KR101170946B1 - 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 유닛은 제1 수평 방향으로 배열되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장하는 복수의 회전축들, 상기 회전축들의 각각에 장착되어 상기 회전축들의 각 회전에 의하여 기판을 이송하고, 상기 기판을 흡착하기 위한 다수의 진공홀들이 반경 방향으로 형성된 적어도 하나의 롤러 및 상기 롤러의 주변부에 각각 체결되며 상기 기판 이송시 상기 기판의 슬릿을 방지하는 슬릿 방지 부재를 포함한다. 따라서 기판 이송시 상기 기판의 슬릿이 억제될 수 있다.

Description

기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{UNIT FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE AND APPARATUS FOR PROCEEDING A SUBSTRATE HAVING THE SAME}
본 발명은 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 롤러를 회전시켜 기판을 이송하는 기판 이송 유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정 디스플레이 장치와 같은 평판형 디스플레이 장치의 제조에는 유리 기판과 같은 평판형 기판이 사용되며, 상기 유리 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위한 다양한 단위 공정들이 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 유리 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 상기 막을 목적하는 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 유리 기판 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 상기 유리 기판을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 수행될 수 있다.
상기 기판은 기판 이송 유닛에 의해 상기 단위 공정들이 수행되는 챔버로 이송되어 상기 단위 공정들이 수행되거나, 상기 챔버 내에서 상기 기판 이송 유닛에 의해 이송되면서 상기 단위 공정들이 수행될 수 있다.
상기 기판 이송 유닛은 구동부에 의해 회전하는 회전축 및 상기 회전축에 고 정되어 상기 기판을 지지하고, 상기 회전축의 회전에 따라 상기 기판을 상기 이송 방향으로 이송하는 다수의 롤러들을 포함한다.
그러나, 상기 기판과 상기 롤러들 상에서 미끄러져 상기 기판 이송 유닛이 상기 기판을 정확하게 이송하지 못할 수 있다.
본 발명은 기판의 미끄러짐없이 기판을 이송하는 기판 이송 유닛을 제공한다.
본 발명은 상기 기판 이송 유닛을 갖는 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 이송 유닛은 제1 수평 방향으로 배열되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장하는 복수의 회전축들, 상기 회전축들의 각각에 장착되어 상기 회전축들의 각 회전에 의하여 기판을 이송하고, 상기 기판을 흡착하기 위한 다수의 진공홀들이 반경 방향으로 형성된 적어도 하나의 롤러 및 상기 롤러의 주변부에 각각 체결되며 상기 기판 이송시 상기 기판의 슬릿을 방지하는 슬릿 방지 부재를 포함한다. 여기서, 상기 롤러는 외주면을 따라 상기 진공홀들을 지나는 홈을 각각 갖고, 상기 슬릿 방지 부재는 상기 홈과 상기 진공홀들이 연통되는 연통 위치에 체결되고, 상기 슬릿 방지 부재에는 상기 진공홀과 연통되도록 개구가 형성될 수 있다. 또한, 상기 슬릿 방지 부재는 오링(O-ring)을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러는 상기 진공홀이 형성된 몸체 및 상기 회전축을 감싸고 상기 몸체와 체결되는 캡핑 부재를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 기판 이송 유닛은 상기 몸체와 상기 각 회전축의 사이에 개재되며, 상기 진공홀의 진공력을 유지하기 위한 제1 실링 부재, 상기 캡핑 부재 및 상기 몸체 사 이에 개재되며, 상기 진공홀의 진공력을 유지하기 위한 제2 실링 부재 및 상기 캡핑 부재 및 상기 각 회전축 사이에 개재되며, 상기 진공홀의 진공력을 유지하기 위한 제3 실링 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 회전축은 내부 중심에서 이격되어 상기 제2 수평 방향으로 연장되어 상기 진공홀과 연통되는 진공 유로가 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판을 처리하는 처리 공간을 제공하는 챔버 및 상기 챔버 내에 배치되며, 제1 수평 방향으로 배열되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장하는 다수의 회전축들, 상기 회전축들의 각각에 장착되어 상기 회전축의 회전에 의하여 기판을 이송하고, 상기 기판을 흡착하기 위한 다수의 진공홀들이 반경 방향으로 형성된 적어도 하나의 롤러 및 상기 롤러들의 주변부에 각각 체결되며 상기 기판 이송시 상기 기판의 슬릿을 방지하는 슬릿 방지 부재를 구비하는 기판 이송 유닛을 포함한다.
본 발명에 따른 기판 이송 유닛은 본 발명에 따른 기판 이송 유닛은 롤러에 형성된 진공홀을 구비하고 상기 롤러에 슬릿 방지 부재를 포함함으로써 상기 롤러가 기판이 진공 흡착하여 이송하므로 상기 기판의 미끄러짐을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송 유닛이 개선된 이송 효율을 가질 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다, 도 2는 도 1에 도시된 회전축, 롤러 및 체결 부재를 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 롤러 및 슬릿 방지 부재를 설명하기 위한 단면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 회전축 및 롤러의 체결 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 상기 기판 이송 유닛(100)은 적어도 하나의 회전축(110), 적어도 하나의 롤러(125) 및 슬릿 방재 부재(150)를 포함한다. 상기 기판 이송 유닛(100)은 기판(10)을 제1 수평 방향으로 이송한다. 상기 기판(10)은 평판 디스플레이 소자를 제조하기 위한 유리 기판이거나, 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 기판일 수 있다.
상기 회전축(110)은 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장한다. 상기 회전축(110)이 복수일 경우, 상기 복수의 회전축(110)들은 상기 제1 수평 방향으로 배열된다. 상기 회전축(110)들은 상기 제1 수평 방향으로 상호 일정 간격 이격된다.
상기 회전축(110)은 내부 공간(110a)을 갖는다. 상기 진공 유로(110a)는 상기 회전축(110)의 연장 방향인 상기 제2 수평 방향으로 연장한다. 상기 회전 축(100)의 내부에는 중심으로부터 일정 간격으로 이격되어 상기 진공 유로(110a)가 복수로 형성될 수 있다. 상기 회전축(110)의 중심부는 채우지고 상기 회전축(110)의 주변부에 상기 진공 유로(110a)가 형성됨에 따라 상기 회전축(110)이 하중에 대하여 상대적으로 높은 강도를 가질 수 있다. 따라서, 기판이 대형화됨에 따라 상기 회전축(110)에 인가되는 하중이 증가하더라도 상기 회전축(110)의 처짐이 억제될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 기판 이송 유닛(100)은 지지 프레임(112) 및 베어링(114)을 더 포함한다. 상기 지지프레임(112)은 상기 회전축(110)의 양단을 지지한다. 상기 베어링(114)은 상기 회전축(110)들과 상기지지 프레임(112) 사이에 개재된다. 상기 베어링(114)은 상기 회전축(110)들과 상기 지지프레임(114)의 마찰을 감소시킨다. 따라서, 상기 회전축(110)들이 원활하게 회전할 수 있다.
상기 롤러(125)는 상기 회전축(110)에 체결된다. 상기 롤러(125)들은 상기 기판(10)의 하부면과 접촉하여 기판을 이송한다. 예를 들면, 상기 회전축(110)들이 회전함에 따라 상기 회전축(110)에 체결된 상기 롤러(125)들도 회전하고, 상기 롤러(125)들의 회전으로 상기 기판(10)이 상기 제1 수평 방향으로 이송된다.
각 롤러(125)의 내부에는 반경 방향으로 다수의 진공홀(120a)들이 형성된다. 상기 진공홀(120a)들은 상기 롤러(125)의 회전 중심을 기준으로 방사형으로 연장한다. 상기 진공홀(120a)들은 상기 회전축(110)들의 진공 유로(110a)와 연통될 수 있다. 따라서, 상기 진공홀(120a)들은 상기 롤러(125)의 외주면을 따라 흡입구들이 각각 형성된다.
일 예로, 상기 진공홀(120a)들은 전체으로 동일한 직경을 가질 수 있다. 다른 예로, 상기 진공홀(120a)들은 상기 롤러(125)들의 회전 중심에서 방사 방향으로 증가하는 직경을 가질 수 있다. 상기 진공홀(120a)들이 상기 증가하는 직경을 갖는 경우, 상기 흡입구의 직경이 증가하여 상기 진공홀(120a)과 상기 기판(10)의 접촉 면적이 커질 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 롤러(125)는 외주면을 따라 형성되는 홈(120b)을 갖는다. 상기 홈(120b)은 상기 롤러(125)의 진공홀(120a)을 일정 간격으로 연통된다. 상기 진공홀(120a) 및 상기 홈(120b)이 만나는 위치를 연통 위치라고 한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 롤러(125)의 주변부에 체결된다. 상기 슬릿 방지 부재(150)는 기판 이송시 상기 롤러(125)에 대한 상기 기판의 슬릿을 억제할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 홈(120b) 내의 상기 연통 위치에 배치된다. 상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 진공홀(120a)을 통하여 제공된 진공력에 의하여 상기 홈(120b) 내에 고정될 수 있다. 상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 진공홀(120a)과 연통되도록 개구를 포함한다. 상기 진공홀(120a)에 연통된 상기 개구를 통하여 상기 기판에 진공력이 제공될 수 있다. 상기 슬릿 방지 부재(150)는 기판의 하면과 직접 접촉한다. 예를 들면, 상기 슬릿 방지 부재(150)는 예를 들면, 오링(O-ring)을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 있어서, 상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 홈(120b) 내의 상기 연통 위치들 사이에 체결될 수 있다. 이때, 상기 슬릿 방지 부 재(150)는 상기 홈(120b) 내에 억지 끼움 형식으로 체결될 수 있다.
상기 슬릿 방지 부재(150)는 고무와 같은 탄성 물질을 포함할 수 있다. 상기 슬릿 방지 부재(150)에 하중이 인가될 경우, 상기 탄성 물질로 이루어진 상기 슬릿 방지 부재(150) 및 상기 기판간의 접촉 면적이 증가한다. 따라서, 상기 슬릿 방지 부재(150)는 기판 이송시 상기 롤러(125)에 대한 상기 기판의 슬릿을 억제할 수 있다.
상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 롤러(125)의 외주면보다 높은 상면을 가질 수 있다. 따라서, 상기 롤러(125)가 회전함에 따라 상기 기판을 이송할 경우, 탄성을 갖는 상기 슬릿 방지 부재(150)가 상기 기판 및 상기 롤러(125)간의 충격을 완화할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 롤러(125)는 상기 진공홀(120a)이 형성된 몸체(120) 및 상기 회전축(110)을 감싸고 상기 몸체(120)와 체결되는 캡핑 부재(127)를 포함할 수 있다. 상기 몸체(120) 및 상기 캡핑 부재(127)는 나사 결합 방식으로 체결될 수 있다. 상기 캡핑 부재(127)를 이용하여 상기 롤러(125)가 상기 회전축(110)에 용이하게 결합될 수 있다. 또한, 상기 캡핑 부재(127)를 상기 몸체(120)로부터 분리할 경우 상기 진공홀(120a)의 형성 위치가 용이하게 확인될 수 있다.
여기서, 상기 기판 이송 유닛(100)은 제1 실링 부재(161), 제2 실링 부재(162) 및 제3 실링 부재(163)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 실링 부재(161)는 상기 회전축(110)과 상기 몸체(120) 사이에 개재 된다. 즉, 상기 제1 실링 부재(161)는 상기 회전축(110)의 외경과 상기 몸체(120)의 내경 사이에 개재된다. 따라서, 상기 제1 실링 부재(161)는 상기 회전축(110)과 상기 몸체(120) 사이로 공기가 누설되는 것을 억제하여 상기 진공홀(120a)의 기밀성을 증대시킬 수 있다.
상기 제2 실링 부재(162)는 상기 캡핑 부재(127) 및 상기 몸체(120) 사이에 개재된다. 즉, 상기 제2 실링 부재(162)는 상기 캡핑 부재(127) 및 상기 몸체(120)에 개재된다. 상기 제3 실링 부재(163)는 상기 캡핑 부재(127) 및 상기 회전축(110) 사이에 개재된다. 즉, 상기 제3 실링 부재(163)는 상기 회전축(110)의 외경과 상기 캡핑 부재(127)의 내경 사이에 개재된다. 따라서, 상기 제1 내지 제3 실링 부재들(161, 162, 163)은 상기 진공홀(120a)의 기밀성을 증대시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 및 제3 실링 부재들(161, 163)은 상기 회전축(110)과 상기 롤러(125)간의 결합력을 증대시켜서, 상기 회전축(110)의 회전시 상기 롤러(125)도 함께 원활하게 회전할 수 있다.
상기 구동부(130)는 상기 회전축(110)들을 회전시키기 위한 것으로, 모터(132), 구동축(134) 및 웜 기어(136)를 포함한다.
상기 모터(132)는 회전력을 발생시킨다. 예를 들어, 상기 모터(132)는 회전력의 정밀 제어가 가능한 서보 모터(servo motor)로 이루어질 수 있다.
상기 구동축(134)은 상기 제1 수평 방향으로 연장된다. 상기 구동축(134)은 상기 모터(132)와 연결되며, 상기 모터(132)의 회전력에 의해 회전한다.
상기 웜 기어(136)는 상기 구동축(134)과 상기 회전축(110)들을 연결한다. 상기 웜 기어(136)는 상기 구동축(134)의 회전력을 상기 회전축(110)들로 전달한다. 즉, 상기 웜 기어(136)는 서로 수직하게 배치된 상기 구동축(132)과 상기 회전축(110)들 사이에서 회전력을 전달하여 상기 회전축(110)들을 회전시킨다.
상기 진공 제공부(140)는 진공 펌프(142) 및 진공 배관(144)을 포함한다. 상기 진공 펌프(142)를 펌핑 동작을 통해 진공력을 생성한다.
상기 진공 배관(144)은 상기 제1 수평 방향을 따라 연장하며, 상기 회전축(110)들의 타단과 결합하여 상기 회전축(110)들의 진공 유로(110a)와 연통한다. 상기 진공 배관(144)과 상기 회전축(110)들은 연결하기 위하여 로터리 조인트(rotary joint)가 이용될 수 있다.
상기 진공 펌프(142)에서 생성된 진공력은 상기 진공 배관(144) 및 상기 회전축(110)들의 진공 유로(110a)를 통해 상기 진공홀(120a)들로 제공된다.
상기 진공홀(120a)에는 진공력이 제공될 수 있다. 상기 롤러(125)들과 상기 기판(10)이 접촉할 때, 상기 진공홀(120a)을 통해 제공된 진공력으로 상기 기판(10)을 흡착할 수 있다. 따라서, 상기 롤러(125)들은 상기 기판(10)이 슬릿을 억제하여 상기 기판(10)을 정확하게 이송할 수 있다. 또한, 상기 진공력으로 상기 기판(10)을 흡착하므로, 상기 기판(10)의 슬릿을 억제할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이고,
도 2 내지 도 5 을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(200)는 챔버(210) 및 기판 이송 유닛(100)을 포함한다.
상기 챔버(210)는 기판을 처리하는 처리 공간을 제공한다. 상기 챔버(210)의 내부에는 기판 이송 유닛(100)이 배치된다.
상기 기판 이송 유닛(100)은 상기 챔버(210) 내부에 배치된다. 상기 기판 이송 유닛(100)은 회전축들(110), 롤러들(125) 및 슬릿 방지 부재(150)를 포함한다. 상기 회전축(110)은 제1 수평 방향으로 배열되며 상기 제1 수평 방향에 대하여 수직하는 제2 수평 방향으로 연장된다. 상기 롤러들(125)은 상기 회전축(110)들의 각각에 장착되어 상기 회전축(110)의 회전에 의하여 기판을 이송하고, 상기 기판을 흡착하기 위한 다수의 진공홀(120a)들이 형성된다. 상기 슬릿 방지 부재(150)는 상기 롤러(125)들의 주변부에 각각 체결되며 상기 기판 이송시 상기 기판의 슬릿을 방지한다. 상기 기판 이송 유닛은 도 1 및 도 4를 참조로 전술하였으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는 롤러에 형성된 진공홀을 구비하고 상기 롤러에 슬릿 방지 부재를 구비하는 기판 이송 유닛을 포함함으로써, 기판이 일정한 속도로 균일하게 이동하면서 상기 기판을 처리할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 유닛은 롤러에 형성된 진공홀을 구비하고 상기 롤러에 슬릿 방지 부재를 포함함으로써 상기 롤러가 기판이 진공 흡착하여 이송하므로 상기 기판의 미끄러짐을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송 유닛이 개선된 이송 효율을 가질 수 있다. 상기 기판 이송 유닛을 포함하는 기판 처리 장치의 예로는, 식각 장치, 연마장치, 세정 장치, 스트립 장치 등을 들 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 회전축과 롤러를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 롤러를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 롤러 및 회전축의 체결 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 기판 이송 유닛 110 : 회전축
110a : 진공 유로 120 : 몸체
120a : 진공홀 130 : 구동부
140 : 진공 제공부 10 : 기판

Claims (7)

  1. 복수의 회전축들;
    상기 회전축들의 각각에 장착되어 상기 회전축들의 각 회전에 의하여 기판을 이송하고, 상기 기판을 흡착하기 위한 다수의 진공홀들이 반경 방향으로 형성된 적어도 하나의 롤러; 및
    상기 롤러의 주변부에 각각 체결되며 상기 기판 이송시 상기 기판의 슬릿을 방지하는 슬릿 방지 부재를 포함하되,
    상기 롤러는 상기 진공홀이 형성된 몸체 및 상기 회전축을 감싸고 상기 몸체와 체결되는 캡핑 부재를 더 포함하는 기판 이송 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 롤러는 외주면을 따라 상기 진공홀들을 지나는 홈을 각각 갖고, 상기 슬릿 방지 부재는 상기 홈과 상기 진공홀들이 연통되는 연통 위치에 체결되고, 상기 슬릿 방지 부재에는 상기 진공홀과 연통되도록 개구가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 슬릿 방지 부재는 오링(O-ring)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 몸체와 상기 각 회전축의 사이에 개재되며, 상기 진공홀의 진공력을 유지하기 위한 제1 실링 부재;
    상기 캡핑 부재 및 상기 몸체 사이에 개재되며, 상기 진공홀의 진공력을 유지하기 위한 제2 실링 부재; 및
    상기 캡핑 부재 및 상기 각 회전축 사이에 개재되며, 상기 진공홀의 진공력을 유지하기 위한 제3 실링 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 회전축은 내부 중심으로부터 이격되어 상기 진공홀과 연통되는 진공 유로가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송 유닛.
  7. 기판을 처리하는 처리 공간을 제공하는 챔버; 및
    상기 챔버 내에 배치되는 다수의 회전축들, 상기 회전축들의 각각에 장착되어 상기 회전축의 회전에 의하여 기판을 이송하고, 상기 기판을 흡착하기 위한 다수의 진공홀들이 형성된 적어도 하나의 롤러 및 상기 롤러들의 주변부에 각각 체결되며 상기 기판 이송시 상기 기판의 슬릿을 방지하는 슬릿 방지 부재를 구비하는 기판 이송 유닛을 포함하되,
    상기 롤러는 상기 진공홀이 형성된 몸체 및 상기 회전축을 감싸고 상기 몸체와 체결되는 캡핑 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.
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