JP4276810B2 - 無人搬送車 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、枚葉移載装置を搭載した半導体ウエハ等を搬送する無人搬送車の技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ウエハを収納するための棚を多数設けたカセットを移載するための移載装置を搭載した無人搬送車により、その搬送経路に沿って多数設けられた検査装置に当該カセットごと移載する無人搬送車システムが知られている。このシステムでは、各検査装置に、載置されたカセットからウエハを1枚ずつ取り出し、1枚毎に検査部に移載する枚葉移載装置がそれぞれ設けてあった。このため、システムが大規模になるほど検査装置が多く設けられるので、この枚葉移載装置がその分多く必要になるという問題があった。その上、多品種少量生産を行う場合、品種により検査する検査装置が異なるため、各検査装置には、検査するウエハが1〜2枚であっても、例えば25枚を収納可能なカセットで供給する必要がある。このため、カセットも非常に多く必要になり、そのカセットを収納するストッカーが大きくならざるを得ないという問題があった。
そこで、ウエハを収納するための棚を多数設けたバッファカセットと、枚葉移載装置とを無人搬送車に搭載し、例えば、ストッカーのステーションに載置されたカセットから、ウエハを枚葉移載装置でバッファカセットに順次収納し、目的の検査装置まで搬送して、検査装置にウエハを直接移載することが検討されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このようなシステムでは、例えば、停電などの異常が発生した場合、移載予定の検査装置の隣の検査装置のメンテナンスを作業者が行う際に、このメンテナンスしている隣の検査装置に載置されているウエハを人手で取り出して、無人搬送車のバッファカセット内に人手で仮置きすることがある。そして、時には、作業者がバッファカセットにウエハを仮置きしたことを忘れてシステムを復旧させてしまうことがある。このような場合、無人搬送車が、前記移載予定の検査装置に収納されていた検査済みのウエハを、前記隣の検査装置にあった仮置きされたウエハのある棚に収納してしまうと、ウエハ同士の接触によりウエハが破損してしまうことが起こる。そこで、バッファカセットの各棚にウエハが収納されているか否かを検査(マッピング)する必要がでてくる。このマッピングは一対の透過型のセンサを棚に沿って移動させることにより行われる。そして、このマッピングの際に、作業者がウエハを視認しやすいように多少バッファカセットの開口から、ウエハを飛び出した状態で棚に仮置きしていると、センサが仮置きしたウエハに接触して、そのウエハを破損させる恐れもある。
さらに、無人搬送車の走行中の加減速によりウエハが飛び出してしまうことがあり、飛び出したままでマッピングすると、センサがウエハに接触してウエハを破損させることがある。
そこで、本発明は、枚葉移載装置およびバッファカセットを搭載した無人搬送車において、バッファカセットに収納したウエハをマッピングする際に、ウエハを破損させることのない無人搬送車を提供する。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【0005】
即ち、請求項1においては、ウエハを収納する多数の棚を備えたバッファカセットと、前記バッファカセットを上面に着脱自在に固定するバッファカセット台と、ウエハの移載を行う枚葉移載装置とを搭載する無人搬送車において、
前記バッファカセット台内に配設されたウエハ固定機構に上向きに設けられ、前記バッファカセットに収納されたウエハを前記カセットの開口部内の左右の中央付近にて開口側から奥側に押さえる位置と、前記開口部の左右の側壁近傍であってウエハの移載時にウエハに干渉しない位置と、の間で移動する押さえ部材と、
前記開口部内の左右側にて開口側から奥側に進入し、前記多数の棚に沿って移動して、各棚のウエハの有無を検出するセンサと、を備え、
前記ウエハの中央部前端位置を前記押さえ部材で押さえた状態で、前記センサを前記開口部内の左右側にて開口側から奥側に進入させ、各棚のウエハの有無を検出するものである。
【0006】
請求項2においては、前記押さえ部材が、搬送時のウエハの飛び出し防止手段を兼ねるものである。
【0007】
請求項3においては、前記センサが昇降機構を有する枚葉移載装置に配設されるものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図1は無人搬送車の側面図、図2は無人搬送車の平面図、図3は枚葉移載装置の一部斜視図、図4はバッファカセットと押さえ部材とマッピングセンサの位置関係を示す斜視図である。
【0009】
まず、本発明の実施の一形態の無人搬送車1の全体構成について図1および図2を用いて説明する。なお本発明はその性質上、走行レールを持たず、誘導線またはレーザー誘導装置により誘導される無人搬送車に対しても、他の実施の一形態である。
無人搬送車1はクリーンルーム内に敷設された二本の走行レール2・2上を走行する有軌道台車であり、一方の走行レール2に添設される給電線(図示せず)より非接触で給電し、走行輪3・3・・・を駆動する駆動モータ4・4・・・に電力を供給している。無人搬送車1の上面後部にはバッファカセット台6が配設され、バッファカセット台6の上面にはバッファカセット5が、その開口部5aを無人搬送車1の前方へ向けて着脱自在に固定される。なお、説明の便宜上、無人搬送車1において、バッファカセット5の配置側を後方、後述のアライナー10の配置側を前方とする。また、バッファカセット5の左右の内部には、上下にウエハ7・7・・・を多数配置可能とする左右一対の棚8・8・・・(図2中の斜線部)が多数段形成されている。棚8・8・・・は、バッファカセット5内の左右側壁に突設される。そして棚8・8・・・でウエハ7・7・・・の端部を支持することにより、バッファカセット5内には複数のウエハ7・7・・・が互いに接触しないように収納される。
バッファカセット5の前方には枚葉移載装置9、さらに前方にはアライナー(姿勢合わせ装置)10が配置される。この枚葉移載装置9についての詳細は後述するが、該枚葉移載装置9はバッファカセット5に収納されたウエハ7を一枚ずつ取り出す。そしてアライナー10にてウエハ7の結晶方位が一定方向となるように枚葉移載装置9の吸着位置を補正してから半導体製造装置やウエハ検査装置などの処理装置に移載される。また枚葉移載装置9は処理装置で処理後のウエハ7をバッファカセット5の空いた棚8に移載する。またアライナー10には各ウエハ7の表面に記されたバーコードなどの製造履歴情報を読み取るIDリーダー(図示せず)も併設される。
なお、本実施例では無人搬送車1にはアライナー10が配設されているが、アライナーが配設されない構成の無人搬送車も本発明の実施の一形態である。
【0010】
次に、図1、図2および図3を用いて枚葉移載装置9の説明を行う。
枚葉移載装置9の基部は昇降機構11であり、昇降機構11は昇降自在に無人搬送車1に設けられる。昇降機構11には上端部に、昇降機構11本体に対して旋回可能な旋回台27が設けられており、該旋回台27上にアッパーアーム20とロアアーム21の二本の移載アームが設けられている。前記移載アームが二本設けられていることにより、ウエハ7・7・・・(図4に図示)の移載作業の迅速化が可能である。
アッパーアーム20は第一アーム12U、第二アーム13U、アームブロック14Uからなる。第一アーム12Uの一端は旋回台27に対して旋回可能に連結され、他端には第二アーム13Uの一端が第一アーム12Uに対して旋回可能に連結される。さらに第二アーム13Uの他端にはアームブロック14Uが第二アーム13Uに対して旋回可能に連結される。このアッパーアーム20は、第一アーム12Uがθ回転すると、第二アーム13Uが第一アーム12Uの回転と逆方向の回転となる−2θ回転し、さらにアームブロック14Uが第一アーム12Uと同方向にθ回転するように構成されている。このため、アームブロック14Uは、見かけ上直線運動するようになっている。
アームブロック14Uは下板15U、垂直部16U、上板17Uおよびピンセット18Uなどで構成される。下板15Uは第二アーム13Uに対して旋回可能に連結される部位であり、該下板15Uの端部より垂直部16Uが立設される。該垂直部16Uの上端には平面視略L字型の上板17Uの一端が固定され、他端側にはピンセット18Uが設けられている。ピンセット18Uの先端付近上面には吸着口19・19が穿設されており、無人搬送車1に搭載されるエアーコンプレッサーやエジェクターなどからなる負圧発生機構(図示せず)が該吸着口19・19にエアー配管を介して連結される。
このように構成することにより、ピンセット18U上にすくい取られたウエハ7の盤面が、吸着口19・19によるエアー吸引によりピンセット18U上に吸着されて、移載時にウエハ7がピンセット18U上から脱落しない。またピンセット18Uを薄板状に形成することにより、バッファカセット5への進入時に、吸着するウエハ7以外のウエハに接触しない構成となっている。
ロアアーム21は第一アーム12L、第二アーム13L、アームブロック14Lからなり、その構成はアッパーアーム20と略同様であるが、図3に示すようにロアアーム21の垂直部16Lはアッパーアーム20の垂直部16Uよりも背が低く、ロアアーム21の上板17Lの上面よりもアッパーアーム20の上板17Uの下面が常に高い位置にあるため、アッパーアーム20とロアアーム21が互いに接触しない構成となっている。
【0011】
また、ロアアーム21の上板17Lの後面には投光部22と受光部23とを備えた透過型の光センサであるマッピングセンサ24が突設され、投光部22の先端から投光された赤外光などの光を受光部23の先端で受光する。
なお、投光部22と受光部23の配置は左右逆になっても同様の効果を奏するため、本実施例に限定されない。また、マッピングセンサ24は、透過型の光センサに限定されるものではなく、ウエハの有無が検出できれば他のセンサでも良い。
【0012】
例えば、停電等によりシステムが停止し、復旧した場合、作業者が検査装置や無人搬送車1のメンテナンスの際に、検査装置のウエハ載置部や無人搬送車1の移載装置上のウエハをバッファカセット5の空棚に仮置きしたまま放置した状態で復旧した場合、無人搬送車1はウエハが仮置きされた棚を空棚と誤認識している恐れがある。そこで、復旧直後にバッファカセット5の各棚にウエハがあるかどうかを検知して、該バッファカセット5の各棚におけるウエハの有無を、無人搬送車1は再認識する必要がある。そして、バッファカセット5に収納されているウエハ7・7・・・の有無を確認する際には、まず前記マッピングセンサ24がバッファカセット5の開口部5aの正面に来るように枚葉移載装置9を旋回させる。
次にロアアーム21を作動させ、図4に示すようにマッピングセンサ24の先端を、バッファカセット5の奥側へ進入させる。ウエハ7は円盤状に形成されているので、平面視で、投光部22と受光部23との間に形成される光経路が、ウエハ7を横切りながら、マッピングセンサ24がウエハ7と接触しない程度に、バッファカセット5の奥側へマッピングセンサ24を進入させることが可能である。このような位置にマッピングセンサ24を進入させた状態で昇降機構11を作動させることにより、ロアアーム21に設けたマッピングセンサ24を昇降移動させ、バッファカセット5の各棚8におけるウエハ7の有無を検知する。そして、ある高さの棚においてマッピングセンサ24の投光部22より投光される光がウエハ7の端部により遮られたことを受光部23が検知すると、その位置にはウエハ7が存在することが検知される。このようにして、バッファカセット5の各棚8におけるウエハ7の有無が確認されて、その後、ウエハ7が載置されていない棚8に、ロアアーム21またはアッパーアーム20でウエハ7を収納するように制御する。
またウエハ7がバッファカセット5の開口部5a側から見て斜めに収納されている(例えば、ウエハ7の左右の端部がそれぞれ異なる棚8に収納されている)場合、等速度で枚葉移載装置9が上昇、あるいは下降しているときに投光部22の光が遮断される時間が長くなる、あるいは光の遮断されている昇降高さの幅が大きくなることから、ウエハ7がバッファカセット5に所定の姿勢で収納されているかどうかも併せて確認可能である。このような斜めに収納されている棚8を検知した場合、その棚8に、ロアアーム21またはアッパーアーム20でウエハ7を収納しないように制御する。
そして、マッピングセンサ24が棚に沿って移動している時ウエハ7・7・・・が、メンテナンス作業の都合上視認しやすいように開口部5aから飛び出した状態で、作業者が棚8に仮置きしてそのまま放置した場合のように、バッファカセット5内の所定の収納位置よりも開口部5a側にずれていると、マッピングセンサ24が該ウエハ7と接触し、ウエハ7を破損させる可能性がある。
【0013】
そこで本発明では開口部5aに押さえ部材25を設け、マッピングする際に該押さえ部材25によりウエハ7・7・・・の端部のうち最も開口部5aに近い位置(平面視でウエハ7の中央部前端位置)でバッファカセット5の奥側へウエハ7・7・・・を押し付けるようにしている。
なお、バッファカセット5内のウエハ7が棚8の開口部5aから飛び出す状態となるのは、作業者の人手による載置だけでなく、無人搬送車1の走行中の加減速による場合も考えられる。このため、本実施の形態の無人搬送車1では、押さえ部材25によるウエハ7・7・・・の押さえつけは、搬送中およびマッピングセンサ24によるウエハ7の確認作業時に行われる。そして、マッピングセンサ24によるウエハ7の有無確認を、ウエハ7・7・・・の前端位置を押さえ部材25によりウエハ7を所定の位置に保持した状態で行って、ウエハ7・7・・・がマッピングセンサ24と接触して破損することがないようにしている。
【0014】
押さえ部材25は本体25a、当接部25b、枢着体25c、およびロッド25dで構成されている。本体25aの後端面には当接部25bが配設される。当接部25bは押さえ部材25でウエハ7・7・・・を固定する時に、該ウエハ7・7・・・と接触する部位である。当接部25bは導電性樹脂などの弾性体からなり、ウエハ7・・・の端部を損傷・汚染させることなくバッファカセット5の奥側に押し付けるとともに、一般的に半導体ウエハなどが嫌う静電気を無人搬送車1に逃がす機能も兼ねている。本体25aの中央部には枢着体25cが回動自在に枢着され、該枢着体25cの下端よりロッド25dが下方に突設される。また、ロッド25dはバッファカセット台6内に配設されたウエハ固定機構26に設けられている。ウエハ固定機構26には、エアーシリンダー等の駆動手段が設けられており、ロッド25dをウエハ7の移載時に干渉しない位置と、ウエハ7をバッファカセット5の棚に位置固定できる位置との両方の間を、開口部5aに穿ったL型の溝に沿って移動可能にしている。そのため、ロッド25dに設けられる押さえ部材25をウエハ7・7・・・の前端部に押し付けたり、あるいはウエハ7・7・・・の移載の邪魔にならない開口部5a側壁近傍(図4中の点線で示す位置)に逃がすといった操作を可能としている。この押さえ部材25は、マッピング中のウエハ7とマッピングセンサ24との接触を防止するとともに、ウエハ7をバッファカセット5の所定の位置に保つために設けられるものである。このため、開口部5aの左右の中央付近に設けられることが好ましいが、マッピングセンサ24に干渉しない範囲で左右どちらかにずれていても良い。
なお、ウエハ7・7・・・がバッファカセット5の開口側から飛び出すのを規制する手段としては、本実施例の押さえ部材25に限定されない。マッピングセンサ24によるバッファカセット5内のウエハ7・7・・・の有無を確認する際に、ウエハ7を固定した状態でマッピングセンサ24の昇降の妨げにならず、ウエハ7の移載時には取出・収納を阻害しない位置に避難可能な構成であれば、他の構成でもよい。
【0015】
バッファカセット5内のウエハ7・7・・・の有無の確認は、停電等の異常発生時の復旧直後のみならず、例えば通常の移載作業開始前に行われる。そして、ウエハ7・7・・・を押さえ部材25で押さえた状態でマッピングセンサ24を昇降させる。
以上のように構成することにより、マッピングセンサ24がウエハ7・7・・・に接触して破損するトラブルの防止が可能であり、移載作業前のバッファカセット5内のウエハ7・7・・・の有無の確認を確実に行うことが可能である。
また、押さえ部材25でウエハ7・7・・・を押さえた状態で搬送することにより、搬送中の無人搬送車1の加減速によって、ウエハ7・7・・・がバッファカセット5の開口部5aより飛び出すことを防止できる。さらに、マッピングセンサ24を枚葉移載装置9に配設することにより、枚葉移載装置9に備えた昇降機構11を利用して、マッピングセンサ24の昇降動作が可能である。したがって、マッピングセンサ24を上下に昇降させるための動作部を新たに設ける必要がなく、装置構成を簡略化可能である。
なお、本実施例ではマッピングセンサ24をロアアーム21の上板17L側面に配設したが、マッピングセンサ24がバッファカセット5内の所定の位置に来るように構成されておればよく、枚葉移載装置9のどの部位に配設するかは限定されない。またマッピングセンサ24は、枚葉移載装置9以外に設けても良く、例えば、開口部5aにバッファカセット5の棚8に沿って上下に昇降自在な昇降ユニットを設け、そこに配置するようにしても良い。またマッピングセンサ24の形状についても、バッファカセット5やウエハ7・7・・・に接触せずに昇降可能な形状であれば同様の効果を奏する。
【0016】
【発明の効果】
本発明は、以上のように構成したので、以下に示すような効果を奏する。
【0017】
即ち、請求項1に示す如く、ウエハを収納する多数の棚を備えたバッファカセットと、前記バッファカセットを上面に着脱自在に固定するバッファカセット台と、ウエハの移載を行う枚葉移載装置とを搭載する無人搬送車において、前記バッファカセット台内に配設されたウエハ固定機構に上向きに設けられ、前記バッファカセットに収納されたウエハを前記カセットの開口部内の左右の中央付近にて開口側から奥側に押さえる位置と、前記開口部の左右の側壁近傍であってウエハの移載時にウエハに干渉しない位置と、の間で移動する押さえ部材と、前記開口部内の左右側にて開口側から奥側に進入し、前記多数の棚に沿って移動して、各棚のウエハの有無を検出するセンサと、を備え、前記ウエハの中央部前端位置を前記押さえ部材で押さえた状態で、前記センサを前記開口部内の左右側にて開口側から奥側に進入させ、各棚のウエハの有無を検出するので、
バッファカセットの各棚に収納されたウエハの有無を検出することで、既にウエハが収納されている棚にウエハを移載して、ウエハが破損するのを防ぐことができる。さらに、ウエハの有無を検出する際に、押さえ部材でウエハを押さえることができる。このため、棚に収納されたウエハが仮に開口側に飛び出していても、押さえ部材でウエハを奥側に移動させることができ、センサの移動によるウエハの破損を防ぐことができる。また、押さえ部材によりウエハを所定位置に配置して、その状態を保持することができ、より確実にウエハの有無を検出することができる。
【0018】
請求項2に示す如く、前記押さえ部材が、搬送時のウエハの飛び出し防止手段を兼ねるので、
無人搬送車を走行させてウエハを搬送する際に、無人搬送車の加減速によりバッファカセットからウエハが飛び出したり、位置のずれを防ぐことができる。このため、走行中であっても、ウエハをバッファカセットの棚の所定位置に保つことができる。
【0019】
請求項3に示す如く、前記センサが昇降機構を有する移載装置に配設されるので、
移載装置に備えた昇降機構を利用して、マッピングセンサの昇降動作が可能である。したがって、マッピングセンサを上下に昇降させるための動作部を新たに設ける必要がなく、装置構成を簡略化可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】無人搬送車の側面図。
【図2】無人搬送車の平面図。
【図3】枚葉移載装置の一部斜視図。
【図4】バッファカセットと押さえ部材とマッピングセンサの位置関係を示す斜視図。
【符号の説明】
1 無人搬送車
5 バッファカセット
5a 開口部
7 ウエハ
9 枚葉移載装置
11 昇降機構
22 投光部
23 受光部
24 マッピングセンサ
25 押さえ部材
Claims (3)
- ウエハを収納する多数の棚を備えたバッファカセットと、前記バッファカセットを上面に着脱自在に固定するバッファカセット台と、ウエハの移載を行う枚葉移載装置とを搭載する無人搬送車において、
前記バッファカセット台内に配設されたウエハ固定機構に上向きに設けられ、前記バッファカセットに収納されたウエハを前記カセットの開口部内の左右の中央付近にて開口側から奥側に押さえる位置と、前記開口部の左右の側壁近傍であってウエハの移載時にウエハに干渉しない位置と、の間で移動する押さえ部材と、
前記開口部内の左右側にて開口側から奥側に進入し、前記多数の棚に沿って移動して、各棚のウエハの有無を検出するセンサと、を備え、
前記ウエハの中央部前端位置を前記押さえ部材で押さえた状態で、前記センサを前記開口部内の左右側にて開口側から奥側に進入させ、各棚のウエハの有無を検出する、ことを特徴とする無人搬送車。 - 前記押さえ部材が、搬送時のウエハの飛び出し防止手段を兼ねることを特徴とする請求項1に記載の無人搬送車。
- 前記センサが昇降機構を有する枚葉移載装置に配設されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の無人搬送車。
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