KR100765124B1 - 글라스 반송장치 - Google Patents
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- A—HUMAN NECESSITIES
- A01—AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
- A01G—HORTICULTURE; CULTIVATION OF VEGETABLES, FLOWERS, RICE, FRUIT, VINES, HOPS OR SEAWEED; FORESTRY; WATERING
- A01G9/00—Cultivation in receptacles, forcing-frames or greenhouses; Edging for beds, lawn or the like
- A01G9/02—Receptacles, e.g. flower-pots or boxes; Glasses for cultivating flowers
Landscapes
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Environmental Sciences (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 글라스(G)를 반송하는 글라스 반송장치(100)에 있어서,상기 글라스 반송장치(100)는;상기 글라스(G)가 반송되는 방향으로 연장되는 통상의 제 1 부상플레이트(110a);상기 제 1 부상플레이트(110a)와 동일한 구성을 가지면서 상기 제 1 부상플레이트(110a)의 일측에 이격 배치되는 제 2 부상플레이트(110b); 및상기 제 1 부상플레이트(110a) 및 상기 제 2 부상플레이트(110b)의 길이방향을 따라 연장되는 고정자(124)와, 상기 고정자(124)를 따라 이송되는 가동자(126)를 갖는 가이드부(122) 및 상기 가동자(126)의 상부에 결합 배치되는 스테이지(132)와, 상기 스테이지(132)의 상부에 일체로 형성되는 지지플레이트(134)와, 상기 지지플레이트(134)의 일단 및 타단에 배치되면서 상기 글라스(G)의 중심부분 일단 및 타단 가장자리를 진공 흡착하는 그리퍼(136)를 갖는 그립핑부(130)를 구비하는 흡착이송수단(120)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 글라스 반송장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 그리퍼(136)는 상기 지지플레이트(134)의 일단과 타단에 고정 결합되면서 다수의 제 1 진공홀(144)이 형성되는 제 1 그리퍼몸체(140)를 구비하며, 각각의 상기 제 1 진공홀(144)에는 벨로오즈 타입의 진공패드(150)가 장착되는 것을 특징으로 하는 글라스 반송장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 그리퍼(136)는 각각의 상기 제 1 그리퍼몸체(140)의 외측에서부터 장착되면서 상기 제 1 그리퍼몸체(140)의 상부를 덮는 각각의 제 2 그리퍼몸체(142)를 더 구비하고, 상기 제 2 그리퍼몸체(142)의 상부면 상에는 다수의 상기 제 1 진공홀(144) 및 다수의 벨로오즈 타입의 상기 진공패드(150)가 노출될 수 있도록 다수의 절개공(146)이 형성되며, 각각의 상기 절개공(146) 사이에는 장공의 형상을 가지는 다수의 제 2 진공홀(148)이 형성되고, 상기 절개공(146) 및 상기 제 2 진공홀(148)이 형성된 상기 제 2 그리퍼몸체(142)의 상부면 상에는 상기 제 2 그리퍼몸체(142)의 상부면의 형상과 동일한 고무 타입 진공패드(152)가 장착되는 것을 특징으로 하는 글라스 반송장치.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 각각의 상기 제 1 진공홀(144)은 제 1 진공솔레노이드밸브(154)를 가지는 제 1 진공라인(156)과 연결되고, 마찬가지로 다수의 상기 제 2 진공홀(148)은 제 2 진공솔레노이드밸브(158)를 가지는 제 2 진공라인(160)과 연결되는 것을 특징으로 하는 글라스 반송장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 지지플레이트(134)의 상부면 상에는 다수의 지지핀(138)이 상기 지지플레이트(134)의 상측으로 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 반송장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060013981A KR100765124B1 (ko) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 글라스 반송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060013981A KR100765124B1 (ko) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 글라스 반송장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070081819A KR20070081819A (ko) | 2007-08-20 |
KR100765124B1 true KR100765124B1 (ko) | 2007-10-11 |
Family
ID=38611626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060013981A KR100765124B1 (ko) | 2006-02-14 | 2006-02-14 | 글라스 반송장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100765124B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100913298B1 (ko) | 2009-04-01 | 2009-08-26 | 이재성 | 진공을 이용하여 안정된 반송을 도모할 수 있는 비접촉식 반송플레이트 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101318212B1 (ko) * | 2012-12-31 | 2013-10-15 | 한국기계연구원 | 글라스 이송 장치 |
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2006
- 2006-02-14 KR KR1020060013981A patent/KR100765124B1/ko active IP Right Grant
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---|---|
KR20070081819A (ko) | 2007-08-20 |
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