KR100913298B1 - 진공을 이용하여 안정된 반송을 도모할 수 있는 비접촉식 반송플레이트 - Google Patents

진공을 이용하여 안정된 반송을 도모할 수 있는 비접촉식 반송플레이트 Download PDF

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Abstract

피반송물의 부상뿐만 아니라 흡입력을 갖도록 제작하여 피반송물의 안정성 및 고른 평탄도를 유지시킬 수 있는 반송플레이트가 개시된다. 본 발명에 따른 반송플레이트는 베이스와, 분출플레이트와 진공플레이트를 포함하는 구성을 갖는다. 베이스는 상부면상 가운데에 길이방향으로 진공챔버가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버가 형성되어 진공챔버에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 분출챔버에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는다. 그리고 분출플레이트는 분출챔버위에 장착되고, 내부에는 분출챔버와 연통되는 다수의 분출로가 밀폐되게 형성되며, 각각의 분출로에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공이 형성된다. 또한, 진공플레이트는 진공챔버위에 양측이 분출플레이트와 맞닿게 장착되어 틈새를 형성하고, 내부에는 진공챔버와 연통되는 다수의 흡입로가 양측으로 개방되게 형성되어 틈새로 흡입력이 작용된다. 이때, 흡입로와 분출로의 양단에는 저항볼트가 체결되어 진공력이나 분출력을 조절할 수 있게 된다.

Description

진공을 이용하여 안정된 반송을 도모할 수 있는 비접촉식 반송플레이트{Conveying plate using vacuum}
본 발명은 반송플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피반송물의 외곽으로는 압축공기가 분출되고, 피반송물의 중앙부로는 진공의 흡입력이 작용되어 안정적이고 평단도가 유지될 수 있도록 반송시킬 수 있는 비접촉식 반송플레이트에 관한 것이다.
일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.
이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다.
종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.
전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있다.
비접촉식 반송 플레이트의 구성을 간략하게 살펴보면, 도 1에서 보는 바와 같이 내부에 에어의 흐름을 안내하는 챔버가 형성된 하판(10)과, 하판(10)의 상부에 결합되어 챔버로 유입되는 압축에어를 분출하는 에어홀(21)을 갖는 상판(20)으로 구성된다. 즉, 하판(10)의 하부에는 압축에어를 인가시키기 위한 에어커넥터(11)가 형성되고, 이 압축에어를 챔버에서 각 라인으로 분기시켜 상판(20)의 에어홀(21)로 분출시키게 되는 것이다. 따라서 상판(20)위에 얹혀진 글라스가 일정 높이로 부상되어 비접촉식 반송되게 된다.
한편, 글라스는 그 크기에 따라 구분되어 지는데, 가로 ㅧ 세로 2,300mm를 8세대라고 하고, 앞으로의 추세는 가로 ㅧ 세로 3,000mm를 갖는 11세대가 주력이 될 것이다.
이와 같은 8세대 이상의 글라스는 좌, 우 폭이 넓기 때문에 반송시킬때에 안정적으로 반송시키기가 어렵게 되는 문제가 있게 된다.
또한, 8세대 이상의 글라스는 제작상 정밀한 평탄도를 유지하기 어렵고, 이러한 불균형의 평탄도에 의해 정밀검사가 더욱 어려워지는 문제점을 안고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 피반송물의 부상뿐만 아니라 흡입력을 갖도록 제작하여 피반송물의 안정성 및 고른 평탄도를 유지시킬 수 있는 반송플레이트를 제공하는데 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명은,
상부면상 가운데에는 길이방향으로 진공챔버가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버가 형성되어 진공챔버에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 분출챔버에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는 베이스;
분출챔버위에 장착되고, 내부에는 분출챔버와 연통되는 다수의 분출로가 밀폐되게 형성되며, 각각의 분출로에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공이 형성되는 분출플레이트; 및
진공챔버위에 양측이 분출플레이트와 맞닿게 장착되어 틈새를 형성하고, 내부에는 진공챔버와 연통되는 다수의 흡입로가 양측으로 개방되게 형성되어 틈새로 흡입력이 작용되는 진공플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송플레이트를 제공한다.
이때, 흡입로의 양측 개방부에는 무두볼트로 된 제1저항볼트가 체결되어 진공의 흡입력이 제1저항볼트의 나사산을 통해 작용됨이 바람직하다.
그리고 분출로는 양측으로 관통되게 형성되면서 양측의 개방부에는 유두볼트 로 된 제2저항볼트가 체결되어 분출력이 제2저항볼트의 나사산을 통해 작용되며, 분사공은 제2저항볼트의 위쪽에 형성됨이 바람직하다.
또한, 분사공의 하부측에는 직경이 작은 소분사공이 형성될 수도 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 반송플레이트는 피반송물을 부상시키기 위해 가장자리측으로 압축공기를 분출시키면서 가운데에서는 흡입력을 갖도록 하여 밀고 당기는 적절한 조화에 의해 피반송물이 안정되게 반송될 수 있는 잇점이 있다.
또한, 평탄도가 맞지 않는 피반송물의 경우에는 밀고 당기는 힘에 의해 평탄도가 맞쳐질 수 있는 효과도 있게 되어 정밀 측정을 도모할 수도 있게 된다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반송플레이트를 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 결합사시도이고, 도 4는 도 2의 A-A선을 따라 도시한 단면도이며, 그리고 도 5는 도 2의 B-B선을 따라 도시한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 베이스(110)와, 분출플레이트(130)와, 진공플레이트(120)를 포함한다.
베이스(110)는 외부의 콤푸레샤나 진공펌프에 연결되어 압축공기 및 흡입공기를 유입시키는 곳으로, 상부면상에는 분출챔버(112) 및 진공챔버(111)가 형성된 다.
진공챔버(111)는 중앙부에 길이방향으로 형성되고, 분출챔버(112)는 진공챔버(111)의 양쪽으로 이격되게 각각 하나씩 형성된다. 이때, 진공챔버(111) 및 분출챔버(112)는 베이스(110)의 양단으로 관통되지 않도록 양단에 인접한 위치까지 연장되도록 형성된다.
이러한 진공챔버(111) 및 분출챔버(112)는 베이스(110)의 하부면상으로 관통되게 형성된 진공포트(111a) 및 공급포트(112a)에 의해 외부의 흡입력이나 압축력을 받는다.
이와 같이 형성된 베이스(110)의 상부면상에 진공플레이트(120)와 분출플레이트(130)가 장착된다. 바람직하게는 진공플레이트(120)는 진공챔버(111)의 상측으로 결합되고, 분출플레이트(130)는 양쪽에 형성된 분출챔버(112)의 상측에 결합된다. 그리고 진공플레이트(120)와 압축플레이트(130)는 측면에서 서로 맞닿게 되고, 그 사이에는 틈새(120a)가 형성된다.
진공플레이트(120)와 분출플레이트(130)는 베이스(110)측에서 체결되는 제1볼트(B1)에 의해 베이스(110)상에 결합되는데, 제1볼트(B1)가 아래쪽에서 잡아 당기면서 체결되므로 진공플레이트(120) 및 분출플레이트(130)가 베이스(110)에 밀착 결합되는 것이다.
그리고 분출플레이트(130)의 상부면상에는 다수의 제2볼트(B2)가 하측방향으로 체결되는데, 제2볼트(B2)는 분출플레이트(130)와 베이스(110)를 관통하여 반송플레이트(100)의 고정을 도모하게 된다.
다음은 진공플레이트(120)와 분출플레이트(130)를 상세하게 살펴본다.
먼저, 진공플레이트(120)를 살펴보면, 도 5에서 보는 바와 같이 진공플레이트(120)의 내부에는 양쪽으로(폭 방향으로) 관통되는 흡입로(121)가 형성되고, 이 흡입로(121)는 하측의 진공챔버(111)와 연통되도록 하부면상으로 진공연결로(122)가 관통되게 형성된다. 이러한 흡입로(121) 및 진공연결로(122)는 진공플레이트(120)의 길이방향으로 연속해서 다수개가 형성되어 전구간에 걸쳐 분포된다.
이렇게 형성된 진공플레이트(120)는 진공펌프에 연결되어 반송플레이트(100)의 상부면상에 흡입력을 갖도록 하는 것으로, 진공플레이트(120)와 분출플레이트(130)의 사이 틈새(120a)가 흡입력이 작용하는 구간이 된다. 따라서 흡입력이 작용되는 구간은 반송플레이트(100)의 길이방향 중앙부 전체가 되는 것이다.
한편, 흡입로(121)는 구경이 크기 때문에 너무 많은 흡입력에 의해 피반송물의 부상을 억제하거나 반송을 억제하게 되는 결과를 초래할 수 있게 된다. 따라서 흡입로(121)의 내주면상에 탭가공을 하고, 흡입로(121)의 양측 개방부에 제1저항볼트(125)를 체결하여 작용되는 흡입력의 압력을 조절할 수 있게 된다.
여기에서 사용되는 제1저항볼트(125)는 내부의 흡입공기가 유통되어야 하므로 외주면상에 나사가공이 된 무두볼트로 사용됨이 바람직할 것이다.
다음으로 분출플레이트(130)는 도 4에서 보는 바와 같이 진공플레이트(120)와 마찬가지로 내부에 양쪽으로(폭방향으로) 관통되는 분출로(131)가 형성되고, 이 분출로(131)는 하측의 분출챔버(112)와 연통되도록 하부면상으로 분출연결로(132)가 관통되게 형성된다.
이러한 분출로(131) 및 분출연결로(132)는 분출플레이트(130)의 길이방향으로 연속해서 다수개가 형성되어 전구간에 걸쳐 분포된다.
이때, 분출로(131)와 흡입로(121)는 서로 맞닿지 않도록 어긋나게 형성됨이 바람직하다.
한편, 분출로(131)의 양측 개방부에는 탭가공이 되어 암나사를 형성하고, 이 양측 개방부에 분출로(131)를 밀폐시키는 제2저항볼트(135)가 체결된다. 이러한 제2저항볼트(135)는 분출로(131)를 밀폐시키기 위해 헤드(135a)를 갖는 유두볼트로 사용됨이 바람직하고, 분출플레이트(130)와 진공플레이트(120)가 맞닿기 위해 헤드가 안으로 삽입되는 안착부(131a)가 형성됨이 바람직하다.
이와 같이 밀폐된 분출로(131)에는 유입된 압축공기를 상측으로 분출시키는 분사공(137)이 형성된다. 분사공(137)은 분출로(131)에서 직접 연통되어 분출되도록 하기 보다는 분출력을 감소시켜 조절하도록 제2저항볼트(135)의 나사산을 타고 분출되도록 하였다.
즉, 분사공(137)은 제2저항볼트(135)의 상측으로 관통되게 형성된다. 이때, 분사공(137)은 상측으로 진행될 수록 확장되는 구조를 갖는데, 하부측에는 분사공(137)보다 직경이 작은 소분사공(138)이 형성됨이 좋다.
이와 같이 분사공(137)을 이중으로 하는 이유는 1차적으로 제1저항볼트(137)에서 압축공기의 분출력을 제어하고, 2차적으로 압축공기의 분출속도를 감소시키기 위함이다.
이렇게 형성된 반송플레이트(100)는 도 3에서 보는 바와 같이 분사공(137)로 는 압축공기가 분출되어 피반송물을 부상시키게 되고, 틈새(120a)에서는 흡입력이 발생되어 분출과 흡입의 적절한 조화로 피반송물을 안정되게 반송시킬 수 있게 된다. 또한, 평탄도가 맞지 않는 피반송물의 경우 밀고 당기는 힘에 의해 평탄도가 맞쳐질 수도 있게 된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 반송플레이트를 나타낸 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 분해사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 결합사시도이고,
도 4는 도 2의 A-A선을 따라 도시한 단면도이며, 그리고
도 5는 도 2의 B-B선을 따라 도시한 단면도이다.

Claims (4)

  1. 상부면상 가운데에는 길이방향으로 진공챔버(111)가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버(112)가 형성되어 상기 진공챔버(111)에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 상기 분출챔버(112)에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는 베이스(110);
    상기 분출챔버(112)위에 장착되고, 내부에는 상기 분출챔버(112)와 연통되는 다수의 분출로(131)가 밀폐되게 형성되며, 상기 각각의 분출로(131)에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공(137)이 형성되는 분출플레이트(130); 및
    상기 진공챔버(111)위에 양측이 상기 분출플레이트(130)와 맞닿게 장착되어 틈새(120a)를 형성하고, 내부에는 상기 진공챔버(112)와 연통되는 다수의 흡입로(121)가 양측으로 개방되게 형성되어 상기 틈새(120a)로 흡입력이 작용되는 진공플레이트(120);를 포함함을 특징으로 하는 반송플레이트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 흡입로(121)의 양측 개방부에는 무두볼트로 된 제1저항볼트(125)가 체결되어 진공의 흡입력이 상기 제1저항볼트(125)의 나사산을 통해 작용됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 분출로(131)는 양측으로 관통되게 형성되면서 양측의 개방부에는 유두볼트로 된 제2저항볼트(135)가 체결되어 분출력이 상기 제2저항 볼트(135)의 나사산을 통해 작용되며, 상기 분사공(137)은 상기 제2저항볼트(135)의 위쪽에 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 분사공(137)의 하부측에는 직경이 작은 소분사공(138)이 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
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