KR102601223B1 - 서로 별개인 접촉 표면과 진공 표면을 갖는 진공 휠 - Google Patents

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Abstract

기재를 전달하기 위한 진공 휠은 흡인원에 연결가능한 고정 도관을 포함한다. 진공 휠의 원주에 있는 진공 표면은 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 휠이 회전하면 진공 개구가 고정 도관에 연속적으로 유체 연결된다. 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 고정 도관에 유체 연결되어 있는 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해진다. 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 접촉 표면이 진공 표면에 인접해 있고 또한 그 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있다. 진공 개구에 흡인이 가해지면, 기재가 진공 표면 쪽으로 끌려, 진공 표면과 접촉함이 없이 접촉 표면과 접촉하고, 또한 휠이 회전할 때 기재를 전달할 수 있는 마찰력이 발생된다.

Description

서로 별개인 접촉 표면과 진공 표면을 갖는 진공 휠
본 발명은 진공 휠에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 서로 별개인 접촉 표면과 진공 표면을 갖는 진공 휠에 관한 것이다.
다양한 제조 및 시험 공정에서는 시설의 한 영역으로부터 얇은 기재를 다른 영역으로 전달하는 것이 필요하다. 예컨대, 얇은 기재는 평평한 스크린 디스플레이에 포함될 얇은 유리 시트(sheet)를 포함할 수 있다.
기재는 취성을 가질 수 있으므로, 그 기재는 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지되면서 처리 및 전달될 수 있다. 예컨대, 비접촉식 지지 테이블은 공기 또는 다른 유체가 기재가 지지되는 공기 또는 다른 유체의 쿠션을 생성하도록 흐르게 할 수 있다. 따라서, 기재는 테이블의 물리적 구조물과의 접촉을 방지하도록 비접촉식 지지 테이블로부터 충분한 거리를 두고 지지될 수 있다.
얇은 기재는 뒤틀리거나 왜곡될 수 있다. 얇은 기재는 또한 고르지 않게 지지되거나 또는 불균일한 힘을 받으면 구부러지도록 다소 가요적일 수 있다.
비접촉식 지지 플랫폼을 따라 얇은 기재를 전달하기 위해, 기재를 옆으로 추진시키는 기구가 제공된다. 예컨대, 그 추진 기구는 기재와 접선 방향으로 접촉하도록 구성되는 휠을 포함할 수 있다. 휠과 기재 사이의 마찰은, 휠의 회전에 의해 기재가 접촉점의 이동 방향으로 추진될 수 있도록 충분할 수 있다. 기재와 휠 사이의 충분한 마찰을 보장하도록 기재를 휠에 유지시키기 위해 흡인이 가해질 수 있다.
따라서, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 기재를 전달하기 위한 진공 휠이 제공되며, 이 진공 휠은 흡인원에 연결가능한 고정 도관; 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 진공 표면(진공 표면은 상기 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 상기 휠이 회전하면 상기 복수의 진공 개구의 진공 개구가 상기 고정 도관에 연속적으로 유체 연결되며, 그래서, 상기 흡인원에 의해 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 그 고정 도관에 유체 연결되어 있는 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해짐); 및 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 접촉 표면을 포함하며, 상기 적어도 하나의 접촉 표면은 상기 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있고, 그래서, 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 상기 흡인이 가해지면, 상기 기재가 상기 진공 표면 쪽으로 끌려, 상기 진공 표면과 접촉함이 없이 상기 적어도 하나의 접촉 표면과 접촉하고, 또한 상기 휠이 회전할 때 마찰력이 상기 적어도 하나의 접촉 표면과 기재 사이에 발생되어 기재를 전달하게 된다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 상기 복수의 진공 개구는 단일 열로 배치되어 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 상기 복수의 진공 개구 중 한 쌍의 인접하는 진공 개구 사이의 거리는 실질적으로 일정하다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 복수의 진공 개구 각각은 진공 도관을 통해 상기 진공 휠의 림(rim)의 내측 표면에 연결된다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 고정 도관의 방위 연장은 그 고정 도관의 축방향 폭 보다 길다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 고정 도관의 방위 연장은, 상기 진공 휠이 회전함에 따라 상기 복수의 진공 개구 중의 적어도 하나가 상기 고정 도관에 항상 유체 연결되도록 충분하다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 적어도 하나의 접촉 표면은 2개의 접촉 표면을 포함하고, 2개의 접촉 표면은 상기 진공 표면의 상호 반대 측에 위치된다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 2개의 접촉 표면은 진공 표면의 진공 개구로부터 등거리에 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 복수의 접촉 표면의 접촉 표면은 교체 가능하다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 교체 가능한 접촉 표면은 O-링을 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 상기 진공 휠의 림은 상기 교체 가능한 접촉 표면을 제자리에 유지시키기 위한 유지 구조물을 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 유지 구조물은 홈을 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 진공 휠을 회전시키기 위한 모터를 포함한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 기재를 지지하고 전달하기 위한 비접촉식 지지 테이블이 더 제공되며, 이 비접촉식 지지 테이블은 상기 테이블의 표면을 가로질러 분산되어 있는 복수의 압력 포트; 및 복수의 진공 휠을 포함하고, 각 진공 휠은 각 진공 휠의 일 단부가 테이블 표면을 넘어 연장되도록 테이블에 장착되며, 각 진공 휠은 흡인원에 연결가능한 고정 도관; 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 진공 표면(진공 표면은 상기 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 상기 휠이 회전하면 상기 복수의 진공 개구의 진공 개구가 상기 고정 도관에 연속적으로 유체 연결되며, 그래서, 상기 흡인원에 의해 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 그 고정 도관에 유체 연결되어 있는 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해짐); 및 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 접촉 표면을 포함하며, 상기 적어도 하나의 접촉 표면은 상기 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있고, 그래서, 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 상기 흡인이 가해지면, 상기 기재가 상기 진공 표면 쪽으로 끌려, 상기 진공 표면과 접촉함이 없이 상기 적어도 하나의 접촉 표면과 접촉하고, 또한 상기 휠이 회전할 때 마찰력이 상기 적어도 하나의 접촉 표면과 기재 사이에 발생되어 기재를 전달하게 된다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 테이블은 복수의 휠 개구를 포함하고, 각 진공 휠의 단부는 상기 복수의 휠 개구의 휠 개구를 통해 상기 테이블 표면을 넘어 연장되어 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 복수의 진공 휠의 진공 휠은 상기 테이블 표면에 인접하여 배치된다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 복수의 아이들러 휠을 더 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 복수의 휠의 진공 휠의 회전 방향들은 서로 평행하다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 복수의 진공 휠의 진공 휠의 배치에서, 이 배치의 각 진공 휠은 상기 배치의 이웃하는 진공 휠에 대해 옆으로 회전된다.
본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 기재를 지지하고 전달하기 위한 지지 시스템이 더 제공되며, 이 지지 시스템은 회전 축선들이 서로 평행한 복수의 아이들러 휠; 회전 축선이 상기 아이들러 휠의 회전 축선에 평행한 복수의 진공 휠을 포함하고, 각 진공 휠은 흡인원에 연결가능한 고정 도관; 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 진공 표면(진공 표면은 상기 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 상기 휠이 회전하면 상기 복수의 진공 개구의 진공 개구가 상기 고정 도관에 연속적으로 유체 연결되며, 그래서, 상기 흡인원에 의해 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 상기 고정 도관에 유체 연결되어 있는 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해짐); 및 진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 접촉 표면을 포함하며, 상기 적어도 하나의 접촉 표면은 상기 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있고, 그래서, 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 상기 흡인이 가해지면, 상기 기재가 상기 진공 표면 쪽으로 끌려, 상기 진공 표면과 접촉함이 없이 상기 적어도 하나의 접촉 표면과 접촉하고, 또한 상기 휠이 회전할 때 마찰력이 상기 적어도 하나의 접촉 표면과 기재 사이에 발생되어 기재를 전달하게 된다.
본 발명을 더 잘 이해하고 또한 실제적인 적용을 알 수 있도록, 이하의 도면이 제공되고 참조된다. 도면은 예로서 주어진 것이고 결코 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아님을 유의해야 한다. 유사한 구성품은 유사한 참조 번호로 나타나 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시 형태에 따른, 서로 별개인 접촉 표면과 진공 표면을 갖는 진공 휠을 개략적으로 도시한다.
도 1b는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠의 개략적인 정면도이다.
도 2a는 도 1b에 나타나 있는 진공 휠의 개략적인 단면도이다.
도 2b는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠의 내부 구조를 개략적으로 도시한다.
도 2c는 고정된 진공 도관에 동시에 유체 연결되는, 도 2b에 나타나 있는 진공 휠의 두 진공 도관을 개략적으로 도시한다.
도 3은 전달되는 가요성 기재와 함께, 도 2a에 나타나 있는 진공 휠 단면의 확대도를 나타낸 것이다.
도 4는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠을 포함하는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
도 5a는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠 및 아이들러 휠을 포함하는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
도 5b는 테이블 옆에 있는 도 1a에 나타나 있는 바와 같은 진공 휠을 갖는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
도 5c는, 테이블의 일 측에 아이들러 휠이 있는, 도 5b에 나타나 있는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
도 6은 기재를 회전시키도록 배치되는 도 1a에 나타나 있는 바와 같은 진공 휠을 갖는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태에 따른, 진공 휠과 아이들러 휠을 갖는 기재 전달 시스템을 개략적으로 도시한다.
이하의 상세한 설명에서, 본 발명의 철저한 이해를 위해 많은 특정한 상세가 설명된다. 그러나, 본 발명은 이들 특정한 상세 없이도 실시될 수 있음을 당업자는 이해할 것이다. 다른 경우에, 잘 알려져 있는 방법, 절차, 요소, 모듈, 유닛 및/또는 회로는 본 발명을 모호하게 하지 않도록 상세히 설명되지 않았다.
본 발명의 실시 형태는 이에 대해 한정되지 않지만, "복수의" 라는 용어는 예컨대 "다수의" 또는 "2개 이상의"을 포함할 수 있다. "복수의" 라는 용어는 2개 이상의 구성품, 장치, 요소, 유닛, 파라미터 등을 설명하기 위해 명세서 전체에 걸쳐 사용될 수 있다. 다른 명확한 언급이 없으면, 여기서 설명되는 방법 실시 형태는 특정한 순서 또는 차례에 구속되지 않는다. 추가로, 설명되는 방법 실시 형태의 일부 또는 그의 요소는 동시에, 같은 시점에서 또는 공동으로 일어나거나 수행될 수 있다. 다른 지시가 없으면, 여기서 사용되는 접속어 "또는"은 포괄적인 것(언급된 선택안 중 어느 하나 또는 모두)으로 이해해야 한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따르면, 진공 휠은 흡인이 가해지는 하나 이상의 진공 표면을 갖는 림을 포함한다. 흡인에 의해 가요성 기재가 림 쪽으로 끌어 당겨질 수 있다. 가요성 기재와 물리적 접촉을 하도록 되어 있는 하나 이상의 접촉 표면이 진공 표면을 넘어 림으로부터 반경 방향 외측으로 연장된다.
진공 표면은 진공 휠의 림에 위치되며 그 림의 둘레 또는 주변 주위에 연장된다. 진공 표면은 복수의 진공 개구를 포함하고, 이 진공 개구를 통해 흡인이 진공 개구에 가해질 수 있다. 진공 개구에 흡인이 가해지는 것은, 어떤 특정한 시간에도 방위 연장이 진공 표면의 전체 원주 보다 작은 한 부분에서 흡인이 진공 개구에 가해지도록 구성될 수 있다.
예컨대, 고정된 진공 도관이 림 근처에 위치된다. 외부 진공원으로부터의 흡인이 고정 도관에 가해질 수 있다. 진공 휠이 회전됨에 따라, 현재 고정 도관에 유체 연결되어 있는(예컨대, 부피가 고정 도관에 개방되어 있거나 그에 인접하는) 진공 표면의 진공 개구에만 흡인이 가해진다. 개구들이 고정 도관에 동시에 유체 연결되는 진공 표면의 부분의 방위 연장(고정 도관의 방위 연장 또는 폭으로 결정됨)은 전체 원주 보다 작다. 예컨대, 부분의 방위 연장은 한 진공 개구의 방위 폭 보다 클 수 있다. 방위 연장은 2개 또는 3개 이하의 진공 개구가 고정 도관에 동시에 유체 연결되도록 충분히 작을 수 있다. 어떤 경우에, 부분의 방위 연장은, 2개 또는 3개 이상의 진공 개구가 고정 도관에 동시에 유체 연결될 수 있게 하기에 충분할 수 있다. 전형적으로, 부분 및 고정 도관의 방위 연장은 접촉 표면과 동시에 접촉할 것으로 예상되는 가요성 기재의 일부 영역과 대략 같다. 진공 개구의 크기 및 분포는, 흡인이 가해지는 진공 개구의 총 면적이 진공 휠이 회전함에 따라 대략 일정하게 유지되도록 선택될 수 있다.
2개의 접촉 표면이 각 진공 표면의 각 측에서 원주 방향으로 림 주위에 배치될 수 있다. 따라서, 접촉 표면은 진공 표면과 동축일 수 있다. 접촉 표면은 진공 표면에 대해 림으로부터 상승되어 있다. 예컨대, 각 접촉 표면은, 재료 링, 예컨대, 링의 림 주위에 배치될 수 있는 O-링 또는 다른 종류의 가스켓, 와셔 또는 밴드(예컨대, 둥근, 타원형인, 다각형인 단면 또는 다른 형태의 단면을 갖는)로 형성될 수 있다. 림은 링을 제자리에 유지시키도록 구성되어 있는 홈, 만입부, 또는 다른 구조물을 포함할 수 있다. 예컨대, 링의 탄성에 의해 링이 홈 또는 다른 구조물에 유지될 수 있다. 홈의 깊이는, 특정한 종류의 링이 홈에 유지될 때 그 링의 외부 표면이 진공 표면으로부터 미리 정해진 거리에 있도록 구성될 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 링 형태의 접촉 표면이 접착제, 핀, 또는 리벳의 사용으로 림에 부착되거나 아니면 림 표면에 부착될 수 있다.
예컨대, 하나 이상의 진공 휠이 비접촉식 지지 플랫폼의 비접촉식 지지 테이블에 배치될 수 있다. 진공 휠의 림의 일 단부는 비접촉식 지지 테이블에 있는 개구 밖에서 연장되어 있을 수 있다. 진공 휠의 축선, 진공 휠을 회전시키기 위한 모터, 진공원의 진공 개구에 흡인을 가하기 위한 진공원 또는 진공 휠 또는 진공 휠을 포함하는 시스템의 다른 구성품은 비접촉식 지지 테이블의 표면 아래에 배치될 수 있다(예컨대, 그들 구성품과 비접촉식 지지 플랫폼으로 지지되는 가요성 기재의 접촉을 방지하기 위해).
어떤 경우에, 시스템은 비진공 아이들러 휠을 포함할 수 있다. 예컨대, 각 아이들러 휠은 한 축선 주위로 자유롭게 회전하도록 구성될 수 있다. 각 아이들러 휠의 림은, 가요성 기재와 아이들러 휠의 림 사이에 마찰을 생성하는 재료(예컨대, 고무, 실리콘, 플루오로 탄성중합체, 우레탄, 폴리우레탄, 폴리에테르 에테트 케톤, 또는 다른 폴리머 또는 탄성중합체)를 포함하거나 그로 덮힐 수 있다. 복수의 아이들러 휠이 그의 회전 축선이 서로 평행하도록 하나 이상의 길이 방향 열로(예컨대, 전달 방향에 평행하게) 배치될 수 있다. 따라서, 복수의 평행한 아이들러 휠과 가요성 기재 사이의 마찰이, (예컨대, 기재의 평평도, 진공 휠 회전 속도, 높이 또는 마찰 계수의 작은 변화 또는 다른 변화 때문에) 진공 휠에 의해 가해질 수 있는 회전 토크에 저항하는 대항 토크를 제공할 수 있다.
비접촉식 지지 테이블의 표면에 분산되는 진공 휠에 대안적으로 또는 추가적으로, 비접촉식 지지 플랫폼은, 가요성 기재의 폭(예컨대, 가요성 기재의 전달 방향에 수직인 기재 치수)의 일 부분만 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지되도록 구성될 수 있다. 이 경우, 휠은 비접촉식 지지 테이블의 한 또는 양 옆 측에 배치될 수 있다(예컨대, 전달 방향 및 중심 영역의 길이 방향 축선에 실질적으로 평행하게). 휠은 비접촉식 지지 플랫폼을 넘어 옆으로 연장되어 있는 가요성 기재의 한 또는 양 측면 가장자리를 지지하도록 구성되어 있다. 어떤 그러한 경우에, 진공 휠은 비접촉식 지지 테이블 내부에 위치되지 않고, 비접촉식 지지 테이블의 한 옆 측에에만 위치될 수 있다.
어떤 경우에, 비접촉식 지지 테이블의 하나 이상의 영역은 가요성 기재를 회전시키도록 작동될 수 있는 진공 휠의 원형, 아치형 또는 다른 비평행 배치를 포함할 수 있다. 예컨대, 가요성 기재는 비접촉식 지지 플랫폼의 연결부 또는 코너 또는 전달 방향이 변하는 다른 곳에서 회전될 수 있다. 다른 예로, 가요성 기재는 이 가요성 기재에 대한 제조 또는 시험 공정이 수행되기 전에 회전될 수 있다.
가요성 기재는 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지될 수 있다.
비접촉식 지지 플랫폼의 비접촉식 지지 테이블은 가요성 기재의 위쪽 또는 아래쪽에 위치될 수 있다. 예컨대, 유체 스프링 효과를 갖는 비접촉식 지지 플랫폼은, 비접촉식 지지 테이블의 위쪽 또는 아래쪽에서 그 비접촉식 지지 테이블로부터 일정한 거리에서 가요성 기재를 지지하도록 구성될 수 있다. 따라서, 지지되는 가요성 기재의 위치가 비접촉식 지지 테이블 위쪽에서 지지되는 것으로 여기서 설명될 때, 이는 비접촉식 지지 테이블이 지지되는 가요성 기재의 위쪽에 있는 경우에도 해당되는 것으로 이해해야 한다. 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지되는 가요성 기재와 대향하는 비접촉식 지지 테이블의 측면을 여기서 그 비접촉식 지지 테이블의 정상부라고 한다. 비접촉식 지지 테이블과 지지되는 가요성 기재 사이의 공간은, 비접촉식 지지 테이블의 위쪽에 그리고 가요성 기재의 아래쪽에 있다고 한다. 비접촉식 지지 테이블 및 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지되는 가요성 기재에 대한 다른 방향도 위쪽 및 아래쪽에 대한 위의 정의를 참조하여 이해하면 된다.
가요성 기재가 비접촉식 지지 플랫폼을 따라 또는 다른 방식으로(예컨대, 가요성 기재를 자체적으로 지지하기에 서로 충분히 가깝게 위치되는 진공 휠 또는 진공 휠과 아이들러 휠의 장치 상에서) 전달되어야 할 때, 가요성 기재의 아래쪽에 위치되는 하나 이상의 진공 휠이 작동될 수 있다. 진공원이 각 진공 휠의 진공 표면에 흡인을 가할 수 있다. 그래서 진공 표면의 진공 개구에 가해지는 흡인에 의해, 진공 휠의 위쪽에 위치하는 가요성 기재의 일 부분이 진공 표면 쪽으로 끌리게 된다. 가요성 기재가 진공 표면 쪽으로 끌림에 따라, 가요성 기재는 그 진공 표면에 인접하는 접촉 표면과 접촉할 수 있다.
가요성 기재가 접촉 표면과 접촉할 때, 접촉 표면과 가요성 기재 사이의 접촉 영역은, 진공 표면을 부분적으로 둘러싸는 시일을 형성할 수 있다. 예컨대, 그 시일은, 가요성 기재가 접촉 표면에 대략적으로 접하는 림 상의 접촉 영역에 형성될 수 있다. 따라서, 그 영역, 예컨대 접촉 영역에서의 흡인이 향상될 수 있다. 가요성 기재와 접촉 표면 사이의 공간은, 접촉 영역으로부터 진공 휠의 림을 따른 거리가 증가함에 따라 점진적으로 증가할 수 있다.
접촉 영역에서의 시일에 의해, 부분적으로 둘러싸인 영역 내의 흡인은 그 영역에서 이 영역 외부 보다 클 수 있다. 결과적으로, 가요성 기재와 진공 휠 사이의 마찰이 접촉 영역에서 가장 클 수 있다. 증가된 마찰로 인해, 진공 휠의 회전에 의한 가요성 기재의 추진이 용이하게 된다. 한편, 접촉 영역 외부에서는 흡인이 감소되어, 가요성 기재의 과도한 구부러짐 또는 다른 장애가 없이 휠의 회전이 용이하게 될 수 있다.
진공 휠의 직경은 하나 이상의 고려 사항에 따라 선택될 수 있다. 예컨대, 각 진공 휠의 직경을 증가시키면, 가요성 기재와 진공 휠 사이의 접촉부 근처에서 휠의 국부적인 만곡이 감소된다. 따라서, 접촉 영역의 크기가 증가될 수 있고, 그 접촉 영역 근처에서의 마찰력의 균일성이 증가될 수 있다. 한편, 더 작은 진공 휠의 회전이 더 작은 또는 덜 강력한 모터로 일어날 수 있다. 추가로, 더 작은 진공 휠은 비접촉식 지지 테이블에서 더 작은 공간을 차지한다. 각 진공 휠의 크기가 감소됨으로써, 비접촉식 지지 테이블에 있는 진공 휠의 수 및 밀도가 증가될 수 있다. 진공 휠의 수 또는 밀도가 증가되면, 가요성 기재의 전달의 정밀도가 증가될 수 있다. 어떤 경우에, 진공 휠의 전형적인 직경은 약 50 mm 내지 약 250 mm 일 수 있다.
전형적으로, 진공 휠의 세트가 비접촉식 지지 테이블을 따라 여러 지점에 배치될 수 있다. 진공 휠의 배치의 선택은, 전형적인 가요성 기재의 예상 크기, 가요성 기재의 강직성 또는 가요성(예컨대, 기재 재료의 탄성 계수에 의해 결정됨), 요구되는 운동 정확도, 운동 속도와 같은 요인 또는 다른 요인에 달려 있다.
진공 휠의 배치는, 가요성 기재에 가해지는 회전 토크를 제한하거나 최소화하도록 선택될 수 있다. 회전 토크를 제한하면, 가요성 기재의 정확한 위치 설정 및 운동이 가능하게 된다. 예컨대, 진공 휠의 쌍들은 가요성 기재의 중앙선에 대해 대칭적으로 배치될 수 있다. 각 진공 휠은 대칭적으로 만들어질 수 있다(예컨대, 2개의 접촉 표면이 각 진공 표면 주위에 대칭적으로 배치됨). 그러므로, 대칭적으로 배치되는 진공 휠이 작동하면, 가요성 기재의 하나 이상의 가장자리 또는 대칭 축선에 평행한 선형적인 힘이 그 가요성 기재에 가해질 수 있다. 따라서, 가요성 기재가 한 방향으로 전달되어야 할 때, 현저한 회전이 발생되거나 현저한 토크가 가해짐이 없이 가요성 기재는 실질적으로 직선을 따라 전달될 수 있다. 어떤 경우에, 예컨대 가요성 기재의 전달 방향이 변하는 연결부 또는 코너에서 가요성 기재를 제어 가능한 각도로 회전시키기 위해, 진공 휠의 원형 또는 다른 비평행한 배치가 제공될 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시 형태에 따른, 서로 별개인 접촉 표면과 진공 표면을 갖는 진공 휠을 개략적으로 도시한다. 도 1b는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠의 개략적인 정면도이다.
진공 휠 어셈블리(10)는, 축선(축 보어(32)의 보이는 외부 단부로 나타나 있음) 주위로 진공 휠(12)을 회전시키도록 작동될 수 있는 휠 모터(20)를 포함한다. 예컨대, 휠 모터(20)는 전기 작동식 모터 또는 다른 방식으로 작동되는 모터를 포함할 수 있다. 휠 모터(20)의 회전 속도는 진공 휠 어셈블리(10)를 포함하는 비접촉식 지지 시스템의 제어기로 제어될 수 있다.
나타나 있는 예에서, 진공 휠 시스템(10)은 휠 모터(20)를 포함한다. 나타나 있는 예에서, 진공 휠(12)은 힐 모터(20)에 의해 직접 회전된다(예컨대, 진공 휠(12)의 허브가 휠 모터의 축에 장착됨). 대안적으로 또는 추가적으로, 하나 이상의 진공 휠(12)이 휠 모터(20)에 의해 전동 장치(transmission)를 통해 회전될 수 있다. 예컨대, 전동 장치는 하나 이상의 기어, 벨트, 풀리 또는 다른 요소를 포함할 수 있다. 어떤 경우에, 2개 이상의 진공 휠(12)이 전동 장치(예컨대, 벨트)에 의해 단일의 휠 모터(20)에 연결될 수 있다.
진공 휠(12)이 회전되면, 횡력이 가요성 기재에 가해질 수 있고, 그 기재는 진공 휠(12)의 휠 림(rim)(27)의 휠 림 표면(14) 위쪽에 있는 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지된다. 횡력은, 전달되는 가요성 기재가 휠 림 표면(14)과 접촉하는 휠 림 표면(14)의 일부분에서 휠 림 표면(14)의 회전 방향으로 향한다. 예에서, 휠 모터(20)는 진공 휠(12)을 회전 방향(13)으로 회전시킨다. 접촉 영역(17)(도 1b의 개략적인 정면도에서 단일 점으로 나타나 있음)에서 휠 림 표면(14)과 접촉하는 가요성 기재는 횡력에 의해 전달 방향(19)으로 추진될 수 있다.
휠 림 표면(14)은 하나 이상의 진공 표면(15)을 포함한다. 나타나 있는 예에서, 단일의 진공 표면(15)이 휠 림 표면(14)의 중앙선에 또는 그 근처에 위치되어 있다.
진공 표면(15)은 복수의 진공 개구(16)를 포함한다, 진공 개구(16)는, 나타나 있는 예에서 처럼, 예컨대, 대략 진공 표면(15)의 중앙선을 따라 단일의 열로 배치될 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 진공 개구는 진공 표면(15)에 다른 식으로 배치될 수도 있다(예컨대, 여러 개의 동축 열로, 진공 휠(12)의 회전 축선에 평행한 축방향 배향 열로, 진공 표면(15)과 동축이 아니고 또한 진공 휠(12)의 회전 축선에 평행하지도 않는 경사 배향 열로 또는 다른 식으로 배치될 수 있음). 일반적으로, 진공 개구(16)는 진공 표면(15)의 원주 주위에 균일하게 분산 배치된다. 예컨대, 진공 개구(16)가 나타나 있는 바와 같이 단일의 열로 배치되는 경우, 서로 인접하는 진공 개구(16)의 쌍들 사이의 거리는 서로 인접하는 진공 개구(16)의 모든 쌍에 대해 실질적으로 일정할 수 있다.
흡인이 흡인 포트(26)를 통해 진공 개구(16)에 가해질 수 있다. 예컨대, 흡인 포트(26)는 하나 이상의 호스, 튜브, 관, 또는 다른 도관을 통해 진공 펌프, 블로어, 또는 다른 흡인원에 연결될 수 있다. 흡인원은 비접촉식 지지 테이블의 내부 또는 비접촉식 지지 테이블의 외부에 위치될 수 있다. 어떤 경우에, 비접촉식 지지 테이블의 각 진공 휠 어셈블리(10)에는 별개의 흡인원이 제공될 수 있다. 이 경우, 각 진공 휠 어셈블리(10)에 있는 진공 개구(16)에 가해지는 흡인을 제어하기 위해 각 흡인원을 제어할 수 있다. 어떤 경우에, 비접촉식 지지 플랫폼의 여러 또는 모든 진공 휠 어셈블리(10)는 예컨대 도관의 매니폴드를 통해 단일의 흡인원에 연결될 수 있다. 이 경우, 각 진공 휠 어셈블리(10)의 진공 개구(16)에 대한 흡인은 매니폴드에 있는 밸브 장치로 개별적으로 제어될 수 있다. 흡인원에 의해 발생되는 진공의 전형적인 값은 약 100 mbar 내지 약 900 mbar, 또는 더 전형적으로 약 200 mbar 내지 약 600 mbar일 수 있다. 다른 진공도가 제공될 수도 있다. 선택되는 진공도는 특정한 진공 휠 어셈블리(10)의 특징에 달려 있을 수 있다.
접촉 표면(18)은 진공 표면(15)을 넘어 휠 림 표면(14)으로부터 외측으로 상승된다. 접촉 표면(18)은 진공 표면(15) 주위에서 그 표면에 인접하여 대칭적으로 배치될 수 있다. 예컨대, 한 접촉 표면(18)은 진공 표면(15)의 각 측에서 그 진공 표면과 동축으로 위치될 수 있고, 다른 접촉 표면(18)은 진공 표면(15)의 반대 측에 위치된다. 예컨대, 2개의 접촉 표면이 진공 표면(15)에 있는 단일 열의 진공 개구(16)로부터 축방향으로 등거리에 있을 수 있다.
휠 림 표면(14)이 하나 이상의 진공 표면(15)을 포함하는 경우에, 한쌍의 접촉 표면(18)이 각 진공 표면(15)에 인접하여 배치될 수 있다.
접촉 표면(18)은 힐 림 표면(14)을 에워싸는 교체 가능한 링을 포함할 수 있다. 예컨대, 교체 가능한 접촉 표면(18)은 오염되었거나, 더러워졌거나 마모되었거나 또는 손상되면 교체될 수 있다.
예컨대, 교체 가능한 접촉 표면(18)은 O-링, 벨트, 밴드 또는 유사한 구조물을 포함할 수 있다. 접촉 표면(18)을 형성하도록 교체 가능한 링을 제자리에 유지시키기 위해 휠 림 표면(14)에는 홈 또는 다른 유지 구조물이 제공될 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 접촉 표면(18)은, 휠 림 표면(14)에 일체적인 또는 영구적으로 부착되는 (예컨대, 교체 불가능한) 융기형 리지(ridge)를 포함할 수 있다. 대안적으로 또는 추가적으로, 링 형태의 접촉 표면(18)이 접착제, 핀 또는 스크류의 사용으로 휠 림 표면(14)에 부착될 수 있거나 또는 다른 방식으로 휠 림 표면(14)에 부착된다.
진공 휠(12)이 회전되고 진공 표면(15)의 진공 개구(16)에 흡인이 가해지면, 각 접촉 표면(18)은 가요성 기재에 추진력을 가하도록 구성되어 있다. 접촉 표면(18)은 추진력을 가할 수 있기에 충분한 마찰 계수를 갖는 재료로 만들어질 수 있다. 그 재료는 가요성 기재의 종류에 따라, 예컨대, 가요성 기재를 긁거나 다른 식으로 손상시키거나 또는 잔류물을 남기지 않도록 선택될 수 있다. 어떤 경우에, 접촉 표면(18)은 접촉 표면(18)과 가요성 기재 사이에 부분 시일이 형성되도록(예컨대, 부분 시일의 영역에서 흡인 형성을 용이하게 하기 위해) 충분히 가요적이고 탄력적일 수 있다. 가요성 재료는 예컨대, 고무, 실리콘, 플루오로 탄성중합체(합성 고무), 우레탄, 폴리우레탄, 폴리에테르 에테르 케톤(PEEK), 또는 다른 폴리머 또는 탄성중합체를 포함할 수 있다.
진공 휠 어셈블리(10)는 장착 구조물(22)에 부착될 수 있다. 예컨대, 장착 구조물(22)은 하나 이상의 판, 브라켓, 또는 다른 구조물을 포함할 수 있다. 장착 구조물(22)은 하나 이상의 종류의 비접촉식 지지 테이블 또는 하나 이상의 다른 종류의 시스템에 장착되도록 구성될 수 있다. 진공 휠 어셈블리(10)는 하나 이상의 부착 요소(39)에 의해 장착 구조물(22)에 부착될 수 있다. 예컨대, 부착 요소(39)는 진공 휠 어셈블리(10)를 장착 구조물(22)에 부착하는데 적합한 볼트, 스크류, 리벳, 클립, 랫치, 또는 다른 요소를 포함할 수 있다.
예컨대, 진공 휠 어셈블리(10)는, 진공 휠 어셈블리(10)의 구조물의 대부분이 비접촉식 지지 테이블의 테이블 표면(11) 아래에 위치하도록, 비접촉식 지지 테이블 내부에 장착될 수 있다. 접촉 영역(17)을 포함하는 진공 휠(12)의 일부분이 테이블 표면(11) 밖에서(예컨대, 위쪽에서) 연장되어 있을 수 있다. 예컨대, 접촉 영역(17)은 진공 휠(12)의 회전에 의한 가요성 기재의 전달을 용이하게 하기에 충분한 거리로 테이블 표면(11) 밖에서 연장되어 있을 수 있다.
도 2a는 도 1b에 나타나 있는 진공 휠의 개략적인 단면도이다. 도 2a에 나타나 있는 개략적인 단면은 도 1b에서 Ⅱ 단면으로 나타나 있는 단면에 대응한다.
휠 모터(20)는 모터 축(31)을 회전시키도록 구성되어 있다. 모터 축(31)은 진공 휠(12)의 휠 허브(35)에 있는 축 보어(32) 안으로 삽입될 수 있다. 나타나 있는 예에서, 축 보어(32)의 외부 단부는 대기에 개방되어 있다. 개구는, 진공 휠 어셈블리(10)를 조립할 때 모터 축(31)을 축 보어(32) 안으로 삽입하는 것 또는 진공 휠 어셈블리(10)를 분해할 때 모터 축(31)을 축 보어(32)로부터 제거하는 것을 용이하게 해줄 수 있다.
휠 허브(35)에 있는 축 보어(32)는, 진공 휠(12)에 있는 하나 이상의 세트 스크류 개구(33)를 통해 삽입될 수 있는 하나 이상의 세트 스크류에 의해 모터 축(31)에 고정될 수 있다. 세트 스크류 개구(33)는 (예컨대, 도 2a에 나타나 있는 단면의 평면 밖에서) 진공 휠(12) 내부의 하나 이상의 보어를 통해 접근될 수 있다.
대안적으로 또는 추가적으로, 하나 이상의 다른 기구를 이용하여, 진공 휠(12), 예컨대 진공 휠(12)의 휠 허브(35)를 휠 모터(20)에 고정시킬 수 있다. 예컨대, 진공 휠(12)에는, 휠 모터(20)의 소켓 안으로 삽입될 수 있는 축이 제공될 수 있고, 또는 진공 휠(12)과 휠 모터(20) 둘 다에 있는 소켓 안으로 축 또는 샤프트가 삽입될 수 있다. 축과 보어 또는 소켓 중의 하나 또는 둘 모두는 나사산을 포함할 수 있다. 축과 보어 또는 소켓의 형상은 상호 협력적인 방식으로 원통 대칭으로부터 벗어나 있을 수 있다(예컨대, 다각형, 타원형일 수 있고, 상호 협력하는 리지와 홈을 포함할 수 있으며, 또는 원통 대칭의 장치를 포함할 수 있음). 축은 하나 이상의 너트, 핀, 클립, 랫치, 접착제 또는 다른 구조물에 의해 보어에 고정될 수 있다.
진공 휠(12)은 고정된 진공 휠 구조물(23)에 대해 회전하도록 구성되어 있다. 예컨대, 고정된 진공 휠 구조물(23)의 중심 부분은 중공 공동부를 형성하고, 이 공동부 내에서 진공 휠(12)의 휠 허브(35)가 회전할 수 있다. 진공 휠(12)의 휠 림(27)이 고정된 진공 휠 구조물(23)을 둘러싸고 그 주위에서 회전할 수 있다.
고정된 진공 휠 구조물(23)의 일부분, 예컨대, 전형적으로 비접촉식 지지 테이블의 표면 아래에 위치되는 부분은 장착부(29)를 포함할 수 있다. 예컨대, 장착부(29)는 부착 요소(39)를 사용하여 장착 구조물(22)(예컨대, 금속 판 또는 다른 적절한 구조물)에 장착될 수 있다.
고정된 진공 휠 구조물(23)의 상측 부분은 진공 표면(15)에 흡인을 가하기 위한 진공 구조물(30)을 형성한다. 진공 휠(12)이 회전함에 따라, 휠 림(27)은 진공 구조물(30) 주위에서 회전한다. 따라서, 휠 림 표면(14) 상에 있는 진공 표면(15)의 서로 다른 영역들이 진공 구조물(30)에 연속적으로 인접하게 될 수 있다. 진공 표면(15)의 일부 영역이 진공 구조물(30)에 인접하게 됨에 따라, 진공 구조물(15)의 그 영역에 있는 진공 개구(16)에 흡인이 진공 구조물(30)에 의해 가해질 수 있다.
도 2b는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠의 내부 구조를 개략적으로 도시한다.
진공 구조물(30)은, 흡인 포트(26)에 유체 연결되어 있는 흡인원 도관(36)을 포함한다. 나타나 있는 예에서, 흡인원 도관(36)의 일 단부(예컨대, 흡인원 도관(36)을 형성하기 위해 재료 블럭에 보어가 만들어져 있는 단부)는 도관 마개(43)로 폐쇄될 수 있다. 다른 예(예컨대, 흡인원 도관(36)이 다른 기술로 형성되는 예)에서, 흡인원 도관(36)은 다른 방식으로 주변 대기로부터 폐쇄 차단될 수 있다. 흡인 포트(26)가 흡인원에 연결되면, 그 흡인원에 의해 발생되는 흡인이 흡인 포트(26)를 통해 흡인원 도관(36)에 가해질 수 있다.
흡인원 도관(36)은 진공 구조물(30)의 고정된 진공 도관(34)에 유체 연결된다. 고정된 진공 구조물(34)은, 가요성 기재와 접촉할 것으로 예상되는 휠 림 표면(14)의 일부 영역에 있는 진공 표면(15)에 흡인을 가하도록 구성되어 있다. 예컨대, 고정된 진공 도관(34)은 흡인원 도관(36)을 진공 표면(15)의 (현재) 최상측인 부분에 연결할 수 있다.
진공 개구(16)는 진공 표면(15)의 원주 주위에 분산될 수 있다. 각 진공 개구(16)는 휠 림(27)에 있는 진공 도관(41)에 유체 연결된다. 각 진공 도관(41)은 휠 림(27)의 외측 표면에 있는 진공 개구(16)로부터 휠 림(27)의 내측 표면(27a)에 있는 내측 단부(41c)까지 연장되어 있다. 휠 림(27)이 진공 구조물(30) 주위로 회전하면, 휠 림(27)에 있는 각 진공 도관(41)의 각 내측 단부(41c)가 고정된 진공 도관(34)에 연속적으로 보내지게 된다. 진공 도관(41)의 내측 단부(41c)가 고정된 진공 도관(34)(예컨대, 나타나 있는 예에서는 진공 도관(41a))에 인접하면, 흡인이 진공 도관(41a) 및 이 진공 도관(41a)의 외측 단부에 있는 진공 개구(16a)에 가해질 수 있다.
진공 도관(41) 및 고정된 진공 도관(34)의 치수는, 2개 이상의 진공 도관(41)이 고정된 진공 도관(34)에 동시에 유체 연결될 수 있게 해주도록 되어 있을 수 있다.
도 2c는 도 2b에 나타나 있는 진공 휠의 두 진공 도관을 개략적으로 도시하며, 이들 두 진공 도관은 진공 휠의 고정된 진공 도관에 동시에 유체 연결되어 있다.
전형적으로, 고정된 진공 도관(34)은, 각 진공 도관(41)의 내측 단부(41c)의 방위 연장 보다 방위 방향(42)(예컨대, 진공 휠(12)의 회전 방향에 평행한)의 방위 연장일 수 있다. 예컨대, 고정된 진공 도관(34)의 단면의 형상은, 방위 방향(42)의 방위 연장이 축방향(예컨대, 방위 방향(42)에 수직이고 진공 휠(12)의 회전 축선에 평행한)의 폭 보다 큰 기다란 원 또는 라운딩된 직사각형(예컨대, 나타나 있는 예에서 처럼)의 형태일 수 있다. 고정된 진공 도관(34)의 방위 연장은, 휠 림(27)과 진공 표면(15)의 회전 중의 모든 시기에 적어도 하나의 진공 도관(41)의 내측 단부(41c)의 적어도 일부분이 고정된 진공 도관(34)에 항상 유체 연결되는 것을 보장하기에 충분할 수 있다. 적어도 하나의 진공 도관(41)이 고정된 진공 도관(34)에 항상 유체 연결되는 것을 보장함으로써, 진공 휠(12)에 의해 전달되고 있는 가요성 기재에 가해지는 흡인력의 변화를 제한할 수 있다. 특히, 적어도 하나의 진공 도관(41)이 고정된 진공 도관(34)에 항상 유체 연결되는 것을 보장함으로써, 진공 표면(15), 가요성 기재 및 접촉 표면(18)에 의해 경계지는 공간에서 대략 균일하고 일정한 흡인 유동이 보장될 수 있다. 어떤 경우에, 진공 도관(41) 및 고정된 진공 도관(34)의 치수는, 진공 휠(12)이 회전할 때, 겹침 영역(41b)(예컨대, 고정된 진공 도관(34)에 현재 유체 연결되어 있는 진공 도관(41)의 내측 단부(41c)의 총 영역을 나타냄)이 대략 일정하도록 될 수 있다.
나타나 있는 예에서 진공 도관(41)은 원형 단면을 갖는 것으로 나타나 있지만, 진공 도관(41), 진공 개구(16) 또는 둘 모두의 단면 형상은 타원형, 다각형, 또는 다른 비원형일 수 있다.
어떤 경우에, 고정된 진공 도관(34)의 축방향 치수는 진공 도관(41)의 축방향 치수 보다 클 수 있다. 어떤 경우에, 2개 이상의 진공 개구(16)가 공통의 진공 도관에 유체 연결될 수 있다.
어떤 경우에, 진공 구조물(30)은 접근 보어(37)를 포함할 수 있다. 예컨대, 이 접근 보어(37)는, 고정된 진공 도관(34) 내부에 있는 또는 진공 구조물(30) 내부의 다른 곳에 있는 공기 또는 다른 유체의 압력 또는 다른 특성을 모니터링하기 위한 센서를 삽입하기 위해 이용될 수 있다. 센서가 접근 보어(37)에 삽입되지 않으면, 접근 보어(37)는 적절한 플러그, 덮개, 실란트 등에 의해 폐쇄되거나 밀봉될 수 있다.
도 3은 전달되는 가요성 기재와 함께, 도 2a에 나타나 있는 진공 휠 단면의 확대도를 나타낸 것이다.
나타나 있는 예에서, 각 접촉 표면(18)은 O-링의 형태이다. 접촉 표면(18)을 형성하는 각 O-링은 O-링 홈(48) 내부에 유지된다. O-링 홈(48)의 깊이는, 접촉 표면(18)이 진공 표면(15)으로부터 외측으로 거리(44) 만큼 연장되도록 되어 있을 수 있다. 나타나 있는 예에서, 거리(44)는 선(46)(진공 표면(15)(및 나타나 있는 예에서는 외부 림 표면(38))의 반경 방향 위치를 나타냄)과 접촉 표면(18)의 정상부 사이에서 측정된다. 대안적으로 또는 추가로, O-링 형태 또는 다른 형태의 교체 가능한 접촉 표면(18)을 유지하기 위한 다른 유지 구조물이 제공될 수 있다.
예컨대, 거리(44)는, 가요성 기재(40)를 접촉 표면(18)에 유지시키기 위해 과도한 흡인이 필요하지 않도록 충분히 작게 선택될 수 있다. 유사하게, 거리(44)는 가요성 기재(40)(진공 표면(15)을 향해 안쪽으로 구부려질 수 있음)와 진공 표면(15) 사이의 직접 접촉을 방지하도록(예컨대, 가요성 기재(40)와 진공 개구(16)의 접촉으로 인한 불균일한 흡인력을 방지하도록, 가요성 기재(40)에 대한 가능한 손상을 방지하도록, 또는 가요성 기재(40)의 전달에 대한 정확한 제어를 가능하게 하도록) 충분히 클 수 있다. 예컨대, 거리(44)는 약 50 ㎛ 내지 약 1000 ㎛, 또는 어떤 경우에는 약 100 ㎛ 내지 약 500 ㎛ 일 수 있다. 거리(44)는 다른 값을 가질 수도 있다.
진공 도관(41)이 고정된 진공 도관(34)에 대해 회전되면, 그 진공 도관(41)에 유체 연결되어 있는 진공 개구(16)에 흡인이 가해질 수 있다. 가요성 기재(40)는 긴공 휠(12)을 완전히 또는 부분적으로 둘러싸는 예컨대 비접촉식 지지 플랫폼에 의해 지지될 수 있다. 진공 개구(16)에 가해지는 흡인에 의해, 가요성 기재(40)가 진공 표면(15) 쪽으로 끌릴 수 있다.
가요성 기재(40)가 진공 표면(15) 쪽으로 끌림에 따라, 가요성 기재(40)는 접촉점(50)에서 접촉 표면(18)과 접촉할 수 있다(나타나 있는 예에서, 가요성 기재(40)는 평평하게 나타나 있지만, 전형적인 가요성 기재(40)는 흡인력에 반응하여 구부려지거나, 미리 존재하는 만곡부를 가지고 있거나 또는 다른 힘에 반응하여 구부려질 수 있음). 공기의 유입을 줄이는 부분 시일이 접촉점(50)에 형성될 수 있다. 따라서, 접촉점(50) 사이의 흡인 영역(52)에서 흡인이 향상될 수 있다. 휠 림(27) 및 흡인 영역(52)의 폭은, 가요성 기재(40)가 진공 표면(15)과 직접 물리적 접촉을 하게 접촉점(18) 사이에서 일어나는 가요성 기재(40)의 내향 부풀림이 충분히 작게 되는 것을 보장하도록 충분히 작게 선택될 수 있다. 한편, 흡인 영역(52)의 폭은, 흡인이 가해지는 영역 및 그래서 가요성 기재(40)의 내부와 외부에서의 공기 압력의 차로 인해 가요성 기재(40)에 가해지는 내향 수직력(이 힘은 압력차와 이 압력차가 가해지는 면적의 곱과 같음)이 가요성 기재(40)를 접촉 표면(18)과 접촉한 상태로 유지시키기에 충분하도록 충분히 크게 되어 있을 수 있다. 예컨대, 흡인 영역(52)의 폭은 약 5 mm 내지 50 mm일 수 있다. 흡인 영역(52)의 폭은 다른 값을 가질 수도 있다.
복수의 진공 휠 어셈블리(10)가, 비접촉식 지지 플랫폼을 발생시키도록 구성된 비접촉식 지지 테이블에 포함될 수 있다. 대안적으로 또는 추가로, 비접촉식 지지 플랫폼이 없는 경우에, 진공 휠, 또는 진공 휠과 아이들러 휠의 장치(예컨대, 진공 휠 및/또는 아이들러 휠이 서로에 충분히 가깝게 위치됨)가 가요성 기재를 지지하도록 구성될 수 있다.
도 4는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠을 포함하는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
비접촉식 지지 플랫폼 시스템(60)이 최소한의 물리적 접촉으로 가요성 기재(40)를 지지하고 전달하도록 구성되어 있다.
비접촉식 지지 플랫폼 시스템(60)의 비접촉식 지지 테이블(62)이 비접촉식 지지 플랫폼을 발생시키도록 구성된다. 예컨대, 복수의 압력 포트가 비접촉식 지지 테이블(62)의 표면에 분산될 수 있다. 예컨대, 각 압력 포트는 압력원에(예컨대,그 압력원에 연결되어 있는 매니폴드에) 연결될 수 있다. 진공 포트는 압력 포트 사이에 분산될 수 있다. 예컨대, 각 진공 포트는 진공원에(예컨대,그 진공원에 연결되어 있는 매니폴드에) 연결될 수 있다. 어떤 경우에, 압력 포트 및 진공 포트는 유체 스프링 효과를 생성하도록 구성될 수 있다. 유체 스프링 효과는 비접촉식 지지 테이블(62)의 표면으로부터 일정 거리 떨어져서 가요성 기재(40)를 지지하도록 구성될 있다.
비접촉식 지지 테이블(62)은 복수의 휠 개구(64)를 포함할 수 있다. 진공 휠(12)이 휠 개구(64) 중의 일부 또는 모두의 내부에 장착될 수 있다. 예컨대, 진공 휠(12)의 상측 부분이 휠 개구(64)의 밖에서 연장되어 있도록, 진공 휠 어셈블리(10)가 예컨대 장착 구조물(22)을 사용하여 비접촉식 지지 테이블(62)에 장착될 수 있다.
나타나 있는 예에서, 휠 개구(64) 및 진공 휠(12) 모두는 서로 평행하게 배향된다. 따라서, 진공 휠(12)의 작동에 의해, 이중 화살표(66)로 나타나 있는 방향으로 가요성 기재(40)가 전달된다. 진공 휠(12)이 그의 축선(이중 화살표(66)에 수직임)에서 회전됨에 따라, 흡인이 각 작동하는 진공 휠(12)의 진공 표면(15)에 있는 진공 개구(16)에 가해질 수 있다. 가해지는 흡인에 의해 가요성 기재(40)가 접촉 표면(18) 쪽으로 끌리게 된다. 결과적으로 가요성 기재(40)와 접촉 표면(18) 사이의 마찰이 증가되어, 진공 휠(12)의 회전에 의한 가요성 기재(40)의 전달이 용이하게 될 수 있다.
다른 배치에서, 진공 휠(12) 중의 일부는 다른 진공 휠(12)에 수직하게 또는 경사각을 이루어 배향될 수도 있다. 예컨대, 다르게 배향되는 진공 휠(12)이 가요성 기재(40)를 상이한 방향으로 전달하도록 작동될 수 있다. 어떤 경우에, 진공 휠 어셈블리(10)를 비접촉식 지지 테이블(62)에 장착하여, 진공 휠(12)을 상승 또는 하강시킬 수 있다. 예컨대, 가요성 기재(40) 운동의 의도된 전달 방향에 평행하게 배향되는(예컨대, 그의 회전 방향이 그 전달 방향에 평행하게 배향되는) 진공 휠(12)이 상승될 수 있다. 진공 휠(12)이 상승되면, 진공 표면(15)에 있는 진공 개구(16)에 흡인을 가하여, 가요성 기재(40)와 접촉 표면(18) 사이의 마찰을 증가시켜 그 가요성 기재(40)의 전달을 용이하게 할 수 있다. 의도된 전달 방향에 평행하게 배향되지 않은 진공 휠(12)은 하강될 수 있다. 전달 방향에 평행하게 배향되지 않은 진공 휠(12)을 하강시키면, 진공 휠(12)이 가요성 기재(40)의 전달을 방해는 것을 방지할 수 있다.
나타나 있는 예에서, 진공 휠(12)의 쌍들은 열(68)을 지어 배치된다. 어떤 경우에, 2개 이상의 평행한 진공 휠(12)이 단일 열(68)로 배치될 수 있다. 열(68)에 있는 진공 휠(12)은, 진공 휠(12)이 예상되는 측방 위치에 대해 옆으로 대칭적으로(예컨대, 이중 화살표(66)로 나타나 있는 바와 같이 전달 방향에 실질적으로 수직인 방향으로) 배치되도록 배치될 수 있다 예컨대, 단일 열(68)에 있는 진공 휠(12)은, 가요성 기재(40)의 중앙선(70)(예컨대, 이중 화살표(66)로 나타나 있는 전달 방향에 평행함)의 서로 다른 측에 있는 진공 휠(12)의 쌍들이 중앙선(70)으로부터 등거리에 있도록 배치된다.
전형적으로, 단일 열(68)에 있는 진공 휠(12)은 실질적으로 서로 동일할 수 있고 탠덤(tandem) 방식으로 작동될 수 있다. 예컨대, 탠덤 방식으로 작동될 때, 단일 열(68)에 있는 모든 진공 휠(12)이 실질적으로 동일한 회전 속도로 회전될 수 있고, 또한 실질적으로 동일한 흡인이 그 열(68)에 있는 모든 진공 휠(12)의 진공 개구(16)에 가해질 수 있다.
한 예에서, 한쌍의 진공 휠(12)에 의해 가요성 기재(40)에 가해지는 전달력은 (예컨대, 재료, 작업 파라미터 또는 다른 요인에 따라) 약 100 그램중(gram-force) 내지 약 2000 그램중 일 수 있다. 각 열(68)에 있는 진공 휠(12)의 수를 증가시키면, 힘의 범위가 증가될 수 있다. 유사하게, 가요성 기재(40)에 가해지는 총 전달력은, 가요성 기재(40)에 의해 동시에 덮히는 열(68)의 수에 달려 있을 수 있다. 예컨대, 나타나 있는 예에서처럼, 가요성 기재(40)가 2개의 열(68)을 덮으면, 가요성 기재(40)에 가해지는 전달력은, 하나의 열(68)을 덮는 유사하게 구성된 기재에 가해지는 힘 보다 클 수 있다. 유사하게, 나타나 있는 바와 같이, 2개의 열(68)을 덮는 가요성 기재(40)에 가해지는 전달력은, 3개 이상의 열(68)을 덮는 유사하게 구성된 기재에 가해지는 힘 보다 작을 수 있다.
대칭적으로 배치되는 진공 휠(12)의 탠덤식 작동과 함께, 적어도 2개의 진공 휠(12)을 가요성 기재(40)의 중앙선(70)에 대해 대칭적으로 배치함으로써, 회전 토크(예컨대, 요(yaw))가 가요성 기재(40)에 가해지는 것을 줄이거나 없앨 수 있다. 그래서, 가요성 기재(40)의 전달이 정확하게 제어될 수 있다.
다른 경우에(예컨대, 좁은 가요성 기재(40)를 전달하거나 회전 토크가 가해질 수 있는 것이 문제 되는 것으로 생각되지 않을 때), 각 열(68)은 단일 진공 휠(12)을 포함할 수 있다. 이러한 경우에, 예컨대, 다른 열(68)에 있는 진공 휠(12)은 예컨대 실질적으로 가요성 기재(40)의 중앙선(70)을 따라 서로 선형적으로 정렬될 수 있다. 다른 예로, 다른 열(68)에 있는 진공 휠(12)은, 하나의 진공 휠(12)에 의해 가해지는 회전 토크가 다른 진공 휠(12)에 의해 가해지는 실질적으로 동일한 크기의 반대 방향 회전 토크에 의해 저지될 수 있도록 배치될 수 있다.
진공 휠(12)은 비접촉식 지지 테이블에 다른 방식으로 배치될 수 있다.
도 5a는 도 1a에 나타나 있는 진공 휠 및 아이들러 휠을 포함하는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
비접촉식 지지 플랫폼 시스템(70)에서, 휠 개구(64) 중의 일부는 아이들러 휠(72)을 포함한다. 예컨대, 아이들어 휠(72)은 동력 공급을 받지 않을 수 있고, 접선 방향 힘이 아이들러 휠의 림에 가해지면 아이들러 휠(72)을 그의 축선 주위로 자유롭게 회전시킬 수 있는 베어링에 장착될 수 있다. 한편, 아이들러 휠(72)의 림은 가요성 기재(40)와 아이들러 휠(72) 사이에 마찰을 생성하도록 구성될 수 있다. 이 마찰은 가요성 기재(40)가 아이들러 휠(72)에 대해 옆으로 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 가요성 기재(40)는, 아이들러 휠(72)이 회전할 수 있는 방향으로만, 예컨대, 이중 화살표(66)으로 나타나 있는 방향에 평행하게 움지이도록 구성될 수 있다. 그래서, 아이들러 휠(72)을 포함하는 비접촉식 지지 플랫폼 시스템(70)은, 아이들러 휠(72)을 포함하지 않는 시스템(예컨대, 비접촉식 지지 플랫폼 시스템(60)) 보다 적은 수의 진공 휠(12)을 필요로 할 수 있다.
나타나 있는 예에서, 아이들러 휠(72)은 진공 휠(12)의 다른 단일 열에 평행한 단일 열로 배치된다. 대안적으로 또는 추가로, 진공 휠(12) 및 아이들러 휠(72)은 다른 방식으로 배치될 수도 있다. 그러한 대안적인 또는 추가적인 배치에서, 진공 휠(12) 및 아이들러 휠(72)의 회전 방향은 서로 평행하거나 또는 이중 화살표(66)로 나타나 있는 가요성 기재(40)의 전달 방향에 평행할 수 있다.
어떤 경우에, 진공 휠(12)은, 비접촉식 지지 테이블(62)의 표면 내에 있는 휠 개구(64)에 있지 않고, 비접촉식 지지 테이블(62) 옆에 위치될 수 있다.
도 5b는 테이블 옆에 있는 도 1a에 나타나 있는 바와 같은 진공 휠을 갖는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
비접촉식 지지 플랫폼 시스템(80)에서, 진공 휠(12)은 비접촉식 지지 테이블(62)에 인접하여 배치된다. 진공 휠(12)은, 각 진공 휠(12)의 휠 림(14)이 비접촉식 지지 테이블(62)의 표면 위쪽에서(예컨대, 가요성 기재(40)를 넘어 또는 그 쪽에서) 연장되도록 배치된다.
진공 휠(12)은 비접촉식 지지 테이블(62)의 일 측에서 단일 열로 있는 것으로 나타나 있지만, 대안적인 비접촉식 지지 플랫폼 시스템(80)은 다른 방식으로 배치되는 진공 휠(12)을 포함할 수 있다. 예컨대, 진공 휠(12)은 비접촉식 지지 테이블(62)의 양 측에(예컨대, 대칭적으로 또는 다른 방식으로) 하나 보다 많은 열, 또는 다른 방식으로(예컨대, 진공 휠(12)의 회전 방향이 서로 평행하고 또한 이중 화살표(66)로 나타나 있는 가요성 기재(40)의 전달 방향에 평행하게) 배치될 수 있다.
도 5c는, 테이블의 일 측에 아이들러 휠이 있는, 도 5b에 나타나 있는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
비접촉식 지지 플랫폼 시스템(82)에서, 진공 휠(12)에 추가로, 아이들러 휠(72)은 비접촉식 지지 테이블(62)에 인접하여 배치된다. 나타나 있는 예에서, 아이들러 휠(72)은 진공 휠(12)의 다른 단일 열에 평행한 단일 열로 배치된다. 대안적으로 또는 추가적으로, 진공 휠(12) 및 아이들러 휠(72)은 다른 방식으로 배치될 수도 있다. 이러한 대안적인 또는 추가적인 배치에서, 진공 휠(12) 및 아이들러 휠(72)의 회전 방향은 서로 평행하고 또한 이중 화살표(66)로 나타나 있는 가요성 기재(40)의 전달 방향에 평행할 수 있다.
어떤 경우에, 비접촉식 지지 테이블(62)의 일 부분에서, 진공 휠(12)은 가요성 기재(40)를 회전시키도록 배치될 수 있다.
도 6은 기재를 회전시키도록 배치되는 도 1a에 나타나 있는 바와 같은 진공 휠을 갖는 비접촉식 지지 테이블을 개략적으로 도시한다.
비접촉식 지지 플랫폼 시스템(84)에서, 진공 휠(12)은, 가요성 기재(40)를 옆으로 회전시키도록 구성된 휠 장치(88)에 배치된다. 이 휠 장치(88)에서, 복수의 진공 휠(12)은, 각 진공 휠(12)이 장치(88)에서 이웃하는 진공 휠(12)에 대해 각도를 이루어 회전되도록 배치된다. 어떤 경우에, 휠 장치(88)의 각 쌍의 이웃하는 진공 휠(12) 사이의 각도는 모든 그러한 쌍의 이웃하는 진공 휠(12)에 대해 동일할 수 있다. 예컨대, 휠 장치(88)는, 8개의 진공 휠(12)에 대해 나타나 있는 예에서 처럼 대략 오각형이거나 또는 다른 배치를 가질 수 있다(예컨대, 8개 보다 많거나 적은 수의 진공 휠(12)을 갖는 휠 장치(88)에 대해). 어떤 경우에, 모든 진공 휠(12)의 회전 축선은 대략 단일 점에서 교차할 수 있다.
가요성 기재(40)를 회전시키기 위해, 모든 진공 휠(12)은, 예컨대, 휠 장치(88)의 중심으로부터 휠 장치(88)에 있는 각 진공 휠(12)의 반경을 통과하는 반경에 대해 규정되는 바와 같은 단일 회전 방향으로 동시에 회전될 수 있다(어떤 경우에, 예컨대, 휠 장치(88)가 다수의 진공 휠(12)을 포함하는 경우, 진공 휠(12) 또는 아이들러 휠(72)은 자유롭게 회전될 수 있음). 휠 장치(88)의 진공 휠(12)이 단일 방향으로 회전될 때, 가요성 기재(40)가 회전 방향(86)으로 회전될 수 있다.
어떤 경우에, 가요성 기재(40)는 비접촉식 지지 테이블(62) 없이 진공 휠(12)과 아이들러 휠(72)의 장치에 의해 지지되고 전달될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시 형태에 따른, 진공 휠과 아이들러 휠을 갖는 기재 전달 시스템을 개략적으로 도시한다.
지지 시스템(90)에서, 가요성 기재(40)는 아이들러 휠(72) 및 진공 휠(12)의 장치로 지지된다. 나타나 있는 예에서, 진공 휠(12)의 단일 열은 아이들러 휠(72)의 평행한 열 사이에 배치된다. 대안적으로 또는 추가로, 진공 휠(12) 및 아이들러 휠(72)은 다른 방식으로 배치될 수 있다. 대안적인 또는 추가적인 배치에서, 진공 휠(12)과 아이들러 휠(72)의 회전 방향 및 그의 회전 축선은 서로에 평행하고 또한 이중 화살표(66)로 나타나 있는 가요성 기재(40)의 전달 방향에 평행할 수 있다.
서로 다른 실시 형태들이 여기에 개시되어 있다. 어떤 실시 형태의 특징적 사항은 다른 실시 형태의 특징적 사항과 조합될 수 있고, 그래서 어떤 실시 형태는 복수의 실시 형태의 특징적 사항의 조합일 수 있다. 본 발명의 실시 형태에 대한 앞의 설명은 실례 들기 및 설명의 목적으로 주어진 것이다. 이는 포괄적이거나 본 발명을 개시된 바로 그 형태에 한정하고자 하는 의도는 없다. 당업자는 아는 바와 같이, 위의 교시에 비추어 많은 수정, 변화, 치환, 변경 및 등가물이 가능하다. 그러므로, 첨부된 청구 범위는 본 발명의 진정한 정신 내에 속하는 모든 그러한 수정과 변경을 포함한다.
본 발명의 어떤 특징적 사항이 여기서 도시되고 설명되었지만, 이제 당업자는 많은 수정, 변화, 치환, 변경 및 등가물을 생각할 수 있을 것이다. 그러므로, 첨부된 청구 범위는 본 발명의 진정한 정신 내에 속하는 모든 그러한 수정과 변경을 포함한다.

Claims (20)

  1. 기재를 전달하기 위한 진공 휠로서,
    흡인원에 연결가능한 고정 도관;
    진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 진공 표면 - 진공 표면은 상기 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 상기 휠이 회전하면 상기 복수의 진공 개구의 진공 개구가 상기 고정 도관에 연속적으로 유체 연결되며, 그래서, 상기 흡인원에 의해 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 그 고정 도관에 유체 연결되어 있는 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해짐 -; 및
    진공 휠의 원주에 있는 2개의 접촉 표면
    을 포함하고,
    상기 2개의 접촉 표면은 상기 진공 표면에 인접하고 상기 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있고, 상기 2개의 접촉 표면 각각은 상기 진공 표면의 상호 반대 측에 위치되며, 그래서, 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 상기 흡인이 가해지면, 상기 기재가 상기 진공 표면 쪽으로 끌려, 상기 진공 표면과 접촉함이 없이 상기 2개의 접촉 표면과 접촉하고, 또한 상기 휠이 회전할 때 상기 2개의 접촉 표면과 기재 사이에 마찰력이 발생하여 기재를 전달하게 되는, 진공 휠.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 진공 개구는 단일 열로 배치되어 있는, 진공 휠.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 복수의 진공 개구 중 한 쌍의 인접하는 진공 개구 사이의 거리는 일정한, 진공 휠.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 진공 개구 각각은 진공 도관을 통해 상기 진공 휠의 림(rim)의 내측 표면에 연결되는, 진공 휠.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 도관의 방위 연장은 그 고정 도관의 축방향 폭 보다 긴, 진공 휠.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 고정 도관의 방위 연장은, 상기 진공 휠이 회전함에 따라 상기 복수의 진공 개구 중의 적어도 하나가 상기 고정 도관에 항상 유체 연결되도록 하기에 충분한, 진공 휠.
  7. 삭제
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 2개의 접촉 표면은 진공 표면의 진공 개구로부터 등거리에 있는, 진공 휠.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 접촉 표면의 접촉 표면은 교체 가능한, 진공 휠.
  10. 제 9 항에 있어서,
    교체 가능한 접촉 표면은 O-링을 포함하는, 진공 휠.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 진공 휠의 림은 상기 교체 가능한 접촉 표면을 제자리에 유지시키기 위한 유지 구조물을 포함하는, 진공 휠.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 유지 구조물은 홈을 포함하는, 진공 휠.
  13. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 휠을 회전시키기 위한 모터를 더 포함하는 진공 휠.
  14. 기재를 지지하고 전달하기 위한 비접촉식 지지 테이블로서,
    상기 테이블의 표면을 가로질러 분산되어 있는 복수의 압력 포트; 및
    복수의 진공 휠
    을 포함하고,
    각 진공 휠은 각 진공 휠의 일 단부가 테이블 표면을 넘어 연장되도록 테이블에 장착되며,
    각 진공 휠은,
    흡인원에 연결가능한 고정 도관;
    진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 진공 표면 - 진공 표면은 상기 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 상기 휠이 회전하면 상기 복수의 진공 개구의 진공 개구가 상기 고정 도관에 연속적으로 유체 연결되며, 그래서, 상기 흡인원에 의해 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 그 고정 도관에 유체 연결되어 있는 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해짐 -; 및
    진공 휠의 원주에 있는 2개의 접촉 표면
    을 포함하며,
    상기 2개의 접촉 표면은 상기 진공 표면에 인접하고 상기 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있고, 상기 2개의 접촉 표면 각각은 상기 진공 표면의 상호 반대 측에 위치되며, 그래서, 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 상기 흡인이 가해지면, 상기 기재가 상기 진공 표면 쪽으로 끌려, 상기 진공 표면과 접촉함이 없이 상기 2개의 접촉 표면과 접촉하고, 또한 상기 휠이 회전할 때 상기 2개의 접촉 표면과 기재 사이에 마찰력이 발생하여 기재를 전달하게 되는, 비접촉식 지지 테이블.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 테이블은 복수의 휠 개구를 포함하고, 각 진공 휠의 단부는 상기 복수의 휠 개구의 휠 개구를 통해 상기 테이블 표면을 넘어 연장되어 있는, 비접촉식 지지 테이블.
  16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 진공 휠의 진공 휠은 상기 테이블 표면에 인접하여 배치되는, 비접촉식 지지 테이블.
  17. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    복수의 아이들러 휠을 더 포함하는 비접촉식 지지 테이블.
  18. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 휠의 진공 휠의 회전 방향들은 서로 평행한, 비접촉식 지지 테이블.
  19. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 복수의 진공 휠의 진공 휠의 배치에서, 이 배치의 각 진공 휠은 상기 배치의 이웃하는 진공 휠에 대해 옆으로 회전되는, 비접촉식 지지 테이블.
  20. 기재를 지지하고 전달하기 위한 지지 시스템으로서,
    회전 축선들이 서로 평행한 복수의 아이들러 휠;
    회전 축선이 상기 아이들러 휠의 회전 축선에 평행한 복수의 진공 휠
    을 포함하고,
    각 진공 휠은,
    흡인원에 연결가능한 고정 도관;
    진공 휠의 원주에 있는 적어도 하나의 진공 표면 - 진공 표면은 상기 원주 주위에 분산되어 있는 복수의 진공 개구를 포함하고 있어, 상기 휠이 회전하면 상기 복수의 진공 개구의 진공 개구가 상기 고정 도관에 연속적으로 유체 연결되며, 그래서, 상기 흡인원에 의해 흡인이 고정 도관에 가해지면, 현재 그 고정 도관에 유체 연결되어 있는 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 흡인이 가해짐 -; 및
    진공 휠의 원주에 있는 2개의 접촉 표면
    을 포함하며,
    상기 2개의 접촉 표면은 상기 진공 표면에 인접하고 상기 진공 표면을 넘어 외측으로 연장되어 있고, 상기 2개의 접촉 표면 각각은 상기 진공 표면의 상호 반대 측에 위치되며, 그래서, 상기 복수의 진공 개구 중의 하나 이상에 상기 흡인이 가해지면, 상기 기재가 상기 진공 표면 쪽으로 끌려, 상기 진공 표면과 접촉함이 없이 상기 2개의 접촉 표면과 접촉하고, 또한 상기 휠이 회전할 때 상기 2개의 접촉 표면과 기재 사이에 마찰력이 발생하여 기재를 전달하게 되는, 지지 시스템.
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