KR101427281B1 - 기판 반송장치 및 기판처리방법 - Google Patents

기판 반송장치 및 기판처리방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101427281B1
KR101427281B1 KR1020070022565A KR20070022565A KR101427281B1 KR 101427281 B1 KR101427281 B1 KR 101427281B1 KR 1020070022565 A KR1020070022565 A KR 1020070022565A KR 20070022565 A KR20070022565 A KR 20070022565A KR 101427281 B1 KR101427281 B1 KR 101427281B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
roller
conveying
aligning roller
aligning
Prior art date
Application number
KR1020070022565A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080082137A (ko
Inventor
최봉석
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070022565A priority Critical patent/KR101427281B1/ko
Publication of KR20080082137A publication Critical patent/KR20080082137A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101427281B1 publication Critical patent/KR101427281B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 기판 반송장치 및 기판 처리방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 반송장치는 기판의 진행방향과 교차되게 배열된 복수개의 회전축; 상기 복수개의 회전축 각각에 구비되고, 기판을 반송시키는 복수개의 반송롤러; 및 상기 반송롤러 측면과 인접된 위치에 배치되고, 상기 기판의 측면과 접촉되는 얼라인롤러;를 포함하여 구성되며, 본 발명에 따른 기판 처리방법은, 기판의 진행방향과 교차되게 배열된 복수개의 회전축과, 상기 복수개의 회전축 각각에 구비되고, 기판을 반송시키는 복수개의 반송롤러, 및 상기 반송롤러 측면과 인접된 위치에 배치되고, 상기 기판의 측면과 접촉되는 얼라인롤러를 포함하여 구성된 기판 반송장치를 제공하는 단계; 상기 기판반송장치에 구비된 복수개 반송롤러상에 기판을 로딩시키는 단계; 상기 기판 반송장치를 구동시켜 복수개의 회전축 및 반송롤러를 회전구동시키는 단계; 및 상기 복수개의 반송롤러의 회전구동에 의해 기판이 전진이동하면서 기판이 상기 얼라인롤러와 접촉하면서 원위치로 얼라인되는 단계;를 포함하여 구성된다.
반송롤러, 중앙롤러, 얼라인롤러, 회전축, 롤러지지대

Description

기판 반송장치 및 기판처리방법{APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATE AND METHOD FOR CONVEYING THE SAME}
도 1은 종래기술에 따른 기판 반송장치의 평면도.
도 2는 종래기술에 따른 기판 반송장치의 단면도.
도 3은 종래기술에 따른 기판 반송장치 일부의 확대 단면도로서, 반송롤러과 기판의 배치상태를 나타낸 확대 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 반송장치의 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 기판 반송장치의 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 기판 반송장치 일부의 확대단면도로서, 반송롤러와 얼라인롤러 및 기판의 배치상태를 나타낸 확대 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 기판 반송장치의 얼라인롤러와 고정대의 결합상태를 도시한 결합단면도.
도 8은 본 발명에 따른 기판 반송장치의 얼라인롤러의 실시예들로서, (a)는 역사다리꼴 형태의 얼라인 롤러의 단면형상이고, (b)는 사다리꼴 형태의 얼라인 롤러의 단면형상이며, (c)는 오목 형태의 얼라인 롤러의 단면형상.
- 도면의 주요부분에 대한 부호설명 -
101 : 회전축 103 : 중앙롤러
105 : 반송롤러 107 : 오링
109 : 회전축지지대 121 : 얼라인롤러
123 : 롤러지지대 123a : 나사산
125 : 고정대 125a : 관통공
127 : 볼트 129 : 외벽
131 : 기판
본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시소자 제조시에 사용되는 액정패널 반송장치의 오정렬을 방지하고, 기판과의 접촉저항을 줄여 파손을 줄이며 부품 마모수명을 연장시킬 수 있는 기판 반송장치 및 기판 처리방법에 관한 것이다.
최근에, 액정표시장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용영역이 확대되고 있다.
일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트배선 및 데이터배선에 의해 정의된 화소영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 구비한 박막트랜지스터기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터기판과, 상기 두 기판사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
이와 같이 구성되는 액정표시장치의 제조공정은 기판 제작공정, 액정 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세가지 공정으로 나눌 수 있다.
먼저, 액정표시장치의 제작공정은 세정된 유리기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제작과 칼라필터 제작공정으로 나눈다.
상기 박막트랜지스터 제작공정은 하부기판상에 복수의 박막트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 의미하며, 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 상부기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 칼라필터층을 형성하여 공통전극 (ITO)을 형성하는 공정을 일컫는다.
또한, 액정셀 공정은 박막트랜지스터 공정이 완료된 상기 하부기판과 칼라필터 공정이 완료된 상기 상부기판의 두 기판사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하고 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치 셀을 제조하는 공정이며, 마지막으로 모듈공정은 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 박막트랜지스터 액정표시장치 패널과 신호처리회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정이다.
특히, 액정표시장치의 기판 제작공정은 실리콘 반도체 제조공정과 유사하여 기판상에 증착된 박막을 패터닝하기 위해 사진(photolithography), 식각(etching), 세정(cleaning)과 같은 단위공정으로 이루어지는데, 이와 같은 단위공정은 상기 박막의 형성에 따라 다수번 반복 작업이 필요하다.
이때, 상기 기판은 상기 각각의 사진, 식각, 세정 및 증착을 위하여 안전하게 이송되어야 할 뿐만 아니라, 상기 식각 및 세정공정시 공정의 효율을 높이기 위해 반송과 동시에 상기 식각 및 세정공정이 이루어질 경우도 있다.
따라서, 이러한 기판 반송장치는 액정표시소자 제조공정에서 없어서는 안될 장치이다.
이러한 관점에서, 종래기술에 따른 기판 반송장치에 대해 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래기술에 따른 기판 반송장치의 평면도이다.
도 2는 종래기술에 따른 기판 반송장치의 단면도이다.
도 3은 종래기술에 따른 기판 반송장치 일부의 확대 단면도로서, 반송롤러와 기판의 배치상태를 나타낸 확대 단면도이다.
종래기술에 따른 기판 반송장치는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와같이, 기판 (31)의 진행방향과 평행하도록 일직선으로 연결된 지지대(17) 및 외벽(23)과, 상기 기판 (31)의 하단을 받치고 상기 기판(31)을 전진시키는 복수개의 반송롤러 (13)와, 상기 외벽(23)에서 외부전원으로부터 전력을 공급받는 모터(미도시)에 연결되어 상기 반송롤러(13)를 일방향으로 회전시키는 복수개의 회전축(19)과, 상기 복수개의 반송롤러(13)의 측단 사이에 상기 기판(31)이 외부로 이탈하는 것을 방지하면서 기판을 얼라인하기 위해 장착된 얼라인 롤러(21)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 반송롤러(13)의 회전축(19)는 상기 외벽(23)내에서 헬리컬 기어(미도시)에 의해 상기 모터로부터의 동력을 전달받고, 베어링과 같은 구조물에 의해 지지되어 회전된다. 또한, 상기 회전축(19)의 중앙부에는 기판(31)이 처짐을 방지하면서 지지할 수 있도록 중앙 롤러(11)가 끼워져 있다.
또한, 상기 기판(31)은 상기 회전축(19)이 회전축에 고정되어 구동하는 반송 롤러(13)와 기판(31)간의 마찰력을 이용하여 반송/이송한다.
이때, 상기 반송롤러(13)에는 오링(O-ring)(15)등이 끼워져 반송력을 추가로 확보하기도 한다.
그리고, 도 3을 참조하면, 상기 반송 롤러(13)의 기판 가이드부(13a)는 기판(31)이 접촉되어 슬라이딩될 수 있도록 일정각도만큼 경사지게 형성되어 있다. 이때, 상기 기판(31)은 이송중에 상기 기판 가이드부(13a)에 의해 슬라이딩되면서 이송되면서 저절로 정렬되게 된다.
그러나, 상기와 같이 구성된 종래기술에 따른 기판 반송장치에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.
종래기술에 따른 기판 반송장치는 기판을 반송시키는 회전축간 간격이 제한되어 있어, 인접하는 회전축사이에 배치되는 얼라인 롤러의 크기가 제한적이다.
따라서, 반송 회전축간 간격이 넓어지게 되면, 기판 반송시에 처짐 기인성으로 인하여 공정 균일도가 저하된다.
또한, 종래기술에 따른 기판 반송장치는 기판 반송시에 기판이 반송롤러의 가이드부에 슬라이딩되면서 외부로 이탈될 가능성이 있기 때문에 자칫 기판이 파손될 우려가 발생한다.
그리고, 종래기술에 따른 기판 반송장치는 작은 면적의 기판에는 대응 가능하지만, 대 면적의 기판 대응 및 경사 반송시에 빠른 얼라인 롤러의 마모 및 반송 롤러 가이드부의 마모를 야기하게 된다.
특히, 이와 같은 얼라인 롤러의 마모 및 반송 롤러 가이드부의 마모에 기인하여 기판 끼임 및 파손 등이 발생하게 된다.
따라서, 상기와 같은 문제점들로 인하여 러닝 코스트(running cost) 즉, 부품 소요량이 증가하게 된다.
이에 본 발명은 상기 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 액정표시소자 제조시에 사용되는 액정패널 반송장치의 오정렬을 방지하고, 기판과의 접촉저항을 줄여 파손을 줄이며 부품 마모수명을 연장시킬 수 있는 기판 반송장치 및 기판 처리방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 반송장치는, 기판의 진행방향과 교차되게 배열된 복수개의 회전축; 상기 복수개의 회전축 각각에 구비되고, 기판을 반송시키는 복수개의 반송롤러; 및 상기 반송롤러 측면과 인접된 위치에 배치되고, 상기 기판의 측면과 접촉되는 얼라인롤러;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 처리방법은, 기판의 진행방향과 교차되게 배열된 복수개의 회전축과, 상기 복수개의 회전축 각각에 구비되고, 기판을 반송시키는 복수개의 반송롤러, 및 상기 반송롤러 측면과 인접된 위치에 배치되고, 상기 기판의 측면과 접촉되는 얼라인롤러를 포함하여 구성된 기판 반송장치를 제공하는 단계; 상기 기판반송장치에 구비된 복수개 반송롤러상에 기판을 로딩시키는 단계; 상기 기판 반송장치를 구동시켜 복수개의 회전축 및 반송롤러를 회전구동시키는 단계; 및 상기 복수개의 반송롤러의 회전구동에 의해 기판이 전진이 동하면서 기판이 상기 얼라인롤러와 접촉하면서 원위치로 얼라인되는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 기판 반송장치 및 기판처리방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 반송장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 기판 반송장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 기판 반송장치 일부의 확대단면도로서, 반송롤러와 얼라인롤러 및 기판의 배치상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 기판 반송장치의 얼라인롤러와 고정대의 결합상태를 도시한 결합단면도이다.
본 발명에 따른 기판 반송장치는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와같이, 기판 (131)의 진행방향과 평행하도록 일직선으로 연결된 회전축지지대(109) 및 외벽 (129)과, 상기 기판(131)의 하단을 받치고 상기 기판(131)을 전진시키는 복수개의 반송롤러(105)와, 상기 외벽(129)에서 외부전원으로부터 전력을 공급받는 모터(미도시)에 연결되어 상기 반송롤러(105)를 일방향으로 회전시키는 복수개의 회전축 (101)과, 상기 복수개의 반송롤러(105)와 인접된 위치에 상기 기판(131)이 외부로 이탈하는 것을 방지하면서 기판을 얼라인하기 위해 장착된 얼라인롤러(121)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 반송롤러(105)의 회전축(101)는 상기 외벽(129)에서 기어, 예 를들어 헬리컬 기어(미도시)에 의해 상기 모터(미도시)로부터의 동력을 전달 받고, 베어링과 같은 구조물에 의해 지지되어 회전된다.
또한, 상기 회전축(101) 각각의 중앙부에는 상기 기판(131)의 처짐을 방지하면서 지지할 수 있도록 적어도 하나 이상의 중앙롤러(103)가 끼워져 있다.
따라서, 기판(131)은 상기 회전축(101)과 이 회전축과 인접한 다른 회전축(101)에 고정되어 구동하는 반송롤러(105)와 기판(131)간의 마찰력을 이용하여 기판(31)을 반송/이송한다.
이때, 상기 반송롤러(105)에는 오링(O-ring)(107), 예를 들어 러버(rubber), 테프론(Teflon), 각종 불소고무 등이 끼워져 반송력을 추가로 확보하기도 한다.
그리고, 도 5 및 6을 참조하면, 상기 반송롤러(105)와 인접한 위치에 배치된 얼라인롤러(121)는 기판(131)의 측면부(131a)가 얼라인롤러(121)의 측면부(121a)에 접촉되면서 저절로 기판(131)이 정렬되도록 하는 기능을 한다.
또한, 도 7을 참조하면, 상기 얼라인롤러(121)는 롤러지지대(123) 하부 외면에 끼워져 있으며, 상기 롤러지지대(123)의 상부 내면에는 나사산(123a)이 형성되어 있으며, 상기 롤러지지대(123) 상부측이 끼워지는 고정대(125)에는 관통공(125a)이 형성되어 있다. 여기서, 상기 얼라인롤러(121)는 테프론계 또는 피크계 재질로 구성되어 있다.
상기 롤러지지대(123)의 일단은 상기 고정대(125)의 관통공(125a)을 통해 삽입되어 고정된다.
이때, 상기 롤러지지대(123)의 일단의 내벽에 형성된 나사산(123a) 부분에는 볼트(127) 또는 별도의 체결수단이 끼워져 상기 롤러지지대(123)가 고정대(125)에서 이탈되지 않고 고정되게 된다.
또한, 상기 롤러지지대(123)의 일단 내면에는 나사산(123a)이 형성되어 있으나 이에 한정하는 것이 아니며, 상기 롤러지지대(123)의 일단내면에 나사산을 형성하지 않고 외면에 나사산을 형성할 수도 있다.
또한, 상기 롤러지지대(123)는 상기 고정대(125)에서 용이하게 분해조립이 가능한 형태로 변경시킬 수도 있다. 즉, 상기 얼라인롤러(121)는 측면부(121a)의 표면이 마모되거나 파손된 경우에 즉시 교체해야 되기 때문에, 상기 롤러지지대(123)는 상기 고정대(125)에서 이탈될 수 있도록 볼트나 나사 등의 기타 체결수단을 이용하여 고정되도록 한다.
그리고, 상기 얼라인롤러(121)는 상기 회전축(101) 각각에 위치하되, 상기 반송롤러(105)와 대향되게 일정거리를 두고 배치되어 있다.
이때, 상기 얼라인롤러(121)는 기판(131)과의 접촉으로 인해 상기 롤러지지대(123)를 기준축으로 하여 회전가능하도록 구성되어 있다.
또한, 상기 얼라인롤러(121)는 일정한 높이, 즉 기판 두께보다 적어도 더 두껍게 형성되어 있어 이송중인 기판(131)이 외부로 이탈되는 것을 방지하는 기능도 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판반송장치에 구비된 얼라인롤러의 다른 실시예들에 대해 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 8은 본 발명에 따른 기판 반송장치의 얼라인롤러의 다른 실시예들로서, (a)는 역사다리꼴 형태의 얼라인 롤러의 단면형상이고, (b)는 사다리꼴 형태의 얼라인 롤러의 단면형상이며, (c)는 오목 형태의 얼라인 롤러의 단면형상이다.
또한편, 도 8의 (a)를 참조하면, 얼라인롤러(도 7의 121)가 역사다리꼴 형태로 구성되어 있으며, 일정각도(θ)만큼 아래쪽으로 기울여 있으며, 아래쪽으로 갈수록 폭이 좁게 형성되어 있어, 기판(도 6의 131)이 얼라인롤러(121)의 측면부에 접촉되더라도 이탈될 우려가 없다.
즉, 상기 얼라인롤러(121)의 측면부의 상부측이 하부측보다 폭이 넓게 형성되어 있어, 기판(131)이 상기 측면부(123a)의 하부측에 접촉되고 폭이 넓은 상부측에 기판(131)이 접촉되므로 인해 외부로의 이탈이 방지되게 된다.
또한, 상기 얼라인롤러(121)와 기판(131)의 마찰력이 증가되므로 인해 기판(131)이 미끄러지는 일이 자주 없게 된다.
또한편, 도 8의 (b)를 참조하면, 얼라인롤러(도 7의 121)가 사다리꼴 형태로 구성되어 있으며, 일정각도(θ)만큼 아래쪽으로 기울여 있으며, 아래쪽으로 갈수록 폭이 넓게 형성되어 있어, 얼라인롤러(121)과 기판(131)간의 마찰 저항을 최소화시키므로써 기판(131)과 얼라인롤러(121)의 마모율을 줄일 수 있다.
또한, 기판(131)이 상기 얼라인롤러(121)의 측면부를 따라 슬라이딩되더라도 얼라인롤러(121)의 측면부 높이가 일정높이, 즉 적어도 기판(131)의 두께이상이 되기 때문에 기판(131)이 상기 얼라인롤러(121)의 외부로 이탈될 우려가 없다.
또한편, 도 8의 (c)를 참조하면, 얼라인롤러(도 7의 121)의 외주면에 오목한 형태, 즉 움푹 파인 홈 형상으로 이루어져 있어, 기판(131)이 얼라인롤러(121)의 측면부(121a)에 접촉되더라도 이탈될 우려가 없다.
특히, 상기 얼라인롤러(121)의 홈 형상의 측면부에 기판(131)이 접촉되면서 슬라이딩되기 때문에 이탈될 우려가 없다.
즉, 상기 얼라인롤러(121) 외주면의 중앙측이 오목하게 파인 형태의 홈 형상을 이루지만, 그 외주면의 상,하부측은 돌기 형상을 이루기 때문에 기판(131)이 상기 얼라인롤러(121)의 오목한 측면부 중앙에서 접촉되면서 슬라이딩하더라도 외주면의 상하부측의 돌기에 의해 외부로 이탈되는 것이 차단되므로 외부로 이탈될 우려가 줄어 들게 된다.
또한, 기판(131)이 상기 얼라인롤러(121)의 오목 형태의 측면부내에서 슬라이딩되면서 얼라인되기 때문에 기판(131)과 얼라인롤러(121)의 접촉횟수가 줄어 들게 되므로 기판(131)과 얼라인롤러(121)의 마모율을 줄일 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 반송장치를 이용한 기판 처리방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 기판상에 증착된 박막을 패터닝하기 위해 사진(photolithography), 식각(etching), 세정(cleaning)과 같은 단위공정으로 이루어지는데, 이와 같은 단위공정은 상기 박막의 형성에 따라 다수번 반복 작업이 필요하다.
이때, 상기 기판은 상기 각각의 사진, 식각, 세정 및 증착을 위하여 안전하게 이송되어야 하며, 상기 식각 및 세정공정시에 공정의 효율을 높이기 위해 반송과 동시에 상기 식각 및 세정공정이 이루어질 수도 있다.
이렇게 상기 각각의 사진, 식각, 세정 및 증착을 위하여 안전하게 반송되도 록 하기 위해 기판(131)이 상기 본 발명에 따른 기판반송장치상에 로봇(미도시)에 의해 로딩되어진다.
이때, 상기 로딩된 기판(131)의 하면 중앙측은 복수개의 중앙롤러(103)에 의해 지지되고, 하면 가장자리부 양측은 복수개의 반송롤러(105)에 의해 지지된다.
그다음, 본 발명에 따른 기판 반송장치를 구동시키면, 복수개의 회전축(101)이 회전구동되고, 이에 따라 복수개의 중앙롤러(103)와 반송롤러(105)들이 회전구동하게 된다.
이어서, 상기 복수개의 중앙롤러(103)와 반송롤러(105)의 회전구동함에 따라 이들 위에 지지되어 있던 기판(131)이 상기 중앙롤러(103) 및 반송롤러(105)와 마찰과 동시에 슬라이딩되면서 전진 이동된다.
이때, 상기 반송롤러(105)와 인접된 위치에 얼라인롤러(121)가 마련되어 있어, 상기 기판(131)이 이송중에 좌,우로 흔들리면서 미스얼라인(misalign)되는 것이 억제된다.
즉, 상기 얼라인롤러(121)의 측면부(121a)가 좌우로 미스얼라인되는 상기 기판(131)의 측면부(131a)와 접촉되면서 기판(131)이 제대로 얼라인된다.
한편, 상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상기에서 설명한 바와같이, 본 발명에 따른 기판 반송장치 및 기판 처리방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 기판 반송장치 및 기판 처리방법은 반송회전축간 간격을 유지하면서 얼라인롤러의 크기를 최대화시킬 수 있어, 반송중인 기판과 얼라인롤러의 접촉을 최소화시킬 수 있으며, 기판의 측면이 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 기판 반송장치 및 기판처리방법은 기판과 얼라인롤러의 접촉횟수를 줄이므로써 얼라인롤러의 마모 수명을 연장시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 반송장치 및 기판처리방법은 얼라인롤러의 마모시에 얼라인롤러만 교체하면 되므로, 유지보수 시간이 단축된다.
그리고, 기판의 경사 반송의 경우, 기존에는 기판과 얼라인롤러의 접촉횟수가 많아 경사각도에 따라 마모도 증가하였지만, 본 발명의 기판 반송장치를 적용하 면 기판과 얼라인롤러의 접촉횟수를 줄여 경사각도에 따라 마모 정도를 크게 줄일 수 있다.

Claims (18)

  1. 기판의 진행방향과 교차되게 배열된 복수개의 회전축;
    상기 회전축 양단에 구비된 회전축지지대;
    상기 복수개의 회전축 각각에 구비되고, 기판을 반송시키는 복수개의 반송롤러; 및
    상기 반송롤러 측면과 인접된 위치에 배치되고, 상기 기판의 측면과 접촉되는 얼라인롤러;를 포함하여 구성되며,
    상기 얼라인롤러는 그 외주면의 상부측이 하부측보다 폭이 넓게 형성된 역사다리꼴 형태 또는 상기 외주면의 상부측이 상기 하부측보다 폭이 좁게 형성된 사다리꼴 형태로 형성되거나, 또는 상기 얼라인롤러의 외주면의 중앙부측이 오목한 형태로 움푹 파인 홈 형태로 형성되고 상기 외주면의 상, 하부측은 돌기 형상으로 형성되어, 상기 기판과 얼라인롤러의 접촉 저항을 줄여 상기 기판과 얼라인롤러의 마모율을 감소시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 회전축 중앙부에는 중앙롤러가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 얼라인롤러는 롤러지지대에 끼워져 고정대에 결합되어 있는 을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 얼라인롤러는 상기 기판과 접촉되면서 상기 롤러지지대를 축으로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 반송롤러에는 오링이 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 오링은 러버(rubber), 테프론(Teflon), 또는 각종 불소고무를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 얼라인롤러는 테프론계, 피크계 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  9. 삭제
  10. 기판의 진행방향과 교차되게 배열된 복수개의 회전축과, 상기 회전축 양단에 구비된 회전축지지대와, 상기 복수개의 회전축 각각에 구비되고, 기판을 반송시키는 복수개의 반송롤러, 및 상기 반송롤러 측면과 인접된 위치에 배치되고, 상기 기판의 측면과 접촉되는 얼라인롤러를 포함하여 구성된 기판 반송장치를 제공하는 단계;
    상기 기판반송장치에 구비된 복수개 반송롤러상에 기판을 로딩시키는 단계;
    상기 기판 반송장치를 구동시켜 복수개의 회전축 및 반송롤러를 회전구동시키는 단계; 및
    상기 복수개의 반송롤러의 회전구동에 의해 기판이 전진이동하면서 기판이 상기 얼라인롤러와 접촉하면서 원위치로 얼라인되는 단계;를 포함하여 구성되며,
    상기 얼라인롤러는 그 외주면의 상부측이 하부측보다 폭이 넓게 형성된 역사다리꼴 형태 또는 상기 외주면의 상부측이 상기 하부측보다 폭이 좁게 형성된 사다리꼴 형태로 형성되거나, 또는 상기 얼라인롤러의 외주면의 중앙부측이 오목한 형태로 움푹 파인 홈 형태로 형성되고 상기 외주면의 상, 하부측은 돌기 형상으로 형성되어, 상기 기판과 얼라인롤러의 접촉 저항을 줄여 상기 기판과 얼라인롤러의 마모율을 감소시키는 것을 특징으로하는 기판처리방법.
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서, 상기 회전축 중앙부에는 중앙롤러가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  13. 제10항에 있어서, 상기 얼라인롤러는 롤러지지대에 끼워져 고정대에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 얼라인롤러는 상기 기판과 접촉되면서 상기 롤러지지대를 축으로 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  15. 제10항에 있어서, 상기 반송롤러에는 오링이 끼워져 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 오링은 러버(rubber), 테프론(Teflon), 또는 각종 불소고무를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  17. 제10항에 있어서, 상기 얼라인롤러는 테프론계, 피크계 재질로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
  18. 삭제
KR1020070022565A 2007-03-07 2007-03-07 기판 반송장치 및 기판처리방법 KR101427281B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070022565A KR101427281B1 (ko) 2007-03-07 2007-03-07 기판 반송장치 및 기판처리방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070022565A KR101427281B1 (ko) 2007-03-07 2007-03-07 기판 반송장치 및 기판처리방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080082137A KR20080082137A (ko) 2008-09-11
KR101427281B1 true KR101427281B1 (ko) 2014-08-06

Family

ID=40021568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070022565A KR101427281B1 (ko) 2007-03-07 2007-03-07 기판 반송장치 및 기판처리방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101427281B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220097693A (ko) * 2020-12-30 2022-07-08 주식회사 에스에프에이 전극 모니터링 장치 및 방법

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101102243B1 (ko) * 2010-10-18 2012-01-03 주식회사 케이씨텍 대면적 기판의 어라인장치
KR101843195B1 (ko) * 2011-10-24 2018-03-29 엘지디스플레이 주식회사 기판이송장치
KR102151965B1 (ko) * 2014-03-31 2020-09-04 주식회사 선익시스템 롤러 모듈 및 이를 이용한 기판이송장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050046220A (ko) * 2003-11-13 2005-05-18 주식회사 디엠에스 멀티형 기판이송장치
KR100540632B1 (ko) * 2003-06-27 2006-01-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판표시장치 제조용 기판 절단장치
KR100592931B1 (ko) * 2004-07-02 2006-06-26 주식회사 파이컴 글라스 이송용 컨베이어 시스템
KR20070019422A (ko) * 2005-08-12 2007-02-15 주식회사 에이디피엔지니어링 평판표시소자 제조장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100540632B1 (ko) * 2003-06-27 2006-01-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판표시장치 제조용 기판 절단장치
KR20050046220A (ko) * 2003-11-13 2005-05-18 주식회사 디엠에스 멀티형 기판이송장치
KR100592931B1 (ko) * 2004-07-02 2006-06-26 주식회사 파이컴 글라스 이송용 컨베이어 시스템
KR20070019422A (ko) * 2005-08-12 2007-02-15 주식회사 에이디피엔지니어링 평판표시소자 제조장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220097693A (ko) * 2020-12-30 2022-07-08 주식회사 에스에프에이 전극 모니터링 장치 및 방법
KR102563299B1 (ko) * 2020-12-30 2023-08-04 주식회사 에스에프에이 전극 모니터링 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080082137A (ko) 2008-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101157322B1 (ko) 스퍼터링장치의 반송유닛
KR101427281B1 (ko) 기판 반송장치 및 기판처리방법
KR20100081153A (ko) 이송 시스템
KR20080049561A (ko) 기판이송용 컨베이어장치
US7225917B2 (en) Conveyor system having width adjustment unit
KR20100024174A (ko) 기판 세정 장치
TW200824030A (en) Transfer roller and substrate transfer apparatus
KR20110063016A (ko) 기판 이송 장치
KR200472388Y1 (ko) 기판 반송장치
KR101000494B1 (ko) 이송장치
KR100788385B1 (ko) 기판의 반송장치
WO2018230457A1 (ja) 基板処理装置
KR100801304B1 (ko) 기판 이송 장치
KR20070090503A (ko) 마그네틱 기어 및 이를 이용한 마그네틱 컨베이어
KR100819039B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR19990038655U (ko) 기판 이송용 롤러
KR20050043357A (ko) 헬리컬 기어 어셈블리
KR100675641B1 (ko) 기판 반송 장치
KR100875181B1 (ko) 반송장치
KR100888144B1 (ko) 액정표시장치의 기판이송장치
KR100425764B1 (ko) 글라스 반송장치
KR100769179B1 (ko) 반송롤러 정렬 지그
KR100375743B1 (ko) 기판 이송 장치
KR101044537B1 (ko) 글래스 반송장치
KR101010139B1 (ko) 액정패널의 세정장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190617

Year of fee payment: 6