KR101281127B1

KR101281127B1 - 비접촉 평판 이송장치

Info

Publication number: KR101281127B1
Application number: KR1020110025517A
Authority: KR
Inventors: 박봉선
Original assignee: 박봉선
Priority date: 2011-03-22
Filing date: 2011-03-22
Publication date: 2013-07-02
Also published as: KR20120107788A

Abstract

본 발명은 다양한 검사 및 측정장비로부터 평판의 결함을 정확하면서도 용이하게 검출할 수 있으며, 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 제품의 불량률을 최소화함은 물론 정확한 검사로 인해 제품의 품질을 극대화함을 제공하도록, 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성할 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 상에 상부가 위치하도록 상기 토출로에 결합 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체가 상기 노즐홈을 향해 분사될 수 있도록 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하고, 상기 노즐부재는 외주연 상에 상기 토출로로부터 수직으로 연통하고 상기 노즐구를 향해 연장형성되는 노즐로를 포함하는 비접촉 평판 이송장치를 제공한다.

Description

비접촉 평판 이송장치{Non-contact Plate Transferring Device}

본 발명은 비접촉 평판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 평판에 부양력을 가하여 부양이송하며 이송시 평판이 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하므로 다양한 검사 및 측정장비로부터 평판의 결함을 정확하면서도 용이하게 검출할 수 있으며, 강한 부양력을 생성시킴에 따라 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시켜 제품의 불량률을 최소화함은 물론 정확한 검사로 인해 제품의 품질을 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. 이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section)과 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이와 같은 검사장비가 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션에서부터 언로딩 섹션까지 평판을 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다. 최근에는 평판을 안내하는 반송수단으로 엘씨디(LCD), 피디피(PDP), 디엘피(DLP), 에프피디(FPD) 등과 같은 평판패널을 공기부양시켜 이송하도록 구성되는 공기부양식 평판패널 이송장치가 실용화되어 이용되고 있는 실정이다.

상기와 같은 공기부양식 평판패널 이송장치와 관련하여 대한민국 특허등록 제10-0650290호에는, 고압의 압축에어가 공급되는 하부플레이트와, 상기 하부플레이트의 상부에 고정볼트에 의해서 고정되면서 에어가 분출되는 다수의 에어홀이 형성된 상부플레이트와, 상기 하부플레이트 및 상기 상부플레이트 사이에 배치되는 통상의 실리콘 가스켓으로 이루어진 비접촉 반송플레이트에 있어서, 상기 에어홀은 상기 상부플레이트의 하부면 상에 내측으로 수직하게 연장 형성되는 제1확장안내부와, 상기 제1확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 내측으로 연장됨과 아울러 상기 제1확장안내부의 직경보다 작은 직경을 가지면서 내주면 상에는 암나사가 형성 제2확장안내부와, 상기 제2확장안내부의 연장단에서 상기 상부플레이트의 상부면을 관통하는 미세안내부를 구비하고, 상기 제1확장안내부 및 상기 제2확장안내부에는 상기 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 변화시켜 상기 미세안내부로 분출되게 하는 저항수단이 끼워지도록 구성되어 고압의 압축에어를 고압의 저유량으로 분출시킴에 따라 패널을 반송할 때 떨림현상을 줄일 수 있는 것을 특징으로 하는 비접촉 반송플레이트가 개발되어 있다.

또한, 관련기술로서 대한민국 특허등록 제10-0913298호에는 상부면상 가운데에는 길이방향으로 진공챔버가 형성되고, 그 양쪽에는 이격되게 분출챔버가 형성되어 상기 진공챔버에는 외부의 진공펌프에서 흡입력을 인가받으며, 상기 분출챔버에는 외부의 콤푸레샤에서 압축공기를 인가받는 베이스; 상기 분출챔버 위에 장착되고, 내부에는 상기 분출챔버와 연통되는 다수의 분출로가 밀폐되게 형성되며, 상기 각각의 분출로에는 상측으로 관통되어 압축공기를 분출시키는 분사공이 형성되는 분출플레이트; 및 상기 진공챔버위에 양측이 상기 분출플레이트와 맞닿게 장착되어 틈새를 형성하고, 내부에는 상기 진공챔버와 연통되는 다수의 흡입로가 양측으로 개방되게 형성되어 상기 틈새로 흡입력이 작용되는 진공플레이트;를 포함한 구성으로 피반송물이 안정되게 반송하고 평탄도를 맞출 수 있는 것을 특징으로 하는 반송플레이트가 공지되어 있다.

또한, 대한민국 특허등록 제10-0876337호에는 챔버가 형성된 하판과, 상기 하판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 챔버와 연통되는 다수의 결합공을 갖는 중판과, 상기 중판의 상부면상에 겹쳐지며 상기 결합공들과 연통되는 에어분출공을 갖는 상판과, 상기 에어분출공으로 삽입 고정되고 상기 챔버의 에어를 수용하여 상기 에어분출공과의 사이 틈새로 유도하는 에어분출볼트를 포함하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트에 있어서, 상기 에어분출볼트의 상단에는 상기 에어가 상측 사선방향으로 분출되도록 머리부가 형성되되, 상기 머리부의 하부면은 상측으로 연장될수록 벌어지는 사선이 형성되고, 상기 에어분출공의 상단은 라운딩되며, 상기 에어분출볼트의 상부면상에는 오목한 홈이 형성되어 반송과 동시에 소량의 흡입력이 발생되므로 미세한 떨림을 방지할 수 있는 것을 특징으로 하는 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트가 공지되어 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 이송장치는 부양력에 의해 평판을 비접촉상태로 이송하기 때문에 얼룩이나 스크래치와 같은 흠집 없이도 평판을 이송할 수 있다는 이점이 있지만, 반면에 부양력을 생성시키는 유체의 공급이 부재된 공간에서는 평판이 아래로 쳐지거나 굽어져 온전한 검사 및 측정작업이 어렵게 된다는 단점이 있었다. 즉, 평판에 부양력을 생성시키는 이송장치는 복수로 설치하되 일정한 간격으로 서로 떨어져 설치되고 이송장치 간의 떨어진 공간에는 다양한 종류의 인라인 검사장비가 설치되어 이송 중인 평판을 검사하거나 측정하게 된다. 이처럼 이송장치 간에 서로 떨어져 부양력이 미치지 못하는 공간에서는 수평을 유지하던 평판이 갑자기 아래로 쳐지거나 굽어져 장비로부터 정확한 검사 및 측정결과를 얻지 못하고 평판의 결함을 온전히 찾아내지 못하거나 오차가 생기게 되는 문제점이 있었다.

상기에서 전술한 문제는 다양한 종류의 평판 중에서도 강성이 있어서 쉽게 구부러지지 않는 리지드 평판(rigid plate)보다도 어느 정도의 강성은 있지만 자중만으로 쉽게 구부러지는 필름 등의 유연한 평판(flexible plate)에 크게 나타나게 된다. 또한, 최근에는 검사장비의 설비 및 온전한 검사와 측정 등의 이유로 이송장치 간의 간격을 가급적 넓혀 설치함에 따라 평판이 쳐지거나 굽어지는 현상으로부터 정확하면서도 온전한 검사 및 측정이 이루어질 수 있는 기술개발이 요구되는 실정이다.

상기와 같은 문제점을 해결하고자 이송시 평판의 직진도를 높이도록 이송 전에 평판을 접어(folding)준 다음 펼쳐 평판이 소정의 굽어진 상태로 이송되므로 평판이 이송중에 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하였으나, 이는 불필요하게 평판을 접어야하는 작업과 함께 검사 후에는 다시 펼쳐야하는 작업으로 인해 작업이 늦춰지고, 평판이 지속해서 접힌 상태를 유지하기 위해서는 확실하게 접어야하기 때문에 제품의 손상으로 인해 불량률의 증가 및 품질이 저하되는 등의 문제점이 있었다.

또한, 종래의 이송장치는 부양력을 생성시키기 위해 척력을 생성할 에어와 함께 인력을 생성할 진공의 공급이 필요하므로 에어 및 진공을 발생시키거나 공급할 수 있는 각각의 장치가 필요하여 설비비용이 많이 소요된다는 문제점이 있었다. 따라서, 최근에는 에어 공급만으로 인력과 척력을 동시에 생성시킬 수 있는 이송장치가 개발되어 사용되고 있으나 평판을 부양하기 위해 생성되는 부양력이 약하고, 이송장치의 구조 및 각 구성들이 복잡한 형상을 이루므로 제작과정에서 가공이 어렵다는 문제점이 있었다.

더불어, 종래에 사용되었던 이송장치는 평판을 부양하기 위해 생성되는 부양력 중에서 평판을 끌어당기는 힘인 척력에 비해 평판을 밀어내는 힘인 인력이 상대적으로 크게 작용하므로 평판을 수평상태로 이송하지 못하는 문제점이 있었다. 즉, 평판을 부양시키기 위하여 공급된 공기의 흐름에 의해 생성되는 것으로 척력을 발생시키는 진공의 크기에 비해 인력을 발생시키는 압력이 사방에서 흘러나와 서로 접하면서 상대적으로 높은 압력을 발생시키기 때문에 평판이 균일하게 수평이송되지 못하고 상하로 반복해서 움직이며 진동하게 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 유지하면서 이송되어 검사장비의 설치로 인해 부양력이 부재된 공간에서도 평판의 자중으로 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하므로, 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하여 각종결함을 정확하게 검출할 수 있고, 명확한 검사 및 측정에 따른 작업으로 제품의 불량률을 최소화하면서 제품의 품질은 극대화하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.

뿐만 아니라, 본 발명은 부양력에 의해 이송되는 과정에서 평판이 미세하게 자동으로 접어지면서 평형상태로의 부양이송이 가능함에 따라 평판을 이송하기 전에 접거나 이송된 후의 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판이 과도하게 접히는 현상을 방지하여 수평상태를 유지할 수 있으므로 제품의 불량률을 줄이면서 품질은 높이는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명은 결합구조가 매우 간단하고 부양력을 생성시키는 수단이 간단한 형상을 이루므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루므로 강한 부양력을 생성시켜 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명은 평판에 부양력을 생성하도록 공급되는 압력이 흘러나갈 수 있도록 형성하여 압력이 서로 접하는 특정위치에서 과도하게 높아지는 현상을 방지하므로 평판에 부양력을 적용하는 인력과 척력이 서로 평형을 이뤄 평판의 진동량을 최소화하면서 수평이송하는 것이 가능한 비접촉 평판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 제안하는 비접촉 평판 이송장치는 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성할 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 상에 상부가 위치하도록 상기 토출로에 결합 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체가 상기 노즐홈을 향해 분사될 수 있도록 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하고, 상기 노즐부재는 외주연 상에 상기 토출로로부터 수직으로 연통하고 상기 노즐구를 향해 연장형성되는 노즐로를 포함하여 이루어진다.

상기 메인플레이트는 평판의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하며 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태를 평판이 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성된다. 즉, 상기 메인플레이트의 상면 양쪽 끝단의 최고점과 상면 중앙부분의 최저점 간에 10~15㎛의 단차 간격을 형성토록 이루어진다.

상기 노즐홈은 상기 메인플레이트에 의해 부양이송되는 평판으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 형성하고 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연결되도록 이루어지며, 상기 노즐홈은 상기 메인플레이트 상에 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치된다.

상기 메인플레이트는 상기 노즐홈 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트의 상면에 사선으로 서로 교차하도록 배열 배치되어 형성되는 유체배출로를 포함하여 이루어진다.

상기 노즐부재는 상기 메인플레이트에 고정설치되도록 하부에 형성되고 상기 토출로에 삽입되어 위치하는 결합부와, 상기 결합부의 상단에 형성되어 상기 노즐홈에 안착하고 측면 사방에 상기 노즐홈을 향해 유체를 분사할 수 있도록 복수의 노즐구가 형성되는 노즐머리를 포함하여 이루어진다.

상기 노즐부재의 노즐로는 상기 결합부의 측면에 수직방향으로 형성된 후 상기 노즐머리의 하면에 수평방향으로 연장 형성되고 미세한 깊이를 갖는 홈 형태로 이루어진다.

상기 노즐부재는 상기 결합부와 노즐머리 간에 직각을 이루도록 형성하여 구성하는 것이 가능하다.

또한, 상기 노즐부재는 상기 결합부와 노즐머리의 사이에 예각을 이루는 예각경사면이 형성되도록 구성하는 것도 가능하다. 이때, 상기 메인플레이트의 노즐홈은 상기 노즐부재의 예각경사면에 대응한 경사각을 이루며 상기 토출로에 연장 형성되는 예각경사구간을 포함하여 이루어진다.

그리고, 본 발명은 상기 메인플레이트에서 상기 노즐부재가 안착되도록 상기 노즐홈 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부를 포함하여 구성하는 것도 가능하다.

상기 단턱부는 상단에 안착되는 상기 노즐부재의 상부 지름에 대하여 동일한 지름으로 형성된다.

그리고, 본 발명은 상기 노즐부재를 상기 메인플레이트 내에 고정 설치하도록 상기 노즐부재의 하단에 연장되고 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부를 포함하여 구성하는 것도 가능하다.

상기 메인플레이트의 유체공급로는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로 사이에 상기 노즐홈 및 토출로가 형성되며, 상기 노즐부재를 상기 토출로에 끼워 삽입한 후 상기 체결부가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공이 형성되는 차단벽을 포함하여 이루어지는 것도 가능하다.

또한, 상기 메인플레이트의 하부에는 상기 노즐홈 및 토출로에 동일수직선상을 이루는 삽입공을 형성하고, 상기 메인플레이트의 하측에서 상기 삽입공으로 끼운 후 상기 체결부에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공이 형성되는 체결부재를 더 포함하여 구성하는 것도 가능하다.

본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 유지하며 이송시키도록 메인플레이트를 형상화하므로 부양력이 부재된 검사장비가 설치된 공간에서도 평판이 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하도록 평판의 직진도를 극대화하고, 이는 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하게 이루어져 평판의 각종결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 평판의 명확한 검사 및 측정으로 평판이 적용되는 제품의 불량률을 최소함과 아울러 제품의 품질을 극대화할 수 있는 효과를 얻는다.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 평판이 부양력에 의해 이송되는 과정에서 자동으로 미세하게 접힌 후 평형상태로의 부양이송을 지속해서 유지함이 가능하므로 평판을 이송하기 전에 접거나 이송된 후의 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판을 과도하게 접을 필요가 없으며 미세하게 굽힌 상태로 이송된 평판은 이송 후 다시 원상태로 자동복원됨에 따라 평판의 불량률은 최소화하면서 그 품질은 극대화할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 평판에 부양력을 생성시키는 메인플레이트와 노즐부재가 간단한 형상을 이루고 그 결합구조가 매우 간단하므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루므로 강한 부양력을 생성시켜 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 평판에 부양력을 생성하도록 공급되는 압력이 흘러나갈 수 있도록 유체배출로를 형성하여 유체가 사방에서 흐른 후 서로 만나는 특정위치에서 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하므로 평판에 부양력을 적용하는 인력과 척력이 서로 평형을 이뤄 평판의 진동량을 최소화하면서 수평이송할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 노즐구가 노즐홈에서 상측으로 떨어져 위치하므로 노즐구를 통해 분사되는 유체가 노즐홈에 마찰됨이 없음은 물론 공기와는 접촉이 커서 와류를 생성하면서 흐르기 때문에 평판을 부양하기 위한 진공도를 높일 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치는 메인플레이트에 노즐부재를 압입하여 억지 끼움한 후 나사결합하는 구조를 이루므로 보다 견고한 결속력으로부터 지속해서 체결상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 일실시예를 나타내는 확대단면도.
도 4는 본 발명에 있어서 노즐부재의 제1실시예를 나타내는 저면사시도.
도 5는 본 발명에 있어서 노즐부재의 제2실시예를 나타내는 저면사시도.
도 6은 본 발명에 있어서 노즐부재의 제2실시예가 적용된 확대단면도.
도 7은 본 발명에 따른 다른 실시예를 나타내는 확대단면도.
도 8은 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 제1실시예를 나타내는 확대단면도.
도 9는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 제2실시예를 나타내는 확대단면도.

본 발명은 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성할 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와; 상기 메인플레이트의 노즐홈 상에 상부가 위치하도록 상기 토출로에 결합 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체가 상기 노즐홈을 향해 분사될 수 있도록 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하고, 상기 노즐부재는 외주연 상에 상기 토출로로부터 수직으로 연통하고 상기 노즐구를 향해 연장형성되는 노즐로를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 메인플레이트는 평판의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하며 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태를 평판이 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성되는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 메인플레이트는 상면 양쪽 끝단의 최고점과 상면 중앙부분의 최저점 간에 10~15㎛의 단차 간격을 형성토록 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 노즐홈은 상기 메인플레이트에 의해 부양이송되는 평판으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 형성하고 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연결되도록 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 노즐홈은 상기 메인플레이트 상에 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치되는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 메인플레이트는 상기 노즐홈 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트의 상면에 사선으로 서로 교차하도록 배열 배치되어 형성되는 유체배출로를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 노즐부재는 상기 메인플레이트에 고정설치되도록 하부에 형성되고 상기 토출로에 삽입되어 위치하는 결합부와, 상기 결합부의 상단에 형성되어 상기 노즐홈에 안착하고 측면 사방에 상기 노즐홈을 향해 유체를 분사할 수 있도록 복수의 노즐구가 형성되는 노즐머리를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 노즐부재의 노즐로는 상기 결합부의 측면에 수직방향으로 형성된 후 상기 노즐머리의 하면에 수평방향으로 연장 형성되고 미세한 깊이를 갖는 홈 형태로 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 메인플레이트에서 상기 노즐부재가 안착되도록 상기 노즐홈 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 노즐부재가 상기 메인플레이트 내에 고정 설치하도록 상기 노즐부재의 하단에 연장되고 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부를 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 메인플레이트의 유체공급로는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로 사이에 상기 노즐홈 및 토출로가 형성되며, 상기 노즐부재를 상기 토출로에 끼워 삽입한 후 상기 체결부가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공이 형성되는 차단벽을 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

또한, 상기 메인플레이트의 하부에는 상기 노즐홈 및 토출로에 동일수직선상을 이루는 삽입공을 형성하고, 상기 메인플레이트의 하측에서 상기 삽입공으로 끼운 후 상기 체결부에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공이 형성되는 체결부재를 더 포함하여 이루어지는 비접촉 평판 이송장치를 기술구성의 특징으로 한다.

다음으로 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도면에서 동일한 구성은 동일한 부호로 표시하고, 중복되는 상세한 설명은 생략한다.

그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 해당 기술분야에서 보통의 지식을 가진 자가 본 발명을 이해할 수 있도록 설명하기 위해서 제공되는 것이고, 도면에서 나타내는 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 예시적으로 나타내는 것이다.

먼저, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 일실시예는 도 1 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 메인플레이트(10)와, 노즐부재(20)를 포함하여 이루어진다.

상기 메인플레이트(10)는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 외부가 육면체의 상자형상으로 이루어지고, 상면에는 복수의 노즐홈(11)이 형성되며, 내부에는 외부로부터 공급되는 유체가 상기 노즐홈(11)을 향해 이동될 수 있도록 형성된 이동통로로 유체공급로(15) 및 토출로(13)가 형성된다.

상기 메인플레이트(10)는 장방형의 직육면체로 소정의 두께를 갖되 비교적 무게가 가벼운 금속재질로 형성된다.

상기 메인플레이트(10)는 평판(P)의 이송방향을 따라 복수로 설치된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)는 평판(P)이 이송되는 방향으로 소정의 등간격을 유지하면서 나열 배치되는 것으로, 일정구간에서 상기 메인플레이트(10)의 사이에는 평판(P)을 검사하거나 측정가능한 별도의 장비가 위치할 수 있도록 서로 간격을 유지하며 설치된다.

상기 메인플레이트(10)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 상면 중앙부분이 하측으로 오목한 만곡면을 이루도록 형성된다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 상면이 만곡면을 이루므로 평판(P)이 이송과정에서 평판(P)의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하되 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태 즉, 상기 메인플레이트(10) 상면의 형상에 대응되는 상태를 유지하면서 이송될 수 있도록 형성된다.

상기 메인플레이트(10)의 상면 중 중앙부분이 하측으로 오목한 만곡면을 이룸에 따라 양쪽 끝단의 최고점(P1)과 중앙부분의 최저점(P2) 사이에는 미세한 단차 간격(D)을 형성하는데, 구체적으로 상기 메인플레이트(10)는 상면 양쪽 끝단의 최고점(P1)과 상면 중앙부분의 최저점(P2) 간에 10~15㎛의 단차 간격을 형성토록 이루어진다. 즉, 상기 메인플레이트(10)에 의해 이송되는 평판(P)은 양쪽 끝 부분이 중앙부분에 비해 10~15㎛ 더 높은 위치에 놓이도록 굽어진 형태를 유지하면서 이송하게 된다. 바람직하게는, 상기 메인플레이트(10) 상면의 단차 간격(D)이 15㎛를 이루도록 형성한다.

상기 유체공급로(15)는 외부에 별도로 구비된 유체발생장치(도면에 미도시)를 통해 생성된 유체가 상기 메인플레이트(10)의 내부로 계속해서 공급될 수 있도록 형성되는 통로로서, 상기 메인플레이트(10)의 한쪽 측면이 개방되어 내측으로 중공된 구조를 이루고 내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 형성된다.

상기 유체공급로(15)로 유체발생장치에서 생성된 유체를 공급함에는, 상기 유체공급로(15)의 개방된 한쪽 측면에 유체발생장치와 연결된 호스 등의 연결수단(5)이 설치된다.

상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10)의 상면에 복수로 형성되는 것으로, 상기 유체공급로(15)와 동일수직선상에 위치하여 상기 유체공급로(15)로부터 공급된 유체가 상기 노즐부재(20)를 통해 외부로 분사되면 평판(P)에 부양력을 생성할 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 역할을 수행한다.

상기 노즐홈(11)은 상기 토출로(13)의 상단에서 상기 메인플레이트(10)의 상면을 향해 완만하게 연결되도록 형성된 것으로, 상기 메인플레이트(10)에 의해 부양이송되는 평판(P)으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 이루도록 형성된다.

상기 노즐홈(11)은 상기 노즐부재(20)를 통해 분사된 유체가 상기 노즐홈(11)으로부터 상기 메인플레이트(10)의 상면을 향해 원활하게 흘러 이동될 수 있도록 상기 노즐홈(11)에서 상기 메인플레이트(10)의 상면에 접하는 부분이 소정의 곡면을 형성하도록 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10)의 상면에 소정의 간격을 이루며 형성되는 것으로, 상기 노즐홈(11)은 상기 메인플레이트(10) 상에 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치된다.

상기 토출로(13)는 상기 유체공급로(15)와 노즐홈(11)을 수직으로 연결하여 서로 연통하도록 형성된다. 즉, 상기 토출로(13)는 상기 유체공급로(15)의 가로방향으로 공급되는 유체의 이동을 세로방향으로 전환하여 상기 노즐홈(11)을 향해 상향할 수 있도록 형성하므로 유체가 외부를 향해 분사가능한 구조를 이루게 된다.

상기 메인플레이트(10)는 도 1 및 도 2에서처럼 상기 노즐홈(11) 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트(10)의 상면에 사선으로 서로 교차하도록 배열 배치되어 형성되는 유체배출로(17)를 포함하여 이루어진다.

상기와 같이 메인플레이트(10)에 유체배출로(17)를 형성하는 것에 의하여, 상기 노즐부재(20)로부터 분사된 유체가 상기 노즐홈(11)을 따라 흘러 상기 메인플레이트(10)의 상면으로 이동된 후 유체배출로(17)를 따라 이동되면서 상기 메인플레이트(10)의 바깥쪽으로 압력을 빼내기 때문에 사방에서 흐르는 유체가 접하면서 모여 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하는 것이 가능하고, 이는 평판(P)에 부양력을 생성시키는 인력과 척력이 서로 평형을 이뤄 평판(P)의 진동량을 최소화할 수 있게 된다.

상기 노즐부재(20)는 도 1 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 삽입되어 결합 설치되고 고압의 유체를 상기 노즐홈(11)을 향해 분사시킬 수 있는 구조로 형성된다.

상기 노즐부재(20)는 상기 메인플레이트(10) 내부에 공급된 유체 즉, 상기 유체공급로(15)를 따라 공급되어 상기 토출로(13)로 이동된 유체가 상기 노즐홈(11)을 향해 분사될 수 있도록 노즐구(26)가 형성된다.

상기 노즐구(26)는 상기 노즐부재(20) 외주연 상의 하단에 적어도 1개 이상이 형성된다. 바람직하게는, 상기 노즐부재(20)로부터 사방을 향해 유체가 고르게 분사될 수 있도록 각각 방향마다 1개씩의 노즐구(26)를 형성하도록 한다.

상기 노즐부재(20)는 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(20)가 상기 메인플레이트(10)에 고정설치되도록 형성되는 결합부(23)와, 상기 결합부(23)에 의해 상기 메인플레이트(10)에 결합시 상기 노즐홈(11)에 안착하여 위치하는 노즐머리(21)를 포함하여 이루어진다.

상기 노즐부재(20)는 상기 결합부(23)와 노즐머리(21) 간에 직각을 이루도록 형성된다.

상기 결합부(23)는 상기 노즐부재(20)의 하부를 이루도록 형성되고 상기 토출로(13)에 삽입되어 위치하되 상기 결합부(23)는 상기 토출로(13) 내에 억지 끼움 결합하도록 상기 토출로(13)의 내경에 대응되는 지름으로 형성된다.

상기 노즐머리(21)는 상기 결합부(23)의 상단에 형성되고 측면 사방에 상기 노즐구(26)가 복수로 형성되며, 상기 노즐부재(20)가 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)로 결합하게 되면 상기 노즐홈(11) 상에 안착할 수 있도록 상기 결합부(23)의 지름보다는 큰 지름을 이루며 형성된다.

상기 노즐부재(20)의 둘레 표면상에는 상기 토출로(13)에 공급된 유체가 상기 노즐구(26)로 이동가능하도록 형성되는 노즐로(25)를 포함하여 이루어진다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 노즐로(25)는 상기 노즐구(26)까지 수직 및 수평으로 연통하도록 형성되어 유체의 이동통로로서의 역할을 수행하도록 형성된 것으로, 상기 결합부(23) 외주연 상에 상기 토출로(13)로부터 수직으로 연통하고 상기 노즐구(26)를 향해 수평으로 연장되도록 형성된다.

상기 노즐로(25)는 상기 결합부(23)의 외주연 측면과 상기 노즐머리(21)의 하면에 미세한 깊이를 갖는 홈 형태로 이루어지는 것으로서, 상기 결합부(23)의 측면에 수직방향으로 형성된 후 상기 노즐머리(21)의 하면에 수평방향으로 연장 형성된다.

또한, 상기 노즐부재(20)의 제2실시예로서 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(20)는 상기 결합부(23)와 노즐머리(21)의 사이에 예각을 이루는 예각경사면(22)이 형성되도록 구성하는 것도 가능하다.

상기와 같이 노즐부재(20)를 구성하는 경우에 상기 메인플레이트(10)의 노즐홈(11)은 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(20)의 예각경사면(22)에 대응한 경사각을 이루며 상기 토출로(13)에 연장 형성되는 예각경사구간(12)을 포함하여 이루어진다.

상기한 노즐부재(20)의 제2실시예에 있어서도 상기한 노즐부재(20)의 제1실시예로부터 예각경사면(22) 및 상기 메인플레이트(10)의 예각경사구간(12)이 더 형성되는 것을 제외하고는 상기한 제1실시예와 동일한 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.

상기와 같이 상기 노즐부재(20)에 예각경사면(22)을 형성하게 되면, 상기 예각경사면(22) 및 예각경사구간(12)은 상기 토출로(13)의 중심선과 이루는 각도가 90°이하를 이루도록 형성되므로 상기 노즐로(25)도 예각을 형성하여 유체의 이동거리가 짧아짐에 따라 유체의 손실을 최소화하는 것이 가능하다.

상기와 같이, 본 발명은 별도의 유체발생장치로부터 생성된 유체는 연결수단(5)을 거쳐 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)에 공급된 후 수평이동하다가 토출로(13)가 형성된 위치에서 수직이동되고 토출로(13)에 결합 설치된 노즐부재(20)의 노즐로(25)를 통해 이동되어 노즐구(26)로 분사된다. 즉, 노즐부재(20)의 노즐구(26)로부터 노즐홈(11)을 향해 분사된 유체는 노즐홈(11)의 만곡면을 따라 메인플레이트(10)의 상면으로 흐르면서 인력과 척력이 생성되어 평판(P)을 부양이송하게 된다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)로 공급된 유체는 토출로(13)를 거쳐 노즐부재(20)의 노즐로(25)에 유입되고, 미세한 크기의 노즐로(25)로부터 노즐구(26)를 통해 분출되는 유체는 고압상태로 분사되면서 노즐홈(11)의 만곡면에 접하며, 메인플레이트(10)의 상면을 향해 빠르게 흐르는 유체의 급격한 유속 때문에 메인플레이트(10)의 상면에는 주위보다 높은 압력이 형성되어 평판(P)을 밀어내는 척력이 생성되는 반면, 노즐홈(11)의 상측에는 주위보다 낮은 압력이 형성되므로 평판(P)을 당기는 인력이 생성되어 평판(P)을 부양시킨 상태로 이송하게 된다.

즉, 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치에 의하면, 평판이 미세하게 굽어진 상태를 유지하며 이송시키도록 메인플레이트를 형상화하므로 부양력이 부재된 검사장비가 설치된 공간에서도 평판이 자중에 의해 쳐지거나 굽어지는 현상을 방지하도록 평판의 직진도를 극대화하고, 이는 다양한 장비로부터 평판의 검사 및 측정작업이 용이하게 이루어져 평판의 각종결함을 정확하게 검출할 수 있으며, 평판의 명확한 검사 및 측정으로 평판이 적용되는 제품의 불량률을 최소함과 아울러 제품의 품질을 극대화하는 것이 가능하다.

뿐만 아니라, 본 발명은 평판이 부양력에 의해 이송되는 과정에서 자동으로 미세하게 접힌 후 평형상태로의 부양이송을 지속해서 유지함이 가능하므로 평판을 이송하기 전에 접거나 이송된 후의 접힌 평판을 피는 작업이 불필요하여 작업의 편의성 및 신속성을 도모하고, 평판을 과도하게 접을 필요가 없으며 미세하게 굽힌 상태로 이송된 평판은 이송 후 다시 원상태로 자동복원됨에 따라 평판의 불량률은 최소화하면서 그 품질은 극대화하는 것이 가능하다.

또한, 본 발명은 평판에 부양력을 생성시키는 메인플레이트와 노즐부재가 간단한 형상을 이루고 그 결합구조가 매우 간단하므로 제작과정에서 가공이 용이하고, 유체의 흐름으로부터 높은 압력을 생성시킨 다음 급격한 유속으로의 이동이 가능한 구조를 이루므로 강한 부양력을 생성시켜 평판을 흔들림 없이 안전하게 이송시키는 것이 가능하다.

또한, 본 발명은 평판에 부양력을 생성하도록 공급되는 압력이 흘러나갈 수 있도록 유체배출로를 형성하여 유체가 사방에서 흐른 후 서로 만나는 특정위치에서 압력이 과도하게 높아지는 현상을 방지하므로 평판에 부양력을 적용하는 인력과 척력이 서로 평형을 이뤄 평판의 진동량을 최소화하면서 수평이송하는 것이 가능하다.

그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 다른 실시예는 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 메인플레이트(10)에서 상기 노즐부재(20)가 안착되도록 상기 노즐홈(11) 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부(35)를 포함하여 이루어진다.

상기 단턱부(35)는 상단에 안착되는 상기 노즐부재(20)의 상부 지름 즉, 상기 노즐머리(21)의 지름에 대하여 동일한 지름을 갖도록 형성되어 상기 노즐구(26)를 온전히 구비토록 한다.

상기 단턱부(35)의 돌출 높이는 상기 노즐부재(20)가 안착된 후 상기 노즐머리(21)의 상면이 상기 메인플레이트(10)의 상면보다 낮은 수평선상에 위치하도록 형성된다.

즉, 상기한 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 노즐구가 노즐홈에서 상측으로 떨어져 위치하므로 노즐구를 통해 분사되는 유체가 노즐홈에 마찰됨이 없음은 물론 공기와는 접촉이 커서 와류를 생성하면서 흐르기 때문에 평판을 부양하기 위한 진공도를 높이는 것이 가능하다.

상기한 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.

그리고, 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 또 다른 실시예는 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐부재(20)는 상기 메인플레이트(10) 내에 고정 설치하도록 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부(28)를 포함하여 이루어진다.

상기 체결부(28)는 상기 노즐부재(20)의 하단에 연장되어 형성된다. 즉, 상기 노즐부재(20)의 결합부(23) 하단으로 연장되어 상기 메인플레이트(10)에 결합하면 상기 토출로(13)의 하측으로 연장된 위치에서 상기 유체공급로(15) 상에 위치한다.

상기 노즐부재(20)는 도 8에 나타낸 바와 같이, 상기 체결부(28)를 통해 상기 메인플레이트(10) 내에 직접적으로 체결되어 고정설치하도록 구성하는 것이 가능하다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 유체공급로(15)는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로(15) 사이에 상기 노즐홈(11) 및 토출로(13)가 형성되며, 상기 노즐부재(20)를 상기 토출로(13)에 끼워 삽입한 후 상기 체결부(28)가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공(16a)이 형성되는 차단벽(16)을 포함하여 이루어진다.

또한, 상기 노즐부재(20)는 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 체결부(28)를 통해 상기 메인플레이트(10) 내부에서 간접적 체결되어 고정설치하도록 구성하는 것도 가능하다. 즉, 상기 메인플레이트(10)의 토출로(13)에 압입된 노즐부재(20)를 고정하도록 상기 메인플레이트(10)의 하부로 유입되고 상기 체결부(28)에 나사 결합하여 고정하는 체결부재(40)를 더 포함하여 이루어진다.

상기 체결부재(40)는 상기 메인플레이트(10)의 하부에 상기 노즐홈(11) 및 토출로(13)와 동일수직선상을 이루는 삽입공(19)을 형성하고, 상기 삽입공(19)으로 유입되어 상기 메인플레이트(10)의 하측에서 끼워진다.

상기 체결부재(40)는 상기 노즐부재(20)의 체결부(28)에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공(41)이 형성된다.

상기와 같이 체결부재(40)를 형성하게 되면, 상기 메인플레이트(10)로 압입된 상기 노즐부재(20)를 상기 체결부재(40)의 조작에 의해 고정하므로, 상기 노즐부재(20)의 조작으로 인해 상기 메인플레이트(10)와 맞닿아 서로 마모나 손상되는 현상을 방지하는 것이 가능하다.

즉, 상기한 또 다른 실시예와 같이 본 발명을 구성하면, 메인플레이트에 노즐부재를 압입하여 억지 끼움 결합한 후 나사결합하는 구조를 이루므로 보다 견고한 결속력으로부터 지속해서 체결상태를 유지하는 것이 가능하다.

상기한 또 다른 실시예에 있어서도 상기한 구성 이외에는 상기한 일실시예 및/또는 다른 실시예와 마찬가지의 구성으로 실시하는 것이 가능하므로, 상세한 설명은 생략한다.

상기에서는 본 발명에 따른 비접촉 평판 이송장치의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.

10 : 메인플레이트 11 : 노즐홈 12 : 예각경사구간
13 : 토출로 15 : 유체공급로 16 : 차단벽
16a : 체결공 17 : 유체배출로 19 : 삽입공
20 : 노즐부재 21 : 노즐머리 22 : 예각경사면
23 : 결합부 25 : 노즐로 26 : 노즐구
28 : 체결부 35 : 단턱부 40 : 체결부재
41 : 너트공 5 : 연결수단 P : 평판
P1 : 최고점 P2 : 최저점 D : 단차 간격

Claims

내부로 고압의 유체가 공급될 수 있도록 가로로 길게 중공된 유체공급로를 형성하고, 상기 유체공급로로부터 공급된 유체가 분사되면서 평판에 부양력을 생성할 수 있도록 유체의 흐름을 유도하는 노즐홈이 상면에 복수로 형성되며, 상기 유체공급로와 노즐홈이 서로 연통하도록 수직연결하는 토출로가 형성되는 메인플레이트와;
상기 메인플레이트의 노즐홈 상에 상부가 위치하도록 상기 토출로에 결합 설치되고 상기 유체공급로를 따라 공급된 유체가 상기 노즐홈을 향해 분사될 수 있도록 적어도 1개 이상의 노즐구가 형성되는 노즐부재;를 포함하고,
상기 노즐부재는 외주연 상에 상기 토출로로부터 수직으로 연통하고 상기 노즐구를 향해 연장형성되는 노즐로를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1에 있어서,
상기 메인플레이트는, 평판의 이송방향에 대하여 직각방향으로의 양쪽 끝단이 상향하며 중앙부분은 하측으로 오목하게 굽어진 상태를 평판이 유지하면서 이송될 수 있도록 상기 메인플레이트의 상면 중앙부분이 하측으로 미세하게 오목한 만곡면을 이루어 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 2에 있어서,
상기 메인플레이트는, 상면 양쪽 끝단의 최고점과 상면 중앙부분의 최저점 간에 10~15㎛의 단차 간격을 형성토록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐홈은, 상기 메인플레이트에 의해 부양이송되는 평판으로부터 대향된 방향으로 오목한 만곡면을 형성하고 상기 메인플레이트의 상면으로 완만하게 연결되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐홈은, 상기 메인플레이트 상에 사선방향으로 등간격을 이루며 배열 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1에 있어서,
상기 메인플레이트는, 상기 노즐홈 간의 이격된 간격마다 그 사이를 지나면서 상기 메인플레이트의 상면에 사선으로 서로 교차하도록 배열 배치되어 형성되는 유체배출로를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 메인플레이트에 고정설치되도록 하부에 형성되고 상기 토출로에 삽입되어 위치하는 결합부와, 상기 결합부의 상단에 형성되어 상기 노즐홈에 안착하고 측면 사방에 상기 노즐홈을 향해 유체를 분사할 수 있도록 복수의 노즐구가 형성되는 노즐머리를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 7에 있어서,
상기 노즐부재의 노즐로는, 상기 결합부의 측면에 수직방향으로 형성된 후 상기 노즐머리의 하면에 수평방향으로 연장 형성되고 미세한 깊이를 갖는 홈 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 7에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 결합부와 노즐머리 간에 직각을 이루도록 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 7에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 결합부와 노즐머리의 사이에 예각을 이루는 예각경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 10에 있어서,
상기 메인플레이트의 노즐홈은, 상기 노즐부재의 예각경사면에 대응한 경사각을 이루며 상기 토출로에 연장 형성되는 예각경사구간을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
상기 메인플레이트에서 상기 노즐부재가 안착되도록 상기 노즐홈 중앙부분이 상측으로 돌출 형성되는 단턱부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 12에 있어서,
상기 단턱부는, 상단에 안착되는 상기 노즐부재의 상부 지름에 대하여 동일한 지름으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐부재는, 상기 메인플레이트 내에 고정 설치하도록 상기 노즐부재의 하단에 연장되고 외주연을 따라 수나사가 형성되는 체결부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 14에 있어서,
상기 메인플레이트의 유체공급로는 두 개의 열이 서로 연통하여 한 쌍을 이루고, 두 열의 상기 유체공급로 사이에 상기 노즐홈 및 토출로가 형성되며, 상기 노즐부재를 상기 토출로에 끼워 삽입한 후 상기 체결부가 결합될 수 있도록 암나사가 구비된 체결공이 형성되는 차단벽을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.
청구항 14에 있어서,
상기 메인플레이트의 하부에는 상기 노즐홈 및 토출로에 동일수직선상을 이루는 삽입공을 형성하고, 상기 메인플레이트의 하측에서 상기 삽입공으로 끼운 후 상기 체결부에 나사 결합하여 고정하도록 암나사가 구비된 너트공이 형성되는 체결부재를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 비접촉 평판 이송장치.