CN113394142A - 自动闭锁装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种自动闭锁装置，包括基板以及容器本体，容器本体系置于基板上。基板上设置有对称的二定位件与二楔形件，容器本体具有容置空间，用以容置晶圆或片状载体。容器本体的同侧边设置有对称的二导引槽、二限位件及二活动锁件，二活动锁件的第一端分别位于二导引槽与二限位件之间。当二活动锁件的第二端抵住楔形件的高点位置时，第一端顶出脱离二导引槽，并自第一限位部移动至第二限位部，使第一端落入二导引槽中，且二活动锁件的第二端位于楔形件的低点位置，让二活动锁件阻挡部分容置空间的开口，如此可防止容置空间中所容置的晶圆或片状载体掉落至外。

Description

自动闭锁装置

技术领域

本发明涉及一种自动闭锁装置，尤指利用楔形作用引导活动锁件自动将容器本体的开口闭锁的自动闭锁装置。

背景技术

晶圆是半导体制程中的基材，大部分都要经过涂布、曝光、蚀刻等多种制程处理，由于晶圆易碎，在进行后续的切割等制程处理的前，晶圆在每一工作站的制程工序在运送过程中，都需要将晶圆或连同晶圆框架一同放进容器中进行保护，例如晶圆框架匣(FrameCassette)、晶舟弹匣(Boat Magzine)等，然后再移动到下一个制程的工作站。

承载晶圆或连同晶圆框架的容器，其内部侧壁是设计有间隔排列复数个对称水平支撑肋，每一对支撑肋用以夹持一片晶圆或晶圆框架的侧缘。在电子厂或是半导体工厂中，自动化设备的使用是十分普遍的，对于自动化设备而言，将晶圆或晶圆框架放入容器中是普遍作业程序，但是承载有晶圆或晶圆框架的容器要运送到下一个工作站时，为了避免晶圆或晶圆框架运送过程中掉落而受损，故一般会在容器上设计闭锁结构，且需要人力进行闭锁操作。然而，目前容器上的闭锁结构设计都较为复杂，也容易因人为操作不当而受损，不仅机构设计无法长期使用，若闭锁结构受损或是人为疏失而忘记闭锁操作也会提高晶圆或晶圆框架自容器中掉落至外的风险。

是以，要如何解决上述现有技术的问题与缺失，即为相关业者所亟欲研发的课题所在。

发明内容

本发明的主要目的乃在于，无须人工进行闭锁操作，可通过基板上的楔形作用引导与定位方式以完成自动闭锁状态，能更方便且确实地将容器本体的开口闭锁，更可能避免人为疏失而具备防呆保护作用，据以达到防止承载于容器本体内的晶圆或片状载体掉落至外的功效。

本发明的次要目的乃在于，整体结构简单且可节省人力、省时，又能够提升生产效率，极具有市场竞争优势。

为达上述目的，本发明提供一种自动闭锁装置，其特征在于，包括：

一基板，其上设置有对称的二定位件与二楔形件，二该楔形件的倾斜面具有高点位置与低点位置；以及

一容器本体，其具有一容置空间，该容器本体的同侧边设置有对称的二导引槽、二限位件及二活动锁件，二该活动锁件的第一端分别位于二该导引槽与二该限位件之间，二该限位件具有一第一限位部与一第二限位部，该高点位置对应该第一限位部，该低点位置对应该第二限位部；其中，该容器本体于置于该基板上，二该活动锁件的第二端抵住该高点位置，二该活动锁件的该第一端顶出脱离二该导引槽，并自该第一限位部移动至该第二限位部，使二该活动锁件的该第一端落入二该导引槽中，且该第二端位于该低点位置，让二该活动锁件阻挡部分该容置空间的开口。

所述的自动闭锁装置，其中：每一该限位件是三角形限位件，其上具有对称的一第一倾斜面与一第二倾斜面。

所述的自动闭锁装置，其中：该容器本体还具有二第一枢接孔与二第二枢接孔，二该第一枢接孔分别位于二该导引槽中，二该第二枢接孔位于该容器本体的底部，二该第一枢接孔分别对应二该第二枢接孔的位置。

所述的自动闭锁装置，其中：二该活动锁件的该第一端的末端枢接于该第一枢接孔中，该第二端的末端具有轴接部，该轴接部轴接于该第二枢接孔中。

所述的自动闭锁装置，其中：还包括一弹性件，该弹性件装设于该轴接部中。

所述的自动闭锁装置，其中：该弹性件是弹簧。

所述的自动闭锁装置，其中：二该活动锁件都为杆体，于该活动锁件的两末端各延伸有一延伸部。

所述的自动闭锁装置，其中：该容器本体的底部具有一嵌合部，二该定位件对应固定于该嵌合部的两端位置。

所述的自动闭锁装置，其中：二该定位件是V形定位件。

所述的自动闭锁装置，其中：二该定位件与二该楔形件位于相对面，且具有一间距，该间距与该容器本体的总宽度相适应。

综上所述，本发明的优点在于：通过基板上的楔形作用与定位方式，引导二活动锁件将容器本体的两端开口同时自动闭锁，以达到防止承载于容器本体内的晶圆或片状载体掉落至外，整体结构设计相当简单，且无须人工操作，不仅可避免人为操作不当而让机械受损或忘记闭锁操作等问题，且更省时及提高制程流畅度，能有效提升生产效率，极具市场竞争优势。

底下凭借具体实施例详加说明，当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的容器本体的顶部局部放大图。

图3是本发明的容器本体的底部局部放大图。

图4是本发明开锁状态的第一实施例的结构示意图。

图5是本发明开锁状态的第二实施例的结构示意图。

图6是本发明闭锁操作状态的第一实施例的结构示意图。

图7是本发明闭锁操作状态的第二实施例的结构示意图。

图8是本发明闭锁操作状态的第三实施例的结构示意图。

图9是本发明闭锁后的结构示意图。

附图标记说明：10基板；12容器本体；122容置空间；1222支撑肋；124第一枢接孔；126第二枢接孔；128嵌合部；14定位件；16楔形件；162底面；164倾斜面；18导引槽；20限位件；202第一倾斜面；204第二倾斜面；22活动锁件；222第一端；224第二端；2242轴接部；24弹性件；26机器提把；A高点位置；B低点位置；a第一限位部；b第二限位部。

具体实施方式

为能解决现有闭锁结构复杂且须依靠人力操作的问题，发明人经过多年的研究及开发，利用创新的结构设计可更方便操作，以及能取代现有结构复杂、工序复杂而效率差等诸多应用优越性，据以改善现有产品的诟病，后续将详细介绍本发明如何以一种自动闭锁装置来达到最有效率的功能诉求。

请同时参阅图1、图2及图3，图1是本发明的结构示意图；图2是本发明的容器本体的顶部局部放大图；图3是本发明的容器本体的底部局部放大图。自动闭锁装置包括一基板10及一容器本体12。基板10上设置有对称的二定位件14与二楔形件16，二定位件14与二楔形件16位于相对面，且具有一间距，二定位件14与二楔形件16之间的间距是配合容器本体12的总宽度。每一楔形件16的倾斜面具有高点位置A与低点位置B；详细来说，楔形件16的底面162至倾斜面164的高度最高点作为高点位置A，反之，楔形件16的底面162至倾斜面164的高度最低点作为低点位置B。

容器本体12具有一容置空间122、二第一枢接孔124、二第二枢接孔126及一嵌合部128。容器本体12的同侧边设置有对称的二导引槽18、二限位件20及二活动锁件22，其中，二导引槽18与二限位件20位于容器本体12的顶部边角处。二第一枢接孔124分别位于二导引槽18中，二第二枢接孔126位于容器本体12的底部，且位于容器本体12顶部位置的二第一枢接孔124分别对应容器本体12底部位置的二第二枢接孔126的位置。二限位件20具有一第一限位部a与一第二限位部b，值得注意的是，楔形件16的高点位置A对应第一限位部a，楔形件16的低点位置B对应第二限位部b。在本实施例中，每一限位件20是三角形限位件，其上具有对称的一第一倾斜面202与一第二倾斜面204，系作为引导位移使用，容后详述。

二活动锁件22具有第一端222与第二端224，二活动锁件22的第一端222分别位于二导引槽18与二限位件20之间。在本实施例中，二活动锁件22系都为杆体，于两末端延伸有一延伸部，例如在末端折弯延伸为L形的延伸部，也就是让第一端222与第二端224形成L型的端部。第一端222的末端枢接于第一枢接孔124中，第二端224的末端具有轴接部2242，自动闭锁装置更包括一弹性件24，如弹簧，弹性件24系装设于轴接部2242中，接着再将轴接部2242轴接于第二枢接孔126中。当二活动锁件22的第一端222与第二端224都轴接完成后，犹如形成ㄈ型的活动锁件位于容器本体12同侧的两边，用于闭锁容器本体12的容置空间122，此容置空间122是连通的容置空间，且容置空间122的内部侧壁具有间隔排列复数个对称支撑肋1222，每一对支撑肋用以夹持一片晶圆或晶圆框架(图中未示)的侧缘。

由上述了解本发明的细部结构及组装方式后，进一步说明本发明的如何达到自动闭锁的功效，请同时参阅图1、图4、图5及图6，图4是本发明开锁状态的第一实施例的结构示意图；图5是本发明开锁状态的第二实施例的结构示意图；图6是本发明闭锁操作状态的第一实施例的结构示意图。如图4所示，当容器本体12呈现开锁状态时，二活动锁件22的第一端222位于二导引槽18中，且限位在第一限位部a的位置。容器本体12的容置空间122系用以容置晶圆或晶圆框架(图中未示)，容器本体12的顶部外侧面设置有一机器提把26。由于承载有晶圆或晶圆框架的需要移动到不同的制程工作站，为了避免在移动或运送过程中晶圆或晶圆框架自容器本体12的容置空间122中掉落至外，因此，可利用自动化设备的机械手臂(图中未示)抓取容器本体12的机器提把26，使容器本体12移动至基板10相对位置上，如图5所示。由于基板10上的二定位件14与二楔形件16之间的间距是配合容器本体12的总宽度；其中，二定位件14较佳是V形定位件，对容器本体12具有定位作用。如图6所示，当机械手臂将容器本体12放置在基板10上时，二定位件14系对应固定于容器本体12底部的嵌合部128的两端位置，利用二定位件14对容器本体12进行定位作用，同时，二活动锁件22的第二端224抵住高点位置A，位于轴接部2242上的弹性件24是呈现未被压缩状态，而二活动锁件22的第一端位于第一限位部a的位置。

接续，请同时参阅图7、图8、图9，图7是本发明闭锁操作状态的第二实施例的结构示意图；图8是本发明闭锁操作状态的第三实施例的结构示意图；图9是本发明闭锁后的结构示意图。如图7所示，容器本体12放置于基板10上之后，二活动锁件22的第二端224从原本位于倾斜面164的高点位置A往低点位置B移动，此时，位于轴接部2242上的弹性件24是呈现被弹性压缩状态；同时，二活动锁件22的第一端222从原本位于导引槽18的第一限位部a的位置开始随着楔形件16的倾斜面164引导受力而被顶出，并沿着楔形件16的倾斜面164旋转作动而顶出脱离导引槽18。

再如图8所示，随着二活动锁件22的第二端224移动至低点位置B时，位于轴接部2242上的弹性件24仍呈现被弹性压缩状态；同时，二活动锁件22的第一端222从限位件20的第一斜面202旋转至第二斜面204，此时，二活动锁件22的第一端222位于导引槽18的第二限位部b的位置。最后如图9所示，当使二活动锁件22的第一端222从第二斜面204旋转落入二导引槽18中后，位于轴接部2242上的弹性件24恢复弹性未被压缩状态，如此一来，即可让二活动锁件22阻挡部分容置空间122的开口。自动化设备的机械手臂(图中未示)抓取容器本体12的机器提把26离开基板10上后，凭借上述自动闭锁方式，可避免在移动或运送过程中晶圆或晶圆框架自容器本体12的容置空间122中掉落至外。

综上所述，本发明为可解决现有技术的问题与缺失，其关键技术在于通过基板上的楔形作用与定位方式，引导二活动锁件将容器本体的两端开口同时自动闭锁，以达到防止承载于容器本体内的晶圆或片状载体掉落至外，整体结构设计相当简单，且无须人工操作，不仅可避免人为操作不当而让机械受损或忘记闭锁操作等问题，且更省时及提高制程流畅度，能有效提升生产效率，极具市场竞争优势。

以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种自动闭锁装置，其特征在于，包括：

一基板，其上设置有对称的二定位件与二楔形件，二该楔形件的倾斜面具有高点位置与低点位置；以及

一容器本体，其具有一容置空间，该容器本体的同侧边设置有对称的二导引槽、二限位件及二活动锁件，二该活动锁件的第一端分别位于二该导引槽与二该限位件之间，二该限位件具有一第一限位部与一第二限位部，该高点位置对应该第一限位部，该低点位置对应该第二限位部；其中，该容器本体于置于该基板上，二该活动锁件的第二端抵住该高点位置，二该活动锁件的该第一端顶出脱离二该导引槽，并自该第一限位部移动至该第二限位部，使二该活动锁件的该第一端落入二该导引槽中，且该第二端位于该低点位置，让二该活动锁件阻挡部分该容置空间的开口。

2.如权利要求1所述的自动闭锁装置，其特征在于：每一该限位件是三角形限位件，其上具有对称的一第一倾斜面与一第二倾斜面。

3.如权利要求1所述的自动闭锁装置，其特征在于：该容器本体还具有二第一枢接孔与二第二枢接孔，二该第一枢接孔分别位于二该导引槽中，二该第二枢接孔位于该容器本体的底部，二该第一枢接孔分别对应二该第二枢接孔的位置。

4.如权利要求3所述的自动闭锁装置，其特征在于：二该活动锁件的该第一端的末端枢接于该第一枢接孔中，该第二端的末端具有轴接部，该轴接部轴接于该第二枢接孔中。

5.如权利要求4所述的自动闭锁装置，其特征在于：还包括一弹性件，该弹性件装设于该轴接部中。

6.如权利要求5所述的自动闭锁装置，其特征在于：该弹性件是弹簧。

7.如权利要求1所述的自动闭锁装置，其特征在于：二该活动锁件都为杆体，于该活动锁件的两末端各延伸有一延伸部。

8.如权利要求1所述的自动闭锁装置，其特征在于：该容器本体的底部具有一嵌合部，二该定位件对应固定于该嵌合部的两端位置。

9.如权利要求1所述的自动闭锁装置，其特征在于：二该定位件是V形定位件。

10.如权利要求1所述的自动闭锁装置，其特征在于：二该定位件与二该楔形件位于相对面，且具有一间距，该间距与该容器本体的总宽度相适应。

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