JP2010116248A - 浮上搬送装置及び搬送ローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各搬送ローラ29は、中空状のローラ本体33及びローラ本体33に同心上に一体的に設けられたローラ軸35を有し、各ローラ本体33の外周面に基板Wを吸引可能な複数の吸引孔37が周方向に沿って貫通して形成され、各搬送ローラ29に対応する箇所に吸引パイプ57が設けられ、各吸引パイプ57は支持区域Sに進入した吸引孔37のみに連通するようになっていること。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態の変形例1について図7(a)(b)及び図8を参照して説明する。ここで、図7(a)は、本発明の実施形態の変形例1に係る搬送ローラの周辺構造を示す断面図、図7(b)は、図7(a)におけるVIIB-VIIB線に沿った断面図、図8は、本発明の実施形態の変形例1に係る搬送ローラの周辺構造を示す図である。
本発明の実施形態の変形例2について図9(a)(b)を参照して説明する。ここで、図9(a)は、本発明の実施形態の変形例2に係る搬送ローラ周辺構造を示す断面図、図9(b)は、図9(a)におけるXVB-XVB線に沿った断面図、図8は、本発明の実施形態の変形例2に係る搬送ローラ周辺構造を示す図である。
S 支持区域
W 基板
1 浮上搬送装置
3 装置フレーム
17 ファン
23 浮上ユニット
25 ノズル
29 搬送ローラ
33 ローラ本体
35 ローラ軸
37 吸引孔
39 搬送モータ
47 インナーロック部材
57 吸引パイプ
59 空気吸引源
63 アウターロック部材
Claims (6)
- 基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームの搬送領域に前記搬送方向に沿って配設され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
前記装置フレームにおける前記搬送領域の両側に前記搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられ、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能であって、中空状のローラ本体及び該ローラ本体に同心上に一体的に設けられたローラ軸を有し、各ローラ本体の外周面に基板を吸引可能な複数の吸引孔が周方向に沿って貫通して形成され、前記搬送幅方向に平行な軸心周りの回転により前記吸引孔が基板を支持可能な支持区域に対して進退するようになってあって、前記基板の裏面を直接的又は間接的に支持する複数の搬送ローラと、
複数の前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送アクチュエータと、
各搬送ローラに対応する箇所に設けられ、前記支持区域に進入した前記吸引孔のみに連通するようになってあって、空気吸引源に接続された吸引パイプと、を具備したことを特徴とする浮上搬送装置。 - 各搬送ローラの前記ローラ本体内に配設され、前記支持区域から退出した前記吸引孔の内側開口部を閉じるインナーロック部材と、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 各搬送ローラの外側近傍に設けられ、前記支持区域から退出した前記吸引孔の外側開口部を閉じるアウターロック部材と、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 各吸引パイプの開口部が前記支持区域に上下に対向するようになっていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 基板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置に用いられ、基板の裏面を直接的又は間接的に支持する搬送ローラにおいて、
外周面に基板を吸引可能な複数の吸引孔が周方向に沿って貫通して形成された中空状のローラ本体と、
前記ローラ本体に同心上に一体的に設けられたローラ軸と、を具備したことを特徴とする搬送ローラ。 - 前記ローラ本体の内側に配設され、前記ローラ軸に回転自在に支持されてあって、前記ローラ本体の上部区域から外れた前記吸引孔の内側開口部を閉じるインナーロック部材と、を具備したことを特徴とする請求項5に記載の搬送ローラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008291373A JP2010116248A (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 浮上搬送装置及び搬送ローラ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008291373A Pending JP2010116248A (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 浮上搬送装置及び搬送ローラ |
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JP (1) | JP2010116248A (ja) |
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2008
- 2008-11-13 JP JP2008291373A patent/JP2010116248A/ja active Pending
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