JPH03248443A - 半導体ウェハー搬送装置 - Google Patents
半導体ウェハー搬送装置Info
- Publication number
- JPH03248443A JPH03248443A JP2046162A JP4616290A JPH03248443A JP H03248443 A JPH03248443 A JP H03248443A JP 2046162 A JP2046162 A JP 2046162A JP 4616290 A JP4616290 A JP 4616290A JP H03248443 A JPH03248443 A JP H03248443A
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- Japan
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- box
- wafer
- carrier
- stand
- control rod
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 36
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 30
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体ウェハー搬送装置に関し、特にウェハー
を次工程へ運搬する搬送車に関する。
を次工程へ運搬する搬送車に関する。
従来、この種の搬送車におけるウェハー保管箱置き台に
は、水平又は３〜２０°前後に傾斜角度が固定された傾
斜台が取りつけられ、移載機等によりウェハー保管箱（
以下ボックスと呼ぶ）をその傾斜台上へ置く様になって
いた。このボックスの中には、第３図の上面図及びその
Ａ−Ａ断面図である第４図に示す様に、両内側面にウェ
ハー８を保持する溝が加工されている箱形状のウェハー
保持具（以下キャリアと呼ぶ）にウェハーを入れて、ウ
ェハー８が搬送床面に垂直になるようにキャリア１０を
ボックス内へ入れていた。
は、水平又は３〜２０°前後に傾斜角度が固定された傾
斜台が取りつけられ、移載機等によりウェハー保管箱（
以下ボックスと呼ぶ）をその傾斜台上へ置く様になって
いた。このボックスの中には、第３図の上面図及びその
Ａ−Ａ断面図である第４図に示す様に、両内側面にウェ
ハー８を保持する溝が加工されている箱形状のウェハー
保持具（以下キャリアと呼ぶ）にウェハーを入れて、ウ
ェハー８が搬送床面に垂直になるようにキャリア１０を
ボックス内へ入れていた。
上述した従来の搬送車は、搬送車が移動する床面に対し
てウェハーが垂直に溝に入っているので、搬送中に搬送
車の振動により接触最下部９を支点としてウェハー上部
が振られ、ウェハーとキャリアの溝とが接触をくり返し
、ウェハー表面の加工部を傷つけて塵埃が発生し、ウェ
ハーへ付着してウェハーを汚染するという欠点がある。
てウェハーが垂直に溝に入っているので、搬送中に搬送
車の振動により接触最下部９を支点としてウェハー上部
が振られ、ウェハーとキャリアの溝とが接触をくり返し
、ウェハー表面の加工部を傷つけて塵埃が発生し、ウェ
ハーへ付着してウェハーを汚染するという欠点がある。
又、キャリア自身に斜めの溝を加工してウェハーを斜め
に収納できるキャリアを用いる場合には、ウェハーと溝
との振動、接触による塵埃の付着は、ウェハー片面が溝
の一面へ重力により常に接触するようになることによっ
て低減されるが、設備によっては、ウェハーを取り出す
時にキャリアを９０°回転させてウェハーをキャリアよ
り水平に取り出す様になっており、キャリアの斜めの溝
からウェハーを取り出す為には、ライン内の設備の改造
に大きな費用を必要とする。
に収納できるキャリアを用いる場合には、ウェハーと溝
との振動、接触による塵埃の付着は、ウェハー片面が溝
の一面へ重力により常に接触するようになることによっ
て低減されるが、設備によっては、ウェハーを取り出す
時にキャリアを９０°回転させてウェハーをキャリアよ
り水平に取り出す様になっており、キャリアの斜めの溝
からウェハーを取り出す為には、ライン内の設備の改造
に大きな費用を必要とする。
又、ボックスの底に傾斜をつけキャリア自身を傾斜させ
て収納する場合には、ボックスからキャリアを機械によ
り自動で取り出すくオートハンドリング）時に、斜めに
ボックスに入っているキャリアをハンドリングしなけれ
ばならず、キャリアのロボフランジ（把持部）やオート
ハンドリングのロボットを、斜めでもキャリアをハンド
リングできる様にしなければならない欠点がある。この
ように既存ラインにおいて、上述したキャリアのロボフ
ランジ、オートハンドリングのロボット等の再ティーチ
ングや改造を行うには、大きな投資が必要になるという
欠点がある。
て収納する場合には、ボックスからキャリアを機械によ
り自動で取り出すくオートハンドリング）時に、斜めに
ボックスに入っているキャリアをハンドリングしなけれ
ばならず、キャリアのロボフランジ（把持部）やオート
ハンドリングのロボットを、斜めでもキャリアをハンド
リングできる様にしなければならない欠点がある。この
ように既存ラインにおいて、上述したキャリアのロボフ
ランジ、オートハンドリングのロボット等の再ティーチ
ングや改造を行うには、大きな投資が必要になるという
欠点がある。
上述した従来の搬送車に対して、本発明は発塵防止の為
にボックスを自由な角度に随時傾斜させる事のできるボ
ックス置台を有しているという相違点がある。
にボックスを自由な角度に随時傾斜させる事のできるボ
ックス置台を有しているという相違点がある。
本発明の半導体ウェハー搬送装置は、半導体ウェハーを
入れたキャリアを収納するウェハー保管箱を搬送車に載
せて運搬する半導体ウェハー搬送装置において、前記ウ
ェハー保管箱を搬送床面に対し任意の角度に傾斜させる
ための制御棒およびこの制御棒を上下させる制御部を搬
送車に設けた構造を有している。
入れたキャリアを収納するウェハー保管箱を搬送車に載
せて運搬する半導体ウェハー搬送装置において、前記ウ
ェハー保管箱を搬送床面に対し任意の角度に傾斜させる
ための制御棒およびこの制御棒を上下させる制御部を搬
送車に設けた構造を有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例１の側面図である。ボックス１
はウェハーを入れたキャリアを収納しており、ボックス
置台２に対して垂直に収納されている。ボックス置台２
はボックス１を置く為の台で、傾斜制御部３により制御
棒７の動作で床面に対し一４５°〜４５°の傾斜を随時
に付ける事ができる。動輪４は従来と同様駆動制御部５
の制御により床上を搬送車が移動する為のものである。
はウェハーを入れたキャリアを収納しており、ボックス
置台２に対して垂直に収納されている。ボックス置台２
はボックス１を置く為の台で、傾斜制御部３により制御
棒７の動作で床面に対し一４５°〜４５°の傾斜を随時
に付ける事ができる。動輪４は従来と同様駆動制御部５
の制御により床上を搬送車が移動する為のものである。
次に本実施例の動作について述べる。搬送車は、ボック
ス移載時にはボックス置台２を水平の状態にし、ボック
ス１を搬送車へ移載後、傾斜制御部３により制御棒７を
上へ動かし、支持台６を支点としてボックス置台２を傾
斜させ、ボックス置台２上のボックスｌを１５°程度傾
かせて搬送を行う、移載光へ到着後は、傾斜制御部３に
より制御棒７を下ろしてボックス置台２を水平に戻し、
ボックス１の移載を行う。傾斜制御部３はモータでカム
を回転させ、制御棒７を上下させる構造になっている。
ス移載時にはボックス置台２を水平の状態にし、ボック
ス１を搬送車へ移載後、傾斜制御部３により制御棒７を
上へ動かし、支持台６を支点としてボックス置台２を傾
斜させ、ボックス置台２上のボックスｌを１５°程度傾
かせて搬送を行う、移載光へ到着後は、傾斜制御部３に
より制御棒７を下ろしてボックス置台２を水平に戻し、
ボックス１の移載を行う。傾斜制御部３はモータでカム
を回転させ、制御棒７を上下させる構造になっている。
第２図は本発明の実施例２の側面図である。ボックス置
台２は水平に固定されており、ボックス置台２上に置か
れたボックス１に傾斜制御部３ａによりボックス置台２
に開けられた開口部を通して制御棒７を上下させて傾斜
をつける。
台２は水平に固定されており、ボックス置台２上に置か
れたボックス１に傾斜制御部３ａによりボックス置台２
に開けられた開口部を通して制御棒７を上下させて傾斜
をつける。
搬送車はボックス１をボックス置台２に移載する時には
、傾斜制御部３ａにより制御棒７を下げて制御棒７の先
端部をボックス置台２の面より下にする。移載完了後は
、ボックス置台２より上部へ制御棒７の先端部を突き出
す事によりボックス１の一端を支点としてボックス１を
傾斜させ、搬送場所へ移動する。
、傾斜制御部３ａにより制御棒７を下げて制御棒７の先
端部をボックス置台２の面より下にする。移載完了後は
、ボックス置台２より上部へ制御棒７の先端部を突き出
す事によりボックス１の一端を支点としてボックス１を
傾斜させ、搬送場所へ移動する。
この実施例では、既存の搬送車に傾斜制御部３ａの新設
とボックス置台２の一部加工だけでよいという利点が有
る。傾斜制御部３ａの構造は実施例１と同様である。
とボックス置台２の一部加工だけでよいという利点が有
る。傾斜制御部３ａの構造は実施例１と同様である。
以上説明したように本発明は、搬送車がキャリアの入っ
たボックスを運搬する場合に、ボックスを傾斜させる事
により、ウェハー裏面周辺部をキャリアの溝部へ寄りか
からせて重力によりウェハーを固定させ、搬送中の振動
によりウェハー表面とキャリアの溝部が当ってウェハー
表面より発塵するのを防止する効果がある。
たボックスを運搬する場合に、ボックスを傾斜させる事
により、ウェハー裏面周辺部をキャリアの溝部へ寄りか
からせて重力によりウェハーを固定させ、搬送中の振動
によりウェハー表面とキャリアの溝部が当ってウェハー
表面より発塵するのを防止する効果がある。
又、搬送車よりボックスを装置等へオートハンドラで移
載する場合には、傾斜制御部でボックス置台を水平に戻
し従来通りボックスを水平にハンドリンクできる効果が
ある。搬送中のボックス傾斜角はできるだけ大きい方が
発塵が少ない、よって、従来ラインでボックスを傾斜さ
せて搬送中の発塵対策を行う場合、ボックス置台に固定
させた３〜２０°の傾斜を持たせてしまうと、オートハ
ンドリング時にロボットの再ティーチング、斜めにボッ
クスをハンドリングできる様なボックスの形状改造又は
ハンドリング用ロボットの改造が必要となるが、本発明
の場合、前述した様にハンドリング時にボッスフを水平
に戻す事により従来通りのハンドリングロボットやボッ
クス等がそのまま利用できる効果が有る。
載する場合には、傾斜制御部でボックス置台を水平に戻
し従来通りボックスを水平にハンドリンクできる効果が
ある。搬送中のボックス傾斜角はできるだけ大きい方が
発塵が少ない、よって、従来ラインでボックスを傾斜さ
せて搬送中の発塵対策を行う場合、ボックス置台に固定
させた３〜２０°の傾斜を持たせてしまうと、オートハ
ンドリング時にロボットの再ティーチング、斜めにボッ
クスをハンドリングできる様なボックスの形状改造又は
ハンドリング用ロボットの改造が必要となるが、本発明
の場合、前述した様にハンドリング時にボッスフを水平
に戻す事により従来通りのハンドリングロボットやボッ
クス等がそのまま利用できる効果が有る。
第１図は本発明の実施例１の側面図、第２図は実施例２
の側面図、第３図はキャリアの上面図、第４図は第３図
Ａ−Ａ線の断面図である。 １・・・ボックス、２・・・ボックス置台、３，３ａ・
・・傾斜制御部、４・・・動輪、５・・・駆動制御部、
６・・・支持台、７・・・制御棒、８・・・ウェハー、
９・・・接触最下部、 ０・・・キャリア。
の側面図、第３図はキャリアの上面図、第４図は第３図
Ａ−Ａ線の断面図である。 １・・・ボックス、２・・・ボックス置台、３，３ａ・
・・傾斜制御部、４・・・動輪、５・・・駆動制御部、
６・・・支持台、７・・・制御棒、８・・・ウェハー、
９・・・接触最下部、 ０・・・キャリア。
Claims (1)
- 半導体ウェハーを入れたキャリアを収納するウェハー保
管箱を搬送車に載せて運搬する半導体ウェハー搬送装置
において、前記ウェハー保管箱を搬送床面に対し任意の
角度に傾斜させるための制御棒およびこの制御棒を上下
させる制御部を搬送車に設けたことを特徴とする半導体
ウェハー搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2046162A JPH03248443A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 半導体ウェハー搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2046162A JPH03248443A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 半導体ウェハー搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03248443A true JPH03248443A (ja) | 1991-11-06 |
Family
ID=12739320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2046162A Pending JPH03248443A (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 | 半導体ウェハー搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03248443A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5478195A (en) * | 1991-12-20 | 1995-12-26 | Hitachi, Ltd. | Process and apparatus for transferring an object and for processing semiconductor wafers |
| US5664926A (en) * | 1995-07-11 | 1997-09-09 | Progressive System Technologies, Inc. | Stage assembly for a substrate processing system |
| WO2000051921A1 (en) * | 1999-03-05 | 2000-09-08 | Pri Automation, Inc. | Material handling and transport system and process |
| JP2003086655A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車 |
| JP2003092332A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| JP2003092333A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| KR100501979B1 (ko) * | 2002-03-22 | 2005-07-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 클린반송장치 |
| JP2006213216A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Daifuku Co Ltd | 搬送車 |
| US7604306B1 (en) * | 2001-08-23 | 2009-10-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Reticle box transport cart |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP2046162A patent/JPH03248443A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5478195A (en) * | 1991-12-20 | 1995-12-26 | Hitachi, Ltd. | Process and apparatus for transferring an object and for processing semiconductor wafers |
| US5664926A (en) * | 1995-07-11 | 1997-09-09 | Progressive System Technologies, Inc. | Stage assembly for a substrate processing system |
| WO2000051921A1 (en) * | 1999-03-05 | 2000-09-08 | Pri Automation, Inc. | Material handling and transport system and process |
| US6443686B1 (en) | 1999-03-05 | 2002-09-03 | Pri Automation, Inc. | Material handling and transport system and process |
| US7604306B1 (en) * | 2001-08-23 | 2009-10-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Reticle box transport cart |
| JP2003086655A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車 |
| JP4506058B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2010-07-21 | 村田機械株式会社 | 無人搬送車 |
| JP2003092332A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| JP2003092333A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Tokyo Electron Ltd | 無人搬送車 |
| JP4629286B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2011-02-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 無人搬送車 |
| KR100501979B1 (ko) * | 2002-03-22 | 2005-07-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 클린반송장치 |
| JP2006213216A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Daifuku Co Ltd | 搬送車 |
| JP4538729B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2010-09-08 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |
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