JP4830339B2 - 搬送装置 - Google Patents
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一方、前記流体噴出孔13の開口部15が開放されているときには、すなわち、ガラス基板Wが存在していない部位においては、前記絞り要素11を介して前記チャンバー9内に供給される圧縮空気の流量が制限されることにより、各浮上装置3のチャンバー9には均等に空気が供給される。そのため前記流体噴出口13で圧損をたてる必要がなく、空気を速い流速で前記流体噴出孔13から噴出する必要がなくなる。
3 浮上装置
5 搬送力付与手段
7 ベース部材
9 チャンバー
11 絞り要素
13 流体噴出孔
15 開口部
17 連結部材
Claims (2)
- 平面状の部位を備えた矩形状の物体を浮上させつつ搬送方向へ搬送する搬送装置において、
前記搬送方向へ並んであって、流体を用いて前記物体を浮上させる複数の浮上装置と、
前記浮上装置で浮上する前記物体を搬送するために、前記物体に力を加える搬送力付与手段と、を有し、
各浮上装置は、
平面状の上面を備えたベース部材と、
前記ベース部材の内部に設けられ、前記物体を浮上させるための流体が入るチャンバーと、
前記チャンバーの流体の入り口に設けられた絞り要素と、
前記ベース部材の上面に設けられ、前記チャンバーに直接連通し、前記物体を浮上させるための流体を噴出する複数の流体噴出孔と、を具備し、
各浮上装置の全ての前記流体噴出孔は、搬送される矩形状の前記物体によって同時に覆われかつ同時に開放されるように、前記搬送方向に直角な方向に並びかつ前記搬送方向に1列に配置されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1に記載の搬送装置において、
各浮上装置の各ベース部材の間に連結部材が設けられていることを特徴とする搬送装置。
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JP2005129449A JP4830339B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005129449A JP4830339B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | 搬送装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP4830339B2 true JP4830339B2 (ja) | 2011-12-07 |
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Family Applications (1)
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