JP2007204278A - 基板浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】大型のガラス基板を空気圧にて浮上搬送する場合において、クリーンルーム内の気流を乱すことが少なく、低コストで、高速に搬送する方法を提供する。
【解決手段】上面部に複数の空気噴出口１６を有する浮上パイプ１２を、進行方向に対して直交する幅方向に設置し、基板の位置を検出する基板検出器２１の信号により、空気の噴出を必要とする部分の浮上パイプ１２の両端から空気を供給し、浮上パイプ１２の空気噴出口１６から空気を噴出させて、ガラス基板を浮上させ、幅方向両側の駆動ローラ列１４Ａ、１４Ｂにより搬送する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ＬＣＤやＰＤＰなどの平面ディスプレイなどに用いられる、大型ガラス基板を浮上させて搬送する搬送装置に関するものである。

大型のＬＣＤ用ガラス基板は厚みが１ｍｍ以下で、１辺が２ｍを超えるほど大型化してきており、また、画面サイズも５０インチ以上になるなど大型化してきている。
このため、従来のコンベアで搬送するとガラス表面にローラが接触し、ガラス表面にごみが付着する問題があるが、ローラの間隔を空けるとガラスが変形し搬送が困難になるため、非接触で搬送できるエア浮上式搬送装置が採用されている。

この、エア浮上搬送装置としては、ノズルなどの開口部から空気を噴出させるものがある。この場合、ガラス基板の下面から空気を上向きに噴出し、ガラス基板を浮上させるが、次のコンベアへの乗り移り時に振動が発生し、搬送面などとの接触により傷がつきやすいために、コンベアの端部でエアの噴出し量を増し、接触を防ぐことが行われている。
特開２００３−６３６４３号公報

しかしながら、特許文献１のように進行方向に沿ってノズルを設置し、コンベアの端部でエアの噴出し量を多くし接触を抑える方法では、振動が発生し、搬送ロール部での破損が生じるなどの現象が起きるため、速度を上げる事が困難である。また、ガラスの無い部分でもエアを噴出する範囲が広くなるため、クリーンルーム内の下降気流を乱し、ガラス基板にごみが付着しやすいという問題がある。

また、２枚のガラス基板を張り合わせた、張り合わせ基板も大型化しているため、これを浮上搬送する事も求められているが、単位面積あたりの重量が上がる為、従来の噴出し圧力では、十分浮上させる事ができず、更に噴出し圧力を上げると、ガラス基板の無い部分でも上向きに空気を噴出す部分が多いため、クリーンルーム内の下降気流を乱し、ごみの付着が多くなり、かつ消費電力が上がるという問題がある。

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、ガラス基板の破損を押さえかつクリーンルームの気流を乱さずに、ガラス基板を安価に高速度で搬送することができる浮上搬送装置を提供することを目的としたものである。

本発明は、搬送装置の搬送方向の両側に基板搬送力付与機構を有し、上面部に空気噴出口を複数個有するパイプからなる浮上パイプを、基板の進行方向に対して幅方向に、設置し、基板の位置を検知する基板検知器の信号に基づき、基板の存在する部分とその進行方向前方の浮上パイプの両端から加圧空気を供給することを特徴とする浮上搬送装置である。

前記基板搬送力付与機構は、ローラであっても良い。

また、連続した浮上パイプの上部に浮上パイプの空気噴出口に連通した開口部を有するプレートを設置しても良い。

また、前記間隔を設けて設置した浮上パイプの間にプレートを設置し、該プレート上面部分と浮上パイプ上面部分で平面を形成させても良い。

基板検知器の信号により、基板が存在する部分とその前方の浮上パイプだけに空気を供給する事により、ガラス基板が存在しない部分で上向きに空気が噴出す部分の面積を最小限にすることができる為、空気の噴出し圧力を上げても、クリーンルーム内の気流を乱す事が無く、単位面積あたり重量のある基板も搬送する事ができ、かつ加圧空気の消費量も少なくて済む。このため、空気噴出し口を個別に制御する場合に比べて、安価な装置となる。

また、浮上パイプの両端から空気を供給する事により、短時間に幅方向で安定した空気の噴出し圧力分布を得ることができるため、ガラス基板の無い部分での空気の噴出し時間を短くできる。また、浮上パイプの間隔を一定にする事により、浮上搬送装置の乗り移り時でも進行方向に対して空気の圧力分布を均一にすることができる為、圧力の変化が無く、振動が少なくなり、搬送面との接触や搬送ロールで基板を破損する事が無くなり、搬送速度を上げる事ができる。

発明を実施する為の最良の形態

以下本発明の実施の形態の例を、図面を参考にして詳細に説明する。

図１、図２に実施例１を示す。本発明に関わる浮上搬送装置は、ガラス基板１１を、水平方向に搬送するものであり、両端の駆動ロール列１４Ａ，１４Ｂ、進行方向に対して直交方向に設置した浮上パイプ１２、浮上パイプ１２の上面に設置された浮上プレート１３から構成されている。

前記浮上パイプ１２の上面部および浮上プレート１３には、多数の空気噴出口１６が形成されている。浮上パイプ１２の両端の空気供給口１５Ａ、１５Ｂは、エアチューブ３６、ソレノイドバルブ３５を介して分配ダクト３４につながっている。ブロワ３１から空気中のごみを除去するフィルタ３２、ダクトホース３３を介して複数の浮上パイプ１２に空気を分配するための分配ダクト３４に空気が供給される。分配ダクト３４には複数のソレノイドバルブ３５が接続されている。

ソレノイドバルブ３５は、基板検知器２１の信号に基づき開閉され、ソレノイドバルブ３５が開いている浮上パイプ１２に分配ダクト３４から空気が供給される。供給された空気は、ソレノイドバルブ３５を経由して浮上パイプ両端の空気供給口１５Ａ，１５Ｂから浮上パイプ１２に導入され、空気噴出口１６から、空気が噴出し、ガラス基板１１と搬送面１７の間に空気膜を形成し、ガラス基板１１が搬送面１７と接触するのを防ぐ。

浮上パイプ１２の両端から空気を供給する事により、幅方向で、中心から対称的な圧力分布で、かつ中央部がやや低い圧力となるため、短時間に幅方向で安定した圧力分布となり、ガラス基板１１の横方向への移動や、振動が少なくなり、安定した搬送が可能になる。

浮上パイプ１２を進行方向に対して、幅方向に設置する事によりガラス基板１１が存在する部分とその進行方向前方の必要な部分の浮上パイプ１２だけから空気を噴出させる事が可能になり、ガラス基板１１の存在しない部分で空気を噴出させる部分を最小限にすることができる為、クリーンルーム内の清浄空気の下降気流を乱すことが無い。

具体的には、図２の基板検知器２１によりガラス基板１１が検知されると、進行方向前方のソレノイドバルブ３５を開け、浮上パイプ１２より空気を噴出させる。一方、進行方向後方のソレノイドバルブ３５は閉じる。これにより、ガラス基板１１が存在しない部分の空気の上向きの噴出を最小限に押さえる事ができ、クリーンルーム内の清浄な下降気流の流れを乱す事が無く、ガラス基板１１へのごみの付着を抑えることができる。

また、ブロワ３１の空気量が少なくて済み、全面を噴出させる場合に比較して小型のブロワで済む。また、進行方向に沿って、浮上パイプ１２を設置する場合と比較しても、ガラスの無い部分で噴出させる範囲が少なくて済むため、ガラス基板１１へのごみの付着を抑える事ができる。

浮上搬送装置の乗り移り時に発生する振動については、乗り移り部分においても、浮上パイプ１２および空気噴出口１６の間隔を一定に設置する事ができる為、進行方向に対して、均一な圧力分布にできる。このため、ガラス基板１１の搬送時の振動を少なくすることができ、搬送面１７と接触する事を抑えると共に、駆動ロール１４Ａ，１４Ｂを通過する際の振動により、ガラス基板１１が破損する事を抑えられる。これにより高速搬送が可能になる。

図３の実施例は、空気噴出口１６を持たない浮上プレート１３を浮上パイプ１２の間に設置した。また、浮上プレート１３は中央部に設置し、両側の搬送ロール列１４Ａ、１４Ｂを中央部に寄せられるようにしたものであり、これによりガラス基板１１の幅が異なるものについても、搬送する事ができる。

上記浮上搬送装置は、搬送力付与機構として、両端に搬送ロール１４Ａ、１４Ｂを用いているが、これに限らずベルトでも良く、また、搬送ロールの形状はテーパー状、段付き形状としてもよく、また、ガラス基板１１の端面をガイドする為にガラス基板１１を端面から押さえるように搬送ロール１４Ａ，１４Ｂを設けても良い。また、駆動ロールとフリーロールが混在しても良い。また、ガラス基板１１を把持し、搬送速度を調整するためにニップロールを設けても良い。

浮上パイプ１２の形状は、上面が平面で有る事が望ましいが、断面形状は、四角形に限らず半円形、三角形でも良い。また、材質はアルミ、ステンレス、鉄、プラスチック、セラミックなど特に限定されない。

浮上プレート１３は浮上パイプを連接して設置するか、間隔が狭い場合は、設置しなくとも良いが、間隔が広い場合は、均一な空気膜を維持し、空気の消費量を少なくする為に設置することが望ましい。また、空気噴出口１６からの空気を下部に逃がす為に、適宜スリット１８を設ける事が望ましい。これにより空気が１箇所に溜まり、ガラス基板が膨らんで変形するのを防ぐことができる。

浮上パイプ１２を、間隔をあけて設置する場合は、浮上プレート１３の上面部と、浮上パイプ１２の上面部で一つの平面を形成させるか、連続する浮上パイプ１２の上部に浮上プレート１３を設置し、搬送面１７が平面になるようにすることが望ましい。間隔をあけない場合でも、浮上パイプ１２の本数が多い場合は、それぞれの間で段差ができないように調製する手間を少なくする為に、浮上プレート１３を設置する事が望ましい。

空気噴出口１６の形状は、円形、多角形、スリットなど様々な形状が可能であり、搬送面１７と、ガラス基板１２の間に空気膜を形成できれば大きさも自由である。

また、空気噴出口１６より噴出させるものは、空気に限らず、気体であれば良い。

基板検知器２１は特に限定は無く、光センサー、レーザーセンサー、超音波センサー、接触式センサーなど、基板の存在を検知できるものであれば良い。

また、対象物はガラス基板としているが、ガラスに限らず薄板状のものであれば良い。

実施例１の浮上搬送装置を示す幅方向断面図 実施例１の平面断面図 実施例２の平面図

符号の説明

１１ ガラス基板
１２ 浮上パイプ
１３ 浮上プレート
１４Ａ，１４Ｂ 搬送ロール
１５Ａ，１５Ｂ 空気供給口
１６ 空気噴出口
１７ 搬送面
１８ スリット
２１ 基板検知器
３１ ブロワ
３２ フィルタ
３３ ダクトホース
３４ 分配ダクト
３５ ソレノイドバルブ
３６ エアチューブ

Claims (4)

1. 基板の搬送方法において、搬送装置の搬送方向の両側に基板搬送力付与機構を有し、上面部に空気噴出口を複数個有するパイプからなる浮上パイプを、基板の進行方向に対して幅方向に設置し、基板の位置を検知する基板検知器の信号に基づき、基板の存在する部分と、その進行方向前方の浮上パイプの両端から加圧空気を供給することを特徴とする浮上搬送装置。
2. 前記基板搬送力付与機構がローラであることを特徴とする請求項１記載の浮上搬送装置。
3. 前記浮上搬送装置において、連続する複数の浮上パイプの上部に浮上パイプの空気噴出口に連通した開口部を有するプレートを設置したことを特徴とする請求項１項記載の浮上搬送装置
4. 前記浮上搬送装置において、間隔を設けて設置した浮上パイプ間にプレートを設置し、該プレート上面部分と浮上パイプ上面部分で平面を形成させることを特徴とする請求項１記載の浮上搬送装置。

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