JP2010082742A - ウェーハ搬送ロボット及びウェーハ搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】昇降可能な支持台200と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第1アーム部201と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第2アーム部202と、第1アーム内に設けられ、第1及び第2アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構221,222とで構成される水平多関節ロボット220と、第2アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された2つの機械式リンクアーム241,242と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ208,209とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム240とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第2アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。
【選択図】図3
Description
[第1の実施形態]
本発明に係るウェーハ搬送ロボットは、ウェーハのアクセスポートがウェーハ搬送ロボットに対して対称に設置され、かつ、アクセスポートが多数存在し、ウェーハの搬出及び収納を高スループットで繰り返すウェーハ搬送装置(EFEM)に有効な構成である。
次に、第2の実施形態について説明する。
[第3の実施形態]
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。
200 支持台
201 第1アーム
202 第2アーム
208,209 エンドエフェクタ
220 スカラ型ロボット
221,222 アーム旋回機構
230 ダブルアーム旋回機構
240 水平多関節機械式ダブルリンクアーム
241,242 機械式リンクアーム
243,244 リンク部(リンクアーム)
245 断面コ字状の取付プレート
Claims (5)
- ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットにおいて、
昇降可能な支持台と、
前記支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第1アーム部と、その第1のアーム部の他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第2アーム部と、前記第1アーム内に設けられ、前記第1及び第2アームを旋回させ前記アームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム旋回機構とで構成される水平多関節ロボットと、
前記第2アーム部の先端上に水平方向に旋回可能に軸支され、互いに対称的に配置された2つの機械式リンクアームと、前記機械式リンクアームの先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタとを有する水平多関節機械式ダブルリンクアームとを備え、
前記機械式リンクアームを旋回させるダブルリンクアーム旋回機構が前記第2アームの内部に設けられ、
前記エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置されると共に、上段側のエンドエフェクタは断面コ字状のプレートを介して前記機械式リンクアームに接続され、下段側のエンドエフェクタは、前記断面コ字状のプレートの内側に配置したことを特徴とするウェーハ搬送ロボット。 - 請求項1記載のウェーハ搬送装置において、前記機械式リンクアームに取付けられるエンドエフェクタの柄部はそれぞれ取付られた機械式リンクアーム側にオフセットしていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット。
- 請求項2記載のウェーハ搬送装置において、前記エンドエフェクタは、前記機械式リンクアーム及び前記プレートを形成する材料より縦弾性係数の高い材料で形成されていることを特徴とするウェーハ搬送ロボット。
- 請求項1記載のウェーハ搬送装置において、前記ダブルリンクアーム旋回機構は、前記水平多関節機械式ダブルリンクアームを旋回させる旋回軸とその旋回軸を駆動するアクチュエータと、前記2つの機械式リンクアームをそれぞれ駆動する2つの回転軸とそれら回転軸を駆動する2つアクチュエータとで構成され、前記旋回軸と前記回転軸とが互いに同じ高さに配置されると共に、前記アクチュエータ同士が互いに同じ高さに配置されることを特徴とするウェーハ搬送ロボット。
- ウェーハを収納する容器と、容器内のウェーハを半導体製造装置のアクセスポートまで供給するまたは前記アクセスポートから前記容器へ回収するウェーハ搬送ロボットを備えたウェーハ搬送装置において、請求項1乃至4のいずれか1項記載のウェーハ装置ロボットを用いたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013157562A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
EP2716416A2 (en) | 2012-10-04 | 2014-04-09 | Hirata Corporation | Loading/unloading robot |
JP2017085127A (ja) * | 2011-03-11 | 2017-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1133950A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-09 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
JPH11300659A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-02 | Mecs Corp | 薄型基板搬送多関節ロボット |
JP2003179119A (ja) * | 2002-08-20 | 2003-06-27 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用ロボット |
-
2008
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1133950A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-09 | Daihen Corp | 2アーム方式の搬送用ロボット装置 |
JPH11300659A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-02 | Mecs Corp | 薄型基板搬送多関節ロボット |
JP2003179119A (ja) * | 2002-08-20 | 2003-06-27 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用ロボット |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11978649B2 (en) | 2011-03-11 | 2024-05-07 | Brooks Automation Us, Llc | Substrate processing apparatus |
US10600665B2 (en) | 2011-03-11 | 2020-03-24 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
US10325795B2 (en) | 2011-03-11 | 2019-06-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
JP2017085127A (ja) * | 2011-03-11 | 2017-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 基板処理ツール |
US8924118B2 (en) | 2012-01-31 | 2014-12-30 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Transfer system |
JP2013157562A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Yaskawa Electric Corp | 搬送システム |
KR20140044278A (ko) | 2012-10-04 | 2014-04-14 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 반입출 로봇 |
US9174346B2 (en) | 2012-10-04 | 2015-11-03 | Hirata Corporation | Loading/unloading robot |
KR101580718B1 (ko) | 2012-10-04 | 2015-12-28 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 반입출 로봇 |
EP3056321A2 (en) | 2012-10-04 | 2016-08-17 | Hirata Corporation | Loading/unloading robot |
EP3056321A3 (en) * | 2012-10-04 | 2017-03-01 | Hirata Corporation | Loading/unloading robot |
EP2716416A3 (en) * | 2012-10-04 | 2014-11-12 | Hirata Corporation | Loading/unloading robot |
JP2014073558A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Hirata Corp | 搬入出ロボット |
CN103707285A (zh) * | 2012-10-04 | 2014-04-09 | 平田机工株式会社 | 搬入搬出机器人 |
EP2716416A2 (en) | 2012-10-04 | 2014-04-09 | Hirata Corporation | Loading/unloading robot |
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Publication number | Publication date |
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