KR102233819B1 - 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법 - Google Patents

대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법 Download PDF

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Abstract

본 기재의 대상물 이송 장치는 레일 부재와, 대상물을 픽업하고, 상기 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛을 포함하는 대상물 이송 장치에 있어서, 상기 이송 유닛은, 대상물을 수용하는 내부 공간을 포함하는 몸체 부재; 상기 몸체 부재의 내부 공간에 설치되고, 상기 몸체 부재에 다방향으로 상대 이동되는 이동 부재; 상기 이동 부재에 승강 가능하도록 결합되고, 대상물을 파지하는 파지 부재; 상기 이동 부재와 상기 파지 부재 중 어느 하나에 설치되고, 상기 이동 부재와 파지 부재 사이의 거리를 측정하는 거리 측정 부재; 상기 파지 부재가 상기 이동 부재에 대해 승강될 수 있게 하는 구동 부재; 및 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지하는 제어부;를 포함한다.

Description

대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법{Object transport apparatus and object transport method}
본 발명은 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체를 제조 라인에서 대상물을 이송하는데 사용되는 대상물 이송 장치에서 사용될 수 있는 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 캐리어를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 캐리어는 대상물 이송 장치(OHT: Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 대상물 이송 장치는 상기 대상물이 수납된 상기 캐리어를 이송하여 상기 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 상기 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
종래의 대상물 이송 장치는 대상물을 픽업하기 위하여 대상물을 파지하는 부분이 지정한 위치까지 상승 또는 하강 등이 실시될 때, 동작 에러 신호가 서보팩이 동작 에러 신호를 수신할 때까지 동작되어 지정된 위치까지 이동된다. 여기서, 서보팩은 대상물 이송 장치를 전반적으로 제어하는 것일 수 있다.
승강되는 부분에 기구적인 결함 또는 외부적인 요인에 의하여 과부하가 걸리거나, 다른 문제가 발생될 수 있다. 이 경우, 서보팩에서 알람이 발생할 때까지 지연되는 시간동안, 승강되는 부분을 구동하는 모터에 의해 인가되는 과부하에 의해 일부분에서 파손이 일어나거나, 모터 혹은 서보팩의 수명이 단축될 수 있다.
한국공개특허 제2018-0002219호
본 발명의 목적은 구동 과정에서 과부하가 발생되는 것을 방지할 수 있는 대상물 이송 장치 및 대상물 이송 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 대상물 이송 장치는 레일 부재와, 대상물을 픽업하고, 상기 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛을 포함하는 대상물 이송 장치에 있어서, 상기 이송 유닛은, 대상물을 수용하는 내부 공간을 포함하는 몸체 부재; 상기 몸체 부재의 내부 공간에 설치되고, 상기 몸체 부재에 다방향으로 상대 이동되는 이동 부재; 상기 이동 부재에 승강 가능하도록 결합되고, 대상물을 파지하는 파지 부재; 상기 이동 부재와 상기 파지 부재 중 어느 하나에 설치되고, 상기 이동 부재와 파지 부재 사이의 거리를 측정하는 거리 측정 부재; 상기 파지 부재가 상기 이동 부재에 대해 승강될 수 있게 하는 구동 부재; 및 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지하는 제어부;를 포함한다.
한편, 상기 구동 부재는 상기 파지 부재의 승강에 사용되는 동력을 제공하는 회전 모터를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지한 다음, 상기 구동 부재를 역회전시킬 수 있다.
한편, 상기 제어부는 상기 구동 부재를 0.1초 내지 1초 동안 역회전시킬 수 있다.
한편, 상기 구동 부재는, 상기 회전 모터에 의해 회전되고, 상기 이동 부재의 내부에 설치되는 권취 롤러; 및 상기 권취 롤러에 권취되고, 일단이 상기 파지 부재에 결합되며, 상기 권취 롤러에 권취되거나 풀림에 따라 상기 파지 부재를 승강시키는 와이어;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 제어부는, 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리와 목표 거리의 차이가 기준치 이하인 경우, 상기 구동 부재의 동작 상태를 유지할 수 있다.
한편, 상기 거리 측정 부재는 광학식, 레이져식 및 초음파식 중 선택된 어느 하나의 방법으로 거리를 측정하는 센서일 수 있다.
한편, 상기 거리 측정 부재는 복수개이고, 상기 제어부는 상기 복수의 거리 측정 부재 각각이 측정한 거리값들의 평균값을 목표 거리값과 비교할 수 있다.
한편, 상기 이송 유닛은, 상기 제어부가 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 것으로 판단하는 경우, 알림 신호를 발생시키는 알림 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 대상물 이송 방법은 상기 파지 부재를 승강시키는 승강 단계; 상기 파지 부재와 상기 이동 부재 사이의 거리값을 측정하고, 상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이를 비교하는 거리 계산 단계; 및 상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지시키는 동작 정지 단계;를 포함한다.
한편, 상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재를 역방향으로 동작시키는 부하 저감 단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 사용자에게 알림을 실시하는 알림 단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치 이하인 경우, 상기 구동 부재를 지속적으로 동작시키는 동작 지속 단계를 포함할 수 있다.
한편, 상기 파지 부재가 목표 위치에 도착하는 경우, 상기 구동 부재를 정지시키는 동작 완료 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 거리 측정 부재와 제어부를 포함하는 이송 유닛을 포함한다. 파지 부재가 상승 또는 하강되는 상태에서, 거리 측정 부재가 이동 부재와 파지 부재 사이의 거리 정보를 실시간으로 측정하여 제어부로 전송한다. 제어부는 파지 부재가 정상적으로 이동되는지 여부를 판단한다.
제어부는 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지한다. 추가적으로, 제어부는 상기 구동 부재의 동작을 정지한 다음, 상기 구동 부재를 역회전시킬 수 있다.
종래의 대상물 이송 장치는 과부하가 발생되더라도, 이를 감지하는 서보팩에서 알람이 발생할 때까지 지연되는 시간동안, 구동 부재와 같은 동력원이나 주변 부재가 파손될 수 있다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치는 과부하가 발생되기 전에 구동 부재의 동작을 신속하게 차단한다. 이에 따라, 이물질이나 동작 오류 등에 의하여 구동 부재에 가해지는 부하를 감소시킬 수 있다. 그러므로, 대상물 이송 장치가 부하에 의하여 파손되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치를 도시한 도면이다.
도 2는, 도 1의 대상물 이송 장치에서 파지 부재가 이동 부재에 대해 하강된 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 거리 측정 부재가 복수개인 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 파지 부재의 시간에 따른 실제 측정된 거리값과 목표 거리값 각각의 속도 변화를 도시한 그래프이다.
도 5는 파지 부재의 시간에 따른 실제 측정된 거리값과 목표 거리값 각각의 위치 변화를 도시한 그래프이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법을 도시한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우 뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 내지 도 4을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 레일 부재(110)와, 이송 유닛(120)을 포함한다.
레일 부재(110)는 반도체 제조 라인의 천장에 설치되거나, 천장에 결합된 프레임에 설치될 수 있다. 레일 부재(110)는 일례로 두 개의 레일이 서로 일정 거리 이격되게 배치된 것일 수 있다. 이러한 레일 부재(110)는 직선 및 곡선 등 다양한 형상으로 구성되어 천장(E)의 다양한 영역에 배치될 수 있다.
이송 유닛(120)은 대상물을 픽업하고, 상기 레일 부재(110)를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송한다. 이송 유닛(120)은 레일 부재(110)로부터 전원을 공급받을 수 있다. 이와 다르게, 이송 유닛(120)은 충전식 배터리를 포함할 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.
상기 이송 유닛(120)은 일례로, 몸체 부재(121), 이동 부재(122), 파지 부재(123), 거리 측정 부재(124), 구동 부재(125) 및 제어부(128)를 포함한다.
몸체 부재(121)는 대상물을 수용하는 내부 공간을 포함한다. 몸체 부재(121)는 레일 부재(110)에 상대 이동 가능하도록 결합될 수 있다.
몸체 부재(121)의 상측에는 이송 유닛(120)이 레일 부재(110)를 따라 이동될 수 있게 하는, 전방 주행 유닛(F), 후방 주행 유닛(R) 및 구동 휠(W)을 포함할 수 있다. 이러한 몸체 부재(121)가 전방 주행 유닛(F)과 후방 주행 유닛(R)의 동작에 의하여 레일 부재(110)를 따라 이동되는 것은 일반적인 대상물 이송 장치에 기술된 내용이므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이동 부재(122)는 상기 몸체 부재(121)의 내부 공간에 설치되고, 상기 몸체 부재(121)에 다방향으로 상대 이동된다. 이동 부재(122)는 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 이동 부재(122)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 몸체 부재(121)에 대해 좌우 방향으로 이동될 수 있다.
파지 부재(123)는 상기 이동 부재(122)에 승강 가능하도록 결합되고, 대상물을 파지한다. 파지 부재(123)는 대상물을 픽업할 수 있다. 파지 부재(123)는 모터, 실린더 등을 이용하여 몸체 부재(121)에 대해 상하 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 파지 부재(123)는 몸체 부재(121)에 대해 상하 방향 및 좌우 방향으로 이동시킬 수 있다.
이송 유닛(120)이 대상물에 인접하게 위치되면, 파지 부재(123)가 동작되면서 대상물과 탈착될 수 있다. 파지 부재(123)와 몸체 부재(121)는 일반적인 대상물 이송 장치(100)에 포함된 것일 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이와 같은 대상물 이송 장치(100)는 대상물을 다양한 위치로 이송할 수 있다. 한편, 이송 유닛(120)에 의해 이송되는 대상물은 웨이퍼 캐리어(FOUP)일 수 있다. 웨이퍼 캐리어는 복수의 웨이퍼를 수납할 수 있다. 복수의 웨이퍼가 상하방향으로 나란하게 적층되어 웨이퍼 캐리어의 내부에 수납될 수 있다.
거리 측정 부재(124)는 상기 이동 부재(122)와 상기 파지 부재(123) 중 어느 하나에 설치되고, 상기 이동 부재(122)와 파지 부재(123) 사이의 거리를 측정한다. 상기 거리 측정 부재(124)는 광학식, 레이져식 및 초음파식 중 선택된 어느 하나의 방법으로 거리를 측정할 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다.
이러한 거리 측정 부재(124)가 이동 부재(122)에 설치되는 경우, 거리 측정 부재(124)는 이동 부재(122)의 하면에 상기 파지 부재(123)를 향하도록 설치될 수 있다. 이와 반대로, 이러한 거리 측정 부재(124)가 파지 부재(123)에 설치되는 경우, 거리 측정 부재(124)는 파지 부재(123)의 상면에 상기 이동 부재(122)를 향하도록 설치될 수 있다.
구동 부재(125)는 상기 파지 부재(123)가 상기 이동 부재(122)에 대해 승강될 수 있게 한다.
상기 구동 부재(125)는 일례로, 권취 롤러(126)와 와이어(127)를 포함할 수 있다.
권취 롤러(126)는 상기 회전 모터(129)에 의해 회전되고, 상기 이동 부재(122)의 내부에 설치된다.
와이어(127)는 상기 권취 롤러(126)에 권취되고, 일단이 상기 파지 부재(123)에 결합되며, 상기 권취 롤러(126)에 권취되거나 풀림에 따라 상기 파지 부재(123)를 승강시킬 수 있다.
제어부(128)는 상기 거리 측정 부재(124)에서 획득된 거리값(L)과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재(125)의 동작을 정지한다. 제어부(128)는 전술한 거리 측정 부재(124)와 전기적으로 연결될 수 있다.
파지 부재(123)가 상승 또는 하강되는 상태에서, 거리 측정 부재(124)가 이동 부재(122)와 파지 부재(123) 사이의 거리 정보를 실시간으로 측정하여 제어부(128)로 전송한다. 제어부(128)는 파지 부재(123)가 정상적으로 이동되는지 여부를 판단한다. 더욱 상세하게 설명하면, 제어부(128)는 파지 부재(123)가 있어야할 위치와 파지 부재(123)의 현재 위치와의 차이가 기준치를 초과하면, 구동 부재(125)의 동작을 정지시킨다.
여기서, 기준치는 일례로 대략 1센치미터 정도일 수 있다. 획득된 거리값(L)과 목표 거리값(P)의 차이가 1센치미터를 초과하는 값으로 설정되는 경우, 구동 부재(125)에 과부하가 강하게 걸려서 구동 부재(125) 또는 주변 장치들이 파손될 수 있다. 이와 다르게, 기준치가 대략 1센치미터 이하인 경우, 구동 부재(125)에 과부하가 강하게 걸리기 전에 제어부(128)가 동작될 수 있다.
한편, 상기 구동 부재(125)는 상기 파지 부재(123)의 승강에 사용되는 동력을 제공하는 회전 모터(129)를 포함할 수 있다. 회전 모터(129)는 권취 롤러(126)를 회전시킬 수 있다.
전술한 상기 제어부(128)는 상기 거리 측정 부재(124)에서 획득된 거리값(L)과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재(125)의 동작을 정지한 다음, 상기 구동 부재(125)를 역회전시킬 수 있다. 이때, 상기 제어부(128)는 상기 구동 부재(125)를 0.1초 내지 1초 동안 역회전시킬 수 있다. 이와 같이 제어부(128)가 구동 부재(125)를 역회전시킴에 따라, 파지 부재(123)의 이동 과정에서 발생된 과부하를 제거할 수 있다.
한편, 상기 제어부(128)는 상기 거리 측정 부재(124)에서 획득된 거리와 목표 거리의 차이가 기준치 이하인 경우, 상기 구동 부재(125)의 동작 상태를 유지할 수 있다. 이에 따라, 파지 부재(123)가 목표로 하는 위치까지 계속 상승 또는 하강될 수 있다. 이후 파지 부재(123)가 목표 위치에 도착하면, 구동 부재(125)의 구동이 정지될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 거리 측정 부재(124)는 복수개일 수 있다. 이때, 상기 제어부(128)는 상기 복수의 거리 측정 부재(124) 각각이 측정한 거리값들의 평균값을 목표 거리값(P)과 비교할 수 있다. 복수의 거리 측정 부재(124)를 사용하는 경우는 하나의 거리 측정 부재(124)를 사용하는 경우와 비교하여 거리 측정 오차를 보정하여 동작 오류 발생 가능성을 최소화할 수 있다.
한편, 상기 이송 유닛(120)은 알림 부재(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 제어부(128)가 상기 거리 측정 부재(124)에서 획득된 거리값(L)과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 것으로 판단하면, 알림 부재는 알림 신호를 발생시킬 수 있다. 알림 부재가 설치되는 위치는 일례로 몸체 부재(121)의 외면일 수 있다.
알림 부재는 일례로 빛을 점멸하는 LED 장치이거나, 비프음을 발생시키는 스피커일 수 있으나, 이에 한정하지는 않으며, 사용자에게 알림을 전달할 수 있는 것이면 어느 것이든 무방할 수 있다. 사용자는 알림 부재에서 발생되는 빛 또는 소리를 듣고, 파지 부재(123)의 승강에 문제가 발생되었음을 신속하게 확인할 수 있다.
이하에서는 전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)를 사용하는 경우, 대상물 이송 장치(100)의 파지 부재(123)의 실제 측정된 거리값과 목표 거리값(P) 및 실제 측정된 속도와 목표 속도를 설명하기로 한다.
도 4 및 도 5에서 P1은 파지 부재의 이동에서 기구적인 걸림과 같은 문제가 발생되어 제어부와 거리 측정 부재가 동작되었을 때의 속도값 및 거리(위치)값이다. P2는 파지 부재의 목표 속도값 및 목표 거리(위치)값이다.
도 4를 참조하면, 대상물 이송 장치의 동작이 시작되고, P1과 P2값을 확인해보면, 11초부터 파지 부재의 속도가 증가하였다. 21초에서 대상물 이송 장치의 파지 부재의 실제 측정된 거리값과 목표 거리값(P)이 기준치보다 크게 발생되었다. 이때의 P1값을 참조하면, 파지 부재는 기구적인 걸림에 의하여 21초부터 속도가 급격하게 감소되고, 제어부가 구동 부재의 동작을 정지시키면서 일정 시간동안 속도가 0이 된다. 이후, 제어부가 구동 부재를 역방향으로 회전시키면서 파지 부재는 이동되었던 방향의 반대 방향으로 일정 시간동안 이동된다.
도 5는 대상물 이송 장치의 동작이 시작되고, P1과 P2값을 확인해보면, 11초부터 파지 부재가 이동되기 시작하였다. 전술한 바와 같이, 21초에서 대상물 이송 장치의 파지 부재의 실제 측정된 거리값과 목표 거리값(P)이 기준치보다 크게 발생되었다. 이때, P1값을 참조하면, 파지 부재는 기구적인 걸림에 의하여 21초부터 속도가 급격하게 감소되면서 거의 이동되지 않고, 제어부가 구동 부재의 동작을 정지시키면서 파지 부재의 이동이 24초까지 정지될 수 있다. 이후, 제어부가 구동 부재를 역방향으로 회전시키면서 파지 부재는 이동되었던 방향의 반대 방향으로 일정 시간동안 이동됨으로써, 파지 부재의 이동거리가 감소될 수 있다.
도 2로 되돌아가서, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 거리 측정 부재(124)와 제어부(128)를 포함하는 이송 유닛(120)을 포함한다. 파지 부재(123)가 상승 또는 하강되는 상태에서, 거리 측정 부재(124)가 이동 부재(122)와 파지 부재(123) 사이의 거리 정보를 측정하여 제어부(128)로 실시간으로 전송한다. 제어부(128)는 파지 부재(123)가 정상적으로 이동되는지 여부를 판단한다.
제어부(128)는 상기 거리 측정 부재(124)에서 획득된 거리값(L)과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재(125)의 동작을 정지한다. 추가적으로, 제어부(128)는 상기 구동 부재(125)의 동작을 정지한 다음, 상기 구동 부재(125)를 역회전시킬 수 있다.
종래의 대상물 이송 장치는 과부하가 발생되더라도, 이를 감지하는 서보팩에서 알람이 발생할 때까지 지연되는 시간동안, 구동 부재와 같은 동력원이나 주변 부재가 파손될 수 있다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)는 과부하가 발생되기 전에 구동 부재(125)의 동작을 신속하게 차단한다. 이에 따라, 이물질이나 동작 오류 등에 의하여 구동 부재(125)에 가해지는 부하를 감소시킬 수 있다. 그러므로, 대상물 이송 장치(100)가 부하에 의하여 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 장치(100)를 사용하여 대상물을 이송하는 대상물 이송 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법(S100)은 승강 단계(S110), 거리 계산 단계(S120) 및 동작 정지 단계(S160)를 포함한다.
승강 단계(S110)는 상기 파지 부재를 승강시킨다. 파지 부재는 구동 부재에 의하여 하강 또는 상승될 수 있다.
거리 계산 단계(S120)는 상기 파지 부재와 상기 이동 부재 사이의 거리값을 측정하고, 상기 측정된 거리값과 목표 거리값(P)의 차이를 비교한다. 상기 파지 부재와 상기 이동 부재 사이의 거리값은 거리 측정 부재에 의해 측정될 수 있다. 이러한 거리 계산 단계(S120)는 파지 부재가 승강되는 과정에서 실시간으로 실시될 수 있다.
동작 정지 단계(S160)는 상기 측정된 거리값과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지시킨다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법(S100)은 부하 저감 단계(S170)를 더 포함할 수 있다.
부하 저감 단계(S170)는 상기 측정된 거리값과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재를 역방향으로 동작시키는 과정일 수 있다. 전술한 바와 같이 구동 부재는 회전 모터일 수 있고, 부하 저감 단계(S170)에서는 모터를 일정 시간동안 역회전시킬 수 있다.
이에 따라, 파지 부재의 이동 과정에서 발생된 과부하를 제거할 수 있다. 부하 저감 단계(S170)는 동작 정지 단계(S160) 이후에 실시될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법(S100)은 알림 단계(S180)를 더 포함할 수 있다.
알림 단계(S180)는 상기 측정된 거리값과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 사용자에게 알림을 실시할 수 있다. 알림 단계(S180)에서는 전술한 바와 같이 알림 부재를 사용하여 사용자에게 빛을 점멸하거나, 비프음을 출력할 수 있다. 알림 단계(S180)는 부하 저감 단계(S170) 이후에 실시될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법(S100)은 동작 지속 단계(S130)를 포함할 수 있다. 동작 지속 단계(S130)는 상기 측정된 거리값과 목표 거리값(P)의 차이가 기준치 이하인 경우, 상기 구동 부재를 지속적으로 동작시키는 과정일 수 있다. 이에 따라, 파지 부재가 목표로 하는 위치를 향하여 계속 승강될 수 있다.
그리고, 본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법(S100)은 동작 완료 단계(S150)를 포함할 수 있다. 동작 완료 단계(S150)는 상기 파지 부재가 목표 위치에 도착하는 경우, 상기 구동 부재를 정지시키는 과정일 수 있다. 즉, 파지 부재의 목표 위치와 현 위치를 비교(S140)하고, 파지 부재의 목표 위치와 현 위치가 동일하면, 동작 완료 단계(S150)가 실시될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 대상물 이송 방법(S100)의 상세한 설명은 앞서 대상물 이송 장치(100, 도 1 참조)의 동작 과정에서 설명하였으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 대상물 이송 장치
110: 레일 부재 120: 이송 유닛
121: 몸체 부재 122: 이동 부재
123: 파지 부재 124: 거리 측정 부재
125: 구동 부재 126: 권취 롤러
127: 와이어 128: 제어부

Claims (13)

  1. 레일 부재와, 대상물을 픽업하고, 상기 레일 부재를 따라서 이송되면서 상기 대상물을 다양한 위치로 이송하는 이송 유닛을 포함하는 대상물 이송 장치에 있어서,
    상기 이송 유닛은,
    대상물을 수용하는 내부 공간을 포함하는 몸체 부재;
    상기 몸체 부재의 내부 공간에 설치되고, 상기 몸체 부재에 다방향으로 상대 이동되는 이동 부재;
    상기 이동 부재에 승강 가능하도록 결합되고, 대상물을 파지하는 파지 부재;
    상기 이동 부재와 상기 파지 부재 중 어느 하나에 설치되고, 상기 이동 부재와 파지 부재 사이의 거리를 측정하는 거리 측정 부재;
    상기 파지 부재가 상기 이동 부재에 대해 승강될 수 있게 하는 구동 부재; 및
    상기 파지 부재가 상기 이동 부재에 대해 승강 구동되는 과정에서 상기 거리 측정 부재에 의해 상기 이동 부재와 상기 파지 부재 사이의 거리를 측정하고, 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지한 다음, 상기 구동 부재를 역방향으로 동작시키는 제어부;를 포함하는 대상물 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동 부재는 상기 파지 부재의 승강에 사용되는 동력을 제공하는 회전 모터를 포함하고,
    상기 구동 부재를 역방향으로 동작시키는 것은,
    상기 회전 모터를 역회전시키는 것인 대상물 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 회전 모터를 0.1초 내지 1초 동안 역회전시키는 대상물 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 구동 부재는,
    상기 회전 모터에 의해 회전되고, 상기 이동 부재의 내부에 설치되는 권취 롤러; 및
    상기 권취 롤러에 권취되고, 일단이 상기 파지 부재에 결합되며, 상기 권취 롤러에 권취되거나 풀림에 따라 상기 파지 부재를 승강시키는 와이어;를 포함하는 대상물 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리와 목표 거리의 차이가 기준치 이하인 경우, 상기 구동 부재의 동작 상태를 유지하는 대상물 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 거리 측정 부재는 광학식, 레이져식 및 초음파식 중 선택된 어느 하나의 방법으로 거리를 측정하는 센서인 대상물 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 거리 측정 부재는 복수개이고,
    상기 제어부는 상기 복수의 거리 측정 부재 각각이 측정한 거리값들의 평균값을 목표 거리값과 비교하는 대상물 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 이송 유닛은,
    상기 제어부가 상기 거리 측정 부재에서 획득된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 것으로 판단하는 경우, 알림 신호를 발생시키는 알림 부재를 더 포함하는 대상물 이송 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 대상물 이송 장치를 사용하여 대상물을 이송하는 대상물 이송 방법에 있어서,
    상기 파지 부재를 승강시키는 승강 단계;
    상기 승강 단계 중에 상기 파지 부재와 상기 이동 부재 사이의 거리값을 측정하고, 상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이를 비교하는 거리 계산 단계;
    상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재의 동작을 정지시키는 동작 정지 단계; 및
    상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 상기 구동 부재를 역방향으로 동작시키는 부하 저감 단계;
    를 포함하는 대상물 이송 방법.
  10. 삭제
  11. 제9항에 있어서,
    상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치를 초과하는 경우, 사용자에게 알림을 실시하는 알림 단계를 더 포함하는 대상물 이송 방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 측정된 거리값과 목표 거리값의 차이가 기준치 이하인 경우, 상기 구동 부재를 지속적으로 동작시키는 동작 지속 단계를 포함하는 대상물 이송 방법.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 파지 부재가 목표 위치에 도착하는 경우, 상기 구동 부재를 정지시키는 동작 완료 단계를 포함하는 대상물 이송 방법.
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