KR100904776B1 - 비접촉식 반송 플레이트 - Google Patents

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Abstract

소량의 토출로 높은 압을 가지면서 피반송물의 흔들림이 적게 할 수 있는 비접촉식 반송플레이트가 개시된다. 본 발명에 따른 반송플레이트는 베이스판과, 상판과, 겹판을 포함한다. 베이스판은 상부면상에 적어도 한줄 이상의 안착부가 길이방향으로 형성된다. 상판은 안착부내에 길이방향으로 결합되는 것으로, 하부면상에는 하판의 하부면상으로 노출되는 에어커넥터가 장착되고, 양측면상에는 에어커넥터와 연통되는 오목한 챔버가 길이방향으로 형성되며, 챔버의 상측에는 일정한 폭과 일정한 간격을 갖는 다수의 극세틈이 상부면상으로 이어지도록 형성된다. 그리고 겹판은 챔버와 극세틈을 막아주도록 상판의 양측면상에 길이방향으로 결합되어 극세틈을 통해 압축에어가 분출되도록 한다.

Description

소량의 토출로 높은 압을 가지면서 피반송물의 흔들림이 적고 3차원 측정이 가능한 비접촉식 반송플레이트{A conveying plate}
본 발명은 비접촉식 반송플레이트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소량의 에어 토출로도 높은 압을 가지면서 피반송물의 흔들림이 적은 반송플레이트에 관한 것이다.
일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.
이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩 섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또 한 중요한 요소로 작용한다.
종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.
전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있다.
비접촉식 반송 플레이트의 구성을 간략하게 살펴보면, 내부에 에어의 흐름을 안내하는 챔버가 형성된 하판과, 하판의 상부에 결합되어 챔버로 유입되는 압축에어를 분출하는 에어홀을 갖는 상판으로 구성된다. 즉, 하판의 하부에는 압축에어를 인가시키기 위한 에어커넥터가 형성되고, 이 압축에어를 챔버에서 각 라인으로 분기시켜 상판의 에어홀로 분출시키게 되는 것이다. 따라서 상판위에 얹혀진 글라스가 일정 높이로 부상되어 비접촉식 반송되게 된다.
여기에서, 통상 에어홀의 직경은 0.3~0.5mm를 갖게 되는데, 이러한 에어홀은 작은 직경으로 보이지만 에어가 분출되는 것을 고려하면 그리 작은 홀은 아니게 된다. 따라서 에어의 분출 압력이 낮아지게 되고, 이로 인해 반송체를 부상시키는 힘도 떨어지게 되는 문제가 발생된다.
또는, 에어홀에 암나사를 형성하고, 이 에어홀에 분출볼트를 나사 결합시켜 수나사와 암나사의 틈새로 에어를 분출시키는 방법이 제시된 바 있으나, 이러한 나사산의 틈새로 에어를 분출시키는 방법은 나사산의 공차에 의해 때로는 막히는 현상이 발생되기도 하고, 때로는 과다한 에어가 분출되기도 하는 문제점이 있었다.
전술한 바와 같은 종래의 반송플레이트는 에어홀을 통해 많은 양의 에어가 수직으로 뿜어져 반송플레이트의 진행방향에 제동을 걸게 하는 경우도 발생된다.
또한, 종래의 반송플레이트처럼 홀을 이용한 에어분출의 경우 홀 가공의 한계가 있기 때문에 아주 작은 경우 0.1mm의 홀을 타공할 수도 있지만, 대부분이 0.3~0.5mm를 사용함을 고려할때에 이 홀을 통해 분출되는 에어의 분출량이 어마어마해 반송플레이트의 설비시 콤프레셔의 제원조건이 과대해지는 문제점도 발생된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 길이방향으로 안착부가 형성된 베이스판을 구비하고, 압축에어가 분출되도록 극세틈이 양측으로 형성된 상판과 겹판을 서로 결합시킨 후, 이 상판과 겹판을 안착부에 결합시켜 에어의 분출량이 적으면서 내압은 높고, 피반송물의 흔들림이 적게 할 수 있는 비접촉식 반송플레이트를 제공하는데 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명은,
적어도 한줄 이상의 안착부가 길이방향으로 형성된 베이스판;
안착부내에 길이방향으로 결합되고, 하부면상에는 하판의 하부면상으로 노출되는 에어커넥터가 장착되고, 양측면상에는 에어커넥터와 연통되는 오목한 챔버가 길이방향으로 형성되며, 챔버의 상측에는 일정한 폭과 일정한 간격을 갖는 다수의 극세틈이 상부면상으로 이어지도록 형성되는 상판; 그리고
상판의 양측면상에 길이방향으로 결합되는 겹판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송플레이트를 제공한다.
이때, 상판의 내부에는 에어커넥터와 연결되어 상판의 내부로 연장되는 에어유입로가 형성되고, 에어유입로의 상부에는 챔버쪽으로 연통되는 분기로가 형성됨이 바람직하다.
또한, 챔버내에는 다수의 연결로가 형성되어 챔버내에 균일한 압력을 제공할 수도 있게 된다.
그리고 극세틈이 시작되는 하단에는 라운딩부가 형성되어 압축에어의 원활한 흐름을 유도할 수 있게 된다.
또한, 극세틈은 0.005mm~0.05mm임이 바람직하다.
또한, 다수의 극세틈은 상판의 양측으로 갈수록 점점 간격이 넓어지게 형성됨이 좋다.
그리고 베이스판의 길이방향 중앙부와 상판의 길이방향 중앙부상에는 다수의 진공홀이 형성될 수도 있다.
그리고 상판의 하부면상에는 다수의 유입로가 형성되어 각각 에어커넥터가 접속되고, 각각의 에어유입로에는 다시 분기로가 형성되며, 각각의 분기로에는 독립된 챔버가 형성되어 다수의 챔버를 갖게 될 수도 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 반송플레이트는 상판과 겹판 사이의 극세틈으로 에어의 분출을 통하게 하여 에어의 분출량이 적으면서도 내압을 높게 할 수 있는 잇점이 있다.
또한, 본 발명은 에어가 높은 압을 가지면서 소량으로 분출되어 피반송물의 흔들림을 최소화 할 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반송플레이트를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 사시도이고. 도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 베이스판(110)과, 상판(120)과, 겹판(130)과, 다수의 체결볼트(도시되지 않음)로 구성된다.
베이스판(110)은 반송플레이트(100)의 근간을 이루는 것으로, 길다란 판 형상이며, 길이방향으로 적어도 한줄 이상의 안착부(112)가 형성된다. 안착부(112)는 오목하게 패인 것으로, 베이스판(110)의 일단과 타단을 관통하도록 형성된다.
그리고 안착부(112)의 중앙에는 하향으로 뚫린 관통공(114)이 형성되고, 안착부(112)의 바닥면상에는 하측으로 다수의 볼트체결공(B1)이 형성된다.
안착부(112)는 베이스판(110)의 폭에 따라 그 수가 정해지는 것으로, 베이스판(110)의 중앙에 한줄 또는, 양측에 이격되게 두줄 또는 세줄 등으로 형성시킬 수 있다.
상판(120)은 안착부(112)의 중앙선상으로 배치되어 베이스판(110)의 하측에서 볼트체결공(B1)을 통해 볼트가 체결되어 결합되는 것으로, 베이스판(110)의 길이와 같은 길이를 갖는다.
이러한 상판(120)은 하부면상 중앙부에 관통공(114)과 일치하도록 에어커넥터(101)가 결합되고, 에어커넥터(101)에서부터 내부 중심으로 에어유입로(121)가 연장된다. 그리고 에어유입로(121)의 상부에는 다시 상판(120)의 측면으로 연통되는 분기로(122)가 형성된다.
도 3은 상판의 측면을 자세하게 보기위한 도 1의 A부분 확대도이고, 도 4는 상판 측면에 형성된 극세틈을 상세하게 나타낸 도 3의 B부분 확대도이다.
상판(120)의 측면상에는 도 3 및 도 4에서 보는 바와 같이 양단으로 관통되지 않도록 상판(120)의 길이방향으로 오목하게 패인 챔버(123)가 형성된다. 즉, 에어커넥터(101)를 통해 유입된 압축에어는 유입로(121)와 분기로(122)를 통해 챔버(123)내로 차이게 되는 것이다.
그리고 챔버(123)의 상측에는 상판(120)의 상부면상으로 연장되는 다수의 극세틈(125)이 형성된다. 극세틈(125)은 가공깊이가 0.005mm에서부터 0.05mm까지의 범위를 갖는 틈새로서 챔버(123)내의 압축에어를 상판(120)의 상부면상으로 분출시키는 통로역할을 하는 것이다.
그리고 극세틈(125)의 하단 즉, 챔버(123)에서 극세틈(125)이 시작되는 부분에는 챔버(123)내의 압축에어가 극세틈(125)으로 배출되기 용이하도록 굴곡진 라운딩부(126)가 형성된다. 즉, 챔버(123)와 극세틈(125)을 직각으로 이어지기 때문에 압축공기가 자연스럽게 흐르기 어려우므로 이 직각부위에 라운딩부(126)를 형성시켜 부드럽게 연통될 수 있도록 한 것이다.
또한, 챔버(123)내에는 상판(120)의 반대편쪽 챔버(123)로 관통되는 다수의 연결로(124)가 형성된다. 즉, 유입로(121) 및 분기로(122)를 통해 챔버(123)로 유입되는 압축에어는 아무리 압력이 높다고 하여도 챔버(123)의 중앙부위에서부터 양끝까지 균일한 압력으로 채워주기가 힘들므로 중간 중간에 다수의 연결로(124)를 형성하여 챔버(123)의 중앙에서부터 양끝부위까지 균일한 압력을 갖도록 유도하는 데 있다.
이렇게 형성된 상판(120)의 양측면상에는 챔버(123) 및 극세틈(125)을 막아주기 위한 겹판(130)이 장착된다. 따라서 겹판(130)에 의해 챔버(123) 및 극세틈(125)이 폐쇄되고, 유일한 통로인 극세틈(125)의 상측으로 압축에어가 분출되는 것이다.
겹판(130)은 단순히 길다란 판형상을 갖는 것으로, 상판(120)과 동일한 길이를 가지며, 상판(120)과 동일한 높이를 갖는다. 이러한 겹판(130)에는 다수의 볼트체결공(B2)이 형성되고, 이 볼트체결공(B2)으로 볼트가 삽입되어 겹판(130)과 상판(120)을 일체로 시켜준다.
보다 바람직하게는 상판(120)과 겹판(130)이 결합된 두께는 안착부(112)의 폭과 같으며, 상판(120) 및 겹판(130)의 높이는 안착부(112)의 깊이와 같게 되도록 설계되어야 한다.
이와 같이 형성된 반송플레이트(100)는 상판(120)과 겹판(130)을 먼저 결합시킨 후, 상판(120)과 겹판(130)을 안착부(112)에 안치한 다음 베이스판(110)과 상판(120)을 결합하는 과정으로 조립이 된다.
본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 베이스판(110)이 길기 때문에 챔버(123)내에 다수의 연결로(124)가 있으나 하나의 에어커넥터(101)만으로는 부족한 면이 있게 된다.
따라서 반송플레이트(100)가 긴 경우 효율을 극대화 시키기 위해 다수의 챔버를 형성하여 설계될 수 있다.
도 5는 상판의 측면상에 다수의 챔버가 형성된 모습을 나타낸 도면이다.
즉, 도 1 및 도 5에서 보는 바와 같이 관통공(114)을 세 개 형성하고, 상판(120)의 내부에는 각각의 관통공(114)과 일치하여 에어커넥터(101)가 삽입되도록 세 개의 유입로(121)가 형성되고, 이 각각의 유입로(121)에서 갈라지는 분기로(122)가 형성되며, 각각의 분기로(122) 양면상에는 독립된 세 개의 챔버(123)을 형성한다. 이때에도 각각의 챔버(123)내에는 연결로(124)를 형성해 줌이 더욱 좋다.
한편, 본 발명에 따른 반송플레이트(100)는 극세틈(125)의 간격을 반송플레이트(100)의 규모에 따라 제작당시에 조절하여 형성됨이 좋다.
즉, 반송플레이트의 규모가 큰 경우 극세틈(125)의 간격이 일정하게 되면, 그라스(피반송체)에 미치는 에어의 힘이 중앙으로 모이기 때문에 그라스가 휘어지면서 반송되는 경우가 발생되게 된다.
도 6은 극세틈이 등간격으로 형성된 경우의 문제점을 나타낸 도면이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 극세틈의 간격 모습을 나타낸 도면이다.
도 6에서 보는 바와 같이 반송플레이트의 상면으로 분출된 에어는 반송플레이트와 그라스의 사이로 차이게 되어 그라스를 부상시키게 되는데, 반송플레이트의 가운데부위가 양측보다 에어 빠짐이 원활하지 않게 되어 그라스의 중앙부가 상측으로 불룩하게 되는 현상이 발생된다.
따라서 도 7에서 보는 바와 같이 본 발명에서는 극세틈(125)의 간격을 상판(120)의 중앙부쪽에서 양측방향으로 점점 넓어지게 형성시켜 상판(120)의 양측에 서 분출되는 에어의 양이 중앙부보다 상대적으로 더 높게 하여 그라스의 휨을 방지할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 반송플레이트(100)에는 진공(흡입력)을 연결하여 부상된 그라스의 변위를 조절할 수도 있다.
도 8은 본 발명에 따른 반송플레이트에서 진공이 연결되기 위한 베이스판 및 상판의 하부구조를 보인 도면이다.
본 발명에 따른 반송플레이트(100)에는 도 1에서 보는 바와 같이 베이스판(110)의 중앙부에 길이방향으로 다수의 진공홀(201)이 형성되고, 상판(120)의 상부면상에도 길이방향을 따라 다수의 진공홀(202)이 형성된다.
이러한 진공홀(201, 202)은 도 8에서 보는 바와 같이 베이스판(110)의 저면 중앙선상에 제1진공포트(210)가 형성되고, 안착부(112)가 형성된 하측으로 제2진공포트(220)가 형성된다. 이때, 원활한 진공력을 공급해주기 위해 제1진공포트(210) 및 제2진공포트(220)는 길이방향으로 다수개로 형성됨이 바람직하다.
제1진공포트(210)에 의한 진공 전달은 커버(212)에 의해 밀폐시키는 것으로, 베이스판(110)의 바닥면상에 길이방향으로 제1진공라인(214)이 형성되고, 이 제1진공라인(214)상에는 다수의 진공홀(201)이 형성되는 것이다. 이때, 제1진공라인(214)은 각각의 제1진공포트(210)에 독립적으로 적용되도록 형성되며, 각각의 제1진공라인(214)상에 다수의 진공홀(201)이 형성됨이 바람직하다.
다음으로 제2진공포트(220)에 의한 진공 전달은 베이스판(110)의 안착부(112)에 밀착된 상판(120)으로 연결되도록 설계된다. 즉, 상판(120)의 저면상에 는 각각의 제2진공포트(220)에 독립적으로 적용되도록 다수의 제2진공라인(224)이 형성되고, 각각의 제2진공라인(224)에는 다시 다수의 진공홀(202)이 형성되는 것이다. 이때, 제2진공라인(224)은 길이방향으로 형성되기 때문에 에어커넥터(101)에 간섭을 받게 된다. 따라서 제2진공라인(224)은 에어커넥터(101) 또는 유입로(121)를 우회하여 형성됨이 바람직하다.
<실험예 1>
전술한 바와 같이 형성된 본 발명의 반송플레이트(100)는 극세틈(125)의 출구측에서 게이지를 사용하여 분당 에어분출량을 체크해 본 결과, 극세틈(125)별로 약간의 오차가 있지만 평균적으로, 200ㅁ 10㎖/min를 보였다.
이러한 결과는 극세틈(125)의 가공 깊이를 0.01mm로 한정하였을때의 결과이고, 극세틈(125)의 가공 깊이는 적게는 0.005mm에서부터 많게는 0.05mm까지 확장할 수도 있다. 실험결과 극세틈의 간극은 적어도 0.005mm까지가 에어의 원활한 분출력을 보이는 간극이며, 그 이하에서는 거의 에어가 분출되지 않게 되는 결과가 나왔다. 또한, 0.05mm 이상이 되면 에어의 분출력이 너무 많아지고, 내압이 떨어져 높은 분출압력을 얻을 수 없게 되며, 에어의 소모량이 상당히 많아져 종래 기술에 비해 별반 높음 효과가 없음을 알게 되었다.
<실험예2>
본 발명의 또 다른 실험에서는 비중 7.9인 스틸판을 가로ㅧ 세로ㅧ 높이 100mmㅧ 80mmㅧ 155mm 2장(약10Kg)을 겹쳐서 반송플레이트위에 올렸을때에도 적합한 반송력을 얻는 것을 확인하였다.
상기의 실험은 세 개짜리 상편을 갖는 반송플레이트를 기준으로 실험하였고, 에어의 입력압력은 0.2MPa이다.
<비교예 1>
반면, 종래기술에 따른 반송플레이트에서는 상기와 동일한 조건하에서 실험한 결과 에어분출홀의 직경이 0.2mm인 경우 분당 에어분출량이 2.46ℓ/min이고, 0.5mm일 경우 분당 에어분출량이 6.85ℓ/min임을 확인하여 본 발명에 따른 반송플레이트가 기존 반송플레이트의 0.2mm직경 에어홀 대비 1/10의 에어사용률을 보이고 있다.
본 발명에 따른 반송플레이트는 그라스가 반송되면서 흔들림을 최소화 할 수 있게 된다.
즉, 에어의 분출량이 적은 것이 첫 번째 요인이 될 수 있고, 그러면서도 각각의 극세틈(125)을 통해 입력된 압력대로 분출될 수 있기 때문에 가능해 지며, 반송플레이트의 양측으로 진행될수록 극세틈의 간격이 더 촘촘하기 때문에 가능하게 된다.
<실험예 3>
다음은 본 발명의 반송플레이트가 반송되는 과정중에서 부상된 그라스의 떨림을 측정해 보았다.
그라스의 떨림은 반송플레이트에서 가장 중요하게 여기는 것으로, 반송중에 그라스의 정밀검사가 이루어지므로 떨림이 작을수록 좋은 반송플레이트가 되는 것이다.
즉, 그라스의 떨림도에 따라 측정장비의 정밀도가 달라지므로 카메라 식별검사의 경우 검사장비의 구입비용이 떨림도에 의해 좌지우지 된다.
또한, 떨림도가 적으면 더 많은 검사를 수행할 수 있게 되는데, 현재의 반송플레이트는 2차원 검사를 대부분 수행하지만, 본 발명에 따른 반송플레이트는 3차원 검사까지 수행할 수 있는 효과가 나타난다.
즉, 그라스의 떨림이 1/1,000mm 이상이 되면 2차원 검사정도 밖에는 수행하지 못하며, 그라스의 떨림이 1/10,000mm 이상이 되면 3차원 검사가 가능해 진다.
도 9는 본 발명에 따른 반송플레이트를 기준으로 그라스를 부상한 상태에서 그 떨림을 측정하는 모습을 보인 실험 사진이고, 도 10은 실험된 그라스의 변위를 나타낸 그래프이다.
도 9에서 보면, 본 발명에 따른 반송플레이트가 저면에 설치되어 있고, 그 위에 그라스를 이동시키기 위한 슬라이더가 있으며, 슬라이더상에는 반송플레이트의 폭방향으로 움직이는 또 다른 슬라이더가 있으며, 이 두 번째 슬라이더에 변위센서가 장착되어 있다.
따라서 그라스의 변위측정은 그라스를 부상시킨 상태에서 첫 번째 슬라이더가 그라스를 물고 있는 지점측에서 측정하고, 그라스의 중앙부에서 측정하며, 반대쪽에서 측정하여 그라스의 폭방향 양쪽과 가운데를 모두 측정하였다.
도 10, 도 11 및 도 12는 그 결과를 나타낸 그래프로 본 발명에 따른 반송플레이트에서 부상된 그라스는 그래프에서 보는 바와 같이 +3/10,000mm에서 -2/10,000mm의 변위를 갖게 됨을 알 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 반송플레이트를 나타낸 측면도이고,
도 3은 도 1의 A부분 확대도이고,
도 4는 도 3의 B부분 확대도이고,
도 5는 상판의 측면을 보인 도면이고,
도 6은 극세틈이 등간격으로 형성될때의 문제점을 보인 도면이고,
도 7은 극세틈의 바람직한 배열을 나타낸 도면이고,
도 8은 본 발명에 따른 반송플레이트에 진공이 연결되기 위한 베이스판과 상판의 하부 조건을 제시한 도면이고,
도 9는 본 발명에 따른 반송플레이트에 그라스를 올려놓고 떨림을 테스트하는 모습을 촬영한 사진이며, 그리고
도 10 내지 도 12는 도 9의 실험에서 얻은 결과를 나타낸 그래프이다.

Claims (8)

  1. 적어도 한줄 이상의 안착부(112)가 길이방향으로 형성된 베이스판(110);
    상기 안착부(112)내에 길이방향으로 결합되고, 하부면상에는 상기 베이스판(110)의 하부면상으로 노출되는 에어커넥터(101)가 장착되고, 양측면상에는 상기 에어커넥터(101)와 연통되는 오목한 챔버(123)가 길이방향으로 형성되며, 상기 챔버(123)의 상측에는 다수의 극세틈(125)이 상부면상으로 이어지면서 길이방향으로 연속해서 형성되는 상판(120); 그리고
    상기 상판(120)의 양측면상에 길이방향으로 결합되는 겹판(130);을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송플레이트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 상판(120)의 내부에는 상기 에어커넥터(101)와 연결되어 상기 상판(120)의 내부로 연장되는 에어유입로(121)가 형성되고, 상기 에어유입로(121)의 상부에는 상기 챔버(123)쪽으로 연통되는 분기로(122)가 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 챔버(123)내에는 다수의 연결로(124)가 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 극세틈(125)이 시작되는 하단에는 라운딩부(126)가 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 극세틈(125)은 0.005mm~0.05mm임을 특징으로 하는 반송플레이트.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 다수의 극세틈(125)은 상기 상판(120)의 양측으로 갈수록 점점 간격이 넓어지게 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스판(110)의 길이방향 중앙부와 상기 상판(120)의 길이방향 중앙부상에는 다수의 진공홀(201, 202)이 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 상판(120)의 하부면상에는 다수의 유입로(121)가 형성되어 각각 에어커넥터(101)가 접속되고, 상기 각각의 에어유입로(121)에는 다시 분기로(122)가 형성되며, 각각의 분기로(122)에는 독립된 챔버(123)가 형성됨을 특징으로 하는 반송플레이트.
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