부(5)를 통과할 수 있다. 이 경우, 상기 제4밀폐감지공(61)와 상기 제2밀폐감지공(21)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치하면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지광은 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)을 통해 상기 제4감지부(6)와 상기 제3감지부(5)을 통과하지 못하도록 차단될 수 있다.

한편, 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하더라도 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하지 않으면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하더라도 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하지 않으면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하지 않음과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하지 않으면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 서로 중첩되지 않게 배치될 수 있다. 이와 같은 경우, 상기 제2감지광은 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)을 통해 상기 제4감지부(6)와 상기 제3감지부(5)을 통과하지 못하도록 차단될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하여야만, 상기 제2감지광이 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)을 통해 상기 제4감지부(6)와 상기 제3감지부(5)를 통과할 수 있도록 구현된다. 또한, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하여야만, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1감지광이 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)을 통해 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)를 통과할 수 있도록 구현된다.

이에 따라, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 도 11에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)에 기울어짐 등이 발생하여 상기 개폐부(12)의 타측만이 상기 하우징(11)으로부터 이격된 경우에도, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 상태임을 확인할 수 있도록 구현된다. 즉, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)의 일측과 타측, 상기 제2개폐부(13)의 일측과 타측 모두가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두를 완전하게 밀폐시킨 경우를 구별할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 부분적으로라도 개방된 상태에서 처리공정이 이루어지는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 처리공정이 완료된 기판의 품질을 향상시키는데 기여할 수 있다.

도 8 내지 도 10을 참고하면, 상기 센서부(4)는 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)가 배치된 쪽으로 방출한 제2감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제2감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩되게 배치된 경우에만, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과하여 상기 센서부(4)에 수광될 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제1감지광과 상기 제2감지광 모두가 수광된 경우에만, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)의 일측과 타측, 상기 제2개폐부(13)의 일측과 타측 모두가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두를 완전하게 밀폐시킨 경우를 구별할 수 있으므로, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두가 완전하게 밀폐된 상태에서 상기 처리공정이 이루어지도록 하는데 기여할 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제2감지광이 수광된 경우, 상기 제1확인정보를 상기 기판처리장치에 제공할 수 있다.

상기 센서부(4)는 상기 제1감지광과 상기 제2감지광 중에서 어느 하나만 수광되면, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 센서부(4)는 상기 제2확인정보를 상기 기판처리장치에 제공할 수 있다. 또한, 상기 센서부(4)는 상기 제1감지광과 상기 제2감지광 모두가 수광되지 않으면, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단할 수 있다.

따라서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 부분적으로라도 개방된 상태에서 처리공정이 이루어지는 것을 방지할 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제2감지광이 수광되더라도, 상기 기준치 미만의 광량으로 수광되면 상기 제2감지광이 수광되지 않은 것으로 판단할 수 있다.

여기서, 본 발명에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1감지부(2), 상기 제2감지부(3), 및 상기 센서부(4)에 따라 여러 가지 실시예를 포함할 수 있다. 이하에서는 이러한 실시예들에 대해 첨부된 도면을 참조하여 순차적으로 설명한다.

<제1실시예>

도 6 및 도 7을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 센서부(4)는 제1센서기구(41), 제1반사기구(42), 및 판단기구(43)를 포함할 수 있다.

상기 제1센서기구(41)는 상기 제1감지광을 방출하는 것이다. 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1반사기구(42)를 향해 상기 제1감지광을 방출할 수 있다. 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1반사기구(42)에 의해 반사된 제1감지광을 수광하는 기능도 갖출 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1감지광을 방출하는 발광센서 및 상기 제1감지광을 수광하는 수광센서가 일체로 구현된 것일 수 있다.

상기 제1센서기구(41)는 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 향해 상기 제1감지광을 방출할 수 있다. 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 제2감지부(3)가 상기 제1감지부(2)의 하측에 배치된 경우, 상기 제1센서기구(41)는 상기 제2감지부(3)로부터 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1감지부(2)로부터 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수도 있다. 상기 상측방향(UD 화살표 방향)과 상기 하측방향(DD 화살표 방향)은 상기 상하방향(Z축 방향)에 대해 평행하면서 서로 반대되는 방향이다. 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 각각으로부터 동일한 거리로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제1센서기구(41)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 각각으로부터 서로 다른 거리로 이격된 위치에 배치될 수도 있다.

상기 제1반사기구(42)는 상기 제1센서기구(41)에 대향(對向)되게 배치된 것이다. 상기 제1반사기구(42)는 상기 제1센서기구(41)가 방출한 제1감지광을 상기 제1센서기구(41) 쪽으로 반사시킬 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩된 경우에만, 상기 제1센서기구(41)가 방출한 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1반사기구(42)로 입사될 수 있다. 또한, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩된 경우에만, 상기 제1반사기구(42)가 반사시킨 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1센서기구(41)로 입사될 수 있다. 이 경우, 상기 제1센서기구(41)가 상기 제1감지광을 수광할 수 있다.

상기 제1반사기구(42)는 상기 제1센서기구(41)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제1반사기구(42)는 상기 제1센서기구(41)로부터 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1반사기구(42)는 상기 제1센서기구(41)로부터 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수도 있다.

상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제1반사기구(42)와 상기 제1센서기구(41)의 사이에는 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)가 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1센서기구(41)가 방출한 제1감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제1반사기구(42)와 상기 제1센서기구(41)의 사이에서 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되게 배치된 경우에만, 상기 제1센서기구(41)가 방출한 제1감지광이 상기 제1반사기구(42)에 입사된 후에 상기 제1반사기구(42)가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구(41)에 수광될 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되는지 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 판단하는 것이다. 상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 연결됨으로써, 상기 제1센서기구(41)에 제1감지광이 수광되었는지를 확인할 수 있다. 상기 판단기구(43)와 상기 제1센서기구(41)는 일체로 모듈화되어 구현될 수도 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1반사기구(42)가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구(41)에 수광되면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작한 이후에, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되는 위치에 배치될 수 있다.

다음, 상기 제1센서기구(41)가 상기 제1반사기구(42)를 향해 방출한 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 제1반사기구(42)에 입사될 수 있다.

다음, 상기 제1반사기구(42)가 반사시킨 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 제1센서기구(41)에 수광될 수 있다.

다음, 상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광된 것을 확인하고, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

이 경우, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작한 시점으로부터 기설정된 기준시간까지 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않으면, 상기 판단기구(43)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단할 수 있다. 상기 기준시간은 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에서 상기 제1밀폐위치(CP1)까지 이동하는데 걸리는 시간 및 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에서 상기 제2밀폐위치(CP2)까지 이동하는데 걸리는 시간에 관련된 것으로, 작업자에 의해 미리 설정될 수 있다. 상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않은 것으로부터 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되게 배치되지 않은 것으로 판단함으로써, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단할 수 있다. 또한, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되더라도 상기 기준치 미만의 광량으로 상기 제1감지광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않은 것으로 판단함으로써, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단할 수 있다. 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3) 중에서 적어도 하나에 의해 산란, 반사된 제1감지광이 상기 제1반사기구(41)에 의해 반사된 경우에 비해 더 낮은 광량으로 상기 제1센서기구(41)에 수광될 수 있는 경우를 고려한 것이다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1반사기구(42)가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구(41)에 수광되지 않으면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작한 이후에, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되지 않는 위치에 배치될 수 있다.

다음, 상기 제1센서기구(41)가 상기 제1반사기구(42)를 향해 방출한 제1감지광은 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하지 못하므로 상기 제1반사기구(42)에 입사될 수 없다. 이에 따라, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광될 수 없다.

다음, 상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않은 것을 확인하고, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작한 시점으로부터 상기 기준시간까지 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않으면, 상기 판단기구(43)는 제1출입구(11)와 상기 제2출입구(12) 모두가 개방된 것으로 판단할 수 있다. 또한, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되더라도 상기 기준치 미만의 광량으로 상기 제1감지광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않은 것으로 판단함으로써, 상기 제1출입구(11)와 상기 제2출입구(12) 모두가 개방된 것으로 판단할 수 있다.

도 9 및 도 10을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 센서부(4)는 제2센서기구(44), 및 제2반사기구(45)를 포함할 수 있다.

상기 제2센서기구(44)는 상기 제2감지광을 방출하는 것이다. 상기 제2센서기구(44)는 상기 제2반사기구(45)를 향해 상기 제2감지광을 방출할 수 있다. 상기 제2센서기구(44)는 상기 제2반사기구(45)에 의해 반사된 제2감지광을 수광하는 기능도 갖출 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2센서기구(44)는 상기 제2감지광을 방출하는 발광센서 및 상기 제2감지광을 수광하는 수광센서가 일체로 구현된 것일 수 있다.

상기 제2센서기구(44)는 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 향해 상기 제2감지광을 방출할 수 있다. 상기 제2센서기구(44)는 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)의 하측에 배치될 수 있다. 상기 제4감지부(6)가 상기 제3감지부(5)의 하측에 배치된 경우, 상기 제2센서기구(44)는 상기 제4감지부(6)로부터 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2센서기구(44)는 상기 제3감지부(5)로부터 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수도 있다. 상기 제2센서기구(44)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 각각으로부터 동일한 거리로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2센서기구(44)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 각각으로부터 서로 다른 거리로 이격된 위치에 배치될 수도 있다.

상기 제2반사기구(45)는 상기 제2센서기구(44)에 대향(對向)되게 배치된 것이다. 상기 제2반사기구(45)는 상기 제2센서기구(44)가 방출한 제2감지광을 상기 제2센서기구(44) 쪽으로 반사시킬 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩된 경우에만, 상기 제2센서기구(44)가 방출한 제2감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제2반사기구(45)로 입사될 수 있다. 또한, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩된 경우에만, 상기 제2반사기구(45)가 반사시킨 제2감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제2센서기구(44)로 입사될 수 있다. 이 경우, 상기 제2센서기구(44)가 상기 제2감지광을 수광할 수 있다.

상기 제2반사기구(45)는 상기 제2센서기구(44)로부터 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2반사기구(45)는 상기 제2센서기구(44)로부터 상기 상측방향(UD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2반사기구(45)는 상기 제2센서기구(44)로부터 상기 하측방향(DD 화살표 방향)으로 이격된 위치에 배치될 수도 있다.

상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제2반사기구(45)와 상기 제2센서기구(44)의 사이에는 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)가 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)는 상기 제2센서기구(44)가 방출한 제2감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제2반사기구(45)와 상기 제2센서기구(44)의 사이에서 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩되게 배치된 경우에만, 상기 제2센서기구(44)가 방출한 제2감지광이 상기 제2반사기구(45)에 입사된 후에 상기 제2반사기구(45)가 반사시킨 제2감지광이 상기 제2센서기구(44)에 수광될 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되는지 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다. 상기 판단기구(43)는 상기 제2센서기구(44)에 연결됨으로써, 상기 제2센서기구(44)에 제2감지광이 수광되었는지를 확인할 수 있다. 상기 판단기구(43)와 상기 제2센서기구(44)는 일체로 모듈화되어 구현될 수도 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1반사기구(42, 도 7에 도시됨)가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구(41, 도 7에 도시됨)에 수광됨과 아울러 상기 제2반사기구(45)가 반사시킨 제2감지광이 상기 제2센서기구(44)에 수광되면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작한 이후에, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)는 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩되는 위치에 배치될 수 있다. 이 경우, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되는 위치에 배치될 수 있다.

다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제2센서기구(44)가 상기 제2반사기구(45)를 향해 방출한 제2감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과하여 상기 제2반사기구(45)에 입사될 수 있다. 이 경우, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1센서기구(41)가 상기 제1반사기구(42)를 향해 방출한 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 제1반사기구(42)에 입사될 수 있다.

다음, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 제2반사기구(45)가 반사시킨 제2감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과하여 상기 제2센서기구(44)에 수광될 수 있다. 이 경우, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1반사기구(42)가 반사시킨 제1감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 제1센서기구(41)에 수광될 수 있다.

다음, 상기 판단기구(43)는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광된 것을 확인함과 아울러 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광된 것을 확인할 수 있다. 이에 따라, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1반사기구(42, 도 7에 도시됨)가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구(41, 도 7에 도시됨)에 수광되지 않음과 아울러 상기 제2반사기구(45)가 반사시킨 제2감지광이 상기 제2센서기구(44)에 수광되지 않으면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작한 이후에, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)는 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩되지 않는 위치에 배치될 수 있다. 이 경우, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되지 않는 위치에 배치될 수 있다.

다음, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 제2센서기구(44)가 상기 제2반사기구(45)를 향해 방출한 제2감지광은 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과하지 못하므로 상기 제2반사기구(45)에 입사될 수 없다. 이에 따라, 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광될 수 없다. 이 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제1센서기구(41)가 상기 제1반사기구(42)를 향해 방출한 제1감지광은 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과하지 못하므로 상기 제1반사기구(42)에 입사될 수 없다. 이에 따라, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광될 수 없다.

다음, 상기 판단기구(43)는 도 9에 도시된 바와 같이 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되지 않은 것을 확인하고, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않은 것을 확인할 수 있다. 이에 따라, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

<제2실시예>

도 12 내지 도 14를 참고하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(2)와 대비할 때, 개방감지공을 추가로 포함하는 점에서 차이가 있다. 이하에서는 상술한 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(2)와 대비하여 차이점이 있는 부분을 위주로 하여 설명한다.

본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 제1감지부(2), 상기 제2감지부(3), 및 상기 센서부(4)는 다음과 같이 구현될 수 있다.

상기 제1감지부(2)에는 제1개방감지공(22)이 형성될 수 있다. 상기 제1개방감지공(22)은 상기 제1밀폐감지공(21)으로부터 이격된 위치에서 상기 제1감지부(2)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1개방감지공(22)은 상기 제1밀폐감지공(21)에 비해 상기 제1개폐부(12)로부터 이격된 거리가 더 짧은 위치에 형성될 수 있다.

상기 제2감지부(3)에는 제2개방감지공(32)이 형성될 수 있다. 상기 제2개방감지공(32)은 상기 제2밀폐감지공(31)으로부터 이격된 위치에서 상기 제2감지부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2개방감지공(32)은 상기 제2밀폐감지공(31)에 비해 상기 제2개폐부(13)로부터 이격된 거리가 더 짧은 위치에 형성될 수 있다.

도 12에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치하면, 상기 제2개방감지공(32)과 상기 제1개방감지공(22)은 상기 제1센서기구(41)와 상기 제1반사기구(42)의 사이에서 서로 중첩되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1감지광은 상기 제2개방감지공(32)과 상기 제1개방감지공(22)을 통해 상기 제2감지부(3)와 상기 제1감지부(2)를 통과할 수 있다. 이 경우, 상기 제2개방감지공(32)과 상기 제1개방감지공(22)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되면 제1감지정보를 생성하고, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 않으면 제1미감지정보를 생성할 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보가 생성된 상태에서 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작함에 따라 상기 제1미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보를 생성하면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작하면, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 제1중간위치(MP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 제2중간위치(MP2)에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)은 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)도 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 못하므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)가 더 이동함에 따라 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다.

이와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하여 상기 제1감지정보가 생성된 상태에서, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보를 생성하게 되면 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보가 생성된 상태에서 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작함에 따라 상기 제1미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보를 생성하면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작하면, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1중간위치(MP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2중간위치(MP2)에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)은 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)도 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 못하므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)가 더 이동함에 따라 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다.

이와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하여 상기 제1감지정보가 생성된 상태에서, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보를 생성하게 되면 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것을 구별할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 중에서 적어도 하나가 상기 개방위치(OP1, OP2)에 위치하지 못한 상태에서 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)가 하강하게 되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13) 중에서 적어도 하나가 상기 하우징(11)에 충돌하게 되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 제3감지부(5), 상기 제4감지부(6), 및 상기 센서부(4)는 다음과 같이 구현될 수 있다.

상기 제3감지부(5)에는 제3개방감지공(52)이 형성될 수 있다. 상기 제3개방감지공(52)은 상기 제3밀폐감지공(51)으로부터 이격된 위치에서 상기 제3감지부(5)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제3개방감지공(52)은 상기 제3밀폐감지공(51)에 비해 상기 제1개폐부(12)로부터 이격된 거리가 더 짧은 위치에 형성될 수 있다.

상기 제4감지부(6)에는 제4개방감지공(62)이 형성될 수 있다. 상기 제4개방감지공(62)은 상기 제4밀폐감지공(61)으로부터 이격된 위치에서 상기 제4감지부(6)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제4개방감지공(62)은 상기 제4밀폐감지공(61)에 비해 상기 제2개폐부(13)로부터 이격된 거리가 더 짧은 위치에 형성될 수 있다.

도 15에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치하면, 상기 제4개방감지공(62)과 상기 제3개방감지공(52)은 상기 제2센서기구(44)와 상기 제2반사기구(45)의 사이에서 서로 중첩되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2감지광은 상기 제4개방감지공(62)과 상기 제3개방감지공(52)을 통해 상기 제4감지부(6)와 상기 제3감지부(5)를 통과할 수 있다. 이 경우, 상기 제4개방감지공(62)과 상기 제3개방감지공(52)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되면 제2감지정보를 생성하고, 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되지 않으면 제2미감지정보를 생성할 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보가 생성된 상태에서 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작함에 따라 상기 제1미감지정보와 상기 제2미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 15에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)을 통해 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)이 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다. 즉, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2) 쪽으로 이동을 시작하면, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1중간위치(MP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2중간위치(MP2)에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)은 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)도 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되지 못하므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제2미감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)이 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)도 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 못하므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보를 생성할 수 있다. 즉, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보와 상기 제2미감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)가 더 이동함에 따라 도 17에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다. 즉, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다.

이와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하여 상기 제2감지정보가 생성된 상태에서, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보와 상기 제2미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성하게 되면 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보가 생성된 상태에서 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작함에 따라 상기 제1미감지정보와 상기 제2미감지정보를 생성한 후에 상기 감지정보와 상기 제2감지정보를 생성하면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 도 17에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다. 즉, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1) 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2) 쪽으로 이동을 시작하면, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1중간위치(MP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2중간위치(MP2)에 위치하게 된다. 이 경우, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)은 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)도 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되지 못하므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제2미감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)도 서로 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되지 못하므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보를 생성할 수 있다. 즉, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보와 상기 제2미감지정보를 생성할 수 있다.

다음, 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)가 더 이동함에 따라 도 15에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)을 통해 상기 제2센서기구(44)에 상기 제2감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다. 이 경우, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)이 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1센서기구(41)에 상기 제1감지광이 수광되므로, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보를 생성할 수 있다. 즉, 상기 판단기구(43)는 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성할 수 있다.

이와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하여 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보가 생성된 상태에서, 상기 판단기구(43)는 상기 제1미감지정보와 상기 제2미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보와 상기 제2감지정보를 생성하게 되면 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것을 구별하는 작업의 정확성을 더 향상시킬 수 있도록 구현된다.

<제3실시예>

도 18 내지 도 21을 참고하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(2)와 대비할 때, 밀폐센서기구와 개방센서기구를 별도로 포함하는 점에서 차이가 있다. 이하에서는 상술한 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(2)와 대비하여 차이점이 있는 부분을 위주로 하여 설명한다.

본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 제1감지부(2), 상기 제2감지부(3), 및 상기 센서부(4)는 다음과 같이 구현될 수 있다.

상기 제1감지부(2)에는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제1개방감지공(22)이 형성될 수 있다. 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제1개방감지공(22)은 상기 제1축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 제1감지부(2)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1개방감지공(22)은 상기 제1밀폐감지공(21)에 비해 상기 제1개폐부(12)로부터 이격된 거리가 더 짧은 위치에 형성될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 제1밀폐감지공(21)과 상기 제1개방감지공(22)은 제1거리로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

상기 제2감지부(3)에는 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제2개방감지공(32)이 형성될 수 있다. 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제2개방감지공(32)은 상기 제1축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 제2감지부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2개방감지공(32)은 상기 제2밀폐감지공(31)에 비해 상기 제2개폐부(13)로부터 이격된 거리가 더 긴 위치에 형성될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 제2밀폐감지공(31)과 상기 제2개방감지공(32)은 상기 제1거리에 비해 더 짧은 제2거리로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

도 18에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치하면, 상기 제2개방감지공(32)과 상기 제1개방감지공(22)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2개방감지공(32)과 상기 제1개방감지공(22)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

도 19에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하면, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2밀폐감지공(31)과 상기 제1밀폐감지공(21)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

도 18 및 도 19를 참고하면, 상기 센서부(4)는 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다. 또한, 상기 센서부(4)는 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

상기 센서부(4)는 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)가 배치된 쪽으로 방출한 제1밀폐감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다. 즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1밀폐감지광의 수광 여부를 확인하는 것만으로 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)에 대한 밀폐 여부를 확인할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)와 대비할 때, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)에 대한 밀폐 여부를 확인하는 작업에 대한 용이성과 정확성을 더 향상시킬 수 있다.

상기 센서부(4)는 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)가 배치된 쪽으로 방출한 제1개방감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다. 즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개방감지광의 수광 여부를 확인하는 것만으로 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)에 대한 개방 여부를 확인할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)와 대비할 때, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)에 대한 개방 여부를 확인하는 작업에 대한 용이성과 정확성을 더 향상시킬 수 있다.

상기 센서부(4)는 제1밀폐센서(46), 및 제1개방센서(47)를 포함할 수 있다.

상기 제1밀폐센서(46)는 상기 제1밀폐감지광을 방출하는 것이다. 상기 제1밀폐센서(46)는 상기 제1반사기구(42)를 향해 상기 제1밀폐감지광을 방출할 수 있다. 상기 제1밀폐센서(46)는 상기 제1반사기구(42)에 의해 반사된 제1밀폐감지광을 수광하는 기능도 갖출 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1밀폐센서(46)는 상기 제1밀폐감지광을 방출하는 발광센서 및 상기 제1밀폐감지광을 수광하는 수광센서가 일체로 구현된 것일 수 있다.

상기 제1개방센서(47)는 상기 제1개방감지광을 방출하는 것이다. 상기 제1개방센서(47)는 상기 제1반사기구(42)를 향해 상기 제1개방감지광을 방출할 수 있다. 상기 제1개방센서(47)는 상기 제1반사기구(42)에 의해 반사된 제1개방감지광을 수광하는 기능도 갖출 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1개방센서(47)는 상기 제1개방감지광을 방출하는 발광센서 및 상기 제1개방감지광을 수광하는 수광센서가 일체로 구현된 것일 수 있다.

상기 제1개방센서(47) 및 상기 제1밀폐센서(46)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 상기 제1반사기구(42)는 상기 제1개방센서(47) 및 상기 제1밀폐센서(46) 모두에 대해 대향되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제1반사기구(42)는 상기 제1개방센서(47)와 상기 제1밀폐센서(46)가 서로 이격된 거리에 비해 더 긴 길이로 형성될 수 있다.

상기 제1반사기구(42)는 상기 제1개방감지광을 상기 제1개방센서(47) 쪽으로 반사시킬 수 있다. 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1개방감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제1개방센서(47)와 상기 제1반사기구(42)의 사이에서 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)은 상기 제1개방센서(47)와 상기 제1반사기구(42)의 사이에서 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 제1개방센서(47)가 방출한 제1개방감지광은 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1반사기구(42)에 입사될 수 있다. 그 후, 상기 제1반사기구(42)에 의해 반사된 제1개방감지광은 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1개방센서(47)에 수광될 수 있다.

상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)는 상기 제1밀폐감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제1밀폐센서(46)와 상기 제1반사기구(42)의 사이에서 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)은 상기 제1밀폐센서(46)와 상기 제1반사기구(42)의 사이에서 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 제1밀폐센서(46)가 방출한 제1밀폐감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1반사기구(42)에 입사될 수 있다. 그 후, 상기 제1반사기구(42)에 의해 반사된 제1밀폐감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1밀폐센서(46)에 수광될 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

도 19에 도시된 바와 같이, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)은 서로 중첩되게 배치되도록 구현된다. 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되면, 상기 제1밀폐감지광은 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 있으므로, 상기 제1밀폐센서(46)에 수광될 수 있다. 따라서, 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

한편, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)은 서로 중첩되지 않게 배치되도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제1개방감지광은 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 없으므로, 상기 제1개방센서(47)에 수광될 수 없다. 이와 같이 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광되지 않음과 아울러 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광된 경우, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광되더라도 상기 제1개방센서(47)에도 상기 제1개방감지광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 게이트밸브(10)에 이상이 발생한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1밀폐감지광의 수광 여부와 상기 제1개방감지광의 수광 여부를 모두 고려할 수 있으므로, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)가 완전하게 밀폐되었는지를 확인하는 작업의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

도 18에 도시된 바와 같이, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)은 서로 중첩되게 배치되도록 구현된다. 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)이 서로 중첩되면, 상기 제1개방감지광은 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)을 통해 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 있으므로, 상기 제1개방센서(47)에 수광될 수 있다. 따라서, 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다.

한편, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)은 서로 중첩되지 않게 배치되도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제1밀폐감지광은 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 없으므로, 상기 제1밀폐센서(46)에 수광될 수 없다. 이와 같이 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광되지 않음과 아울러 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광된 경우, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제1개방센서(46)에 상기 제1개방감지광이 수광되더라도 상기 제1밀폐센서(46)에도 상기 제1밀폐감지광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 게이트밸브(10)에 이상이 발생한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1밀폐감지광의 수광 여부와 상기 제1개방감지광의 수광 여부를 모두 고려할 수 있으므로, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)가 완전하게 개방되었는지를 확인하는 작업의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.

도 20 내지 도 21을 참고하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 제3감지부(5), 상기 제4감지부(6), 및 상기 센서부(4)는 다음과 같이 구현될 수 있다.

상기 제3감지부(5)에는 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제3개방감지공(52)이 형성될 수 있다. 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제3개방감지공(52)은 상기 제1축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 제3감지부(5)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제3개방감지공(52)은 상기 제3밀폐감지공(51)에 비해 상기 제1개폐부(12)로부터 이격된 거리가 더 짧은 위치에 형성될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 제3밀폐감지공(51)과 상기 제3개방감지공(52)은 상기 제1거리로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

상기 제4감지부(6)에는 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제4개방감지공(62)이 형성될 수 있다. 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제4개방감지공(62)은 상기 제1축방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 제4감지부(6)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제4개방감지공(62)은 상기 제4밀폐감지공(61)에 비해 상기 제2개폐부(13)로부터 이격된 거리가 더 긴 위치에 형성될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 제4밀폐감지공(61)과 상기 제4개방감지공(62)은 상기 제1거리에 비해 더 짧은 상기 제2거리로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

도 20에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치하면, 상기 제4개방감지공(62)과 상기 제3개방감지공(52)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제4개방감지공(62)과 상기 제3개방감지공(52)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

도 21에 도시된 바와 같이 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치함과 아울러 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치하면, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제4밀폐감지공(61)과 상기 제3밀폐감지공(51)은 상기 상하방향(Z축 방향)을 기준으로 하여 동일선 상에 배치될 수 있다.

도 20 및 도 21를 참고하면, 상기 센서부(4)는 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다. 또한, 상기 센서부(4)는 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

상기 센서부(4)는 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)가 배치된 쪽으로 방출한 제2밀폐감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다. 상기 센서부(4)는 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)가 배치된 쪽으로 방출한 제2개방감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 판단할 수 있다.

상기 센서부(4)는 제2밀폐센서(48), 및 제2개방센서(49)를 포함할 수 있다.

상기 제2밀폐센서(48)는 상기 제2밀폐감지광을 방출하는 것이다. 상기 제2밀폐센서(48)는 상기 제2반사기구(45)를 향해 상기 제2밀폐감지광을 방출할 수 있다. 상기 제2밀폐센서(48)는 상기 제2반사기구(45)에 의해 반사된 제2밀폐감지광을 수광하는 기능도 갖출 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2밀폐센서(48)는 상기 제2밀폐감지광을 방출하는 발광센서 및 상기 제2밀폐감지광을 수광하는 수광센서가 일체로 구현된 것일 수 있다.

상기 제2개방센서(49)는 상기 제2개방감지광을 방출하는 것이다. 상기 제2개방센서(49)는 상기 제2반사기구(45)를 향해 상기 제2개방감지광을 방출할 수 있다. 상기 제2개방센서(49)는 상기 제2반사기구(45)에 의해 반사된 제2개방감지광을 수광하는 기능도 갖출 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2개방센서(49)는 상기 제2개방감지광을 방출하는 발광센서 및 상기 제2개방감지광을 수광하는 수광센서가 일체로 구현된 것일 수 있다.

상기 제2개방센서(49) 및 상기 제2밀폐센서(48)는 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 상기 제2반사기구(45)는 상기 제2개방센서(49) 및 상기 제2밀폐센서(48) 모두에 대해 대향되게 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로 하여, 상기 제2반사기구(45)는 상기 제2개방센서(49)와 상기 제2밀폐센서(48)가 서로 이격된 거리에 비해 더 긴 길이로 형성될 수 있다.

상기 제2반사기구(45)는 상기 제2개방감지광을 상기 제2개방센서(49) 쪽으로 반사시킬 수 있다. 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)는 상기 제2개방감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제2개방센서(49)와 상기 제2반사기구(45)의 사이에서 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)은 상기 제2개방센서(49)와 상기 제2반사기구(45)의 사이에서 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 제2개방센서(49)가 방출한 제2개방감지광은 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)을 통해 상기 제2반사기구(45)에 입사될 수 있다. 그 후, 상기 제2반사기구(45)에 의해 반사된 제2개방감지광은 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)을 통해 상기 제2개방센서(49)에 수광될 수 있다.

상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)는 상기 제2밀폐감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제2밀폐센서(48)와 상기 제2반사기구(45)의 사이에서 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)은 상기 제2밀폐센서(48)와 상기 제2반사기구(45)의 사이에서 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 도 21에 도시된 바와 같이 상기 제2밀폐센서(48)가 방출한 제2밀폐감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제2반사기구(45)에 입사될 수 있다. 그 후, 상기 제2반사기구(45)에 의해 반사된 제2밀폐감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제2밀폐센서(48)에 수광될 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제2밀폐센서(48)에 상기 제2밀폐감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

도 21에 도시된 바와 같이, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)은 서로 중첩되게 배치되도록 구현된다. 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)이 서로 중첩되면, 상기 제2밀폐감지광은 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)을 통해 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과할 수 있으므로, 상기 제2밀폐센서(48)에 수광될 수 있다. 이 경우, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되면, 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광될 수 있다.

이와 같이 상기 제2밀폐센서(48)에 상기 제2밀폐감지광이 수광됨과 아울러 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광된 경우에만, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)의 일측과 타측, 상기 제2개폐부(13)의 일측과 타측 모두가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두를 완전하게 밀폐시킨 경우를 구별할 수 있으므로, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두가 완전하게 밀폐된 상태에서 상기 처리공정이 이루어지도록 하는데 기여할 수 있다.

한편, 도 21에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)은 서로 중첩되지 않게 배치되도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제2개방감지광은 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과할 수 없으므로, 상기 제2개방센서(49)에 수광될 수 없다. 또한, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)이 서로 중첩되지 않게 배치되므로, 상기 제1개방감지광은 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 없다. 이에 따라, 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광될 수 있다.

이와 같이 상기 제2개방센서(49)에 상기 제2개방감지광이 수광되지 않음과 아울러 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광되지 않은 조건도 만족한 경우에만, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제2밀폐센서(48)에 상기 제2밀폐감지광이 수광됨과 아울러 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광되더라도 상기 제2개방센서(49)와 상기 제1개방센서(47) 중에서 적어도 하나에 광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 게이트밸브(10)에 이상이 발생한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)가 완전하게 밀폐되었는지를 확인하는 작업의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.

상기 판단기구(43)는 상기 제2개방센서(49)에 상기 제2개방감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

도 20에 도시된 바와 같이, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)은 서로 중첩되게 배치되도록 구현된다. 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)이 서로 중첩되면, 상기 제2개방감지광은 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제4개방감지공(62)을 통해 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과할 수 있으므로, 상기 제2개방센서(49)에 수광될 수 있다. 이 경우, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제2개방감지공(32)이 서로 중첩되면, 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광될 수 있다.

이와 같이 상기 제2개방센서(49)에 상기 제2개방감지광이 수광됨과 아울러 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광된 경우에만, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1개폐부(12)의 일측과 타측, 상기 제2개폐부(13)의 일측과 타측 모두가 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두를 완전하게 개방시킨 경우를 구별할 수 있으므로, 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112) 모두가 완전하게 개방된 상태에서 상기 제1개폐부(12)와 상기 제2개폐부(13)의 하강이 이루어지도록 하는데 기여할 수 있다.

한편, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제4밀폐감지공(61)은 서로 중첩되지 않게 배치되도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제2밀폐감지광은 상기 제3감지부(5)와 상기 제4감지부(6)를 통과할 수 없으므로, 상기 제2밀폐센서(48)에 수광될 수 없다. 또한, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제2밀폐감지공(31)이 서로 중첩되지 않게 배치되므로, 상기 제1밀폐감지광은 상기 제1감지부(2)와 상기 제2감지부(3)를 통과할 수 없다. 이에 따라, 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광될 수 있다.

이와 같이 상기 제2밀폐센서(48)에 상기 제2밀폐감지광이 수광되지 않음과 아울러 상기 제1밀폐센서(46)에 상기 제1밀폐감지광이 수광되지 않은 조건도 만족한 경우에만, 상기 판단기구(43)는 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치한 것으로 판단할 수 있다. 이 경우, 상기 제2개방센서(49)에 상기 제2개방감지광이 수광됨과 아울러 상기 제1개방센서(47)에 상기 제1개방감지광이 수광되더라도 상기 제2밀폐센서(48)와 상기 제1밀폐센서(46) 중에서 적어도 하나에 광이 수광되면, 상기 판단기구(43)는 상기 게이트밸브(10)에 이상이 발생한 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 본 발명의 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1출입구(111)와 상기 제2출입구(112)가 완전하게 개방되었는지를 확인하는 작업의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.

<제4실시예>

도 2 내지 도 23을 참고하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 실시예들과 대비할 때, 상기 제1감지부(2)에 밀폐감지공을 대신하여 밀폐반사체가 결합된 점에서 차이가 있다. 이하에서는 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(2)를 상술한 실시예들과 대비하여 차이점이 있는 부분을 위주로 하여 설명한다.

본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서, 상기 제1감지부(2), 상기 제2감지부(3), 및 상기 센서부(4)는 다음과 같이 구현될 수 있다.

상기 제1감지부(2)에는 밀폐반사체(201, 도 22에 도시됨)가 결합될 수 있다. 상기 밀폐반사체(201)는 상기 센서부(4)가 방출한 감지광을 상기 센서부(4) 쪽으로 반사시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2감지부(3)에는 밀폐감지공(301, 도 22에 도시됨)이 형성될 수 있다. 상기 밀폐감지공(301)은 상기 제2감지부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하면, 상기 밀폐반사체(201)와 상기 밀폐감지공(301)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 센서부(4)가 방출한 감지광은 상기 밀폐감지공(301)을 통해 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 밀폐반사체(201)에 입사된 후에, 상기 밀폐반사체(201)에 의해 반사되어서 다시 상기 센서부(4)에 수광될 수 있다. 따라서, 상기 센서부(4)는 상기 밀폐반사체(201)와 상기 밀폐감지공(301)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

이와 같이, 상기 밀폐반사체(201)는 상술한 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제1밀폐감지공(21)과 상기 제1반사기구(42)를 대신하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인하는데 이용될 수 있다. 상기 밀폐감지공(301)은 상술한 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제2밀폐감지공(31)과 동일하게 구현될 수 있다. 상기 밀폐반사체(201) 및 상기 밀폐감지공(301)은 서로 동일한 형태 및 크기를 갖도록 형성될 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 밀폐반사체(201)는 상기 제3감지부(5)에도 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 밀폐반사체(201)는 상술한 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제3밀폐감지공(51)과 상기 제2반사기구(45)를 대신하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인하는데 이용될 수 있다. 상기 제3감지부(5)에 상기 밀폐반사체(201)가 결합된 경우, 상기 제4감지부(6)에는 상기 밀폐감지공(301)이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 밀폐감지공(301)은 상술한 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제4밀폐감지공(61)과 동일하게 구현될 수 있다.

상기 제1감지부(2)에는 개방반사체(202, 도 23에 도시됨)가 결합될 수 있다. 상기 개방반사체(202)는 상기 센서부(4)가 방출한 감지광을 상기 센서부(4) 쪽으로 반사시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2감지부(3)에는 개방감지공(302, 도 22에 도시됨)이 형성될 수 있다. 상기 개방감지공(302)은 상기 제2감지부(3)를 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하면, 상기 개방반사체(202)와 상기 개방감지공(302)은 서로 중첩되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 센서부(4)가 방출한 감지광은 상기 개방감지공(302)을 통해 상기 제2감지부(3)를 통과하여 상기 개방반사체(202)에 입사된 후에, 상기 개방반사체(202)에 의해 반사되어서 다시 상기 센서부(4)에 수광될 수 있다. 따라서, 상기 센서부(4)는 상기 개방반사체(202)와 상기 개방감지공(302)을 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

이와 같이, 상기 개방반사체(202)는 상술한 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제1개방감지공(22)과 상기 제1반사기구(42)를 대신하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인하는데 이용될 수 있다. 상기 개방감지공(302)은 상술한 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제2개방감지공(32)과 동일하게 구현될 수 있다. 상기 개방반사체(202) 및 상기 개방감지공(302)은 서로 동일한 형태 및 크기를 갖도록 형성될 수 있다.

도시되지 않았지만, 상기 개방반사체(202)는 상기 제3감지부(5)에도 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 개방반사체(202)는 상술한 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제3개방감지공(52)과 상기 제2반사기구(45)를 대신하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인하는데 이용될 수 있다. 상기 제3감지부(5)에 상기 개방반사체(202)가 결합된 경우, 상기 제4감지부(6)에는 상기 개방감지공(302)이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 개방감지공(302)은 상술한 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에 있어서 상기 제4개방감지공(62)과 동일하게 구현될 수 있다.

본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1감지부(2)에 상기 밀폐반사체(201)가 결합됨과 아울러 상기 제2감지부(3)에 상기 밀폐감지공(301)이 형성되도록 구현될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에서 설명한 바와 같이 동작하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인하고, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1감지부(2)에 상기 밀폐반사체(201)와 상기 개방반사체(202)가 결합됨과 아울러 상기 제2감지부(3)에 상기 밀폐감지공(301)과 상기 개방감지공(302)이 형성되도록 구현될 수도 있다. 이 경우, 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상술한 본 발명의 제2실시예 및 제3실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)에서 설명한 바와 같이 동작하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인하고, 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1개방위치(OP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2개방위치(OP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1감지부(2)에 상기 개방반사체(202)가 결합됨과 아울러 상기 제2감지부(3)에 상기 개방감지공(302)이 형성되도록 구현될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1감지부(2)에는 상기 개방반사체(202)로부터 이격된 위치에 상기 제1밀폐감지공(21)이 형성됨과 아울러 상기 제2감지부(3)에 상기 개방감지공(302)으로부터 이격된 위치에 상기 제2밀폐감지공(31)이 형성될 수도 있다. 이 경우, 본 발명의 제4실시예에 따른 게이트밸브용 개폐 감지장치(1)는 상기 제1밀폐감지공(21), 상기 제2밀폐감지공(31), 및 상기 제1반사기구(42)를 이용하여 상기 제1개폐부(12)가 상기 제1밀폐위치(CP1)에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부(13)가 상기 제2밀폐위치(CP2)에 위치하였는지를 확인할 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

1 : 게이트밸브용 개폐 감지장치 2 : 제1감지부
3 : 제2감지부 4 : 센서부
5 : 제3감지부 6 : 제4감지부
21 : 제1밀폐감지공 22 : 제1개방감지공
31 : 제2밀폐감지공 32 : 제2개방감지공
41 : 제1센서기구 42 : 제1반사기구
43 : 판단기구 44 : 제2센서기구
45 : 제2반사기구 46 : 제1밀폐센서
47 : 제1개방센서 48 : 제2밀폐센서
49 : 제2개방센서 51 : 제3밀폐감지공
52 : 제3개방감지공 61 : 제4밀폐감지공
62 : 제4개방감지공 10 : 게이트밸브

Claims

게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부;
상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부;
상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1밀폐감지공;
상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2밀폐감지공; 및
상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함하고,
상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되며,
상기 센서부는 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하였는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제1항에 있어서, 상기 센서부는
상기 제1감지광을 방출하는 제1센서기구;
상기 제1센서기구에 대해 대향(對向)되게 배치되고, 상기 제1센서기구가 방출한 제1감지광을 상기 제1센서기구 쪽으로 반사시키기 위한 제1반사기구; 및
상기 제1반사기구가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구에 수광되면, 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치한 것으로 판단하는 판단기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제2항에 있어서,
상기 제1감지부와 상기 제2감지부는 상기 제1센서기구가 방출한 제1감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제1센서기구와 상기 제1반사기구의 사이에서 이동하고,
상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면, 상기 제1센서기구와 상기 제1반사기구의 사이에서 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제2항에 있어서,
상기 판단기구는 상기 제1반사기구가 반사시킨 제1감지광이 상기 제1센서기구에 수광되지 않으면, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제1항에 있어서,
상기 제1밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1개방감지공, 및 상기 제2밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2개방감지공을 포함하고,
상기 센서부는 상기 제1감지광을 방출하는 제1센서기구, 및 상기 제1센서기구에 대해 대향(對向)되게 배치되어서 상기 제1센서기구가 방출한 제1감지광을 상기 제1센서기구 쪽으로 반사시키기 위한 제1반사기구를 포함하며,
상기 제1개방감지공과 상기 제2개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1출입구를 개방시키는 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2출입구를 개방시키는 제2개방위치에 위치하면, 상기 제1센서기구와 상기 제1반사기구의 사이에서 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제5항에 있어서,
상기 센서부는 상기 제1센서기구에 상기 제1감지광이 수광되면 제1감지정보를 생성하고, 상기 제1센서기구에 상기 제1감지광이 수광되지 않으면 제1미감지정보를 생성하는 판단기구를 포함하고,
상기 판단기구는 상기 제1감지정보가 생성된 상태에서 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치 쪽으로 이동을 시작함에 따라 상기 제1미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보를 생성하면, 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제5항에 있어서,
상기 센서부는 상기 제1센서기구에 상기 제1감지광이 수광되면 제1감지정보를 생성하고, 상기 제1센서기구에 상기 제1감지광이 수광되지 않으면 제1미감지정보를 생성하는 판단기구를 포함하고,
상기 판단기구는 상기 제1감지정보가 생성된 상태에서 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치 쪽으로 이동을 시작함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치 쪽으로 이동을 시작함에 따라 상기 제1미감지정보를 생성한 후에 상기 제1감지정보를 생성하면, 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제1항에 있어서,
상기 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 타측에 결합된 제3감지부;
상기 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 타측에 결합되고, 상기 제3감지부로부터 이격되어 배치된 제4감지부;
상기 제3감지부를 관통하여 형성된 제3밀폐감지공; 및
상기 제4감지부를 관통하여 형성된 제4밀폐감지공을 포함하고,
상기 센서부는 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1감지광이 수광됨과 아울러 상기 제3감지부와 상기 제4감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제2감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제8항에 있어서,
상기 센서부는 상기 제1감지광과 상기 제2감지광 중에서 어느 하나만 수광되면, 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 중에서 적어도 하나가 개방된 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부;
상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부;
상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1밀폐감지공;
상기 제1밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제1감지부를 관통하여 형성된 제1개방감지공;
상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2밀폐감지공;
상기 제2밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 제2개방감지공; 및
상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하고, 상기 제1개방감지공과 상기 제2개방감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 상기 제1출입구를 개방시키는 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2출입구를 개방시키는 제2개방위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제10항에 있어서,
상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되고,
상기 제1개방감지공과 상기 제2개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되며,
상기 센서부는 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1밀폐감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하였는지를 판단하고, 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1개방감지광의 수광 여부에 따라 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치하였는지를 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제11항에 있어서, 상기 센서부는
상기 제1밀폐감지광을 방출하는 제1밀폐센서;
상기 제1개방감지광을 방출하는 제1개방센서;
상기 제1밀폐센서와 상기 제1개방센서 각각에 대해 대향(對向)되게 배치되고, 상기 제1밀폐감지광을 상기 제1밀폐센서 쪽으로 반사시킴과 아울러 상기 제1개방감지광을 상기 제1개방센서 쪽으로 반사시키기 위한 제1반사기구; 및
상기 제1밀폐센서에 상기 제1밀폐감지광이 수광되면 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치한 것으로 판단하고, 상기 제1개방센서에 상기 제1개방감지광이 수광되면 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치한 것으로 판단하는 판단기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제12항에 있어서,
상기 제1감지부와 상기 제2감지부는 상기 제1밀폐감지광과 상기 제1개방감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제1밀폐센서와 상기 제1반사기구의 사이 및 상기 제1개방센서와 상기 제1반사기구의 사이에서 이동하고,
상기 제1밀폐감지공과 상기 제2밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면, 상기 제1밀폐센서와 상기 제1반사기구의 사이에서 서로 중첩되게 배치되며,
상기 제1개방감지공과 상기 제2개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치하면, 상기 제1개방센서와 상기 제1반사기구의 사이에서 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제10항에 있어서,
상기 제1개방감지공은 상기 제1개폐부가 이동하는 제1축방향을 기준으로 하여 상기 제1밀폐감지공으로부터 제1거리로 이격된 위치에 형성되고,
상기 제2개방감지공은 상기 제1축방향을 기준으로 하여 상기 제2밀폐감지공으로부터 상기 제1거리에 비해 더 짧은 제2거리로 이격된 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제10항에 있어서,
상기 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 타측에 결합된 제3감지부;
상기 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 타측에 결합되고, 상기 제3감지부로부터 이격되어 배치된 제4감지부;
상기 제3감지부를 관통하여 형성된 제3밀폐감지공;
상기 제3밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제3감지부를 관통하여 형성된 제3개방감지공;
상기 제4감지부를 관통하여 형성된 제4밀폐감지공; 및
상기 제4밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제4감지부를 관통하여 형성된 제4개방감지공을 포함하고,
상기 센서부는 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1밀폐감지광이 수광됨과 아울러 상기 제3감지부와 상기 제4감지부로 방출한 제2밀폐감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제15항에 있어서,
상기 센서부는 상기 제1감지부와 상기 제2감지부가 배치된 쪽으로 방출한 제1개방감지광이 수광됨과 아울러 상기 제3감지부와 상기 제4감지부로 방출한 제2개방감지광이 수광되면, 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치한 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제16항에 있어서,
상기 센서부는 상기 제2밀폐감지광을 방출하는 제2밀폐센서, 상기 제2개방감지광을 방출하는 제2개방센서, 및 상기 제2밀폐센서와 상기 제2개방센서 각각에 대해 대향(對向)되게 배치된 제2반사기구를 포함하고,
상기 제3감지부와 상기 제4감지부는 상기 제2밀폐감지광과 상기 제2개방감지광이 통과하는 것을 차단하도록 상기 제2밀폐센서와 상기 제2반사기구의 사이 및 상기 제2개방센서와 상기 제2반사기구의 사이에서 이동하고,
상기 제3밀폐감지공과 상기 제4밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면, 상기 제2밀폐센서와 상기 제2반사기구의 사이에서 서로 중첩되게 배치되며,
상기 제3개방감지공과 상기 제4개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면, 상기 제2개방센서와 상기 제2반사기구의 사이에서 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부;
상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부;
상기 제1감지부에 결합된 밀폐반사체;
상기 제2감지부를 관통하여 형성된 밀폐감지공; 및
상기 밀폐반사체와 상기 밀폐감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 밀폐시키는 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 밀폐시키는 제2밀폐위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함하고,
상기 밀폐반사체와 상기 밀폐감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1밀폐위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2밀폐위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
제18항에 있어서,
상기 밀폐반사체로부터 이격된 위치에서 상기 제1감지부에 결합된 개방반사체, 및 상기 밀폐감지공으로부터 이격된 위치에서 상기 제2감지부를 관통하여 형성된 개방감지공을 포함하고,
상기 센서부는 상기 개방반사체와 상기 개방감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 개방시키는 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 개방시키는 제2개방위치에 위치하였는지를 확인하며,
상기 개방반사체와 상기 개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.
게이트밸브(Gate Valve)의 제1개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1개폐부의 일측에 결합된 제1감지부;
상기 게이트밸브의 제2개폐부가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2개폐부의 일측에 결합되고, 상기 제1감지부로부터 이격되어 배치된 제2감지부;
상기 제1감지부에 결합된 개방반사체;
상기 제2감지부를 관통하여 형성된 개방감지공; 및
상기 개방반사체와 상기 개방감지공을 이용하여 상기 제1개폐부가 제1출입구를 개방시키는 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 제2출입구를 개방시키는 제2개방위치에 위치하였는지를 확인하는 센서부를 포함하고,
상기 개방반사체와 상기 개방감지공은 상기 제1개폐부가 상기 제1개방위치에 위치함과 아울러 상기 제2개폐부가 상기 제2개방위치에 위치하면 서로 중첩되게 배치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브용 개폐 감지장치.