KR100746833B1

KR100746833B1 - 비접촉 반송플레이트

Info

Publication number: KR100746833B1
Application number: KR1020050112168A
Authority: KR
Inventors: 원용연; 최원철
Original assignee: 주식회사 엔씨비네트웍스
Priority date: 2005-11-23
Filing date: 2005-11-23
Publication date: 2007-08-07
Also published as: KR20070054306A

Abstract

피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트가 개시되어 있다. 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트는 고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 하부플레이트 및 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진다. 이때, 에어홀은 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되고 내주면 상에는 암나사가 형성된 확장안내부와, 확장안내부의 연장단에서 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비한다. 그리고 확장안내부에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워진다.

Description

비접촉 반송플레이트{NONCONTACT CONVEYING PLATE}

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송 플레이트를 분해하여 나타낸 분해 사시도이며,

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이고,

도 3은 도 2에 도시된 “B”를 확대하여 나타낸 도면이며,

도 4a 내지 4f는 도 2에 도시된 저유량형성체의 다양한 실시예를 보인 도면이고,

도 5는 도 1에 도시된 상부플레이트의 다른 실시예를 보인 도면이며, 그리고

도 6은 도 5에 도시된 선 C-C를 따라 도시된 단면도이다.

<도면의주요부분에대한부호의설명>

100 : 반송플레이트 110 : 에어홀

112 : 확장안내부 114 : 암나사

116 : 미세안내부 118 : 경사안내부

120 : 저항수단 122 : 저항삽입체

124 : 수나사 126 : 에어안내부

128 : 저유량형성체 130 : 저유량형성홈

140 : 진공수단 142 : 제 1 진공안내라인

144 : 제 2 진공안내라인 146 : 진공홀

본 발명은 비접촉 반송플레이트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트에 관한 것이다.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.

이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다.

종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다. 전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있는 실정이다.

그런데, 전술한 비접촉식 반송수단은 에어홀마다 분출되는 에어유량의 정밀한 제어가 어렵기 때문에 부분적으로 저압의 유량이 공급될 수 있다. 그 결과, 반송되는 피 운반체가 반송수단에 접촉되거나 또는, 반송수단에 흡착되어 스크래치가 발생하거나 파손 등의 문제로 인하여 공정수율이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하게 하는 비접촉 반송플레이트를 제공하는데 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해서 본 발명은,

고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 하부플레이트 및 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서,

에어홀은 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되고 내주면 상에는 암나사가 형성된 확장안내부와, 확장안내부의 연장단에서 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부와, 확장안내부와 미세안내부 사이에 형성되면서 확장안내부의 연장단에서 미세안내부의 하단 측으로 방사상 좁아지게 연장되는 경사안내부를 구비하고, 확장안내부에는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 미세안내부로 분출되게 하는 저항삽입체 및 저유량삽입체로 이루어진 저항수단이 끼워지며, 저항삽입체는 확장안내부에 끼워질 수 있도록 암나사에 대응하는 수나사가 외주면 상에 형성됨과 아울러 저항삽입체의 수나사와 확장안내부의 암나사의 체결여유간격으로는 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시키는 나선형의 에어안내부가 형성되고, 저유량형성체는 원판형상 또는 상측으로 방사상 좁아지게 연장되는 원뿔형상 중 어느 하나의 형상을 가지면서 상부면 상에는 저유량형성체의 외곽에서 중심부분으로 다수의 저유량형성홈이 방사상으로 형성되는 비접촉 반송플레이트를 제공한다.

삭제

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 피 운반체를 반송하기 위해서 공급되는 에어(air)를 고압의 저유량으로 공급할 수 있게 하는 저항수단과, 분출된 에어를 흡입하는 진공홀을 구비함으로써, 반송 중 피 운반체의 떨림 현상을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체를 수직하게 배치한 상태로 반송이 가능하다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 비접촉 반송플레이트에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트를 분해하여 나타낸 분해 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 하부플레이트(10)와, 하부플레이트(10)의 상부에 고정볼트(12)에 의해서 고정되는 상부플레이트(20)와, 하부플레이트(10) 및 상부플레이트(20) 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓(30)을 구비하는데, 하부플레이트(10)의 하부면 상에는 압축에어가 공급되는 에어공급피팅(14)이 장착되며, 상부플레이트(20)에는 하부플레이트(10)에 공급된 압축에어가 분출될 수 있는 다수의 에어홀(110)이 형성된다.

도 2는 도 1의 선 A-A를 따라 도시된 단면도이며, 그리고 도 3은 도 2에 도시된 “B”를 확대하여 나타낸 도면이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 각각의 에어홀(110)에 장착되는 저항수단(120)을 더 구비한다. 이를 위해서 에어홀(110)은 상부플레이트(20)의 하부면 상에서 내측으로 수직하게 연장 형성됨과 아울러 내주면 상에 암나사(114)가 형성된 확장안내부(112), 확장안내부(112)의 연장단에서 상부플레이트(20)의 상부면을 관통하는 미세안내부(116)로 이루어진다. 또한 에어홀(110)은 확장안내부(112)와 미세안내부(116) 사이에 경사안내부(118)를 더 형성한다. 경사안내부(118)는 확장안내부(112)의 연장단에서 미세안내부(116)의 하단 측으로 방사상 좁아지게 연장되어 형성된다.

저항수단(120)은 확장안내부(112) 내에 배치되는 저항삽입체(122) 및 저유량형성체(128)를 구비한다.

먼저, 저항삽입체(122)는 원통형상을 가지면서 확장안내부(112)에 체결될 수 있도록 외주면 상에는 암나사(114 or 144)에 대응하는 수나사(124)가 형성된다. 이렇게 확장안내부(112)에 체결된 저항삽입체(122)는 암나사(114)와 수나사(124)의 체결을 위한 체결여유간격 즉, 수나사(124)의 바깥지름(D)과 암나사(114)의 골지름(d) 사이 간격, 그리고 수나사(124)의 골지름(D1)과 암나사(114)의 안지름(d1) 사이 간격에 에어안내부(126)를 형성한다. 즉, 하부플레이트(10) 측에서 공급되는 압축에어는 암나사(114) 및 수나사(124)의 결합으로 형성되는 에어안내부(126)를 따라 나선형으로 안내된다. 바람직하게는 저항삽입체(122)는 머리부가 없는 통상의 무두렌치나사를 채택한다.

도 4a 내지 4f는 도 2에 도시된 저유량형성체의 다양한 실시예를 보인 도면이다.

도시된 바와 같이, 저유량형성체(128)는 확장안내부(112)에 체결된 저항삽입체(122)의 상부와 경사안내부(118) 사이에 배치된다. 저유량형성체(128)는 원판형상으로 제작되거나, 또는 상측으로 방사상 좁아지는 원뿔형상으로 제작된다.
이때, 저유량형성체(128)의 상부면 상에는 저유량형성체(128)의 방사상 외측에서 저유량형성체(128)의 중심부분으로 도면에 도시된 바와 같이 다수의 저유량형성홈(130)이 방사상으로 형성된다. 도 4a 내지 도 4c에는 원판형상을 갖는 저유량형성체(128)가 도시되어 있으며, 도 4d 내지 도 4f에는 원뿔형상을 갖는 저유량형성체(128)가 도시되어 있다.

누구나 알 수 있듯이 하부플레이트(10)로 공급되는 고압의 압축에어는 에어안내부(126)를 통과하면서 1차 고압 저유량으로 변화되고, 이어 연속되는 경사안내부(118)와 저유량형성체(128)의 저유량형성홈(130) 사이를 통과하면서 2차 고압 극미소 유량으로 변화되어 미세안내부(116)를 통해 분출된다.

도면에 도시된 바와 같이 어느 하나의 저유량형성홈(130)은 하측으로 만곡된 “∪”자 형상을 갖는다. 바람직하게는, 어느 하나의 저유량형성홈(130)은 “V”자 형상을 가지도록 형성할 수 있다. 더욱 바람직하게는 어느 하나의 저유량형성홈(130)은 하측으로 좁아지는 직각삼각형상 즉, 통상의 톱날 형상을 가지도록 형성할 수 있다.
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 비접촉 반송플레이트(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다.
먼저, 상류장비에서 피 운반체(이하; “패널” 이라함)를 전달하기 위해서 신호를 보내면 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 작동을 시작한다. 이때, 에어공급용 피팅(14)으로는 고압의 압축에어(compressed air)가 공급되고, 이렇게 공급된 고압의 압축에어는 상부플레이트(20)에 형성된 각각의 에어홀(110) 측으로 안내된다.
각각의 에어홀(110) 측으로 안내된 고압의 압축에어는 에어안내부(126) 및 저유량형성체(128)의 저유량형성홈(130)을 거치면서 고압의 저유량으로 경사안내부(118) 측으로 안내된 후, 다시 미세안내부(116)를 통해 분출된다. 이렇게 미세안내부(116)를 통해 분출되는 에어는 패널을 패널의 진행방향의 수직방향으로 분출되어 패널을 상부플레이트(20)의 상부면 상측으로 부상시킨다.

도 5는 도 1에 도시된 상부플레이트의 다른 실시예를 보인 도면이며, 그리고 도 6은 도 5에 도시된 선 C-C를 따라 도시된 단면도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상부플레이트(20)에는 진공수단(140)이 더 형성된다. 진공수단(140)은 상부플레이트(20)의 일단에서부터 상부플레이트(20)의 타단까지 관통되는 제 1 진공안내라인(142)과, 상부플레이트(20)의 일측에서 상부플레이트(20)의 타측까지 관통됨과 아울러 제 1 진공안내라인(142)과 교차되는 제 2 진공안내라인(144)과, 상부플레이트(20)의 상부면 상에서 상부플레이트(20)의 내측으로 수직하게 연장되면서 제 1 진공안내라인(142)과 연결되는 다수의 진공홀(146)을 구비한다. 이때, 제 1 진공안내라인(142)의 양단은 진공용 마개(148)에 의해서 기밀가능하게 마감되고, 제 2 진공안내라인(144)의 양단에는 진공용 피팅(150)이 장착된다. 한편, 진공홀(146)은 상부플레이트(20)에 형성된 어느 하나의 에어홀(110)과 대각으로 마주보는 또 다른 에어홀(110)의 중간부위에 형성된다. 즉, 다수의 에어홀(110)과 다수의 진공홀(146)은 상부플레이트(20)에 지그재그 형상으로 배열된다.

삭제

즉, 상부플레이트(20)의 상부로 분출되어 패널을 부상시킨 에어는 미세안내부(116)의 주변에 형성된 진공홀(146) 측으로 흡입되어 제 1 진공안내라인(142), 제 2 진공안내라인(144) 및 진공용 피팅(150)을 거쳐 배출된다. 이렇게 미세안내부(116)로 분출된 에어가 진공홀(146) 측으로 유입됨으로써 반송 중인 패널이 상부플레이트(20) 상에 떨어지지도 달라붙지도 않게 된다. 이렇게 에어홀(110)과 진공홀(146)을 구비함으로써, 수직하게 배치한 상태에서 패널을 수직하게 반송할 수 있다.

삭제

본 발명에서는 비접촉 반송플레이트(100)를 기준으로 설명하였지만, 동일한 구성으로 에어 베어링 또는 에어 가이드 등으로 사용할 수 있음을 본 발명이 속하는 해당기술에 숙련된 당업자라면 누구나 알 수 있을 것이다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비접촉 반송플레이트(100)는 상부플레이트(20)에 확장안내부(112), 경사안내부(118) 및 미세안내부(116)로 이루어진 에어홀(110)에 저항삽입체(122) 및 저유량형성체(128)를 배치함으로써, 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킬 수 있어 패널을 반송할 때 떨림현상을 현저하게 줄일 수 있어 정밀하고 안정적이며 고정도의 반송이 가능하다.

한편, 각각의 에어홀(110)의 주변에 진공홀(146)을 형성하여 패널 반송을 위해 분출된 에어를 흡입함으로써, 종래 수평하게 펼쳐진 상태로 반송되던 패널을 수직하게 세워진 상태로 반송할 수 있는 잇점이 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims

고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 상기 하부플레이트 및 상기 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서,

상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되고 내주면 상에는 암나사가 형성된 확장안내부와, 상기 확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부와, 상기 확장안내부와 상기 미세안내부 사이에 형성되면서 상기 확장안내부의 연장단에서 상기 미세안내부의 하단 측으로 방사상 좁아지게 연장되는 경사안내부를 구비하고, 상기 확장안내부에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항삽입체 및 저유량삽입체로 이루어진 저항수단이 끼워지며, 상기 저항삽입체는 상기 확장안내부에 끼워질 수 있도록 상기 암나사에 대응하는 수나사가 외주면 상에 형성됨과 아울러 상기 저항삽입체의 상기 수나사와 상기 확장안내부의 상기 암나사의 체결여유간격으로는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시키는 나선형의 에어안내부가 형성되고, 상기 저유량형성체는 원판형상 또는 상측으로 방사상 좁아지게 연장되는 원뿔형상 중 어느 하나의 형상을 가지면서 상부면 상에는 상기 저유량형성체의 외곽에서 중심부분으로 다수의 저유량형성홈이 방사상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.
삭제
삭제
삭제
제 1 항에 있어서, 어느 하나의 상기 저유량형성홈은 하측으로 만곡된 “∪”자 형상, 또는 “V”자 형상, 또는 상기 저유량형성홈은 하측으로 좁아지는 직각삼각형상을 가지는 통상의 톱날 형상 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.
삭제
제 1 항에 있어서, 상기 상부플레이트에는 상기 에어홀에서 분출된 에어를 흡입하는 진공수단이 더 형성되며, 상기 진공수단은 상기 상부플레이트의 일단에서 부터 타단까지 관통되는 제 1 진공안내라인과, 상기 상부플레이트 일측에서 타측까지 관통되면서 상기 제 1 진공안내라인과 교차되는 제 2 진공안내라인과, 상기 상부플레이트의 상부면 상에서 상기 상부플레이트의 내측으로 수직하게 연장되면서 상기 제 1 진공안내라인과 연결되는 다수의 진공홀을 구비하고, 상기 제 1 진공안내라인의 양단은 진공용 마개에 의해서 기밀가능하게 마감되며, 상기 제 2 진공안내라인의 양단에는 진공용 피팅이 장착되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.
제 1 항에 있어서, 상기 진공홀은 상부플레이트에 형성된 어느 하나의 에어홀과 대각으로 마주보는 또 다른 에어홀의 중간부위에 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트.