CN102765573A - 搬运装置 - Google Patents

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Abstract

一种搬运装置，设有能够保持着收纳容器(4)而行走的行走保持体(10)和防止基板(5)从收纳容器(4)的开口(6)跳出的防跳出机构(9)，防跳出机构(9)具有能够移动到与接触基板(5)的侧面接触的接触位置和脱离基板(5)的侧面的脱离位置的接触体(26)，接触体(26)的接触位置设定为：接触体(26)在基板出入方向(D)上位于基板(5)的开口侧端部与中央部之间。本发明既能够防止基板跳出，又能够实现行走时在基板出入方向上的小型化。

Description

搬运装置
技术领域
本发明涉及搬运装置，设有行走保持体和防跳出机构，所述行走保持体能够保持着收纳容器而行走，所述收纳容器中收纳沿上下方向层叠的圆板形基板，且在侧面形成供基板出入用的开口，所述防跳出机构用于防止基板从保持在所述行走保持体上的所述收纳容器的所述开口跳出。
背景技术
上述搬运装置通过使保持着收纳容器的行走保持体行走来搬运收纳容器，且设有防止基板在行走保持体行走时从收纳容器的开口跳出的防跳出机构。
作为这类搬运装置，过去有一种技术是设置接触体来构成防跳出机构，该接触体能够移动到与收纳容器中收纳的基板的侧面接触的接触位置和脱离基板的侧面的脱离位置，该接触体的接触位置设定在基板出入方向上从收纳容器中收纳的基板的开口侧端部的内侧一直到外侧的部位(譬如参照专利文献1)。
由此，通过在接触体移动到接触位置的状态下使行走保持体行走，就能在防止基板从收纳容器跳出的前提下使搬运装置行走。另外，通过使接触体移动到脱离位置，能够防止在用搬运装置上所设的移载装置或外部的移载装置将搬运保持体保持的收纳容器移载到容器搬运目标部位时基板与接触体接触而导致破损。
专利文献1：日本发明专利特开2001-077170号公报
采用上述过去的搬运装置，在接触体移动到接触位置的状态下，接触体在基板出入方向上位于从基板的开口侧端部的内侧一直到外侧的部位。而如果在接触体移动到接触位置的状态下接触体位于基板的开口侧端部的外侧，则由于接触体位于基板的开口侧端部的外侧，容易导致在接触体移动到接触位置的状态下的搬运装置在基板出入方向上的宽度相应地增大，很难缩小行走时的搬运装置在基板出入方向上的尺寸。
发明内容
本发明鉴于上述实情，目的在于提供一种搬运装置，既能防止基板跳出，又能缩小行走时在基板出入方向上的尺寸。
本发明的搬运装置设有行走保持体和防跳出机构，所述行走保持体能够保持着收纳容器而行走，所述收纳容器中收纳沿上下方向层叠的圆板形基板，且在侧面形成供基板出入用的开口，所述防跳出机构用于防止基板从保持在所述行走保持体上的所述收纳容器的所述开口跳出，
所述防跳出机构具有接触体，该接触体能够移动到与保持在所述行走保持体上的所述收纳容器中收纳的基板的侧面接触的接触位置和脱离基板的侧面的脱离位置，所述接触位置设定为：所述接触体在基板出入方向上位于所述收纳容器中收纳的基板的开口侧端部与中央部之间。
采用上述结构，在防跳出机构的接触体移动到接触位置的状态下，能够防止基板从收纳容器的开口跳出，并且在防跳出机构的接触体移动到脱离位置的状态下，能够防止在收纳容器相对于防跳出机构作相对移动时接触体干扰基板而导致基板破损的情况发生。
而且，在接触体移动到接触位置的状态下，接触体在基板出入方向上位于基板的开口侧端部的内侧(向着收纳容器内部的一侧)。这样，由于在接触体移动到接触位置的状态下接触体没有位于基板的开口侧端部的外侧(向着收纳容器外部的一侧)，因此在接触体移动到接触位置的状态下的搬运装置在基板出入方向上的宽度不易增大，容易缩小行走时的搬运装置在基板出入方向上的尺寸。
从而，本发明的搬运装置既能够防止基板跳出，又能容易地缩小行走时在基板出入方向上的尺寸。
作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述行走保持体以所述开口向着与行走方向交叉的横向的姿势来保持所述收纳容器。
采用上述结构，是使行走保持体以收纳容器的开口向着横向的姿势来保持收纳容器，而由于基板出入方向为横向，因此缩小了行走保持体在横向的尺寸，从而能够缩小行走保持体的行走路线的横向宽度。
作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述防跳出机构具有一对所述接触体和移动操作机构，所述一对接触体相对于所述收纳容器中收纳的基板上与基板出入方向正交的宽度方向的中央部而位于其两侧，所述移动操作机构使所述一对接触体沿所述宽度方向相互接近而移动到所述接触位置，并使所述一对接触体沿所述宽度方向相互远离而移动到所述脱离位置。
采用上述结构，通过使一对接触体相对于基板上的宽度方向的中央部而位于其两侧，能够在接触体与基板在宽度方向十分平衡地进行接触的状态下防止基板跳出。
另外，由于是使一对接触体沿宽度方向作相互远离或接近的移动，从而使一对接触体的位置移动到接触位置和脱离位置，因此接触体不仅在接触位置上而且在脱离位置上也是位于开口侧端部与中央部之间，因此即使在接触体移动到脱离位置的状态下也能容易地缩小搬运装置在基板出入方向上的尺寸。
作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述行走保持体具有保持部和行走自如的行走部，所述保持部保持所述收纳容器，所述行走部支撑所述保持部且使之自由升降，通过所述行走部的行走和所述升降部的升降来将所述收纳容器搬运到容器搬运目标部位，所述防跳出机构受所述保持部支撑。
采用上述结构，通过将防跳出机构支撑在保持部上，能够在保持部作升降移动时使防跳出机构也一体地作升降移动，因此能够在接触体移动到接触位置的状态下使保持部作升降移动，且能够在保持部作升降移动时防止基板从收纳容器跳出。
作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述行走保持体具有保持部和行走自如的行走部，所述保持部保持所述收纳容器，所述行走部支撑所述保持部且使之自由升降，通过所述行走部的行走和所述升降部的升降来将所述收纳容器搬运到容器搬运目标部位，所述防跳出机构受所述保持部支撑，并且所述接触体能够在所述保持部升降移动到行走用位置的状态下移动到所述接触位置和所述脱离位置。
采用上述结构，通过在使保持部升降移动到行走用位置且接触体移动到接触位置的状态下使行走部行走，能够在行走部行走时防止基板从收纳容器跳出。
而且，通过在使接触部移动到脱离位置的状态下使保持部作升降移动，能够在接触部不干扰收纳容器中收纳的基板的前提下使保持部作升降移动，能够在使保持部作升降移动时防止防跳出机构干扰收纳容器中收纳的基板。
作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是作为所述收纳容器的搬运目的地的容器搬运目标部位与对基板进行处理的处理装置相邻设置，且所述行走保持体以所述开口向着所述处理装置一侧的姿势来保持所述收纳容器。
采用上述结构，通过将保持在行走保持体上的收纳容器搬运到容器搬运目标部位，由于收纳容器的开口向着处理装置一侧，因此便于基板在收纳容器与处理装置之间移载。
譬如，当将防跳出机构支撑在保持部上时，通过使接触体位于基板的开口侧端部的内侧，就无须在位于容器搬运目标部位的收纳容器与处理装置之间留出供接触体插入的空间。另外，在将防跳出机构支撑在行走部上时，由于保持部是在防跳出机构还留在行走部的状态下作升降移动的，因此无须在位于容器搬运目标部位的收纳容器与处理装置之间留出供接触体插入的空间。
由于无须在位于容器搬运目标部位的收纳容器与处理装置之间留出供接触体插入的空间，能够相应地使容器搬运目标部位接近处理装置，因此位于容器搬运目标部位的收纳容器与处理装置之间的距离拉近，便于在收纳容器与处理装置之间移载基板。
作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述防跳出机构上用于对所述接触体进行移动操作的移动操作机构具有使所述接触体移动到所述接触位置和所述脱离位置的促动器。
采用上述结构，由于移动操作机构具有使接触体移动到接触位置和脱离位置的促动器，因此能够利用该促动器的动作来使接触体在任意的时刻移动到接触位置和脱离位置。
从而，譬如在将防跳出机构支撑在保持部上时，通过在保持部升降的过程中使防跳出机构移动到接触位置和脱离位置，在将收纳容器下降到容器搬运目标部位或从容器搬运目标部位上升时能够防止基板与接触体之间碰擦。另外，在将防跳出机构支撑在行走部上时，通过在保持部从行走用位置作升降移动之前使防跳出机构从接触位置移动到脱离位置，能够防止在使保持部作升降移动时基板与接触体之间发生碰擦。
附图说明
图1是表示本发明实施例的顶棚搬运车及处理装置的立体图。
图2是本发明实施例的顶棚搬运车的主视图。
图3是本发明实施例的顶棚搬运车的侧视图。
图4是表示本发明实施例的收纳容器和接触体的俯视图。
图5是表示本发明实施例的位于容器搬运目标部位的收纳容器的主视图。
图6是本发明实施例的控制方框图。
图7是本发明又一实施例(1)的顶棚搬运车的侧视图。
图8是本发明又一实施例(3)的顶棚搬运车的主视图。
符号说明
1  行走轨道
2  容器搬运目标部位
4  收缩容器
5  基板
6  开口
8  行走保持体
9  防跳出机构
10  保持部
11  行走部
26  接触体
27  促动器(移动操作机构)
D  基板出入方向
W  宽度方向
具体实施方式
以下基于附图说明本发明的实施例。
如图1所示，作为搬运装置的顶棚搬运车A以受设置在顶棚上的行走轨道1引导并支撑的状态设置多个，且沿着经由容器搬运目标部位2的上方的行走路线3而行走，从而搬运收纳基板5的收纳容器4。容器搬运目标部位2是收纳容器4的搬运目的地，与对从收纳容器4取出的基板5进行处理的处理装置B对应地设置。在本例中，容器搬运目标部位2在与行走方向(沿着行走路线3的方向)正交的宽度方向(路线宽度方向)上与处理装置B相邻设置。
如图2～图4所示，由顶棚搬运车A搬运的收纳容器4构成为敞开盒(Open Cassette)式，用于收纳沿上下方向层叠的晶片等圆板形基板5，并且在侧面形成供基板出入用的开口6。
更具体地说，收纳容器4具有直径比基板5大(本例中是稍大)的底板4b及顶板4c，由侧壁4d将这些底板4b与顶板4c加以连结，且在前侧的侧面形成供基板出入用的开口6。并且在收纳容器4中，收纳(或曰收容)受侧壁4d支撑且沿上下方向层叠的基板5，并且基板5通过开口6而出入。顺便说一句，侧壁4d位于从所收纳的基板5的侧方一直到后方的位置上，由该侧壁4d来防止基板5从后侧面跳出。另外，收纳容器4上不设关闭开口6的盖子。
在顶棚搬运车A上设有能够在保持着收纳容器4的状态下行走的行走保持体8、以及防止基板5从由行走保持体8保持的收纳容器4的开口6跳出的防跳出机构9。
行走保持体8具有保持收纳容器4的保持部10、以及支撑该保持部10且使之自由升降的能够自由行走的行走部11，通过行走部11的行走以及保持部10的升降而能够将收纳容器4搬运到容器搬运目标部位2。
如图1所示，行走保持体8以开口6向着与行走方向交叉(本例中是正交)的横向的姿势来保持收纳容器4，在行走保持体8位于容器搬运目标部位2的正上方的状态下，以开口6向着处理装置B一侧的姿势来保持收纳容器4。
由于这样在行走保持体8上以开口6向着横向的姿势来保持收纳容器4，基板5的基板出入方向D就成为同与行走保持体8的行走方向正交的横向相同的方向，而与基板出入方向D正交的宽度方向W就成为与行走保持体8的行走方向相同的方向。
如图2所示，在行走部11的上部设有受行走用马达14的旋转驱动而在行走轨道1的上面滚动的驱动轮15、以及与行走轨道1的侧面抵接的自由旋转的引导轮16。通过用行走用马达14来驱动驱动轮15旋转，并且引导轮16与行走轨道1接触而受引导，使行走部11受行走轨道1的引导而沿着行走路线3行走。
在行走部11的上下方向中间部设有受电线圈12，在沿着行走路线3配设的馈电线13中通交流电而产生磁场，利用该磁场产生顶棚搬运车A所需的电力并在非接触状态下对顶棚搬运车A馈电。
如图3所示，设在行走部11的下部的盖体17由沿着行走方向延伸的上盖部17a和从该上盖部17a在行走方向上的两端向下方延伸的一对前后盖部17b形成为横向侧视呈下方开口的コ字形(U字形)。上盖部17a及一对前后盖部17b分别如图2所示，其横向的宽度比收纳容器4的横向宽度大，被保持部10保持的收纳容器4不会在横向(基板出入方向D)上从盖体17伸出。
另外，在行走部11的下部设有旋转筒20，用于卷绕金属绳18并且受升降用马达19的旋转驱动，在其金属绳18的下端连结着保持部10。并且，通过用升降用马达19驱动旋转筒20而使之旋转，使吊在行走部11上而受到支撑的保持部10升降移动到位于行走部11附近的行走用位置(本例中位于被盖体17围住的空间内，参照图2及图3)和位于行走用位置下方的移载用位置以向容器搬运目标部位2交接收纳容器4(参照图5(a))。
如图2及图3所示，在保持部10设有与金属绳18的下端连结的本体部22和受抓持用马达23驱动的抓持部23。在本例中，抓持部由受抓持用马达23驱动而摆动的一对抓持爪24构成。一对抓持爪24以从本体部22向下方突出且在行走方向(宽度方向W)上并排的状态支撑在本体部22上，可围绕沿着横向(基板出入方向D)延伸的轴心自由摆动。
另外，虽省略了图示，但通过用抓持用马达23来驱动一对抓持爪24摆动，能够在抓持姿势与解除抓持姿势之间进行切换，抓持姿势是使一对抓持爪24相互接近而抓持设置在收纳容器4的顶板4c上面的凸缘部4a，抓持解除姿势是使一对抓持爪24相互脱离而解除对于收纳容器4的抓持。
如图2所示，本体部22的横向宽度比盖体17的横向宽度小，抓持爪24的横向宽度比本体部22的横向宽度小。另外，本体部22的横向及行走方向(参照图3)的宽度与收纳容器4的横向及行走方向的宽度相同。
在本实施例中，防跳出机构9支撑在保持部10上。该防跳出机构9具有能够移动到接触位置(图4中用实线所示的位置)和脱离位置(图4中用虚线所示的位置)的接触体26，在接触位置上，接触体26与被行走保持体8上的保持部10保持的收纳容器4中收纳的基板5的侧面接触，在脱离位置上，接触体26沿水平方向脱离基板5的侧面。
以下进一步说明防跳出机构9，如图3及图4所示，设有一对接触体26，该一对接触体26相对于收纳在收纳容器4中的基板5上行走方向(宽度方向W)的中央部而位于其两侧，并且设有作为移动操作机构的气缸装置27，该气缸装置27用于使一对接触体26沿行走方向相互接近而移动到接触位置，并使一对接触体26沿行走方向相互远离而移动到脱离位置。该气缸装置27相当于使接触体26移动到接触位置和脱离位置的促动器。
气缸装置27从气缸本体27a的长度方向两端分别伸出连结杆27b，在该一对连结杆27b上分别连结着接触体26，使一对连结杆27b相对于气缸本体27a而出现和退出，从而使一对接触体26作相互接近和远离的移动。
如图3所示，气缸装置27设置成在本体部22的下面侧沿着行走方向延伸的姿势。气缸装置27在长度方向的长度比本体部22在行走方向的宽度短，气缸装置27不会在行走方向(宽度方向W)从本体部22突出。如图1及图4所示，气缸装置27位于本体部22上横向的开口侧端部与抓持爪24之间，从而不会在横向(基板出入方向D)从本体部22伸出。
如图2～图4所示，气缸装置27上的一对连结杆27b分别从气缸本体27a向行走方向的外侧延伸，并形成为从其前端起延伸到有基板5存在的内侧(与开口侧相反的一侧)的形状，接触体26与连结杆27b的延伸到内侧的部分的下端连结。
如图4所示，接触体26由杆状轴心部26a和接触部26b构成，轴心部26a用硬度高的硬质树脂材料构成，接触部26b用硬度比该轴心部26a低的软质树脂材料构成并覆盖轴心部26a的侧面周围，连结杆27b与轴心部26a连结，接触部26b与基板5的侧面接触。
并且，接触体26的接触位置在横向(基板出入方向D)上被设定于收纳容器4中收纳的基板5上的横向的开口侧端部与中央部之间，且在行走方向(宽度方向W)上被设定于收纳容器4中收纳的基板5上的行走方向的端部与中央部之间。
另外，接触体26的脱离位置在横向(基板出入方向D)上被设定于收纳容器4中收纳的基板5上的横向的开口侧端部与中央部之间。在本例中，接触体26的脱离位置在行走方向(宽度方向W)上被设定于与收纳容器4中收纳的基板5上的行走方向的端部相同的位置上。
即，接触体26在横向上位于基板5上的横向的开口侧端部与中央部之间，并且通过沿着行走方向而在基板5上的行走方向的端部与中央部之间的部分移动，来移动到接触位置和脱离位置。不过，也可以将接触体26的脱离位置在行走方向上设定在收纳容器4中收纳的基板5上的行走方向的端部的外侧(与基板5上的中央部相反的一侧)。
接触部26b在上下方向的长度比收纳容器4中以层叠状态收纳的最上层的基板5与最下层的基板5之间的间隔长，且比底板4b与顶板4c之间的间隔短。另外，接触部26b比轴心部26a粗。
从而，在接触体26移动到接触位置的状态下，轴心部26a移动到顶板4c的附近，接触部26b从开口6进入收纳容器内，从而接触部26b与收纳容器4中收纳的全部基板5接触。
另外，在接触体26移动到脱离位置的状态下，轴心部26a脱离顶板4c，接触部26b全部从开口6退出到收纳容器外。
如图6所示，设有对行走保持体8以及防跳出机构9的动作进行控制的控制单元H(控制装置)。控制单元H由CPU、存储器、通信单元等构成，在存储器中存储了实施本说明书中记载的功能的算法。
在接受位于容器搬运目标部位2的收纳容器4时，控制单元H在使未保持收纳容器4的行走保持部8行走到与容器搬运目标部位2对应的停止位置后，使保持部10下降到移载用位置，且将抓持爪24切换成抓持姿势，以便抓持位于容器搬运目标部位2的收纳容器4，然后控制行走保持体8的动作，以使保持部10上升到行走用位置。另外，控制单元H在使保持部10上升到行走用位置之前(譬如即将到达该位置之时)或上升过程中对防跳出机构9的动作进行控制，以使接触体26从脱离位置移动到接触位置。即，控制单元H在保持部10位于行走用位置下方的状态下使接触体26从脱离位置移动到接触位置。
另外，在向容器搬运目标部位2交接收纳容器4时，控制单元H在使保持收纳容器4的行走保持部8行走到与容器搬运目标部位2对应的停止位置后，使保持部10下降到移载用位置，且将抓持爪24切换成解除抓持姿势，以便使收纳容器4下降到容器搬运目标部位2，然后控制行走保持体8的动作，以使保持部10上升到行走用位置。另外，控制单元H在使保持部10下降到移载用位置的过程中或下降完毕后(譬如刚刚完毕后)，对防跳出机构9的动作进行控制，以使接触体26从接触位置移动到脱离位置。即，控制单元H在保持部10位于行走用位置下方的状态下使接触体26从接触位置移动到脱离位置。
这样，通过将接触体26的接触位置和脱离位置在横向上设定成使接触体26(具体是全部接触体26)位于收纳容器4中收纳的基板5上的横向的开口侧端部与中央部之间，使接触体26在横向上不位于比基板5的开口侧端部更靠近开口(外侧)的位置。从而，容易缩小顶棚搬运车A在横向(基板出入方向D)的宽度，并且能够在使收纳容器4下降到容器搬运目标部位2时使收纳容器4下降到处理装置B的附近，容易在收纳容器4与处理装置B之间移载基板5。
[其它实施例]
(1)以上实施例是将防跳出机构9支撑在保持部10上，但也可将防跳出机构9支撑在行走部11上。
具体如图7所示，可以在盖体17的一对前后盖部17b上分别设置气缸装置27，且将接触体26与该气缸装置27连结，以利用气缸装置27的伸缩动作来使一对接触体26相互接近或脱离，从而移动到接触位置或避让位置。
(2)在上述实施例中，是在保持部10位于行走用位置下方的状态下使接触体26移动到接触位置和脱离位置，但也可以在保持部10位于行走用位置的状态下使接触体26移动到接触位置和脱离位置。
具体是，譬如在使保持收纳容器4的行走保持体8行走到与容器搬运目标部位2对应的停止位置后，在保持部10向移载用位置的下降开始之前，用控制单元H来控制防跳出机构9的动作，以使接触体26从接触位置移动到脱离位置。另外，也可以是在使保持收纳容器4的保持部10上升到行走用位置后，在行走保持体8的行走开始之前，用控制单元H来控制防跳出机构9的动作，以使接触体26从脱离位置移动到接触位置。
(3)上述实施例中，顶棚搬运车A为敞开盒专用，但亦可如图8所示，通过在搬运FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式统一协定容器)30用的FOUP用顶棚搬运车A上设置防跳出机构9，来构成能够搬运敞开盒的顶棚搬运车A。
(4)在上述实施例中，是使行走保持体8以开口6向着横向的姿势来保持收纳容器4，但也可以是使行走保持体8以开口6向着行走方向的姿势来保持收纳容器4。
(5)在上述实施例中，防跳出机构9设有一对接触体26，该一对接触体26相对于基板5的宽度方向W的中央部而位于其两侧，但防跳出机构9也可以只设置1个接触体26，该接触体26相对于基板5的宽度方向W的中央部而位于其一侧。
(6)在上述实施例中，是使接触体26沿宽度方向W移动到接触位置和脱离位置，但也可以使接触体26沿与宽度方向W交叉的方向(譬如基板出入方向D)移动到接触位置和脱离位置。当采用使接触体26沿基板出入方向D移动的结构时，如果设有一对接触体26，则是使一对接触体26都沿基板出入方向D移动，这样，该一对接触体26就无须通过相互接近或脱离来移动到接触位置和脱离位置。
(7)在上述实施例中，防跳出机构9具有使接触体26移动到接触位置和脱离位置的促动器，但防跳出机构9亦可不设促动器。具体是，防跳出机构9可以具有受设置在容器搬运目标部位2的操作部件操作的被操作体以及将该被操作体和接触体26加以连结的连结机构(连杆机构)。此时，譬如将操作部件设置在容器搬运目标部位2的附近，同时伴随着保持部10的下降而对被操作体进行推压，且伴随着保持部10的上升而解除对被操作体的推压，并且用连结机构使被操作体与接触体26连动，从而在被操作体被推压时使接触体26从接触位置移动到脱离位置，而在解除对被操作体的推压时使接触体26从脱离位置移动到接触位置。
另外，还可以将使接触体26移动到接触位置和脱离位置的促动器(气缸装置27)与使抓持爪24在抓持姿势与解除抓持姿势之间进行姿势变更的促动器(抓持用马达23)兼用，由此无需设置使接触体26移动的专用促动器。
具体是，譬如通过将接触体26安装在抓持爪24上等将接触体26与抓持爪24连结，在用抓持用马达23使抓持爪24在抓持姿势与解除抓持姿势之间变更姿势时，接触体26连动地移动到接触位置和脱离位置，从而在抓持爪24为抓持姿势时接触体26位于接触位置，在抓持爪24为解除抓持姿势时接触体26位于脱离位置。
(8)在上述实施例中，是将行走保持体8做成受设置在顶棚上的行走轨道1引导并支撑而行走于顶棚附近的顶棚行走式结构，但也可以将行走保持体8做成在地面上自动行走的地面行走式结构、或受设在地面上的轨道引导而在地面上行走的地面行走式结构、或受设在地面上的轨道引导并支撑而在轨道上行走的地面行走式结构。
(9)在上述实施例中，是将移载用位置设定于行走用位置的下方，并且使保持部10从行走部11附近的行走用位置下降到移载用位置，但也可以将移载用位置设定于行走用位置的上方，并且使保持部10从行走部11附近的行走用位置上升到移载用位置。另外，也可以将移载用位置设定于行走用位置的横侧方，并且使保持部10从行走部11附近的行走用位置向横侧方移动到移载用位置。也可以将保持部10支撑在行走部11上而处于不能移动的状态，并且用设于容器搬运目标部位2附近的容器移载装置在保持部10与容器搬运目标部位2之间移载收纳容器4。

Claims (7)

1.一种搬运装置，具有：
行走保持体，所述行走保持体能够保持着收纳容器而行走，所述收纳容器中收纳沿上下方向层叠的圆板形基板，且在侧面形成供基板出入用的开口；
防跳出机构，所述防跳出机构用于防止基板从保持在所述行走保持体上的所述收纳容器的所述开口跳出，
所述防跳出机构具有接触体，该接触体能够移动到与保持在所述行走保持体上的所述收纳容器中收纳的基板的侧面接触的接触位置和脱离基板的侧面的脱离位置，
所述接触位置设定为：所述接触体在基板出入方向上位于所述收纳容器中收纳的基板的开口侧端部与中央部之间。
2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
所述行走保持体以所述开口向着与行走方向交叉的横向的姿势来保持所述收纳容器。
3.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
所述防跳出机构具有：一对所述接触体，所述一对接触体相对于所述收纳容器中收纳的基板上与基板出入方向正交的宽度方向的中央部而位于其两侧；移动操作机构，所述移动操作机构使所述一对接触体沿所述宽度方向相互接近而移动到所述接触位置，并使所述一对接触体沿所述宽度方向相互远离而移动到所述脱离位置。
4.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
所述行走保持体具有：保持部，所述保持部保持所述收纳容器；行走自如的行走部，所述行走部支撑所述保持部且使之自由升降，通过所述行走部的行走和所述升降部的升降来将所述收纳容器搬运到容器搬运目标部位，
所述防跳出机构受所述保持部支撑。
5.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
所述行走保持体具有：保持部，所述保持部保持所述收纳容器；行走自如的行走部，所述行走部支撑所述保持部且使之自由升降，通过所述行走部的行走和所述升降部的升降来将所述收纳容器搬运到容器搬运目标部位，
所述防跳出机构受所述行走部支撑，
所述接触体能够在所述保持部升降移动到行走用位置的状态下移动到所述接触位置和所述脱离位置。
6.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
作为所述收纳容器的搬运目的地的容器搬运目标部位与对基板进行处理的处理装置相邻设置，
所述行走保持体以所述开口向着所述处理装置一侧的姿势来保持所述收纳容器。
7.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，
所述防跳出机构上用于对所述接触体进行移动操作的移动操作机构具有使所述接触体移动到所述接触位置和所述脱离位置的促动器。
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