JP5574177B2

JP5574177B2 - 搬送装置

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Publication number: JP5574177B2
Application number: JP2010208283A
Authority: JP
Inventors: 雅之中川
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2010-09-16
Filing date: 2010-09-16
Publication date: 2014-08-20
Anticipated expiration: 2030-09-16
Also published as: JP2012064799A; CN102765573A; US9027735B2; CN102765573B; US20120067704A1; KR20120029325A; TW201217254A; TWI498268B

Description

本発明は、円板形状の基板を上下方向に積層させた状態で収納し且つ側面に基板出し入れ用の開口が形成された収納容器を、保持した状態で走行可能な走行保持体と、前記走行保持体にて保持されている前記収納容器の前記開口から基板が飛び出すことを防止する飛び出し防止機構とが設けられている搬送装置に関する。

かかる搬送装置は、収納容器を保持した走行保持体を走行させて収納容器を搬送するものであり、走行保持体を走行させるときに収納容器の開口から基板が飛び出さないように飛び出し防止機構が設けられている。
そして、このような搬送装置の従来例として、飛び出し防止機構を、収納容器に収納されている基板の側面に接触する接触位置と基板の側面から離間する離間位置とに移動可能な接触体を備え、接触体の接触位置を、基板出し入れ方向で、収納容器に収納された基板の開口側端部の内方側から外方側に亘って位置するように設定して構成されているものがある（例えば、特許文献１参照。）。

ちなみに、飛び出し防止機構を接触位置に移動させた状態で走行保持体を走行させることで、収納容器から基板が飛び出ることを防止しながら搬送装置を走行させることができるようになっている。また、飛び出し防止機構を離間位置に移動させることで、搬送装置に備えた移載手段や外部の移載手段を用いて搬送保持体に保持されていた収納容器を容器搬送対象箇所に移載するときに、接触体に接触して破損することを未然に防止することができるようになっている。

特開２００１−０７７１７０号公報

上記した従来の搬送装置では、接触体を接触位置に移動させた状態で、接触体が、基板出し入れ方向で、基板の開口側端部の内方側から外方側に亘って位置している。このように、接触体を接触位置に移動させた状態で接触体が基板の開口側端部より外方側に存在していると、接触体が基板の開口側端部より外方側に存在している分、接触体を接触位置に移動させた状態での搬送装置の基板出し入れ方向の幅が大きくなり易く、走行時における搬送装置の基板出し入れ方向での大きさを小さくし難いものであった。

本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、基板の飛び出しを防止しつつ走行時における基板出し入れ方向での大きさを小さくし易い搬送装置を提供する点にある。

本発明にかかる搬送装置は、円板形状の基板を上下方向に積層させた状態で収納し且つ側面に基板出し入れ用の開口が形成された収納容器を、保持した状態で走行可能な走行保持体と、前記走行保持体にて保持されている前記収納容器の前記開口から基板が飛び出すことを防止する飛び出し防止機構とが設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記飛び出し防止機構が前記走行保持体に設けられ、前記飛び出し防止機構は、前記走行保持体に保持された前記収納容器に収納されている基板の側面に接触する接触位置と基板の側面から離間する離間位置とに移動可能な接触体を備え、前記接触体が前記接触位置にあるときに、前記接触体の全体が、基板出し入れ方向で、前記収納容器に収納された基板の開口側端部と中央部との間でかつ平面視で前記基板と重複しない位置に位置するように構成されている点にある。

すなわち、飛び出し防止機構の接触体を接触位置に移動させた状態では、収納容器の開口から基板が飛び出すことを防止でき、飛び出し防止機構の接触体を離間位置に移動させた状態では、飛び出し防止機構に対して収納容器を相対的に移動させるときに接触体が基板に干渉することにより基板が破損することを防止できる。
そして、接触体を接触位置に移動させた状態では、接触体が、基板出し入れ方向で、基板の開口側端部の内方側に位置している。このように、接触体を接触位置に移動させた状態で接触体が基板の開口側端部より外方側に存在していないため、接触体を接触位置に移動させた状態での搬送装置の基板出し入れ方向の幅が大きくなり難く、走行時における搬送装置の基板出し入れ方向での大きさを小さくし易い。
よって、基板の飛び出しを防止しつつ走行時における基板出し入れ方向での大きさを小さくし易い搬送装置を提供することができるに至った。

本発明にかかる搬送装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記走行保持体が、前記開口が走行方向と交差する横方向に向く姿勢で前記収納容器を保持するように構成されている点にある。

すなわち、走行保持体が、収納容器の開口が横方向を向く姿勢で収納容器を保持することで、基板出し入れ方向が横方向となるため、走行保持体の横方向での大きさを小さくすることで、走行保持体の走行経路の横幅を小さくできる。

本発明にかかる搬送装置の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記飛び出し防止機構が、前記収納容器に収納された基板における基板出し入れ方向と直交する幅方向の中央に対してその両側に位置するように前記接触体を一対備え、前記一対の接触体を互いに前記幅方向に沿って接近移動させて前記接触位置に移動させ、前記一対の接触体を互いに前記幅方向に沿って離間移動させて前記離間位置に移動させる移動操作手段を備えて構成されている点にある。

すなわち、一対の接触体を基板における幅方向の中央に対してその両側に位置させることで、接触体を基板に対して幅方向にバランスよく接触させた状態で基板の飛び出しを防止することができる。
また、一対の接触体を幅方向に互いに遠近移動させて、一対の接触体の位置を接触位置と離間位置とに移動させることにより、接触位置のみならず離間位置でも接触体を開口側端部と中央部との間に位置させることができるため、接触体を離間位置に移動させた状態でも搬送装置の基板出し入れ方向での大きさを小さくし易い。

本発明にかかる搬送装置の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記走行保持体が、前記収納容器を保持する保持部と前記保持部を昇降自在に支持する走行自在な走行部とを備えて、前記走行部の走行及び前記保持部の昇降により容器搬送対象箇所に前記収納容器を搬送可能に構成され、前記飛び出し防止機構が、前記保持部に支持されている点にある。

すなわち、飛び出し防止機構を保持部に支持させることで、保持部を昇降移動させるときに飛び出し防止機構も一体的に昇降移動させることができるため、接触体を接触位置に移動させた状態で保持部を昇降移動させることができ、保持部を昇降移動させるときの収納容器からの基板の飛び出しを防止することができる。

本発明にかかる搬送装置の第５特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記走行保持体が、前記収納容器を保持する保持部と前記保持部を昇降自在に支持する走行自在な走行部とを備えて、前記走行部の走行及び前記保持部の昇降により容器搬送対象箇所に前記収納容器を搬送可能に構成され、前記飛び出し防止機構が、前記走行部に支持され、前記接触体が、前記保持部が前記走行部近くの走行用位置に昇降移動した状態で前記接触位置と前記離間位置とに移動可能に設けられている点にある。

すなわち、保持部を走行用位置に昇降移動させ且つ接触体を接触位置に移動させた状態で走行部を走行させることで、走行部を走行させるときに収納容器から基板が飛び出すことを防止することができる。
そして、接触部を離間位置に移動させた状態で保持部を昇降移動させることで、収納容器に収納された基板に接触部が干渉することなく保持部を昇降移動させることができ、保持部を昇降移動させるときに飛び出し防止機構が収納容器に収納されている基板と干渉することを防止できる。

本発明にかかる搬送装置の第６特徴構成は、第４又は第５特徴構成のいずれか１つにおいて、前記容器搬送対象箇所が、基板に対して処理を行う処理装置に隣接した状態で設けられ、前記保持部が、前記開口が前記処理装置側に向く姿勢で前記収納容器を保持するように構成されている点にある。

すなわち、保持部にて保持されている収納容器を容器搬送対象箇所に搬送することで、収納容器の開口が処理装置側に向いているため、収納容器と処理装置との間での基板の移載が行い易いものとなる。

そして、飛び出し防止機構を保持部に設けた場合では、接触体を基板の開口側端部より内方側に位置することで、容器搬送対象箇所に位置する収納容器と処理設備との間に接触体が介在するスペースが必要ない。また、飛び出し防止機構を走行部に設けた場合では、飛び出し防止機構を走行部に残した状態で保持部が昇降移動するので、容器搬送対象箇所に位置する収納容器と処理設備との間に接触体が介在するスペースが必要ない。
このように容器搬送対象箇所に位置する収納容器と処理設備との間に接触体を介在させるスペースが必要ない分、容器搬送対象箇所を処理設備に近づけることができるため、容器搬送対象箇所に位置する収納容器と処理装置との距離が近くなり、収納容器と処理装置との間での基板の移載を行い易いものとなる。

本発明にかかる搬送装置の第７特徴構成は、第１〜第６特徴構成のいずれか１つにおいて、前記飛び出し防止機構における前記接触体を移動操作する移動操作手段が、前記接触体を前記接触位置と前記離間位置とに移動操作させるアクチュエータを備えて構成されている点にある。

すなわち、移動操作手段が、接触体を接触位置と離間位置とに移動操作させるアクチュエータを備えて構成されているため、そのアクチュエータの作動により接触体を任意のタイミングで接触位置と離間位置とに移動操作することができる。
よって、例えば、取り出し防止機構を保持部に支持させた場合では、保持部を昇降させる途中に飛び出し防止機構を接触位置と離間位置とに移動操作することで、収納容器を容器搬送対象箇所に降ろす又は容器搬送対象箇所から持ち上げるときに基板と接触体が擦れることを防止でき、また、飛び出し防止機構を走行部に支持させた場合では、保持部を走行用位置から昇降移動させる前に飛び出し防止機構を接触位置から離間位置に移動操作することで、保持部を昇降移動させるときに基板と接触体が擦れることを防止できる。

天井搬送車及び処理装置を示す斜視図天井搬送車の正面図天井搬送車の側面図収納容器と接触体とを示す平面図容器搬送対象箇所に位置する収納容器を示す正面図制御ブロック図別実施形態（１）における天井搬送車の側面図別実施形態（３）における天井搬送車の正面図

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、搬送装置としての天井搬送車Ａは、天井側に設置された走行レール１に案内支持される状態で複数設けられており、容器搬送対象箇所２の上方を経由する走行経路３に沿って走行して基板５を収納する収納容器４を搬送するように構成されている。容器搬送対象箇所２は、収納容器４から取り出した基板５に対して処理を行う処理装置Ｂに対して走行方向と直交する幅方向に隣接した状態で設けられている。

図２〜図４に示すように、天井搬送車Ａにて搬送される収納容器４は、ウェハ等の円板形状の基板５を上下方向に積層させた状態で収納し且つ側面に基板出し入れ用の開口６が形成されたオープンカセットにて構成されている。
説明を加えると、収納容器４は、基板５より少し大径の底板４ｂ及び天板４ｃを備え、これら底板４ｂと天板４ｃとが側壁４ｄにて連結して構成されており、前側面に基板出し入れ用の開口６が形成されている。そして、収納容器４には、側壁４ｄにて支持される形態で基板５が上下方向に積層させた状態で収納されており、開口６を通して基板５が出し入れされるようになっている。ちなみに、側壁４ｄは、収納された基板４の側方から後方に亘って位置しており、この側壁４ｄにて後側面からの基板４の飛び出しが防止されている。また、収納容器４には、開口６を閉じる蓋は設けられていない。

天井搬送車Ａには、収納容器４を保持した状態で走行可能な走行保持体８と、走行保持体８にて保持されている収納容器４の開口６から基板５が飛び出すことを防止する飛び出し防止機構９とが設けられている。
走行保持体８は、収納容器４を保持する保持部１０と、その保持部１０を昇降自在に支持する走行自在な走行部１１とを備えて、走行部１１の走行及び保持部１０の昇降により容器搬送対象箇所２に収納容器４を搬送可能に構成されている。

図１に示すように、走行保持体８は、開口６が走行方向と交差する横方向に向く姿勢で収納容器４を保持するように構成されており、走行保持体８を容器搬送対象箇所２の真上に位置した状態で、開口６が処理装置Ｂ側に向く姿勢で収納容器４を保持するように構成されている。
このように走行保持体８にて開口６が横方向を向く姿勢で収納容器４を保持することで、基板５の基板出し入れ方向は走行保持体８の走行方向と直交する横方向と同じ方向となり、基板出し入れ方向と直交する幅方向は走行保持体８の走行方向と同じ方向となっている。

図２に示すように、走行部１１の上部には、走行用モータ１４にて回転駆動されて走行レール１の上面を転動する駆動輪１５と、走行レール１の側面に当接する回転自在な案内輪１６とが設けられている。そして、走行用モータ１４にて駆動輪１５が回転駆動され、案内輪１６が走行レール１にて接触案内されることにより、走行部１１が走行レール１に案内されて走行経路３に沿って走行するように構成されている。

走行部１１の上下中間部には、受電コイル１２が設けられており、走行経路３に沿って配設された給電線１３の交流電流の通電により磁界を発生させ、この磁界により天井搬送車Ａ側での必要電力を発生させて、天井搬送車Ａに対して無接触状態で給電を行うように構成されている。

図３に示すように、走行部１１の下部に設けられたカバー体１７は、走行方向に延びる上カバー部１７ａと、その上カバー部１７ａの走行方向の両端から下方に延びる一対の前後カバー部１７ｂとで、横側面視で下方が開口するコ字状に形成されている。上カバー部１７ａ及び一対の前後カバー部１７ｂの夫々は、その横方向の幅が収納容器４の横方向の幅より幅広に形成されており、保持部１０にて保持された収納容器４がカバー体１７から横方向に突出しないようになっている。

また、走行部１１の下部には、ワイヤ１８を巻回して昇降用モータ１９にて回転駆動される回転ドラム２０が設けられており、そのワイヤ１８の下端には保持部１０が連結されている。そして、昇降用モータ１９にて回転ドラム２０を回転駆動させることにより、走行部１１に吊り下げ支持された保持部１０を、走行部１１の近くに位置してカバー体１７に囲まれた空間内に位置する走行用位置（図２及び図３参照）と、容器搬送対象箇所２に対して収納容器４を授受するべく走行用位置より下方に位置させた移載用位置（図５（ａ）参照）とに昇降移動させるように構成されている。

図２及び図３に示すように、保持部１０は、ワイヤ１８の下端に連結された本体部２２と、把持用モータ２３にて揺動駆動される一対の把持爪２４とが設けられている。一対の把持爪２４は、本体部２２から下方に突出する状態で且つ横方向に並べた状態で、横方向に沿う軸心周りに揺動自在に本体部２２に支持されている。
そして、図示は省略するが、把持用モータ２３にて一対の把持爪２４を揺動駆動させることで、一対の把持爪２４を互いに接近させて収納容器４における天板４ｃの上面に設けられたフランジ部４ａを把持する把持姿勢と、一対の把持爪２４を互いに離間させて収納容器４に対する把持を解除する把持解除姿勢とに切り替え可能に構成されている。
本体部２２の横方向の幅は、カバー体１７の横方向の幅より幅狭に構成されており、把持爪２４の横方向の幅は、本体部２２の横方向の幅より幅狭に構成されている。また、本体部２２の横方向及び走行方向の幅は、収納容器４の横方向及び走行方向の幅と同じ幅に構成されている。

飛び出し防止機構９は、保持部１０に支持されている。この飛び出し防止機構９は、走行保持体８における保持部１０に保持された収納容器４に収納されている基板５の側面に接触する接触位置（図４に実線で示す位置）と基板５の側面から水平方向に離間する離間位置（図４に仮想線で示す位置）とに移動可能な接触体２６を備えて構成されている。

飛び出し防止機構９について説明を加えると、図３及び図４に示すように、収納容器４に収納された基板５における走行方向の中央に対してその両側に位置するように接触体２６を一対備え、一対の接触体２６を互いに走行方向に沿って近接移動させて接触位置に移動させ、一対の接触体２６を走行方向に沿って離間移動させて離間位置に移動させる移動操作手段としてのシリンダ装置２７を備えて構成されている。このシリンダ装置２７は、接触体２６を接触位置と離間位置とに移動操作させるアクチュエータに相当する。

シリンダ装置２７は、シリンダ本体２７ａにおける長手方向の両端の夫々から連結ロッド２７ｂが突出しており、その一対の連結ロッド２７ｂの夫々に接触体２６が連結されており、一対の連結ロッド２７ｂをシリンダ本体２７ａに対して出退移動させて一対の接触体２６を互いに遠近移動させるように構成されている。

図３に示すように、シリンダ装置２７は、本体部２２の下面側に走行方向に沿う姿勢で設置されている。シリンダ装置２７の長手方向の長さは、本体部２２の走行方向の幅より短く、シリンダ装置２７が本体部２２から走行方向に突出しない状態で設けられている。図４に示すように、本体部２２における幅方向の開口側端部と把持爪２４との間に位置して本体部２２から横方向に突出しない状態で設けられている。

図２〜図４に示すように、シリンダ装置２７における一対の連結ロッド２７ｂの夫々は、シリンダ本体２７ａから走行方向の外方側に延び、その先端から基板５が存在する内方側（開口側の反対側）に延びる形状に形成されており、接触体２６は連結ロッド２７ｂの内方側に延びる部分の下端に連結されている。

図４に示すように、接触体２６は、硬度が高い硬質の樹脂材にて構成された棒状の軸芯部２６ａと、この軸芯部２６ａより硬度が低い軟質の樹脂材にて構成されて軸芯部２６ａの側周囲を覆う接触部２６ｂとで構成されており、軸芯部２６ａに連結ロッド２７ｂが連結され、接触部２６ｂが基板５の側面に接触するようになっている。

そして、接触体２６の接触位置は、横方向で、収納容器４に収納された基板５における幅方向の開口側端部と中央部との間に設定され、走行方向で、収納容器４に収納された基板５における走行方向の端部と中央部との間に設定されている。
また、接触体２６の離間位置は、横方向で、収納容器４に収納された基板５における幅方向の開口側端部と中央部との間に設定されている。
つまり、接触体２６は、横方向においては基板５における横方向の開口側端部と中央部との間に位置しており、基板５における走行方向の端部と中央部との間で走行方向に沿って移動することで、接触位置と離間位置とに移動するようになっている。

接触部２６ｂの上下方向の長さは、収納容器４に積層させた状態で収納されている最上段の基板５と最下段の基板５との間隔より長く、底板４ｂと天板４ｃとの間隔より短い長さに構成されている。また、接触部２６ｂは、軸芯部２６ａより太く形成されている。
よって、接触体２６を接触位置に移動させた状態では、軸芯部２６ａが天板４ｃの近くまで移動し、接触部２６ｂが開口６から収納容器内に進入して、接触部２６ｂが収納容器４に収納されている基板５の全てに接触するようになっている。
また、接触体２６を離間位置に移動させた状態では、軸芯部２６ａが天板４ｃから離れ、接触部２６ｂの全体が開口６から収納容器外に退出するようになっている。

図６に示すように、走行保持体８及び飛び出し防止機構９の作動を制御する制御手段Ｈが設けられている。
容器搬送対象箇所２に位置する収納容器４を受け取る場合では、制御手段Ｈは、収納容器４を保持しない走行保持体８を容器搬送対象箇所２に対応する停止位置まで走行させた後、保持部１０を移載用位置まで下降させ、把持爪２４を把持姿勢に切り替えて、容器搬送対象箇所２に位置する収納容器４を把持し、その後、保持部１０を走行用位置まで上昇移動させるべく、走行保持体８の作動を制御するように構成されている。また、制御手段Ｈは、保持部１０を走行用位置に上昇移動させる直前又は途中に接触体２６を離間位置から接近位置に移動させるべく、飛び出し防止機構９の作動を制御するように構成されている。

また、収納容器４を容器搬送対象箇所２に受け渡す場合では、制御手段Ｈは、収納容器４を保持する走行保持体８を容器搬送対象箇所２に対応する停止位置まで走行させた後、保持部１０を移載用位置まで下降させ、把持爪２４を把持解除姿勢に切り換えて、容器搬送対象箇所２に収納容器４を降ろし、その後、保持部１０を走行用位置まで上昇移動させるべく、走行保持体８の作動を制御するように構成されている。また、制御手段Ｈは、保持部１０を移載用位置まで下降させる途中又は下降完了後に接触体２６を接触位置から離間位置に移動させるべく、飛び出し防止機構９の作動を制御するように構成されている。

このように、接触体２６の接触位置や離間位置を、横方向で、収納容器４に収納された基板５における幅方向の開口側端部と中央部との間に設定することで、接触体２６が横幅方向で基板５の開口側端部より開口側に位置しない。よって、天井搬送車Ａの横幅を幅狭に構成し易いとともに、容器搬送対象箇所２に収納容器４を降ろすときに収納容器４を処理装置Ｂ近くに降ろすことができ、収納容器４と処理装置Ｂとの間での基板５の移載を行い易いものとなる。

〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、飛び出し防止機構９を、保持部１０に支持させたが、飛び出し防止機構９を、走行部１１に支持させてもよい。
具体的には、例えば、図７に示すように、シリンダ装置２７を、カバー体１７における一対の前後カバー部１７ｂの夫々に設置し、このシリンダ装置２７に接触体２６を連結して、シリンダ装置２７の伸縮作動により、一対の接触体２６を互いに遠近移動させて接触位置と退避位置とに移動するように構成してもよい。

（２）上記実施形態では、保持部１０を走行用位置と移載用位置との間での昇降移動させる間に、接触体２６を接触位置と離間位置とに移動させるようにしたが、保持部１０が走行用位置に位置する状態で、接触体２６を接触位置と離間位置とに移動させるようにしてもよい。
具体的には、例えば、収納容器４を保持する走行保持体８を容器搬送対象箇所２に対応する停止位置まで走行させた後、保持部１０の移載用位置への下降を開始する前に、接触体２６を接触位置から離間位置に移動させ、また、収納容器４を保持する保持部１０の走行用位置に上昇させた後、走行保持体８の走行を開始させる前に、接触体２６を離間位置から接触位置に移動させるべく、制御手段Ｈにて飛び出し防止機構９の作動を制御するように構成してもよい。

（３）上記実施形態では、天井搬送車Ａを、オープンカセット専用に構成したが、図８に示すように、ＦＯＵＰ３０を搬送するためのＦＯＵＰ用の天井搬送車Ａに飛び出し防止機構９を設けてオープンカセットを搬送可能な天井搬送車Ａを構成してもよい。

（４）上記実施形態では、走行保持体８を、開口６が横方向に向く姿勢で収納容器４を保持するように構成したが、走行保持体８を、開口６が走行方向に向く姿勢で収納容器４を保持するように構成してもよい。

（５）上記実施形態では、飛び出し防止機構９を、基板５における幅方向の中央に対してその両側に位置するように接触体２６を一対備えて構成したが、飛び出し防止機構９を、基板５における幅方向の中央に対してその一方側のみに位置するように接触体２６を１つ備えて構成してもよい。

（６）上記実施形態では、接触体２６を幅方向に沿って移動させて接触位置と離間位置とに移動させたが、接触体２６を基板出し入れ方向に沿って移動させて接触位置と離間位置とに移動させてもよい。つまり、接触体２６を一対備えた場合、一対の接触体２６を基板出し入れ方向に沿って移動させることで、一対の接触体２６を互いに接近離間させることなく接触位置と離間位置とに移動させるようにしてもよい。

（７）上記実施形態では、飛び出し防止機構９を、接触体２６を接触位置と離間位置とに移動操作させるアクチュエータを備えて構成したが、飛び出し防止機構９に、アクチュエータを備えなくてもよい。具体的には、飛び出し防止機構９を、保持部１０の下降移動に伴って容器搬送対象箇所２の近傍に設けられた操作部材にて押し操作されることで、接触体２６を接触位置から離間位置に移動操作し、保持部１０の上昇移動に伴って操作部材による押し操作が解除されることで、接触体２６を離間位置から接触位置に移動操作する連結手段を備えて構成してもよい。

また、接触体２６を接触位置と離間位置とに移動操作するアクチュエータ（シリンダ装置２７）と把持爪２８を把持姿勢と把持解除姿勢とに姿勢変更させるアクチュエータ（把持用モータ２４）とを兼用することで、接触体２６を移動操作する専用のアクチュエータを備えなくてもよい。
具体的には、例えば、把持爪２８が把持姿勢のときは接触体２６が接触位置となり、把持爪２８が把持解除姿勢のときは接触体２６が離間位置となるように、接触体２６を把持爪２８に取り付けて、把持用モータ２４にて把持爪２８が把持姿勢と把持解除姿勢に姿勢変更するのに連動して接触体２６が接触位置と離間位置とに移動操作されるように構成してもよい。

（８）上記実施形態では、走行保持体８を、天井側に設置された走行レール１に案内支持させて天井近くを走行する天井走行式としたが、走行保持体８を、床面上を自走する、床面上に設置されたレールに案内されて床面上を走行する、又は、床面上に設置されたレールに案内支持されてレール上を走行する床面走行式としてもよい。

（９）上記実施形態では、移載用位置を走行用位置より下方に設定し、保持部１０を走行部１１近くの走行用位置から下降移動させて移載用位置に移動させるように構成したが、移載用位置を走行用位置より上方に設定し、保持部１０を走行部１１の近くの走行用位置から上昇移動させて移載用位置に移動させるように構成してもよい。また、移載用位置を走行用位置の横側方に設定し、保持部１０を走行部１１近くの走行用位置から横側方に移動させて移載用位置に移動させるように構成してもよい。また、保持部１０を走行部１１に移動不能に支持させて、容器搬送対象箇所２近くに設けられた容器移載装置にて保持部１０と容器搬送対象箇所２との間で収納容器４を移載するようにしてもよい。

１走行レール
２容器搬送対象箇所
４収納容器
５基板
６開口
８走行保持体
９飛び出し防止機構
１０保持部
１１走行部
２６接触体
２７アクチュエータ（移動操作手段）

Claims

円板形状の基板を上下方向に積層させた状態で収納し且つ側面に基板出し入れ用の開口が形成された収納容器を、保持した状態で走行可能な走行保持体と、
前記走行保持体にて保持されている前記収納容器の前記開口から基板が飛び出すことを防止する飛び出し防止機構とが設けられている搬送装置であって、
前記飛び出し防止機構が前記走行保持体に設けられ、
前記飛び出し防止機構は、前記走行保持体に保持された前記収納容器に収納されている基板の側面に接触する接触位置と基板の側面から離間する離間位置とに移動可能な接触体を備え、前記接触体が前記接触位置にあるときに、前記接触体の全体が、基板出し入れ方向で、前記収納容器に収納された基板の開口側端部と中央部との間でかつ平面視で前記基板と重複しない位置に位置するように構成されている搬送装置。
前記走行保持体が、前記開口が走行方向と交差する横方向に向く姿勢で前記収納容器を保持するように構成されている請求項１記載の搬送装置。
前記飛び出し防止機構が、前記収納容器に収納された基板における基板出し入れ方向と直交する幅方向の中央に対してその両側に位置するように前記接触体を一対備え、前記一対の接触体を互いに前記幅方向に沿って接近移動させて前記接触位置に移動させ、前記一対の接触体を互いに前記幅方向に沿って離間移動させて前記離間位置に移動させる移動操作手段を備えて構成されている請求項１又は２記載の搬送装置。
前記走行保持体が、前記収納容器を保持する保持部と前記保持部を昇降自在に支持する走行自在な走行部とを備えて、前記走行部の走行及び前記保持部の昇降により容器搬送対象箇所に前記収納容器を搬送可能に構成され、
前記飛び出し防止機構が、前記保持部に支持されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
前記走行保持体が、前記収納容器を保持する保持部と前記保持部を昇降自在に支持する走行自在な走行部とを備えて、前記走行部の走行及び前記保持部の昇降により容器搬送対象箇所に前記収納容器を搬送可能に構成され、
前記飛び出し防止機構が、前記走行部に支持され、
前記接触体が、前記保持部が前記走行部近くの走行用位置に昇降移動した状態で前記接触位置と前記離間位置とに移動可能に設けられている請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
前記容器搬送対象箇所が、基板に対して処理を行う処理装置に隣接した状態で設けられ、
前記保持部が、前記開口が前記処理装置側に向く姿勢で前記収納容器を保持するように構成されている請求項４又は５記載の搬送装置。
前記飛び出し防止機構における前記接触体を移動操作する移動操作手段が、前記接触体を前記接触位置と前記離間位置とに移動操作させるアクチュエータを備えて構成されている請求項１〜６いずれか１項に記載の搬送装置。