KR100916932B1 - 대전방지용 레이전트 도막층의 틈새를 이용한 비접촉식 반송플레이트 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 상부면상에 적어도 한줄 이상의 안착부(112)가 형성되고, 상기 안착부(112)의 바닥면상에 챔버(114)가 형성되며, 대전방지용 레이전트 도막층이 형성된 하판(110); 및상기 챔버(114)내의 에어를 공급받도록 하부면상에 다수의 분기층(122)이 형성되고, 상기 분기층(122)의 양측에는 라운딩된 안내홈(124)이 형성되며, 대전방지용 레이전트 도막층이 형성되어 상기 안착부(112)에 삽입 고정되는 상판(120);을 포함하는 것을 특징으로 하는 대전방지용 레이전트 도막층의 틈새를 이용한 비접촉식 반송플레이트.
- 제 1 항에 있어서, 상기 챔버(114)는 상기 안착부(112)의 바닥 중앙선을 따라 형성되며 상기 하판(110)의 양단으로 관통되지 않도록 상기 하판(110)의 양단 인접위치까지만 형성됨을 특징으로 하는 대전방지용 레이전트 도막층의 틈새를 이용한 비접촉식 반송플레이트.
- 제 2 항에 있어서, 상기 분기층(122)은 상기 챔버(114)에 직교되도록 형성되며, 등간격으로 연속해서 형성됨을 특징으로 하는 대전방지용 레이전트 도막층의 틈새를 이용한 비접촉식 반송플레이트.
- 제 1 항에 있어서, 상기 하판(110)의 일단 및 타단에는 커버(130)가 장착됨을 특징으로 하는 대전방지용 레이전트 도막층의 틈새를 이용한 비접촉식 반송플레이트.
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2009
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