JP2011219209A - 浮上搬送装置、方向転換装置、及び浮上ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】基板Ｗと浮上ユニット１７等との干渉を回避して、基板Ｗの割れ又は傷等の損傷を十分に防止すること。
【解決手段】各浮上ユニット１７は、チャンバー１３の上面に設けられた中空状の浮上ユニット脚３１と、浮上ユニット脚３１の上部に設けられかつ浮上ユニット脚３１の横断面よりも大きい横断面を有した浮上ユニットヘッド３３とを備え、いずれかの浮上ユニット１７（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド３３が対応関係にあるチャンバー１３の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置、及び第１浮上搬送装置から基板を受け取って第２浮上搬送装置へ送り出す際に、基板の搬送方向を第１搬送方向から第１搬送方向に直交する第２搬送方向へ転換する搬送方向転換装置等に関する。

近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、本願の発明者も浮上搬送装置について既に開発している。以下、本願の発明者が開発した先行技術に係る浮上搬送装置の構成等について説明する。

先行技術に係る浮上搬送装置は、搬送方向へ延びた装置本体（装置フレーム）を具備しており、この装置本体には、浮上ガスとしての圧縮空気を収容する複数のチャンバーが搬送方向及び搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔を置いて配設されており、各チャンバーの内部は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給源に接続されている。また、各チャンバーの上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが配設されており、各浮上ユニットの内部は、チャンバーの内部に連通してあって、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。更に、装置本体には、基板を搬送方向へ搬送する搬送機構が設けられており、搬送機構は、基板の裏面を支持しかつ搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能な複数の搬送ローラと、複数の搬送ローラを搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータとを備えている。

従って、圧縮空気供給源の作動によって各チャンバーの内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させる。また、搬送モータの駆動によって複数の搬送ローラを搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。

なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１及び特許文献２に示すものがある。

特開２０１０−４５０７２号公報 特開２００８−２５４９１８号公報

ところで、隣接関係にあるいずれかのチャンバー間に搬送機構等の別の構成ユニット又は構成部材が配設されることがあり、このような場合には、隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット間の間隙を大きくする必要がある。一方、隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット間の間隙を大きくすると、複数の浮上ユニットによって区画される搬送領域において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生する。そのため、基板の浮上搬送中に、基板が大きく湾曲して、基板の一部が浮上ユニット等との干渉して、基板に割れ又は傷等の損傷を招き易くなる。

なお、前述の問題は、浮上搬送装置だけでなく、方向転換装置においても同様に生じるものである。

そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置等を提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、各チャンバーの上面に配設され、内部が前記チャンバーの内部に連通し、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる１つ又は複数の浮上ユニットと、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、を具備し、各浮上ユニットは、前記チャンバーの上面に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通した中空状の浮上ユニット脚と、前記浮上ユニット脚の上部に設けられ、内部が前記浮上ユニット脚の内部に連通し、上面に前記ノズルが形成され、前記浮上ユニット脚の横断面よりも大きい横断面を有した中空状の浮上ユニットヘッドと、を備え、いずれかの前記浮上ユニットは、前記浮上ユニットヘッドが対応関係にある前記チャンバーの側面に対して外方向（外側）へ突出するように前記浮上ユニット脚の中心（重心）に対して偏心して構成されていることを要旨とする。

なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、ブラケット等の別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。

第１の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各チャンバーの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送機構を適宜に作動させる。これにより、基板を前記搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。

ここで、いずれかの前記浮上ユニットは、前記浮上ユニットヘッドが対応関係にある前記チャンバーの側面に対して外方向へ突出するように前記浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されているため、隣接関係にあるいずれかの前記チャンバー間に前記搬送機構等の別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の前記浮上ユニット間の間隙を狭くして、複数の前記浮上ユニットによって区画される搬送領域において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できる。

本発明の第２の特徴は、基板を第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する方向転換装置において、装置本体に配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、各チャンバーの上面に配設され、内部が前記チャンバーの内部に連通し、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる１つ又は複数の浮上ユニットと、基板を前記第１浮上搬送装置から受け取りながら前記第１搬送方向へ搬送する受取機構と、基板を前記第２浮上搬送装置へ送り出しながら前記第２搬送方向へ搬送する送出機構と、を具備し、各浮上ユニットは、前記チャンバーの上面に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通した中空状の浮上ユニット脚と、前記浮上ユニット脚の上部に設けられ、内部が前記浮上ユニット脚の内部に連通し、上面に前記ノズルが形成され、前記浮上ユニット脚の横断面よりも大きい横断面を有した中空状の浮上ユニットヘッドと、を備え、いずれかの前記浮上ユニットは、前記浮上ユニットヘッドが対応関係にある前記チャンバーの側面に対して外方向へ突出するように前記浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されていることを要旨とする。

本発明の第２の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各チャンバーの内部へ浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記受取機構を適宜に作動させる。これにより、基板を前記第１浮上搬送装置から受け取りながら前記第１搬送方向へ浮上搬送することができる。

前記第１浮上搬送装置から基板を完全に受け取った後に、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記送出機構を適宜に作動させる。これにより、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換して、基板を前記第２浮上搬送装置へ送り出しながら前記第２搬送方向へ浮上搬送することができる。

ここで、いずれかの前記浮上ユニットは、前記浮上ユニットヘッドが対応関係にある前記チャンバーの側面に対して外方向へ突出するように前記浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されているため、隣接関係にあるいずれかの前記チャンバー間に前記受取機構又は前記送出機構等の別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の前記浮上ユニット間の間隙を狭くして、複数の前記浮上ユニットによって区画される搬送領域において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できる。

本発明の第３の特徴は、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットにおいて、中空状の浮上ユニット脚と、前記浮上ユニット脚の上部に設けられ、内部が前記浮上ユニット脚の内部に連通してあって、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、前記浮上ユニット脚の横断面よりも大きい横断面を有した中空状の浮上ユニットヘッドと、を備え、前記浮上ユニットヘッドの前記浮上ユニット脚の中心（重心）に対して偏心して構成されていることを要旨とする。

第３の特徴からなる前記浮上ユニットを複数用意し、複数の前記浮上ユニットを第１の特徴からなる前記浮上搬送装置の構成ユニットとして用いた場合には、第１の特徴による作用と同様の作用を奏すると共に、複数の前記浮上ユニットを第２の特徴からなる前記方向転換装置の構成ユニットとして用いた場合には、第２の特徴による作用と同様の作用を奏する。

本発明によれば、隣接関係にあるいずれかの前記チャンバー間に別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の前記浮上ユニット間の間隙を狭くして、前記搬送領域において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できるため、基板と前記浮上ユニット等との干渉を回避して、基板の割れ又は傷等の損傷を十分に防止することができる。

本発明の実施形態に係るクロス浮上搬送システムの概略的な平面図である。 図１におけるII-II線に沿った拡大断面図である。 図１におけるIII-III線に沿った拡大断面図である。 図１におけるIV-IV線に沿った拡大断面図である。 図１におけるV-V線に沿った拡大断面図である。

本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。

図１に示すように、本発明の実施形態に係るクロス浮上搬送システム１は、クリーン搬送の分野で用いられ、例えばガラス基板等の基板Ｗを第１搬送方向（本発明の実施形態にあっては、前後方向）へ浮上搬送して、第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）へ浮上搬送するシステムである。そして、クロス浮上搬送システム１について概説すると、次のようになる。

クロス浮上搬送システム１は、基板Ｗを第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置３を具備しており、この第１浮上搬送装置３の近傍には、基板Ｗを第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置５が配設されている。そして、第１浮上搬送装置３の下流側（搬出側）と第２浮上搬送装置５の上流側（搬入側）と間には、方向転換装置７が配設されており、この方向転換装置７は、第１浮上搬送装置３から基板Ｗを受け取って第２浮上搬送装置５へ基板Ｗを送り出す際に、基板Ｗの搬送方向を第１搬送方向から第２搬送方向へ転換するものである。

クロス浮上搬送システム１の第１浮上搬送装置３の具体的な構成は、以下のようになる。

図１及び図２に示すように、第１浮上搬送装置３は、第１搬送方向へ延びた装置本体（装置フレーム）９を具備しており、装置本体９は、複数の支柱１１を備えている。なお、装置本体９は、クロス浮上搬送システム１のシステム本体の一部を構成するものである。

装置本体９には、浮上ガスとしての圧縮空気を収容する複数のチャンバー１３が第１搬送方向に沿って配設されており、複数のチャンバー１３の配設状態は、第２搬送方向（換言すれば、第１搬送方向に直交する第１搬送幅方向）に複数列（本発明の実施形態にあっては、３列）になっている。また、各チャンバー１３の下面には、チャンバー１３内に圧縮空気を供給する複数の供給ファン１５（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられており、換言すれば、各チャンバー１３の内部は、複数の供給ファン１５に接続されている。

各チャンバー１３の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット１７が第１搬送方向（若しくは第１搬送方向及び第１搬送幅方向）に間隔を置いて配設されており、複数の浮上ユニット１７の配設状態は、第１搬送幅方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、５列）になっている。また、各浮上ユニット１７の上面には、 圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル１７ｎが浮上ユニット１７の上面の外縁（平面視形状）に沿って形成されており、各浮上ユニット１７は、基板Ｗとの間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層（圧力溜まり層）Ｓを生成可能である。ここで、各浮上ユニット１７のノズル１７ｎは、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１７の上面に垂直な方向）に対してユニット中心側（浮上ユニット１７の中心側）へ傾斜するようになっている。なお、浮上ユニット１７の特徴部分については、後述する。

装置本体９における第１搬送幅方向（第２搬送方向）に隣接関係にあるチャンバー１３間には、基板Ｗを第１搬送方向へ搬送する第１搬送機構の一例として複数の第１搬送用ローラ駆動ユニット１９が第１搬送方向に沿って配設されており、複数の第１搬送用ローラ駆動ユニット１９の配設状態は、第１搬送幅方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、２列）になっている。そして、各第１搬送用ローラ駆動ユニット１９の具体的な構成は、次のようになる。

装置本体９における第１搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１３間には、上側が開口された第１搬送用ケース２１が設けられており、第１搬送用ケース２１は、第１搬送幅方向に隣接関係にある浮上ユニット１７に挟まれている。また、第１搬送用ケース２１内には、基板Ｗの裏面を支持する第１搬送用ローラ２３が第１搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられており、第１搬送用ローラ２３は、第１搬送用ケース２１に対して上方向へ突出してある。ここで、第１搬送用ローラ２３の支持高さ（最上部の高さ）は、浮上ユニット１７による浮上高さ位置（パスライン高さ）と同じ高さ又はパスライン高さよりも僅かに低い高さに設定されている。そして、第１搬送用ケース２１内には、第１搬送用ローラ２３を第１搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる第１搬送用モータ２５が設けられており、第１搬送用モータ２５の出力軸は、一対のプーリとベルトからなる連結機構２７によって第１搬送用ローラ２３に連動連結してある。更に、第１搬送用ケース２１の下面には、第１搬送用ケース２１内の空気を吸引する第１搬送用吸引ファン２９が設けられている。

なお、第１搬送機構として複数の第１搬送用ローラ駆動ユニット１９を用いる代わりに、別の第１搬送機構を用いても構わない。

続いて、浮上ユニット１７の特徴部分について説明する。

各浮上ユニット１７は、チャンバー１３の上面に設けられかつ内部がチャンバー１３の内部に連通した中空状の浮上ユニット脚３１と、浮上ユニット脚３１の上部に設けられかつ内部が浮上ユニット脚３１の内部に連通した浮上ユニットヘッド３３とを備えている。ここで、浮上ユニットヘッド３３は、浮上ユニット脚３１の横断面よりも大きい横断面を有している。そして、いずれかの浮上ユニット（本発明の実施形態にあっては、左から２列目と４列目の各浮上ユニット）１７（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド３３が対応関係にあるチャンバー１３の側面に対して外方向（外側）へ突出するように浮上ユニット脚の中心（重心）に対して偏心して構成されている。

クロス浮上搬送システム１の第２浮上搬送装置５の具体的な構成は、以下のようになる。

図１及び図３に示すように、第２浮上搬送装置５は、第１浮上搬送装置３の近傍に配設されかつ第２搬送方向へ延びた装置本体（装置フレーム）３５を具備しており、装置本体３５は、複数の支柱３７を備えている。なお、装置本体３５は、第１浮上搬送装置３の装置本体９と同様に、クロス浮上搬送システム１のシステム本体の一部を構成するものである。

装置本体３５には、圧縮空気を収容する複数のチャンバー３９が第２搬送方向に沿って配設されており、複数のチャンバー３９の配設状態は、第１搬送方向（換言すれば、第２搬送方向に直交する第２搬送幅方向）に複数列（本発明の実施形態にあっては、３列）になっている。また、各チャンバー３９の下面には、チャンバー３９内に圧縮空気を供給する複数の供給ファン４１（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられており、換言すれば、各チャンバー３９の内部は、複数の供給ファン４１に接続されている。

各チャンバー３９の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット４３が第２搬送方向（若しくは第１搬送方向及び第２搬送方向）に間隔を置いて配設されており、複数の浮上ユニット４３の配設状態は、第２搬送幅方向（第１搬送方向）に複数列（本発明の実施形態にあっては、５列）になっている。また、各浮上ユニット４３の上面には、 圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル４３ｎが浮上ユニット４３の上面の外縁に沿って形成されており、各浮上ユニット４３は、基板Ｗとの間にエア溜まり層（空気溜まり層）Ｓを生成可能である。ここで、浮上ユニット４３のノズル４３ｎは、第１浮上搬送装置３の浮上ユニット１７のノズル１７ｎと同じ構成を有している。なお、浮上ユニット４３の特徴部分については、後述する。

装置本体３５における第２搬送幅方向（第１搬送方向）に隣接関係にあるチャンバー３９間には、基板Ｗを第２搬送方向へ搬送する第２搬送機構の一例として複数の第２搬送用ローラ駆動ユニット４５が第２搬送方向に沿って配設されており、複数の第２搬送用ローラ駆動ユニット４５の配設状態は、第２搬送幅方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、２列）になっている（図１中には、各列の先頭の第２搬送用ローラ駆動ユニット４５のみ図示してある）。そして、各第２搬送用ローラ駆動ユニット４５の具体的な構成は、次のようになる。

装置本体３５における第２搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー３９間には、上側が開口された第２搬送用ケース４７が設けられており、第２搬送用ケース４７は、第２搬送幅方向に隣接関係にある浮上ユニット４３に挟まれている。また、第２搬送用ケース４７内には、基板Ｗの裏面を支持する第２搬送用ローラ４９が第２搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられており、第２搬送用ローラ４９は、第２搬送用ケース４７に対して上方向へ突出してある。ここで、第２搬送用ローラ４９の支持高さ（最上部の高さ）は、浮上ユニット４３による浮上高さ位置（パスライン高さ）と同じ高さ又はパスライン高さよりも僅かに低い高さに設定されている。そして、第２搬送用ケース４７内には、第２搬送用ローラ４９を第２搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる第２搬送用モータ５１が設けられており、第２搬送用モータ５１の出力軸は、一対のプーリとベルトからなる連結機構５３によって第２搬送用ローラ４９に連動連結してある。更に、第２搬送用ケース４７の下面には、第２搬送用ケース４７内の空気を吸引する第２搬送用吸引ファン５５が設けられている。

なお、第２搬送機構として複数の第２搬送用ローラ駆動ユニット４５を用いる代わりに、別の第２搬送機構を用いても構わない。

続いて、浮上ユニット４３の特徴部分について説明する。

各浮上ユニット４３は、第１浮上搬送装置３の浮上ユニット１７と同様に、チャンバー３９の上面に設けられかつ内部がチャンバー３９の内部に連通した中空状の浮上ユニット脚５７と、浮上ユニット脚５７の上部に設けられかつ内部が浮上ユニット脚５７の内部に連通した浮上ユニットヘッド５９とを備えている。ここで、浮上ユニットヘッド５９は、浮上ユニット脚５７の横断面よりも大きい横断面を有している。そして、いずれかの浮上ユニット（本発明の実施形態にあっては、前から２列目と４列目の各浮上ユニット）４３（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド５９が対応関係にあるチャンバー３９の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚５７の中心に対して偏心して構成されている。

クロス浮上搬送システム１の方向転換装置７の具体的な構成は、以下のようになる。

図１、図４、及び図５に示すように、方向転換装置７は、第１浮上搬送装置３の下流側と第２浮上搬送装置５の上流側との中間に配設された装置本体６１を具備しており、装置本体６１は、複数の支柱６３を備えている。なお、装置本体６１は、第１浮上搬送装置３の装置本体９及び第２浮上搬送装置５の装置本体３５と同様に、クロス浮上搬送システム１のシステム本体の一部を構成するものである。

装置本体６１には、圧縮空気を収容する複数のチャンバー６５が配設されており、各チャンバー６５の下面には、チャンバー６５内に圧縮空気を供給する複数の供給ファン６７（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）が設けられており、換言すれば、各チャンバー６５の内部は、複数の供給ファン６７に接続されている。

各チャンバー６５の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット６９が第１搬送方向及び／又は第２搬送方向に間隔を置いて配設されており、複数の浮上ユニット６９の配設状態は、第１搬送方向（第２搬送幅方向）及び第２搬送方向（第１搬送幅方向）に複数列（本発明の実施形態にあっては、５列）になっている。また、各浮上ユニット６９の上面には、 圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル６９ｎが浮上ユニット６９の上面の外縁に沿って形成されており、各浮上ユニット６９は、基板Ｗとの間にエア溜まり層Ｓを生成可能である。ここで、浮上ユニット６９のノズル６９ｎは、第１浮上搬送装置３の浮上ユニット１７のノズル１７ｎと同じ構成を有している。なお、浮上ユニット６９の特徴部分については、後述する。

装置本体６１における第２搬送方向（第１搬送幅方向）に隣接関係にあるチャンバー６５間には、基板Ｗを第１浮上搬送装置３から受け取りながら第１搬送方向へ搬送する受取機構の一例として複数の受取用ローラ駆動ユニット７１が第１搬送方向に沿って配設されており、複数の受取用ローラ駆動ユニット７１の配設状態は、第２搬送方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、２列）になっている。そして、各受取用ローラ駆動ユニット７１の具体的な構成は、次のようになる。

装置本体６１における第２搬送方向に隣接関係にあるチャンバー６５間には、上側が開口された受取用ケース７３が設けられており、受取用ケース７３は、第２搬送方向に隣接関係にある浮上ユニット６９に挟まれている。また、受取用ケース７３内には、基板Ｗの裏面を支持する受取用ローラ７５が第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられており、受取用ローラ７５は、受取用ケース７３に対して上方向へ突出してある。ここで、受取用ローラ７５の支持高さ（最上部の高さ）は、浮上ユニット６９による浮上高さ位置（パスライン高さ）と同じ高さ又はパスライン高さよりも僅かに低い高さに設定されている。そして、受取用ケース７３内には、受取用ローラ７５を第２搬送方向に平行な軸心周りに回転させる受取用モータ７７が設けられており、受取用モータ７７の出力軸は、一対のプーリとベルトからなる連結機構７９によって受取用ローラ７５に連動連結してある。更に、受取用ケース７３の下面には、受取用ケース７３内の空気を吸引する受取用吸引ファン８１が設けられている。

なお、受取機構として複数の受取用ローラ駆動ユニット７１を用いる代わりに、別の受取機構を用いても構わない。

装置本体６１における第１搬送方向（第２搬送幅方向）に隣接関係にあるチャンバー６５間には、基板Ｗを第２浮上搬送装置５へ送り出しながら第２搬送方向へ搬送する送出機構の一例として複数の送出用ローラ駆動ユニット８３が第２搬送方向に沿って配設されており、複数の送出用ローラ駆動ユニット８３の配設状態は、第１搬送方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、２列）になっている。そして、各送出用ローラ駆動ユニット８３の具体的な構成は、次のようになる。

装置本体６１における第１搬送方向に隣接関係にあるチャンバー６５間には、上側が開口された送出用ケース８５が設けられており、送出用ケース８５は、第１搬送方向に隣接関係にある浮上ユニット６９に挟まれている。また、送出用ケース８５内には、基板Ｗの裏面を支持する送出用ローラ８７が第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられており、送出用ローラ８７は、送出用ケース８５に対して上方向へ突出してある。ここで、送出用ローラ８７の支持高さ（最上部の高さ）は、パスライン高さと同じ高さ又はパスライン高さよりも僅かに低い高さに設定されている。そして、送出用ケース８５内には、送出用ローラ８７を第１搬送方向に平行な軸心周りに回転させる送出用モータ８９が設けられており、送出用モータ８９の出力軸は、一対のプーリとベルトからなる連結機構９１によって送出用ローラ８７に連動連結してある。更に、送出用ケース８５の下面には、送出用ケース８５内の空気を吸引する送出用吸引ファン９３が設けられている。

なお、送出機構として複数の送出用ローラ駆動ユニット８３を用いる代わりに、別の送出機構を用いても構わない。

続いて、浮上ユニット６９の要部について説明する。

各浮上ユニット６９は、第１浮上搬送装置３の浮上ユニット１７と同様に、チャンバー６５の上面に設けられかつ内部がチャンバー６５の内部に連通した中空状の浮上ユニット脚９５と、浮上ユニット脚９５の上部に設けられかつ内部が浮上ユニット脚９５の内部に連通した浮上ユニットヘッド９７とを備えている。ここで、浮上ユニットヘッド９７は、浮上ユニット脚９５の横断面よりも大きい横断面を有している。そして、いずれかの浮上ユニット６９（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド９７が対応関係にあるチャンバー６５の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚９５の中心に対して偏心して構成されている。

続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。

各供給ファン１５の作動によって各チャンバー１３の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１７のノズル１７ｎから圧縮空気を噴出させる。また、各第１搬送用吸引ファン２９の作動によって各第１搬送用ケース２１内の空気を吸引して、各第１搬送用ローラ２３の周辺域を負圧状態にすると共に、各第１搬送用モータ２５の駆動によって各第１搬送用ローラ２３を第１搬送幅方向（第２搬送方向）に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の第１搬送用ローラ２３との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを第１搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。

基板Ｗの端部が第１浮上搬送装置３の下流側の所定位置に達する前に、各供給ファン６７の作動によって各チャンバー６５の内部に圧縮空気を供給して、各浮上ユニット６９のノズル６９ｎから圧縮空気を噴出させる。また、各受取用吸引ファン８１の作動によって各受取用ケース７３内の空気を吸引して、各受取用ローラ７５の周辺域を負圧状態にすると共に、各受取用モータ７７の駆動によって各受取用ローラ７５を第２搬送方向（第１搬送幅方向）に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の受取用ローラ７５との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを第１浮上搬送装置３から複数の受取用ローラ駆動ユニット７１側に受け取りながら第１搬送方向へ浮上搬送することができる。なお、第１浮上搬送装置３から基板Ｗを完全に受け取ったことは反射型光電センサ（図示省略）等によって検出されるものである。

第１浮上搬送装置３から基板Ｗを完全に受け取った後に、各受取用吸引ファン８１の作動及び各受取用モータ７７の駆動を停止すると共に、各送出用吸引ファン９３の作動によって各送出用ケース８５内の空気を吸引して、各送出用ローラ８７の周辺域を負圧状態にする。そして、各供給ファン６７の作動によって各浮上ユニット６９のノズル６９ｎから圧縮空気を噴出させつつ、各送出用モータ８９の駆動によって各送出用ローラ８７を第１搬送方向（第２搬送幅方向）に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの搬送方向を第１搬送方向から第２搬送方向へ転換して、基板Ｗの裏面と複数の送出用ローラ８７との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを複数の送出用ローラ駆動ユニット８３側から第２浮上搬送装置５へ送り出しながら第２搬送方向へ浮上搬送することができる。

第２浮上搬送装置５へ基板Ｗを送り出す前又は送り出す際に、各供給ファン４１の作動によって各チャンバー３９の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット４３のノズル４３ｎから圧縮空気を噴出させる。そして、各第２搬送用吸引ファン５５の作動によって各第２搬送用ケース４７内の空気を吸引して、各第２搬送用ローラ４９の周辺域を負圧状態にすると共に、各第２搬送用モータ５１の駆動によって各第２搬送用ローラ４９を第２搬送幅方向（第１搬送方向）に平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の第２搬送用ローラ４９との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを第２搬送方向へ浮上搬送することができる。

前述の作用の他に、第１浮上搬送装置３において、いずれかの浮上ユニット１７（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド３３が対応関係にあるチャンバー１３の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されているため、隣接関係にあるいずれかのチャンバー１３間に第１搬送用ローラ駆動ユニット１９等の別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の浮上ユニット１７間の間隙を狭くして、複数の浮上ユニット１７によって区画される搬送領域Ｔ１において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できる。

同様に、第２浮上搬送装置５において、いずれかの浮上ユニット４３（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド５９が対応関係にあるチャンバー３９の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚５７の中心に対して偏心して構成されているため、隣接関係にあるいずれかのチャンバー３９間に第２搬送用ローラ駆動ユニット４５等の別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の浮上ユニット４３間の間隙を狭くして、複数の浮上ユニット４３によって区画される搬送領域Ｔ２において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できる。

同様に、方向転換装置７において、いずれかの浮上ユニット６９（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド９７が対応関係にあるチャンバー６５の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚９５の中心に対して偏心して構成されているため、隣接関係にあるいずれかのチャンバー６５間に受取用ローラ駆動ユニット７１、送出用ローラ駆動ユニット８３等の別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の浮上ユニット６９間の間隙を狭くして、複数の浮上ユニット６９によって区画される搬送領域Ｔ３において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できる。

従って、本発明の実施形態によれば、隣接関係にあるいずれかのチャンバー１３（３９，６５）間に別の構成ユニット又は構成部材が配設された場合であっても、隣接関係にある各組の浮上ユニット１７（３９，６９）間の間隙を狭くして、搬送領域Ｔ１（Ｔ２，Ｔ３）において、浮上力の小さい箇所が局所的に発生することを十分に抑制できるため、基板Ｗと浮上ユニット１７（３９，６９）等との干渉を回避して、基板Ｗの割れ又は傷等の損傷を十分に防止することができる。

なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。

Ｗ 基板
Ｓ エア溜まり層
Ｔ１ 搬送領域
Ｔ２ 搬送領域
Ｔ３ 搬送領域
１ クロス浮上搬送システム
３ 第１浮上搬送装置
５ 第２浮上搬送装置
７ 方向転換装置
９ 装置本体
１３ チャンバー
１５ 供給ファン
１７ 浮上ユニット
１７ｎ ノズル
１９ 第１搬送用ローラ駆動ユニット
２１ 第１搬送用ケース
２３ 第１搬送用ローラ
２５ 第１搬送用モータ
２９ 第１搬送用吸引ファン
３１ 浮上ユニット脚
３３ 浮上ユニットヘッド
３５ 装置本体
３９ チャンバー
４１ 供給ファン
４３ 浮上ユニット
４３ｎ ノズル
４５ 第２搬送用ローラ駆動ユニット
４７ 第２搬送用ケース
４９ 第２搬送用ローラ
５１ 第２搬送用モータ
５５ 第２搬送用吸引ファン
５７ 浮上ユニット脚
５９ 浮上ユニットヘッド
６１ 装置本体
６５ チャンバー
６７ 供給ファン
６９ 浮上ユニット
６９ｎ ノズル
７１ 受取用ローラ駆動ユニット
７３ 受取用ケース
７５ 受取用ローラ
７７ 受取用モータ
８１ 受取用吸引ファン
８３ 送出用ローラ駆動ユニット
８５ 送出用ケース
８７ 送出用ローラ
８９ 送出用モータ
９３ 送出用吸引ファン
９５ 浮上ユニット脚
９７ 浮上ユニットヘッド

Claims (5)

1. 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
   装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、
   各チャンバーの上面に配設され、内部が前記チャンバーの内部に連通し、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる１つ又は複数の浮上ユニットと、
   基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、を具備し、
   各浮上ユニットは、
   前記チャンバーの上面に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通した中空状の浮上ユニット脚と、
   前記浮上ユニット脚の上部に設けられ、内部が前記浮上ユニット脚の内部に連通し、上面に前記ノズルが形成され、前記浮上ユニット脚の横断面よりも大きい横断面を有した中空状の浮上ユニットヘッドと、を備え、
   いずれかの前記浮上ユニットは、
   前記浮上ユニットヘッドが対応関係にある前記チャンバーの側面に対して外方向へ突出するように前記浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されていることを特徴とする浮上搬送装置。
2. 前記搬送機構は、
   前記搬送方向に直交する搬送幅方向に隣接関係にある前記チャンバー間に前記搬送方向へ沿って配設されかつ配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっている複数のローラ駆動ユニットであって、
   各ローラ駆動ユニットは、
   前記装置本体に設けられ、前記搬送幅方向に隣接関係にある前記浮上ユニットに挟まれてあって、上側が開口された搬送用ケースと、
   前記搬送用ケース内に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、前記搬送用ケースに対して上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する搬送用ローラと、
   前記搬送用ケース内に設けられ、前記搬送用ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送用モータと、
   前記搬送用ケース内の空気を吸引する搬送用吸引ファンと、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
3. 基板を第１搬送方向へ浮上搬送する第１浮上搬送装置から基板を受け取って、基板を前記第１搬送方向に対して直交する第２搬送方向へ浮上搬送する第２浮上搬送装置へ基板を送り出す際に、基板の搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ転換する方向転換装置において、
   装置本体に配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、
   各チャンバーの上面に配設され、内部が前記チャンバーの内部に連通し、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる１つ又は複数の浮上ユニットと、
   基板を前記第１浮上搬送装置から受け取りながら前記第１搬送方向へ搬送する受取機構と、
   基板を前記第２浮上搬送装置へ送り出しながら前記第２搬送方向へ搬送する送出機構と、を具備し、
   各浮上ユニットは、
   前記チャンバーの上面に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通した中空状の浮上ユニット脚と、
   前記浮上ユニット脚の上部に設けられ、内部が前記浮上ユニット脚の内部に連通し、上面に前記ノズルが形成され、前記浮上ユニット脚の横断面よりも大きい横断面を有した中空状の浮上ユニットヘッドと、を備え、
   いずれかの前記浮上ユニットは、
   前記浮上ユニットヘッドが対応関係にある前記チャンバーの側面に対して外方向へ突出するように前記浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されていることを特徴とする方向転換装置。
4. 前記受取機構は、
   前記第２搬送方向に隣接関係にある前記チャンバー間に前記第１搬送方向に沿って配設されかつ配設状態が前記第２搬送方向に複数列になっている複数の受取用ローラ駆動ユニットであって、
   各受取用ローラ駆動ユニットは、
   前記装置本体に設けられ、前記第２搬送方向に隣接関係にある前記浮上ユニットに挟まれてあって、上側が開口された受取用ケースと、
   前記受取用トケース内に前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、前記受取用ケースに対して上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する受取用ローラと、
   前記受取用ケース内に設けられ、前記受取用ローラを前記第２搬送方向に平行な軸心周りに回転させる受取用モータと、
   前記受取ユニットケース内の空気を吸引する受取用吸引ファンと、を備え、
   前記送出機構は、
   前記第１搬送方向に隣接関係にある前記チャンバー間に前記第２搬送方向に沿って配設されかつ配設状態が前記第１搬送方向に複数列になっている複数の送出用ローラ駆動ユニットであって、
   各送出用ローラ駆動ユニットは、
   前記装置本体に設けられ、前記第１搬送方向に隣接関係にある前記浮上ユニットに挟まれてあって、上側が開口された送出用ケースと、
   前記送出用ケース内に前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、前記送出用ケースに対して上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する送出用ローラと、
   前記送出用ケース内に設けられ、前記送出用ローラを前記第１搬送方向に平行な軸心周りに回転させる送出用モータと、
   前記送出用ケース内の空気を吸引する送出用吸引ファンと、を備えていることを特徴とする請求項３に記載の方向転換装置。
5. 浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットにおいて、
   中空状の浮上ユニット脚と、
   前記浮上ユニット脚の上部に設けられ、内部が前記浮上ユニット脚の内部に連通してあって、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、前記浮上ユニット脚の横断面よりも大きい横断面を有した中空状の浮上ユニットヘッドと、を備え、
   前記浮上ユニットヘッドの前記浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されていることを特徴とする浮上ユニット。

Images