KR100801304B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

하부 롤러의 위치 이탈이 방지된 기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 상부 롤러를 포함하는 제1 샤프트, 및 하부 롤러를 포함하는 제2 샤프트로서, 적어도 일부의 단면이 다각형인 제2 샤프트를 포함한다.
기판 이송 장치, 상부 롤러, 하부 롤러, 샤프트

Description

기판 이송 장치{Apparatus for conveying substrate}
도 1a는 기판 이송 전의 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1b는 기판 이송 중의 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 샤프트의 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 하부 롤러가 체결된 제2 샤프트의 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 하부 롤러가 체결된 제2 샤프트의 부분 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 제1 샤프트 110: 상부 롤러
212, 214: 하부 롤러 220: 제2 샤프트
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상부 롤러와 하부 롤러를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
최근 들어 정보 처리 장치는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 처리된 정보를 외부로 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 디스플레이 장치로서, 현재 주목받고 있는 것은 액정 디스플레이 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치이다.
평판 디스플레이 장치는 다수의 처리 공정을 거친다. 예를 들어 기판 상에 박막 및/또는 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 베이킹 공정, 식각 공정, 세정 공정, 건조 공정 등이 그것이다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 상기 요구되는 일련의 공정을 수행하기 위해서는 해당 공정 챔버로 기판을 이송하여야 하며, 이를 위해 각 공정 챔버 사이 및/또는 각 공정 챔버 내에는 기판 이송 장치가 설치되어 있다.
기판 이송 장치는 기판을 안정적으로, 원하는 방향으로 이송하거나 정지시킨다. 기판의 이송은 기판 이송 장치에 구비된 상부 롤러 및 하부 롤러의 회전에 의해 이루어진다. 상부 롤러 및 하부 롤러는 제2 샤프트에 구비된 구동 기어의 회전에 의해 회전된다.
기판의 이송 전에, 다수개의 하부 롤러 중 첫번째 하부 롤러는 상부 롤러와 맞닿거나 근접해 있다. 기판은 첫번째 하부 롤러와 그에 대응하는 상부 롤러 사이를 통과하면서 이송된다. 기판이 첫번째 하부 롤러와 상부 롤러 사이를 통과할 때에 기판에는 상하 방향의 압력이 부여된다.
그런데, 기판 이송 장치를 장시간 가동하게 되면 첫번째 하부 롤러를 고정하는 고정 볼트가 풀려 첫번째 하부 롤러가 제2 샤프트로부터 탈착될 가능성이 있다. 이는 첫번째 하부 롤러의 위치 이탈로 이어질 수 있다. 첫번째 하부 롤러가 위치 이탈하면, 기판의 이송시 상부 롤러로부터 기판에 가해지는 압력을 지지해주는 하부 롤러가 없기 때문에, 기판의 사이드 부근에 크랙 등의 불량이 발생할 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 하부 롤러의 위치 이탈이 방지된 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 상부 롤러를 포함하는 제1 샤프트, 및 하부 롤러를 포함하는 제2 샤프트로서, 적어도 일부의 단면이 다각형인 제2 샤프트를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태 로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서에서는 본 발명에 따른 기판 이송 장치가 적용되는 기판으로서 투명한 유리, 플라스틱 등으로 이루어진 평판 디스플레이 장치용 기판이 예시된다. 그러나, 이에 제한되는 것은 아니며, 반도체 기판이나 기타 물리적 이송이 필요한 다양한 기판들에도 적용될 수 있음은 물론이다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대해 설명한다.
도 1a는 기판 이송 전의 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다. 도 1b는 기판 이송 중의 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 기판 이송 장치는 위 아래에 서로 평행하게 배치되어 있는 제1 샤프트(100) 및 제2 샤프트(220)를 포함한다. 제1 샤프트(100) 및 제2 샤프트(200)는 각각 복수개로서, 동일한 수가 구비될 수 있다.
제1 샤프트(100)는 상부 롤러(110)를 포함한다. 상부 롤러(110)는 제1 샤프트(100)에 체결되어 제1 샤프트(100)의 회전과 함께 회전하거나, 제1 샤프트(100)와는 별개로 회전하는 구조를 가질 수 있다. 상부 롤러(110)는 하나의 제1 샤프트(100)에 하나가 구비되거나 또는 2 이상 구비될 수도 있다.
제2 샤프트(220)는 하부 롤러(212, 214)를 포함한다. 하부 롤러(212, 214)는 하나의 제2 샤프트(220)에 복수개가 구비될 수 있으며, 대응하는 제1 샤프트(100)에 구비된 상부 롤러(110)의 수보다 더 많은 수의 하부 롤러(212, 214)가 구비될 수 있다.
복수의 하부 롤러(212, 214)는 제2 샤프트(220)에 체결되어 있다. 제2 샤프트(220)는 구동 기어(230)와 연결되어 구동 기어(230)의 동작에 의해 회전하며, 제2 샤프트(220)의 회전은 그에 체결된 하부 롤러(212, 214)의 회전을 유도한다. 하부 롤러(212, 214)의 회전으로 기판(10)이 원하는 방향으로 이송된다.
그에 반해 제1 샤프트(100)는 구동 기어와 연결되지 않는다. 상부 롤러(110)는 기판(10)의 이송에 따른 반작용으로 회전할 수 있다. 이때, 상부 롤러(110)가 제1 샤프트(100)에 견고하게 체결된 경우 제1 샤프트(100)도 함께 회전하며, 별개로 회전하는 구조를 가질 경우 제1 샤프트(100)는 회전하지 않을 수 있다.
복수개의 하부 롤러(212, 214) 중 최일단에 위치하는 첫번째 하부 롤러(212)는 제1 샤프트(100)의 상부 롤러(110)와 대응한다. 즉, 기판(10)의 이송 전에는 도 1a에 도시된 바와 같이 제1 샤프트(100)의 상부 롤러(110)와 밀착되거나 또는 상부 롤러(110)에 정렬되어 근접 배치될 수 있다. 이와 같이 첫번째 하부 롤러(212)가 상부 롤러(110)와 밀착 또는 근접 배치되면, 도 1b에 도시된 바와 같이 기판(10)의 이송시에 기판에 압력이 부여되어 그립되기 때문에, 기판(10)의 이송 경로 유지에 도움이 된다. 또 상기 압력은 구동 기어(230)에 의해 구동되지 않는 상부 롤러(110)를 회전시키는 원동력이 된다.
따라서, 이송 중인 기판(10)에 충분한 압력을 부여하기 위해 상부 롤러(110) 와 첫번째 하부 롤러(212)의 거리는 작은 것이 유리하며, 이를 위하여 복수개의 하부 롤러(212, 214) 중 첫번째 하부 롤러(212)는 그 이외의 하부 롤러(214)들에 비하여 크기가 더 클 수 있다.
하부 롤러(212, 214)도 상부 롤러(110)와 유사하게 제2 샤프트(220)에 체결되어 있다. 그러나, 복수의 하부 롤러(212, 214) 중 일부의 체결 수단은 상부 롤러(110)의 경우와 차이가 있다. 이하, 도 1a 및 도 1b와 함께 도 2 내지 도 4를 참조하여 상기한 체결 수단에 대해 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 제1 샤프트의 단면도이다. 도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 하부 롤러가 체결된 제2 샤프트의 단면도들이다. 도 4는 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 하부 롤러가 체결된 제2 샤프트의 부분 사시도이다.
먼저 제1 샤프트(100)의 경우에 대해 설명하면, 제1 샤프트(100)는 단면이 원형인 원기둥 형상으로 이루어져 있다. 상부 롤러(110)가 제1 샤프트(100)에 견고하게 체결된 구조를 가질 경우 상부 롤러(110)는 원기둥 형상의 제1 샤프트(100)에 예컨대 볼트-너트 결합(미도시)으로 체결된다.
제2 샤프트(220)의 경우는 일부는 단면이 원형이고, 일부는 단면이 다각형이다. 제2 샤프트(220)의 단면이 다각형인 영역은 첫번째 하부 롤러(212)가 체결되는 영역(222)을 포함할 수 있다. 제2 샤프트(220)의 단면이 원형인 영역은 첫번째 하부 롤러(212)가 체결되는 영역(222) 이외의 영역(224)일 수 있다.
따라서, 제2 샤프트(220)의 경우에도 대부분의 영역('224' 참조)은 도 2에 도시된 바와 같이 단면이 원형일 수 있다. 여기에 체결되는 다수의 하부 롤러(214)에는 볼트-너트 결합(미도시)이 적용될 수 있다.
그러나, 첫번째 하부 롤러(212)가 체결되는 영역(222)은 제2 샤프트(200) 자체가 단면이 다각형으로 이루어져 있으므로, 다각형의 모서리에 의해 하부 롤러(212)의 유동이 고정되는 구조를 갖는다.
구체적으로 도 3a에 도시된 바와 같이 상기 체결 영역(222)에서 첫번째 하부 롤러(212)와 제2 샤프트(220)의 체결은 정사각형의 단면 구조의 제2 샤프트에 의해 구현된다. 본 발명의 다른 몇몇 실시예에서는 도 3b에 도시된 바와 같이 상기 체결 영역(222a)에서 직사각형의 단면 구조의 제2 샤프트에 의해 구현될 수 있다. 본 발명의 또 다른 몇몇 실시예에서는 도 3c에 도시된 바와 같이 상기 체결 영역(224a)에서 육각형의 단면 구조의 제2 샤프트에 의해 구현될 수도 있다. 그 밖에 다른 다양한 다각형 구조가 가능함은 물론이다. 이와 같은 다각형 구조의 모서리는 하부 롤러(212)가 제2 샤프트(220)와 무관하게 헛도는 것을 방지하는 역할을 하게 된다.
또, 도 4에 예시적으로 도시된 바와 같이 첫번째 하부 롤러(212)가 체결되는 영역(222)은 모서리를 제외하고, 단면이 원형인 다른 영역에 비해 상대적으로 리세스된 구조를 갖고 있다. 이와 같은 불연속 구조는 첫번째 하부 롤러(212)가 체결 영역(222)으로부터 다른 곳으로 이탈되는 것이 방지하는 데에 유용하다.
따라서, 상기 영역(222)은 다른 영역(224)에서와 같이 볼트-너트 결합 등이 필요없다. 그러나, 여기에서도 다각형의 모서리에 의한 고정 및 볼트-너트 결합이 병행되어도 무방함은 물론이다.
상술한 바와 같이 첫번째 하부 롤러(212)가 체결되는 영역(222)은 다른 영역(224)과 달리 제2 샤프트(220)가 다각형 구조를 가지기 때문에, 기판 이송 장치가 장시간 가동되더라도 첫번째 하부 롤러(212)가 탈착되거나 위치 이탈할 가능성이 감소한다. 따라서, 기판(10)의 크랙 불량 등이 방지될 수 있다.
한편, 이상의 실시예들에서는 제2 샤프트의 단면이 다각형인 영역은 주로 첫번째 하부 롤러의 체결 영역인 것을 예로 하여 설명하였으나, 그 이외의 영역에서도 단면 구조가 다각형일 수도 있음은 자명하다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 의하면 고정 볼트에 의하지 않고서도 첫번째 하부 롤러를 제2 샤프트에 견고하게 고정시킬 수 있으므로, 기판 이송 장치를 장시간 가동하더라도 첫번째 하부 롤러의 탈착 및 위치 이탈을 방지할 수 있다. 따라서, 기판의 이송시 상부 롤러로부터 기판에 가해지는 압력에 의해 기판의 사이드 부근에 유발될 수 있는 크랙 등의 불량이 방지될 수 있다.

Claims (6)

  1. 상부 롤러를 포함하는 제1 샤프트; 및
    하부 롤러를 포함하는 제2 샤프트로서, 적어도 일부의 단면이 다각형인 제2 샤프트를 포함하고,
    단면이 다각형인 상기 제2 샤프트의 적어도 일부는 상기 하부 롤러의 체결 영역이고,
    상기 단면이 다각형인 제2 샤프트에 체결된 상기 하부 롤러는 상기 제1 샤프트의 상부 롤러에 대응하고,
    상기 제2 샤프트는 복수의 하부 롤러를 포함하되,
    상기 단면이 다각형인 제2 샤프트에 체결된 상기 하부 롤러는 복수의 하부 롤러 중 상기 제2 샤프트의 최일단에 위치하는 첫번째 하부 롤러인 기판 이송 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 샤프트는 단면이 원형이고,
    상기 제2 샤프트는 단면이 다각형인 상기 적어도 일부를 제외하고 단면이 원형인 기판 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 다각형은 직사각형 또는 정사각형인 기판 이송 장치.
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