JPS63225028A

JPS63225028A - 搬送装置

Info

Publication number: JPS63225028A
Application number: JP62058836A
Authority: JP
Inventors: Hiromitsu Tokisue; 裕充時末; Nobuo Tsumaki; 妻木　伸夫; Toshifumi Koike; 敏文小池
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1987-03-16
Filing date: 1987-03-16
Publication date: 1988-09-20
Also published as: JPH0541527B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は被搬送体の搬送装置に係り、特に半導体ウェハ
や磁気ディスク等の塵埃の付着をきらう物品を、流体の
流体力によって搬送面上に浮上させて、清浄状態に保っ
て搬送するに好適な搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

物品を清浄状態に保って搬送する搬送装置としては１例
えば特開昭５７−１５７５３７号公報に記載のように、
搬送路の搬送面に、物品を搬送面から浮上させ、かつ搬
送方向に駆動するためのエアジェツトを供給する第１の
気体噴出部と、搬送路上を移動する物品が搬送方向と直
角方向に変位して搬送路から脱落するのを防止するため
に、物品の対向する周縁に衝突するエアジェツトを供給
する第２の気体噴出部とを設けた装置が知られている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

近年、電子部品の微細化、高密度化が進むにつれて製造
プロセスにおける環境クリーン化の要求はますます高ま
っている。具体的には物品の表面に塵埃が付着しない状
態に保って搬送することが１つの重要課題として要求さ
れている。この要求に対し、上記従来技術は物品を非接
触に搬送しているので、搬送面との接触による塵埃付着
を防止することができるが、その反面、物品を浮上、駆
動、案内するためのエアジェツトにより周囲塵埃がまき
上げられて浮遊塵埃となり、その塵埃が物品表面に付着
するという問題点と、また上記エアジェツトにより、物
品表面に沿う空気の流れを物品表面に形成して周囲空間
中の浮遊塵埃が物品表面に付着するのを防止する機能を
もつダウンフローが乱され、これにより塵埃が物品表面
に付着する、という問題点があった。

本発明は、周囲塵埃のまき上げやダウンフローの乱れ発
生がなく、物品を、その表面に塵埃が付着しない状態に
保って搬送することができる搬送装置を提供することを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の前記の目的は、搬送路の搬送面と被搬送体との
間に流体膜を形成し、この流体膜によって被搬送体を搬
送面に対して非接触状態に保って搬送する搬送装置にお
いて、前記搬送面に、この搬送面と被搬送体との間に流
体膜を形成する低速の流体を供給する流体噴出部を設け
ることにより達）成される。

さらに、本発明の目的は、搬送面に、この搬送面と被搬
送体との間に流体膜を形成する低速の流体を供給する流
体噴出部と、被搬送体の位置を検出する検出手段を設け
、前記流体噴出部に流量調節手段を接続し、この流量調
節手段を検出手段からの信号によって制御することによ
って達成される。

〔作用〕

流体噴出部は、噴出流体が高速ジェット流になることを
防止し、必要な噴出気体流量、噴出圧力を保って噴出流
速を小さくする。この流速が小さくなった噴出流体は搬
送面と被搬送体との間に流出して流体膜を形成し、被搬
送体に搬送力を与える。このように、噴出流体は噴出流
速が小さいので、例えば搬送面上に塵埃が存在する場合
でも、この塵埃をまき上げず、被搬送体の表面に付着さ
せることがない、また同様に噴出速度が小さいことから
ダウンフローが乱されることがなく、したがってダウン
フローによって被搬送体の表面に形成される被搬送体表
面に沿う空気の流れが乱されることがないので、周囲空
間中の浮遊塵埃の被搬送体の表面への付着を防止するこ
とができる。

また、搬送面に設けた検出手段によって、被搬送体の位
置を検出し、この検出信号によって気体噴出部への流量
を調節することにより、被搬送体への塵埃付着を生じる
ことなく、被搬送体を屈曲路等に従い搬送することがで
きる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図ないし第３図は本発明の装置の一実施例を示すも
ので、これらの図において、１は清浄状態に保って搬送
すべき被搬送体を示す、２は被搬送体１の搬送路である
。搬送路２の搬送面２Ａには被搬送体１を搬送面２Ａ上
にすきま４を介して気体浮上した状態で、搬送路２の搬
送面２Ａ上を矢印Ａで示す搬送方向に搬送するために、
被搬送体１に対して搬送面２Ａと垂直な方向の浮上刃の
みを作用する複数個の浮上作用の気体噴射部３０と、被
搬送体１に対して浮上刃とともに搬送面２Ａと平行な方
向の駆動力を作用する複数個の駆動作用の気体噴出部４
０Ａ、４０Ｂ、４０Ｇとの２種類の気体噴出部が設けら
れている。そしてこれらの気体噴出部３０．４０Ａ、４
０Ｂ、４０Ｇはいずれも、噴出気体が高速ジェット流に
なることを抑え、低速流になるような構成になっている
。

前述した浮上作用の気体噴出部３０は管５Ａにより、駆
動作用の気体噴出部４０Ａは管５Ｂにより。

気体噴出部４０Ｂは管５Ｃにより、さらに気体噴出部は
管５Ｄによる加圧気体源に接続されている。

前述した浮上作用の気体噴出部３０は、第４図および第
５図に示すように、加圧気体源に通じる加圧気体供給路
３０１と、この供給路３０１に直交するように連通し、
かつ絞り作用をもつ小孔３０２を備え、また搬送面２Ａ
に開口し、導入された気体を搬送面２Ａに噴出する開口
部３０３を備えている。そしてこの開口部３０３と前記
小孔３０２との間に、小孔３０２から導入された気体流
を整流し、開口部３０３から噴出する気体の開菖部出口
における流出速度分布を概略一様に整流するために、第
１の整流部として、小孔３０２の出口に対面し、この出
口からすきまを隔てて置かれる壁面３０４と、第２の整
流部としてすきま３０５およびこのすきま３０５に気体
を導くための流路３０Ｂと、その出口が開口部３０３に
つながる流路３０７とを備えている。この場合、流路３
０７は拡大流路となっている。そして開口部３０３上に
浮上する被搬送体１に対して作用する開口部３０３から
の噴出気体の流体力が、搬送面２Ａに対して垂直方向の
浮上作用成分のみをもつように、開口部３０３付近の流
路は、開口部３０３における流路中心軸の方向が、搬送
面２Ａに対して概略垂直方向であるように形成されてい
る。

次に駆動作用の気体噴出部４０Ａ、４０Ｂ。

４０Ｃは、第６図および第７図に示すように、加圧気体
源に通じる加圧気体供給路４０１と、この供給路４０１
に直交するように連通し、かつ絞り作用をもつ小孔４０
２を備え、また搬送面２Ａに開口する溝状の開口部４０
３を備えている。そしてこの開口部４０３と前記小孔４
０２との間に、この小孔４０２からの気体の流速を抑え
て整流する第１の整流部として、小孔４０２の出口に対
面し、この出口からすきまを隔てて置かれる壁面４０４
と、その後の気体の流速をさらに抑えるための第２の整
流部として、開口部４０３につながる流路４０５とを備
えている。そして開口部４０３上に浮上する被搬送体１
に対して作用する開口部４０３からの噴出気体の流体力
は、搬送面２Ａに対して垂直方向の浮上作用成分をもつ
とともに搬送面２Ａに平行な方向の駆動作用成分をもつ
。このように機能させるために、開口部４０３付近の流
路４０５の出口は、開口部４０３における流路中心軸の
方向が搬送面２Ａに対して垂直な軸から傾斜しているよ
うに形成されている。この場合、被搬送体１には、矢印
ＦＴで示す方向、すなわち開口部４０３付近の流路４０
５の中心軸の、搬送面２Ａに対する垂直軸から傾斜して
いる方向、あるいは流路４０５から開口部４０３が延び
ている方向に、駆動力が作用する。またここに述べた浮
止作用の気体噴出部３０と駆動作用の気体噴出部４０Ａ
、４０Ｂ、４０Ｇはともに、開口部４０３は、絞り作用
をもつ小孔４０２の孔面積より広い出口面積をもつよう
に形成されている。すなわち、開口部４０３は、開口部
４０３の絞り流体抵抗が、開口部４０３を除く他の気体
噴出部の各部の絞り流体抵抗の合計より小さくなるよう
な出口面積をもつように形成されている。

次に、前述した気体噴出部３０．４０Ａ〜４０Ｇの搬送
路２への配置構成を、第１図ないし第３図により説明す
る。搬送路２の搬送面２Ａには、搬送路２の長手方向に
沿って、複数個は浮上作用の気体噴出部３０が２列に設
けられている。そしてこの２列の浮上作用の気体噴出部
３ｏの間には、駆動作用の気体噴出部４０Ｂ、４０Ｃの
列が、その駆動作用の駆動力が搬送路２の長手方向に向
く成分をもつように設けられている。これらの駆動作用
の気体噴出部４０Ｂ、４０Ｃのうち、気体噴出部４０Ｂ
は、その駆動力が第１図において上向きの方向に向く成
分をもつように設けられており、゛）気体噴出部４０Ｃ
は、その駆動力が逆に、第１図において下向きの方向に
向く成分をもつように設けられている。また搬送路２の
搬送面２Ａ上を移動する被搬送体１が搬送方向Ａと直角
方向に変位して搬送路２から脱落するのを防止するため
に、搬送面２Ａの両方の路側端に、駆動作用の気体噴出
部４ＯＡの列が、その駆動作用の駆動力が搬送面２Ａの
中心方向に向く成分をもつように設けられている。

次に、上述した本発明の装置の一実施例について、その
動作を説明する。

この動作説明に関して、気体噴出部３の動作と搬送路２
の動作とに分けて順次述べる。

まず浮上作用の気体噴出部３０の動作を、第４図および
第５図を用いて説明する。管５Ａを通して加圧気体が供
給されると、加圧気体は絞り作用をもつ小孔３０１を通
り、小孔３０１よりジェット流になって噴出して壁面３
０４に衝突し、その後流路３０６からすきま３０５を通
り、拡大流路３０７を通った後、開口部３０３から搬送
面２Ａ］Ｌ被搬送体１とのすきま４に流入する。そして
これより、搬送面２Ａと被搬送体１との間は気体潤滑状
態になる。

まず絞り作用をもつ小孔３０２は、搬送面２Ａと被搬送
体１との間のすきま４の間隔を一定に保つ働きをもって
いる。すなわち、すきま４の間隔が減少すると、小孔３
０２を通過する気体の流量が減少し、小孔３０２が絞り
作用をもっていることから小孔３０２の出口圧力が減却
して、すきま４内の圧力が増加する。逆にすきま４の間
隔が増加すると、逆の現象が生じて、すきま４内の圧力
が減少する。すきま４内の圧力の変化はすきま４の変化
に対して正の剛性として働き、これよりある一定の負荷
荷重に対してすきま４の間隔は一定に保たれる。

次に小孔３０２と開口部３０３との間に設けられた整流
部の動作について述べる。第１の整流部を構成する壁面
３０４は、前述のように噴流を防止するために小孔３０
２から流入する気体流を整流し、開口部３０３から噴出
する気体の開口部品もっている。すなわち、小孔３０２
を通った加圧気体は小孔３０２からジェット流となって
噴出するが、小孔３０２出口に対面して設けられた壁面
３０４に衝突することにより、そのジェット流はつぶさ
れる。その後、加圧気体は、第２の整流部を構成する流
路３０６を通じてすきま３０５に概略一様に分配され、
すきま３０５を通って流路３０７に概略一様に流入する
。流路３０７では、加圧気体が流路３０７を通過する間
に、気体の粘性拡散の作用により、流れ方向の速度分布
における凸凹が平滑化される。また、この場合、流路３
０７は拡大流路であるので、流路３０７に流入した加圧
気体は概略一様な速度分布を保って減速され、開口部３
０３から噴出する。このとき、開口部３０３は小孔３０
２の孔面積より広い出口面積をもつように形成されてい
るので、開口部３０３における気体の流出速度は、小孔
３０２からの噴出速度と比較して小さい、開口部３０３
の出口面積を十分広くとることにより、浮上作用に必要
な気体流量を保って、開口部３０３における流出速度は
十分小さくすることができる。また第５図には、開口部
３０３上に浮上する被−進体１を示したが、以上に述べ
た噴流防止の作用は、開口部３０３上に被搬送体がない
場合にも全く変わらない、というより噴流防止作用は開
口部３０３上に被搬送体１がない場合に効果を発揮する
ものである。すなわち、開口部３０３から噴出する気体
の流速が小さいので、搬送面２Ａ上に存在する塵埃が噴
出気体によってまき上げられて被搬送体１の表面に付着
するということがない。また同様に噴出速度が小さいこ
とから、ダウンフローが乱されることがなく、したがっ
てダウンフローによって被搬送体１の表面に形成される
被搬送体１の表面に沿う空気の流れが乱されることがな
いので、周囲空間中の浮遊塵埃が被搬送体１の表面に付
着することがない。

次に被搬送体１に作用する流体力について述べると、開
口部３０３付近の流路は、開口部３０３における流路中
心軸の方向が、搬送面２Ａに対して概略垂直方向である
ように形成されているため、開口部３０３からすき一４
内に噴出した気体は、すきま４内を、開口部３０３を中
心として周囲にほぼ一様に流出するので、開口部３０３
上に浮上する被搬送体１には、搬送面２人に対して垂直
方向の浮上作用力のみが作用する。

次に駆動作用の気体噴出部４０Ａ、４０Ｂ。

４０Ｃの動作を、第６図および第７図を用いて説明する
。管５Ａ、５Ｂ、５Ｇ、５Ｄを通して加圧気体が供給さ
れると、加圧気体は絞り作用をもつ小孔４０２を通り、
小孔４０２よりジェット流になって噴出して壁面４０４
に衝突し、流路４０５を通った後、開口部４０３から搬
送面２Ａと被搬送体１とのすきま４に流入し、搬送面２
Ａと被搬送体１との間は気体潤滑状態となる。

まず絞り作用をもつ小孔４０２の動作２作用は浮上作用
の気体噴出部３０の場合と同一であり、搬送面２Ａと被
搬送体１との間のすきま４の間隔を一定に保つ働きをも
っている。

を構成する壁面４０４に衝突してつぶれ、次に第２の整
流部を構成する流路４０５を通過する間に気体の粘性拡
散の作用により、その流れ方向速度分布の凸凹が平滑化
されて、概略一様な流出速度分布をもって開口部４０３
から流出する。開口部４０３の出口面積は小孔３０２の
孔面積より太きいので、開口部４０３からの気体の流出
速度は小孔３０２からの噴出速度より小さい、これより
浮上作用の気体噴出部３０の場合と同様に、塵埃が被搬
送体１の表面に付着することがない。

次に、この噴出部４０Ａ〜４０Ｃの被搬送体１に作用す
る流体力について述べると、開口部４０３付近の流路４
０５は、その流路中心軸の方向が搬送面２Ａに対して垂
直な軸から傾斜しているように形成されているため、開
口部４０３がらすきま４に流入した気体はすきま４内を
、主として流路中心軸が傾斜している方向、すなわち第
６図および第７図において左側に向って流れるので、気
体の粘性の作用により、被搬送体１には矢印ＦＴの方向
に力が作用する。また開口部４０３は、搬送面２Ａに設
けられ、一端が流路４０５に開口し、反対側の一端が閉
じた形状に形成された溝で構成されているため、開口部
４０３から流出する気体は抵抗の小さい溝内に集中して
流入し、その後、すきま４内を図において左側に向って
流れるので、これによっても矢印ＦＴの方向の駆動力が
発生する。また以上の駆動力の他に、この駆動作用の気
体噴出部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃは、開口部４０３から
流出する気体の気体潤滑作用により、被搬送体１には、
搬送面２Ａに対して垂直方向の浮上作用力が作用する。

次に、以上に述べた気体噴出部３０．４０Ａ〜４０Ｇが
配置された搬送路２の動作を、第１図ないし第３図によ
り説明する。第２図に示す管５Ａに加圧気体が供給され
ると、２列の浮上作用の気体噴出部３０は低速流体の噴
出作用により、被搬送体１を搬送面２Ａ上に浮上させる
。そして管５Ｂに加圧気体が供給されると、搬送路２Ａ
の両方の路側端に設けられた２列の駆動作用の気体噴出
部４０Ａは低速流体の噴出作用により、被搬送体１を、
この両路側端の２列の駆動作用の気体噴出部４０Ａの列
の間の位置に維持さ゛せる。すなわち、被搬送体１が搬
送方向Ａと直角方向に変位してその下面の端部が片側の
駆動作用の気体噴出部４０Ａの列の上に移動すると、波
条装体１には搬送面２Ａの中心に向く駆動力が作用し、
被搬送体１は搬送面２Ａの中心位置に直ちに復帰する。

このように、被搬送体１が搬送面２Ａ上に浮上し、搬送
面２Ａ内にガイドされた状態で第３図に示す管５Ｄに加
圧気体が供給されると、駆動作用の気体噴出部４０Ｃは
その低速噴出流体の作用により、被搬送体１には第１図
において上向きの方向、第３図において右向きの方向に
駆動力が作用する。

被搬送体１が初め静ＩＥシていれば、この駆動力により
被搬送体１は第１図において上向きの方向に加速して搬
送される。また初め第１図において下向きの方向に移動
している状態であれば、減速して、いつしか静止する。

また管５Ｄへの加圧気体の供給を止め、管５Ｃに加圧気
体を供給すると駆動作用の気体噴出部４０Ｂからの低速
噴出流体の作用により、被搬送体１には第１図において
上向きの方向、第３図において左向きの方向に駆動力が
作用する。すなわちこれらの駆動作用の気体噴出部４０
３．４０Ｃからの低速噴出流体の作用により、被搬送体
１を搬送路２の長手方向の両方向に搬送することができ
、そしていずれの搬送方向、。ついても、被搬送体１の
搬送速度を自由に加減速することができる。この実施例
においては、被搬送体１は完全に非接触な状態で搬送さ
れるので、接触による被搬送体１への塵埃付着がなく、
また被搬体に衝撃力が加わることもないため、被搬送体
１が損傷を受けたり、また被搬送体１から塵埃が発生し
たりすることがない。

以上述べたように、本発明の一実施例においては、周囲
塵埃のまき上げやダウンフローの乱れ発生がないので、
被搬送体を、その表面に塵埃が付着しない状態に保って
搬送することができる。また完全非接触な状態で被搬送
体を搬送するので。

接触による被搬送体への塵埃付着、被搬送体は損傷、被
搬送体からの発塵がない。

次に、本発明の装置の搬送路の搬送面に設けられる気体
噴出部の他の実施例を、第８図ないし第２２図より説明
する。これらの図において、第４図ないし第７図と同符
号のものは同一部分である。

第４図および第５図に示す浮上作用の気体噴出部３０は
、開口部３０３における流路中心軸の方向が、搬送面２
Ａに対して概略垂直方向であるように形成されているが
・、第１０図および第１１図に示すように、開口部４０
３Ａにおける流路中心軸の方向が搬送面２Ａに対して垂
直な軸がら傾斜しているように形成したり、あるいは第
１０図および第１１図に示すように、搬送面２Ａに設け
られ。

一端が開口部３０３に開口し、反対側の一端が閉じた形
状に形成された溝状の開口部４０３Ｂを設ける。あるい
はこれらの両者を併用することにより駆動作用の気体噴
出部を構成することができる。

上述とは逆に第６図、第７図に示す駆動作用の気体噴出
部４０Ａ〜４０（１−浮上作用の気体噴出部に構成する
ことができる。その例を以下に説明する。

第１２図および第１３図は、抵抗部が絞り作用をもつ小
孔４０４で構成され、第１の整流部として壁面４０４を
第２の整流部として流路３０７Ａとを備えて構成したも
のである。

本実施例においては、抵抗部が小孔４０２で構成されて
いるので、その絞り作用の予測が容易であり、設計が簡
単となる。

第１４図および第１５図は、第１２図および第１３図で
示す実施例における小孔４０２を、絞り作用をもつ微小
すきま４０２Ａで構成したものである。

本実施例においては、抵抗部が微小すきま４０２Ａで構
成されているため、微小すきま４０２Ａからの噴流は広
がりをもちかつ早く減衰し、整流が容易となる。

第１６図は、第２の整流部としてすきま３０５と、この
すきま３０５に気体を導くための流路３０６と、半径方
向に広く流路３０７Ｂとを備えているものである。

本実施例においては、すきま３０５からの噴出気体の流
出方向がすきま３０５の下流に続く流路の流れ方向と異
なっているので、嵩い整流効果が得られる。

次に前述した気体噴出部における整流部の他の実施例を
以下に説明する。

第１７図および第１８図は、整流部を気体浸透性体１７
０で構成され、気体浸透性体は多孔質材である場合であ
る。

本実施例においては、多孔質材から気体が一様に流出す
るので、高い整流効果が得られる。

第１９図および第２０図は、整流部を気体浸透性体１９
０で構成され、気体浸透性体は多孔板である場合である
。

本実施例においては、多孔板の穴の配置、穴径を変える
ことにより、開口部３０３からの気体の流出速度分布を
任意に設計できる利点である。

第２１図は、抵抗部が絞り作用をもつ気体浸透性体２１
０で構成され、この気体浸透性体２１０は整流部を兼ね
ている場合である。

本実施例においては、抵抗部と整流部とを一つの部材で
構成するので、構造が簡単となる。

第２２図は、抵抗部が絞り作用をもつ気体浸透性体２１
０で構成され、この気体浸透性体２１０は整流部を兼ね
、かつこの気体浸透性体２１０の抵抗部に対して複数の
開口部３０３が設けられている場合である。。

本実施例は、精密な形状加工が難しい気体浸透材料の形
状加工の工数が少なくて済むので、製作が容易である。

次に、本発明の装置を構成する搬送路の他の実施例を示
す。

第２３図および第２４図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、この図において第１図ないし第３図と同符
号のものは同一部分である。この実施例は、搬送路２の
搬送面２Ａに、駆動作用の気体噴出部４０Ｂを、その駆
動作用の駆動力がすべて搬送路２の長手方向の一方向に
向く成分をもつように設け、かつ搬送面２Ａの両路側端
に、ガイド用の駆動作用の気体噴出部４０Ａを設けたも
のである。

本実施例においては、駆動作用の気体噴出部４０Ａのみ
によって被搬送体１に浮上刃と搬送方向の駆動力の両方
を与えるので、比較的簡単な構造で完全非接触な搬送が
できる。

第２５図および第２６図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、この図において第１図ないし第３図と同符
号のものは同一部分である。この実施例は、搬送面２Ａ
に駆動作用の気体噴出部４０Ｂを、その駆動作用の駆動
力がすべて搬送路２の長手方向の一方向に向く成分をも
つように設け、かつ搬送面２Ａの両路側端に固定壁のガ
イド２１を設けたものである。

本実施例においては、構造が簡単であるため製作が容易
であり、気体噴出部の数が少数で良いので気体消費量が
少ないという利点がある。またガイド２１は固定壁であ
るので、被搬送体１に強い外乱力が働いても、被搬送体
１が搬送路２から脱落することがない。

第２７図および第２８図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、この図において第１図ないし第３図と同符
号のものは同一部分である。この実施例は、搬送面２Ａ
に浮上作用の気体噴出部３０が設けられ、かつ搬送面２
Ａ上に浮上した被搬送体１を搬送方向１０に駆動するた
めに、被搬送体１の一部に接触し、これによって被搬送
体に搬送方向Ａの力を作用させる移送部材２２が設けら
れている場合である。またこの場合、被搬送体１を移送
部材２２に押付ける力を得るために、搬送面２Ａは搬送
路２の長手方向と直角方向に傾斜している。

本実施例においては、被搬送体１は移送部材２２ととも
に移動するので、確実に被搬送体１を搬送することがで
き、かつ、被搬送体１の停止。

待機等が自由にできる。

第２９図ないし第３１図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、この図において第１図ないし第３図と同符
号のものは同一部分である。この実施例は、搬送面２Ａ
に浮上作用の気体噴出部３０とガイド用の駆動作用の気
体噴出部４０Ａとを設け、さらに、被搬送体１を搬送方
向Ａに駆動するために、気体のジェット流を噴出する小
孔２３を、この小孔２３からのジェット流が被搬送体１
に当り得る位置に設けたものである。この場合、小孔２
３からのジェット流は被搬送体１の上方から被搬送体１
の上面に向って噴出・する。

本実施例においては、搬送方向１０への駆動を非接触に
行う機構はジェット流を噴出する小孔２３であるので、
加工が容易であるにこで、下向きのジェット噴流は、上
向きのジェット噴流と比較して、まだ、周囲塵埃のまき
上げやダウンフローの乱れ発生を生じさせにくい。

第３２図および第３３図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、この図において第１図ないし第３図と同符
号のものは同一部分である。この実施例は、搬送面２Ａ
に浮上作用の気体噴出部３０とガイド用の駆動作用の気
体噴出部４０Ａとを設け、被搬送体１を搬送方向Ａに駆
動するために、搬送路２の搬送面２Ａを、長手方向に、
搬送方向１０の搬送面２Ａが低位置になるように傾斜さ
せたものである。

本実施例は、特別な搬送方向駆動機構を必要としないの
で、構造が簡単である。

第３４図ないし第３６図は本発明の装置の他の実施例を
示すもので、この図において第１図ないし第３図と同符
号のものは同一部分である。この実施例は、搬送面２Ａ
に浮上作用の気体噴出部３０と、被搬送体１を搬送方向
Ａに駆動するための駆動作用の気体噴出部４０Ｂ、４０
Ｇとを設け。

かつ被搬送体１が搬送路２から脱落するのを防止するた
めに、搬送路２の路側側に、搬送方向Ａに沿い、搬送面
２Ａと平行でない壁面２Ｂを形成し、この壁面２Ｂに浮
上作用の気体噴出部３０Ａを設けたものである。ここで
被搬送体１は、その上に物品を乗せて搬送するための台
車と考えても良い。

本実施例においては、気体噴出部３０Ａを備えたガイド
用壁面２Ｂを設けたので、非接触かつ確実に被搬送体１
をガイドすることができる。

〔実施例〕

第３７図ないし第３９図は本発明の装置の一実施例を示
すもので、これらの図において、第１図〜第３図と同符
号のものは同一部分である。１は非接触かつ無衝撃に搬
送すべき被搬送体を示す。

２は被搬送体１の搬送路である。搬送路２の搬送面２Ａ
には多数の浮上作用の気体噴出部３０およ駆動作用の気
体噴出部４０Ａ〜４０Ｇが設けられている。被搬送体１
は搬送面２Ａ上にすきま４を介して気体浮上した状態で
、搬送路２の搬送面２Ａ上を矢印Ａで示す搬送方向に搬
送される。搬送面２Ａには、搬送路２上の被搬送体１の
位置情報を得るための位置検出機構として、光電スイッ
チ２１が搬送路２の長手方向に沿って一列に設けられて
いる。前述した浮上作用の気体噴出部３０は管５Ａによ
ってエアフィルタ６、圧力レギュレータ８を通して加圧
気体源９に連通している。また、搬送面２Ａの両側端に
設けられた駆動作用の気体噴出部４０Ａは管５Ｂによっ
てエアフィルタ６、圧力レギュレータ８を通して加圧気
体源９に連通している。さらに、気体噴出部４０Ｂ、４
０Ｃ：に加圧気体源９からの加圧気体を導くそれぞれの
配管５Ｄ、５Ｇは、フィルタ６と気体噴出部４０Ｂ。

４０Ｇからの噴出気体の流量をそれぞれ変えるための流
量可変機構となる弁装置ｉ７Ａ、７Ｂと、圧力レギュレ
ータ８とを通して加圧気体源９に連通している。モして
弁装［７Ａ、７Ｂは、光電スイッチ２１からの信号に応
じてコントローラ２３゜弁装置７Ａ、７Ｂを駆動するド
ライバ２５Ａ。

２５Ｂを通して開示される構成になっている０本実施例
においては、気体噴出部３は、被搬送体１への塵埃付着
の原因となる周囲塵埃のまき上げやダウンフローの九九
発生を防止するために噴出気体が高速ジェット流になる
ことを防止した構成となっており、構造が特殊であるの
で、以下、まず気体噴出部３の構成を説明し、その後、
搬送路２の全体構成の詳細を述べる。

次に上述した本発明の装置の動作を説明する。

加圧気体源９から管５Ａに加圧気体が供給されると、２
列の浮上作用の気体噴出部３０はその低速噴出流体の作
用により、被搬送体１を搬送面２Ａ上に浮上させる。そ
して、加圧気体源９から管５Ｂに加圧気体が供給される
と、搬送面２Ａの両方の路側端に設けられた２列の駆動
作用の気体噴出部４０Ａの作用により、被搬送体１は、
この・　両路側端の２列の駆動作用の気体噴出部４０Ａ
の列の間に、その位置が維持される。すなわち、被搬送
体１が搬送方向Ａと直角方向に変位して、その下面の端
部が片側の駆動作用の気体噴出部４０Ａの列の上に移動
すると、被搬送体１には搬送面２Ａの中心に向く駆動力
が作用し、被搬送体は搬送面２Ａの中心位置に直ちに復
帰する。

このように被搬送体１が搬送面２Ａ上に浮上し、搬送面
２Ａ内にガイドされた状態で弁装置７Ｂを開くと、加圧
気体源９から管５Ｃに加圧気体が流入し、駆動作用気体
噴出部４０Ｇの作用により。

被搬送体１には第１図において上向きの方向、第３図に
おいて右向きの方向に駆動力が作用する。

被搬送体１が初め静止していれば、この駆動力により被
搬送体１は第１図において上向きの方向に加速して搬送
される。また初め第１図において下向きの方向に移動し
ている状態であれば、減速して、いつしか静止する。ま
た弁装置１７Ｂを閉じて管５Ｃへの加圧気体の供給をや
め、弁装置７Ａを開くと、管５Ｄに加圧気体が供給され
、駆動作用の気体噴出部４０Ｂの作用により、被搬送体
１には第１図において下向きの方向、第３図において左
向きの方向に駆動力が作用する。すなわち弁装置７Ｂ、
７Ａを開閉することにより、駆動作用の気体噴出部４０
Ｂ、４０Ｃの作用によって被搬送体１を搬送路２の長手
方向の両方向に搬送することができ、そして、いずれの
搬送方向についても、被搬送体１の搬送速度を自由に加
減速することができる。

このようにして被搬送体１が搬送面２Ａ上を搬送方向Ａ
に移動するとき、被搬送体１は搬送面２Ａに設けられた
光電スイッチ２１の上を通過する。光電スイッチ２１は
その検出方向上の物体の有無を検出することができ、そ
の有無をｏｎ−ｏｆｆ信号として出力する１例えば光電
スイッチ２１上に被搬送体１が無い場合、出力信号がｏ
ｆｆ。

有る場合ｏｎになるとすると、それぞれ定められた位置
に設けられた光電スイッチ２１の内、出力信号がｏｆｆ
からＯｎに変わった光電スイッチの位置をみることによ
り、その時刻における被搬送体の位置を知ることができ
る。

以上のように本実施例においては、光電スイッチ２１に
より搬送路２上の波条装体１の位置を知ることができ、
そして弁装［７Ａ、７Ｂによって被搬送体１の搬送速度
を自由に加減速できる。したがって、被搬送体１の位置
に応じて、搬送速度を制御することが可能となり、これ
より移動している被搬送体１のソフト停止、無衝撃な屈
曲路通過、無衝撃な分岐搬送を行うことが可能となる。

例えば第４０図および第４１図に示すように、搬送され
てきた被搬送体１をストッパ３１に当てて停止させる場
合には、停止位置の手前で減速を開始し、停止位置で速
度がＯになるように搬送速度を制御することにより、何
ら衝撃を与えることなく、被搬送体１を所定の位置に停
止させることができる。

搬送速度の制御、具体的にはこの場合、減速の度合の制
御は、弁装置７Ａ、７Ｂがｏｎ−ｏｆｆ弁のときには弁
装置７Ａ、７Ｂを開いている時間を制御することにより
行う、また弁装置Ｗ７Ａ。

７Ｂが流量連続可変弁であれば開いている時間に加えて
流量を制御することにより行う。また列状に設けられた
光電スイッチ２１からの位置情報より搬送速度を計算す
ることも可能であり、位置情報に加えて搬送速度も考慮
することにより、さらに適切な減速停止の制御が可能と
なる。

また第４２図は本発明の装置の他の実施例を示すもので
、この実施例は搬送路が大きく折れ曲がる屈曲路を構成
した例を示すものである。前述のように、気体流体力の
作用により構成したガイド機構の案内力は弱いものであ
るが、この場合、屈曲部の手前で減速を開始し、被搬送
体１が図示した位置で一旦停止するように搬送速度を制
御することにより、弱い案内力であっても被搬送体１が
搬送路２から脱落することはない、このように気体流体
力を用いた非接触ガイド機構を用いて屈曲路を構成する
ことが可能であり、したがって非搬送体１°の非接触か
つ無衝撃な屈曲路通過が可能である。

また第４３図は本発明の装置のさらに他の実施例を示す
るもので、この実施例は搬送路が分岐路を構成した例を
示したものである。この場合も被搬送体１が図示した位
置で一旦停止するように搬送速度を制御し、停止した後
、分岐すべき方向の駆動力を作用させることにより、分
岐動作が可能となる。この場合にも、非接触かつ無衝撃
であることはいうまでもない。

第４４図は本発明の装置の他の実施例を示すもので、こ
の図において第３７図ないし第４３＠と同符号のものは
同一部分である。この実施例は、第３７図ないし第４３
図に示した実施例において、ガイド機構を構成する駆動
作用の気体噴出部４０Ａのかわりに、固定壁ガイド３２
を設けたものであり、例として屈曲路を示している。

固定壁ガイドを用いた場合、従来の装置では被搬送体１
は屈曲部において進行方向のガイド壁に激しく衝突し、
被搬送体は大きな衝撃を受けるが。

本実施例においては、被搬送体１が図示した位置で一旦
停止するように搬送速度を制御することにより、被搬送
体１は何ら衝撃を受けることなく屈曲部を通過する。

本実施例においては、固定壁ガイド３２を設けたので、
被搬送体１に大きな外乱力が作用しても、被搬送体１が
搬送面から脱落することがない。

第４５図は本発明の装置の他の実施例を示し、この図に
おいて第３７Ｗｉないし第４３図と同符号のものは同一
部分である。この実施例は、第４３図に示した実施例の
装置における分岐路の、分岐点の搬送面２Ａに、被搬送
体１を浮上状態で保持する保持部を設けたものである。

保持部は、分岐点の搬送面上に浮上する被搬送体１．す
なわち図示した位置にある被搬送体１の下面の周辺部外
側付近の搬送面２Ａに、その駆動作用の駆動力が図示し
た位置にある被搬送体１の下面の中央部に向く成分をも
つような状態に４グループに配置された複数個の駆動作
用の気体噴出部４０ＤＡ〜４０ＤＤから構成されている
。駆動作用の気体噴出部４ＯＤＡ、４０ＤＢ、４０ＤＣ
には弁装置７ＤＡ、７ＤＢ、７ＤＣを介してそれぞれ加
圧気体が供給され、駆動作用の気体噴出部４０００には
弁装置を介さずに直接加圧気体が供給される。

次に、この実施例の動作を説明する。

まず、駆動作用の気体噴出部３Ｂつによって被搬送体１
が保持される動作について述べる。ユニで、すべての駆
動作用の気体噴出部４０ＤＡ〜４０ＤＤに加圧気体が供
給されており、被搬送体１は駆動作用の気体噴出部４０
ＤＡ〜４０ＤＤの列の軸の中央、すなわち図示した位置
にあるとする。被搬送体１が図示した位−から変位して
被搬送体１の下面の端部が変位した方向の位置に設けら
れた駆動作用の気体噴出部４０ＤＡ〜４ＯＤＤ上に移動
すると、被搬送体１には変位した方向と逆方向に向く駆
動力が作用する。これにより被搬送体１は図示した位置
に直ちに復帰する訳である。

次に分岐搬送の動作を説明する０例として、被搬送体１
が第４５図において下側から分岐部に進入し、右側に離
脱して行く場合を述べる。まず弁装置！７ＤＡ、７ＤＢ
を開け、７０Ｃを閉じた状態、すなわち駆動作用気体噴
出部４０ＤＡ、４０ＤＢ。

４０ＤＤに加圧気体が供給され、進入路側に設けられた
駆動作用気体噴出部４０ＤＣのみ、加圧気体が供給され
ない状態で、被搬送体１の接近を待つ、そして分岐部の
手前で被搬送体１の減速を開始し、被搬送体１が図示し
た位置で停止するように搬送速度を制御する。そして被
搬送体１が分岐点に達したことを光電スイッチ２１によ
って確認した後、閉じられていた弁装置７Ｄｃを開く、
これにより、被搬送体１は分岐部上に保持される。

この後、弁装［７ＤＢを閉じ、離脱路側の駆動作用の気
体噴出部４０ＤＢへの加圧気体の供給を止め、被搬送体
１に離脱して行く方向の駆動力を作用する駆動作用の気
体噴出部４０ＤＤに加圧気体を供給することにより、被
搬送体１は分岐部を離れ、分岐動作が完了する。

本実施例においては搬送路の分岐部に被搬送体１番保持
する保持部を設けたので、移動してきた被搬送体１を分
岐部に停止させるべく行う搬送速度の制御に誤差が生じ
た場合にも、被搬送体１は確実に分岐部に捕えられ、被
搬送体１が分岐すべき分岐路と異なる方向に進入してじ
まったり、分岐部の手前で停止して分岐部まで到達でき
なかったりすることが生じない。

また、ここでは分岐路の場合を示したが、上述の実施例
の装置において分岐部から上下に延びる２本の搬送路２
の内１本を取り除くことにより、屈曲線を構成すること
ができる。また、分岐部から延びる３本の搬送路２の内
２本を取り除くことにより、第４０図に示した第１の実
施例のものに対応する停止部を構成することができる。

そしてこれらの屈曲路、停止部においても、搬送速度の
制御に誤差が生じても確実な屈曲路通過、停止の動作が
できる。また上記の停止部は、被搬送体１に対して完全
非接触な構成であり、したがって、本実施例の構成によ
り、停止部、屈曲部１分解部　−を含めてすべてにわた
って完全非接触な搬送が可能である。

以上説明したように、本発明の実施例によれば、物品を
、移動後の停止、屈曲路通過９分岐搬送の動作を含めて
非接触かつ無衝撃に搬送することができるので、接触に
よる物品への塵埃付着、衝撃による物品からの発塵およ
び物品の損傷を防止することができ、物品を清浄かつ損
傷を与えることなく搬送することができる。

（発明の効果〕以上説明したように、本発明によれば１周囲塵埃のまき
上げやダウンフローの乱れ発生がないので、塵埃の付着
をきらう物品を、清浄状態に保って搬送することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の装置の一実施例の平面図、第２図は第
１図における■−■断面図、第３図は第１図における■
−■断面図、第４図は第１図の実施例に用いられる浮上
作用の気体噴出部の詳細を示す平面図、第５図はその■
−■断面図、第６図は第１図の実施例に用いられる駆動
作用の気体噴出部の詳細を示す平面図、第７図はその■
−■断面図、第８図ないし第１１図はそれぞれ本発明の
装置に用いられる駆動作用の気体噴出部３の出口付近の
詳細を示す図で、第８図は浮上作用の気体噴出部の一例
を説明する平面図、第９図はその■−■断面図、第１０
図は駆動作用の気体噴出部の他の例を説明する平面図、
第１１図はそのＸＩ−ＸＩ断面図、第１２図ないし第２
２図は本発明の装置に用いられる浮上作用の気体噴出部
の他の実施例を示す図で、第１２図はその一実施例を示
す平面図、第１３図はそのｘｍ−ｘｍ断面図、第１４図
は他の実施例を示す平面図、第１５図はそのｘｖ　−ｘ
ｖ断面図、第１６図はさらに他の実施例を示す断面図、
第１７図は他の実施例を示す平面図、第１８図はそのＸ
■−Ｘ■断面図、第１９図はさらに他の実施例を示す平
面図、第２０図はそのｘｘ　−ｘｘ断面図、第２１図は
他の実施例を示す断面図、第２２図はさらに他の実施例
を示す断面図、第２３図は本発明の装置の他の実施例を
示す平面図、第２４図はそのＸＸＩＶ−ＸＸＩＶ断面図
、第２５図は本発明の装置のさらに他の実施例を示す平
面図、第２６図はそのＸχＶＩ−ＸＸＶＩ断面図、第２
７図は本発明の装置の他の実施例を示す平面図、第２８
図はそのｘｘ■−ｘｘ■断面図、第２９図は本発明の装
置のさらに他の実施例を示す平面図、第３０図はそのＸ
ＸＸ　−ＸＸＸ断面図、第３１図は同じくソノｘｘＸＩ
−ｘｘｘｔ断面図、第３２図は本発明の装置の他の実施
例を示す平面図、第３３図はその側面図、第３４図は本
発明の装置のさらに他の実施例を示す平面図、第３５図
はそのＸＸＸＶ　−ＸＸＸＶ断面図、第３６図は同じく
その側面図、第３７図は本発明の装置の他の実施例を示
す平面図、第３８図はそのｘｘｘ■−ＸＸＸ■断面図、
第３９図は同じくそのＸＸＸＩＸ　−ｘｘｘ　■断面図
、第４０図は本発明の装置のさらに他の実施例を示す平
面図、第４１図はその横断面図、第４２図は本発明の装
置の他の実施例を示す平面図、第４３図は本発明の装置
のさらに他の実施例を示す平面図、第４４図は本発明の
装置の他の実施例を示す平面図、第４５図は本発明の装
置のさらに他の実施例を示す平面図である。１・・・被搬送体、２・・・搬送路、２Ａ・・・搬送面
、４・・・すきま、５八〜５Ｄ・・・管、６・・・フィ
ルタ、７Ａ。７Ｂ、７Ｃ・・・弁装置、８・・・圧力レギュレータ、
９・・・加圧気体源、１０・・・搬送方向、２１・・・
光電スイッチ、２３・・・コントローラ、２５・・・ド
ライバ、３ｏ・・・浮上作用気体噴出部、３１・・・ス
トッパ、３２　・・・固定壁ガイド、４０Ａ、４０Ｂ、
４０Ｇ・・・駆動作用気体噴出部、３０２・・・抵抗部
、３０７・・・流路、３０３・・・開口部。第　ｌ　凹２・・・４黍θヒ送ｊギ６、　　　　　　　３＜フ０．
ダ仁上イ１呼千り声（イ串、−１ｅｔ二部２八・・・４
１ｆｌｔ　面　　　　　４／ン＾−１１ζに：・・ｚ％
動ヂＩＪヤク」ｔイ李ぐ１自り憬；部４・・・すき走第　３　口光　、５Ｃ早１２　　囚　　　　第７３図第７６　図ｔ０２Ａ・、微小すさ↓ 第　１７　図　　　第１８図２１０］・λ体漫引・住材朴第２３　　目第　２４　　口第２５　２第　２６　　口２１・・・ガイド第　２７　　図第２８　国２２、、、拶送舒材早２９図第３０　図第　３１　　口２３９．小晃第　３２　　圀第３３　　口２　　２−一第　３４　　口第３６　図一マ第３７　　口第３９図一ξＸ− 奉４０口３１・・・ストン八１第　４３　目第　４４　目５２・・固定壁か゛イＦ

Claims

【特許請求の範囲】１、搬送路の搬送面と被搬送体との間に流体膜を形成し
、この流体膜により被搬送体を搬送面に対して非接触状
態に保つて搬送する搬送装置において、前記搬送面に、
この搬送面と被搬送体との間に流体膜を形成する低速の
流体を供給する流体噴出部を設けたことを特徴とする搬
送装置。２、特許請求の範囲第１項記載の搬送装置において、前
記流体噴出部は、加圧流体供給部と、この加圧流体供給
部からの加圧流体に抵抗を与える抵抗部と、この抵抗部
からの流体を整流する整流部と、前記抵抗部の抵抗より
小さい抵抗をもち、前記整流部からの流体を被搬送体に
向けて流出させる開口部とを備えたことを特徴とする搬
送装置。３、特許請求の範囲第２項記載の搬送装置において、整
流部は抵抗部からの加圧流体の最高速度を抑える第１の
整流部と、この第１の整流部からの流体をさらに整流す
る第２の整流部とを備えたことを特徴とする搬送装置。４、特許請求の範囲第１項記載の搬送装置において、前
記流体噴出部は、加圧流体供給路と、加圧流体供給路か
らの加圧流体に抵抗を与えると共に整流する抵抗整流部
と、この抵抗整流部の抵抗より小さい抵抗をもち、前記
抵抗整流部からの流体を被搬送体に向けて流出させる開
口部とを備えたことを特徴とする搬送装置。５、搬送路の搬送面と被搬送体との間に流体膜を形成し
、この流体膜により被搬送体を搬送面に対して非接触状
態に保つて搬送する搬送装置において、前記搬送面に、
この搬送面と被搬送体との間に流体膜を形成する低速の
流体を供給する流体噴出部と、この流体噴出部に接続し
、これに加圧流体を供給する加圧流体供給源と、この加
圧流体供給源と流体噴出部との間に設けた流量調節手段
と、被搬送体の位置を検出する検出手段と、この検出手
段からの検出信号によつて前記流量調節を制御する制御
部とを備えたことを特徴とする搬送装置。６、特許請求の範囲第５項記載の搬送装置において、流
体噴出部は被搬送体に一方向の駆動力を与える第１の流
体噴出部と、他方向に駆動力を与える第２の流体噴出部
とを備えたことを特徴とする搬送装置。７、特許請求の範囲第６項記載の搬送装置において、前
記流体噴出部は、加圧流体供給部と、この加圧流体供給
部からの加圧流体に抵抗を与える抵抗部と、この抵抗部
からの流体を整流する整流部と、前記抵抗部の抵抗より
小さい抵抗をもち、前記整流部からの流体を被搬送体に
向けて流出させる開口部とを備えたことを特徴とする搬
送装置。８、特許請求の範囲第７項記載の搬送装置において、整
流部は抵抗部からの加圧流体の最高速度を抑える第１の
整流部と、この第１の整流部からの流体をさらに整流す
る第２の整流部とを備えたことを特徴とする搬送装置。９、特許請求の範囲第６項記載の搬送装置において、前
記流体噴出部は、加圧流体供給路と、加圧流体供給路か
らの加圧流体に抵抗を与えると共に整流する抵抗整流部
と、この抵抗整流部の抵抗より小さい抵抗をもち、前記
抵抗整流部からの流体を被搬送体に向けて流出させる開
口部とを備えたことを特徴とする搬送装置。