JP3391584B2 - 処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、矩形の被処理基板を減
圧雰囲気下で処理する如く構成された処理装置に関する
ものである。 【０００２】 【従来の技術】従来から、例えばＬＣＤ（Liquid Cryst
al Display；液晶表示装置）用基板の製造工程において
は、減圧雰囲気下でＬＣＤ基板等にエッチングやアッシ
ングなどの処理を施すため各種の処理装置が使用されて
いる。このような処理室においては、ＬＣＤ用ガラス基
板を真空処理室内にロード、アンロードする毎に真空処
理室内を常圧に戻す必要がないように、開閉自在なゲー
トバルブを介してロードロック室と呼ばれる予備真空室
が設けられている場合が多い。そしてこのロードロック
室内には、ＬＣＤ用ガラス基板を処理室内に搬送するた
めの搬送アームを備えた搬送装置が設けられている。 【０００３】従来この種の搬送装置においては、ＬＣＤ
用ガラス基板を載置する平坦なアルミ製の載置部が、通
常搬送アームにおける最上部の第１アームに設けられて
いるが、この載置部の表面には、ＬＣＤ用ガラス基板の
裏面と接触してこれを支持するための、フッ素系の樹脂
からなる支持部材、例えばＯリングが上方に凸に設けら
れている。そして従来この支持部材は、ＬＣＤ用ガラス
基板の裏面の周辺部、例えば周縁から５mm程度内側に位
置したところの箇所を例えば４カ所や６カ所で支持する
ようになっていた。 【０００４】 【０００５】【発明が解決しようとする課題】 しかしながら， ＬＣＤ
用ガラス基板の表面処理加工の際には、減圧自在な処理
室において各種の処理ガスを導入してプラズマ処理した
り、あるいは加熱処理を実施しているが、処理回数を重
ねると、支持部材の表面に前記処理ガス成分が付着して
その摩擦係数が低減して滑りやすくなり、搬送の際に位
置ズレするおそれがある。また加熱処理によって基板の
周辺部が上方に反り返り、その結果支持部材との接触が
不十分となって、搬送中にやはり位置ズレしたり、さら
に搬送スピードをあげると載置部から落下する危険もあ
った。 【０００６】本発明は叙上の問題点に鑑みてなされたも
のであって、既述したように処理回数を重ねて支持部材
の摩擦係数が低減したり、さらには搬送スピードをあげ
ても搬送中に位置ズレを起こさせないようにして、歩留
まり、スループットを向上させることを目的とするもの
である。 【０００７】 【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１によれば、減圧自在な真空処理室と、この
真空処理室内へ矩形の被処理基板を搬送自在な搬送装置
とを有し、前記真空処理室内に搬送された被処理基板に
対して所定の処理を施す如く構成された処理装置におい
て、前記搬送装置は、被処理基板が載置される載置部を
具備した搬送アームを有し、前記載置部の表面には複数
の支持部材が設けられ、被処理基板における対向する２
つの側端面を当該対向方向に押圧自在な押圧部材を載置
部に有し，前記押圧部材は、被処理基板における対向す
る２つの側端面の対向方向に摺動するラックの摺動によ
って接近離隔自在となるように構成されると共に、前記
載置部は搬送アームにおける最上部の第１のアーム上に
設けられ、適宜の回転駆動機構によって前記載置部は第
１のアームに対して回転自在となるように構成され、前
記第１のアームと一体となったピニオンが当該回転中心
と同軸上に設けられ、前記ラックはこのピニオンと歯合
していることを特徴とする、処理装置が提供される。 【０００８】 【０００９】 【００１０】 【００１１】 【００１２】支持部材としては、Ｏリングを用いること
ができ、また前記スペーサは、ＰＥＥＫ（ポリ・エーテ
ル・エーテル・ケトン）を用いることができる。そして
真空処理室を複数設置して、いわゆるマルチプロセスチ
ャンバとし、これら各真空処理室との間で被処理基板の
搬送が可能な一の予備真空室内に、前記した各搬送装置
を設置するようにしてもよい。 【００１３】 【作用】請求項１においては、被処理基板における対向
する２つの側端面を当該対向方向に押圧自在な押圧部材
を載置部に設けてあるので、被処理基板は支持部材上で
これら押圧部材によって保持される。従って支持部材と
被処理基板との接触が不十分となったり、あるいは支持
部材表面の摩擦係数が低減しても、搬送中に被処理基板
が位置ズレしたりすることはない。しかもピニオン自体
を直接回転させるのではなく、第１アームと一体になっ
ており、載置部を第１アームに対して回転させるに伴っ
て、相対的にラックに対して回転するようになってい
る。従って、ピニオン自体を独立に回転させる機構は不
要である。 【００１４】 【００１５】 【００１６】 【００１７】 【００１８】 【００１９】 【００２０】 【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
ると、本実施例は、大型のＬＣＤ用ガラス基板（例えば
６５０mm×６５０mm）に対してプラズマ処理（エッチン
グ処理／アッシング処理）を行うための処理装置として
具体化された例であり、図１はかかる処理装置１の概
観、図２はその平面をそれぞれ示している。 【００２１】これら各図からも明らかなように、この処
理装置１には、第１ロードロック室２の側面に、３つの
プロセスチャンバ１ａ、１ｂ、１ｃが、夫々開閉自在な
ゲートバルブ３ａ、３ｂ、３ｃを介して設けられてい
る。そしてプロセスチャンバ１ａ、１ｂは夫々所定の減
圧雰囲気下で同一のエッチング処理を行い、また残りの
プロセスチャンバ１ｃは前記エッチング処理終了後のＬ
ＣＤガラス基板に対して所定の減圧雰囲気下でアッシン
グ処理を実施するように各々構成されている。 【００２２】一方、前記第１ロードロック室２の残りの
側面には、開閉自在なゲートバルブ４を介して第２ロー
ドロック室５が隣接して連結され、この第２ロードロッ
ク室５における大気側のゲートバルブ６前面側には、Ｌ
ＣＤ用ガラス基板を載置するための載置台７ａ、７ｂを
上下二段に有する大気系搬送アーム７を支持した支持台
８が配置されている。 【００２３】前記支持台８の両側には、処理対象である
ＬＣＤ用ガラス基板Ｐが多数（例えば１４枚のＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ_１〜Ｐ_１４）収納されるカセット９、１１
を支持するカセットインデクサ１０、１２とが前記支持
台８を挟んで夫々対向して配置されている。このように
２つのカセットインデクサ１０、１２を対向して配置さ
せることにより、１のカセット９を未処理基板収納用と
し、他のカセット１１を処理済み基板収納用として使用
することができ、カセット交換の回数を低減することが
できる。 【００２４】またカセットインデクサを１つだけ設置し
た場合であっても、前記大気系搬送アーム７は載置台７
ａ、７ｂを上下二段に有しているから、一度に２枚の処
理済み基板を、未処理基板を取り出したカセットに戻す
ことができ、そのような大気搬送系における搬送の作業
効率が高いものである。 【００２５】これらカセットインデクサ１０、１２は基
本的に同一構成であり、いまカセットインデクサ１０の
構成について説明すると、このカセットインデクサ１０
は、前記カセット９をその上面に着脱自在に保持するテ
ーブル（図示せず）を有し、さらに当該テーブルは、適
宜のエレベーション機構１０ａによって上下動自在とな
るように構成されている。 【００２６】かかる上下動は、例えば前記カセット９に
収納されている最上部のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、及び
最上部から２番目に収納されているＬＣＤ用ガラス基板
Ｐ₂が、夫々前記大気系搬送アーム７の各載置台７ａ、
７ｂよりも若干高い位置に位置するまでは連続的に上昇
し、この大気系搬送アーム７によるＬＣＤ用ガラス基板
Ｐの搬送が開始された後は、当該カセット９の収納ピッ
チの２倍に対応したステップ状（即ちＬＣＤ用ガラス基
板２枚分）に上昇し、収納されたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ
の処理が完了した後は、連続的に下降するように予め制
御されている。 【００２７】一方前記大気系搬送アーム７は、前記カセ
ット９又は１１と第２ロードロック室５との間でＬＣＤ
用ガラス基板Ｐを搬送するように構成されており、スペ
ーサ７ｃを挟んで前記各載置台７ａ、７ｂを上下に有
し、一度に２枚のＬＣＤ用ガラス基板Ｐを搬送すること
が可能となっている。 【００２８】また前記各載置台７ａ、７ｂの上面（載置
面）側には、パーティクル発生の少ないＰＥＥＫからな
る吸着パッドが４カ所に設けられており、搬送対象であ
るＬＣＤ用ガラス基板Ｐはこれら４カ所の吸着パッドに
よって真空吸着され、強固に保持される。従ってＬＣＤ
用ガラス基板Ｐの高速搬送が可能であり、また大気系搬
送アーム７起動時、停止時において、慣性によってＬＣ
Ｄ用ガラス基板Ｐが位置ズレすることもない。そしてこ
の大気系搬送アーム７は、前記支持台８上で回転自在か
つ載置台７ａ、７ｂの長手方向にスライド自在となるよ
うに構成され、またさらにＬＣＤ用ガラス基板Ｐのピッ
クアップやダウンを可能とする範囲で上下動自在となる
ように構成されている。 【００２９】前記の如く構成されている大気系搬送アー
ム７によって、被処理体であるＬＣＤ用ガラス基板Ｐが
まず搬入される前記第２ロードロック室５内には、図３
に示したように、対向して配置されたバッファ２１、２
２によって構成されるバッファ機構が設けられている。
これら各バッファ２１、２２は左右対称形であり、その
構成を例えばバッファ２２についていうと、このバッフ
ァ２２は夫々バッファ２１側に突出した載置部２２ａ、
２２ｂを上下に有し、これら各載置部２２ａ、２２ｂ上
に、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐの裏面側端縁が載置されるよ
うに構成されている。バッファ２１もこれと同様、バッ
ファ２２側に突出した載置部２１ａ、２１ｂを上下２段
に有しており、図３は、これら各バッファ２１、２２に
２枚のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が上下に載置され、
上側の載置部２１ａ、２２ａにＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁
が、下側の載置部２１ｂ、２２ｂにＬＣＤ用ガラス基板
Ｐ₂が夫々載置された状態を示している。 【００３０】そしてそのように各バッファ２１、２２に
載置されたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の位置合わせを
行うためのポジショナー３１、３２が、前記ＬＣＤ用ガ
ラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の対角線の延長線上にて相互に対向す
るようにして設けられている。 【００３１】これら各ポジショナー３１、３２は基本的
な構成は同一であって、まず第２ロードロック室５の大
気側搬送口５ａに近い側のポジショナー３１についてい
うと、このポジショナー３１は、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ
₁、Ｐ₂の各角部近傍に直接接して位置合わせを行うロー
ラ３１ａ、３１ｂ及びこれらローラ３１ａ、３１ｂを支
持する支持部材３１ｃによって構成され、第２ロードロ
ック室５の下方に設けられた別設のエアシリンダ（図示
せず）の駆動によって、図３における往復矢印Ａ、Ｂで
夫々示したように、上下並びに前記対角線方向に移動自
在である。 【００３２】一方第２ロードロック室５の真空側搬送口
５ｂに近い側のポジショナー３２も、直接ＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₁、Ｐ₂の各角部近傍に接して位置合わせを行う
ローラ３２ａ、３２ｂ、及びこれらローラ３２ａ、３２
ｂを支持する支持部材３２ｃによって構成され、エアシ
リンダ（図示せず）の駆動によって、図３における往復
矢印Ｃ、Ｄで夫々示したように、上下並びに前記対角線
方向に移動自在である。但し、往復矢印Ｄで示される対
角線方向の移動については、前出ポジショナー３１の移
動幅よりも小さく設定され、このポジショナー３１は固
定側のポジショナーとして機能するように構成されてい
る。 【００３３】即ち、各バッファ２１、２２にＬＣＤ用ガ
ラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が載置されると、各ポジショナー３
１、３２が夫々上昇し、上昇終了点に達すると次にこれ
ら各ポジショナー３１、３２は、前記対角線の延長線上
を夫々中心方向に向かって移動するが、このときポジシ
ョナー３２の方が先に停止し、ポジショナー３１につい
てはなおも移動して、そのローラ３１ａ、３１ｂによっ
て前記ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の各角部近傍を押圧
しつつ、これらＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂全体を、先
に停止しているポジショナー３２側へと押しやるのであ
る。これによって、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂は所定
の位置に位置合わせされることになる。 【００３４】なお前記各ローラ３１ａ、３１ｂ、ローラ
３２ａ、３２ｂの全高は、バッファ２１、２２に上下２
段に載置されるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の上下間隔
よりも大きくとってあり、一度に上下２枚のＬＣＤ用ガ
ラス基板の位置合わせを行うことが可能となるように構
成されている。 【００３５】既述のようにポジショナー３２は位置合わ
せの際の固定側ポジショナーとして機能しているが、さ
らに叙上のように往復矢印Ｄで示される対角線方向の動
きも行うように構成されているので、ＬＣＤ用ガラス基
板がバッファ２１、２２に対して比較的ずれた位置に載
置されても、これをカバーして所定位置に位置合わせす
ることが可能である。 【００３６】そして前記ポジショナー３１におけるロー
ラ３１ａの側面には、第２ロードロック室５の両側壁５
ｃ、５ｄ方向と平行な方向で貫通孔３３が穿たれ、また
それに対応して前記側壁５ｃにガラス窓３４、側壁５ｄ
にガラス窓３５が夫々気密に設けられ、さらにこのガラ
ス窓３４の外方にレーザ発光装置３６が、ガラス窓３５
の外方にレーザ受光装置３７が夫々設けられている。な
お図３においては説明の都合上、これらレーザ発光装置
３６、レーザ受光装置３７は、前記第２ロードロック室
５の両側壁５ｃ、５ｄから離されて図示されている。 【００３７】前記レーザ発光装置３６、レーザ受光装置
３７は、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐが前記各ポジショナー３
１、３２によって所定位置に位置合わせされた際に、レ
ーザ発光装置３６のレーザ光が前記ローラ３１ａの貫通
孔３３を通過してレーザ受光装置３７によって受光され
るように配置されている。 【００３８】また図３における往復矢印Ｂで示される前
記ローラ３１ａの対角線方向の移動範囲は、このローラ
３１ａ自体で、前記レーザ発光装置３６からのレーザ光
を遮蔽できる範囲となるように設定されている。もちろ
んかかる移動範囲を任意に拡大したい場合には、前記ロ
ーラ３１ａの側面外周に適宜の遮蔽部材を設ければよ
く、そのように構成することにより、ローラ３１ａ、即
ちポジショナー３１の対角線方向の移動範囲を自由に設
定することが可能である。 【００３９】以上のようにして第２ロードロック室５内
で所定位置にバッファされたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、
Ｐ₂は、図２、図４に示される第１ロードロック室２内
に設けられた真空系の搬送アーム４１によって取り出さ
れ、当該搬送アーム４１に併設されたバッファ機構４２
によって一旦そこでバッファされた後、夫々所定のプロ
セスチャンバ１ａ、１ｂ内に振り分けられて搬送するよ
うに構成されている。 【００４０】図４は前記搬送アーム４１とバッファ機構
４２の概観を示しており、同図から明らかなように、本
実施例ではこれら搬送アーム４１とバッファ機構４２
は、共にアームドライブ４３によって回転駆動される回
転台４４上に設けられている。 【００４１】前記搬送アーム４１は、前記回転台４４の
一側端近傍に設けられた昇降軸５１に対して回転自在な
第２アーム５２、この第２アーム５２に対して回転自在
な第１アーム５３、さらにこの第１アーム５３に対して
回転駆動（正転、反転）され、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐを
載置するための載置部材５４によって構成されている。 【００４２】前記載置部材５４は、図５にその詳細を示
したように、例えばステンレス鋼や表面が酸化処理され
たアルミ材、あるいはカーボンコンポジットで構成され
るプレート状の本体５５によって主たる形状が構成され
ている。そしてこの本体５５における一側、即ち前記第
１アーム５３との回転中心側には、カバー５６によって
覆われる収納凹部５７が形成されている。 【００４３】前記収納凹部５７の中心には、ピニオン５
８が、前記第１アーム５３に対して固定され、本体５５
に対しては回転自在となるように設けられている。即
ち、第１アーム５３の本体５９は、中空形状を有してお
り、この本体５９の底部にシャフト６０が立設され、当
該シャフト６０の上端部は、第１アーム５３の本体５９
の上面から突出して前記収納凹部５７内に位置してい
る。また本体５９内におけ前記シャフト６０周りには、
適宜の駆動機構によって駆動されるベルト６１によって
回転するプーリ６２が回転自在に装着され、このプーリ
６２の上端部が、前記載置部材５４の本体５５に固着さ
れている。 【００４４】従って、ベルト６１によってプーリ６２が
回転すると、前記載置部材５４が第１アーム５３に対し
て回転するのである。そして前記ピニオン５８は、前記
シャフト６０の上端部に固着されており、その結果、前
記載置部材５４が第１アーム５３に対して回転しても、
前記ピニオン５８は回転せず、第１アーム５３に対する
位置関係はそのまま維持される。 【００４５】前記収納凹部５７の長手方向両側には、そ
の内側側に形成されたギヤ歯が前記ピニオン５８外周の
ギヤ歯と歯合するラック７１、７２が長手方向側壁に沿
って摺動自在に設けられている。なお各ラック７１、７
２共、その底部には、長手方向に溝が形成されており、
収納凹部５７に設けられた突条と嵌め合わされて、円滑
な直線摺動が実現されるようになっている。 【００４６】前記載置部材５４の本体５５における長手
方向両端部外側端には、それぞれ長手方向と直角な方向
に突出する突出部５５ａ、５５ｂ、５５ｃ、５５ｄが形
成されている。さらにこの本体５５における長手方向両
端面には、ガイド凹部７３、７４、７５、７６が形成さ
れ、ガイド凹部７３とガイド凹部７５が、ガイド凹部７
４とガイド凹部７６とが各々対向している。そしてこれ
らガイド凹部７３、７４内に、押圧部材となる平面略凹
形のグリップブロック８１の突出部８１ａ、８１ｂが摺
動自在に挿入され、また対向するガイド凹部７５、７６
内にもグリップブロック８２の突出部８２ａ、８２ｂが
摺動自在に挿入されている。 【００４７】前記グリップブロック８１、８２はその基
本的構成は同一であり、例えば図５中手前側に位置する
グリップブロック８１の構成についていうと、前記突出
部８１ａ、８１ｂの両側には、例えばガイド溝が形成さ
れ、ガイド凹部７３、７４内の両側壁に形成されたガイ
ド突条と嵌め合わされることによって、このグリップブ
ロック８１は、載置部材５４の長手方向と並行な方向に
摺動自在となっている。 【００４８】また各グリップブロック８１の突出部８１
ａ、８１ｂ間の位置には、プッシュピン８１ｃ、８１ｄ
が、突出部８１ａ、８１ｂと同方向に設けられており、
このプッシュピン８１ｃ、８１ｄは、本体５５の一端面
を摺動自在に貫通して、その先端部は、前記収納凹部５
７内に位置し、前出ラック７１、７２と対向している。
さらにグリップブロック８１におけるプッシュピン８１
ｃ、８１ｄの間の中央部と前記収納凹部５７内底部に設
けた係止部５７ａとの間には、コイルスプリング８３が
掛け渡されている。従って、グリップブロック８１は、
常時、収納凹部５７方向、即ち載置部材５４の本体５５
の中央方向へと付勢されている。なお図７に示したよう
に、グリップブロック８１における押圧面８１ｅ、即ち
押圧の際に、被処理基板であるＬＣＤ用ガラス基板Ｐの
側端面と接する面については、ビーズブラスト加工処理
されて、表面摩擦係数が高められて、確実な押圧を実現
するようになっている。 【００４９】一方前記他のグリップブロック８２につい
ても、突出部８２ａ、８２ｂがガイド凹部７５、７６内
に摺動自在に挿入され、さらに前記プッシュピン８１
ｃ、８１ｄよりも長いプッシュピン８２ｃ、８２ｄが、
本体５５の他端面から摺動自在に貫通して、その先端部
は、前記収納凹部５７内に位置し、前出ラック７１、７
２と対向するようになっている。またこのグリップブロ
ック８２も、コイルスプリング８４によって、収納凹部
５７方向、即ち載置部材５４の本体５５の中央方向へと
付勢されている。もちろんこのグリップブロック８２に
おける内側面８２ｅについても、確実な押圧を実現する
ため、ビーズブラスト加工処理が施されている。 【００５０】そして前出ピニオン５８、ラック７１、７
２と、グリップブロック８１、８２の各プッシュピン８
１ｃ、８１ｄ、８２ｃ、８２ｄの関係は次のように設定
されている。即ち、まず７１、７２は、ピニオン５８を
中心として常に点対称となるように設定され、載置部材
５４の本体５５が、第１アーム５３に対して回転する
と、本体５５の収納凹部５７内を摺動自在なラック７
１、７２からみれば、第１アーム５３と一体になってい
るピニオン５８は相対的に回転していることになる。そ
して載置部材５４の本体５５の、第１アーム５３に対す
る正反転の際の最大回転角度の範囲において、ラック７
１、７２は、図８〜図１０の範囲でスライドするように
なっている。 【００５１】より具体的に説明すると、載置部材５４
が、前出プロセスチャンバ１ａ、１ｂ、１ｃ内の載置台
（図示せず）、又は前出第２ロードロック室５内のバッ
ファ２１、２２にあるときは、図８に示したように、ラ
ック７１がコイルスプリング８３の付勢に抗して、グリ
ップブロック８１のプッシュピン８１ｃ、８１ｄを最大
に外方へと押圧し、他方ラック７２が、コイルスプリン
グ８４の付勢に抗して、グリップブロック８２のプッシ
ュピン８２ｃ、８２ｄを最大に外方へと押圧し、両グリ
ップブロック８１、８２を離隔させている。このときは
被処理基板であるＬＣＤ用ガラス基板Ｐをリリースする
状態である。なおその時のグリップブロック８１の押圧
面８１ｅとＬＣＤ用ガラス基板Ｐの被押圧面との間の隙
間ｄは、本実施例においては、２mmに設定されている。 【００５２】次いで載置部材５４が、前出プロセスチャ
ンバ１ａ、１ｂ、１ｃ内の載置台（図示せず）、および
前出第２ロードロック室５内のバッファ２１、２２から
他の位置、例えば前出バッファ機構４２に移動する場合
には、載置部材５４は、第１アーム５３に対して正転し
ながら移動するようになっており、当該回転によって例
えば図９に示したように、ラック７１、７２はそれぞれ
中央部へと移動して、前記グリップブロック８１、８２
の各プッシュピン８１ｃ、８１ｄ、８２ｃ、８２ｄに対
する外方への押圧を解除する。これによって各グリップ
ブロック８１、８２は、対応するコイルスプリング８
３、８４の付勢力によって相互に接近し、その結果ＬＣ
Ｄ用ガラス基板Ｐは、グリップブロック８１、８２によ
って押圧保持される。 【００５３】そして載置部材５４が、バッファ機構４２
に達したときには、図１０に示したように、前出図８の
状態とは、ラック７１、７２が点対称の位置にある。即
ち、ラック７１がコイルスプリング８４の付勢に抗し
て、グリップブロック８２のプッシュピン８２ｃ、８２
ｄを最大に外方へと押圧し、他方ラック７２が、コイル
スプリング８３の付勢に抗して、グリップブロック８１
のプッシュピン８１ｃ、８１ｄを最大に外方へと押圧
し、両グリップブロック８１、８２を離隔させてＬＣＤ
用ガラス基板Ｐをリリースする状態となっているのであ
る。 【００５４】以上の構成にかかる載置部材５４において
は、その本体５５におけるグリップブロック８２側に、
適宜数の開口８５が形成され、重量の軽減が図られてい
る。そしてこの本体５５には、被処理基板であるＬＣＤ
用ガラス基板Ｐを直接支持するための支持部材となるＯ
リングＲが、Ｒ_１〜Ｒ_９まで合計９カ所に装着されてい
る。具体的には、本体５５の中心位置にＯリングＲ
_１が、本体５５の長手方向の距離の略１／４の長さ分、
端部から離れて位置であって、かつ短手方向両側端部周
縁にＯリングＲ_２〜Ｒ_５が、本体５５の各角部に位置す
る突出部５５ａ、５５ｂ、５５ｃ、５５ｄ上に、Ｏリン
グＲ_６〜Ｒ_９が装着されている。 【００５５】次に前出バッファ機構４２の詳細について
説明すると、このバッファ機構４２は前記回転台４４の
他側端近傍に設けらており、図４に示されるように、Ｌ
ＣＤ用ガラス基板Ｐの３つの角部近傍が載置されて保持
される３つの載置部群９１、９２、９３によって構成さ
れている。 【００５６】各載置部群９１、９２、９３はいずれも４
つの載置部による上下４段構成になっており、載置部群
９１は適宜のスペーサ９１ｓを介して上から順に等間隔
で同形同大の載置部９１ａ、９１ｂ、９１ｃ、９１ｄが
配置され、載置部群９２も適宜のスペーサ９２ｓを介し
て上から順に等間隔で同形同大の載置部９２ａ、９２
ｂ、９２ｃ、９２ｄが配置され、また載置部群９３も適
宜のスペーサ９３ｓを介して上から順に等間隔で載置部
９３ａ、９３ｂ、９３ｃ、９３ｄが配置され、これら各
載置部にＬＣＤ用ガラス基板Ｐを載置させることによ
り、最大で４枚のＬＣＤ用ガラス基板Ｐを独立して保持
させることが可能になっている。 【００５７】以上のような構成により、例えば前記搬送
アーム４１の載置部材５４によって搬送されてきたＬＣ
Ｄ用ガラス基板Ｐを前記バッファ機構４２における任意
の載置部間に載置したり、あるいは逆に任意の載置部に
載置されているＬＣＤ用ガラス基板Ｐを、前記搬送アー
ム４１の載置部材５４によって取り出し、これを所定の
場所、即ち、各プロセスチャンバ１ａ、１ｂ、１ｃ内の
所定位置、並びに前記第２ロードロック室５のバッファ
２１、２２にまで搬送することが可能となっている。 【００５８】本実施例にかかる処理装置１は以上のよう
に構成されており、その処理動作について説明すると、
まず未処理のＬＣＤ用ガラス基板Ｐを収納したカセット
９が、その出入口（オープン側）を既述の支持台８側に
向けてカセットインデクサ１０のテーブル上の所定位置
にセットされると、既述のエレベーション機構１０ａに
よって当該カセット９が上昇し、次にその最上部、並び
に最上部から２番目に収納されているＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₁、Ｐ₂の２枚のＬＣＤ用ガラス基板がまず大気系搬
送アーム７によって取り出される。 【００５９】その後大気系搬送アーム７は後退して９０
゜回転してからスライドして前進し、開放されたゲート
バルブ６から、これらＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂を第
２ロードロック室５内のバッファ２１、２２に載置す
る。この後大気系搬送アーム７が後退して退避し、ゲー
トバルブ６が閉じられて、前記第２ロードロック室２内
は所定の減圧雰囲気、例えば１０^-1Ｔｏｒｒ程度まで真
空引きされる。 【００６０】前記のように真空引きされた後、ポジショ
ナー３１、３２が上昇し、その後の対角線方向の移動に
よって、各ローラ３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂの押
圧によるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の位置合わせが実
施される。このように本実施例では、真空引きされた後
に基板の位置合わせが行われるので、真空引きした際に
発生する大気の流れにより、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、
Ｐ₂があおられて位置ズレしても、これを修正すること
が可能となっている。従って近年大型化しつつあるＬＣ
Ｄ用ガラス基板に対しても、効果的にその位置ズレ防止
を図ることができる。 【００６１】そして叙上のようにポジショナー３１、３
２によってＬＣＤ用ガラス基板Ｐ１、Ｐ２の位置合わせ
が行われた時点、即ち各ローラ３１ａ、３１ｂ、３２
ａ、３２ｂによってＬＣＤ用ガラス基板Ｐ_１、Ｐ_２が押
圧保持された時点で、レーザ発光装置３６からレーザ光
が、対向するレーザ受光装置３７に向けて発光される。
このときＬＣＤ用ガラス基板Ｐ_１、Ｐ_２が所定の位置に
正しく位置合わせされていれば、図３に示したように、
当該レーザ光はローラ３１ａの貫通孔３３を通過してレ
ーザ受光装置３７によって受光される。したがってその
ことによってＬＣＤ用ガラス基板Ｐ_１、Ｐ_２が所定位置
に位置合わせされたことが確認できる。 【００６２】しかしながら何らかの事情で前記ＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が所定位置からずれていた場合や存
在していなかった場合には、ローラ３１ａが所定位置で
停止しないためレーザ光はこのローラ３１ａによって遮
蔽される。その結果、レーザ受光装置３７は当該レーザ
光を受光できず、そのことによって、ＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₁、Ｐ₂が所定位置に存在しないことが確認できるの
である。 【００６３】このようにしてＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、
Ｐ₂に対して直接発光されないレーザ光によって、被処
理体であるＬＣＤ用ガラス基板の所定位置の有無が検出
されるので、例えばＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂の材質
が透明度の高いガラスであったりしても、その表面状態
等に左右されず、確実な検出が行われるものである。 【００６４】前記したＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が位
置合わせの確認がなされると、ゲートバルブ４が開放さ
れた後、これらＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂は搬送アー
ム４１によって第１ロードロック室２内に搬入される。
この場合図３における下側に位置するＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₂から取り出されて、当該ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂は
バッファ機構４２における最上部の載置部９１ａ、９２
ａ、９３ａ上に載置される。このように下側のＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₂から取り出されることにより、上側のＬ
ＣＤ用ガラス基板Ｐ₁の汚染が防止される。 【００６５】前記搬送アーム４１によって第２ロードロ
ック室５内にあるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂を、搬送
アーム４１上の載置部材５４によってピックアップする
とき、第１アーム５３、第２アーム５２は図２に示した
ように直線状になっており、載置部材５４におけるグリ
ップブロック８１、８２は、図８に示したように、リリ
ース状態になっている。そしてその状態でＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₂をピックアップして、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂
が載置部材５４の本体５５上に載置される。 【００６６】この場合、本体５５上には、被処理基板で
あるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂を直接支持する支持部材と
して、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂の周辺部を支持するＯリ
ングＲ₆〜Ｒ₉のみならず、その中央部を支持するＯリン
グＲ₁並びにＯリングＲ₂〜Ｒ₅が配置されているから、
ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂が大型のもの（例えば６５０mm
×６５０mm）であっても、従来と異なり、その自重によ
って中央部が撓んで本体５５表面と直接接触することは
ない。 【００６７】そしてそのようにしてＬＣＤ用ガラス基板
Ｐ₂をピックアップした後、第１アーム５３、第２アー
ム５２が回転しながら、載置部材５４も第１アーム５３
に対して正転しつつ、搬送アーム４１は、第２ロードロ
ック室５から待避する。そのとき載置部材５４が正転す
るので、それによって、ピニオン５８と歯合しているラ
ック７１、７２はスライドして、各グリップブロック８
１、８２の各プッシュピン８１ｃ、８１ｄ、８２ｃ、８
２ｄに対する外方への押圧を解除する。これによって各
グリップブロック８１、８２は、コイルスプリング８
３、８４の付勢力によって相互に接近して、ＬＣＤ用ガ
ラス基板Ｐ₂は、グリップブロック８１、８２によって
押圧保持される。 【００６８】従って、載置部材５４上に載置されている
ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂は、その対向する２つの側端面
が当該対向方向に押圧され、その結果ＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₂は保持される。なおその場合、基本的にはＬＣＤ
用ガラス基板Ｐ₂は、前記したＯリングＲ₁〜Ｒ₉との間
の摩擦力によって保持されているが、前記したように、
対向する２つの側端面がグリップブロック８１、８２に
よって押圧されるので、載置部材５４によるＬＣＤ用ガ
ラス基板Ｐ₂の保持安定性はさらに向上する。その結
果、搬送アーム４１の起動時や停止時に、ＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₂に大きな力が加わっても、ＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₂が位置ズレしたり、もちろん落下することはな
い。従って、例えば従来よりも高速で搬送アーム４１を
移動させることができ、その分スループットが向上す
る。 【００６９】そして第１ロードロック室２内に移動した
載置部材５４は、一旦バッファ機構４２におけるおける
最上部の載置部９１ａ、９２ａ、９３ａ上に、ＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₂を載置させるのであるが、その場合、載
置部材５４におけるグリップブロック８１、８２は、載
置部材５４がバッファ機構４２の載置位置に達した時点
で図１０の状態となっているので、そのまま載置部材５
４が下降することにより、ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂は載
置部９１ａ、９２ａ、９３ａ上に載置される。 【００７０】一方、第２ロードロック室５内に残ってい
たＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁も、前記と同様な手順で第１
ロードロック室２内に搬入され、その後ゲートバルブ４
が閉じられて第１ロードロック室２内は、例えば１０^-3
Ｔｏｒｒ程度まで減圧され、当該ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ
₁はプロセスチャンバ１ｂ内に搬送され、そこでエッチ
ング処理がなされる。またＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂につ
いても、プロセスチャンバ１ａ内に搬送されて、そこで
エッチング処理がなされる。これらの搬送の際も、バッ
ファ機構４２から、各プロセスチャンバ１ａ、１ｂに移
動する場合、図１０〜図８に示したようにしてグリップ
ブロック８１、８２の押圧解除−押圧−押圧解除という
手順となり、搬送中は、グリップブロック８１、８２に
よってＬＣＤ用ガラス基板Ｐの保持のサポートがなされ
ているから、高速搬送が可能となっている。 【００７１】第２ロードロック室５内にあったＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が叙上のようなプロセスに付されて
いる間、カセットインデクサ１０のエレベーション機構
１０ａによってカセット９は次のステップ分上昇し、３
番目、４番目に収納されているＬＣＤ用ガラス基板
Ｐ₃、Ｐ₄（これらＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₃、Ｐ₄は具体的
に図示していない）の２枚の未処理のＬＣＤ用ガラス基
板が、大気系搬送アーム７によって取り出されて、第２
ロードロック室５内に搬入され、位置合わせ並びにその
検出が行われて第２ロードロック室５内のバッファ２
１、２２にて待機している。 【００７２】一方最初にプロセスチャンバ１ａ内に搬入
されてエッチング処理が完了したＬＣＤ用ガラス基板Ｐ
₂は、一旦搬送アーム４１によって取り出され、最下部
の載置部９１ｄ、９２ｄ、９３ｄにて保持される。そし
てその代わりに次の未処理基板である前記ＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₄が前記プロセスチャンバ１ａ内に搬入されて
エッチング処理に付される。このようにエッチング処理
済みのＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂をバッファ機構４２にお
ける最下部に保持させることにより、未処理の前記ＬＣ
Ｄ用ガラス基板Ｐ₄の汚染が防止される。 【００７３】そして処理済みのＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂
が、プロセスチャンバ１ａからバッファ機構４２へと搬
送される際は、図８〜図１０に示したようにして、グリ
ップブロック８１、８２の押圧解除−押圧−押圧解除と
いう手順が踏まれる。この場合、処理直後で、ＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₂にたとえ熱による反り等があっても、グ
リップブロック８１、８２によってもＬＣＤ用ガラス基
板Ｐ₂の保持がなされているので、確実な保持が得ら
れ、搬送中の安全が保証される。 【００７４】その後前記エッチング処理済みのＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₂は、次の処理工程であるアッシング処理
を施すため、プロセスチャンバ１ｃ内に搬入される。次
いで残りの未処理基板であるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₃が
第１ロードロック室２内に搬入され、バッファ機構４２
における最上部の載置部９１ａ、９２ａ、９３ａ上に載
置され、空になった第２ロードロック室５内には次の処
理基板であるＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₅、Ｐ₆が搬入されて
くる。 【００７５】次にプロセスチャンバ１ｂにてエッチング
処理されたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁は、バッファ機構４
２における最下部の載置部９１ｄ、９２ｄ、９３ｄにて
保持され、代わりに次の未処理基板である前記ＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₃が前記プロセスチャンバ１ｂ内に搬入さ
れてエッチング処理に付される。 【００７６】そしてプロセスチャンバ１ｃにおいてアッ
シング処理が完了したＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂は、バッ
ファ機構５１における２番目の載置部９１ｂ、９２ｂ、
９３ｂにて保持され、その代わりに前記エッチング処理
されたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁がこのプロセスチャンバ
１ｃ内に搬送されてアッシング処理に付される。その後
アッシング処理が完了したＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁は、
バッファ機構５１における３番目の載置部９１ｃ、９２
ｃ、９３ｃにて保持される。 【００７７】このようにバッファ機構４２では、その最
上部の載置部９１ａ、９２ａ、９３ａがプロセスチャン
バ１ａ又は１ｂへと搬入する前の待機場所として機能
し、２番目の載置部９１ｂ、９２ｂ、９３ｂ、並びに３
番目の載置部９１ｃ、９２ｃ、９３ｃが、プロセスチャ
ンバ１ｃにおいてアッシング処理が完了した基板の待機
場所として機能し、最下部の載置部９１ｄ、９２ｄ、９
３ｄが、プロセスチャンバ１ａ又は１ｂにてエッチング
処理された基板のアッシング処理前の待機場所として機
能している。 【００７８】そして、その次に処理されるべき第２ロー
ドロック室５内のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₅、Ｐ₆について
は、まず下側のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₆がバッファ機構
４２の最上部の載置部９１ａ、９２ａ、９３ａに保持さ
れ、その代わりに最初にアッシング処理が完了してバッ
ファ機構４２における２番目の載置部９１ｂ、９２ｂ、
９３ｂにて保持されていたＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂が、
第２ロードロック室５内に搬入され、前記ＬＣＤ用ガラ
ス基板Ｐ₆が最上部の載置部９１ａ、９２ａ、９３ａか
らプロセスチャンバ１ａ内に搬入された後、当該空いた
載置部９１ａ、９２ａ、９３ａに第２ロードロック室５
内のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₅が載置され、またいままで
ＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₅が保持されていた第２ロードロ
ック室５内上側のバッファに、残りのアッシング処理済
みのＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁が搬送される。 【００７９】このようにして第２ロードロック室５内の
バッファの上側にＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁が位置し、下
側にＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂が位置するので、最初の搬
入時と全く同一位置関係にて処理済みのＬＣＤ用ガラス
基板Ｐ₁、Ｐ₂が保持されることになる。これら処理済み
のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂は、大気系搬送アーム７
によって第２ロードロック室５から搬出され、大気中に
あるカセット１１内に収納される。この場合、前記の如
く第２ロードロック室５内のバッファの上側にＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₁が位置し、下側にＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₂
が位置していたので、カセット１１には、上から順にＬ
ＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂ のようにシリアルナンバ
ーの順に収納されていくことになる。そして前記のよう
にしてＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁、Ｐ₂が収納された後、カ
セット１１はカセットインデクサ１２によって次のステ
ップ分（ＬＣＤ用ガラス基板２枚分）上昇して、次のＬ
ＣＤ用ガラス基板Ｐ₃、Ｐ₄の収納に備えて待機する。 【００８０】以上のようにして例えば、カセット９に収
納されていた最後の２枚のＬＣＤ用ガラス基板Ｐ₁₃、Ｐ
₁₄の第２ロードロック室５内への搬入が完了した時点
で、このカセット９を次の未処理基板を収納したカセッ
トと交換し、次いでカセット１１に処理済みのＬＣＤ用
ガラス基板Ｐ₁₃、Ｐ₁₄が収納された時点でこのカセット
１１を次の処理済み収納カセットと交換すれば、極めて
効率よくＬＣＤ用ガラス基板の処理を行うことが可能で
ある。即ち従来のカセットチャンバ方式に較べると、迅
速にカセット交換ができ、その分スループットが向上す
る。 【００８１】このように本実施例においては、被処理基
板であるＬＣＤ用ガラス基板の搬送にあたり、載置部材
５４によってこれを確実に保持することができるので、
搬送スピードをあげても搬送中の安全が保証される。従
って、前記したバッファ機構４２の作用とも相俟って、
極めて高いスループットを実現している。しかも前記実
施例においては、ピニオン５８の方を第１アーム５３に
対して固定し、ラック７１、７２を収納している載置部
材５４の本体５５の方の回転によって、ラック７１、７
２を摺動させているので、構造上、前記本体５５内が複
雑化せず、それに伴って重量も従来よりもさほど増加し
ない。 【００８２】なお前記実施例におけるグリップブロック
８１、８２は、載置部材５４の端部全部に渡る長さを有
していなかったが、載置部材５４と同一サイズでさらに
大きい押圧力を得るには、例えば図１１に示した載置部
材９１が提案できる。なお図１１中、図５で示した前記
載置部材５４の部材と同一番号で引用される部材は、同
一の部材を示している。 【００８３】この載置部材９１における本体９２は平面
略長方形の形態を有しており、その端部に設けられる、
グリップブロック９３、９４の方に本体９２の長手方向
と直角に突出する突出部９３ａ、９３ｂ、９４ａ、９４
ｂが設けられている。そして被処理基板であるＬＣＤ用
ガラス基板の周辺部を支持するＯリングＲ₆〜Ｒ₉は、本
体９２の端部に配置されている。 【００８４】またこれらグリップブロック９３、９４を
本体９２の中央方向へと付勢させるコイルスプリング９
５は、本体９２の両側に設けた段部９６、９７、９８、
９９内に設置し、この各段部９６、９７、９８、９９の
中央部側端面と、各グリップブロック９３、９４の両側
との間に掛け渡されている。なお各グリップブロック９
３、９４の押圧状態、押圧解除状態を実現するためのプ
ッシュピン９３ｃ、９３ｄおよびプッシュピン９４ｃ、
９４ｄの構成は、前出載置部材５４におけるグリップブ
ロック８１、８２のプッシュピン８１ｃ、８１ｄ、８２
ｃ、８２ｄと同一である。 【００８５】以上の構成を有する載置部材９１によって
も、前出載置部材５４と同一の作用効果が得られ、ＬＣ
Ｄ用ガラス基板は、周辺部のみならず、中央部でもＯリ
ングＲ₁〜Ｒ₅によって支持され、またグリップブロック
９３、９４の押圧によって素確実な保持が実現されてい
る。しかもこの載置部材９１の場合、グリップブロック
９３、９４の押圧面９３ｅ、９４ｅの長さが、前出載置
部材５４におけるグリップブロック８１、８２のそれよ
りも長くなっており、その分ＬＣＤ用ガラス基板の側端
面において長い範囲で押圧され、さらに安定した押圧保
持が得られている。 【００８６】なお前記実施例では、プロセスチャンバ１
ａ、１ｂがエッチング処理、プロセスチャンバ１ｃがそ
の後のアッシグ処理を実施するように構成していたが、
これに限らず、例えば全てのプロセスチャンバ１ａ、１
ｂ、１ｃがエッチング処理又はアッシグ処理を行うとい
うように、全て同一処理をように構成してもよく、ま
た、これら各プロセスチャンバ１ａ、１ｂ、１ｃにおい
て連続する異なったシリアル処理を行うように構成して
もよい。これらのように構成した場合でも、極めて高い
スループットが実現できる。もちろんプロセスチャンバ
の数を２とした構成としてもよい。 【００８７】 【発明の効果】本発明によれば、支持部材と被処理基板
との接触が不十分となったり、あるいは支持部材表面の
摩擦係数が低減しても、搬送中に被処理基板が位置ズレ
したりすることはなく、安全性がさらに向上する。しか
も搬送スピードを上げることができるので、スループッ
トの向上にも寄与する。さらにピニオンを回転させるた
めの独立した機構が不要であるから、載置部、第１アー
ムの構造を簡素、コンパクトにすることが可能であり、
また別途回転駆動系が不要であるから、その分汚染原因
の増加をもたらさない。 【００８８】 【００８９】

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施例にかかる処理装置の概略を示す
斜視図である。 【図２】本発明の実施例にかかる処理装置の概略を示す
平面図である。 【図３】図１の処理装置における第２ロードロック室内
の構成を示す斜視図である。 【図４】図１の処理装置における第１ロードロック室内
の搬送アーム及びバッファ機構の概観を示す斜視図であ
る。 【図５】図６の搬送アームにおける載置部材の概観を示
す斜視図である。 【図６】図６の搬送アームにおける載置部材と第１アー
ムとの回転関係を示す断面説明図である。 【図７】図５の載置部材におけるグリップブロックでＬ
ＣＤ用ガラス基板の端面を押圧している様子を示す断面
説明図である。 【図８】図５の載置部材が第２ロードロック室又はプロ
セスチャンバ内にあるときのグリップブロックのＬＣＤ
用ガラス基板のリリース状態を示す平面説明図である。 【図９】図５の載置部材が搬送中においてグリップブロ
ックでＬＣＤ用ガラス基板を押圧している状態を示す平
面説明図である。 【図１０】図５の載置部材が第１ロードロック室内のバ
ッファ機構に位置しているときのグリップブロックのＬ
ＣＤ用ガラス基板のリリース状態を示す平面説明図であ
る。 【図１１】載置部材の他の提案例を示す斜視図である。 【符号の説明】 １ 処理装置 １ａ、１ｂ、１ｃ プロセスチャンバ ２ 第１ロードロック室 ５ 第２ロードロック室 ９、１１ カセット ４１ 搬送アーム ５３ 第１アーム ５４ 載置部材 ５５ 本体 ５８ ピニオン ７１、７２ ラック ８１、８２ グリップブロック ８３、８４ コイルスプリング Ｒ₁〜Ｒ₉ Ｏリング Ｐ ＬＣＤ用ガラス基板

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−278862（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−247507（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−100199（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−100198（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−43807（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−29867（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−38740（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−79742（ＪＰ，Ｕ) 実開 平７−12886（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65G 49/06 - 49/07 H01L 21/68 G02F 1/13 - 1/13 102 G02F 1/13 505 G02F 1/137 - 1/137 500 B25J 15/00 - 15/12 H05K 13/00 - 13/04

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 減圧自在な真空処理室と、この真空処理
   室内へ矩形の被処理基板を搬送自在な搬送装置とを有
   し、前記真空処理室内に搬送された被処理基板に対して
   所定の処理を施す如く構成された処理装置において、 前記搬送装置は、被処理基板が載置される載置部を具備
   した搬送アームを有し、前記載置部の表面には複数の支
   持部材が設けられ、 被処理基板における対向する２つの側端面を当該対向方
   向に押圧自在な押圧部材を載置部に有し， 前記押圧部材は、被処理基板における対向する２つの側
   端面の対向方向に摺動するラックの摺動によって接近離
   隔自在となるように構成されると共に、前記載置部は搬
   送アームにおける最上部の第１のアーム上に設けられ、
   適宜の回転駆動機構によって前記載置部は第１のアーム
   に対して回転自在となるように構成され、前記第１のア
   ームと一体となったピニオンが当該回転中心と同軸上に
   設けられ、前記ラックはこのピニオンと歯合しているこ
   とを特徴とする、処理装置。