JP2005327927A - 半導体ウエーハの搬送容器及び搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体ウエーハを搬送する際、容器内に収納されているウエーハの飛び出しを確実に防ぐとともに、ウエーハを処理する際にはウエーハを容易に出し入れすることができる半導体ウエーハの搬送容器及び搬送方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハを収納して装置間を搬送するための容器であって、少なくとも、前面にウエーハを出し入れするための開口部９と、内側の左右の側面にウエーハの周辺部を支持するための棚状の支持部６とを有する容器本体５と、該容器本体の前記開口部の左右にそれぞれ設けられた開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材２とを具備し、該ウエーハ脱落防止部材２を閉じることにより前記開口部を塞いで容器に収納されているウエーハが飛び出すことを防ぎ、該ウエーハ脱落防止部材を開くことにより前記容器本体の開口部からウエーハを出し入れすることができるものであることを特徴とする半導体ウエーハの搬送容器１。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体ウエーハの製造工程において、ウエーハを収納して搬送を行うための搬送容器及びそれを用いた半導体ウエーハの搬送方法に関する。

シリコンウエーハを製造する場合、シリコン単結晶インゴットをスライスして得たウエーハは、その後、ラッピング、面取り、エッチング、研磨等により加工され、さらに検査、保管等の各工程を経て出荷される。これらの各工程においてウエーハを処理する場合、一般的に、所定の枚数のウエーハを専用の容器に収納して搬送される。
例えば、直径３００ｍｍのシリコンウエーハを製造する場合、搬送容器として、一般的にオープンカセットと呼ばれる容器が使用されている。標準仕様として、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格Ｅ１．９により寸法等が規定されており、通常はこの規定に従った容器が用いられる。

図６は、規格に従ったオープンカセットの一例を示している。この容器３１は、容器本体３５の前面が開放されており、ウエーハが出し入れされる開口部３９が形成されている。また、容器３１の内側の側面には、ウエーハの周辺部を支持するための支持部３６が棚状に形成されている。このような容器３１を用いれば、所定の数のウエーハを容器内に水平に収納して搬送することができ、ウエーハを処理する際には、開口部３９からウエーハを自由に出し入れすることができる。容器３１の上部両側にはロボットによるハンドリングのための係合部（ロボティックハンドリングフランジ）３４が設けられている。また、容器３１の上面にロボットによる把持部が設けられている場合もある。さらに、このようなオープンカセット３１はパーティクル等がウエーハに付着するのを防ぐため、ボックスに入れて搬送される場合もある。

半導体ウエーハの搬送容器としては、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と呼ばれる密閉型の容器が使用される場合もある。ＦＯＵＰは容器本体とボックスとが一体化されており、ウエーハを装置に投入する際は前面のドアを開いてウエーハの出し入れが行われる。

近年ではウエーハの大口径化が進み、特に直径が３００ｍｍにもなるシリコンウエーハを容器に収容する場合、容器自体かなり大きく、高重量になるので、作業者が各製造工程間で移動させたり、装置のステージ上に載置することが極めて困難になっている。
そのため、ウエーハを収納した搬送容器は、ＡＧＶ（Ａｕｔｏ Ｇｕｉｄｅｄ Ｖｅｈｉｃｌｅ）、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）などの自動搬送機により搬送され、各装置又は装置の近傍に設置されたステージ上に載置されるようになっている（特許文献１及び２参照）。なお、ＳＥＭＩ規格Ｅ５７では、位置決め機構として、搬送容器の底部に所定の形状の凹部を３箇所に設け、ステージには容器の凹部に対応した凸部を設けることが規定されている。ＯＨＴ等により搬送された搬送容器は、このような位置決め機構によりステージ上の所定の位置に載置されることになる。

次いで、移載ロボットにより容器内からウエーハが取り出され、装置に投入される。そして、装置によりウエーハが処理された後、移載ロボットにより再び容器に収納され、自動搬送機により次の装置（工程）に搬送されることになる。なお、装置により処理されたウエーハは他の容器に収納されて搬送される場合もある。

このようにウエーハをカセットに収納して搬送し、処理を行う場合、カセットが傾いたり揺れたりすると、カセット内のウエーハの位置がずれたり、飛び出してしまう場合がある。カセット内での位置がずれると、移載ロボットによるハンドリングに支障をきたし、また、ウエーハが容器から飛び出して落下した場合には、ウエーハの割れや欠けが生じて廃棄せざるを得なくなる。

このようなウエーハの飛び出し等を防ぐため、ステージ上に位置決め機構の凸部とは別に、カセットの傾きを防止するための突起を設けることが提案されている（特許文献３参照）。
しかし、ステージ上に上記のような突起を設けて容器の傾きを防止しても、ＯＨＴ等による搬送中にカセットが傾いたり、振動することにより、カセットに収納されているウエーハが飛び出したり、滑り落ちたりする問題がある。

そこで搬送中のウエーハの落下等を防ぐため、カセットの開口部を上に向け、ウエーハを垂直にした状態で搬送する方法がある。この場合、カセットをステージに載置するときはウエーハを水平にするため、カセットの向きを変えるハンドリング機構を設ける必要がある。しかしこのようなハンドリング機構を設けて搬送容器の向きを頻繁に変えるとなると、装置コストの上昇やスループットの低下を招くことになるし、容器の向きを変えるときにウエーハが飛び出したりする問題が生じる。

また、ＳＥＭＩ規格Ｅ１．９では、オプションとして、図７に示したようにウエーハＷを支持する各支持部３６に段差（ストッパー）３７を設けてウエーハＷの移動を抑制することが提案されている。
しかし、各支持部３６にこのような段差３７を設けるとウエーハＷの出し入れの際に妨げとなり、やはりスループットの低下を招くという問題がある。

特開平１１−１８６３７３号公報 特開２０００−１８８３１６号公報 特開２０００−２２３５５２号公報

本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、半導体ウエーハを搬送する際、容器内に収納されているウエーハの飛び出しを確実に防ぐとともに、ウエーハを処理する際にはウエーハを容易に出し入れすることができる半導体ウエーハの搬送容器及び搬送方法を提供することを主な目的とする。

本発明によれば、半導体ウエーハを収納して装置間を搬送するための容器であって、少なくとも、前面にウエーハを出し入れするための開口部と、内側の左右の側面にウエーハの周辺部を支持するための棚状の支持部とを有する容器本体と、該容器本体の前記開口部の左右にそれぞれ設けられた開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材とを具備し、該ウエーハ脱落防止部材を閉じることにより前記開口部を塞いで容器に収納されているウエーハが飛び出すことを防ぎ、該ウエーハ脱落防止部材を開くことにより前記容器本体の開口部からウエーハを出し入れすることができるものであることを特徴とする半導体ウエーハの搬送容器が提供される（請求項１）。

このような開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材を設けた半導体ウエーハの搬送容器とすれば、半導体ウエーハを搬送する際、ウエーハ脱落防止部材を閉じることにより容器内に収納されているウエーハが飛び出したり、滑り落ちたりすることを確実に防ぐことができる。また、ウエーハを処理する際は、各ウエーハ脱落防止部材をそれぞれ左右に開けば容器内のウエーハを容易に出し入れすることができる。

前記ウエーハ脱落防止部材に連結し、前記容器本体の外側に突出した開閉補助手段が設けられており、該開閉補助手段の揺動により前記ウエーハ脱落防止部材の開閉を行うことができるものであることが好ましい（請求項２）。
このようにウエーハ脱落防止部材に連結した開閉補助手段を設ければ、開閉補助手段によりウエーハ脱落防止部材の開閉を一層容易に行うことができる。

前記ウエーハ脱落防止部材の開閉が、バネ機構により行われるものであることが好ましい（請求項３）。
このようなバネ機構を設ければ、ウエーハ脱落防止部材の動きがバネによって適度に抑制され、ウエーハ脱落防止部材の開閉状態を適切に維持することができる。

この場合、前記開閉補助手段が、前記ウエーハ脱落防止部材の下端部に設けられていることが好ましい（請求項４）。
開閉補助手段がウエーハ脱落防止部材の下端部に設けられていれば、移載ロボットによるウエーハのハンドリングに邪魔になることもなく、また、後述するように、搬送容器を載置するステージに設けたブロック等によりウエーハ脱落防止部材の開閉を一層容易に行うことができる。

前記容器は、直径３００ｍｍ以上の半導体ウエーハを収納して搬送するものとすることができる（請求項５）。
近年、直径３００ｍｍの大口径シリコンウエーハが量産されており、このような大口径のウエーハを収納して搬送するものとすれば、特に有効となる。

前記ウエーハ脱落防止部材の開閉を自動で行うためのモータが設けられているものとすることもできる（請求項６）。
このようにモータによってウエーハ脱落防止部材の開閉を自動で行うものとすれば、搬送中のウエーハの飛び出し等を防ぐほか、通常のステージでもウエーハ脱落防止部材の開閉を自在に行うことができる。

さらに本発明によれば、容器に収納した半導体ウエーハを装置間で搬送する方法であって、
前記ウエーハを収納する容器として、前記ウエーハ脱落防止部材の開閉補助手段が設けられた搬送容器を用い、
前記装置のステージとして、前記容器のウエーハ脱落防止部材を開くためのブロックと、閉じるためのピンをそれぞれ設けたステージを用い、
前記容器を前記ステージに対して前進させながら前記開閉補助手段を前記ブロックに押し当てることにより前記ウエーハ脱落防止部材を開き、
該ウエーハ脱落防止部材が開いた状態で容器内のウエーハを取り出し、
該ウエーハを前記装置に投入して処理を行い、
処理後のウエーハを前記容器に収納し、
収納後、前記容器をステージに対して後退させながら前記開閉補助手段に前記ピンを後方から押し当てることによりウエーハ脱落防止部材を閉じ、
該容器を次の装置に搬送することを特徴とする半導体ウエーハの搬送方法が提供される（請求項７）。

このように本発明に係る搬送容器を用いて半導体ウエーハの搬送を行えば、容器の開口部の向きを変えるための特別な機構を設ける必要はなく、容器を水平の状態として容器の開口部を自動的に開閉してウエーハの出し入れをし、処理後のウエーハを迅速かつ安全に搬送を行うことができる。従って、装置コストを低く抑えるとともに、スループットを向上させることができる。

また、容器に収納した半導体ウエーハを装置間で搬送する方法であって、
前記ウエーハを収納する容器として、前記ウエーハ脱落防止部材の開閉補助手段が設けられた搬送容器を用い、
前記装置のステージとして、該ステージ上で移動して前記容器のウエーハ脱落防止部材を開くためのブロックと、閉じるためのピンをそれぞれ設けたステージを用い、
該ステージに載置した前記容器の開閉補助手段に対し、前記ブロックを移動させて前方から押し当てることにより前記ウエーハ脱落防止部材を開き、
該ウエーハ脱落防止部材が開いた状態で容器内のウエーハを取り出し、
該ウエーハを前記装置に投入して処理を行い、
処理後のウエーハを前記容器に収納し、
収納後、前記容器の開閉補助手段に対し、前記ピンを移動させて後方から押し当てることによりウエーハ脱落防止部材を閉じ、
該容器を次の装置に搬送することを特徴とする半導体ウエーハの搬送方法が提供される（請求項８）。

このようにステージ上のブロック及びピンを移動させることにより、容器のウエーハ脱落防止部材の開閉を容易に行うこともできる。従って、この場合も、ウエーハを迅速かつ安全に搬送することができ、装置コストを低く抑えるとともに、スループットを向上させることができる。

また、容器に収納した半導体ウエーハを装置間で搬送する方法であって、
前記ウエーハを収納する容器として、前記ウエーハ脱落防止部材の開閉を自動で行うモータが設けられた搬送容器を用い、
前記ウエーハ脱落防止部材をモータにより自動的に開き、
該ウエーハ脱落防止部材が開いた状態で容器内のウエーハを取り出し、
該ウエーハを前記装置に投入して処理を行い、
処理後のウエーハを前記容器に収納し、
収納後、前記ウエーハ脱落防止部材をモータにより自動的に閉じ、
該容器を次の装置に搬送することを特徴とする半導体ウエーハの搬送方法が提供される（請求項９）。

このようにウエーハ脱落防止部材の開閉を自動で行うモータが設けられた搬送容器を用いて半導体ウエーハの搬送を行えば、モータによるウエーハ脱落防止部材の開閉制御により、搬送時のウエーハの飛び出し等を確実に防ぐことができる。従って、迅速かつ安全に搬送を行うことができ、スループットを向上させることができる。また、ステージ等も通常のものを用いることができ、容器の向きを変える機構等も必要がなく、装置コストを低く抑えることができる。

本発明に係る半導体ウエーハの搬送容器は、容器本体の開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材が設けられており、搬送の際、容器内に収納されているウエーハが飛び出したり、滑り落ちたりすることを確実に防ぐことができる。従って、搬送時と処理時とで搬送容器の開口部の向きを変えるための特別なハンドリング機構を設ける必要はなく、ウエーハを水平の状態にしたまま迅速かつ安全に搬送を行うことができる。これにより、装置コストを低く抑えることができるとともに、スループットを向上させることができる。

以下、本発明について、添付の図面に基づいて具体的に説明する。
図１は、本発明に係る半導体ウエーハの搬送容器の一例を示している。この搬送容器１は、規格に従い容器本体５の前面にウエーハを出し入れするための開口部９が設けられており、また、内側の左右の側面にはウエーハの周辺部を支持するための棚状の支持部６が設けられている。

容器本体５の開口部９の左右には、ウエーハの飛び出しを防止するため、ウエーハ脱落防止部材としてシャフト２がそれぞれ設けらている。各シャフト２の両端には板状の連結部３，７が設けられており、連結部３，７はそれぞれピン４を軸として揺動（旋回）できるように本体５に連結されている。さらに、各シャフト２の下端部には、開閉補助手段として容器本体５の外側に突出した爪部８が形成されている。各シャフト２は開閉補助手段８の揺動（旋回）に連動し、連結ピン４を軸として開口部９に対して自在に開閉することができるようになっている。
このような搬送容器１は、図１に示したように両側のシャフト２を閉じた状態とすれば、シャフト２が開口部９の両側（支持部６の前面側）を塞ぐとともに、容器内のウエーハを押さえて飛び出し等を確実に防ぐことができる。一方、シャフト２を横に旋回させて開けば、容器本体５の開口部９からウエーハを支障なく出し入れすることができる。
なお、容器本体５、シャフト２、開閉補助手段８の材質は、ウエーハに対する金属汚染やパーティクルの発生原因とならないものとし、例えばポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル重合体（ＰＦＡ）などを好適に用いることができる。

図２（Ａ）（Ｂ）は、本発明に係る半導体ウエーハの搬送容器の他の例を示している。Ａは平面図、Ｂは側面図である。この容器１１は、基本的には図１の容器１と同様に容器本体１５の開口部１９の左右にそれぞれシャフト１２が設けられている。各シャフト１２の上下両端部には、それぞれ本体１５と連結するためのプレート（アッパースイングプレート１３、アンダースイングプレート１７）がネジ止めされている。さらに、これらのプレート１３，１７はピン１４ａ，１４ｂによって容器本体１５にも連結されており、ピン１４ａ，１４ｂを軸として揺動可能となっている。アンダースイングプレート１７は、容器本体１５の外側に突出した突出部を有し、開閉補助手段として機能する。従って、各シャフト１２は、これらのプレート１３，１７の揺動により容器本体１５の開口部１９に対して開閉可能となっている。
なお、容器本体１５の上面中央にはロボットによる把持部１６が設けられている。

また、この容器１１ではアッパースイングプレート１３と容器本体１５とを連結するバネ１８が水平方向に設けられている。このようなバネ機構１８を設けることによりシャフト１２の開閉が適度に抑制され、シャフト１２の開閉状態を維持し易くなる。従って、シャフト１２が不意に開いたり、閉じたりすることを確実に防ぐことができる。
なお、このようなバネ機構は先の図１には示されていないが、図１の搬送容器１にも同様のバネ機構を設けることができる。

次に、本発明に係る搬送容器を用いてシリコンウエーハを搬送する方法について詳しく説明する。
まず、図３に示すように、所定の枚数のシリコンウエーハ（直径３００ｍｍ）を収納した搬送容器１１がＯＨＴ２１により搬送され、ウエーハの処理を行う装置３０のステージ２４上に載置される。
図４は、ステージ２４上に載置された搬送容器１１を示している。搬送容器１１とステージ２４は、規格に従った位置決め機構としてそれぞれ設けられた凹部２７と凸部２８により位置決めされている。また、ステージ２４には搬送容器１１のシャフト１２を開くためのブロック２５と、閉じるためのピン２６がそれぞれ一対ずつ所定の位置に設けられている。

搬送容器１１をステージ２４上に載置した後、ステージ２４に対して前進させながら開閉補助手段（アンダースイングプレートの突出部）をブロック２５に押し当てる。これによりアッパースイングプレート１３とアンダースイングプレート１７とが連結ピン１４ａ，１４ｂを軸として外側に旋回し、これに連動して各シャフト１２は開口部１９に対して左右に開くことになる。なお、搬送容器１１をステージ２４上で前進させるには、例えばステージ２４の位置決め機構２８を含む載置領域２９が前後に可動できるようにすれば良い。
あるいは、開閉用のブロック２５とピン２６が前後、左右、又は円弧状に可動するようにしても良い。すなわち、ステージ２４に載置した容器１１の開閉補助手段１７に対し、ブロック２５を移動させて前方から押し当てることによりシャフト１２を開くようにすることもできる。

上記のようにアンダースイングプレート１７をブロック２５に押し当ててシャフト１２を開いた状態とすることにより、容器内のウエーハＷの出し入れが可能となる。例えば、図５に示したような移載ロボット２２によりウエーハＷの下面を保持することで、容器本体１５の開口部１９からウエーハＷを支障なく取り出すことができる。
そして、容器１１から取り出したウエーハＷを装置３０に投入して所定の処理を行う。

ウエーハを処理した後、再び移載ロボット２２によりウエーハを保持して容器１１に収納する。
ウエーハを収納した後、容器１１をステージ２４に対して後退させながらアンダースイングプレート１７にピン２６を後方から押し当てる。アンダースイングプレート１７に対するピン２６による後方からの押出しと、アッパースイングプレート１３に対するバネ１８による引っ張りにより、両プレート１３，１７が前方に旋回し、それに連動して各シャフト１２が容器本体１５の開口部１９の両側を塞ぐことになる。
また、シャフト１２を閉じる場合も、ピン２６を移動させてアンダースイングプレート１７に対して後方から押し当てることによりシャフト１２を閉じるようにしても良い。
なお、シャフト開閉用のブロック２５やピン２６の位置や大きさは、搬送容器１１の動きによりシャフトが開閉できるように、アンダースイングプレート１７の大きさや形状等に応じて適宜設定すれば良い。

このようにシャフト１２を開口部１９に対して閉じた状態とした後、搬送容器１１をＯＨＴ２１により次の装置に搬送する。このとき容器１１の開口部１９が上になるように向きを変える必要はなく、容器内のウエーハを水平状態に維持したまま容器１１を搬送することができる。そして、搬送中、搬送容器１１が揺れても、容器内に収納されたウエーハはシャフト１２によって押さえられているため、ウエーハが容器１１から飛び出したり、滑り落ちたりすることはない。従って、迅速かつ安全に搬送を行うことができる。

上記の態様ではステージ２４に開閉用のブロック２５とピン２６を設けてシャフト１２の開閉を行う場合について説明したが、容器にシャフト１２の開閉を行うためのモータを設けて自動で開閉を行うようにすることもできる。例えば、各シャフト１２の上端部又は下端部付近に小型のモータをそれぞれ設け、モータの回転により各シャフト１２を自動で開閉できるようにすることができる。
このようなモータを設けた搬送容器とすれば、搬送容器をステージ上に載置した後、シャフトをモータにより自動的に開いて容器内のウエーハを取り出し、ウエーハを装置に投入して処理を行うことができる。

処理後、ウエーハを容器に収納した後は、モータによりシャフトを自動的に閉じて、容器を次の装置に搬送すれば良い。
このようにシャフトの開閉を自動で行うモータを設けた搬送容器であれば、搬送中のウエーハの飛び出し等を確実に防ぐことができ、スループットの向上をはかることができる。また、このような容器では、ステージは通常のものを用いることができるという利点もある。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

例えば、ウエーハ脱落防止部材や開閉補助手段の形状等は添付の図に示したものに限定されず、ウエーハ脱落防止部材が開口部に対して開閉可能であり、ウエーハの飛び出しを防ぐものに適宜設計すれば良い。従って、ウエーハ脱落防止部材については、実施形態で説明したような円柱状のシャフトに限定されず、板状のものや、断面が半円形のものでも良い。
また、装置間で搬送容器を搬送する手段としては、ＯＨＴに限らず、ＡＧＶ等他の搬送手段を用いても良い。
さらに、上記実施形態では、搬送容器内のウエーハを処理した後、同じ容器内に収納する場合について説明したが、本発明に係る搬送容器は、容器からウエーハを取り出し、処理後のウエーハを他の搬送容器等に収納する場合にも当然用いることができる。

本発明に係る半導体ウエーハの搬送容器の一例を示す概略斜視図である。 本発明に係る半導体ウエーハの搬送容器の他の例を示す概略図である。（Ａ）平面図 （Ｂ）側面図 ＯＨＴにより搬送容器をステージ上に載置する場面を説明する図である。 ステージ上に載置された搬送容器を示す平面図である。 搬送容器と移載ロボットを示す平面図である。 一般的な搬送容器（オープンカセット）を示す斜視図である。 ウエーハ支持部に設けた段差（ストッパー）を示す部分断面図である。

符号の説明

１，１１…搬送容器、 ２，１２…シャフト（ウエーハ脱落防止部材）、
３，７…連結部、 ４，１４ａ，１４ｂ…連結ピン、 ５，１５…容器本体、
６…支持部、 ８…開閉補助手段（爪部）、 ９，１９…開口部、
１３…アッパースイングプレート、 １７…アンダースイングプレート、 １８…バネ、
２１…自動搬送機（ＯＨＴ）、 ２２…移載ロボット、 ２４…ステージ、
２５…ブロック、 ２６…ピン、 ２９…載置領域。

Claims (9)

1. 半導体ウエーハを収納して装置間を搬送するための容器であって、少なくとも、前面にウエーハを出し入れするための開口部と、内側の左右の側面にウエーハの周辺部を支持するための棚状の支持部とを有する容器本体と、該容器本体の前記開口部の左右にそれぞれ設けられた開口部に対して開閉可能なウエーハ脱落防止部材とを具備し、該ウエーハ脱落防止部材を閉じることにより前記開口部を塞いで容器に収納されているウエーハが飛び出すことを防ぎ、該ウエーハ脱落防止部材を開くことにより前記容器本体の開口部からウエーハを出し入れすることができるものであることを特徴とする半導体ウエーハの搬送容器。
2. 前記ウエーハ脱落防止部材に連結し、前記容器本体の外側に突出した開閉補助手段が設けられており、該開閉補助手段の揺動により前記ウエーハ脱落防止部材の開閉を行うことができるものであることを特徴とする請求項１に記載の半導体ウエーハの搬送容器。
3. 前記ウエーハ脱落防止部材の開閉が、バネ機構により行われるものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の半導体ウエーハの搬送容器。
4. 前記開閉補助手段が、前記ウエーハ脱落防止部材の下端部に設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の半導体ウエーハの搬送容器。
5. 前記容器が、直径３００ｍｍ以上の半導体ウエーハを収納して搬送するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の半導体ウエーハの搬送容器。
6. 前記ウエーハ脱落防止部材の開閉を自動で行うためのモータが設けられているものであることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の半導体ウエーハの搬送容器。
7. 容器に収納した半導体ウエーハを装置間で搬送する方法であって、
   前記ウエーハを収納する容器として、請求項２ないし請求項５のいずれか１項に記載の搬送容器を用い、
   前記装置のステージとして、前記容器のウエーハ脱落防止部材を開くためのブロックと、閉じるためのピンをそれぞれ設けたステージを用い、
   前記容器を前記ステージに対して前進させながら前記開閉補助手段を前記ブロックに押し当てることにより前記ウエーハ脱落防止部材を開き、
   該ウエーハ脱落防止部材が開いた状態で容器内のウエーハを取り出し、
   該ウエーハを前記装置に投入して処理を行い、
   処理後のウエーハを前記容器に収納し、
   収納後、前記容器をステージに対して後退させながら前記開閉補助手段に前記ピンを後方から押し当てることによりウエーハ脱落防止部材を閉じ、
   該容器を次の装置に搬送することを特徴とする半導体ウエーハの搬送方法。
8. 容器に収納した半導体ウエーハを装置間で搬送する方法であって、
   前記ウエーハを収納する容器として、請求項２ないし請求項５のいずれか１項に記載の搬送容器を用い、
   前記装置のステージとして、該ステージ上で移動して前記容器のウエーハ脱落防止部材を開くためのブロックと、閉じるためのピンをそれぞれ設けたステージを用い、
   該ステージに載置した前記容器の開閉補助手段に対し、前記ブロックを移動させて前方から押し当てることにより前記ウエーハ脱落防止部材を開き、
   該ウエーハ脱落防止部材が開いた状態で容器内のウエーハを取り出し、
   該ウエーハを前記装置に投入して処理を行い、
   処理後のウエーハを前記容器に収納し、
   収納後、前記容器の開閉補助手段に対し、前記ピンを移動させて後方から押し当てることによりウエーハ脱落防止部材を閉じ、
   該容器を次の装置に搬送することを特徴とする半導体ウエーハの搬送方法。
9. 容器に収納した半導体ウエーハを装置間で搬送する方法であって、
   前記ウエーハを収納する容器として、請求項６に記載の搬送容器を用い、
   前記ウエーハ脱落防止部材をモータにより自動的に開き、
   該ウエーハ脱落防止部材が開いた状態で容器内のウエーハを取り出し、
   該ウエーハを前記装置に投入して処理を行い、
   処理後のウエーハを前記容器に収納し、
   収納後、前記ウエーハ脱落防止部材をモータにより自動的に閉じ、
   該容器を次の装置に搬送することを特徴とする半導体ウエーハの搬送方法。

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