JP2003092332A

JP2003092332A - 無人搬送車

Info

Publication number: JP2003092332A
Application number: JP2001283811A
Authority: JP
Inventors: Shuji Akiyama; 収司秋山; Takahiko Murayama; 貴彦村山
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2001-09-18
Filing date: 2001-09-18
Publication date: 2003-03-28
Anticipated expiration: 2021-09-18
Also published as: JP4629286B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】バッファカセットを傾斜姿勢としながら無人
搬送車を走行させる際においても、ベース部材下方の空
間（傾動手段の周囲の空間）は露出されず、そこに溜ま
っている塵埃が外へ放散されるのを防ぐことができる無
人搬送車の提供。【解決手段】バッファカセット５を支持するべース部
材５０と、ベース部材の下方に配置されベース部材を傾
動させる傾動手段５２とを備え、傾動手段を作動させて
ベース部材及びバッファカセットを水平姿勢又は傾斜姿
勢に移行可能とした無人搬送車の車体本体に第一カバー
５１を設けて、バッファカセットが水平姿勢にあるとき
に位置する傾動手段を覆うとともに、第二カバー５７を
ベース部材に設けて、バッファカセットが傾斜姿勢にあ
るときに第一カバーとベース部材との隙間を覆うように
構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、半導体製造工場のステーション
間で、半導体ウエハを自動搬送・移載する無人搬送車に
関し、詳しくは、該無人搬送車に搭載したウエハを一時
収納するバッファカセットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、塵挨の発生が問題となる半導
体製造工場では、半導体ウエハを移載・搬送するため
に、スカラーアーム式のロボットアームと、ウエハを一
時収納するバッファカセットとを搭載した無人搬送車を
自動走行させる技術が知られている。この無人搬送車に
よってウエハが搬送されるのであるが、まず、無人搬送
車を自動倉庫前に移動させ、そして、該自動倉庫からロ
ボットアームでウエハを１枚ずつ取り出してバッファカ
セット内の各棚に収納していく。このバッファカセット
は、その棚が水平となるように載置されており、該棚の
間にウエハを保持したロボットアームを挿入する。そし
て、保持していたウエハを放し、該ウエハを水平な位置
姿勢でセットする。こうしてバッファカセットにウエハ
を１枚１枚収納していく。しかし、バッファカセットを
この状態にしたまま、無人搬送車を走行させると、ウエ
ハが飛び出す恐れがある。無人搬送車は、前後両方向に
走行するようになっており、特に、始動時や停止時は、
その速度の変化が大きいため、飛び出す可能性も高い。

【０００３】そこで、バッファカセットを斜めに傾け
て、挿入口側を斜上方へ向けるということが行われてい
る。具体的構成を説明すると、車体本体上面に基部フレ
ームを設けて、該基部フレームの上にバッファカセット
を配設する。このとき、バッファカセットは基部フレー
ムに対して回動自在に取り付ける。また、基部フレーム
には、バッファカセットを回動させるアクチュエータを
内設するとともに、該バッファカセットの水平姿勢及び
傾斜姿勢を規定するストッパ機構を配設する。以上の構
成で、無人搬送車を走行させる際には、アクチュエータ
を作動させてバッファカセットをその水平姿勢から傾斜
姿勢へ移行させる。このように、走行中は、バッファカ
セットの入口が上方となるように傾斜させておき、カセ
ット内部のウエハが飛び出さないようにしておく。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記基部フ
レームの内部にはアクチュエータの作動等で塵挨が溜ま
っており、バッファカセットを傾斜させると、該バッフ
ァカセットと基部フレームとの間に隙間ができて、該基
部フレーム内部が露出されてしまう。また、このときは
走行時でもあるため、該基部フレーム内部に外の空気が
流れ込み、そうすると、該塵挨は該基部フレーム内部か
ら飛散され巻き上げられることになる。この走行時だけ
ではなく、無人搬送車を停止させた後、該バッファカセ
ットを元の水平状態に戻すときにも、基部フレーム内部
の塵挨は風圧で外へ舞い散ることとなる。このような塵
挨の飛散は好ましくないものであり、特に、高いクリー
ン度が要求される半導体製造工場においてはなおさらで
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。

【０００６】すなわち、請求項１記載の如く、ウエハを
移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカ
セットと、該バッファカセットを支持するべース部材
と、該ベース部材の下方に配置され該ベース部材を傾動
させる傾動手段とを備え、前記傾動手段を作動させて前
記ベース部材及び前記バッファカセットを水平姿勢又は
傾斜姿勢に移行可能とした無人搬送車において、第一カ
バーを搬送車本体に設けて、前記バッファカセットが水
平姿勢にあるときに位置する前記傾動手段を覆うととも
に、第二カバーを前記ベース部材に設けて、前記バッフ
ァカセットが傾斜姿勢にあるときに前記第一カバーと前
記ベース部材との隙間を覆うように構成する。

【０００７】そして、請求項２記載の如く、前記ベース
部材の揺動中心は該ベース部材の一端寄りに配置させる
とともに、前記第二カバーは、そのベース部材の他端側
に設けられる部分が、同じ側に配置される前記第一カバ
ーの部分に対して、前記バッファカセットが水平姿勢に
あるときに平行となる、平板状の第一の部分と、同じ側
に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッ
ファカセットが傾斜姿勢にあるときに平行となる、平板
状の第二の部分と、を含むように構成し、また、前記ベ
ース部材の揺動中心から前記第一の部分までの距離より
も、該ベース部材の揺動中心から前記第二の部分までの
距離が短くなるように構成する。

【０００８】また、請求項３記載の如く、前記傾動手段
を、車体本体の取付部に取り付けて構成したアクチュエ
ータで構成し、前記ベース部材に固定したブラケットを
該アクチュエータに回動自在に支持させ、前記取付部の
周辺には第一カバー内の空気を逃がす逃がし孔を設け
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】これより、本発明の実施の一形態
を、図面を参照しながら説明する。図１はクリーンルー
ム内の無人搬送車１の様子を示す斜視図、図２は無人搬
送車１の側面断面図、図３はバッファカセット５の側面
断面図であり、同図（ａ）はバッファカセット５の水平
姿勢を、同図（ｂ）は傾斜姿勢を、それぞれ示す。図４
は移動カバーの形状を説明した側面図である。

【００１０】まず、無人搬送車１の全体構成について説
明する。以下の説明では、図１における矢視Ｆ方向を前
方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、
その他の図面における各構造体の前後左右位置も図１に
準ずるものとする。

【００１１】図１に示すように、無人搬送車１は、走行
レール２０・２０上を自動走行する有軌道台車であり、
車体本体２が走行輪９・９・９・９により支持され、該
走行輪９・９・９・９はそのそれぞれに対応した駆動モ
ータ８・８・８・８（図２）で駆動させることで、走行
レール２０・２０上を四輪駆動で走行させている。尚、
本実施の形態では、スリップを減らす為に全ての走行輪
９・９・９・９に駆動を伝えるようにしており、各走行
輪９・９・９・９にはそれぞれ駆動モータ８・８・８・
８が取り付けられているが、全ての走行輪９・９・９・
９に駆動を伝達する機構は、これに限定することなく、
他の機構でもよい。また、駆動輪は車体前後にそれぞれ
設けられていれば、４輪に限らず、その数は限定しな
い。

【００１２】前記走行レール２０・２０に沿って、処理
装置２１・２１・・・やストッカ２２が並べて配設さ
れ、該ストッカ２２上に複数のカセット２３・２３・・
・が所定間隔を空けて並設されている。各カセット２３
・２３・・・は、その開口を走行レール２０・２０側へ
向けて配置され、該カセット２３内には上下に多数段の
棚が設けられ、各棚にウエハ１０・１０・・・が水平に
収納されている。本実施の形態では、ストッカ２２を平
置型のストッカとしているが、カセット２３の搬出入口
と、多数の棚と、棚と搬出入口との間でカセット２３を
移載するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫であっ
ても良い。

【００１３】図２に示すように、前記無人搬送車１の車
体本体２には、その中央にウエハ１０・１０・・・を移
載する移載装置３が配設され、その前後に、ウエハ１０
・１０・・・の方向及び中心位置を揃える姿勢合わせ装
置４と、ウエハ１０・１０・・・を収納するバッファカ
セット５とが配設されている。

【００１４】次に、前記移載装置３について説明する。
移載装置３は、移載アーム３０Ｍ・３０Ｓ、基台３８、
ターンテーブル３９等から成り、基台３８は車体本体２
中央に埋設され、該基台３８上にターンテーブル３９が
枢設され、該ターンテーブル３９上に一対の移載アーム
３０Ｍ・３０Ｓが取り付けられている。

【００１５】前記基台３８は昇降可能に構成され、ま
た、前記ターンテーブル３９は該基台３８に対して相対
回転可能に構成されている。前記移載アーム３０Ｍ（３
０Ｓ）は、移載ハンド３１と、第１アーム３２と、第２
アーム３３とでリンク機構が組まれたスカラーアーム式
のロボットハンドであり、サーボモータ等から成るアク
チュエータにより屈折自在に構成されている。

【００１６】次に、前記姿勢合わせ装置４について説明
する。姿勢合わせ装置４は、ケーシング４０、載置台４
１、オリフラセンサ４２・４２、オプティカルキャラク
タリーダ（以下「ＯＣＲ」）４３等から成り、該ケーシ
ング４０は移載装置３側が開口して、その入口付近には
２組のオリフラセンサ４２・４２が配設され、それぞれ
天井面に受光器４２ａ、床面に投光器４２ｂを埋設して
構成されている。この２組のオリフラセンサ４２・４２
は、外側（ケーシング４０の開口入口側）のオリフラセ
ンサ４２で１２インチのウエハ１０のオリフラ位置（又
はノッチ位置）を検出し、内側（ケーシング４０の開口
奥側）のオリフラセンサ４２で８インチのウエハ１０Ｓ
のオリフラ位置（又はノッチ位置）を検出するように構
成されている。

【００１７】なお、１２インチウエハ１０用のオリフラ
センサ４２と、８インチウエハ１０用のオリフラセンサ
４２の配置は、載置台４１の回転中心から８インチウエ
ハ１０用のオリフラセンサ４２へ向けての延長線上で、
ウエハ１０の縁部が検出可能な位置に、１２インチウエ
ハ１０用のオリフラセンサ４２を配置するようにしても
よい。あるいは、８インチウエハ１０用のオリフラセン
サ４２からの延長線上ではなく、９０°ずらした直交す
る方向で、ウエハ１０の縁部が検出可能な位置に、１２
インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２を配置するよ
うにしてもよい。

【００１８】また、ケーシング４０の開口の床面、奥側
にはＯＣＲ４３が埋設され、該ケーシング４０内に、Ｉ
Ｄマークの付された面を下側にしてウエハ１０をセット
し、該ＩＤマーク１１を該ＯＣＲ４３で読み取る構成と
する。尚、ＩＤマークの面を上側にしてウエハ１０をセ
ットしてもよく、この場合、ＯＣＲ４３はケーシング４
０の開口の天井面、奥側に配置し、あるいは、作業過程
でウエハ１０の盤面が上下入れ替わることも考慮して、
図２に示すように、ケーシング４０の開口の天井面、及
び床面の奥側に、上下一対のＯＣＲ４３・４３を配置す
る構成することが好ましい。

【００１９】また、ケーシング４０の開口の床面には、
ウエハ１０を載置する載置台４１が設けられている。該
載置台４１は円盤状の形状で、その回転中心には吸着孔
が設けられ、該吸着孔から同心円状、並びに放射線状に
複数の吸着溝が設けられている。この構成で、ウエハ１
０を載置台４１上に載置した状態で吸着孔からエアポン
プで吸引することによってウエハ１０を吸着・保持し、
載置台４１を回転させたときに、ウエハ１０が遠心力で
位置ズレしないようにしている。

【００２０】次に、前記バッファカセット５について説
明する。図２及び図３に示すように、バッファカセット
５は、その入口を前方（移載装置３側）へ向けて可動ベ
ース部材５０上に固定され、該可動ベース部材５０は車
体本体２より立設された基部フレーム（図外）上に配置
されている。該バッファカセット５内には上下に多数段
の棚が設けられ、この棚にウエハ１０・１０・・・が収
納される。

【００２１】詳しくは、該棚はバッファカセット５内の
左右内側面から若干の幅だけ突出されるのみであって、
ウエハ１０の両端下面を支持するだけである。各段の棚
の間口の左右幅はウエハ１０の直径よりも適宜のマージ
ンをもってやや広く形成されているので、ウエハ１０を
吸着保持する移載ハンド３１が多少横方向へブレていて
も、あるいは、ウエハ１０の回転中心と移載ハンド３１
の中心（左右中心）とが一致しないまま保持されていた
としても、該棚の間口からウエハ１０を挿し込むことが
可能である。各段の棚の間口はウエハ１０の直径よりも
やや広く形成され、バッファカセット５の左右内側面
は、入口側は互いに平行とする一方、奥側は「Ｖ」字状
に徐々に狭めた形状とされている。この構成により、バ
ッファカセット５が後述する機構により奥側が下となる
傾斜姿勢とされたときには、ウエハ１０はその自重によ
って奥側へ滑り落ちるとともに、その両側は前記「Ｖ」
字状の部分に案内される。この結果、ウエハ１０が最奥
部まで落ち込んだときには、各ウエハ１０の回転中心が
バッファカセット５の左右中心と一致する位置で綺麗に
揃うことになる。

【００２２】前記可動ベース部材５０下面の後端側寄り
の位置には、その揺動中心としての回動支点軸５６が横
設され、該回動支点軸５６は、搬送車本体上面に設けら
れた図示しない基部フレームの後部に軸支されている。
バッファカセット５下方における車体本体２には傾動手
段たるエアシリンダ５２が揺動可能に埋設され、そのシ
リンダロッド５２ａは前記基部フレーム内に突出し、該
シリンダロッド５２ａ上端は、可動ベース部材５０下面
に固定したブラケット５３に回動自在に連結される。前
記エアシリンダ５２の周囲には、エアシリンダ５２の直
径より充分大きい直径の逃がし孔２ｂが設けられ、車体
本体２下面へと連通されている。

【００２３】この逃がし孔２ｂは、エアシリンダ５２の
揺動を許容するとともに、詳しくは後述するが、可動ベ
ース部材５０の傾動により生じる空気を車体本体２下方
へと逃がす働きをする。なお、逃がし孔２ｂは、エアシ
リンダ５２の周囲に１つ設けてもよく、ストッパ機構５
４Ｆ・５４Ｂが取り付けられている面の前面に渡って複
数設けてもよい。

【００２４】このエアシリンダ５２を作動させてシリン
ダロッド５２ａを進退させることによって、ブラケット
５３を介して可動ベース部材５０が上昇／下降され、こ
れによりバッファカセット５の可動ベース部材５０を該
回動支点軸５６まわりに上下に傾動させることができ
る。

【００２５】なお、空気によって作動する該エアシリン
ダ５２をアクチュエータとして採用することで、バッフ
ァカセット５内に収納されるウエハ１０・１０・・・に
振動が極力伝わらないようにしたいという要請に配慮し
ている。即ち、無人搬送車１から処理装置２１へ移載の
際、常にウエハ１０・１０・・・の向きを一定にして受
け渡し、検査処理の迅速化が図られているのであるが、
そのために姿勢合わせ装置４でウエハ１０・１０・・・
のＩＤマークを読み取るとともに、ウエハ１０・１０・
・・のオリフラ位置（又はノッチ位置）を一定方向に揃
え、その揃えた状態のままウエハをバッファカセット５
内に収納しているのである。このようにいったん揃えた
ウエハ１０・１０・・・が位置ズレしたり回転してしま
わないように、エアシリンダ５２の空気バネの如き作用
によって車両走行中に発生する振動を緩衝させているの
である。

【００２６】また、基部フレームの内側にあっては、そ
の前部位置、並びに後部位置にストッパ機構５４Ｆ・５
４Ｂが設けられて、バッファカセット５の水平姿勢及び
傾斜姿勢を規定している。本実施例において「水平姿
勢」とは、図３（ａ）に示すように、ウエハ１０・１０
・・・を載置する棚が水平となるときのバッファカセッ
ト５の位置姿勢を言い、「傾斜姿勢」とは、同図（ｂ）
に示すように、該棚の入口側（前方）が上方へ傾いたと
きの位置姿勢を言う。

【００２７】バッファカセット５の入口付近にはストッ
パロッド５５が設けられ、該入口を挟んで配置される上
下のフレームの左端位置から中央位置にかけて溝部が形
成されて、該溝部にストッパロッド５５の上下端が挿入
され、該溝部に沿ってストッパロッド５５が移動可能と
なっている。無人搬送車１の停止状態においては該スト
ッパロッド５５はバッファカセット５の入口の左端位置
にある。無人搬送車１を走行させる際には（前述の如く
バッファカセット５を傾斜させるとともに）、該ストッ
パロッド５５をバッファカセット５の入口の中央位置ま
でスライドさせてウエハ１０・１０・・・の端部に接触
させて保持し、ウエハ１０・１０・・・の飛び出しを確
実に防止する。

【００２８】図３（ａ）（ｂ）に示すように、回動支点
軸５６を支持する前記基部フレームの周囲（前後左右）
は、第一カバーたる固定カバー５１で覆われている。基
部フレームの後面を覆う該固定カバー５１の部分は、そ
の上部を階段状に後方へ膨出させて膨出部５１ｂとし、
バッファカセット５を図３（ｂ）の傾斜姿勢としたとき
に可動ベース部材５０の後端下部が固定カバー５１と干
渉しないようにしている。

【００２９】また、可動ベース部材５０の前面及び左右
側面には第二カバーたる移動カバー５７が設けられて、
前記固定カバー５１内に向けて垂下される。そして、こ
の該移動カバー５７の、可動ベース部材５０の遊端側
（回動支点軸５６から遠い側）である前面に配置される
部分５７ａは、可動ベース部材５０が水平姿勢のとき
に、前側固定カバー５１ａに対して図３（ａ）の如く平
行となる第一の部分５７ａ１と、可動ベース部材５０が
傾斜姿勢のときに前側固定カバー５１ａに対して図３
（ｂ）の如く平行となる第二の部分５７ａ２とを含むよ
うに、側面視で一箇所だけ緩やかに折曲させた形状に構
成している。

【００３０】そして、回動支点軸５６から該第一の部分
５７ａ１までの距離（図４に示す距離Ｌ１）よりも、該
回動支点軸５６から該第二の部分５７ａ２までの距離
（Ｌ２）が短くなるように構成している（Ｌ１＞Ｌ
２）。これによって、移動カバー５７の前面配置部分５
７ａにおいて折曲させている箇所（第一の部分５７ａ１
と第二の部分５７ａ２とが連続している箇所）が、バッ
ファカセット５を水平姿勢から傾斜姿勢（あるいはその
逆）へ移行させる際に、固定カバー５０ａの内面とぶつ
からないようにすることができる。ただし、該回動支点
軸５６から該第二の部分５７ａ２までの距離Ｌ２があま
りに短くなると、バッファカセット５の傾斜姿勢時にお
いて可動ベース部材５０前面の部分における移動カバー
５７ａと固定カバー５１ａとの間にできる隙間が大きく
なってしまう。従って、該回動支点軸５６から該第二の
部分５７ａ２までの距離Ｌ２を短くさせる量は、前記折
曲させている箇所が固定カバー５０ａの内面と干渉しな
い範囲で、できるだけ小さく設定するようにする。

【００３１】もっとも、該移動カバー５７の前面配置部
分５７ａを、該回動支点軸５６を円弧中心とした円弧面
に形成するのが望ましいが、技術的に難しく、製造コス
トも増大する。この点本実施例では、上述したように移
動カバー５７の前面配置部分５７ａを折り曲げて、平板
状の第一の部分５７ａ１と平板状の第二の部分５７ａ２
とを形成する簡易な形状としたので、その製造コストや
製造コストを減少させることができる。

【００３２】このように固定カバー５１と移動カバー５
７とを設けることで、搬送前にバッファカセット５を傾
斜姿勢に移行させる際に、可動ベース部材５０下方に溜
まっている塵挨の外部への放散を効果的に防ぐことがで
きる。また、停車してバッファカセット５を元の水平状
態に移行させるに伴って可動ベース部材５０下方空間の
空気は圧縮され高圧状態が生じることとなるが、それに
よっても塵挨は、移動カバー５７ａと固定カバー５１ａ
との隙間から上方へ噴出して飛散することは殆どなく、
エアシリンダ５２の周囲に設けた逃がし孔２ｂから車体
本体２下方へと送られる。その後、該塵挨は、無人搬送
車１の軌道に沿って部屋の床面に設けられた排気ファン
によって室外へと排出される。この排気ファンは、クリ
ーンルーム内の各所で発生した塵挨を室外へ排出するも
のであり、該軌道に沿って複数設けられている。このよ
うにして、本発明では、エアシリンダ５２で発生した塵
挨を巻き上げさせることなく効果的に除去しているので
ある。

【００３３】

【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、次の
ような効果を奏するのである。すなわち、請求項１のよ
うに、ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納
するバッファカセットと、該バッファカセットを支持す
るべース部材と、該ベース部材の下方に配置され該ベー
ス部材を傾動させる傾動手段とを備え、前記傾動手段を
作動させて前記ベース部材及び前記バッファカセットを
水平姿勢又は傾斜姿勢に移行可能とした無人搬送車にお
いて、第一カバーを搬送車本体に設けて、前記バッファ
カセットが水平姿勢にあるときに位置する前記傾動手段
を覆うとともに、第二カバーを前記ベース部材に設け
て、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに前記
第一カバーと前記ベース部材との隙間を覆うように構成
したので、バッファカセットが水平姿勢及び傾斜姿勢の
いずれであっても、ベース部材下方の空間の周囲は第一
カバー（あるいは第一カバー及び第二カバー）によって
覆われることとなる。従って、特にバッファカセットを
傾斜姿勢としながら無人搬送車を走行させる際において
も、ベース部材下方の空間（傾動手段の周囲の空間）は
露出されず、そこに溜まっている塵挨が外へ放散される
のを防ぐことができる。

【００３４】請求項２のように、前記ベース部材の揺動
中心は該ベース部材の一端寄りに配置させるとともに、
前記第二カバーは、そのベース部材の他端側に設けられ
る部分が、同じ側に配置される前記第一カバーの部分に
対して、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに
平行となる、平板状の第一の部分と、同じ側に配置され
る前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセッ
トが傾斜姿勢にあるときに平行となる、平板状の第二の
部分と、を含むように構成し、また、前記ベース部材の
揺動中心から前記第一の部分までの距離よりも、該ベー
ス部材の揺動中心から前記第二の部分までの距離が短い
ように構成することで、第一カバーと第二カバーとの間
の隙間を比較的狭くすることができ、傾動手段周囲で発
生した塵挨の外への飛散を防止する効果は十分である。
また、平板を折り曲げたシンプルな形状であるので、該
第二カバーの製作も（ベース部材の揺動中心を円弧中心
とした円弧面に形成したような形状に比べて）容易にな
る。また、第二カバーの前面部分において、揺動中心か
ら第一の部分までの距離よりも、該揺動中心から該第二
の部分までの距離が短くなるから、第二カバーの前面部
分の折曲箇所（第一の部分と第二の部分とが連続してい
る箇所）が、バッファカセットを水平姿勢から傾斜姿勢
（あるいはその逆）へ移行させる際に、第一カバーの内
面とぶつからないようにすることができる。

【００３５】また、請求項３のように、前記傾動手段
を、車体本体の取付部に取り付けて構成したアクチュエ
ータで構成し、前記ベース部材に固定したブラケットを
該アクチュエータに回動自在に支持させ、前記取付部の
周辺には第一カバー内の空気を逃がす逃がし孔を設けた
ことで、ベース部材を傾斜状態から水平状態へ移行させ
るときに、ベース部材の下方部分（傾動手段の周囲）の
空気は圧縮されて高圧が発生することとなるが、その高
圧によっても、塵挨は、第一カバーと第二カバーとの隙
間から飛散されたり巻き上げられたりすることなく、逃
がし孔から車体本体下方へと送出される。塵挨を排出さ
せる排気ファンは通例は部屋の床面（即ち、逃がし孔の
下方）に設置されているので、塵挨は合理的かつ効果的
に室外へと排出され除去されることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルーム内の無人搬送車１の様子を示す
斜視図。

【図２】無人搬送車１の側面断面図。

【図３】バッファカセット５の側面断面図。（ａ）は水
平状態にあるバッファカセット５を示し、（ｂ）は傾斜
状態にあるバッファカセット５を示す。

【図４】移動カバーの形状を説明した側面図。

【符号の説明】

１無人搬送車２車体本体２ｂ逃がし孔５バッファカセット１０ウエハ５０ベース部材５１固定カバー（第一カバー）５１ａ固定カバーの前面部分５７移動カバー（第二カバー）５７ａ移動カバーの前面部分５７ａ１第一の部分５７ａ２第二の部分５２エアシリンダ（傾動手段）５６回動支点軸（揺動支点）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村山貴彦京都市伏見区竹田向代町136番地ムラタエンジニアリング株式会社内Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 CC02 DD01 EE05 FF01 JJ07 KK18 LL12 MM11 5F031 CA02 DA01 DA17 EA19 FA01 FA03 FA07 FA11 FA12 FA18 GA08 GA24 GA35 GA36 GA38 GA43 GA47 GA49 GA50 GA58 HA13 HA59 JA04 JA05 JA15 JA17 JA34 JA35 JA50 KA02 KA13 KA14 LA15 NA02 NA18 PA20 PA21

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハを移載する移載装置と、ウエハを
一時収納するバッファカセットと、該バッファカセット
を支持するべース部材と、該ベース部材の下方に配置さ
れ該ベース部材を傾動させる傾動手段とを備え、前記傾
動手段を作動させて前記ベース部材及び前記バッファカ
セットを水平姿勢又は傾斜姿勢に移行可能とした無人搬
送車において、第一カバーを搬送車本体に設けて、前記バッファカセッ
トが水平姿勢にあるときに位置する前記傾動手段を覆う
とともに、第二カバーを前記ベース部材に設けて、前記バッファカ
セットが傾斜姿勢にあるときに前記第一カバーと前記ベ
ース部材との隙間を覆うように構成したことを特徴とす
る、無人搬送車。
【請求項２】請求項１に記載の無人搬送車において、前記ベース部材の揺動中心は該ベース部材の一端寄りに
配置させるとともに、前記第二カバーは、そのベース部材の他端側に設けられ
る部分が、・同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、
前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに平行とな
る、平板状の第一の部分と、・同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、
前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに平行とな
る、平板状の第二の部分と、を含むように構成し、また、前記ベース部材の揺動中心から前記第一の部分までの距
離よりも、該ベース部材の揺動中心から前記第二の部分
までの距離が短いことを特徴とする、無人搬送車。
【請求項３】請求項２に記載の無人搬送車において、前記傾動手段を、車体本体の取付部に取り付けて構成し
たアクチュエータで構成し、前記ベース部材に固定したブラケットを該アクチュエー
タに回動自在に支持させ、前記取付部の周辺には前記第一カバー内の空気を逃がす
逃がし孔を設けたことを特徴とする、無人搬送車。