JP2008100635A - 天井走行車 - Google Patents

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Abstract


【構成】 天井走行車が物品を保持する位置での蓋側に対向して落下防止フレーム２８を設け、その下部フレーム３０を上部フレーム２９に対して上向きに回動自在にする。さらに下部フレーム３０と上部フレーム２９の間に光電センサの光軸を配置し、下部フレーム３０が回動すると光軸が受光端から外れるようにして、蓋外れを検出する。
【効果】 ロードポートなどで既に蓋２２が外れている物品を上昇させると、蓋２２が外れていることを検出できる。
【選択図】 図５

Description

この発明は天井走行車に関し、特に搬送物品の落下防止に関する。
天井走行車は、クリーンルーム等において半導体やレチクル等のカセット等を搬送する。天井走行車の本体走行方向前後には一対の落下防止カバーを設けて、カセット等の搬送物品の落下を防止する。また天井走行車には、カセットの蓋と向き合うように落下防止用のフレームを設けて、カセットから蓋が外れて落下することを防止し、かつフレームに設けた光電センサで蓋が外れたことを検出する（特許文献１）。蓋が外れることへの安全性をさらに高めるには、ロードポートなどで既に蓋が外れているカセットを昇降ユニットで上昇させた際にも検出する必要がある。
特開２００４−２７７０６６
この発明の課題は、搬送物品をロードポートなどから上昇させる際に、既に蓋が外れていることを検出できるようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、蓋の外れた物品を上昇させる際に、下部フレームが上部フレームに対して容易に回動できるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、蓋が外れていることをより確実に検出できるようにすると共に、搬送物品を横送りすることと干渉しないようにすることにある。
この発明は、走行レールに沿って走行すると共に、搬送物品を保持して昇降する昇降ユニットと、搬送物品の蓋と対向して蓋の落下を防止する落下防止部材、とを備えた天井走行車において、
落下防止部材が、上部フレームと、上部フレームに上向きに移動可能に支持された下部フレームとから成り、さらに下部フレームに光電センサの発光端もしくは受光端を設けたことを特徴とする。
好ましくは、下部フレームの左右方向一方の上部を上部フレームで回動自在に支持すると共に、下部フレームの左右方向他方の上部を上部フレームで挟み込んで仮止めし、さらに仮止め部から下部フレームの下方への縁が下部フレームの左右方向中心を向くように傾斜している。
また好ましくは、昇降ユニットを横移動させるための手段を設けると共に、前記落下防止部材を昇降ユニットと共に横移動するように配置し、かつ搬送物品から蓋を除いたものと下部フレームとの隙間を、蓋の厚さ未満とする。
この発明では、ロードポートなどで既に蓋が外れあるいは外れかかっている搬送物品を昇降ユニットで保持して上昇させると、蓋が落下防止部材の下部フレームに接触する。下部フレームは上部フレームに対して、上向きに回動あるいは上向きに移動自在なので、蓋を下向きに押し付けて落下させることがない。そして下部フレームが蓋により上向きに移動すると、光電センサの光軸が受光端から外れて、蓋が外れあるいは外れかかっていることを検出できる。このように、既に蓋が外れあるいは外れかかった搬送物品を上昇させる際に、蓋の異常を検出でき、また蓋を押し付けて落下させることがない。さらに異常検出用の光電センサは、上昇後の搬送物品の蓋が搬送中に外れた際にも光軸が遮られて、蓋外れの検出に利用できる。
さらに、下部フレームの左右方向一方の上部を上部フレームで回動自在に支持すると共に、下部フレームの左右方向他方の上部を上部フレームで挟み込んで仮止めすると、下部フレームは蓋と接触すると容易に回動する。さらに仮止め部から下部フレームの下方への縁を下部フレームの左右方向中心を向くように傾斜させると、上部フレームで下部フレームを挟み込んだ部分を縁が容易に通過できる。
また搬送物品から蓋を除いたものと下部フレームとの隙間を蓋の厚さ未満とすると、蓋が外れた搬送物品を上昇させる際に、確実に下部フレームに蓋が接触する。また蓋が搬送中に搬送物品から外れても落下することが無く、さらに落下防止部材を昇降ユニットと共に横移動するように配置すると、横移動中の蓋外れも検出できる。
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
図１〜図５に、実施例の天井走行車２を示す。各図において、４は走行レールで、クリーンルームの天井付近などに配置され、５は支柱である。天井走行車２では、走行レール４内に図示しない走行駆動部があり、天井走行車本体６を支持して走行させる。８は天井走行車本体６の基部、１０は横送り部、１２はθドライブ、１４は昇降駆動部、１６は昇降ユニットで、例えば一対のチャック１８を備えている。なお横送り部１０は、θドライブ１２〜チャック１８を、天井走行車２の走行方向と水平面内で直角な方向に横移動させ、この明細書ではこの方向を左右方向という。昇降駆動部１４は昇降ユニット１６を昇降させ、θドライブ１２は昇降駆動部１４を水平面内で回動させるが設けなくても良い。
２０はカセットで、半導体やレチクルなどを収容したもので、チャック１８によりフランジ２３の底面を支持され、２２は着脱自在な蓋で、天井走行車２を基準とする向きでその左右一方に位置する。天井走行車２での基部８の走行方向前後に、一対の落下防止カバー２４，２４が設けてあり、その底部に出没自在な落下防止爪２６を設けて、カセット２０の鉛直下方への落下を防止する。
カセット２０の蓋２２と対向するように、蓋２２の厚さ未満の隙間を置いて落下防止フレーム２８を設け、例えば昇降駆動部１４、もしくは昇降ユニット１６に取り付ける。落下防止フレーム２８は、上部フレーム２９と、上部フレーム２９に対して回動もしくは上昇自在な下部フレーム３０とから成る。３１は発光端、３２は受光端で、これらにより光電センサを構成する。発光端３１と受光端３２の一方を下部フレーム３０に、他方を上部フレーム２９、もしくは昇降駆動部１４に設けて、光軸が上方を向くようにし、蓋２２が光軸を遮ると検出する。３４は落下防止ピンで、３５はその頭部のヘッドで下部に比べて径が大きく、落下防止ピン３４は上部フレーム２９に設けた取付板３６の透孔３７を貫通している。このため落下防止ピン３４は上下方向に移動自在で、先端がカセット２０のカセット上面３８に接触する。落下防止ピン３４の設置位置は、蓋２２の背面とフランジ２３の間で、特に蓋２２の背面の近傍で、落下防止ピン３４は天井走行車２の走行方向に沿って例えば前後一対設ける。
なお落下防止ピン３４の代わりに、あるいはピン３４と共に、カセット背面側部４１に、走行方向前後一対の落下防止部材４０，４０を設けても良い。落下防止部材４０は例えば棒状もしくはアーム状の部材で、例えばフランジ２３が損傷してチャック１８から外れ、カセット２０が落下防止フレーム２８とは反対向きに回動しようとした時に、カセット背面側部４１に接触して支持する。
下部フレーム３０は、例えばピン４２により、上部フレーム２９に対して回動自在に取り付けられ、天井走行車２の走行方向に沿ってピン４２とは反対側の位置で、上部フレーム２９に設けたクランプ４４により仮止めされている。下部フレーム３０では、クランプ４４の上部に対応する位置に突起４５を設けて、クランプ４４よりも下向きに回動しないようにする。下部フレーム３０は例えば逆台形状の形状で、特にクランプ４４から下方へと続くクランプ側端部４６を、鉛直よりも下部フレーム３０の中央向きに傾斜させて、下部フレーム３０の幅が下側で減少するようにする。さらに下部フレーム３０のフレーム底部４８は、ピン４２よりもクランプ４４側で下側に突き出した形状とする。
カセット２０に対する蓋２２の取付構造は様々なものがあるが、ここでは蓋２２がカセット２０の内側へ入り込んでいるものとする。図４に蓋２２の厚さをｗで示し、カセット２０と上部フレーム２９もしくは下部フレーム３０との隙間の内で小さな側の隙間をｄで表す。ここで隙間ｄを厚さｗよりも小さくすると、蓋２２はフレーム２８とカセット２０との隙間を通り抜けることができず、蓋２２がカセット２０から外れても落下しない。
実施例の動作を説明する。天井走行車２は走行レール４に沿って走行し、横送り部１０により昇降駆動部１４等を走行レール４の左右方向に移動させ、昇降駆動部１４で昇降ユニット１６を昇降させ、チャック１８でフランジ２３を把持してチャックする。昇降ユニット１６を下降させ、ロードポートなどに載置されたカセット２０のフランジ２３をチャックし、昇降ユニット１６を巻き上げる。ここでロードポート上で、蓋２２がカセット２０から外れ、あるいは外れかかっていることがある、このような場合、カセット２０を上昇させると、蓋２２が下部フレーム３０のフレーム底部４８に接触して押し上げ、これによって下部フレーム３０はクランプ４４から外れてピン４２を中心に上向きに回動する。
ここで下部フレーム３０が逆向きに回動することは、突起４５により防止されている。さらにクランプ側端部４６は、フレーム３０の幅が下側で小さくなるようにカットされているので、フレーム３０がクランプ４４を通過して上向きに回動することを妨げない。フレーム３０が蓋２２により上向きに回動すると、発光端３１からの光軸が受光端３２から外れ、蓋２２が外れていることを検出できる。なお蓋２２の上部がカセット２０から外れている場合も、蓋２２の下部が外れている場合も、いずれも下部フレーム３０と接触して押し上げる。蓋２２が外れていることを検出すると、天井走行車２は走行せずに、図示しないコントロールユニットに異常を報告して、復旧を待つ。このため蓋２２が外れたカセット２０内の物品が、搬送中に移動して損傷するなどのことを防止できる。荷積みした際に蓋２２に異常がなくても、搬送中に蓋２２が外れることがある。このような場合、外れた蓋２２が発光端３１から受光端３２への光軸を遮り、異常を検出できる。
搬送中にカセット２０のフランジ２３が損傷してチャック１８から外れる等のことがある。カセット２０が天井走行車に対して鉛直方向に落下することは、落下防止爪２６で防止できる。また走行方向前後に落下することは、落下防止カバー２４で防止できる。カセット２０が蓋２２側から落下することは、落下防止フレーム２８で防止できる。そしてカセット２０が走行方向の左右で蓋２２とは反対向きに落下することは、落下防止ピン３４で防止できる。
即ち、カセット２０が蓋２２側が上、カセット背面側部４１側が下になるように回動すると、蓋２２が落下防止ピン３４に接触して、それ以上回動することを防止し、落下を防止できる。ここでフランジ２３の底面に対するカセット上面３８の高さは、カセット２０の規格により様々なものがある。しかしながら落下防止ピン３４は透孔３７内を上下動できるので、搬送時のカセット上面３８の高さが変化しても対応できる。さらに落下防止ピン３４を蓋２２の背面寄りに走行方向に沿って前後例えば一対設けると、カセット２０の落下を確実に防止できる。
なお落下防止ピン３４に代えて、落下防止部材４０，４０をカセット背面側部４１の周囲に隙間を開けて配置しても良い。このようにすると、カセット２０が背面側部４１側が下側となるように回動した際に、落下防止部材４０で背面側部４１を支持して落下を防止できる。落下防止ピン３４と落下防止部材４０とを比較すると、落下防止ピン３４はより小形で設置が容易である。落下防止ピン３４はカセット２０に接触すると上方へ逃げ、落下防止部材４０はカセット２０を避けるように下向きに突き出しているので、いずれもカセット２０の昇降と干渉せず、またいずれも昇降駆動部１４と共に横送り部１０により横移動するので、横送りとも干渉しない。
実施例では、外れた蓋２２により下部フレーム３０が上向きに回動するようにしたが、下部フレーム３０が上部フレーム２９に対して上向きに移動できるようにして、外れた蓋２２により押し上げられるようにしてもよい。この場合も下部フレーム３０が所定位置よりも下降しないようにストッパを設けておく。
実施例では以下の効果が得られる。
(1) 蓋２２が外れた、あるいは外れかかったカセットを上昇させると、下部フレーム３０が回動して、発光端３１からの光軸が受光端３２から外れる。このため、カセットを上昇させる際に蓋が外れていることを検出し、蓋が外れたカセット２０を搬送することにより、内部の物品が損傷することを防止できる。
(2) 走行中や横送り中に蓋２２が外れると、発光端３１と受光端３２の間の光軸が遮られることにより検出できる。
(3) 発光端３１と受光端３２とを用いて、荷積み時の蓋外れの検出と走行中の蓋外れの検出の双方ができる。
(4) 下部フレームが回動するので、蓋が外れたカセットを荷積みしても、蓋を落下させることがない。
(5) カセット２０の落下を、前後左右並びに鉛直のいずれの方向に対しても防止できる。
(6) ピン３４や落下防止部材４０は、カセット２０を昇降ないしは横送りすることを妨げない。
(7) 落下防止ピン３４は簡単に設けることができ、またカセット上面３８の高さが変化しても、透孔３７内をピン３４が上下することにより対応できる。
実施例の天井走行車と走行レールの正面図 実施例の天井走行車と走行レールの側面図 図１のIII−III方向水平断面図 実施例の天井走行車での落下防止ピン付近の部分拡大正面図 実施例の天井走行車での下部フレーム付近の部分拡大側面図
符号の説明
２ 天井走行車
４ 走行レール
５ 支柱
６ 天井走行車本体
８ 基部
１０ 横送り部
１２ θドライブ
１４ 昇降駆動部
１６ 昇降ユニット
１８ チャック
２０ カセット
２２ 蓋
２３ フランジ
２４ 落下防止カバー
２６ 落下防止爪
２８ 落下防止フレーム
２９ 上部フレーム
３０ 下部フレーム
３１ 発光端
３２ 受光端
３４ 落下防止ピン
３５ ヘッド
３６ 取付板
３７ 透孔
３８ カセット上面
４０ 落下防止部材
４１ カセット背面側部
４２ ピン
４４ クランプ
４５ 突起
４６ クランプ側端部
４８ フレーム底部

ｄ 隙間
ｗ 厚さ

Claims (3)

  1. 走行レールに沿って走行すると共に、搬送物品を保持して昇降する昇降ユニットと、搬送物品の蓋と対向して蓋の落下を防止する落下防止部材、とを備えた天井走行車において、
    前記落下防止部材が、上部フレームと、該上部フレームに上向きに移動可能に支持された下部フレームとから成り、さらに該下部フレームに光電センサの発光端もしくは受光端を設けたことを特徴とする、天井走行車。
  2. 前記下部フレームの左右方向一方の上部を前記上部フレームで回動自在に支持すると共に、前記下部フレームの左右方向他方の上部を前記上部フレームで挟み込んで仮止めし、さらに該仮止め部から下部フレームの下方への縁が下部フレームの左右方向中心を向くように傾斜していることを特徴とする、請求項１の天井走行車。
  3. 昇降ユニットを横移動させるための手段を設けると共に、前記落下防止部材を昇降ユニットと共に横移動するように配置し、かつ搬送物品から蓋を除いたものと前記下部フレームとの隙間を、前記蓋の厚さ未満としたことを特徴とする、請求項１または２の天井走行車。
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